CN108149306A - 具备夹具的保持器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具备夹具的保持器。在夹具(1)中，第1夹持部件(10)具有第1基部(11)及能接触板状的被处理物(W)的其中一侧表面的第1接触部(12)，第2夹持部件(20)具有能接触被处理物(W)的另一侧表面的第2接触部(22)，夹持部件施力单元(30)对第1夹持部件(10)及第2夹持部件(20)的至少其中之一施加向第1接触部(12)和第2接触部(22)接近的方向的力。第1接触部(12)具有从第1基部(11)延伸的多个板弹簧部(15)。各板弹簧部(15)彼此独立地能弹性变形而接触被处理物(W)。据此，能够抑制被处理物的夹紧位置偏移和该被处理物脱离夹具。

Description

具备夹具的保持器

本申请是申请号为201410390185.1、申请日为2014年8月8日、发明名称为“夹具及具备该夹具的保持器”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种在将被处理物浸渍于镀敷液等表面处理液中进行镀敷处理等表面处理时用于夹持板状的被处理物的夹具、以及具备该夹具的保持器。

背景技术

以往，众所周知的是一种能将印刷基板、玻璃基板等板状被处理物以等间隔配置的状态加以保持的保持器(筐体)。例如在日本专利公报第4914780号中所公开的筐体中，通过长方体形状的支撑框而形成被处理物的保持空间。在架设于该支撑框的支柱间的梁部中的彼此相对置的梁部，分别设置有保持被处理物的侧部保持部。侧部保持部等间隔地设置于梁部。通过将被处理物的侧部(缘部)从上方插入侧部保持部间，多个被处理物可等间隔地被加以保持。

另外，在日本专利公报第3348092号及日本实用新型公报第3153550号中，公开了能将较薄且具有柔软性的被处理物以展开的状态加以保持的保持器。具体而言，日本专利公报第3348092号的图1(a)、(b)所公开的保持器，具备对辅助框部施加向被处理物伸展的方向的力的导电性伸展部件。日本实用新型公报第3153550号的图6所公开的保持器，具备通过施力单元将被处理物的下端部向下方拉伸的结构。

另外，在日本实用新型公报第3153551号及日本实用新型公开公报实开平5-74677号中，公开了设置有用于夹持被处理物的夹具的保持器。具体而言，日本实用新型公报第3153551号的图3、4所公开的夹具，包括具有第1夹持面的第1夹紧杆和具有第2夹持面的第2夹紧杆，在夹持被处理物时，第1夹持面和第2夹持面接触被处理物。日本实用新型公开公报实开平5-74677号的图1(A)、(B)所公开的夹具，包括夹持部被设成曲面的弯折部件。

在上述的现有技术中存在如下情况，即，在让保持被处理物的保持器(筐体)进出镀敷液时、或浸渍于镀敷液中时，受液流影响，被处理物的夹紧位置发生偏移而导致被处理物弯曲，或有时被处理物脱离夹具。在这种情况下，被处理物有时受损伤，或引起镀敷不良。

发明内容

本发明的目的在于提供一种夹具，能够抑制板状被处理物的夹紧位置偏移且能够抑制该被处理物脱离该夹具。本发明的目的还在于提供一种具备该夹具的保持器。

本发明提供一种夹具，该夹具设置于将板状的被处理物浸渍于表面处理液中时所使用的保持器中，且夹持所述被处理物。所述夹具包括第1夹持部件、第2夹持部件及夹持部件施力单元。所述第1夹持部件具有第1基部以及接触所述被处理物的一侧表面的第1接触部。所述第2夹持部件具有接触所述被处理物的另一侧表面的第2接触部。所述夹持部件施力单元对所述第1夹持部件及所述第2夹持部件的至少其中之一施加向所述第1接触部和所述第2接触部接近的方向的力。所述第1接触部具有从所述第1基部延伸的多个板弹簧部，各所述板弹簧部彼此独立地能弹性变形而接触所述被处理物。

根据本发明，能够抑制板状被处理物的夹紧位置偏移，并且能够抑制该被处理物脱离夹具。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式的夹具的夹持部件的立体图。

图2A是表示所述夹持部件的正视图，图2B是表示该夹持部件的俯视图，图2C是表示该夹持部件的左侧视图。

图3A是表示第1实施方式的夹具的正视图，图3B是该夹具的俯视图，图3C是该夹具的左侧视图。

图4A是表示所述夹具的夹持部件施力单元的正视图，图4B是该夹持部件施力单元的侧视图。

图5A是表示所述夹具的支撑部件的俯视图，图5B是该支撑部件的后视图，图5C是该支撑部件的侧视图。图5D是表示将所述夹持部件连结于该支撑部件的连结轴的正视图。

图6A是表示第2实施方式的夹具的正视图，图6B是该夹具的俯视图，图6C是该夹具的右侧视图。

图7是表示本发明的一实施方式的侧部夹紧式的保持器的立体图。

图8A是表示侧部夹紧式的保持器的正视图，图8B是该保持器的俯视图，图8C是该保持器的侧视图。

图9是表示本发明的一实施方式的上下夹紧式的保持器的立体图。

图10A是表示上下夹紧式的保持器的正视图，图10B是该保持器的俯视图，图10C是该保持器的侧视图。

图11A是表示上下夹紧式的保持器的支撑框的正视图，图11B是表示该支撑框的俯视图，图11C是表示该支撑框的侧视图。

图12是表示上下夹紧式的保持器的外框的正视图。

图13是表示将所述第1保持部件与所述第2保持部件的连结部分放大后的立体图。

图14是表示在所述上下夹紧式的保持器的所述支撑框上安装有所述外框的状态的放大图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式的夹具1及具备该夹具1的保持器101、102进行详细说明。夹具1用于夹持板状的被处理物W的缘部以使被处理物W保持稳定的姿势。夹具1设置于将被处理物W浸渍于表面处理液中时所使用的保持器101、102。保持器101、102将板状的多个被处理物W以彼此隔开间隔的状态加以保持。

所述表面处理液包含镀敷液、预处理液、后处理液、除胶渣液、清洗液、催化赋予液、蚀刻液、活化液、还原液等。下面，以所述表面处理液为镀敷液的情形为例进行说明，但并不限定于此。所述表面处理液也可以为镀敷液以外的上述任何一种液体。

[夹具]

(第1实施方式)

图1是表示本发明的第1实施方式的夹具1的第1夹持部件10及第2夹持部件20的立体图。图2A是表示第1夹持部件10及第2夹持部件20的正视图，2B是其俯视图，图2C是其左侧视图。图3A是表示第1实施方式的夹具1的正视图，图3B是其俯视图，图3C是其左侧视图。图4A是表示夹具1的夹持部件施力单元30的正视图，图4B是其侧视图。

第1实施方式的夹具1包括第1夹持部件10、第2夹持部件20、一对夹持部件施力单元30、30、一对支撑部件40、40以及一对连结轴45、45。

如图3B及图3C所示，夹具1被支撑于例如保持部件50。在保持部件50上安装多个夹具1。作为保持部件50，可举出例如平板状部件、杆状部件等。在将多个夹具1沿一个方向隔开间隔进行排列的情况下，优选保持部件50在一个方向为较长的形状。作为保持部件50，可举出例如下述的保持器101、102的第1保持部件51或第2保持部件52等。

在图3B及图3C所示的第1实施方式中，第1夹持部件10设置于平板状的保持部件50的一侧的主面50a侧，第2夹持部件20设置于保持部件50的另一侧的主面50b侧。在本实施方式中，第1夹持部件10通过支撑部件40及连结轴45而被支撑于保持部件50的主面50a，第2夹持部件20通过支撑部件40及连结轴45而被支撑于保持部件50的主面50b。

图5A是表示夹具1的支撑部件40的俯视图，图5B是其后视图，图5C是其侧视图。图5D是表示将夹持部件10、20连结于支撑部件40的连结轴45的正视图。如图5A、图5B及图5C所示，支撑部件40具有平板状的主壁41、以及从主壁41的两侧部向相同方向竖立的一对侧壁42、42。主壁41的一侧的主面41a为与第1夹持部件10或第2夹持部件20相对置的对置面41a。主壁41的另一侧的主面41b为与保持部件50的主面50a或主面50b接合的接合面41b。主壁41的接合面41b可通过采用例如焊接等接合方法而与保持部件50的主面50a或主面50b接合。在一对侧壁42、42上分别设置有供图5D所示的连结轴45穿插的贯穿孔42a。

第1夹持部件10及第2夹持部件20具有相互协作来夹持被处理物W的功能。第1夹持部件10和第2夹持部件20能够向夹持被处理物W的缘部的方向和离开被处理物W的方向彼此相对移动。在本实施方式中，一对夹持部件施力单元的一者30对第1夹持部件10施力，一对夹持部件施力单元的另一者30对第2夹持部件20施力。但是，也可以采用由1个夹持部件施力单元30对第1夹持部件10和第2夹持部件20施力的方式。

如图3所示，在第1实施方式中，第2夹持部件20具有与第1夹持部件10相同的结构。因此，在图1～图3中，对第1夹持部件10及第2夹持部件20的详细部分的结构赋予相同的符号。此外，第2夹持部件20也可以如下述的第2实施方式所述具有与第1夹持部件10不同的结构。

如图1、图2A、图2B及图2C所示，第1夹持部件10具有基部11(第1基部11)及接触部12(第1接触部12)。同样，第2夹持部件20也具有基部11(第2基部11)及接触部12(第2接触部12)。

基部11具有用于连结第1夹持部件10与第2夹持部件20的功能。基部11还具有通过接受夹持部件施力单元30所施加的力，使第1接触部12与第2接触部12向相互接近的方向移动的功能。另外，基部11还具有支撑接触部12的功能。

基部11具有平板状的主壁13、以及从主壁13的两侧向相同方向竖立的一对侧壁14、14。主壁13的一侧的主面13a为与支撑部件40的主壁41的主面41a相对置的对置面13a。在一对侧壁14、14上分别设置有供连结轴45穿插的贯穿孔14a。如图3A、图3B及图3C所示，连结轴45可在基部11的贯穿孔14a与支撑部件40的贯穿孔42a排列在同一轴上的状态下穿插于这些贯穿孔14a、42a中。由此，第1夹持部件10(第2夹持部件20)以相对于保持部件50(支撑部件40)能以连结轴45为中心转动的状态而被支撑于保持部件50(支撑部件40)。

夹持部件施力单元30被配置在基部11与支撑部件40之间的空间中。在本实施方式中，夹持部件施力单元30为如图4A及图4B所示的扭转弹簧(螺旋弹簧)。扭转弹簧30通过连结轴45穿插于其内侧而被支撑在连结轴45上。

此外，夹持部件施力单元30只要能够对第1夹持部件10及第2夹持部件20施力即可，也可为弹簧以外的施力单元。另外，在第1实施方式中，夹持部件施力单元30为扭转弹簧，但并不限定于此，也可为例如板弹簧等其他施力单元。

图4A及图4B所示的扭转弹簧30具有多个线圈31、32被连结的结构，但并不限定于此。扭转弹簧30也可以仅具有单一线圈31。扭转弹簧30的第1线圈31的一端部33和第2线圈32的一端部36例如以接触主面13a及主面41a的其中一者的方式而配置，扭转弹簧30的第1线圈31的另一端部34与第2线圈32的另一端部35例如以接触主面13a及主面41a的另一者的方式而配置。由此，扭转弹簧30可对基部11施加向基部11和支撑部件40相互远离的方向的力。即，可对基部11施加向朝外侧展开的方向的力。因此，相对于连结轴45位于基部11的相反侧的接触部12被施加向内侧方向的力。其结果，第1接触部12与第2接触部12被施加向相互接近的方向的力。此外，在本实施方式中，第1线圈31的另一端部34与第2线圈32的另一端部35通过连结部37相连接，但并不限定于此，也可以不连接。

在图4B中，实线所示的第1线圈31的另一端部34与第2线圈32的另一端部35表示如图3C中实线所示第1接触部12与第2接触部12相互接近时、即被处理物W被夹持后的状态。在图4B中，双点划线所示的第1线圈31的另一端部34与第2线圈32的另一端部35表示如图3C中双点划线所示第1接触部12与第2接触部12相互远离时、即被处理物W被夹持前的状态。

第1夹持部件10的第1接触部12及第2夹持部件20的第2接触部12具有夹持并保持被处理物W的功能。如图3C所示，第1接触部12接触被处理物W的一侧表面S1，第2接触部22接触被处理物W的另一侧表面S2。

各接触部12具有从基部11延伸的多个板弹簧部15(本实施方式中为3个板弹簧部15)。各板弹簧部15彼此沿相同的方向延伸。各板弹簧部15彼此独立地能弹性变形而接触被处理物W。

如图1～图3所示，多个板弹簧部15彼此隔开间隔而被设置。在图1～图3所示的实施方式中，两侧部的板弹簧部15、15的宽度小于位于它们之间的板弹簧部15的宽度，但并不限定于此。

各板弹簧部15包含从基部11延伸的延伸部16及在延伸部16的端部弯折的折返部17。折返部17具有接触被处理物W的接触面17a。各板弹簧部15如图2C所示从侧面看呈大致U字形状、大致V字形状等弯折形状。如图3C所示，第1夹持部件10和第2夹持部件20以第1夹持部件10的折返部17与第2夹持部件20的折返部17相对置的方式而配置。

延伸部16向远离基部11的主壁13的方向延伸。延伸部16向与主壁13所成的角度为钝角的方向延伸。即，延伸部16的延伸方向相对于主壁13的延伸方向向内侧(被处理物W侧)倾斜。

折返部17从延伸部16的端部向接近基部11的方向延伸。优选，对折返部17相对于延伸部16的弯折角度θ(参照图2C)进行调节，以使接触面17a与被处理物W面接触。在本实施方式中，折返部17与主壁13大致平行，但并不限定于此。

(第2实施方式)

图6A是表示第2实施方式的夹具1的正视图，图6B是其俯视图，图6C是其右侧视图。如图6A、图6B及图6C所示，第2实施方式的夹具1的第2夹持部件20的结构与第1实施方式不同。在第2实施方式中，第1夹持部件10与第1实施方式相同，因此省略详细说明。

第2夹持部件20具有接触被处理物W的另一侧表面S2的第2接触部22。第1接触部12能向接近和离开第2接触部22的方向相对移动。在本实施方式中，第2接触部22处于大致静止的状态，第1接触部12向接近和离开第2接触部22的方向移动。

第2夹持部件20的第2接触部22不具有像第1夹持部件10的第1接触部12那样的板弹簧部15。在图6A、图6B及图6C所示的第2实施方式中，第2接触部22为平板形状。如图6C所示，第2接触部22例如连接在保持部件50的下端部，但并不限定于此。

在该第2实施方式中，由于可使夹具1的第1夹持部件和第2夹持部件的其中之一(本实施方式中为第2夹持部件20)为简单的形状，因此可以降低成本。

[保持器]

接下来，对本发明的一实施方式的保持器101、102进行说明。作为用于保持器101、102的夹具1，可使用上述的第1实施方式的夹具1、第2实施方式的夹具1等，但并不限定于上述的实施方式的夹具1，也可使用其他的夹具1。

(侧部夹紧式的保持器)

首先，对本发明的一实施方式的侧部夹紧式的保持器101进行说明。图7是表示本发明的一实施方式的侧部夹紧式的保持器的立体图。图8A是表示侧部夹紧式的保持器101的正视图，图8B是其俯视图，图8C是其侧视图。

如图7及图8A、图8B及图8C所示，侧部夹紧式的保持器(筐体)101为用于将板状的多个被处理物W以彼此隔开间隔的状态加以保持的保持器。保持器101包括多个上述的夹具1、多个第1保持部件51、多个第2保持部件52、多个固定部件53、支撑框60及保持部件施力单元70。

支撑框60形成供将处在被多个第1保持部件51及多个第2保持部件52保持的状态下的多个被处理物W彼此隔开间隔而配置的空间S。支撑框60是由多个框架部件组合成长方体状的框体，在支撑框60内形成长方体形状的空间S。该空间S与印刷基板等被处理物W的大小相对应，并且形成可在厚度方向上排列多个该被处理物W的大小。在被处理物W为印刷基板时，其形状为矩形状。而且，在所述空间中，多个印刷基板沿其厚度方向排列。因此，支撑框60的所述空间形成长方体形状。而且，支撑框60的上部敞开。支撑框60的上部作为被处理物W的插入口60a。由此，通过支撑框60的插入口60a，可以进行被处理物W的放进取出，具体而言可以进行被处理物W的自动装载及自动卸载。

所述多个框架部件包含：组合成矩形状的下部框架61；在该下部框架61的上方组合成矩形状的上部框架62；连接下部框架61与上部框架62的一侧部(例如左侧部)的一对侧部框架63、63；以及连接下部框架61与上部框架62的另一侧部(例如右侧部)的一对侧部框架64、64。各侧部框架向上下方向延伸。

下部框架61包括从一侧部延伸至另一侧部的一对长条框架61a、61a及一对短条框架61b、61b。短条框架的一者61b在一侧部连接长条框架61a、61a的各一端部，短条框架的另一者61b在另一侧部连接长条框架61a、61a的各另一端部。

上部框架62包括从一侧部延伸至另一侧部的一对长条框架62a、62a、以及一对短条框架62b、62b。短条框架的一者62b在一侧部连接长条框架62a、62a的各一端部，短条框架的另一者62b在另一侧部连接长条框架62a、62a的各另一端部。

加强框架65、65连接一对侧部框架63、63，加强框架66、66连接一对侧部框架64、64。另外，加强框架67、67连接下部框架61相对置的两个框架。

多个(本实施方式为3个)固定部件53设置于支撑框60的一侧缘。即，多个固定部件53设置在支撑框60中长条框架61a、62a的延伸方向D1的一侧缘。具体而言，各固定部件53为沿上下方向D3延伸的平板状的框架，多个固定部件53在支撑框60的一侧缘沿短条框架61b、62b的延伸方向D2彼此隔开间隔地排列。各固定部件53在支撑框60的一侧缘被固定于支撑框60。

多个(本实施方式为3个)第1保持部件51设置于支撑框60的一侧缘。具体而言，各第1保持部件51为沿上下方向D3延伸的平板状的框架。各第1保持部件51配置在与对应的固定部件53邻接的位置上。各第1保持部件51设置在与固定部件53相比更靠第2保持部件52侧。

多个(本实施方式为3个)第2保持部件52设置于支撑框60的另一侧缘。具体而言，各第2保持部件52为沿上下方向D3延伸的平板状的框架。多个第2保持部件52在另一侧部沿短条框架61b、62b的延伸方向D2彼此隔开间隔地排列。各第2保持部件52在另一侧部被固定于支撑框60。

多个夹具1被保持在各第1保持部件51上。在各第1保持部件51上，多个夹具1彼此隔开间隔地沿上下方向排列。多个夹具1被保持在各第2保持部件52上。在各第2保持部件52上，多个夹具1彼此隔开间隔地沿上下方向排列。各被处理物W的一侧缘部(例如左侧缘部)被设置于第1保持部件51的多个夹具1所夹持，被处理物W的另一侧缘部(例如右侧缘部)被设置于第2保持部件52的多个夹具1所夹持。由此，如图8A、图8B及图8C所示，多个被处理物W可稳定地保持在支撑框60的空间S中。

如果列举安装方法的具体例，则如下所述。首先，在被处理物W的另一侧缘部安装设置于第2保持部件52的多个夹具1。然后，当在被处理物W的一侧缘部安装夹具1时，在反抗保持部件施力单元70所施加的力而使第1保持部件51朝第1保持部件51离开固定部件53的方向(使第1保持部件51接近被处理物W侧的方向)移动的状态下，将设置于第1保持部件51的多个夹具1安装在被处理物W的一侧缘部。

各第1保持部件51通过至少1个保持部件施力单元70而被施加向接近所对应的固定部件53的方向的力。换言之，保持部件施力单元70对第1保持部件51施加向第1保持部件51远离第2保持部件52的水平方向的力。在本实施方式中，保持部件施力单元70为扭转弹簧，但并不限定于此。保持部件施力单元70的一端部固定于固定部件53，保持部件施力单元70的另一端部固定于第1保持部件51。

在本实施方式中，固定部件53具有沿水平方向延伸的1个或多个引导部58。本实施方式中，引导部58具有沿水平方向朝第2保持部件52侧延伸的槽形状。第1保持部件51具有沿水平方向延伸且卡合于引导部58的1个或多个卡合部55。在本实施方式中，卡合部55具有沿水平方向朝固定部件53侧延伸的杆形状(导轨状)。由此，第1保持部件51可相对于固定部件53沿引导部58在水平方向上稳定地移动。

通过包括以上结构，多个被处理物W如图8A、图8B及图8C所示能以伸展的状态保持在支撑框60的空间S中。

此外，在本实施方式中，优选，在将被处理物W插入空间S中时，支撑框60如图7所示以插入口60a位于空间S的上方的姿势而配置，当配置在空间S中的多个被处理物W被浸渍于未图示的镀敷液中时，支撑框60以旋转90度的姿势，即以插入口60a位于空间的侧方、且第1保持部件51位于第2保持部件52的下方的姿势配置。但是，当在镀敷液中浸渍时，并非必须旋转90度，支撑框60也能以插入口60a位于空间S的上方的姿势浸渍于镀敷液中。

另外，在本实施方式中，保持部件施力单元70仅设置于支撑框60的一侧缘，但并不限定于此。保持部件施力单元70也可设置在支撑框60的两侧缘。

(上下夹紧式的保持器)

接下来，对本发明的一实施方式的上下夹紧式的保持器102进行说明。图9是表示本发明的一实施方式的上下夹紧式的保持器102的立体图。图10A是表示上下夹紧式的保持器102的正视图，图10B是其俯视图，图10C是其侧视图。图11A是表示上下夹紧式的保持器102的支撑框60的正视图，图11B是表示支撑框60的俯视图，图11C是表示支撑框60的侧视图。图12是表示上下夹紧式的保持器102的外框54的正视图。

如图9及图10A、图10B及图10C所示，上下夹紧式的保持器(筐体)102为用于将板状的多个被处理物W以彼此隔开间隔的状态加以保持的保持器。保持器102包括多个上述的夹具1、多个第1保持部件51、多个第2保持部件52、支撑框60及保持部件施力单元70。上下夹紧式的保持器102与侧部夹紧式的保持器101的不同之处在于，第1保持部件51及第2保持部件52构成与支撑框60独立的外框54的一部分。

如图12所示，外框54包含第1保持部件51(上框部件51)、相对于第1保持部件51隔开间隔地设置于下方的第2保持部件52(下框部件52)、一对上纵框部件56、56及一对下纵框部件57、57。一对上纵框部件56、56连接于第1保持部件51的两侧部，且向下方延伸。一对下纵框部件57、57连接于第2保持部件52的两侧部，且向上方延伸。在本实施方式中，上纵框部件56的长度大于下纵框部件57的长度，但并不限定于此。上纵框部件56的长度也可以小于下纵框部件57的长度，也可以与下纵框部件57的长度相同。一侧部的上纵框部件56与下纵框部件57以能在上下方向相对移动的状态连结，另一侧部的上纵框部件56与下纵框部件57以能在上下方向相对移动的状态连结。具体而言为如下所述。

图13是将第1保持部件51与第2保持部件52的连结部分放大后的立体图。如图12及图13所示，在下纵框部件57上设置有沿上下方向延伸的作为外框引导部的狭缝90。在上纵框部件56上固定有第1销91及第2销92。第2销92与第1销91隔开间隔地设置于下方。第1销91及第2销92插入狭缝90中。在第1销91及第2销92上分别安装防脱部件94(E形环94)。下纵框部件57配置在上纵框部件56与防脱部件94之间。由此，上纵框部件56与下纵框部件57的连结状态得以维持。

在下纵框部件57上，在狭缝90的上方与狭缝90隔开间隔的位置上固定有第3销93。第1销91、第2销92及第3销93向相同的方向延伸。在第1销91与第3销93之间架设保持部件施力单元70。即，保持部件施力单元70的一端安装于第1销91，保持部件施力单元70的另一端安装于第3销93。由此，保持部件施力单元70可对第1销91施加向第1保持部件51和第2保持部件52离开的上下方向的力。在本实施方式中，保持部件施力单元70为扭转弹簧，但并不限定于此。

支撑框60形成供将多个被处理物W彼此隔开间隔而配置的空间S。各被处理物W由设置于外框54的多个夹具1保持。多个外框54被支撑框60所支撑。

支撑框60是由多个框架部件组合成长方体状的框体，在支撑框60内形成长方体形状的空间S。该空间S与印刷基板等被处理物W的大小相对应，并且形成可在厚度方向上排列多个该被处理物W的大小。支撑框60的上部敞开，作为被处理物W的插入口60a。

所述多个框架部件包含：组合成矩形状的下部框架61；从该下部框架61的四个角部分别向上方延伸的侧部框架63、63、64、64；以及连接侧部框架63与侧部框架64的两个上端部的上部框架(长条框架)62、62。

下部框架61包括从一侧部延伸至另一侧部的一对长条框架61a、61a及一对短条框架61b、61b。短条框架的一者61b在一侧部连接长条框架61a、61a的各一端部，短条框架的另一者61b在另一侧部连接长条框架61a、61a的各另一端部。

加强框架65、65连接一对侧部框架63、63，加强框架66、66连接一对侧部框架64、64。

支撑框60具有一对上框支撑部81、81及至少1个下框卡止部82。在本实施方式中，支撑框60具有多个下框卡止部82。一对上框支撑部81、81用于支撑沿水平方向延伸的第1保持部件51的一端部51a与另一端部51b。下框卡止部82具有卡止沿水平方向延伸的第2保持部件52以抑制第2保持部件52的横向晃动的功能。

一对上框支撑部81、81在第1保持部件51的延伸方向上彼此隔开间隔而配置。上框支撑部的一者81设置于支撑框60的一侧缘，上框支撑部的另一者81设置于支撑框60的另一侧缘。上框支撑部的一者81在支撑框60的一侧缘架设在作为长条框架的上部框架62与上部框架62之间。上框支撑部的另一者81在支撑框60的另一侧缘架设在作为长条框架的上部框架62与上部框架62之间。

在上框支撑部的一者81上设置有上方开口以供第1保持部件51的一端部51a插入的多个上槽81a，在上框支撑部的另一者81上设置有上方开口以供第1保持部件51的另一端部51b插入的多个上槽81a。

多个下框卡止部82在第2保持部件52的延伸方向上彼此隔开间隔而配置。各下框卡止部82架设在作为长条框架的下部框架61的长条框架61a与长条框架61a之间。各下框卡止部82具有上方开口以供第2保持部件52插入的多个下槽82a。

如图10A及图10B所示，第1保持部件51的长度大于上框支撑部81的一者81的上槽81a与上框支撑部的另一者81的上槽81a之间的距离。第1保持部件51的一端部51a及另一端部51b与上槽81a相比分别向水平方向外侧突出。

第2保持部件52的长度小于上框支撑部的一者81的上槽81a与上框支撑部的另一者81的上槽81a之间的距离。第2保持部件52的两端部与上槽81a相比位于水平方向内侧。

图14是表示在上下夹紧式的保持器102的支撑框60上安装有外框时的放大图。如图14所示，上框支撑部81的各上槽81a包含槽下部81b及槽上部81c。槽下部81b是槽宽固定的部分，槽上部81c连结于槽下部81b的上端，为随着朝向上方槽宽扩大的部分。由此，容易将第1保持部件51的一端部51a及另一端部51b插入上槽81a中。

另外，下框卡止部82的各下槽82a包含槽下部82b及槽上部82c。槽下部82b是槽宽固定的部分，槽上部82c连结于槽下部82b的上端，为随着朝向上方槽宽扩大的部分。由此，容易将第2保持部件52插入下槽82a中。

另外，优选，如图14所示，当插入上槽81a中的第1保持部件51的一端部51a及另一端部51b接触上槽81a的底部81d时，在插入下槽82a中的第2保持部件52与下槽82a的底部82d之间形成间隙。

多个夹具1被保持在各第1保持部件51上。在各第1保持部件51上，多个夹具1彼此隔开间隔地沿水平方向排列。多个夹具1被保持在各第2保持部件52上。在各第2保持部件52上，多个夹具1彼此隔开间隔地沿水平方向排列。各被处理物W的上缘部被设置于第1保持部件51的多个夹具1所夹持，被处理物W的下缘部被设置于第2保持部件52的多个夹具1所夹持。由此，如图10A、图10B及图10C所示，多个被处理物W可稳定地保持在支撑框60的空间S中。

如果列举安装方法的具体例，则如下所述。首先，在被处理物W的上缘部安装设置于第1保持部件51的多个夹具1。然后，当在被处理物W的下缘部安装夹具1时，在反抗保持部件施力单元70所施加的力而使第2保持部件52朝第2保持部件52接近被处理物W侧的方向移动的状态下，将设置于第2保持部件52的多个夹具1安装在被处理物W的下缘部。

此外，在本实施方式中，保持部件施力单元70设置于外框54的下部，但并不限定于此。保持部件施力单元70也可设置于外框54的上部，也可设置于上下方向的中间部。

如以上所说明，在第1实施方式及第2实施方式的夹具1的第1夹持部件10中，第1接触部12具有从第1基部11延伸的多个板弹簧部15。在该结构中，第1接触部12具备多个板弹簧部15从第1基部11分支出来的结构。即，第1接触部12具备被分割为多个部分的结构。而且，各板弹簧部15在接触被处理物W时彼此独立地能弹性变形。因此，本实施方式的夹具1可在多个板弹簧部15分别可靠地接触被处理物W的状态下夹持被处理物W。由此，能抑制被处理物W的夹紧位置偏移和被处理物W脱离夹具1。

在第1实施方式及第2实施方式中，各板弹簧部15包含从第1基部11延伸出来的延伸部16、以及在延伸部16的端部上弯折的折返部17，折返部17具有接触被处理物W的接触面17a。

根据该结构，由于采用使折返部17相对于延伸部16弯折的结构，因此各板弹簧部15容易弹性变形。即，可以使延伸部16相对于第1基部11弹性变形，并且使折返部17相对于延伸部16弹性变形。

在第1实施方式及第2实施方式中，在各板弹簧部15中的折返部17相对于延伸部16的弯折角度θ被调节，以使接触面17a与被处理物W面接触。

根据该结构，通过如上所述的面接触，可增大第1接触部12与被处理物W的接触面积，从而可提高夹持被处理物W的夹具1的夹持力。

在第1实施方式中，第2夹持部件20的第2接触部12具有与第1夹持部件10的第1接触部12相同的结构。

根据该结构，第2夹持部件20的第2接触部12具有与第1接触部12相同的结构，因此，即使发生在第2夹持部件20的第2接触部12附着异物、第2接触部12的斜度变动、以及第2接触部12的磨损等，第2接触部12的多个板弹簧部15也可彼此独立地弹性变形而接触被处理物W。由此，可进一步提高抑制夹具1的夹持力下降的效果。具体而言为如下所述。

第2夹持部件20具有第2基部11及第2接触部12，第2接触部12具有从第2基部11延伸出来的多个板弹簧部15，各板弹簧部15彼此独立地能弹性变形而接触被处理物W。另外，第2接触部12的各板弹簧部15包含从第2基部11延伸出来的延伸部16、以及在延伸部16的端部上弯折的折返部17，折返部17具有接触被处理物W的接触面17a。另外，优选，第2接触部12的各板弹簧部15中的折返部17相对于延伸部16的弯折角度被调节，以使接触面17a与被处理物W面接触。

保持器101、102用于将板状的多个被处理物W以彼此隔开间隔的状态加以保持。保持器101、102包括：多个上述的夹具1；多个第1保持部件51，分别保持夹持被处理物W的一缘部的夹具1；多个第2保持部件52，分别保持夹持被处理物W的另一缘部的夹具1；支撑框60，形成供将处在被多个第1保持部件51及多个第2保持部件52保持的状态的多个被处理物W彼此隔开间隔而配置的空间S；以及保持部件施力单元70，对第1保持部件51及第2保持部件52的至少其中之一施加向第1保持部件51和第2保持部件52离开的方向的力。

根据该结构，由于保持部件施力单元70对第1保持部件51及第2保持部件52的至少其中之一施加向第1保持部件51和第2保持部件52离开的方向的力，因此，配置在支撑框60的空间S中的多个被处理物W分别始终处于伸展状态。由此，可抑制各被处理物W的弯曲。另外，在被处理物W通过保持部件施力单元70而被伸展的状态下，如果使用夹持力较低的以往的夹具1，则容易发生被处理物W的夹紧位置偏移，或被处理物W脱离夹具1的不良情况，而根据该结构，由于采用具有多个板弹簧部15的上述夹具1，因此能够抑制被处理物W的夹紧位置偏移和被处理物W脱离夹具1。由此，可维持被处理物W的伸展状态。

在保持器为侧部夹紧式的保持器101的情况下，第1保持部件51设置于支撑框60的一侧缘，由第1保持部件51保持的夹具1夹持被处理物W的一侧缘部，第2保持部件52设置于支撑框60的另一侧缘，由第2保持部件52保持的夹具1夹持被处理物W的另一侧缘部。

在该侧部夹紧式的保持器101中，由于可通过保持部件施力单元70施加向横方向拉伸被处理物W的力，因此配置在支撑框60的空间S中的多个被处理物W分别始终处于伸展状态。由此，可抑制各被处理物W的弯曲。

侧部夹紧式的保持器101包括固定于支撑框60的固定部件53，固定部件53具有沿水平方向延伸的引导部58，第1保持部件51能相对于固定部件53沿引导部58在水平方向上相对移动，保持部件施力单元70对第1保持部件51施加向第1保持部件51离开第2保持部件52的水平方向的力。

根据该结构，由于第1保持部件51相对于固定部件53沿引导部58在水平方向上被引导，因此，可抑制产生例如第1保持部件51相对于固定部件53向从水平方向倾斜的方向移动而使被处理物W扭曲等不良情况。

在侧部夹紧式的保持器101中，支撑框60可具有供各被处理物W插入空间S的插入口60a，在将各被处理物W插入空间S时，支撑框60以插入口60a位于空间S的上方的姿势配置，在配置于空间S中的多个被处理物W被浸渍到镀敷液中时，支撑框60以插入口60a位于空间S的侧方、且第1保持部件51位于第2保持部件52的下方的姿势配置。

根据该结构，由于在将处理物W插入空间S时，以插入口60a位于空间S的上方的姿势配置支撑框60，因此，例如在生产线中仅让输送至保持器101的上方的被处理物W向下方移动，便可将被处理物W插入支撑框60内。然后，在配置于空间S中的多个被处理物W被浸渍于镀敷液中时，以插入口60a位于空间S的侧方、且第1保持部件51位于第2保持部件52的下方的姿势配置支撑框60。在该姿势下，由于第1保持部件51与第2保持部件52以沿上下方向排列的方式配置，因而在第1保持部件51离开第2保持部件52的方向上第1保持部件51受到重力作用。由此，被处理物W被进一步向伸展方向拉伸，伸展状态易于维持。在该伸展状态下可将被处理物W浸渍于镀敷液中进行处理。

在保持器为上下夹紧式的保持器102的情况下，优选，由第1保持部件51保持的夹具1夹持被处理物W的上缘部，由第2保持部件52保持的夹具1夹持被处理物W的下缘部，第1保持部件51及第2保持部件52构成与支撑框60独立的外框54的一部分。

在该上下夹紧式的保持器102中，由于可通过保持部件施力单元70施加向上下方向拉伸被处理物W的力，因此配置在支撑框60的空间S中的多个被处理物W分别始终处于伸展状态。由此，可抑制各被处理物W的弯曲。另外，在上下夹紧式的保持器102中，由于第1保持部件51与第2保持部件52以沿上下方向排列的方式配置，因此，在第1保持部件51离开第2保持部件52的方向上第1保持部件51或第2保持部件52受到重力作用。由此，被处理物W被进一步向伸展方向拉伸，伸展状态易于维持。另外，在该结构中，仅将预先保持有被处理物W的多个外框54插入支撑框60中，便可将多个被处理物W保持于保持器102。而且，可一次对多个被处理物W进行表面处理。

优选，上下夹紧式的保持器102包括从第1保持部件51的两侧部向下方延伸的上纵框部件56、以及从第2保持部件52的两侧部向上方延伸的下纵框部件57，在上纵框部件56及下纵框部件57的一者上设置有沿上下方向延伸的外框引导部90，在上纵框部件56及下纵框部件57中的另一者上，固定有在卡合于外框引导部90的状态下相对于外框引导部90在上下方向相对移动的第1销91，保持部件施力单元70对第1销91施加向第1保持部件51和第2保持部件52离开的上下方向的力。

根据该结构，由于第1销91在卡合于外框引导部90的状态下受到上下方向的引导，因而可抑制发生例如上纵框部件56相对于下纵框部件57向从上下方向倾斜的方向移动而使被处理物W扭曲等不良情况。

优选，在上纵框部件56及下纵框部件57的另一者上，在相对于第1销91沿上下方向隔开间隔的位置上固定有第2销92，第2销92在卡合于外框引导部90的状态下相对于外框引导部90在上下方向相对移动。

根据该结构，具备固定在相对于第1销91沿上下方向隔开间隔的位置上的第2销92，该第2销92卡合于外框引导部90而受到上下方向的引导。即，在该结构中，不仅第1销91，而且第2销92也卡合于外框引导部90，因此在第1保持部件51相对于第2保持部件52在上下方向相对移动时，可抑制第1保持部件51或第2保持部件52的横向晃动，从而相对移动时的动作稳定。

在上下夹紧式的保持器102中，优选，支撑框60具有：一对上框支撑部81，在沿水平方向延伸的第1保持部件51的延伸方向上彼此隔开间隔而配置，以支撑第1保持部件51的一端部与另一端部；以及下框卡止部82，卡止沿水平方向延伸的第2保持部件52以抑制第2保持部件52的横向晃动。

根据该结构，可由一对上框支撑部81支撑第1保持部件51的一端部与另一端部，且可由下框卡止部82卡止第2保持部件52而抑制第2保持部件52的横向晃动。

在上下夹紧式的保持器102中，优选，一对上框支撑部的一者81具有上方开口供第1保持部件51的一端部插入的上槽81a，一对上框支撑部的另一者81具有上方开口供第1保持部件51的另一端部插入的上槽81a，下框卡止部82具有上方开口供第2保持部件52插入的下槽82a。

根据该结构，可以仅使第1保持部件51及第2保持部件52从支撑框60的上方朝下方下降，便可将第1保持部件51的一端部及另一端部插入上框支撑部81的上槽81a中，且将第2保持部件52插入下框卡止部82的下槽82a中。

在上下夹紧式的保持器102中，优选，当插入上槽81a的第1保持部件51的一端部及另一端部接触上槽81a的底部时，在插入下槽82a的第2保持部件52与下槽82a的底部之间形成间隙。

根据该结构，由于在插入下槽82a的第2保持部件52与下槽82a的底部之间形成有间隙，因此，不会妨碍第2保持部件52向离开第1保持部件51的方向相对移动。从而，可抑制被处理物W产生弯曲。

在上下夹紧式的保持器102中，优选，第1保持部件51的长度大于一对上框支撑的一者81的上槽81a与一对上框支撑部的另一者81的上槽81a之间的距离，第1保持部件51的一端部及另一端部分别与上槽81a相比向水平方向外侧突出，第2保持部件52的长度小于一对上框支撑部的一者81的上槽81a与一对上框支撑部的另一者81的上槽81a之间的距离，第2保持部件52的两端部与上槽81a相比位于水平方向内侧。

根据该结构，在将保持被处理物W的第1保持部件51及第2保持部件52从支撑框60的上方插入空间S时，第2保持部件52向下方的移动不会受到一对上框支撑部81妨碍。另外，仅使与上槽81a相比向水平方向外侧突出的第1保持部件51从支撑框60的上方朝空间S下降，便可将第1保持部件51的一端部与另一端部插入一对上框支撑部的一者81的上槽81a和一对上框支撑部的另一者81的上槽81a中。

此外，本发明并不限定于所述实施方式，可在不脱离其主旨的范围进行各种变更、改良等。例如，在所述实施方式中，对于夹具1例示了接触部12的板弹簧部15包含延伸部16及折返部17的情形，但并不限定于此。板弹簧部15也可省略例如折返部17。此时，板弹簧部15的延伸部16与被处理物W接触。

对于所述侧部夹紧式的保持器101，例示了固定部件53具有沿水平方向延伸的引导部58，且第1保持部件51(可动部件51)具有卡合部55的情形，但并不限定于此。这些引导部58及卡合部55也可省略。

对于所述上下夹紧式的保持器102，例示了上纵框部件56通过第1销91、第2销92及狭缝90而相对于下纵框部件57相对地滑动移动的情形，但滑动移动的方式并不限定于此，也可采用其他方式。

对于所述上下夹紧式的保持器102，例示了当插入上槽中的第1保持部件51接触上槽的底部时，在插入下槽中的第2保持部件52与下槽的底部之间形成间隙的情形，但并不限定于此。当插入上槽中的第1保持部件51接触上槽的底部时，插入下槽中的第2保持部件52也可接触下槽的底部。

此外，上述实施方式可概述如下。

所述实施方式的夹具设置于将板状的被处理物浸渍于表面处理液中时所使用的保持器，且用于夹持所述被处理物。所述夹具包括第1夹持部件、第2夹持部件及夹持部件施力单元。所述第1夹持部件具有第1基部以及能接触所述被处理物的一侧表面的第1接触部。所述第2夹持部件具有能接触所述被处理物的另一侧表面的第2接触部。所述夹持部件施力单元对所述第1夹持部件及所述第2夹持部件的至少其中之一施加向所述第1接触部和所述第2接触部接近的方向的力。所述第1接触部具有从所述第1基部延伸出来的多个板弹簧部，各所述板弹簧部彼此独立地能弹性变形而接触所述被处理物。

根据该结构，夹具的第1夹持部件的第1接触部具有从第1基部延伸出来的多个板弹簧部。在该结构中，第1接触部具备多个板弹簧部从第1基部分支出来的结构。即，第1接触部具备被分割为多个部分的结构。而且，各板弹簧部在接触被处理物时彼此独立地弹性变形。因此，所述实施方式的夹具可在多个板弹簧部分别可靠地接触被处理物的状态下夹持被处理物。由此，能够抑制板状被处理物的夹紧位置偏移，并且能够抑制该被处理物脱离夹具。具体而言为如下所述。

如果夹具多次用于镀敷处理等表面处理，则认为在夹具中的接触被处理物的部分会附着并沉积镀敷液等表面处理液中所含的成分固化而成的异物。在日本实用新型公报第3153551号的图3、4所公开的夹具中，由于作为接触被处理物的部位的夹持部并非为如所述实施方式那样被分割为多个部分的结构，因此，如果在夹持部的一部分上沉积异物，则会产生如下不良情况。即，沉积有异物的部分接触被处理物，而未沉积异物的部分因在与被处理物之间出现了间隙而无法接触被处理物。此时，夹具与被处理物的接触面积减小，容易发生被处理物的夹紧位置偏移或被处理物脱离夹具的情况。另外，如果长期使用夹具，则存在夹具的第1接触部的斜度变动、或第1接触部磨损的情况。此时，夹具与被处理物的接触面积也减小。

另一方面，在所述实施方式中，即使假设在多个板弹簧部的一部分上沉积有异物时，也由于各板弹簧部彼此独立地弹性变形并接触被处理物，因此能在多个板弹簧部分别接触被处理物的状态下夹持被处理物。由此，能抑制由夹具夹持被处理物的夹持力降低，从而能够抑制被处理物的夹紧位置偏移，并且能够抑制该被处理物脱离夹具。

在所述夹具中，优选，各所述板弹簧部具有从所述第1基部延伸出来的延伸部、以及在所述延伸部的端部上弯折的折返部；其中，所述折返部具有能接触所述被处理物的接触面。

根据该结构，通过采用折返部相对于延伸部弯折的结构，使各板弹簧部容易弹性变形。即，可使延伸部相对于第1基部弹性变形，并且折返部相对于延伸部弹性变形。

在所述夹具中，优选，各所述板弹簧部中的所述折返部相对于所述延伸部的弯折角度被调节，以使所述接触面与所述被处理物面接触。

根据该结构，通过如上所述的面接触，可增大第1接触部与被处理物的接触面积，从而能提高夹持被处理物的夹具的夹持力。

在所述夹具中，优选，所述第2夹持部件的所述第2接触部具有与所述第1夹持部件的所述第1接触部相同的结构。

根据该结构，由于第2夹持部件的第2接触部具有与第1接触部相同的结构，因此即使发生异物附着于第2夹持部件的第2接触部、第2接触部的斜度变动、以及第2接触部磨损等情况，第2接触部的各板弹簧部也会彼此独立地弹性变形而接触被处理物。由此，可进一步提高抑制夹具的夹持力下降的效果。具体而言为如下所述。

优选，第2夹持部件具有第2基部及所述第2接触部，所述第2接触部具有从所述第2基部延伸出来的多个板弹簧部，各所述板弹簧部彼此独立地能弹性变形而接触所述被处理物。另外，优选，第2接触部的各所述板弹簧部具有从所述第2基部延伸出来的延伸部、以及在所述延伸部的端部弯折的折返部，所述折返部具有能接触所述被处理物的接触面。另外，优选，在第2接触部的各所述板弹簧部中的所述折返部相对于所述延伸部的弯折角度被调节，以使所述接触面与所述被处理物面接触。

所述实施方式所涉及的保持器用于将板状的多个被处理物以彼此隔开间隔的状态加以保持。优选，所述保持具包括：多个上述的夹具；多个第1保持部件，分别保持夹持所述被处理物的一缘部的所述夹具；多个第2保持部件，分别保持夹持所述被处理物的另一缘部的所述夹具；支撑框，形成供将处在被多个所述第1保持部件及多个所述第2保持部件保持的状态的所述多个被处理物彼此隔开间隔而配置的空间；以及保持部件施力单元，对所述第1保持部件及所述第2保持部件的至少其中之一施加向所述第1保持部件和所述第2保持部件离开的方向的力。

根据该结构，由于保持部件施力单元对第1保持部件及所述第2保持部件的至少其中之一施加向第1保持部件和第2保持部件离开的方向的力，因此配置在支撑框的所述空间中的多个被处理物分别始终处于伸展状态。由此，可抑制各被处理物的弯曲。另外，在被处理物通过保持部件施力单元而被伸展的状态下，假设使用夹持力较低的以往的夹具时，则容易发生被处理物的夹紧位置偏移，或被处理物脱离夹具的不良情况，而根据该结构，由于采用具有多个板弹簧部的上述夹具，故能够抑制被处理物的夹紧位置偏移和被处理物脱离夹具。由此，能维持被处理物的伸展状态。

在所述保持器为侧部夹紧式的保持器的情况下，优选，所述第1保持部件设置于所述支撑框的一侧缘，由所述第1保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的一侧缘部，所述第2保持部件设置于所述支撑框的另一侧缘，由所述第2保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的另一侧缘部。

在该侧部夹紧式的保持器中，由于可通过保持部件施力单元施加向横方向拉伸被处理物的力，因此配置在支撑框的所述空间中的多个被处理物分别始终处于伸展状态。由此，能抑制各被处理物的弯曲。

优选，所述侧部夹紧式的保持器包括固定在所述支撑框上的固定部件，所述固定部件具有沿水平方向延伸的引导部，所述第1保持部件能相对于所述固定部件沿所述引导部在水平方向上相对移动，所述保持部件施力单元对所述第1保持部件施加向所述第1保持部件离开所述第2保持部件的水平方向的力。

根据该结构，由于相对于固定部件沿引导部在水平方向上引导第1保持部件，从而可抑制发生例如第1保持部件相对于固定部件向从水平方向倾斜的方向移动而使被处理物扭曲等不良情况。

在所述侧部夹紧式的保持器中，优选，所述支撑框具有供各所述被处理物插入所述空间的插入口，在将各所述被处理物插入所述空间时，所述支撑框以所述插入口位于所述空间的上方的姿势配置，在配置于所述空间中的所述多个被处理物被浸渍于所述表面处理液中时，所述支撑框以所述插入口位于所述空间的侧方、且所述第1保持部件位于所述第2保持部件的下方的姿势配置。

根据该结构，由于在将被处理物插入所述空间时，以插入口位于所述空间的上方的姿势配置支撑框，因此，例如在生产线中仅让输送至保持器的上方的被处理物向下方移动，便可将被处理物插入支撑框内。然后，在配置于所述空间中的多个被处理物被浸渍于表面处理液中时，以插入口位于所述空间的侧方、且第1保持部件位于第2保持部件的下方的姿势配置支撑框。在该姿势下，由于第1保持部件与第2保持部件以沿上下方向排列的方式配置，因而在使第1保持部件离开第2保持部件的方向上第1保持部件受到重力作用。由此，被处理物被进一步向伸展方向拉伸，伸展状态易于维持。在该伸展状态下可将被处理物浸渍于表面处理液进行处理。

在所述保持器为上下夹紧式的保持器的情况下，优选，由所述第1保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的上缘部，由所述第2保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的下缘部，所述第1保持部件及所述第2保持部件构成与所述支撑框独立的外框的一部分。

在该上下夹紧式的保持器中，由于可通过保持部件施力单元施加向上下方向拉伸被处理物的力，因此配置在支撑框的所述空间中的多个被处理物分别始终处于伸展状态。由此，可抑制各被处理物的弯曲。另外，在上下夹紧式的保持器中，由于第1保持部件与第2保持部件以沿上下方向排列的方式配置，因此，在第1保持部件离开第2保持部件的方向上第1保持部件或第2保持部件受到重力作用。由此，被处理物被进一步向伸展方向拉伸，伸展状态易于维持。另外，在该结构中，仅将预先保持有被处理物的多个外框插入支撑框中，便可将多个被处理物保持于保持器。

优选，所述上下夹紧式的保持器包括：上纵框部件，从所述第1保持部件的两侧部向下方延伸；以及下纵框部件，从所述第2保持部件的两侧部向上方延伸；在所述上纵框部件及所述下纵框部件的一者上设置有沿上下方向延伸的外框引导部，在所述上纵框部件及所述下纵框部件的另一者上，固定有在卡合于所述外框引导部的状态下相对于所述外框引导部在上下方向相对移动的第1销，所述保持部件施力单元对所述第1销施加向所述第1保持部件和所述第2保持部件离开的上下方向的力。

根据该结构，第1销在卡合于外框引导部的状态下受到上下方向的引导，因而可抑制发生例如上纵框部件相对于下纵框部件向从上下方向倾斜的方向移动而使被处理物扭曲等不良情况。

优选，在所述上纵框部件及所述下纵框部件的所述另一者上，在相对于所述第1销沿上下方向隔开间隔的位置上固定有第2销，所述第2销在卡合于所述外框引导部的状态下相对于所述外框引导部在上下方向相对移动。

根据该结构，具备固定在相对于第1销沿上下方向隔开间隔的位置上的第2销，该第2销卡合于外框引导部而受到上下方向的引导。即，在该结构中，不仅第1销，而且第2销也卡合于外框引导部，因此在第1保持部件相对于第2保持部件在上下方向相对移动时，可抑制第1保持部件或第2保持部件的横向晃动，从而相对移动时的动作稳定。

在所述上下夹紧式的保持器中，优选，所述支撑框具有：一对上框支撑部，在沿水平方向延伸的所述第1保持部件的延伸方向上彼此隔开间隔而配置，以支撑所述第1保持部件的一端部与另一端部；以及下框卡止部，卡止沿水平方向延伸的所述第2保持部件以抑制所述第2保持部件的横向晃动。

根据该结构，可由一对上框支撑部支撑第1保持部件的一端部与另一端部，并且可由下框卡止部卡止第2保持部件而抑制第2保持部件的横向晃动。

在所述上下夹紧式的保持器中，优选，所述一对上框支撑部的一者具有上方开口供所述第1保持部件的所述一端部插入的上槽，所述一对上框支撑部的另一者具有上方开口供所述第1保持部件的所述另一端部插入的上槽，所述下框卡止部具有上方开口供所述第2保持部件插入的下槽。

根据该结构，可以仅使第1保持部件及第2保持部件从支撑框的上方朝下方下降，便可将第1保持部件的一端部及另一端部插入上框支撑部的上槽中，并且将第2保持部件插入下框卡止部的下槽中。

在所述上下夹紧式的保持器中，优选，当插入所述上槽的所述第1保持部件的所述一端部及所述另一端部接触所述上槽的底部时，在插入所述下槽的所述第2保持部件与所述下槽的底部之间形成间隙。

根据该结构，在插入下槽的第2保持部件与下槽的底部之间形成有间隙。假设如果第2保持部件接触下槽的底部，则第2保持部件进一步向下方的移动会受到限制，而在本结构中，由于在插入下槽中的第2保持部件与下槽的底部之间形成有间隙，因此不会妨碍第2保持部件向离开第1保持部件的方向相对移动。从而，可进一步抑制被处理物产生弯曲。

在所述上下夹紧式的保持器中，优选，所述第1保持部件的长度大于一对上框支撑部的所述一者的所述上槽与一对上框支撑部的所述另一者的所述上槽之间的距离，所述第1保持部件的所述一端部及所述另一端部与所述上槽相比分别向水平方向外侧突出(即，所述第1保持部件的所述一端部与相对应的所述上槽相比向水平方向外侧突出，并且，所述第1保持部件的所述另一端部与相对应的所述上槽相比向水平方向外侧突出)，所述第2保持部件的长度小于一对上框支撑部的所述一者的所述上槽与一对上框支撑部的所述另一者的所述上槽之间的距离，所述第2保持部件的两端部与所述上槽相比位于水平方向内侧(即，所述第2保持部件的一端部与相对应的所述上槽相比位于水平方向内侧，并且，所述第2保持部件的另一端部与相对应的所述上槽相比位于水平方向内侧)。

根据该结构，在将保持被处理物的第1保持部件及第2保持部件从支撑框的上方插入所述空间中时，第2保持部件向下方的移动不会受到一对上框支撑部妨碍。另外，仅使与上槽相比向水平方向外侧突出的第1保持部件从支撑框的上方朝所述空间下降，便可将第1保持部件的一端部与另一端部插入一对上框支撑部的一者的上槽和一对上框支撑部的另一者的上槽中。

Claims (14)

1.一种保持器，用于将板状的多个被处理物以彼此隔开间隔的状态加以保持，以将所述被处理物浸渍于表面处理液中，其特征在于包括：

多个夹具，用于夹持所述被处理物，并且包括：

第1夹持部件，具有第1基部及能接触所述被处理物的一侧表面的第1接触部；

第2夹持部件，具有能接触所述被处理物的另一侧表面的第2接触部；以及

夹持部件施力单元，对所述第1夹持部件及所述第2夹持部件的至少其中之一施加向所述第1接触部和所述第2接触部接近的方向的力，其中，

所述第1接触部，具有从所述第1基部延伸出来的多个板弹簧部，各所述板弹簧部彼此独立地能弹性变形而接触所述被处理物，

多个第1保持部件，分别保持夹持所述被处理物的一缘部的所述夹具；

多个第2保持部件，分别保持夹持所述被处理物的另一缘部的所述夹具；

支撑框，形成供将处在被多个所述第1保持部件及多个所述第2保持部件保持的状态的多个所述被处理物彼此隔开间隔而配置的空间；以及

保持部件施力单元，对所述第1保持部件及所述第2保持部件的至少其中之一施加向所述第1保持部件和所述第2保持部件离开的方向的力。

2.根据权利要求1所述的保持器，其特征在于，

各所述板弹簧部具有从所述第1基部延伸出来的延伸部、和在所述延伸部的端部弯折的折返部，其中，

所述折返部具有能接触所述被处理物的接触面。

3.根据权利要求2所述的保持器，其特征在于：

各所述板弹簧部中的、所述折返部相对于所述延伸部的弯折角度被调节，以使所述接触面与所述被处理物面接触。

4.根据权利要求1所述的保持器，其特征在于：

所述第2夹持部件的所述第2接触部，具有与所述第1夹持部件的所述第1接触部相同的结构。

5.根据权利要求1所述的保持器，其特征在于：

所述保持器为侧部夹紧式的保持器，

所述第1保持部件设置于所述支撑框的一侧缘，由所述第1保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的一侧缘部，

所述第2保持部件设置于所述支撑框的另一侧缘，由所述第2保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的另一侧缘部。

6.根据权利要求5所述的保持器，其特征在于还包括：

固定在所述支撑框上的固定部件，其中，

所述固定部件具有沿水平方向延伸的引导部，

所述第1保持部件能相对于所述固定部件沿所述引导部在水平方向上相对移动，

所述保持部件施力单元对所述第1保持部件施加向所述第1保持部件离开所述第2保持部件的水平方向的力。

7.根据权利要求5或6所述的保持器，其特征在于：

所述支撑框具有供各所述被处理物插入所述空间的插入口，

在将各所述被处理物插入所述空间时，所述支撑框以所述插入口位于所述空间的上方的姿势配置，

在配置于所述空间中的所述多个被处理物被浸渍于所述表面处理液中时，所述支撑框以所述插入口位于所述空间的侧方、且所述第1保持部件位于所述第2保持部件的下方的姿势配置。

8.根据权利要求1所述的保持器，其特征在于：

所述保持器为上下夹紧式的保持器，

由所述第1保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的上缘部，由所述第2保持部件保持的所述夹具夹持所述被处理物的下缘部，

所述第1保持部件及所述第2保持部件构成与所述支撑框独立的外框的一部分。

9.根据权利要求8所述的保持器，其特征在于还包括：

上纵框部件，从所述第1保持部件的两侧部向下方延伸；以及

下纵框部件，从所述第2保持部件的两侧部向上方延伸，其中，

在所述上纵框部件及所述下纵框部件的一者上，设置有沿上下方向延伸的外框引导部，

在所述上纵框部件及所述下纵框部件的另一者上，固定有在卡合于所述外框引导部的状态下相对于所述外框引导部在上下方向相对移动的第1销，

所述保持部件施力单元对所述第1销施加向所述第1保持部件和所述第2保持部件离开的上下方向的力。

10.根据权利要求9所述的保持器，其特征在于：

在所述上纵框部件及所述下纵框部件的所述另一者上，在相对于所述第1销沿上下方向隔开间隔的位置上固定有第2销，所述第2销在卡合于所述外框引导部的状态下相对于所述外框引导部在上下方向相对移动。

11.根据权利要求8至10中任一项所述的保持器，其特征在于，所述支撑框具有：

一对上框支撑部，在沿水平方向延伸的所述第1保持部件的延伸方向上彼此隔开间隔而配置，以支撑所述第1保持部件的一端部与另一端部；以及

下框卡止部，卡止沿水平方向延伸的所述第2保持部件以抑制所述第2保持部件的横向晃动。

12.根据权利要求11所述的保持器，其特征在于：

所述一对上框支撑部的一者具有上方开口供所述第1保持部件的所述一端部插入的上槽，

所述一对上框支撑部的另一者具有上方开口供所述第1保持部件的所述另一端部插入的上槽，

所述下框卡止部具有上方开口供所述第2保持部件插入的下槽。

13.根据权利要求12所述的保持器，其特征在于：

当插入所述上槽的所述第1保持部件的所述一端部及所述另一端部接触所述上槽的底部时，在插入所述下槽的所述第2保持部件与所述下槽的底部之间形成间隙。

14.根据权利要求12所述的保持器，其特征在于：

所述第1保持部件的长度大于所述一对上框支撑部的所述一者的所述上槽与所述一对上框支撑部的所述另一者的所述上槽之间的距离，所述第1保持部件的所述一端部及所述另一端部分别与所述上槽相比向水平方向外侧突出，

所述第2保持部件的长度小于所述一对上框支撑部的所述一者的所述上槽与所述一对上框支撑部的所述另一者的所述上槽之间的距离，所述第2保持部件的两端部与所述上槽相比位于水平方向内侧。