CN108231839A - 柔性显示面板的弯折区结构及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种柔性显示面板的弯折区结构。该弯折区结构包括：柔性基板；组合绝缘层，设置于柔性基板上；层间绝缘层，设置于组合绝缘层上，层间绝缘层和组合绝缘层中形成暴露部分柔性基板的过孔；有机层间绝缘层，填充到过孔中，其包括超出层间绝缘层的上表面且彼此间隔的两个凸块；走线换线层，设置于有机层间绝缘层上；平坦层，设置于走线换线层、有机层间绝缘层和层间绝缘层上；将过孔在层间绝缘层中的开口的宽度加宽，以使凸块的厚度与走线换线层的厚度之和小于平坦层的厚度。本发明通过加宽过孔在层间绝缘层中的开口的宽度，以使有机层间绝缘层的凸块下陷并降低其厚度，从而不会使走线换线层超出平坦层而被腐蚀，进而提高器件的稳定性。
Description
技术领域
本发明属于柔性显示技术领域，具体地讲，涉及一种柔性显示面板的弯折区结构及其制作方法。
背景技术
目前，柔性OLED显示面板弯折区(BendingArea)BA的走线的设计仍然采用第一走线(其与晶体管的栅极采用相同材料同时制成)GE1和第二走线(其与存储电容器的第一电容电极采用相同材料同时制成)GE2换线至走线换线层(其与晶体管的源漏极采用相同材料同时制成)SD的方式，这样可避免第一走线GE1和第二走线GE2由于应力较大而出现折断现象，具体结构如图1所示。在图1中，第一走线GE1、第二走线GE2与走线换线层SD均不在同一层，第一走线GE1和第二走线GE2分别通过过孔(未示出)与各自对应的走线换线层SD连接。其中，图1示出的深孔DH用于填充有机绝缘材料，以在弯折时更好地释放应力，将在下面进行描述。
图2是现有技术的柔性OLED显示面板的弯折区结构的示意图。参照图2，在现有的柔性OLED显示面板的弯折区中，层间绝缘层ILD为三层设计，其包括由SiO2制成的第一层间绝缘层ILD1、由SiNx制成的第二层间绝缘层ILD2以及由有机绝缘材料制成的有机层间绝缘层OILD。有机层间绝缘层OILD仅在弯折区中有，诸如显示区等其他区域没有有机层间绝缘层OILD。通常有机层间绝缘层OILD将灌入弯折区的深孔(Dip Hole)DH中，以提高弯折区的耐折性。此外，第一走线GE1形成在第一绝缘层GI1上，第二走线GE2形成在第二绝缘层GI2上，走线换线层SD形成在有机层间绝缘层OILD上，图2为了便于图示有机层间绝缘层OILD如何灌入过孔DH中，因此没有示出第一走线GE1和第二走线GE2。此外，在图2中，V2表示过孔DH在第一层间绝缘层ILD1和第二层间绝缘层ILD2中的开口宽度，V1表示两个凸块B1的外边缘之间的间距。
在实际制程中，有机层间绝缘层OILD在灌入过孔DH中后会在第二层间绝缘层ILD2上分别形成彼此间隔的两个凸块B1，这两个凸块B1的厚度均为1μm。如上所述，当走线换线层SD形成在有机层间绝缘层OILD上时，走线换线层SD的厚度为0.7μm。这样，凸块B1的厚度与走线换线层SD的厚度之和为1.7μm，而平坦层PLN的厚度为1.5μm，如此会导致凸块B1的走线换线层SD超出平坦层PLN，在后面进行阴极蚀刻(Anode Etch)时，会将超出平坦层PLN的走线换线层SD腐蚀掉，从而影响走线换线层SD与第一走线GE1和第二走线GE2的连接稳定性，进而影响器件特性。
发明内容
为了解决上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供一种能够降低凸块厚度以使凸块和走线换线层的厚度低于平坦层厚度的柔性显示面板的弯折区结构及其制作方法。
根据本发明的一方面，提供了一种柔性显示面板的弯折区结构，所述弯折区结构包括：柔性基板；组合绝缘层，设置于所述柔性基板上；层间绝缘层，设置于所述组合绝缘层上，所述层间绝缘层和所述组合绝缘层中形成暴露部分所述柔性基板的过孔；有机层间绝缘层，填充到所述过孔中，所述有机层间绝缘层包括超出所述层间绝缘层的上表面且彼此间隔的两个凸块；走线换线层，设置于所述有机层间绝缘层上；平坦层，设置于所述走线换线层、有机层间绝缘层和层间绝缘层上；其中，将所述过孔在所述层间绝缘层中的开口的宽度加宽，以使所述凸块的厚度与所述走线换线层的厚度之和小于所述平坦层的厚度。
进一步地，所述两个凸块之间的间距保持不变。
进一步地，所述层间绝缘层包括：第一层间绝缘层，设置于所述组合绝缘层上；第二层间绝缘层，设置于所述第一层间绝缘层上；其中，所述层间绝缘层的上表面为所述第二层间绝缘层的上表面；所述过孔在所述层间绝缘层中的开口包括所述过孔在所述第一层间绝缘层中的开口以及所述过孔在所述第二层间绝缘层中的开口。
进一步地，所述组合绝缘层包括：层间缓冲层，设置于所述柔性基板上；第一绝缘层，设置于所述层间缓冲层上；第二绝缘层，设置于所述第一绝缘层上；其中，所述第一层间绝缘层设置于所述第二绝缘层上。
进一步地，所述柔性基板包括：第一柔性基板；板间缓冲层，设置于所述第一柔性基板上；第二柔性基板，设置于所述板间缓冲层上；其中，所述层间缓冲层设置于所述第二柔性基板上。
根据本发明的另一方面，还提供了一种柔性显示面板的弯折区结构的制作方法，其包括：制作形成柔性基板；在所述柔性基板上制作形成组合绝缘层；在所述组合绝缘层上制作形成层间绝缘层；在所述层间绝缘层和所述组合绝缘层中制作形成暴露部分所述柔性基板的过孔，且将所述过孔在所述层间绝缘层中的开口的宽度加宽；
在所述过孔中填充有机层间绝缘层，且使所述有机层间绝缘层具有超出所述层间绝缘层的上表面且彼此间隔的两个凸块；在所述有机层间绝缘层上制作形成走线换线层；在所述走线换线层、所述有机层间绝缘层和所述层间绝缘层上制作形成平坦层，所述凸块的厚度与所述走线换线层的厚度之和小于所述平坦层的厚度。
进一步地，保持所述两个凸块之间的间距不变。
进一步地，制作形成所述层间绝缘层的方法包括：在所述组合绝缘层上制作形成第一层间绝缘层；在所述第一层间绝缘层上制作形成第二层间绝缘层；其中，所述层间绝缘层的上表面为所述第二层间绝缘层的上表面；所述过孔在所述层间绝缘层中的开口包括所述过孔在所述第一层间绝缘层中的开口以及所述过孔在所述第二层间绝缘层中的开口。
进一步地，制作形成所述组合绝缘层的方法包括：在所述柔性基板上制作形成层间缓冲层；在所述层间缓冲层上制作形成第一绝缘层；在所述第一绝缘层上制作形成第二绝缘层；其中，所述第一层间绝缘层制作形成于所述第二绝缘层上。
进一步地，制作形成所述柔性基板的方法包括：制作形成第一柔性基板；在所述第一柔性基板上制作形成板间缓冲层；在所述板间缓冲层上制作形成第二柔性基板；其中，所述层间缓冲层制作形成于所述第二柔性基板上。
本发明的有益效果：本发明的弯折区结构中通过加宽过孔在层间绝缘层中的开口的宽度，以使有机层间绝缘层的凸块下陷并降低厚度，从而凸块与走线换线层的厚度之和小于平坦层的厚度之和，不会使走线换线层超出平坦层而出现腐蚀现象，进而提高器件的稳定性。
附图说明
通过结合附图进行的以下描述，本发明的实施例的上述和其它方面、特点和优点将变得更加清楚，附图中：
图1是现有技术的柔性OLED显示面板的弯折区的走线结构的示意图；
图2是现有技术的柔性OLED显示面板的弯折区结构的示意图；
图3是根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的显示区结构的示意图；
图4是根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板弯折区结构的示意图。
具体实施方式
以下，将参照附图来详细描述本发明的实施例。然而，可以以许多不同的形式来实施本发明，并且本发明不应该被解释为限制于这里阐述的具体实施例。相反，提供这些实施例是为了解释本发明的原理及其实际应用，从而使本领域的其他技术人员能够理解本发明的各种实施例和适合于特定预期应用的各种修改。
在附图中，为了清楚起见，夸大了层和区域的厚度。相同的标号在整个说明书和附图中表示相同的元器件。
将理解的是，尽管在这里可使用术语“第一”、“第二”等来描述各种元件，但是这些元件不应受这些术语的限制。这些术语仅用于将一个元件与另一个元件区分开来。
将理解的是，当诸如层、膜、区域或基底等的元件被称作“在”另一元件“上”时，该元件可以直接在所述另一元件上，或者也可以存在中间元件。可选择地，当元件被称作“直接在”另一元件“上”时，不存在中间元件。
图3是根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的显示区结构的示意图。
参照图3，根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的显示区结构包括：柔性基板100、层间缓冲层110、有源层120、源极130a、漏极130b、第一绝缘层140、栅极150、第二绝缘层160、第一电容电极170、第一层间绝缘层180a、第二层间绝缘层180b、源极接触层190a、漏极接触层190b、平坦层200、阴极210、像素限定层220、有机发光层(或称OLED功能层)230、阳极240。
具体地，柔性基板100包括第一柔性基板101、设置于第一柔性基板101上的板间缓冲层102以及设置于板间缓冲层102上的第二柔性基板103。第一柔性基板101和第二柔性基板103采用聚酰亚胺(PI)或者其他合适的柔性材料制作形成。
层间缓冲层110设置于第二柔性基板103上。有源层120、源极130a和漏极130b设置于层间缓冲层110，并且源极130a和漏极130b分别位于有源层120的两侧。
第一绝缘层140设置于有源层120、源极130a、漏极130b和层间缓冲层110上。栅极150设置于第一绝缘层140上。第二绝缘层160设置于第一绝缘层140和栅极150上。第一电容电极170设置于第二绝缘层160上，并且第一电容电极170与栅极150相对。在本实施例中，栅极150除作为晶体管的栅极使用之外，栅极150还可以同时作为第二电容电极使用以与第一电容电极170形成存储电容器(未示出)。
第一层间绝缘层180a设置于第一电容电极170和第二绝缘层160上。第一层间绝缘层180a由SiO2制成。第二层间绝缘层180b设置于第一层间绝缘层180a上，第二层间绝缘层180b由SiNx制成。
源极接触层190a和漏极接触层190b设置于第二层间绝缘层180b上，源极接触层190a和漏极接触层190b贯穿第二层间绝缘层180b、第一层间绝缘层180a、第二绝缘层160和第一绝缘层140之后分别与源极130a和漏极130b接触。
平坦层200设置于源极接触层190a、漏极接触层190b和第二层间绝缘层180b上。阴极210设置于平坦层200上，并且阴极210贯穿平坦层200之后与漏极接触层190b接触。
像素限定层220设置于平坦层200和阴极210上，像素限定层220中具有过孔(未标示)，该过孔将部分阴极210暴露。有机发光层230设置于暴露的阴极210上，阳极240设置于有机发光层230上。
图4是根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的弯折区结构的示意图。
参照图4，根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的弯折区结构包括：柔性基板100、组合绝缘层100A、层间绝缘层180、有机层间绝缘层180c、走线换线层190c、平坦层200、像素限定层220。在图4中，为了便于图示有机层间绝缘层180c的灌孔效果，没有图示走线结构。应当理解的是，根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的弯折区结构可以具有图1所示的第一走线GE1和第二走线GE2等，但本发明并不限制于此。
具体地，柔性基板100包括第一柔性基板101、设置于第一柔性基板101上的板间缓冲层102以及设置于板间缓冲层102上的第二柔性基板103。第一柔性基板101和第二柔性基板103采用聚酰亚胺(PI)或者其他合适的柔性材料制作形成。
组合绝缘层100A设置在第二柔性基板103上。进一步地，组合绝缘层100A包括层间缓冲层110、第一绝缘层140、第二绝缘层160。层间缓冲层110、第一绝缘层140、第二绝缘层160依序叠层设置于第二柔性基板103上。
层间绝缘层180设置于组合绝缘层100A上。具体地，层间绝缘层180设置于第二绝缘层160上。进一步地，层间绝缘层包括第一层间绝缘层180a和第二层间绝缘层180b，第一层间绝缘层180a和第二层间绝缘层180b顺序叠层设置在第二绝缘层160上。
层间缓冲层110、第一绝缘层140、第二绝缘层160、第一层间绝缘层180a和第二层间绝缘层180b中形成过孔DH，该过孔DH暴露部分的第二柔性基板103。有机层间绝缘层180c灌入填充过孔DH，并且有机层间绝缘层180c包括超出所述层间绝缘层180的第二层间绝缘层180b的上表面且彼此间隔的两个凸块181。
走线换线层190c设置于所述有机层间绝缘层180上。走线换线层190c可以与根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的弯折区结构具有的图1所示的第一走线GE1和第二走线GE2等走线进行连接，以实现走线换线。
平坦层200设置于走线换线层190c、有机层间绝缘层180c和层间绝缘层180的第二层间绝缘层180b上。像素限定层220设置于平坦层200上。
在本实施例中，将过孔DH在层间绝缘层180中的开口的宽度加宽，以使所述凸块181的厚度降低。进一步地，将过孔DH在第一层间绝缘层180a和第二层间绝缘层180b中的开口的宽度进行加宽，以使所述凸块181的厚度降低，进而使凸块181的厚度与走线换线层190c的厚度之和小于平坦层200的厚度。
在图4中，V2’表示过孔DH在第一层间绝缘层180a和第二层间绝缘层180b中的开口的宽度。与图1中的V2比较，V2’大于V2，这样可使凸块181下陷入过孔DH内，从而降低凸块181的厚度。
进一步地，在本实施例中，V1表示两个凸块181的之间的间距，或者表示两个凸块181的外边缘之间的间距。图4所示的V1与图1所示的V1相等，也就是说，在本实施例中保持两个凸块181的之间的间距或者说两个凸块181的外边缘之间的间距不变。
如此，根据本发明的实施例的柔性OLED显示面板的弯折区结构通过加宽过孔在层间绝缘层中的开口的宽度，以使有机层间绝缘层的凸块下陷并降低厚度，从而凸块与走线换线层的厚度之和小于平坦层的厚度之和，不会使走线换线层超出平坦层而出现腐蚀现象，进而提高器件的稳定性。
虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。
Claims (10)
1.一种柔性显示面板的弯折区结构，其特征在于，所述弯折区结构包括：
柔性基板；
组合绝缘层，设置于所述柔性基板上；
层间绝缘层，设置于所述组合绝缘层上，所述层间绝缘层和所述组合绝缘层中形成暴露部分所述柔性基板的过孔；
有机层间绝缘层，填充到所述过孔中，所述有机层间绝缘层包括超出所述层间绝缘层的上表面且彼此间隔的两个凸块；
走线换线层，设置于所述有机层间绝缘层上；
平坦层，设置于所述走线换线层、有机层间绝缘层和层间绝缘层上；
其中，将所述过孔在所述层间绝缘层中的开口的宽度加宽，以使所述凸块的厚度与所述走线换线层的厚度之和小于所述平坦层的厚度。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板的弯折区结构，其特征在于，所述两个凸块之间的间距保持不变。
3.根据权利要求1或2所述的柔性显示面板的弯折区结构，其特征在于，所述层间绝缘层包括：
第一层间绝缘层，设置于所述组合绝缘层上；
第二层间绝缘层，设置于所述第一层间绝缘层上；
其中，所述层间绝缘层的上表面为所述第二层间绝缘层的上表面；所述过孔在所述层间绝缘层中的开口包括所述过孔在所述第一层间绝缘层中的开口以及所述过孔在所述第二层间绝缘层中的开口。
4.根据权利要求3所述的柔性显示面板的弯折区结构，其特征在于，所述组合绝缘层包括：
层间缓冲层，设置于所述柔性基板上；
第一绝缘层，设置于所述层间缓冲层上；
第二绝缘层，设置于所述第一绝缘层上；
其中，所述第一层间绝缘层设置于所述第二绝缘层上。
5.根据权利要求4所述的柔性显示面板的弯折区结构，其特征在于，所述柔性基板包括：
第一柔性基板；
板间缓冲层，设置于所述第一柔性基板上；
第二柔性基板，设置于所述板间缓冲层上；
其中，所述层间缓冲层设置于所述第二柔性基板上。
6.一种柔性显示面板的弯折区结构的制作方法，其特征在于，包括：
制作形成柔性基板；
在所述柔性基板上制作形成组合绝缘层；
在所述组合绝缘层上制作形成层间绝缘层；
在所述层间绝缘层和所述组合绝缘层中制作形成暴露部分所述柔性基板的过孔，且将所述过孔在所述层间绝缘层中的开口的宽度加宽；
在所述过孔中填充有机层间绝缘层，且使所述有机层间绝缘层具有超出所述层间绝缘层的上表面且彼此间隔的两个凸块；
在所述有机层间绝缘层上制作形成走线换线层；
在所述走线换线层、所述有机层间绝缘层和所述层间绝缘层上制作形成平坦层，所述凸块的厚度与所述走线换线层的厚度之和小于所述平坦层的厚度。
7.根据权利要求6所述的制作方法，其特征在于，保持所述两个凸块之间的间距不变。
8.根据权利要求6或7所述的制作方法，其特征在于，制作形成所述层间绝缘层的方法包括：
在所述组合绝缘层上制作形成第一层间绝缘层；
在所述第一层间绝缘层上制作形成第二层间绝缘层；
其中，所述层间绝缘层的上表面为所述第二层间绝缘层的上表面；所述过孔在所述层间绝缘层中的开口包括所述过孔在所述第一层间绝缘层中的开口以及所述过孔在所述第二层间绝缘层中的开口。
9.根据权利要求8所述的制作方法，其特征在于，制作形成所述组合绝缘层的方法包括：
在所述柔性基板上制作形成层间缓冲层；
在所述层间缓冲层上制作形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层上制作形成第二绝缘层；
其中，所述第一层间绝缘层制作形成于所述第二绝缘层上。
10.根据权利要求9所述的制作方法，其特征在于，制作形成所述柔性基板的方法包括：
制作形成第一柔性基板；
在所述第一柔性基板上制作形成板间缓冲层；
在所述板间缓冲层上制作形成第二柔性基板；
其中，所述层间缓冲层制作形成于所述第二柔性基板上。
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