CN109148338A

CN109148338A - 一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置

Info

Publication number: CN109148338A
Application number: CN201811026559.6A
Authority: CN
Inventors: 刘玉龙; 贺贤汉; 朱强健
Original assignee: Shanghai Shenhe Thermo Magnetics Electronics Co Ltd; Hangzhou Semiconductor Wafer Co Ltd
Current assignee: Shanghai Xinxinjingyuan Semiconductor Technology Co Ltd; Hangzhou Semiconductor Wafer Co Ltd
Priority date: 2018-09-04
Filing date: 2018-09-04
Publication date: 2019-01-04

Abstract

本发明提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L‑350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L‑30L、硝酸60L‑90L、醋酸30L‑60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％‑8％、硝酸30％‑50％、醋酸10％‑30％的混酸280L‑350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

Description

一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体领域，具体涉及一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法及装置。

背景技术

在半导体硅片的生产工艺中，酸腐蚀工艺是应用最广的去除损伤层的一种方法。比较普遍的方式是通过一定比例的氢氟酸、硝酸、醋酸组成的混酸在一定的温度下与硅片发生化学反应，腐蚀掉表面的损伤层，加工过程中要保证硅片腐蚀的速率，硅片表面的腐蚀均匀性。但随着硅片的尺寸越来越大，器件的线宽越来越小，对硅片的表面平整度要求也越来越高。这就要求对应不同掺杂类型的硅片有更精确的混酸浓度、温度、鼓泡等条件的控制，在硅片品种切换时，混酸的浓度变化非常大。

现在的换液做法有直接排掉原比例的混酸，然后配制新比例的混酸；稍经济一点的做法是在原混酸比例的基础上单独添加氢氟酸、硝酸、醋酸来改变混酸的比例，但是也会排掉一定比例的混酸，造成浪费，并且添加单酸会消耗大量的时间，影响生产效率。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，以解决对腐蚀过程中，硅片类型改变，相应的腐蚀混酸溶液也要改变，但调节混酸溶液的浓度过程复杂、时间长、效率低的问题。

针对现有技术存在的问题，本发明提供一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，以解决对腐蚀过程中，硅片类型改变，相应的腐蚀混酸溶液也要改变，但调节混酸溶液的浓度过程复杂、时间长、效率低的问题。

本发明的技术方案是：一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：

步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L-350L；

步骤二，通过添加氢氟酸15L-30L、硝酸60L-90L、醋酸30L-60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％；

步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％的混酸280L-350L注入混酸储备槽B；

步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

本发明通过两个储备槽能同时暂存两种不同浓度的混酸，从而能够缩短混酸切换时间，还能减少混酸的浪费，节省成本。

所述步骤一中储备槽内加入室温下的混酸300L。

所述步骤二中添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。

所述步骤二中对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％。

所述步骤三中，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B。

作为一种优选方案，一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：

步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸300L；

步骤二，通过添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％；

步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B；

步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

该方案下，混酸切换时间最短，能更好更快的调节混酸溶液的浓度。

本发明的技术方案是：一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，包括一腐蚀机，所述腐蚀机连接一混酸回收装置，所述混酸回收装置包括一储备柜和一控制器，所述控制器分别控制连接所述腐蚀机和所述储备柜，所述控制器还连接一药液供给系统；

所述储备柜中设有两个用于存储混酸溶液的储备槽。

本发明通过控制器不仅能够控制药液的流向，药液可以从药液供给系统进出腐蚀机或者储备柜，或者腐蚀机与储备柜中的混酸药液进行调换，还能监控储备柜中的混酸的浓度：在腐蚀机进行作业时，操作人员可以直接通过控制器调节储备柜中混酸的浓度，无需停机。储备柜中含有两个混酸储备槽，可以同时暂存两种不同浓度的混酸。

附图说明

图1为本发明装置的结构框图。

图中：1.腐蚀机，2.储备柜，3.控制器，4.药液供给系统。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步的说明。

一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L-350L；步骤二，通过添加氢氟酸15L-30L、硝酸60L-90L、醋酸30L-60L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％-8％、硝酸30％-50％、醋酸10％-30％的混酸280L-350L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。本发明通过两个储备槽能同时暂存两种不同浓度的混酸，从而能够缩短混酸切换时间，还能减少混酸的浪费，节省成本。

步骤一中储备槽内加入室温下的混酸300L。步骤二中添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。步骤二中对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％。步骤三中，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B。

作为一种优选方案，一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，包括：步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸300L；步骤二，通过添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L，对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％；步骤三，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B；步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。该方案下，混酸切换时间最短，能更好更快的调节混酸溶液的浓度。

参照图1，本发明的技术方案是：一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，包括一腐蚀机1，腐蚀机连接一混酸回收装置，混酸回收装置包括一储备柜2和一控制器3，控制器分别控制连接腐蚀机和储备柜，控制器还连接一药液供给系统4；储备柜中设有两个用于存储混酸溶液的储备槽。

以上仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于，包括：

步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸280L-350L；

步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

2.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤一中储备槽内加入室温下的混酸300L。

3.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤二中添加氢氟酸20L、硝酸80L、醋酸50L。

4.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤二中对储备槽A中的混酸进行浓度调节，将混酸的质量分数调到氢氟酸6.5％、硝酸35％、醋酸20％。

5.根据权利要求1所述的一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：所述步骤三中，将腐蚀机中质量分数为氢氟酸5％、硝酸30％、醋酸10％的混酸300L注入混酸储备槽B。

6.作为一种方案，一种提高腐蚀机混酸换液效率的方法，其特征在于：包括：

步骤一，在储备槽A加入室温下的混酸300L；

步骤四，将调节好浓度的混酸注入腐蚀机。

7.一种提高腐蚀机混酸换液效率的装置，其特征在于：包括一腐蚀机，所述腐蚀机连接一混酸回收装置，所述混酸回收装置包括一储备柜和一控制器，所述控制器分别控制连接所述腐蚀机和所述储备柜，所述控制器还连接一药液供给系统；

所述储备柜中设有两个用于存储混酸溶液的储备槽。