CN108957946B - 一种软模板脱模机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种软模板脱模机构,用于将软模板从母模板上脱离,其包括:机架;吸附盘,设置于机架上,在吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴,多个吸附嘴与抽真空装置连接,吸附盘的吸附面为斜面。本发明一种软模板脱模机构结构简单,从边缘开始揭取软模板,不会对软模板造成污染和损伤,工作效率高。
Description
技术领域
本发明涉及软模板制备装置,具体涉及一种软模板脱模机构。
背景技术
纳米压印技术,是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术,纳米压印技术最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出,这是一种不同与传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为:不使用光线或者辐照使光刻胶感光成形,而是直接在硅衬底或者其它衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。
软模板是一种简单方便的纳米压印模板复制材料,通常由本体材料和固化剂按一定比例混合而成,去除气泡后浇注在母模板表面,通过加热固化成弹性硅橡胶材料的工作模板。
现有技术中,当软模板在生产制备好后,需要人工将软模板从母模板上进行揭取脱离,效率低下,且会对软模板造成污染和损伤。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提出了一种软模板脱模机构,其结构简单,从边缘开始揭取软模板,不会对软模板造成污染和损伤,工作效率高。
为了达到上述目的,本发明的技术方案如下:
一种软模板脱模机构,用于将软模板从母模板上脱离,包括:机架;吸附盘,设置于机架上,在吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴,多个吸附嘴与抽真空装置连接,吸附盘的吸附面为斜面。
本发明一种软模板脱模机构结构简单,采用具有斜面的吸附盘从软模板的边缘开始对软模板进行揭取,相较于平面式的揭取,该机构不易对软模板的边缘造成损伤,而采用抽真空的揭取方式不会对软模板造成污染,保证后期的压印品质。
在上述技术方案的基础上,还可做如下改进:
作为优选的方案,从吸附面到达软模板最近距离的一端为吸附盘的揭取端,从吸附面到达软模板最远距离的一端为吸附盘的定位端。在机架上设有揭取驱动装置,揭取驱动装置的固定端与机架铰接,揭取驱动装置的传动端与吸附盘的揭取端铰接。吸附盘的定位端与机架铰接。
采用上述优选的方案,增加新的揭取驱动装置为吸附盘的边缘揭取方式提供新的动力源,保证软模板可以被成功揭取,且不会对其边缘造成损伤。
作为优选的方案,在机架上设有向外延伸的第一铰接部,在吸附盘的定位端设有与第一铰接部位置相对应的第二铰接部,第一铰接部与第二铰接部铰接。
采用上述优选的方案,第一铰接部和第二铰接部为吸附盘的运动轨迹预留充足的空间。
作为优选的方案,吸附盘可在机架上升降。
采用上述优选的方案,便于对软模板进行揭取和转移。
作为优选的方案,机架包括:升降板、固定板以及设置于升降板和固定板上的滑动组件,吸附盘设置于升降板上。
采用上述优选的方案,升降板可以带动吸附盘稳定升降。
作为优选的方案,多个吸附嘴在吸附面呈均匀分布。
采用上述优选的方案,结构简单,安装便捷。
作为优选的方案,吸附嘴的吸附口径从吸附盘的揭取端向吸附盘的定位端逐渐减小。
采用上述优选的方案,进一步保证吸附盘可以从软模板的边缘开始对软模板进行吸附。
作为优选的方案,吸附嘴的分布密度从吸附盘的揭取端向吸附盘的定位端逐渐减小。
采用上述优选的方案,进一步保证吸附盘可以从软模板的边缘开始对软模板进行吸附。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种软模板脱模机构的结构示意图。
图2为本发明实施例提供的一种软模板脱模机构的侧视图。
图3为图2中A部局部放大图。
图4为本发明实施例提供的一种软模板脱模机构的主视图。
其中:1机架、11揭取驱动装置、12升降板、13固定板、2吸附盘、21吸附面、22吸附嘴、23揭取端、24定位端、3铰接、4第一铰接部、5第二铰接部、6第三铰接部、7点胶机械臂。
具体实施方式
下面结合附图详细说明本发明的优选实施方式。
为了达到本发明的目的,一种软模板脱模机构的其中一些实施例中,
一种软模板脱模机构,用于将软模板从母模板上脱离,包括:机架1和吸附盘2,吸附盘2设置于机架1上,在吸附盘2的吸附面21设有多个吸附嘴22,多个吸附嘴22与抽真空装置(图中未示出)连接,吸附盘2的吸附面21为斜面。
本发明一种软模板脱模机构结构简单,采用具有斜面的吸附盘2从软模板的边缘开始对软模板进行揭取,相较于平面式的揭取,该机构不易对软模板的边缘造成损伤,而采用抽真空的揭取方式不会对软模板造成污染,保证后期的压印品质。
为了进一步地优化本发明的实施效果,在另外一些实施方式中,从吸附面21到达软模板最近距离的一端为吸附盘的揭取端23,从吸附面21到达软模板最远距离的一端为吸附盘的定位端24。在机架1设有揭取驱动装置11,揭取驱动装置11的固定端与机架1铰接,揭取驱动装置11的传动端与吸附盘2的揭取端23铰接。吸附盘2的定位端24与机架1铰接。
采用上述优选的方案,增加新的揭取驱动装置11为吸附盘2的边缘揭取方式提供新的动力源,保证软模板2可以被成功揭取,且不会对其边缘造成损伤。
进一步优化实施效果,在机架1的端部设有铰接板3,铰接板12的截面呈“L”形,揭取驱动装置11的固定端与机架1上的铰接板3铰接。
进一步优化实施效果,在机架1上设有向外延伸的第一铰接部4,在吸附盘2的定位端24设有与第一铰接部4位置相对应的第二铰接5,第一铰接部4与第二铰接部5铰接。第一铰接部4和第二铰接部5为吸附盘2的运动轨迹预留充足的空间。
进一步优化实施效果,在吸附盘2的揭取端23设有第三铰接部6,第三铰接部6与揭取驱动装置11的传动端铰接。
为了进一步地优化本发明的实施效果,在另外一些实施方式中,吸附盘2可在机架1上升降。便于对软模板进行揭取和转移。
进一步优化实施效果,机架1包括:升降板12、固定板13以及设置于升降板12和固定板13上的滑动组件,吸附盘2设置于升降板12上。滑动组件可以为设置于固定板13上的滑轨和与之对应的设置于升降板12上的滑块,或设置于升降板12上的滑轨和与之对应的设置于固定板13上的滑块。升降板12可以带动吸附盘2稳定升降。
为了进一步地优化本发明的实施效果,在另外一些实施方式中,多个吸附嘴22在吸附面21呈均匀分布。结构简单,安装便捷。
为了进一步地优化本发明的实施效果,在另外一些实施方式中,吸附嘴22的吸附口径从吸附盘2的揭取端23向吸附盘的定位端24逐渐减小。
采用上述优选的方案,进一步保证吸附盘2可以从软模板的边缘开始对软模板进行吸附。
为了进一步地优化本发明的实施效果,在另外一些实施方式中,吸附嘴22的分布密度从吸附盘2的揭取端23向吸附盘2的定位端24逐渐减小。
采用上述优选的方案,进一步保证吸附盘2可以从软模板的边缘开始对软模板进行吸附。
在安装设计的过程中,可以将用于给软模板制备装置进行点胶的点胶机械臂7也设置于本发明的机架上,使得设备整体结构更紧凑,更便于操作。
以上的仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。
Claims (6)
1.一种软模板脱模机构,用于将软模板从母模板上脱离,其特征在于,包括:
机架;
吸附盘,设置于机架上,在所述吸附盘的吸附面设有多个吸附嘴,多个所述吸附嘴与抽真空装置连接,所述吸附盘的吸附面为斜面;
从所述吸附面到达软模板最近距离的一端为吸附盘的揭取端,从所述吸附面到达软模板最远距离的一端为吸附盘的定位端;所述吸附嘴的吸附口径从所述吸附盘的揭取端向所述吸附盘的定位端逐渐减小,或,所述吸附嘴的分布密度从所述吸附盘的揭取端向所述吸附盘的定位端逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的软模板脱模机构,其特征在于,在所述机架上设有揭取驱动装置,所述揭取驱动装置的固定端与所述机架铰接,所述揭取驱动装置的传动端与所述吸附盘的揭取端铰接。
3.根据权利要求2所述的软模板脱模机构,其特征在于,所述吸附盘的定位端与所述机架铰接。
4.根据权利要求3所述的软模板脱模机构,其特征在于,在机架上设有向外延伸的第一铰接部,在所述吸附盘的定位端设有与所述第一铰接部位置相对应的第二铰接部,所述第一铰接部与所述第二铰接部铰接。
5.根据权利要求4所述的软模板脱模机构,其特征在于,所述吸附盘可在所述机架上升降。
6.根据权利要求5所述的软模板脱模机构,其特征在于,所述机架包括:升降板、固定板以及设置于所述升降板和所述固定板上的滑动组件,所述吸附盘设置于所述升降板上。
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Citations (4)
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|---|---|---|---|---|
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| CN1876394A (zh) * | 2005-06-07 | 2006-12-13 | 奥博杜卡特股份公司 | 分离装置和方法 |
| JP2013014118A (ja) * | 2011-07-06 | 2013-01-24 | Japan Steel Works Ltd:The | 微細構造体の剥離方法及び剥離装置 |
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