CN109260810A - 一种化学药剂残留药液回收装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种化学药剂残留药液回收装置，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、11#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口与过滤器上端之间的管路上依次设置有回流隔断阀和回流阀，所述药液出口通过管路连接至过滤器下端，所述药液出口与过滤器下端的管路上依次设置有泵前进液阀、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀。

Description

一种化学药剂残留药液回收装置

技术领域

本发明涉及化学品回收技术领域，具体涉及一种化学药剂残留药液回收装置。

背景技术

到目前为止，化学药剂的使用是半导体产业生产过程中不可或缺的一部分，用于满足产品生产中的工艺需求。其化学药剂桶在使用过程中，因化学药剂桶内部引液管本身设计因素，引液管底部采用切口设计，会造成化学药剂的残留，同时为满足生产过程中需求，也会造成化学药剂的残留。

据有效统计，现使用化学药剂满桶为200L，不回收时药桶会残留6L以上药剂，药剂利用率不足97％。

化学药剂残留液不但造成资源的浪费，同时对周边环境的质量亦会产生不利因素，不符合环境政策中节约能源、持续减废。

发明内容

本发明旨在提供了一种化学药剂残留药液回收装置。

本发明提供如下技术方案：

一种化学药剂残留药液回收装置，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、1#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口与过滤器上端之间的管路上依次设置有回流隔断阀和回流阀，所述药液出口通过管路连接至过滤器下端，所述药液出口与过滤器下端的管路上依次设置有泵前进液阀、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀。

所述过滤器与泵后出液阀之间的管路上通过管路贯通。

所述药液出口与泵前进液阀之间的管路上通过管路贯通。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明提高化学药剂利用率，药剂利用率由原来不足97％提高到99.5％以上，有效降低产品生产原料成本；同时大多数化学药剂均为有毒、有害、污染环境物品，影响人体身体健康及动植物生存环境，化学药剂的有效利用，可以有效减少在废液的储藏过程中的挥发，降低对环境的污染。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例 参考附图1所示，一种化学药剂残留药液回收装置，包括化学药剂1#桶1、化学药剂2#桶2、泵前进液阀3、药桶回流口4、药液出口5、隔膜泵6、止回阀7、泵后出液阀8、过滤器9、1#桶回流阀10、2#桶回流阀11、1#桶回流隔断阀12、2#桶回流隔断阀13，所述化学药剂1#桶1、化学药剂2#桶2上端左部设置有药桶回流口4，上端右部设置有药液出口5，所述药桶回流口4通过管路连接至过滤器9上端，所述过滤器9上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口4与过滤器9上端之间的管路上依次设置有回流隔断阀和回流阀，所述药液出口5通过管路连接至过滤器9下端，所述药液出口5与过滤器9下端的管路上依次设置有泵前进液阀3、隔膜泵6、止回阀7、泵后出液阀8。

所述过滤器9与泵后出液阀8之间的管路上通过管路贯通。

所述药液出口5与泵前进液阀3之间的管路上通过管路贯通。

手动开启图示中10 1#桶回流阀、13 2#桶回流隔断阀；

手动关闭图示中11 2#桶回流阀、12 1#桶回流隔断阀；

确认阀门均开启或关闭后，手动启动6隔膜泵(因车间不再要液，车间机台端的电磁阀为关闭状态)；

通过泵和透明管道观察1#桶残留药液通过管道回流至2#桶，待观察管道内部只有空气没有药液时，关闭隔膜泵，恢复各阀门状态，将1#桶替换下来。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于所述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是所述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (3)

1.一种化学药剂残留药液回收装置，其特征在于，包括化学药剂1#桶、化学药剂2#桶、泵前进液阀、药桶回流口、药液出口、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀、过滤器、1#桶回流阀、2#桶回流阀、1#桶回流隔断阀、2#桶回流隔断阀，所述化学药剂1#桶、化学药剂2#桶上端左部设置有药桶回流口，上端右部设置有药液出口，所述药桶回流口通过管路连接至过滤器上端，所述过滤器上端通过管路汇合至进液口，所述药桶回流口与过滤器上端之间的管路上依次设置有回流隔断阀和回流阀，所述药液出口通过管路连接至过滤器下端，所述药液出口与过滤器下端的管路上依次设置有泵前进液阀、隔膜泵、止回阀、泵后出液阀。

2.根据权利要求1所述的一种化学药剂残留药液回收装置，其特征在于：所述过滤器与泵后出液阀之间的管路上通过管路贯通。

3.根据权利要求1所述的一种化学药剂残留药液回收装置，其特征在于：所述药液出口与泵前进液阀之间的管路上通过管路贯通。