[go: up one dir, main page]

CN108073192A - 一种基于高低温冲击系统的智能气罩 - Google Patents

一种基于高低温冲击系统的智能气罩 Download PDF

Info

Publication number
CN108073192A
CN108073192A CN201711276827.5A CN201711276827A CN108073192A CN 108073192 A CN108073192 A CN 108073192A CN 201711276827 A CN201711276827 A CN 201711276827A CN 108073192 A CN108073192 A CN 108073192A
Authority
CN
China
Prior art keywords
low
gas hood
drive mechanism
impact system
horizontal drive
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201711276827.5A
Other languages
English (en)
Inventor
郭伟
曹巍
陈雷刚
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Original Assignee
Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Huali Microelectronics Corp filed Critical Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority to CN201711276827.5A priority Critical patent/CN108073192A/zh
Publication of CN108073192A publication Critical patent/CN108073192A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Testing Resistance To Weather, Investigating Materials By Mechanical Methods (AREA)

Abstract

本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，包括耐高低温密封环，气体流量传感器，水平驱动机构，搅拌风扇，电机，固定支撑座，其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部，所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上，所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。本发明提出的基于高低温冲击系统的智能气罩，能够减少高低温气流直接冲击测试样品，提高测试数据准确性，减少高低温气流外泄，降低测试噪声，减少因高低温气流外泄引发二次伤害，提高测试安全性。

Description

一种基于高低温冲击系统的智能气罩
技术领域
本发明涉及高低温冲击系统测试气罩自动控制装置，且特别涉及一种基于高低温冲击系统的智能气罩。
背景技术
目前半导体业界使用的高低温冲击系统采用高低温气流直接冲击测试样品，这样造成测试样品各部分温度分布不均匀，导致各部分受力不均匀，影响测试样品良率和测试数据的准确性。一些测试工程师给单孔喷头加装多孔喷头减少气流对测试样品直接冲击的影响。但并没有多大改善，测试样品各部分存在温度差，无法模拟测试样品工作环境。
目前高低温测试系统的气罩与测试板接触的密封性要通过测试工程师的反复的调节，费时费力。当遇到大规模样品测试时无法保证接触密封型，因密封不完善性导致高低温气流外泄引起噪声，高温气流(一百二十五度)烫伤测试员工。低温气流(零下四十度)液化产生水珠流入下方机台引起线路短路和漏电，进而危害测试员工和机台安全。
发明内容
本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，解决以下问题：
(1)因高低温气流直接冲击测试样品，引发样品测试数据的不准确性。
(2)减少因高温气流外泄引发的烫伤，低温气体液化引发的机台漏电和短路事故。
(3)因高低温气流外泄，引发的测试噪声。
为了达到上述目的，本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，包括耐高低温密封环，气体流量传感器，水平驱动机构，搅拌风扇，电机，固定支撑座，其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部，所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上，所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。
进一步的，所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。
进一步的，所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量为多个，均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环上。
进一步的，所述气体流量传感器和水平驱动机构一一对应，每个气体流量传感器和对应的水平驱动机构形成一组机构，设置于所述耐高低温密封环上。
进一步的，所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量分别为6个，形成6组机构均匀对称地设置于所述耐高低温密封环上。
进一步的，当所述气体流量传感器检测到异常气流存在时，根据传感器输出信号，相对应位置的水平驱动机构工作推动气罩边缘的所述耐高低温密封环，增加气罩的密封性。
本发明提出的基于高低温冲击系统的智能气罩，能够减少高低温气流直接冲击测试样品，提高测试数据准确性，减少高低温气流外泄，降低测试噪声，减少因高低温气流外泄引发二次伤害，提高测试安全性。
附图说明
图1所示为本发明较佳实施例的基于高低温冲击系统的智能气罩结构示意图。
图2所示为本发明较佳实施例的智能气罩仰视结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图给出本发明的具体实施方式，但本发明不限于以下的实施方式。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。
请参考图1和图2，图1所示为本发明较佳实施例的基于高低温冲击系统的智能气罩结构示意图。图2所示为本发明较佳实施例的智能气罩仰视结构示意图。本发明提出一种基于高低温冲击系统的智能气罩，包括耐高低温密封环100，气体流量传感器200，水平驱动机构300，搅拌风扇400，电机500，固定支撑座600，其中所述耐高低温密封环100设置于所述固定支撑座600底部，所述气体流量传感器200和水平驱动机构300设置于所述耐高低温密封环100上，所述搅拌风扇400通过电机500设置于智能气罩内部。
根据本发明较佳实施例，所述搅拌风扇400将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀，使气罩内的气流不存在较大温差，避免了因高低温气流直接冲击测试样品产生的良率下降和测试数据的不准确性。
所述气体流量传感器200和水平驱动机构300的数量为多个，均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环100上。所述气体流量传感器200和水平驱动机构300一一对应，每个气体流量传感器200和对应的水平驱动机构300形成一组机构，设置于所述耐高低温密封环100上。在本发明较佳实施例中，所述气体流量传感器200和水平驱动机构300的数量分别为6个，形成6组机构均匀对称地设置于所述耐高低温密封环100上。
当所述气体流量传感器200检测到异常气流存在时，根据传感器输出信号，相对应位置的水平驱动机构300工作推动气罩边缘的所述耐高低温密封环100，增加气罩和测试板的密封性，从而减少密封罩气体外泄，进而实现减少测试噪声，节约能源和减少因高低温气流外泄引发的事故。
综上所述，本发明提出的基于高低温冲击系统的智能气罩，在密封罩内用搅拌风扇替代传统的单管和多管喷头，由此避免高低温气流直接冲击测试样品。在密封罩上加装水平驱动机构和气体流量传感器实现密封罩与测试板充分接触，减少高低温气体外泄，降低测试噪声，减少因高低温气流外泄引发二次伤害，提高测试安全性。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (6)

1.一种基于高低温冲击系统的智能气罩，其特征在于，包括耐高低温密封环，气体流量传感器，水平驱动机构，搅拌风扇，电机，固定支撑座，其中所述耐高低温密封环设置于所述固定支撑座底部，所述气体流量传感器和水平驱动机构设置于所述耐高低温密封环上，所述搅拌风扇通过电机设置于智能气罩内部。
2.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩，其特征在于，所述搅拌风扇将高低温冲击系统输入的高低温气流搅拌均匀。
3.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩，其特征在于，所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量为多个，均匀并对称地设置于所述耐高低温密封环上。
4.根据权利要求3所述的基于高低温冲击系统的智能气罩，其特征在于，所述气体流量传感器和水平驱动机构一一对应，每个气体流量传感器和对应的水平驱动机构形成一组机构，设置于所述耐高低温密封环上。
5.根据权利要求4所述的基于高低温冲击系统的智能气罩，其特征在于，所述气体流量传感器和水平驱动机构的数量分别为6个，形成6组机构均匀对称地设置于所述耐高低温密封环上。
6.根据权利要求1所述的基于高低温冲击系统的智能气罩，其特征在于，当所述气体流量传感器检测到异常气流存在时，根据传感器输出信号，相对应位置的水平驱动机构工作推动气罩边缘的所述耐高低温密封环，增加气罩的密封性。
CN201711276827.5A 2017-12-06 2017-12-06 一种基于高低温冲击系统的智能气罩 Pending CN108073192A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711276827.5A CN108073192A (zh) 2017-12-06 2017-12-06 一种基于高低温冲击系统的智能气罩

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201711276827.5A CN108073192A (zh) 2017-12-06 2017-12-06 一种基于高低温冲击系统的智能气罩

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN108073192A true CN108073192A (zh) 2018-05-25

Family

ID=62158004

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201711276827.5A Pending CN108073192A (zh) 2017-12-06 2017-12-06 一种基于高低温冲击系统的智能气罩

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN108073192A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114113957A (zh) * 2020-08-25 2022-03-01 上海华力微电子有限公司 高低温冲击系统
CN114216924A (zh) * 2021-12-06 2022-03-22 中船九江大正科技有限公司 一种基于增量式pid算法的温度模拟试验箱

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54124788A (en) * 1978-03-20 1979-09-27 Toyota Motor Co Ltd Device for measuring degree of sealing of dust cover for ball joint
CN1621660A (zh) * 2004-12-28 2005-06-01 蒋子刚 流体机械的揉动变容方法及其机构与用途
CN203389658U (zh) * 2013-07-04 2014-01-15 江苏白雪电器股份有限公司 一种耐高低温试验箱
CN103969004A (zh) * 2014-05-13 2014-08-06 上海宇航系统工程研究所 高低温环境防尘密封圈密封性能测试装置及测试方法
CN204412277U (zh) * 2014-12-30 2015-06-24 广东宏展科技有限公司 一种快速升降温的高低温湿热试验箱
CN204751033U (zh) * 2015-07-02 2015-11-11 依顿科技有限公司 高低温恒温无尘箱
CN105833923A (zh) * 2016-05-10 2016-08-10 湖州唯立仪表厂 一种高精度高低温恒温试验装置
CN205587003U (zh) * 2016-05-10 2016-09-21 湖州唯立仪表厂 高精度高低温恒温试验装置
CN106039336A (zh) * 2016-08-05 2016-10-26 杨记宗 多功能恒温恒湿箱
CN205797237U (zh) * 2016-06-17 2016-12-14 中国航空无线电电子研究所 一种高低温试验设备
CN206114497U (zh) * 2016-10-26 2017-04-19 杭州泰鼎检测技术有限公司 一种高低温湿热试验箱

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54124788A (en) * 1978-03-20 1979-09-27 Toyota Motor Co Ltd Device for measuring degree of sealing of dust cover for ball joint
CN1621660A (zh) * 2004-12-28 2005-06-01 蒋子刚 流体机械的揉动变容方法及其机构与用途
CN203389658U (zh) * 2013-07-04 2014-01-15 江苏白雪电器股份有限公司 一种耐高低温试验箱
CN103969004A (zh) * 2014-05-13 2014-08-06 上海宇航系统工程研究所 高低温环境防尘密封圈密封性能测试装置及测试方法
CN204412277U (zh) * 2014-12-30 2015-06-24 广东宏展科技有限公司 一种快速升降温的高低温湿热试验箱
CN204751033U (zh) * 2015-07-02 2015-11-11 依顿科技有限公司 高低温恒温无尘箱
CN105833923A (zh) * 2016-05-10 2016-08-10 湖州唯立仪表厂 一种高精度高低温恒温试验装置
CN205587003U (zh) * 2016-05-10 2016-09-21 湖州唯立仪表厂 高精度高低温恒温试验装置
CN205797237U (zh) * 2016-06-17 2016-12-14 中国航空无线电电子研究所 一种高低温试验设备
CN106039336A (zh) * 2016-08-05 2016-10-26 杨记宗 多功能恒温恒湿箱
CN206114497U (zh) * 2016-10-26 2017-04-19 杭州泰鼎检测技术有限公司 一种高低温湿热试验箱

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114113957A (zh) * 2020-08-25 2022-03-01 上海华力微电子有限公司 高低温冲击系统
CN114216924A (zh) * 2021-12-06 2022-03-22 中船九江大正科技有限公司 一种基于增量式pid算法的温度模拟试验箱
CN114216924B (zh) * 2021-12-06 2023-08-25 中船九江大正科技有限公司 一种基于增量式pid算法的温度模拟试验箱

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104019956B (zh) 环形回路的环境模拟标定风洞
CN115560945B (zh) 一种多模式变雷诺数叶栅风洞
CN201637579U (zh) 一种发动机气道稳流试验装置的送风系统
CN108073192A (zh) 一种基于高低温冲击系统的智能气罩
CN205550301U (zh) 一种多功能综合环境试验控制箱
CN205665153U (zh) 一种新型风冷氙灯老化试验机
CN102192828A (zh) 低温风洞
CN208420282U (zh) 一种用于汽车测试模拟风雨的风机
CN204101427U (zh) 一种两箱式吊篮冷热冲击试验箱
CN205192721U (zh) 一种汽车内饰出风口吹风性能综合测试装置
CN205748845U (zh) 散热器水箱的气密性检漏装置
CN216309916U (zh) 一种用于对传感器进行测试的测试箱
CN110589277A (zh) 一种用于立式储罐的虹吸式液位计量装置
CN101866531A (zh) 用于检测温度型报警器的检测系统
CN207516338U (zh) 用于整车有机挥发物检测的试验箱风道结构
CN205642748U (zh) 一种内胎气嘴气密性测试装置
CN206310067U (zh) 一种防水锤装置
CN109974962A (zh) 一种迷宫密封有效受力面积的标定方法
CN213419310U (zh) 一种环形叶栅性能试验器用附面层抽吸系统
CN209673322U (zh) 一种标定迷宫密封有效受力面积的试验设备
CN106374669A (zh) 一种电机用正压通风系统
CN109425695A (zh) 臭氧检测装置和使用该装置的消毒柜及臭氧检测控制方法
CN204352884U (zh) 一种带大功率有源热负载的大型湿热试验箱
CN222105074U (zh) 一种进排气管道式海拔模拟装置
CN211651958U (zh) 一种适用于ecu的气密性检测机构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20180525