CN108008278A - 机器人系统 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种机器人系统，其能够提高生产率。该机器人系统，其特征在于，具备：供给部，供给对象物；第一检查部组，具有检查被供给的所述对象物的多个第一检查部；第二检查部组，具有检查被供给的所述对象物的多个第二检查部；回收部，回收被检查的所述对象物；机器人，具有机器臂，进行所述对象物的保持、输送以及脱离，所述机器人能够成批输送多个所述对象物，在从所述对象物的供给至回收期间，通过所述机器人进行的所述对象物的输送所花费的输送时间的合计，比通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离所花费的处理时间的合计短。

Description

机器人系统

技术领域

本发明涉及一种机器人系统。

背景技术

以往已知例如检查电子部件的电气特性的测试处理机。作为这种测试处理机，例如专利文献1公开了一种测试处理机模块，其具有：输送基板的供给传送带、进行从供给传送带输送的基板的检查的检查室、输送检查完成的基板的排出传送带。并且，这种测试处理机模块，具备从供给传送带接收基板，将基板输送至检查室的输送机器人。并且，输送机器人进行从检查室接收基板，将基板移交至排出传送带的作业。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-219354号公报

发明内容

发明所要解决的问题

但是，专利文献1所记载的测试处理机模块，由于输送机器人一次只能输送一个对象物，因此，将多个对象物从供给传送带输送至检查室的时间变长。同样，将多个对象物从检查室输送至排出传送带的时间变长。因此，在这种测试处理机模块中，存在难以提高生产率的问题。

用于解决问题的技术方案

本发明是为了解决上述问题的至少一部分而完成的，能够通过以下的本发明来实现。

本发明的机器人系统，其特征在于，具备：供给部，供给对象物；第一检查部组，具有检查被供给的所述对象物的多个第一检查部；第二检查部组，具有检查被供给的所述对象物的多个第二检查部；回收部，回收被检查的所述对象物；机器人，具有机器臂，进行所述对象物的保持、输送以及脱离，所述机器人能够成批输送多个所述对象物，在从所述对象物的供给至回收期间，通过所述机器人进行的所述对象物的输送所花费的输送时间的合计，比通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离所花费的处理时间的合计短。

根据本发明的机器人系统，由于机器人能够成批输送多个对象物，因此，能够将多个对象物一次性集中输送至第一检查部组或者第二检查部组。并且，由于具有多个第一检查部及第二检查部，因此，能够通过一个机器人系统进行多个对象物的检查。进而，根据本发明的机器人系统，由于能够使得通过机器人的输送时间的合计比处理时间(保持、脱离的时间：供给除去材料时间)的合计短，因此，例如能够减少对象物的保持失误等的发生，并能够以更短的时间将对象物输送至更多的第一检查部或者第二检查部。因此，能够以更短的时间检查更多的对象物。因此，相比现有能够更为提高生产率(每单位时间能够处理的对象物的检查数量)。

在此，输送时间是指，从在一个区域(例如，供给部、检查部组或者回收部中的任一个)开始加速的状态，至在与所述一个区域不同的其他区域结束减速状态为止的动作。并且，处理时间是指，在一个区域(例如，供给部、检查部组或者回收部)中，从机器人开始保持(或者脱离)第一个对象物的动作的状态开始，至通过机器人完成最后的对象物的保持(或者脱离)、机器人开始向其他单元的输送的近前的状态为止的动作。

在本发明的机器人系统中，优选的是，通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离中的至少一方，在所述供给部、所述第一检查部组、所述第二检查部组及所述回收部的各自中进行。

通过使在上述各处的处理时间变长，例如降低对象物的破损的可能性，并能够适当地保持及脱离对象物。

在本发明的机器人系统中，优选的是，通过所述机器人进行的所述对象物的输送，在所述供给部和所述第一检查部组之间、所述第一检查部组和所述回收部之间、所述供给部和所述第二检查部组之间以及所述第二检查部组和所述回收部之间的各自中进行。

通过缩短上述区间内的输送时间，能够更为缩短输送时间的合计，能够更为提高生产率。

在本发明的机器人系统中，优选的是，通过所述机器人进行的对于所述对象物的作业包括：第一阶段，包含所述供给部、所述第一检查部组及所述回收部中的所述对象物的保持及脱离中的至少一方、和所述供给部和所述第一检查部组之间以及所述第一检查部组和所述回收部之间的所述对象物的输送；第二阶段，包含所述供给部、所述第二检查部组及所述回收部中的所述对象物的保持及脱离中的至少一方、和所述供给部和所述第二检查部组之间以及所述第二检查部组和所述回收部之间的所述对象物的输送；在所述第一阶段中，通过所述机器人进行的所述对象物的输送时间的合计，比通过所述机器人进行的所述对象物的处理时间的合计短，在所述第二阶段中，通过所述机器人进行的所述对象物的输送时间的合计，比通过所述机器人进行的所述对象物的处理时间的合计短。

由此，在第一阶段及第二阶段的双方中，由于输送时间的合计比处理时间的合计短，因此，能够更为提高生产率。

在此，所谓“阶段”表示机器人的作业的单位。

在本发明的机器人系统中，优选的是，所述机器人进行如下作业：第一作业，通过所述机器臂将多个所述对象物从所述供给部保持；第二作业，在所述第一作业之后，通过所述机器臂将多个所述对象物从所述供给部向所述第一检查部组输送；第三作业，在所述第二作业之后，在所述第一检查部组通过所述机器臂进行使多个所述对象物脱离的作业和保持多个所述对象物的作业；第四作业，在所述第三作业之后，通过所述机器臂，将多个所述对象物从所述第一检查部组向所述回收部输送；第五作业，在所述第四作业之后，通过所述机器臂，使多个所述对象物在所述回收部脱离；第六作业，在所述第五作业之后，通过所述机器臂，从所述供给部保持多个所述对象物；第七作业，在所述第六作业之后，通过所述机器臂，将多个所述对象物从所述供给部向所述第二检查部组输送；第八作业，在所述第七作业之后，在所述第二检查部组通过所述机器臂进行使多个所述对象物脱离的作业和保持多个所述对象物的作业；第九作业，在所述第八作业之后，通过所述机器臂，将多个所述对象物从所述第二检查部组向所述回收部输送；第十作业，在所述第九作业之后，通过所述机器臂，使多个所述对象物在所述回收部脱离，所述第二作业所花费的作为所述输送时间的第二时间和所述第四作业所花费的作为所述输送时间的第四时间的合计，比所述第一作业所花费的作为所述处理时间的第一时间和所述第三作业所花费的作为所述处理时间的第三时间和所述第五作业所花费的作为所述处理时间的第五时间的合计短，所述第七作业所花费的作为所述输送时间的第七时间和所述第九作业所花费的作为所述输送时间的第九时间的合计，比所述第六作业所花费的作为所述处理时间的第六时间和所述第八作业所花费的作为所述处理时间的第八时间和所述第十作业所花费的作为所述处理时间的第十时间的合计短。

由此，例如能够减少对象物的保持失误等的发生，并能够以更短的时间通过第一检查部及第二检查部检查更多的对象物。因此，能够更为提高生产率。

在本发明的机器人系统中，优选的是，所述机器人具有连接于所述机器臂的手端操作装置，所述手端操作装置具有：能够围绕转动轴转动的转动部件、和设置于所述转动部件并保持所述对象物的多个保持部。

由此，能够实现小型且能够成批输送多个对象物的手端操作装置。

在此，所谓“连接于机器臂的手端操作装置”包含经由设置于机器臂的任意的部件(例如，力检测部)而被连接的手端操作装置。

在本发明的机器人系统中，优选的是，多个所述第一检查部及多个所述第二检查部，从重力方向观察，分别配置于以所述机器人为中心的圆弧上。

由此，能够将多个第一检查部310及第二检查部320有效地设置于机器臂的前端部的可动范围。

在本发明的机器人系统中，优选的是，从重力方向观察，所述第一检查部和所述第二检查部重叠配置。

由此，能够以比较小的设置面积设置更多的第一检查部以及第二检查部。因此，能够实现机器人系统的设置面积的节省空间化。

在本发明的机器人系统中，优选的是，从重力方向观察，所述机器人及所述供给部位于所述第一检查部组及所述第二检查部组的内侧，所述供给部的上部的高度为所述第一检查部的上部的高度以下，并且，所述供给部的上部的高度为所述第二检查部的上部的高度以下。

由此，在通过机器人进行对象物的保持、输送及脱离时，能够降低或者防止机器人与供给部、第一检查部以及第二检查部进行干涉的可能性。

在本发明的机器人系统中，优选的是，设置面积为256m²以下。

这样，能够设置于比较小的设置面积的部位。因此，能够使机器人系统实现为足够地小型化。

在本发明的机器人系统中，优选的是，具备壳体，所述壳体收容所述供给部、所述第一检查部、所述第二检查部、所述回收部和所述机器人，

所述第一检查部及所述第二检查部分别具有：载置有所述对象物的检查台和能够使所述检查台向所述壳体的外部移动的移动机构。

由此，能够使检查台向壳体的外部(机器人系统的外部)移动，因此，作业者能够容易地进行例如检查台的维护。

在本发明的机器人系统中，优选的是，所述第一检查部及所述第二检查部分别具有：第一部件，连接于所述检查台，在所述检查台位于所述壳体的内部的状态下，所述第一部件设置于所述壳体；第二部件，在所述检查台位于所述壳体的内部的状态下，位于所述检查台的上部；连结部件，连结所述第一部件和所述第二部件，所述检查台通过将所述第一部件向所述壳体的外侧拉出而位于所述壳体的外部，所述第二部件，在所述检查台位于所述壳体的外部的状态下，作为隔开所述壳体的内部和外部的隔开部而发挥作用。由此，当检查台位于壳体的内部时，第二部件作为覆盖检查台的上部的罩部而发挥作用。并且，由于当检查台位于壳体的外部时，第二部件作为隔开部而发挥作用，因此，能够防止例如作业者在壳体的外部维护检查台等时误将手伸入壳体内。

在本发明的机器人系统中，优选的是，所述机器人，对于所述第一检查部组所具有的多个所述第一检查部中的被选择的所述第一检查部，进行所述对象物的保持及脱离，对于所述第二检查部组所具有的多个所述第二检查部中的被选择的所述第二检查部，进行所述对象物的保持及脱离。

由此，例如可以跳过维护中的第一检查部或者第二检查部，对于剩余的第一检查部或者第二检查部进行对象物的保持或脱离。因此，例如维护中不需要停止机器人所进行的全部的作业(保持、输送以及脱离)等，因此，能够减少机器人的待机时间。其结果是，能够减小生产率的降低。

在本发明的机器人系统中，优选的是，所述机器臂具有被连结的至少两个臂，所述机器人，在从所述对象物的供给至回收期间，在所述至少两个臂交叉的状态下进行所述对象物的输送。

由此，由于能够降低对象物输送时的机器臂的振动，因此，能够使得使对象物移动时的机器人的速度及加速度更快。因此，能够更为提高生产率。并且，能够更迅速地开始输送后的对象物的保持及脱离。

在本发明的机器人系统中，优选的是，所述机器人具备：连接于所述机器臂，具有通过吸附而保持所述对象物的多个吸附部的部件；流路部，连接于所述吸附部，具备气体流动的流路；检测部，检测所述流路部中的所述气体的压力或者每单位时间的流量；摄像部，具有摄像功能，基于来自所述摄像部的检测结果和来自所述检测部的检测结果，求出通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离中的示教点。

由此，能够高精度地求出示教点，使用该示教点由机器人进行对象物的保持及脱离，从而，能够降低或者防止例如对象物的保持失误等。因此，能够可靠地进行通过机器人进行的对象物的保持及脱离。

附图说明

图1为从正面侧观察本发明的第一实施方式所涉及的机器人系统的立体图。

图2为从背面侧观察图1所示的机器人系统的立体图。

图3为图1所示的机器人系统的左视图。

图4为示出图1所示的机器人系统的内部的立体图。

图5为示出图1所示的机器人系统的内部的俯视图。

图6为图1所示的机器人系统的框图。

图7为示出图1所示的供给部所具有的载置部件的俯视图。

图8为示出图1所示的检查单元的立体图。

图9为图1所示的检查部的侧视图。

图10为图8所示的检查台的俯视图。

图11为示出将图8所示的检查台向壳体的外部拉出的状态的图。

图12为图1所示的机器人的主视图。

图13为示出图12所示的手端操作装置的图。

图14为示出图12所示的手端操作装置的图。

图15为示出图13所示的转动部件及保持部的图。

图16为示出图13所示的手端操作装置和图8所示的检查部之间的关系的示意图。

图17为示出图13所示的手端操作装置和图8所示的检查部之间的关系的示意图。

图18为示出图12所示的机器人所具有的手端操作装置的其他方式的图。

图19为示出图15所示的转动部件及保持部的示意图。

图20为示出图19所示的转动部件及保持部的变形例的示意图。

图21为示出图19所示的转动部件及保持部的变形例的示意图。

图22为示出图19所示的转动部件及保持部的变形例的示意图。

图23为示出图12所示的机器人的一部分的图。

图24为示出图12所示的机器人的第一臂、第二臂及第三臂未重合的状态的侧视图。

图25为示出图12所示的机器人的第一臂、第二臂及第三臂重合的状态的侧视图。

图26为示出图12所示的机器人的动作中的机器臂的前端的移动路径的图。

图27为图12所示的机器人的第一臂及第三臂交叉的状态的概略侧视图。

图28为图12所示的机器人的第一臂及第四臂重合的状态的概略侧视图。

图29为用于说明图12所示的机器人所具有的机器臂的前端部的可动范围的图。

图30为用于说明图12所示的机器人所具有的机器臂的前端部的可动范围的图。

图31为示出图12所示的机器人所具有的手端操作装置的前端的可动范围的图。

图32为示出图12所示的机器人所具有的手端操作装置的前端的可动范围的图。

图33为用于说明图12所示的机器人的作业的一例的流程图。

图34为用于说明图12所示的机器人的作业的一例的图。

图35为用于说明通过图12所示的机器人所具有的手端操作装置进行的对象物的保持及脱离的图。

图36为用于说明通过图12所示的机器人所具有的手端操作装置进行的对象物的保持及脱离的图。

图37为用于说明通过图12所示的机器人所具有的手端操作装置进行的对象物的保持及脱离的图。

图38为用于说明通过图12所示的机器人所具有的手端操作装置进行的对象物的保持及脱离的图。

图39为示出通过图12所示的机器人输送的对象物的数量和生产节拍时间之间的关系的曲线图。

图40为用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的一例的流程图。

图41为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的机器人的前端部的图。

图42为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的检查台的图。

图43为示出设置于图42所示的插口的基准标记的图。

图44为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的机器人的前端部的图。

图45为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的手端操作装置的保持部和检查台上的对象物之间的距离的图。

图46为示出本发明的第二实施方式所涉及的机器人系统所具有的检查部的侧视图。

图47为示出通过图46所示的检查部检查的对象物的一例的图。

图48为从上侧观察本发明的第三实施方式所涉及的机器人系统的内部的示意图。

图49为从上侧观察本发明的第四实施方式所涉及的机器人系统的内部的示意图。

图50为示出具有多个图49所示的机器人系统的机器人系统单元的图。

图51为示出图49所示的供给回收单元的变形例的示意图。

图52为示出图49所示的供给回收单元的变形例的示意图。

图53为本发明的第五实施方式所涉及的机器人系统的左视图。

图54为本发明的第六实施方式所涉及的机器人系统的主视图。

图55为从上侧观察本发明的第七实施方式所涉及的机器人系统的概略图。

图56为设置于图55所示的机器人系统所具备的载置台的载置部件的一例的图。

图57为从上侧观察本发明的第八实施方式所涉及的机器人系统的概略图。

图58为从上侧观察本发明的第九实施方式所涉及的机器人系统的概略图。

图59为从上侧观察本发明的第十实施方式所涉及的机器人系统的概略图。

附图标记说明

1…机器人、1A…机器人、2…供给单元、3…检查单元、4…回收单元、5…手端操作装置、5a…手端操作装置、5b…手端操作装置、5c…手端操作装置、5d…手端操作装置、6…壳体、9…对准用摄像部、10…机器臂、11…第一臂、12…第二臂、13…第三臂、14…第四臂、15…第五臂、16…第六臂、18…驱动部、19…位置传感器、20…供给部、24…供给回收单元、25…载置部件、25A…载置部件、25B…载置部件、30…检查部组、31…第一检查部组、32…第二检查部组、33…第三检查部组、34…第四检查部组、40…回收部、41…合格品用回收部、42…次品用回收部、43…再检查用回收部、44…空载置部件收集部、50…配管、51…连接部件、52…转动部件、53…轴、54…驱动部、55…安装部件、56…限制部件、60…显示装置、61…框、62…罩部件、63…门、65…报知部、71…机器人控制装置、72…周边设备控制装置、73…检查控制装置、74…载置台、75…载置台、76…机器人工具快换装置、80…对象物、81…第一对象物、82…第二对象物、83…第三对象物、84…第四对象物、85…第五对象物、86…第六对象物、87…第七对象物、88…第八对象物、89…对象物、91…移动机构、100…机器人系统、110…基台、111…第一部分、112…第二部分、113…第三部分、120…力检测部、130…负压产生装置、140…摄像部、141…支承部、142…支承部、143…照明部、144…透镜组、145…棱镜、146…拍摄元件、147…配线、150…检测部、171…关节、172…关节、173…关节、174…关节、175…关节、176…关节、181…线段、182…直线、190…突出部、191…箭头、192…箭头、193…箭头、200…单元组、241…传送带、242…传送带、243…传送带、244…传送带、245…传送带、256…凹部、257…角部、300…检查部、301…检查台、302…第一部件、303…第二部件、304…连结部件、305…移动机构、306…支承部件、307…插口、308…拉手、309…插口、310…第一检查部、310a…第一检查部、310b…第一检查部、310c…第一检查部、310d…第一检查部、320…第二检查部、330…第三检查部、340…第四检查部、500…结构体、510…结构体、520…保持部、520a…保持部、521…第一保持部、522…第二保持部、523…第三保持部、524…第四保持部、525…第五保持部、530…突出部、541…壳体、620…开口、711…控制部、712…输入输出部、713…存储部、721…控制部、722…输入输出部、723…存储部、731…控制部、732…输入输出部、733…存储部、891…连接器、900…作业单元、1000…机器人系统单元、1101…凸缘、1105…轴承部、2421…区域、2422…区域、2423…区域、3031…铰链、3071…凹部、3072…基准标记、3091…凹部、5201…贯通孔、A11…箭头、A12…箭头、A13…箭头、A14…箭头、A15…箭头、A16…箭头、A17…箭头、C1…假想面、C2…假想面、C5…假想面、C51…假想面、C52…假想面、C53…假想面、C54…假想面、C55…假想面、C56…假想面、C6…假想面、C7…假想面、L11…设置高度、L33…距离、L53…高度、O1…第一转动轴、O120…中心轴、O2…第二转动轴、O3…第三转动轴、O4…第四转动轴、O5…第五转动轴、O53…转动轴、O6…第六转动轴、P…交点、S1…区域、S10…空间、S11…步骤、S12…步骤、S13…步骤、S14…步骤、S15…步骤、S16…步骤、S2…区域、S21…步骤、S22…步骤、S23…步骤、S25…供给区域、S3…区域、S31…第一检查区域、S32…第二检查区域、S41…作业区域、S5…空间、S7…区域、a1…箭头、a2…箭头、a3…箭头、d10…距离、d20…范围、θ…角度、L1…长度、L2…长度、L3…长度、L31…长度、L51…宽度、L52…突出长度、L12…长度、L13…长度、L510…宽度、L511…宽度、L510a…宽度、L511a…宽度、L512…宽度、L512a…宽度。

具体实施方式

以下，基于附图所示的优选的实施方式，详细地说明本发明的机器人系统。

第一实施方式

1.机器人系统的构成

图1为从正面侧观察本发明的第一实施方式所涉及的机器人系统的立体图。图2为从背面侧观察图1所示的机器人系统的立体图。图3为图1所示的机器人系统的左视图。图4为示出图1所示的机器人系统的内部的立体图。图5为示出图1所示的机器人系统的内部的俯视图。图6为图1所示的机器人系统的框图。图7为示出图1所示的供给部所具有的载置部件的俯视图。图8为示出图1所示的检查单元的立体图。图9为图1所示的检查部的侧视图。图10为图8所示的检查台的俯视图。图11为示出将图8所示的检查台向壳体的外部拉出的状态的图。此外，在图7中省略了检查部所具有的插口307的图示。

此外，以下为了便于说明，用箭头图示相互正交的三个轴即X轴、Y轴及Z轴，将该箭头的前端侧作为“+(正)”，将基端侧作为“-(负)”。并且，以下，将平行于X轴的方向称为“X轴方向”，将平行于Y轴的方向称为“Y轴方向”，将平行于Z轴的方向称为“Z轴方向”。并且，将+Z轴侧称为“上侧”、将-Z轴侧称为“下侧”、将+Y轴侧称为“背面侧”、将-Y轴侧称为“表面侧”、将+X轴侧称为“左侧”、将-X轴侧称为“右侧”。并且，包含X轴和Y轴的XY平面为水平、Z轴为铅垂。在此，本说明书中所说的“水平”不限于完全的水平，也包含相对于水平在±5°以内的范围倾斜的情况。在此，本说明书中所说的“铅垂”不限于完全的铅垂，也包含相对于铅垂在±5°以内的范围倾斜的情况。并且，视为铅垂方向与重力方向一致。

图1～图6所示的机器人系统100为例如进行用于各种电子设备的电子部件或电子设备等的对象物(检查对象物)的检查的装置。

作为电子部件，例如列举二极管或晶体管等的有源部件、电容器等的无源部件、外装体或基板等的功能部件以及将这些进行组合的部件(例如，GPS(全球定位系统，GlobalPositioning System)模块基板、SiP(系统级封装，System in Package)设备)等。并且，作为电子设备例如可以列举个人电脑、手机(包含多功能型手机(智能手机))、手表(例如，带有GPS功能的手表等)、照相机、游戏机等。

并且，作为对象物的检查，例如可以列举导通检查(电气检查)、声音检查、图像检查、通信检查、外观检查、确认振动器、传感器等的各部分的驱动状态的功能检查等。

机器人系统100具有：壳体6、供给单元2、检查单元3、回收单元4、具有机器臂10的机器人1、对准用摄像部9、机器人控制装置71、周边设备控制装置72、检查控制装置73(参照图1～图5)。

在该机器人系统100中，供给单元2、检查单元3、回收单元4分别以机器人1的机器臂10的前端向供给单元2、检查单元3、回收单元4能够存取的方式配置。

以下依次顺明机器人系统100的各部分。

壳体

如图1～图4所示，壳体6具有：框架61、设置于框架61的罩部件62。该壳体6为收容供给单元2、检查单元3、回收单元4、机器人1、对准用摄像部9、机器人控制装置71、周边设备控制装置72及检查控制装置73的箱，从外部对它们进行保护。

并且，能够开闭的门63设置于壳体6的正面侧。作业者可通过打开门63而向壳体6的内部进行存取。并且，门63具有例如由透明的玻璃或树脂等构成的部件。因此，门63也可以作为能够视认壳体6的内部的窗部件而发挥作用。由此，作业者即使不开闭门63也能够视认壳体6的内部。

并且，通过显色的颜色的组合而报知机器人系统100的内部的状态等的报知部65(信号灯)设置于壳体6的上部。由此，作业者能够掌握在机器人系统100的内部是否出现了异常等。

并且，窗口等的由显示各种画面的液晶面板等构成的显示装置60安装于壳体6的正面侧上部。作业者能够借助显示装置60掌握例如对象物的检查结果等。此外，虽未图示，但将由例如鼠标或键盘等构成的输入装置也可以设置于壳体6。由此，作业者能够操作输入装置而对机器人控制装置71、周边设备控制装置72及检查控制装置73进行各种处理等的指示。并且，显示装置60还可以兼具该输入装置的功能。在这种情况下，可以由例如触摸面板(显示输入装置)等构成显示装置60。

供给单元

如图4及图5所示，供给单元2设置于壳体6的内部的-Y轴侧(正面侧)。

供给单元2具有供给对象物的供给部20。此外，在本实施方式中，供给部20的数量为一个，但供给部20的数量也可以为两个以上。

该供给部20，以能够配置载置部件25的方式构成，该载置部件25能够载置图7所示的对象物。如图7所示，载置部件25由依照JEDEC规格的托盘构成，形成平面视形状呈四边形的板状，具有多个载置对象物的凹部256。在该载置部件25中，对于一个凹部256能够载置一个对象物。并且，载置部件25的板面在载置于供给部20的状态下，与XY平面大致平行。此外，作为“载置部件”可以使用依照JEDEC规格的托盘以外的部件。

并且，载置部件25能够从供给部20取出。例如，作业者能够打开门63而从供给部20取出载置部件25或将载置部件25设置于供给部20。

检查单元

如图4及图5所示，检查单元3设置于壳体6的内部的+Y轴侧(背面侧)。

如图8所示，检查单元3具有多个能够载置对象物、检查被载置的对象物的检查部300。在各检查部300中，在后述的检查控制装置73的控制下，进行如上所述的内容的检查(例如导通检查等)。

并且，在本实施方式中，配合后述的机器人1的作业，将多个检查部300分割为四个组。具体而言，检查单元3包括：具有四个第一检查部310(检查部300)的第一检查部组31、具有四个第二检查部320(检查部300)的第二检查部组32、具有四个第三检查部330(检查部300)的第三检查部组33、具有四个第四检查部340(检查部300)的第四检查部组34。此外，在本实施方式中，各检查部300可以为相同的检查内容，但也可以为各自不同的检查内容。

在此，第一检查部310、第二检查部320、第三检查部330及第四检查部340为各自相同的构成，以下也称为“检查部300”。并且，将第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34，以下也分别称为“检查部组30”。

如图5及图7所示，多个检查部300从Z轴方向(重力方向)观察配置为圆弧状。并且，四个第一检查部310和四个第三检查部330位于同一平面上。同样地，四个第二检查部320和四个第四检查部340位于同一平面上。并且，四个第一检查部310位于四个第二检查部320的上方。同样地，四个第三检查部330位于四个第四检查部340的上方。

如图9所示，检查部300具有：检查台301、连接于检查台301的第一部件302、位于检查台301的上方的第二部件303、连结第一部件302和第二部件303的连结部件304、使检查台301移动的移动机构305。

如图9及图10所示，检查台301为平面视形状呈四边形的平板状的部件。具有载置有对象物的凹部3071的插口307和支承插口307的支承部件306设置于检查台301的上部。此外，也可以省略支承部件306。在这种情况下，例如，插口307可以固定于检查台301。并且，插口307也可以借助基板(未图示)固定于检查台301。在此，各检查部300具备与后述的检查控制装置73电连接的检查用电路(未图示)，插口307电连接于该检查用电路。通过该检查用电路，与载置于凹部3071的对象物有关的检测结果被输出至检查控制装置73。

第一部件302为平面视形状呈四边形的平板状的部件，被固定于检查台301的支承部件306的相反侧的端部。该第一部件302，如图1所示，设置于壳体6的罩部件62。并且，拉手308设置于第一部件302。作业者通过把持拉手308向壳体6的外部牵拉，如图11所示，能够将检查台301拉出至壳体6的外部。由此，作业者能够在壳体6的外部进行设置于检查台301的插口307等的维护。这样，第一部件302具有作为拉出检查台301的门部件的功能。

图9所示的第二部件303为平板状的部件，其平面视形状大致等于或大于第一部件302。铰链3031安装于该第二部件303的第一部件302侧的端部。第二部件303通过该铰链3031而连接于壳体6。并且，在第二部件303的第一部件302的相反侧连接有连结部件304(连杆)的一端部。连结部件304的另一端部连接于第一部件302的检查台301侧。

该第二部件303，在检查台301位于壳体6的内部的状态下，如图9所示，位于检查台301的上方，与检查台301的上面大致平行。当作业者操作拉手308使检查台301从该状态向壳体6的外部移动时，第二部件303以铰链3031为转动中心部向箭头a3方向转动。由此，如图11所示，成为以通过开放第一部件302而堵塞形成于罩部件62的开口620的方式设置第二部件303的状态。这样，第二部件303，当检查台301位于壳体6的内部时，作为覆盖检查台301的上部的罩部而发挥作用；当检查台301位于壳体6的外部时，堵塞开口620，作为隔开壳体6的内部和外部的隔开部而发挥作用。由此，能够防止作业者在壳体6的外部进行维护时误将手伸入壳体6内。

并且，当检查台301位于壳体6的内部时，如图9所示，连结部件304位于支承部件306的斜上方(检查部300的第一部件302及第二部件303侧)。另一方面，当检查台301位于壳体6的外部时，如图11所示，连结部件304位于支承部件306的下方(检查部300的检查台301侧)，与检查台301的上面大致平行。这样，当检查台301位于壳体6的内部时，连结部件304实现不阻碍进出(access)检查台301的机器人1的动作的配置。另一方面，当检查台301位于壳体6的外部时，连结部件304实现不阻碍作业者进行插口307等的维护的配置。

如图9所示，使检查台301往复移动的移动机构305设置于检查台301的下方。由此，如上所述，作业者通过操作拉手308而能够使检查台301在壳体6的内部和外部之间移动。

作为移动机构305的构成，虽未图示，例如具备：轨道、能够在轨道上滑动地设置的滑动件等。此外，移动机构305可以构成为具备电机等。由此，作业者即使不操作拉手308也能够使检查台301自动地在壳体6的内部和外部之间移动。

以上，对检查单元3进行了说明。

如上所述，机器人系统100具备：供给部20、第一检查部310、第二检查部320、第三检查部330、第四检查部340、回收部40、收容机器人1的壳体6，第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34分别具有载置有对象物的检查台301和能够使检查台301在壳体6的外部移动的移动机构305。由此，能够使检查台301向壳体6的外部(机器人系统100的外部)移动。因此，作业者例如能够容易地进行检查台301的维护等。

并且，如上所述，第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34，分别连接于检查台301，并具有：在检查台301位于壳体6的内部的状态下设置于壳体6的第一部件302、在检查台301位于壳体6的内部的状态下位于检查台301的上部的第二部件303、连结第一部件302和第二部件303的连结部件304。检查台301通过将第一部件302向壳体6的外侧拉出而位于壳体6的外部。第二部件303，在检查台301位于壳体6的外部的状态下，作为隔开壳体6的内部和外部的隔开部而发挥作用。由此，当检查台301位于壳体6的内部时，第二部件303作为覆盖检查台301的上部的罩部而发挥作用。并且，当检查台301位于壳体6的外部时，第二部件303作为隔开部而发挥作用。因此，能够防止例如作业者在壳体6的外部维护检查台301等时误将手伸入壳体6内。

并且，在上述的说明中，检查单元3将多个检查部300分割为四个，但该分割数量或分割部位没有特别的限定。因此，在上述的说明中，虽说明了具有第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34的情况，但只要具有至少两个检查部组30即可，也可以具有五个以上的检查部组30。并且，可以将第一检查部组31和第三检查部组33概括而理解为为“第一检查部组”。并且，在上述的说明中，将“第一检查部组31”理解为权利要求的范围中记载的“第一检查部组”，将“第二检查部组32”理解为权利要求的范围中记载的“第二检查部组”，但也可以将第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34中的任一检查部组30理解为权利要求的范围中记载的“第一检查部组”或者“第二检查部组”。例如，可以将“第三检查部组33”理解为“第一检查部组”，将“第四检查部组34”理解为“第二检查部组”。并且，同样地，在上述的说明中，将“第一检查部310”理解为权利要求的范围中记载的“第一检查部”，将“第二检查部320”理解为权利要求的范围中记载的“第二检查部”，但也可以将第一检查部310、第二检查部320、第三检查部330及第四检查部340中的任一检查部300理解为权利要求的范围中记载的“第一检查部”以及“第二检查部”。

并且，检查部300的数量为任意，并不限于图示的数量。并且，在本实施方式中，检查部300未设置于机器人系统100的正面侧，但也可以将检查部300设置于机器人系统100的正面侧。即，从Z轴方向观察可以遍及机器人1的全周进行设置。

并且，检查部300的构成，并不限于上述的构成，可以根据检查内容等而适当设置。例如，在进行按压耐久试验的情况下，可以将按压载置于插口307的对象物的气缸(未图示)设置于第二部件303。

回收单元

如图4及图5所示，回收单元4设置于壳体6的内部的-Y轴侧(正面侧)。回收单元4设置于供给单元2的-X轴侧。此外，回收单元4和上述的供给单元2之间的配置关系不限于图示。例如，回收单元4可以设置于供给单元2的+X轴侧。并且，回收单元4和上述的供给单元2，从Z轴方向观察，相比检查单元3配置于机器人系统100的中心部侧。

回收单元4具有回收在检查部300做完检查的对象物的多个回收部40。在本实施方式中，回收单元4具有三个回收部40，基于检查部300中的检查结果而被分类的对象物，按照其分类分开回收。在本实施方式中，对象物被分类为“合格品”、“次品”以及“再检查”。例如，“合格品”表示对象物没有功能上的缺陷等。“次品”表示对象物存在功能上的缺陷等。“再检查”表示在检查结果为错误等情况下再次重新检查。

在本实施方式中，回收单元4具有：合格品用回收部41(回收部40)、次品用回收部42(回收部40)、再检查用回收部43(回收部40)。通过检查部300判断为合格品的对象物载置于合格品用回收部41。通过检查部300判断为次品的对象物载置于次品用回收部42。通过检查部300判断为再检查的对象物载置于再检查用回收部43。

在此，合格品用回收部41、次品用回收部42及再检查用回收部43除了被回收的对象物的种类(具体而言为合格品、次品或者再检查)不同以外，为同样的构成。因此，以下也将合格品用回收部41、次品用回收部42及再检查用回收部43分别称为“回收部40”。

回收部40，与供给部20同样地，以能够配置载置部件25的方式构成，该载置部件25能够载置图7所示的对象物。并且，回收部40，与供给部20同样地，载置部件25的板面在载置于回收部40的状态下，与XY平面大致平行。并且，载置部件25能够从回收部40取出。

以上，对回收单元4进行了说明。此外，在本实施方式中，回收部40的数量为三个，但回收部40的数量也可以为一个、两个或者四个以上。并且，在回收单元4中，将对象物分开为合格品、次品以及再检查而回收，但也可以将对象物不分开进行回收。这种情况下，在一个载置部件25中载置所回收的全部的对象物。并且，通过机器人控制装置71或者周边设备控制装置72存储载置部件25所载置的各对象物是否为合格品、次品以及再检查中的任意一个。由此，在从机器人系统100回收了对象物之后，也能够基于所存储的数据将对象物分开为合格品、次品以及再检查。

并且，在本实施方式中，在全部的检查部组30(第一检查部组31～第四检查部组34)设置公用的一组回收部40(合格品用回收部41、次品用回收部42以及再检查用回收部43)，但不限于此，例如，可以在各个检查部组30(第一检查部组31～第四检查部组34)设置单独的回收部40(合格品用回收部41、次品用回收部42以及再检查用回收部43)。并且，对于供给部20也是同样。

机器人

图12为图1所示的机器人的主视图。图13及图14分别为示出图12所示的手端操作装置的图。图15为示出图13所示的转动部件及保持部的图。图16及图17分别为示出图13所示的手端操作装置和图8所示的检查部之间的关系的示意图。图18为示出图12所示的机器人所具有的手端操作装置的其他方式的图。图19为示出图15所示的转动部件及保持部的示意图。图20、图21及图22分别为示出图19所示的转动部件及保持部的变形例的示意图。图23为示出图12所示的机器人的一部分的图。此外，将图12中的基台侧称为“基端”或者“上游”，将其相反侧(手端操作装置侧)称为“前端”或者“下游”。

在以下的机器人的说明中，与图1～图11一起参照上述的图12～图23进行说明。

如图5所示，机器人1设置于壳体6的内部的中央部。并且，如图4所示，机器人1安装于壳体6的框架61的顶部。即，机器人1为所谓的吊顶式机器人。此外，机器人1的设置部位不限于顶部，例如可以为底部或侧壁部等。

如图12所示，机器人1具有：基台110、机器臂10、力检测部120、手端操作装置5、负压产生装置130、摄像部140。并且，机器人1，如图6所示，具有驱动部18和位置传感器19。

该机器人1进出上述的供给部20、各检查部300、各回收部40而进行各种作业。例如，机器人1在供给部20、各检查部300及各回收部40的各自中进行对象物的保持或者脱离。并且，机器人1在供给部20和各检查部300之间及各检查部300和各回收部40之间的各自中进行对象物的输送。

以下，对机器人1的构成进行详述。

基台

图12所示的基台110是为了将机器人1安装于壳体6而被使用的部件。并且，在基台110上，设置有以包围基台110的方式安装于基台110的凸缘1101。并且，机器臂10连接于基台110的下端部。

在本实施方式中，如上所述，机器人1，由于安装于框架61的顶部，因此，机器臂10相比基台110位于竖直下方。由此，对于机器人1尤其能够提高竖直下方区域中的机器人1的作业性。

此外，在本实施方式中，基台110安装于顶部，基台110也可以安装于其他部位，例如，安装于底部。

机器臂

图12所示的机器臂10能够转动地连接于基台110。该机器臂10具有：第一臂11(臂)、第二臂12(臂)、第三臂13(臂)、第四臂14(臂)、第五臂15(臂)、第六臂16(臂)。

第一臂11连接于基台110的下端部。第一臂11、第二臂12、第三臂13、第四臂14、第五臂15、第六臂16，从基端侧朝向前端侧按照该顺序连结。

如图12所示，第一臂11呈弯曲或者折曲的形状，其基端部连接于基台110。该第一臂11具有：连接于基台110、沿水平方向延伸的第一部分111；连接于第二臂12、沿竖直方向(垂直方向)延伸的第二部分112；位于第一部分111和第二部分112之间、沿相对于水平方向及竖直方向倾斜的方向延伸的第三部分113。此外，第一部分111、第二部分112及第三部分113一体地形成。

第二臂12形成细长形状，连接于第一臂11的前端部。第三臂13形成细长形状，连接于第二臂12的与连接有第一臂11的端部相反的端部。

第四臂14，连接于第三臂13的与连接有第二臂12的端部相反的端部。第四臂14具有相互对置的一对支承部141、142。支承部141、142用于与第五臂15的连接。此外，第四臂14不限于该构造，例如，支承部可以为一个(悬臂)。

第五臂15位于支承部141、142之间，通过安装于支承部141、142而连接于第四臂14。

第六臂16形成平面视形状为圆形的板状，连接于第五臂15的前端部。

这样的各臂11～16的外装(构成外形的部件)既可以分别由一个部件构成，也可以分别由多个部件构成。

并且，如图12所示，机器臂10具有六个关节171～176，该关节具有能够将一方的臂相对于另一方的臂(或者基台110)转动地支承的功能。

基台110和第一臂11经由关节171连结，第一臂11相对于基台110能够围绕沿着竖直方向的第一转动轴O1转动。并且，第一臂11和第二臂12经由关节172连结，第二臂12相对于第一臂11能够围绕沿着水平方向的第二转动轴O2转动。并且，第二臂12和第三臂13经由关节173连结，第三臂13相对于第二臂12能够围绕沿着水平方向的第三转动轴O3转动。并且，第三臂13和第四臂14经由关节174连结，第四臂14相对于第三臂13能够围绕与第三转动轴O3正交的第四转动轴O4转动。并且，第四臂14和第五臂15经由关节175连结，第五臂15相对于第四臂14能够围绕与第四转动轴O4正交的第五转动轴O5转动。并且，第五臂15和第六臂16经由关节176连结，第六臂16相对于第五臂15能够围绕与第五转动轴O5正交的第六转动轴O6转动。

具有这种机器臂10的机器人1为具有六个(多个)臂11～16的垂直多关节机器人，因此，驱动范围广、能够发挥高作业性。

图12中虽然未图示，但驱动部18和位置传感器19(角度传感器)分别设置于关节171～176(参照图6)。即，机器人1具有与六个臂11～16相同数量(本实施方式中为六个)的驱动部18及位置传感器19。

驱动部18具有：产生使对应的臂转动的驱动力的电机(未图示)和减速电机的驱动力的减速机(未图示)。位置传感器19检测驱动部18所具有的电机或者减速机的旋转轴的旋转角度等。

作为驱动部18所具有的电机，例如可以使用AC伺服电机、DC伺服电机等的伺服电机。作为驱动部18所具有的减速机，例如可以使用行星齿轮减速机、波动齿轮装置等。作为位置传感器19，例如可以使用编码器、旋转编码器等。并且，各驱动部18经由电连接的电机驱动器(未图示)被机器人控制装置71控制。此外，电机驱动器例如内置于基台110。

力检测部

如图12所示，力检测部120能够拆装地安装于机器臂10的前端部(下端部)。此外，在本实施方式中，第六臂16的第六转动轴O6和力检测部120的中心轴O120几乎一致(重合)。

力检测部120例如检测施加于机器人1的力(包含力矩)即外力，输出基于该外力的检测结果(力输出值)。力检测部120例如可以由力觉传感器或转矩传感器等构成。

在本实施方式中，作为力检测部120使用能够检测相互正交的三个轴(x轴、y轴、z轴)方向的平移力分量Fx、Fy、Fz和三个轴周围的旋转力分量(力矩)Mx、My、Mz的六个分量的六轴力觉传感器。并且，在本实施方式中，手端操作装置5设置于力检测部120的前端部，通过力检测部120检测出施加于手端操作装置5的力。

手端操作装置

如图12所示，手端操作装置5能够拆装地安装于力检测部120的前端部(下端部)。手端操作装置5为保持对象物的装置。在此，所谓对象物的“保持”是指通过对象物的把持或吸附(通过负压、吸附等)等固定地支承对象物。

如图13及图14所示，手端操作装置5具有：连接部件51、驱动部54、安装部件55、轴53、转动部件52、五个保持部520和限制部件56。该手端操作装置5能够随着第六臂16的转动而围绕第六转动轴O6转动。并且，手端操作装置5构成为即使围绕第六转动轴O6转动也不会与第二臂12干涉。

连接部件51为板状的部件，为了将手端操作装置5安装于力检测部120而被使用。并且，如图12所示，连接部件51具有相比力检测部120向与力检测部120的中心轴O120正交(交叉)的方向突出的部分。后述的摄像部140设置于该突出的部分。此外，摄像部140与连接部件51的力检测部120设置于同一面侧。

如图13及图14所示，连接于连接部件51的安装部件55安装于连接部件51的下方。驱动部54通过该安装部件55安装于连接部件51。并且，轴53连接于驱动部54。

驱动部54具有：使轴53围绕其转动轴O53转动的电机(未图示)等和收容电机等的壳体541。并且，轴53从驱动部54向与力检测部120的中心轴O120正交(交叉)的方向突出。轴53的转动轴O53与中心轴O120正交(交叉)。

并且，平板状的转动部件52相对于轴53能够拆装地安装于轴53的前端部(与驱动部54相反一侧的端部)。该转动部件52位于摄像部140的下方。

并且，转动部件52以板面与转动轴O53正交(交叉)的方式安装于轴53。安装于该轴53的转动部件52，由于轴53能够围绕转动轴O53转动，因此，与轴53的转动一起转动。具体而言，如图15所示，转动部件52能够分别向箭头a1方向及箭头a2方向转动。此外，轴53也可以以能够沿其转动轴O53滑动的方式构成。

并且，如图15所示，转动部件52平面观察呈六边形。具体而言，转动部件52呈缺少了正八边形的上部的平面视形状。更具体而言，转动部件52的平面视形状呈位于图15的上侧的两个顶点的内角比剩余四个顶点的内角小的六边形。在本实施方式中，上部的两个顶点的内角分别为90°，剩余四个顶点的内角分别为135°。

保持部520相对于转动部件52，分别能够拆装地安装于该转动部件52的除上部的边(缘)之外的五个边(缘)。即，五个保持部520设置于转动部件52。并且，各保持部520以即使转动部件52转动也不会接触摄像部140的方式设置于转动部件52。

各保持部520为保持对象物的部分。在本实施方式中，作为各保持部520，使用能够通过负压而吸附并保持对象物的吸盘。气体(具体而言为空气)通过的贯通孔5201设置于该保持部520(参照图45)。并且，如图13及图14所示，配管50(流路部)连接于各保持部520。气体通过该配管50而被供给至保持部520的贯通孔5201。

在此，限制配管50的移动的限制部件56安装于上述的安装部件55，以便各配管50不妨碍机器臂10的转动。该限制部件56以覆盖安装部件55、驱动部54、多个配管50的方式连接于安装部件55的外表面。

根据这样构成的手端操作装置5，如上所述，由于转动部件52呈六边形、保持部520设置于转动部件52的五个边的各个边，因此，能够保持多个对象物，并且，能够使手端操作装置5的宽度L510(参照图15)变得更小。

并且，优选的是，该手端操作装置5的外形大小根据检查部300的大小而设定。

具体而言，如图16所示，优选的是，手端操作装置5的宽度L51(长度)等于或小于检查部300的宽度的一半的长度L31。由此，机器人1在检查部300进行对象物的脱离(保持的解除)及保持时，能够降低或者防止手端操作装置5侵入邻接的检查部300。并且，如图17所示，手端操作装置5的高度L53(长度)小于重叠的两个检查部300所具有的检查台301彼此之间的距离L33。严格来讲，虽然图17未图示，距离L33为位于下方的检查部300所具有的插口307和位于上部的检查部300的下端(下面)之间的距离。由此，能够使手端操作装置5的前端部有效地潜入被重叠的两个检查部300所具有的检查台301彼此之间。并且，优选的是，以如下方式设定手端操作装置5的突出长度L52：在手端操作装置5的前端部位于检查部300上的状态下，在力检测部120和检查部300之间能够确保预定的距离d10。由此，机器人1在检查部300进行对象物的保持及脱离时，能够降低或者防止力检测部120或者第六臂16与检查部300进行干涉。在此，手端操作装置5具有从第六转动轴O6的轴向观察时相比力检测部120向外侧突出的突出部190(参照图12)。上述的手端操作装置5的突出长度L52是指该突出部190的长度。此外，在力检测部120的宽度小于第六臂16的宽度的情况或者不具备力检测部120的情况下，突出部190是指从第六转动轴O6的轴向观察时相比第六臂16向外侧突出的部分。并且，突出长度L52表示以代替力检测部120的第六臂16为基准的长度。

以上，对手端操作装置5进行了说明。此外，手端操作装置5不限于上述的构成。例如，可以使用如图18所示的手端操作装置5a。该手端操作装置5a具有配置成一列的五个保持部520a。保持部520a的前端位于同一直线上。根据这种手端操作装置5a，例如，能够成批保持载置于载置部件25的多个对象物。

但是，根据上述的本实施方式的手端操作装置5，由于具备转动部件52，因此，能够使手端操作装置5的前端部的宽度L510小于手端操作装置5a的宽度L510a(参照图15及图18)。因此，从所谓使前端部的宽度变得更小的观点出发，优选的是，使用手端操作装置5。

并且，如图19所示，在手端操作装置5保持多个作为“对象物”的一例的对象物80的状态下的手端操作装置5的前端部的宽度L511，小于在手端操作装置5a保持多个对象物80的状态下的手端操作装置5a的前端部的宽度L511a。宽度L511为包含多个对象物80和手端操作装置5的前端部的大小。同样地，宽度L511a为包含多个对象物80和手端操作装置5a的前端部的大小。此外，在图19中，省略了手端操作装置5a的图示，仅图示了利用手端操作装置5a保持的多个对象物80。

具体而言，例如，使用大小为20mm×20mm×1mm的对象物80，当以对象物80彼此不接触的方式将对象物80彼此之间设定为5mm时，手端操作装置5a的前端部的宽度L511a需要设定为125mm以上。对此，手端操作装置5，由于不需要如手端操作装置5a那样地将多个对象物排列成一列，因此，无需如手端操作装置5a那样地考虑对象物80的宽度、厚度以及对象物80彼此的间隙。在本实施方式中，例如，将包含手端操作装置5的前端部即转动部件52和多个保持部520的结构体500的宽度L510设为73mm。因此，能够使考虑对象物80的厚度的手端操作装置5的前端部的宽度L511为75mm。这样，根据手端操作装置5，即使保持与手端操作装置5a相同数量的对象物80，也能够使手端操作装置5的宽度L511小于手端操作装置5a的宽度L511a。

并且，手端操作装置5的宽度方向上的最大必要宽度L512，小于手端操作装置5a的宽度方向上的最大必要宽度L512a(参照图15、图18及图19)。最大必要宽度L512为从保持及脱离对象物80的保持部520的位置至包含对象物80的手端操作装置5的宽度方向的一端部的距离(参照图15及图19)。手端操作装置5的情况下，无论通过五个保持部520中的任意一个保持部520保持，最大必要宽度L512都不变。并且，最大必要宽度L512a为从位于最端部的保持部520a的位置至包含对象物80的手端操作装置5a的宽度方向的一端部的距离(参照图18及图19)。这样，根据手端操作装置5，由于相比手端操作装置5a能够使最大必要宽度L512减小，因此，能够更有效地降低或者防止侵入邻接的检查部300。并且，从降低或者防止进入所邻接的检查部300的观点出发，优选的是，手端操作装置5的最大必要宽度L512或手端操作装置5a的最大必要宽度L512a，小于检查部300的宽度的一半的长度L31(参照图16、图19)。在本实施方式中，例如，检查部300的长度L31为112.5mm，手端操作装置5a的最大必要宽度L512a为110mm，手端操作装置5的最大必要宽度L512为37.5mm。

并且，如上所述，从保持多个对象物且谋求小型化的观点出发，手端操作装置5例如也可以为图20、图21及图22所示的构成。

图20所示的手端操作装置5b具有：平面视形状为正八边形的转动部件52、设置于转动部件52的各边的八个保持部520。根据这样的手端操作装置5b，通过增加转动部件52的边的数量，以与手端操作装置5的宽度L511同样的宽度，相比手端操作装置5能够保持更多的对象物80。

图21所示的手端操作装置5c具有：平面视形状为正五边形的转动部件52、设置于转动部件52的各边的五个保持部520。根据这样的手端操作装置5c，通过减少转动部件52的边的数量，相比能够通过手端操作装置5保持的对象物80，能够保持更大的对象物80。

如上所述，机器人1具有连接于机器臂10的手端操作装置5，手端操作装置5具有：能够围绕转动轴O53转动的转动部件52、设置于转动部件52并保持对象物80的多个保持部520(参照图15)。由此，能够实现小型且能够成批输送多个对象物80的手端操作装置5。

此外，本发明中的“机器人”不限于图12所示的机器人1。例如，可以为图12所示的机器人1以外的垂直多关节机器人或所谓的水平多关节机器人。但是，在供给部、检查部及回收部中的被载置的对象物的姿势各不相同的情况下，优选的是，以能够变更设置于机器臂的前端的手端操作装置的姿势的方式具有多个臂的垂直多关节机器人。

负压产生装置

如图23所示，负压产生装置130设置于第三臂13的与第二臂12相反一侧的区域S1。负压产生装置130安装于机器臂10的第三臂13。

负压产生装置130，虽未图示，但经由插通机器人1的第一臂11及第二臂12内的配管，而连接于产生气体(具体而言为压缩空气)的压缩空气供给装置。并且，负压产生装置130连接于手端操作装置5的配管50。

该负压产生装置130，虽未图示，但具备：利用气体(具体而言为压缩空气)使配管50的内部为负压状态(真空状态)的喷射器、为了将配管50内切换为负压状态或者正压状态而被使用的空气阀、用于将配管分支为与手端操作装置5的保持部520的数量相同数量的配管50的分支单元。

通过这种负压产生装置130，能够切换连接于手端操作装置5的配管50(流路部)的气体的流动。即，能够将配管50内切换为负压状态或者正压状态。从而，能够将与配管50内连通的保持部520的贯通孔5201内切换为负压状态和正压状态(参照图45)。由此，通过使贯通孔5201为负压状态，能够由保持部520吸附并把持对象物80。另一方面，通过使贯通孔5201为正压状态，能够使对象物80从保持部520脱离。

并且，在图23中，将负压产生装置130设置于区域S1，例如，也可以将负压产生装置130设置于区域S2。区域S2为第六臂16及力检测部120的图中左侧的区域，其为第一臂11的下方的区域。通过将负压产生装置130配置于该区域S2，能够使负压产生装置130和保持部520之间的距离变得更短。因此，能够提高保持部520的吸附的响应速度。并且，由于能够减少从第三臂13至负压产生装置130排布的配管的数量，因此，能够使配管的排布简单。

并且，负压产生装置130具备检测通过机器人1的保持部520保持(吸附)的状态的检测部150。在本实施方式中，作为检测部150，使用检测连接于保持部520的配管50(流路部)内的气体的压力的压力传感器(气压传感器)。此外，压力传感器的构成没有特别的限定，只要能够检测配管50内的压力，可以为任意的构成。并且，检测部150不限于压力传感器，例如，可以由能够检测配管50内的每单位时间的流量的流量传感器(流量计)等构成。并且，检测部150的数量可以为两个以上。这种情况下，例如，可以具备：由压力传感器22构成的检测部150、由流量传感器构成的检测部150。并且，检测部150可以设置于负压产生装置130以外。

并且，上述的区域S1、S2为机器人1难以与自身等进行干涉的区域。因此，将负压产生装置130配置于区域S1、S2，从避免机器人1与自身等进行干涉的观点出发是有效的。并且，区域S1、S2由于为机器人1难以与自身等进行干涉的区域，因此，配置负压产生装置130以外的各种部件等也是有效的。

摄像部

如图23所示，具有拍摄功能的摄像部140设置于手端操作装置5的上部。该摄像部140以能够拍摄摄像部140的下方即转动部件52的下方的方式设置。此外，摄像部140可以设置于转动部件52，与转动部件52一起转动。

摄像部140具备：具备LED等的照明部143、具备多个透镜的透镜组144、使光折射的棱镜145、由CCD(电荷耦合器件，Charge Coupled Device)等构成的拍摄元件146。由照明部143照射的光，在拍摄对象物等反射，其反射光入射至透镜组144及棱镜145而在拍摄元件146的受光面上成像。并且，摄像部140将光转换为电信号，将该电信号输出至机器人控制装置71。

这种摄像部140由于具备变更光的方向的棱镜145等的光学部件，因此，能够抑制摄像部140的高度方向(图23的上下方向)的长度。因此，能够使包含机器人1的前端部即手端操作装置5及摄像部140的结构体510为扁平薄型且宽度小的构成。因此，能够使结构体510有效地潜入重叠的两个检查部300所具有的检查台301彼此之间(参照图17)。

并且，摄像部140具备：自动地调整焦点的自动对焦功能和调整拍摄的倍率的变焦功能。

并且，连接于摄像部140的配线147与连接于上述的手端操作装置5的保持部520的配管50一起被排布至机器人1的第三臂13。此外，排布至第三臂13的配线147，通过第二臂12及第一臂11内，经由基台110内的电路基板(未图示)电连接于机器人控制装置71。

以上，对机器人1的构成进行了说明。

对准用摄像部

如图5所示，对准用摄像部9设置于壳体6的内部的中央部。该对准用摄像部9位于机器人1的下方。

对准用摄像部9具有摄像功能，例如，被固定于壳体6的底面。并且，对准用摄像部9，虽未图示，但具备：具备LED等的照明部、具备多个透镜的透镜组、由CCD等构成的拍摄元件。由照明部照射的光，在拍摄对象物等反射，其反射光入射至透镜组而在拍摄元件的受光面上成像。并且，对准用摄像部9将光转换为电信号，将该电信号输出至例如周边设备控制装置72。此外，可以以将来自该对准用摄像部9的信号输出至机器人控制装置71的方式构成。

这种对准用摄像部9能够摄像对准用摄像部9的上方。从而，对准用摄像部9能够摄像位于其上方的机器人1的前端部。因此，根据利用对准用摄像部9拍摄的图像，能够掌握通过机器人1的对象物的保持状态。并且，在没有适当地进行保持的情况下，能够将偏离其适当值的量作为补正值而算出，将该补正值输出至周边设备控制装置72。由此，根据与从周边设备控制装置72获取的补正值有关的数据，在机器人控制装置71的控制之下，机器人1能够进行对象物的输送及脱离等的作业。因此，能够以更高精度进行机器人1的作业。

机器人控制装置71

如图1所示，机器人控制装置71设置于壳体6的内部的正面侧(-Y轴侧)。该机器人控制装置71控制机器人1的各部分。

机器人控制装置71例如能够由内置有CPU(中央处理器，Central ProcessingUnit)、ROM(只读存储器，Read Only Memory)及RAM(随机存取存储器，Random AccessMemory)的个人电脑(PC)等构成。该机器人控制装置71可以通过有线通信或无线通信的任一方式而连接于机器人1。

如图6所示，机器人控制装置71具备：控制部711(处理部)、输入输出部712(信息获取部)和存储部713。

控制部711具有：控制机器人1的驱动、摄像部140的动作等的功能以及处理各种运算等的功能等。该控制部711例如由CPU等构成，控制部711的各功能能够通过CPU执行存储于存储部713的各种程序而实现。具体而言，控制部711控制机器人1所具有的各驱动部18的驱动，分别独立地控制各臂11～16。并且，控制部711控制手端操作装置5的驱动部54的驱动。并且，例如，控制部711根据从位置传感器19、力检测部120及摄像部140输出的信号(检测结果)，使手端操作装置5的保持部520移动至目标位置。并且，例如，控制部711，根据摄像部140的图像，运算摄像对象在图像坐标系中的坐标。并且，例如，控制部711求出用于将摄像部140在图像坐标系中的坐标(图像坐标)转换为机器人1在坐标系中的坐标(机器人坐标)的补正参数。同样地，控制部711求出用于将对准用摄像部9在图像坐标系中的坐标(图像坐标)转换为机器人1在坐标系中的坐标的补正参数。

输入输出部712，例如由接口电路等构成，获取从位置传感器19、力检测部120及摄像部140输出的信号。并且，向输入输出部712、各驱动部18、驱动部54输出电机的目标值。并且，输入输出部712进行与周边设备控制装置72及检查控制装置73的数据等的交换。此外，机器人控制装置71、周边设备控制装置72及检查控制装置73，通过有线通信或无线通信的任一方式彼此连接。

并且，存储部713例如由RAM及ROM等构成，存储机器人控制装置71用于进行各种处理等的程序、各种数据等。此外，存储部713不限于在机器人控制装置71内置的存储部件(RAM及ROM等)，也可以为具有所谓的外部存储装置(未图示)的构成。

周边设备控制装置72

如图1所示，周边设备控制装置72设置于壳体6的内部的正面侧(-Y轴侧)。该周边设备控制装置72控制对准用摄像部9或显示装置60等。并且，周边设备控制装置72可以以通过供给部20、各检查部300、各回收部40的构成而控制这些各部的方式构成。并且，虽未图示，周边设备控制装置72以控制设置于壳体6的照明或温度传感器等的方式构成。此外，对准用摄像部9或显示装置60等，也可以通过机器人控制装置71代替周边设备控制装置72来控制。

周边设备控制装置72例如可以由内置有CPU、ROM及RAM的个人电脑等构成。该周边设备控制装置72可以通过有线通信或无线通信的任一方式连接于对准用摄像部9、显示装置60等。

如图6所示，周边设备控制装置72具备：控制部721(处理部)、输入输出部722(信息取得部)和存储部723。

控制部721具有：控制对准用摄像部9的动作等的功能、处理各种运算等的功能等。该控制部721例如由CPU等构成，控制部721的各功能能够通过CPU执行存储于存储部723的各种程序而实现。例如，控制部721，根据对准用摄像部9的图像，运算拍摄对象在图像坐标系中的坐标。

输入输出部722，例如由接口电路等构成，获取从对准用摄像部9输出的信号。并且，输入输出部722输出用于将所希望的窗口(画面)显示于显示装置60的信号。并且，输入输出部722进行与机器人控制装置71及检查控制装置73的数据等的交换。并且，存储部723例如由RAM及ROM等构成，存储周边设备控制装置72存储用于进行各种处理等的程序、各种数据等。此外，存储部723不限于在周边设备控制装置72内置的存储部件(RAM及ROM等)，也可以为具有所谓的外部存储装置(未图示)的构成。

检查控制装置73

如图1所示，检查控制装置73设置于壳体6的内部的背面侧(+Y轴侧)。该检查控制装置73控制各检查部300。

检查控制装置73例如可以由内置有CPU、ROM及RAM的个人电脑等构成。该检查控制装置73可以通过有线通信或无线通信的任一方式连接于各检查部300。

如图6所示，检查控制装置73具备：控制部731(处理部)、输入输出部732(信息取得部)和存储部733。

控制部731具有：控制各检查部300的动作等的功能、处理各种运算等的功能等。该控制部731例如由CPU等构成，控制部731的各功能能够通过CPU执行存储于存储部733的各种程序而实现。例如，控制部731基于来自检查部300的检查结果判断对象物的合格品、次品或者再检查等。

输入输出部732，例如由接口电路等构成，获取从各检查部300输出的信号。并且，输入输出部732进行与机器人控制装置71及检查控制装置73的数据等的交换。并且，存储部733例如由RAM及ROM等构成，存储检查控制装置73用于进行各种处理等的程序、各种数据等。此外，存储部733不限于在检查控制装置73内置的存储部件(RAM及ROM等)，也可以为具有所谓的外部存储装置(未图示)的构成。

此外，作为机器人系统100的构成，可以不包含检查控制装置73。这种情况下，例如可以以如下方式构成：检查单元3、机器人控制装置71及周边设备控制装置72分别能够和与机器人系统100分体的“检查控制装置”进行有线通信或者无线通信。

以上，对机器人系统100的各部分的构成进行了说明。

2.机器人的动作以及机器人系统的各部分的配置等

接着，对于机器人1的动作以及机器人系统100的各部分的配置等进行说明。

图24为示出图12所示的机器人的第一臂、第二臂及第三臂未重合的状态的侧视图。图25为示出图12所示的机器人的第一臂、第二臂及第三臂重合的状态的侧视图。图26为示出图12所示的机器人的动作中的机器臂的前端的移动路径的图。图27为示出图12所示的机器人的第一臂及第三臂交叉的状态的概略侧视图。图28为示出图12所示的机器人的第一臂及第四臂重合的状态的概略侧视图。图29及图30分别为用于说明图12所示的机器人所具有的机器臂的前端部的可动范围的图。图31及图32为分别示出图12所示的机器人所具有的手端操作装置的前端的可动范围的图。此外，在图24、图25、图27～图30中省略了手端操作装置5等的图示。并且，在图32中省略了壳体6的罩部件62的图示。

如图24所示，在机器人1中，第一臂11的长度L1设定为比第二臂12的长度L2长。在此，第一臂11的长度L1为从第二转动轴O2观察时的、第二转动轴O2和沿凸缘1101的板面延伸的线段181(或者，设置于基台110的驱动部18所具备的轴承部1105的中心线)之间的距离。此外，凸缘1101形成以包围基台110的方式设置的框状，因此，凸缘1101的板面和基台110的下面一致。并且，第二臂12的长度L2为从第二转动轴O2的轴向观察时的、第二转动轴O2和第三转动轴O3之间的距离。

并且，如图25所示，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，能够使由第一臂11和第二臂12形成的角度θ为0°。即，如图25所示，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，第一臂11和第二臂12能够重合。并且，第二臂12以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，当第一臂11和第二臂12重合时，第二臂12不与第一臂11进行干涉。在此，如图24所示，第一臂11和第二臂12所形成的角度θ为从第二转动轴O2的轴向观察时的、通过第二转动轴O2和第三转动轴O3的直线182和第一转动轴O1所形成的角度。

并且，如图25所示，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，第二臂12和第三臂13能够重合。从而，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，第一臂11、第二臂12和第三臂13能够同时重合。

并且，如图24所示，第三臂13、第四臂14、第五臂15以及第六臂16的合计的长度L3设定为比第二臂12的长度L2长。并且，如图25所示，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，当第二臂12和第三臂13重合时，能够使机器臂10的前端从第二臂12突出。在此，第三臂13、第四臂14、第五臂15以及第六臂16的合计的长度L3为，从第二转动轴O2的轴向观察，第三转动轴O3和第六臂16的前端之间的距离。该情况下，第三臂13、第四臂14以及第五臂15，如图25所示，呈第四转动轴O4和第六转动轴O6一致或者平行的状态。

在具有这种机器臂10的机器人1中，根据满足前述的关系，通过不使第一臂11转动而使第二臂12、第三臂13转动，经由从第二转动轴O2的轴向观察的第一臂11和第二臂12重合的状态，能够使机器臂10的前端围绕第一转动轴O1移动至相差180°的位置。因此，如图26所示，从第一转动轴O1方向观察，能够不进行使机器臂10的前端如箭头192、193所示移动的动作，而进行使其如箭头191所示移动的动作。即，从第一转动轴O1的轴向观察，能够进行使机器臂10的前端在直线上移动的动作。由此，能够减小用于使得机器人1不进行干涉的空间。

并且，由于能够进行使机器臂10的前端在直线上移动的动作，因此，在使机器臂10的前端围绕第一转动轴O1移动至相差180°的位置时，能够使第一臂11不转动或者减小第一臂11的转动角(转动量)。因此，从第一转动轴O1的轴向观察时，能够降低相比基台110向外侧伸出的部分即第一臂11的第二部分112及第三部分113与机器人1的周边设备进行干涉。并且，由于能够进行使机器臂10的前端在直线上移动的动作，因此，易于掌握机器人1的动作。

在此，例如，当想要使机器臂10的前端如图26的箭头192、193所示移动时，由于机器人1可能会与周边设备进行干涉，因此，需要示教机器人1用于避免该干涉的较多的退避点。因此，示教需要较多的工夫及较长的时间。对此，在机器人1中，由于能够使机器臂10的前端如图26的箭头191所示移动，因此，可能会与周边设备进行干涉的区域非常少。因此，能够减少示教的退避点的数量，能够减少示教所需要的工夫及时间。例如，根据机器人1，能够将示教的退避点的数量减少至现有的机器人的1/3左右，因此，示教变得格外地容易。

并且，如图27所示，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，第一臂11和第三臂13、第四臂14及第五臂15中的至少一个臂能够交叉。在图27中，第一臂11和第三臂13交叉。由于能够采取该交叉的姿势，因此，能够使机器人1的驱动范围更广。并且，如图28所示，机器人1以如下方式构成：从第二转动轴O2的轴向观察，第一臂11和第三臂13、第四臂14及第五臂15中的至少一个臂能够重合。在图28中，第一臂11和第四臂14重合。由于能够采取这种重合的姿势，因此，能够使机器人1的驱动范围更广。

并且，如图29及图30所示，机器人1，能够使机器臂10的前端部(具体而言为第五转动轴O5)沿形成球面状的假想面C1上移动。此外，图29示出机器人1的侧视图，图30示出机器人1的下面图。假想面C1为以机器人1在如图25所示的状态下的第一转动轴O1和第二转动轴O2的交点P为中心的球面，其为在使交点P和第五转动轴O5之间的距离最远离的状态(以图29及图30的双点划线所示的机器人1的姿势)下，通过驱动机器臂10时的第五转动轴O5所描绘的轨迹的集合体而形成的面。从而，该假想面C1示出机器臂10的前端部(具体而言为第五转动轴O5)的最大可动区域。

并且，如图29及图30所示，机器人1，能够使机器臂10的前端部沿形成球面状的假想面C2上移动。假想面C2为以交点P为中心的球面，其为在使交点P和第五转动轴O5之间的距离最接近的状态(以图29及图30的实线所示的机器人1的状态)下，通过驱动机器臂10时的第五转动轴O5所描绘的轨迹的集合体而形成的面。从而，该假想面C2示出机器臂10的前端部(具体而言为第五转动轴O5)的最小可动区域。

并且，如上所述，机器人1能够采取如图25、图27及图28所示的各姿势。因此，能够使机器臂10的前端部在上述的最大可动区域和最小可动区域之间的范围内移动。从而，机器臂10的前端部的可动范围为假想面C1和假想面C2之间的空间S10(参照图29及图30)。此外，严格来说，机器臂10为了不与基台110等(机器人1自身)进行干涉，机器臂10的前端部的可动范围为空间S10中的除了基台110及其附近之外的范围。

这样，机器人1，能够使机器臂10的前端部以交点P为中心大致球状地移动。

在此，如上所述，机器人1具有突出部190。在本实施方式中，突出部190包括：摄像部140、手端操作装置5的轴53、转动部件52及多个保持部520等。因此，手端操作装置5的前端的可动范围从上述的机器臂10的前端部的可动范围移动相当于突出部190的量。考虑该移动的量，在机器人系统100中设定供给部20、多个检查部300及多个回收部40的各配置。

图31中示出表示手端操作装置5的保持部520的最大可动区域的假想面C51、C52、C53、C54、C55、C56。假想面C51～C55分别表示使突出部190朝向各检查部300侧的状态下的保持部520的最大可动区域。并且，假想面C56表示使突出部190朝向供给部20及多个回收部40侧的状态下的保持部520的最大可动区域。从而，将从这些假想面C51～C56的机器人1的基台110最远离的部位连接的假想面C5，可以说为全方位的保持部520的最大可动区域。因此，通过将供给部20、多个检查部300所具有的插口307的凹部3071及多个回收部40配置于假想面C5内，能够使机器人1向这些进出。特别是，如图31所示，优选的是，将插口307的凹部3071配置于假想面C5上或者其附近。由此，能够使机器人1有效地动作。

并且，图32中示出从正面侧观察机器人系统100时的假想面C5。并且，图32中示出表示全方位的保持部520的最小可动区域的假想面C7。并且，图32所示的假想面C6的内侧为机器人1与自身进行干涉等的区域。因此，保持部520的可动范围为从假想面C1的内侧的空间中除去假想面C7的内侧的空间以及假想面C6的内侧的空间的空间S5。因此，在本实施方式中，以机器人1能够进出的方式在空间S5内配置供给部20、各检查部300所具有的插口307的凹部3071以及各回收部40等。

这样，根据机器人1，能够使保持部520的最大可动范围为大致球状。因此，如图8及图31所示，优选的是，在机器人系统100中，多个第一检查部310、多个第二检查部320、多个第三检查部330及多个第四检查部340从Z轴方向观察(从重力方向观察)分别配置于以机器人1(严格来讲为第一转动轴O1)为中心的圆弧上。由此，能够在手端操作装置5所具有的保持部520的可动范围内有效地设置多个第一检查部310、多个第二检查部320、多个第三检查部330以及多个第四检查部340。因此，能够实现机器人系统100的设置面积的节省空间化。

并且，如上所述，第一检查部310和第二检查部320从Z轴方向观察(从重力方向观察)重合地配置(参照图8)。同样地，第三检查部330和第四检查部340从Z轴方向观察(从重力方向观察)重合地配置(参照图8)。由此，能够以比较小的设置面积设置更多的第一检查部310、第二检查部320、第三检查部330以及第四检查部340。因此，能够进一步提高机器人系统100的设置面积的节省空间化。此外，第一检查部310和第二检查部320重合包含第一检查部310的至少一部分和第二检查部320的至少一部分重合。两个检查部300重合包含一个检查部300的至少一部分和另一个检查部300的至少一部分重合。

具体而言，机器人系统100的设置面积优选为256m²以下，更优选为250m²以下，进一步优选为240m²以下。在本实施方式中，如图5所示，机器人系统100的X轴方向的长度L13为约1600mm。并且，机器人系统100的Y轴方向的长度L12为约1600mm。从而，机器人系统100的设置面积为256m²以下。这样，机器人系统100能够设置于比较小的设置面积的部位。因此，能够使机器人系统100实现为足够小型化。

并且，机器人系统100具备如上所述的构成的机器人1，基于机器人1的驱动研究供给部20、各检查部300及各回收部40的各配置等。因此，根据机器人系统100，即使为比现有的机器人系统小的设置面积，与现有的机器人系统相比，也能够将检查部300的数量增加至1.3～2.6倍左右。

并且，在机器人系统100中，设置面积优选为150m²以上，更优选为160m²以上，进一步优选为170m²以上。由此，能够特别有效地驱动机器人1。

并且，如图3所示，在机器人系统100中，设置高度L11(机器人系统100的Z轴方向的长度)优选为2100mm以下，更优选为2000mm以下，进一步优选为1900mm以下。在本实施方式中，设置高度L11为约1880mm。这样，具备机器人1，通过基于机器人1的驱动研究供给部20、各检查部300及各回收部40的各配置等，从而能够使机器人系统100的设置高度足够小。

并且，如图5所示，机器人1，上述的各回收部40及供给部20，从Z轴方向观察(从重力方向观察)，位于第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34的内侧(位于机器人系统100的中心侧)。并且，供给部20(严格来讲为载置部件25)的上部的高度为第一检查部310的上部的高度以下，并且，供给部20(严格来讲为载置部件25)的上部的高度为第二检查部320的上部的位置的高度以下(参照图32)。并且，在本实施方式中，供给部20(严格来讲为载置部件25)的上部的高度为第三检查部330的上部的高度以下，并且，供给部20(严格来讲为载置部件25)的上部的高度为第四检查部340的上部的位置的高度以下(参照图32)。特别是在本实施方式中，如图32所示，检查台301的上面的位置和载置部件25的上面的位置大致相同。由此，在通过机器人1进行对象物的保持、输送及脱离时，能够降低或者防止机器人1与供给部20、第一检查部310、第二检查部320、第三检查部330及第四检查部340进行干涉的可能性。

3.机器人1的作业的一例

接着，对机器人1的作业的一例进行说明。

图33为用于说明图12所示的机器人的作业的一例的流程图。图34为用于说明图12所示的机器人的作业的一例的图。图35～图38分别为用于说明通过图12所示的机器人所具有的手端操作装置进行的对象物的保持及脱离的图。图39为示出通过图12所示的机器人输送的对象物的数量和生产节拍时间之间的关系的曲线图。

此外，在以下的作业时，设为机器人1的校准、机器人1和摄像部140的校准、机器人1和对准用摄像部9的校准已经完成。并且，在以下的作业时，设为机器人1的动作、与供给部20、各检查部300及回收部40的位置等有关的机器人1的教学已经完成。

如图33所示，机器人1进行(1)进行在供给部20的多个对象物的保持(步骤S11)、(2)进行多个对象物向检查部组30的输送(步骤S12)、(3)进行在检查部组30的多个对象物的保持及脱离(步骤S13)、(4)进行多个对象物向回收部40的输送(步骤S14)、(5)进行在回收部40的多个对象物的脱离(步骤S15)。此后，机器人1返回(6)返回供给部20(步骤S16)。

机器人1进行多个包含(1)～(6)的一连串的作业的阶段(作业的单位)。在本实施方式中，机器人1对于第一检查部组31、第二检查部组32、第三检查部组33及第四检查部组34的各个进行(1)～(6)的一连串的作业。在此，将对于第一检查部组31进行的一连串的作业也称为“第一阶段”，将对于第二检查部组32进行的一连串的作业也称为“第二阶段”，将对于第三检查部组33进行的一连串的作业也称为“第三阶段”，将对于第四检查部组34进行的一连串的作业也称为“第四阶段”。并且，在各阶段，成批进行四个对象物的保持、输送及脱离。

第一阶段、第二阶段、第三阶段及第四阶段中的作业，除了作为对象的检查部组30不同以外其他均相同，因此，以下，代表性地以第一阶段为例进行说明。

(1)在供给部20的多个对象物的保持(步骤S11)

首先，机器人1驱动机器臂10而使手端操作装置5的前端部位于供给部20上，从供给部20的载置部件25保持四个对象物80(参照图12、图34及图36)。具体而言，如图36所示，通过机器人1所具有的手端操作装置5保持四个对象物80。在此，将图36所示的手端操作装置5所具有的五个保持部520，从图36中的位于最上侧的保持部520开始按照顺时针的顺序称为“第一保持部521”、“第二保持部522”、“第三保持部523”、“第四保持部524”及“第五保持部525”。并且，将图36所图示的多个对象物80，从图36中的位于最上侧的对象物80开始按照顺时针的顺序称为“第一对象物81”、“第二对象物82”、“第三对象物83”以及“第四对象物84”。

通过机器人1进行的四个对象物80的保持，通过重复进行利用手端操作装置5的一个保持部520吸附并保持一个对象物80的处理而完成。具体而言，首先，如图35所示，利用第一保持部521保持第一对象物81。此后，使转动部件52围绕其转动轴O53(本实施方式中为箭头a1方向)转动，通过第二保持部522保持第二对象物82。同样地，使转动部件52向箭头a1方向转动，通过第三保持部523保持第三对象物83之后，使转动部件52向箭头a1方向转动，通过第四保持部524保持第四对象物84。并且，使转动部件52向箭头a1方向转动，使第五保持部525位于最下侧。由此，如图36所示，成为通过除了第五保持部525之外的四个保持部520的各个来保持对象物80的状态。这样，根据具有转动部件52和多个保持部520的手端操作装置5，能够使转动部件52转动，保持多个对象物80。并且，由于相邻的保持部520彼此的间隔相等，因此，通过使转动部件52向相同方向按照一定量转动，从而能够保持各对象物80。因此，其控制比较容易。

(2)多个对象物向检查部组30的输送(步骤S12)

接着，通过机器人1驱动机器臂10而使手端操作装置5的前端部沿箭头A11移动，从供给部20向第一检查部组31输送四个对象物80(参照图12、图34及图36)。在此，使手端操作装置5的前端部移动至位于最接近供给部20的位置的第一检查部310。

并且，在该步骤S12中，也可以进行经由对准用摄像部9上的输送。由此，能够通过对准用摄像部9掌握对象物的保持状态。因此，在步骤S13中，能够高精度地进行对象物向检查部300的载置。

(3)在检查部组30的多个对象物的保持及脱离(步骤S13)

接着，如图34所示，机器人1在第一检查部组31的各第一检查部310进行对象物80的保持及脱离。在本实施方式中，在对于一个第一检查部310保持了检查前的一个对象物80之后，使检查后的一个对象物80脱离。并且，检查完成的对象物80载置于各第一检查部310。此外，在检查完成的对象物80未载置于检查部300的情况下，只要省略对象物80的保持即可。并且，从图34中的位于最左侧的第一检查部310开始朝向右侧顺序，将各第一检查部310也称为“第一检查部310a”、“第一检查部310b”、“第一检查部310c”及“第一检查部310d”。

具体而言，首先，机器人1在第一检查部310a中，在通过第五保持部525保持载置于第一检查部310a的第五对象物85(对象物80)之后，使转动部件52围绕其转动轴O53(本实施方式中为向与箭头a1相反的箭头a2方向)转动，通过第四保持部524对第四对象物84进行脱离(参照图12、图14及图37)。由此，如图37所示，成为通过除了第四保持部524之外的四个保持部520的各个保持对象物80的状态。

接着，机器人1驱动机器臂10而使手端操作装置5的前端部沿箭头A12移动并位于第一检查部310b(参照图12、图34及图37)。之后，在通过第四保持部524保持载置于第一检查部310b的第六对象物86(对象物80)之后，使转动部件52向箭头a2转动，通过第三保持部523使第三对象物83脱离。接着，同样地，如图34所示，使手端操作装置5的前端部沿箭头A13移动并位于第一检查部310c。之后，在通过第三保持部523保持载置于第一检查部310c的第七对象物87(对象物80)之后，使转动部件52向箭头a2转动，通过第二保持部522使第二对象物82脱离。接着，同样地，如图34所示，使手端操作装置5的前端部沿箭头A14移动并位于第一检查部310d。之后，在通过第二保持部522保持载置于第一检查部310d的第八对象物88(对象物80)之后，使转动部件52向箭头a2转动，通过第一保持部521使第一对象物81脱离。从而，如图38所示，成为通过除了第一保持部521之外的四个保持部520的各个来保持对象物80的状态。

在此，在上述步骤S11中，使五个保持部520中位于最端部的第五保持部525(或者第一保持部521)为未保持对象物80的状态。并且，如上所述，在第一检查部组31的通过机器人1进行的对象物80的保持及脱离(步骤S13)中，使转动部件52向在供给部20的通过机器人1进行的对象物80的保持(步骤S11)中的转动部件52的转动方向的相反方向转动。由此，能够有效地进行对象物80的保持及脱离。

此外，在本实施方式中，按照第一检查部310a、第一检查部310b、第一检查部310c及第一检查部310d的顺序进行对象物80的保持及脱离，但不限于该顺序，顺序可以任意。例如，可以按照第一检查部310d、第一检查部310c、第一检查部310b及第一检查部310a的顺序进行对象物80的保持及脱离。

(4)多个对象物向回收部40的输送(步骤S14)

接着，通过机器人1驱动机器臂10而使手端操作装置5的前端部沿箭头A15移动，从第一检查部组31向回收单元4输送四个对象物80(第五对象物85、第六对象物86、第七对象物87以及第八对象物88)(参照图12、图34及图38)。

(5)在回收部40的多个对象物的脱离(步骤S15)

接着，机器人1在回收单元4进行对象物80的脱离。具体而言，基于从检查控制装置73输送至机器人控制装置71的各对象物80的各检查(合格品、次品或者再检查)，将各对象物80载置于对应的回收部40的载置部件25。并且，对象物80向回收部40的载置，通过使转动部件52向箭头a1方向转动，并且在各保持部520一个一个脱离对象物80而进行(参照图38)。

(6)返回供给部20(步骤S16)

并且，如果完成在回收单元4的全部的对象物80的脱离(载置)，则机器人1驱动机器臂10而使手端操作装置5的前端部沿箭头A16移动，由此从回收单元4返回供给部20(参照图12及图34)。

如上所述，通过机器人1完成第一阶段。在第一阶段，通过机器人1的输送时间合计为，在步骤S12及步骤S13中花费的时间的合计t1；在第一阶段，通过机器人1的处理时间合计为，在步骤S11、步骤S13及步骤S15中花费的时间的合计T1。该第一阶段中的时间(输送时间)的合计t1和第一阶段中的时间(处理时间)的合计T1为t1<T1的关系。并且，如果完成第一阶段完，则机器人1与上述第一阶段同样地，依次进行第二阶段、第三阶段以及第四阶段。在第二、第三、第四阶段中，时间的合计t1和时间的合计T1的关系各自相同。第二阶段中的时间(输送时间)的合计t2和第二阶段中的时间(处理时间)的合计T2为t2<T2的关系。第三阶段中的时间(输送时间)的合计t3和第三阶段中的时间(处理时间)的合计T3为t3<T3的关系。第四阶段中的时间(输送时间)的合计t4和第四阶段中的时间(处理时间)的合计T4为t4<T4的关系。并且，当第四阶段结束时，机器人系统100的检查作业结束。此外，在第四阶段结束之后，还可以进一步多次重复第一阶段至第四阶段。并且，虽然在上述的说明中按照第一阶段、第二阶段、第三阶段及第四阶段的顺序进行了作业，但该顺序任意。例如，可以在第一阶段之后进行第三阶段。

并且，全部的阶段(第一～第四阶段)的输送时间的合计Σ_t1～4和全部的阶段(第一～第四阶段)的处理时间的合计Σ_T1～4，为Σ_t1～4<Σ_T1～4的关系。并且，重复多次(m次：m为1以上的整数)全部的阶段的情况下的、输送时间的合计(Σ_t1～4)×m和处理时间的合计(Σ_T1～4)×m，也为Σ_t1～4<Σ_T1～4的关系。

以上，对机器人1的作业的一例进行了说明。

如上所述，根据机器人1，能够成批输送多个对象物80。因此，能够缩短生产节拍时间。

在此，在通过机器人1将对象物80一个一个分为四次输送的情况下，即，在进行四次经由图34的箭头A11、A17的输送的情况下，其生产节拍时间(Σ_t1～4+Σ_T1～4)为约22.4s。这是例如通过机器人1输送1.5kg的对象物80的情况下的结果(模拟结果)。另一方面，在以同等的条件(对象物80的重量、机器人1的速度以及加速度)通过机器人1成批输送四个对象物80的情况下，即，在进行经由图34的箭头A11～A15的输送的情况下，其生产节拍时间(Σ_t1～4+Σ_T1～4)为约19.5s。这样，通过机器人1成批输送多个对象物80，能够大幅地削减生产节拍时间。

并且，实测各步骤S11～S15中的时间，在通过机器人1将四个对象物80成批输送至第一检查部组31等的情况下，步骤S11中的生产节拍时间为2.84s，步骤S12中的生产节拍时间为1.30s，步骤S13中的生产节拍时间为5.87s，步骤S14中的生产节拍时间为1.53s，步骤S15中的生产节拍时间为3.24s。因此，在通过机器人1将四个对象物80成批输送至第一检查部组31等的情况下，即，在第一阶段中，输送时间为2.83s，处理时间为11.95s。并且，在第二阶段中，输送时间为2.40s，处理时间为14.02s。

另一方面，在通过机器人1将对象物80一个一个地分为四次输送的情况下，即，在第一阶段中，输送时间为9.44s，处理时间为10.64s。并且，在第二阶段中，输送时间为9.04s，处理时间为12.4s。

并且，图39中示出一次输送的对象物80的数量和生产节拍时间(Σ_t1～z+Σ_T1～z：Z为1以上的整数)的关系(模拟结果)。曲线图的横轴示出一次输送的对象物80的数量，纵轴示出每一个对象物80的生产节拍时间(s)。在该示例中，当一次输送的对象物80的数量为2个以上4个以下时，每一个对象物80的生产节拍时间(s)大幅地减少。并且，在该示例中，当一次输送的对象物80的数量为5个以上时，每一个对象物80的生产节拍时间的减少变得缓慢。

从缩短生产节拍时间的观点来看，只要通过机器人1一次输送对象物80的数量为多个即可，没有特别的限定，优选为2～8个，更优选为6个以下，特别优选为5个以下。特别是，在本实施方式中，如上所述，使一次输送的对象物80的数量为4个。由此，能够在特别地缩短生产节拍时间，并且，能够使保持多个对象物80的手端操作装置5为特别地小型的装置。

并且，根据机器人系统100，包含全部的阶段(第一～第四阶段)的作业中的机器人1的输送时间的合计(Σ_t1～4)比处理时间(保持脱离时间)的合计(Σ_T1～4)短。这样，由于输送时间的合计短，因此，能够缩短生产节拍时间；并且，由于处理时间的合计短，因此，能够减少对象物80的保持失误等。其结果是，能够提高生产率。进而，根据机器人系统100，在第一阶段、第二阶段、第三阶段及第四阶段的各个中，能够使机器人1的输送时间的合计比处理时间的合计短。因此，能够更为显著地发挥上述的效果。

在此，所谓输送时间是指，例如通过机器人1进行的供给部20和检查部组30之间的输送所花费的时间、通过机器人1进行的检查部组30和回收部40之间的输送所花费的时间。在本实施方式中，步骤S12所花费的时间、步骤S14所花费的时间相当于输送时间。此外，输送时间中包括在对象物80的输送中经由任意部位(例如，对准用摄像部9上的部位)的输送。但是，该输送时间中不包含对象物80的保持或脱离所花费的时间。更严格来讲，输送时间是指，从在一个区域(例如，供给部20、检查部组30或者回收部40的任一个)开始加速的状态，至在与所述一个区域不同的其他区域减速结束状态为止的动作。

并且，处理时间是指，例如通过机器人1进行的在供给部20的对象物80的保持所花费的时间、通过机器人1进行的在检查部组30的对象物80的保持及脱离所花费的时间、通过机器人1进行的在回收部40的对象物80的脱离所花费的时间。处理时间包含机器人1的检查部组30所具有的各检查部300之间的移动。并且，处理时间包含机器人1的回收单元4所具有的各回收部40之间的移动。即，一个单元(供给单元2、检查单元3或者回收单元4)内的移动包含于处理时间。在本实施方式中，步骤S11所花费的时间、步骤S13所花费的时间、步骤S15所花费的时间相当于处理时间。并且，更严格来讲，处理时间是指，在一个单元中，从机器人1开始保持(或者脱离)第一个对象物的动作的状态开始，至通过机器人1完成最后的对象物的保持(或者脱离)、机器人1开始向其他单元的输送的近前的状态为止的动作。在本说明书中，处理时间是指包含通过机器人1仅进行保持所花费的时间，并且，包含通过机器人1仅进行脱离所花费的时间。

如以上所说明的那样，机器人系统100具备：供给对象物80的供给部20、具有检查被供给的对象物80的多个第一检查部310的第一检查部组31、具有检查被供给的对象物80的多个第二检查部320的第二检查部组32、回收被检查的对象物80的回收部40、具有机器臂10并进行对象物80的保持、输送以及脱离的机器人1。并且，机器人1能够成批输送多个对象物80，在从对象物80的供给至回收期间，通过机器人1进行的对象物80的输送所花费的输送时间的合计，比通过机器人1进行的对象物80的保持或者脱离所花费的输送时间的合计短。

根据这种机器人系统100，由于机器人1能够成批输送多个对象物80，因此，能够将多个对象物80一次性集中成批输送至第一检查部组31或者第二检查部组32。并且，由于具有多个第一检查部310及第二检查部320，因此，能够通过一个机器人系统100进行多个对象物80的检查。进而，由于通过机器人1的输送时间的合计比处理时间(保持、脱离的时间：供给除去材料时间)的合计短，因此，例如能够减少对象物80的保持失误等的发生，并且能够以更短的时间将对象物80输送至更多的第一检查部310或者第二检查部320。因此，根据机器人系统100，能够以更短的时间检查更多的对象物80。因此，相比现有能够更为提高生产率(每单位时间能够处理的对象物的检查数量)。

并且，输送时间的合计，优选为处理时间的合计的1/3以下，更优选为1/4以下。由此，例如能够减少对象物80的保持失误等的发生，并且能够以更短的时间通过第一检查部310及第二检查部320检查更多的对象物80。

进而，在本实施方式中，具有：具有检查被供给的对象物80的多个第三检查部330的第三检查部组33、具有检查被供给的对象物80的多个第四检查部340的第四检查部组34。因此，能够通过一个机器人系统100检查更多的对象物80。

在此，一般而言，检查IC(集成电路)单体的IC测试分类机具有一个检查部，通过该一个检查部成批检查多个IC。对此，一般而言，在搭载有IC等的电路基板的检查中，通过一个检查部检测一个电路基板。从而，机器人系统100由于具有多个检查部300，因此，在进行搭载有IC等的电路基板等(例如，SiP等)的检查的情况下，能够特别显著地发挥上述的效果。即，在通过一个检查部300检查一个对象物80的情况下，能够特别显著地发挥上述的效果。

并且，在机器人系统100具备两个以上的“机器人”的情况下，通过各机器人进行的输送时间的合计比处理时间的合计短，并且，将各机器人的输送时间的合计相加的时间，比将各机器人的处理时间的合计相加的时间短。由此，能够更为提高生产率。

并且，通过机器人1进行的对象物80的保持及脱离的至少一方，在供给部20、第一检查部组31、第二检查部组32及回收部40的各个中进行。通过延长在上述各处的处理时间，例如能够降低对象物80的破损或保持失误的可能性，并能够适当地保持及脱离对象物80。

并且，通过机器人1进行的对象物80的输送，分别在供给部20和第一检查部组31之间、第一检查部组31和回收部40之间、供给部20和第二检查部组32之间、第二检查部组32和回收部40之间的各个中进行。通过缩短上述区间内的输送时间，能够更为缩短输送时间的合计，能够更为提高生产率。

进而，在本实施方式中，通过机器人1进行的对象物80的输送，分别在供给部20和第三检查部组33之间、第三检查部组33和回收部40之间、供给部20和第四检查部组34之间、第四检查部组34和回收部40之间的各个中进行。由此，能够更为缩短输送时间的合计，能够更为提高生产率。

并且，如上所述，通过机器人1对于对象物80进行的作业具有：第一阶段，包括供给部20、第一检查部组31及回收部40中的对象物80的保持及脱离的至少一方、供给部20和第一检查部组31之间以及第一检查部组31和回收部40之间的对象物80的输送；第二阶段，包括供给部20、第二检查部组32及回收部40中的对象物80的保持及脱离的至少一方、供给部20和第二检查部组32之间以及第二检查部组32和回收部40之间的对象物80的输送。并且，在第一阶段内，通过机器人1进行的对象物80的输送时间的合计，比通过机器人1进行的对象物80的保持时间的合计短；在第二阶段内，通过机器人1进行的对象物80的输送时间的合计，比通过机器人1进行的对象物80的保持时间的合计短。这样，在第一阶段及第二阶段的双方中，由于输送时间的合计比处理时间的合计短，因此，能够更为提高生产率。

更具体而言，机器人1进行：通过机器臂10从供给部20保持多个对象物80的第一作业(第一阶段的步骤S11)、在第一作业之后通过机器臂10将多个对象物80从供给部20向第一检查部组31输送的第二作业(第一阶段的步骤S12)、在第二作业之后进行在第一检查部组31通过机器臂10使多个对象物80脱离的作业和保持多个对象物80的作业的第三作业(第一阶段的步骤S13)、在第三作业之后通过机器臂10将多个对象物80从第一检查部组31向回收部40输送的第四作业(第一阶段的步骤S14)、在第四作业之后通过机器臂10在回收部40使多个对象物80脱离的第五作业(第一阶段的步骤S15)。并且，机器人1进行：在第五作业之后通过机器臂10从供给部20保持多个对象物80的第六作业(第二阶段的步骤S11)、在第六作业之后通过机器臂10将多个对象物80从供给部20向第二检查部组32输送的第七作业(第二阶段的步骤S12)、在第七作业之后进行在第二检查部组32通过机器臂10使多个对象物80脱离的作业和保持多个对象物80的作业的第八作业(第二阶段的步骤S13)、在第八作业之后通过机器臂10将多个对象物80从第二检查部组32向回收部40输送的第九作业(第二阶段的步骤S14)、在第九作业之后通过机器臂10在回收部40使多个对象物80脱离的第十作业(第二阶段的步骤S15)。并且，作为第二作业所花费的输送时间的第二时间和作为第四作业所花费的输送时间的第四时间的合计，比作为第一作业所花费的处理时间的第一时间、作为第三作业所花费的处理时间的第三时间、作为第五作业所花费的处理时间的第五时间的合计短。进而，作为第七作业所花费的输送时间的第七时间和作为第九作业所花费的输送时间的第九时间的合计，比作为第六作业所花费的处理时间的第六时间、作为第八作业所花费的处理时间的第八时间、作为第十作业所花费的处理时间的第十时间的合计短。由此，例如能够减少对象物80的保持失误等的发生，并能够以更短的时间通过第一检查部310及第二检查部320检查更多的对象物80。因此，能够更为提高生产率。

进而，在本实施方式中，在第三阶段内，通过机器人1进行的对象物80的输送时间的合计，比通过机器人1进行的对象物80的保持时间的合计短。并且，在第四阶段内，通过机器人1进行的对象物80的输送时间的合计，比通过机器人1进行的对象物80的保持时间的合计短。由此，能够进一步提高生产率。

并且，如上所述，机器臂10具有连结的至少两个臂(例如，第一臂11及第二臂12)。并且，优选的是，机器人1，在从供给至回收期间，至少两个臂(例如，第一臂11及第二臂12)交叉的状态下进行对象物80的输送。由此，由于能够降低对象物80输送时的机器臂10的振动，因此，能够使得使对象物80移动时的机器人1的速度及加速度更快。因此，能够更为提高生产率。并且，能够更迅速地开始输送后的对象物80的保持及脱离。

在此，以伸展机器臂10的状态使机器臂10动作的一方，相比以弯曲机器臂10的状态进行动作，振动的影响更大。由于施加于各臂11～16的力的原因，产生振动。因此，当使机器臂10以伸展的状态动作时，由于机器人1的重心位置远离第一转动轴O1的旋转中心，因此，重心位置的加速度变大。由于力(F)为质量(m)×加速度(a)的关系，因此，当重心位置的加速度变大时，施加于机器臂10的力变大，从而，振幅(振动量)变大。并且，由于伸展机器臂10的一方使至机器臂10的前端的距离变远，因此，即使在伸展机器臂10和弯曲机器臂10的状态下机器臂10的根部(与基台110的连接部分)的振幅量相同的情况下，将机器臂10的前端的位置离根部远的机器臂10伸展的状态的一方，使机器臂10的前端处的振动量较大地位移。因此，优选的是，在至少两个臂交叉的状态下进行对象物80的输送。

并且，在上述的机器人1的作业中，在检查部组30所具有的全部四个检查部300中进行通过机器人1的对象物80的保持及脱离，但也可以仅对于上述全部的检查部300中的任意的检查部300进行对象物80的保持及脱离。从而，机器人1，对于第一检查部组31所具有的多个第一检查部310中的被选择的第一检查部310进行对象物80的保持或脱离，也可以对于第二检查部组32所具有的多个第二检查部320中的被选择的第二检查部320进行对象物80的保持或脱离。由此，机器人1，例如可以跳过维护中的第一检查部310或者第二检查部320，对于剩余的第一检查部310或者第二检查部320进行对象物80的保持或脱离。因此，例如维护中无需停止机器人1所进行的全部的作业(保持、输送以及脱离)等，因此，能够减少机器人1的待机时间。其结果是，能够减小生产率的降低。此外，上述机器人1的作业在机器人控制装置71的控制之下进行。

并且，在第一检查部310的任一个进行维护等的情况下，机器人控制装置71也可以以如下方式控制机器人1：机器人1跳过第一阶段，进行第二阶段、第三阶段及第四阶段。即，机器人控制装置71，可以对于每个检查部300进行机器人1是否进行作业的选择，也可以对于每个检查部组30进行机器人1是否进行作业的选择。并且，例如，机器人控制装置71可以以如下方式控制：从维护完成的检查部300或者检查部组30中随时使机器人1进行作业。

4、自动教学

接着，对由机器人控制装置71进行的自动教学进行说明

图40为用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的一例的流程图。图41为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的机器人的前端部的图。图42为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的检查台的图。图43为示出设置于图42所示插口的基准标记的图。图44为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的机器人的前端部的图。图45为示出用于说明对于图12所示的机器人的插口的自动教学的手端操作装置的保持部和检查台上的对象物的距离的图。

以下，对自动教学的一例进行说明。以下，例如以对于机器人1的检查部300的插口307的教学为例进行说明(参照图42)。

如图40所示，机器人控制装置71进行(1)摄像部140的图像坐标系和机器人1的机器人坐标系的校准(步骤S21)、(2)为了教学而使机器人1移动(步骤S22)、(3)进行教学(步骤S23)。

(1)摄像部140的图像坐标系和机器人1的机器人坐标系的校准(步骤S21)

首先，机器人控制装置71，使摄像部140拍摄例如设置于校准板(未图示)的任意的标记(未图示)，使机器人1以保持部520的前端接触该标记。由此，求出保持部520相对于机器臂10的前端的偏置量。此外，接触部位不限于保持部520。接着，进行所谓的9点校准，与机器人1的机器人坐标系相对应，即，进行校准。由此，能够将机器人1在机器人坐标系中的坐标(机器人坐标)转换为摄像部140在图像坐标系中的坐标(图像坐标)。

此外，该步骤S21优选为在进行手端操作装置5的更换等时进行，也可以适当省略。

(2)用于教学插口307的机器人1的移动(步骤S22)

接着，机器人控制装置71为了对于机器人1教学插口307而使机器人1移动。

具体而言，首先，机器人控制装置71，基于插口307的设计上的坐标(更严格来讲为凹部3071设计上的坐标)，使机器人1的手端操作装置5移动至能够通过摄像部140拍摄插口307的位置(参照图41)。或者，机器人控制装置71，利用摄像部140拍摄检查部300，并以手端操作装置5的前端部移动至某一决定的区域S3内的方式驱动机器人1，由此找到插口307的位置(参照图41及图42)。由此，决定插口307的X轴方向及Y轴方向的位置。接着，机器人控制装置71，通过摄像部140的自动对焦寻找焦点匹配的位置。由此，决定插口307的Z轴方向的位置。

(3)教学(步骤S23)

接着，进行X轴方向及Y轴方向的教学，进行Z轴方向的教学。

在X轴方向及Y轴方向的教学中使用摄像部140。具体而言，通过摄像部140拍摄在插口307上准备的凹部3071的基准标记3072，存储该位置处的X轴及Y轴的机器人坐标(x、y)(参照图43及图44)。此外，基准标记3072可以为凹部3071的任一部位。但是，优选的是，如图43所示，基准标记3072设置于凹部3071的底面的中心。或者，优选的是，基准标记3072设置于凹部3071的底面的角部等。由此，能够以更高精度求出用于更准确地进行对象物80的保持及脱离的示教点。

并且，在Z轴方向的教学中，使用设置于负压产生装置130的检测部150(参照图23)。并且，在此，将对象物80预先载置于插口307的凹部3071内(参照图45)。

具体而言，首先，如图44所示，以手端操作装置5的保持部520位于插口307的凹部3071的中心上的方式驱动机器人1。接着，使负压产生装置130动作而使配管50内为负压状态，例如使保持部520的前端以各0.01～0.05mm接近凹部3071内的对象物80。并且，机器人控制装置71，存储来自检测部150的检测结果(压力值)小于阈值时的地点。将该地点作为能够通过保持部520吸附对象物80的高度(Z轴方向上的位置)的上限值。

接着，使负压产生装置130动作而使配管50内为正压状态，进而，例如使保持部520的前端以各0.01～0.05mm接近凹部3071内的对象物80。并且，机器人控制装置71，存储来自检测部150的检测结果(压力值)超过阈值时的地点。将该地点作为能够通过保持部520吸附对象物80的高度的下限值。

接着，根据求出的高度的上限值和下限值，如图45所示，决定能够通过保持部520吸附对象物80的高度的范围d20。并且，存储该范围d20的例如中间的高度处的Z轴的机器人坐标(z)。

并且，将这样求出的机器人坐标(x、y、z)作为插口307的凹部3071的示教点存储。

此外，在本实施方式中，以将对象物80载置于凹部3071的状态进行教学，例如，也可以不将对象物80载置于凹部3071而对于凹部3071的底面进行教学。这种情况下，只要将求出的机器人坐标上相加对象物80的设计上的厚度而求出的坐标作为示教点使用即可。

并且，在本实施方式中，将压力传感器用于检测部150，但是在将流量传感器用于检测部150的情况下，可通过由检测部150检测所检测的配管50中的气体的每单位时间的流量，求出上述的高度的上限值和下限值。并且，也可以使用力检测部120，例如通过检测手端操作装置5的保持部520和对象物80的接触来求出上述的高度。

以上，对自动教学进行了说明。

如上所述，机器人1具备：作为“部件”的手端操作装置5，连接于机器臂10，具有作为通过吸附而保持对象物80的多个“吸附部”而发挥作用的保持部520；作为“流路部”的配管50，连接于作为“吸附部”而发挥作用的保持部520，具备气体流动的流路(配管50的内部)；检测部150，检测作为“流路部”的配管50中的气体的压力或者每单位时间的流量；摄像部140，具有摄像功能(参照图23)。并且，基于来自摄像部140的检测结果(图像数据)和来自检测部150的检测结果(压力值)，求出通过机器人1进行的对象物80的保持及脱离中的示教点。根据这种方法，能够高精度地求出示教点。因此，使用该示教点由机器人1进行对象物80的保持及脱离，从而，能够降低或者防止例如对象物80的保持失误等，因此，能够可靠地进行通过机器人1进行的对象物80的保持及脱离。

在此，在由于用于检查部300的机种切换的维护、日常检修、清洁等，进行检查部300所具有的检查台301向壳体6内外进出时，插口307的位置有可能偏移。因此，在本实施方式中，例如，优选的是，在使检查台301返回壳体6内之后等，在机器人控制装置71的控制之下，如上所述，自动地进行对于机器人1的插口307的教学(自动教学)。由此，例如伴随着检查部300的机种切换，作业者能够节省以手动进行插口307的对位(示教)的工夫。因此，由于能够有效进行机种切换，因此，根据机器人系统100，能够适当地对应变种变量生成。此外，在供给部20或回收部40中也是同样。

并且，例如，通过使用摄像部140及检测部150，例如，能够检测出载置于供给部20或回收部40的载置部件25的位置偏离、载置部件25相当于供给部20或者回收部40的浮动、载置部件25的翘曲等。这些例如能够与上述自动教学的步骤S23同样地求出。例如，机器人控制装置71，使用摄像部140求出载置部件25的八个角部257的位置(机器人坐标：x、y)，基于该求出的位置，将来自载置部件25的设计上的位置(机器人坐标：x、y)的偏移量作为补正值而求出并存储(参照图7)。此外，即使不求出八个角部257的位置，也可以使用位于载置部件25的角的四个角部257，求出补正值。并且，例如，机器人控制装置71，使用检测部150求出载置部件25的八个角部257的高度(机器人坐标：z)，基于该求出的位置，将来自载置部件25的设计上的高度(机器人坐标：z)的偏移量作为补正值而求出并存储。

通过考虑这样的补正值使机器人1驱动，从而能够以更高精度进行在供给部20或回收部40的机器人1的作业。

在此，例如，在垃圾等的异物混入插口307的凹部3071的情况下等，有时在检查中会引起导通不良。在这种情况下，使负压产生装置130动作而使配管50内为正压状态，使气体(具体而言为压缩空气)从保持部520的贯通孔5201喷出。由此，能够从插口307的凹部3071去除异物。即，能够自动清洁保持部520或插口307。并且，虽未图示，例如，优选的是，在机器人系统100中设置作业者向机器人控制装置71指示清洁的开始的按钮。由此，作业者通过操作该按钮，能够在任意的定时执行自动清洁。优选的是，该自动清洁例如在以同一检查内容发生数次不良的情况下进行。此外，可以将保持部520以外的自动清洁专用的垫(未图示)设置于手端操作装置5。

第二实施方式

下面，对本发明的第二实施方式进行说明。

图46为示出本发明的第二实施方式所涉及的机器人系统所具有的检查部的侧视图。图47为示出通过图46所示的检查部检查的对象物的一例的图。

本实施方式所涉及的机器人系统，除了检查部的构成不同之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第二实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，关于同样的事项省略其说明。

本实施方式中的检查部300，如图46所示，具备具有作为能够将对象物80插入的插入部的凹部3091的插口309。凹部3091向图46中右侧开口。这种插口309例如形成平板状，适于检查对象部分位于外周部的对象物的检查。作为该对象物，例如，图47所示的、由SSD(固态驱动器，solid state drive)等构成，列举设置于外周部的连接器891为检查对象即对象物89。

在机器人1输送这种对象物89等的情况下，机器人1使用具有多个指的手(未图示)作为“手端操作装置”，只要利用多个指掌握对象物89的外周部即可。并且，优选的是，在通过机器人1进行对象物89的连接器891向凹部3091的插入及拔出时，基于来自力检测部120的检测结果，进行连接器891向凹部3091的插入或连接器891从凹部3091的拔出。由此，能够更为适当地进行连接器891的插入及拔出。

第三实施方式

下面，对本发明的第三实施方式进行说明。

图48为从上侧观察本发明的第三实施方式涉及的机器人系统的内部的示意图。

本实施方式涉及的机器人系统，除了检查部的构成不同之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第三实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，关于同样的事项省略其说明。

本实施方式中的检查单元3具有八个检查部300。具体而言，第一检查部组31具有两个第一检查部310(检查部300)，第二检查部组32具有两个第二检查部320(检查部300)，第三检查部组33具有两个第三检查部330(检查部300)，第四检查部组34具有两个第四检查部340(检查部300)。

并且，在本实施方式中，将对于第一检查部组31以及第三检查部组33进行的一连串的作业作为“第一阶段”，将对于第二检查部组32以及第四检查部组34进行的一连串的作业作为“第二阶段”。从而，在本实施方式中，例如，在供给部20保持多个对象物之后，对于两个第一检查部310及两个第三检查部330输送多个对象物并进行保持及脱离之后，在回收部40进行多个对象物的脱离。同样地，例如，在供给部20保持多个对象物之后，对于两个第二检查部320及两个第四检查部340输送多个对象物并进行保持及脱离之后，在回收部40进行多个对象物的脱离。此外，在本实施方式中，在对象物事先未载置于检查部300的情况下，在检查部300可以不进行对象物的保持。这样，在一个阶段能够对于两个以上的检查部组30进行作业。

第四实施方式

下面，对本发明的第四实施方式进行说明。

图49为从上侧观察本发明的第四实施方式涉及的机器人系统的内部的示意图。图50为示出具有多个图49所示的机器人系统的机器人系统单元的图。图51及图52分别为示出图49所示的供给回收单元的变形例的示意图。此外，在图49～图52中省略了罩部件62的图示。

本实施方式涉及的机器人系统，除了供给部及回收部的构成不同之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第四实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，关于同样的事项省略其说明。

如图49所示，本实施方式中的机器人系统100具备供给回收单元24，该供给回收单元24包括具备供给部及回收部的功能的传送带241。

在本实施方式中，传送带241设置于壳体6的外部。此外，传送带241的一部分或者全部也可以设置于壳体6的内部。该传送带241的输送方向为-X轴方向，能够在-X轴方向(图49中从左向右)上输送对象物。此外，传送带241的输送方向为+X轴方向，可以在+X轴方向(图49中从右向左)上输送对象物。并且，传送带241只要为能够输送对象物的构成，其构成没有特别的限定，可以为所谓的带式传送带、辊式传送带等的任意的构成。

并且，传送带241的+X轴侧的区域作为供给部而发挥作用，传送带241的-X轴侧的区域作为回收部而发挥作用。从而，机器人1在传送带241的+X轴侧的区域进行了对象物的保持之后，将保持的对象物向检查部300输送。并且，机器人1将检查完成的对象物载置于传送带241的-X轴侧的区域(脱离)。

通过具备这种构成的供给回收单元24，能够节省作业者向机器人系统100供给或回收对象物的工夫，能够使全部的作业自动化。

并且，图50示出具备多个机器人系统100的机器人系统单元1000。多个机器人系统100沿X轴方向排列设置，各机器人系统100所具有的传送带241被连结。由此，能够实现例如通过各机器人系统100进行不同的内容的检查，从而能够进行多种检查的机器人系统单元1000。

并且，供给回收单元24例如也能够形成图51及图52所示的构成。

图51所示的供给回收单元24具有传送带242。传送带242中的作为回收部而发挥作用的-X轴侧的区域被分为三个区域2421、2422、2423。区域2421，作为载置有通过检查部300判断为合格品的对象物的合格品用的回收部而发挥作用。区域2422，作为载置有通过检查部300判断为次品的对象物的次品用的回收部而发挥作用。区域2423，作为载置有通过检查部300判断为再检查的对象物的再检查用的回收部而发挥作用。这样，通过根据检查结果划分作为回收部而发挥作用的-X轴侧的区域，能够节省之后按照各个检查结果区分对象物的工夫。

图52所示的供给回收单元24具有三个传送带243、244、245。

传送带243具有作为供给部的功能和作为合格品用的回收部的功能。并且，传送带243的+X轴侧作为供给部而发挥作用，传送带243的-X轴侧作为合格品用的回收部而发挥作用。传送带244作为次品用的回收部而发挥作用。并且，传送带244以能够向-X轴方向以及+X轴方向输送对象物的方式构成。该传送带244根据对象物的检查后的后处理的内容改变输送方向。例如，传送带244，在分析或废弃载置的对象物的情况下，以向-X轴方向输送对象物的方式驱动。并且，例如，传送带244，在使载置的对象物返回前工序的情况下，以向+X轴方向输送对象物的方式驱动。

并且，传送带245具有作为再检查用的回收部的功能。该传送带245，由于不具有作为供给部的功能，因此，如图52所示，其输送方向上的长度比具有作为供给部的功能的传送带243短。这样，图52所示的供给回收单元24包括：具有作为回收部及合格品用的回收部的功能的传送带243、具有作为次品用的回收部的功能的传送带244、具有作为再检查用的回收部的功能的传送带245。由此，能够更有效地进行对象物的供给及回收和后处理。

此外，在图52中，传送带243、传送带244以及传送带245从+Y轴侧按照该顺序沿Y轴方向(水平方向)排列设置，但传送带243、244、245的排列顺序不限于此，可以为任意。

第五实施方式

下面，对本发明的第五实施方式进行说明。

图53为本发明的第五实施方式涉及的机器人系统的左视图。此外，在图53中省略了罩部件的图示。

本实施方式涉及的机器人系统，除了供给部及回收部的构成不同之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第五实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，关于同样的事项省略其说明。

如图53所示，供给单元2和回收单元4沿Z轴方向(铅直方向)排列。并且，在本实施方式中，回收单元4位于供给单元2的下方。并且，回收单元4所具有合格品用回收部41(回收部40)、次品用回收部42(回收部40)以及再检查用回收部43(回收部40)从+Z轴侧按照该顺序沿Z轴方向排列设置。由于具备这种构成的供给单元2及回收单元4，与供给部20及各回收部40沿X轴方向排列设置的情况相比较，能够减小机器人系统100的X轴方向的长度。

并且，如上所述的本实施方式中的供给单元2及回收单元4，虽未图示，例如，可以形成具备架的构成，该架包括沿Z轴方向排列设置的四个架板。使位于最上侧的架板作为供给部20而发挥作用，使位于从上面起第二个架板作为合格品用回收部41而发挥作用，使位于从上面起第三个架板作为次品用回收部42而发挥作用，使位于最下侧的架板作为再检查用回收部43而发挥作用。并且，例如，供给单元2及回收单元4分别能够由以X轴方向作为输送方向的传送带构成。

第六实施方式

下面，对本发明的第六实施方式进行说明。

图54为本发明的第六实施方式涉及的机器人系统的主视图。此外，在图54中省略了罩部件的图示。

如图54所示，本实施方式涉及的机器人系统100，除了供给部及回收部的构成不同之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第六实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明，关于同样的事项省略其说明。

如图54所示，供给部20及三个回收部40分别由所谓的托盘装载机(输送装置)构成。该托盘装载机，虽未图示，其为将能够载置多个对象物的载置部件即托盘沿Z轴方向重叠地放置多个的装置，并且，其为通过使所希望的托盘沿Y轴方向移动，而能够使其位于机器人1的可动范围内的装置。该托盘装载机例如由周边设备控制装置72控制。

通过具备这种构成的供给部20及三个回收部40，能够将多个对象物载置于供给部及三个回收部40。因此，能够将供给部20及三个回收部40作为保管对象物的保管部而有效利用。并且，通过具备这种构成的供给部20及三个回收部40，能够节省作业者向机器人系统100供给或回收对象物的工夫，能够使全部的作业自动化。

此外，供给部20及三个回收部40由一个托盘装载机构成，也可以按照各个托盘区分供给部20及三个回收部40。

第七实施方式

下面，对本发明的第七实施方式进行说明。

图55为从上侧观察本发明的第七实施方式涉及的机器人系统的概略图。图56为设置于图55所示的机器人系统所具备的载置台的载置部件的一例的图。

本实施方式涉及的机器人系统，主要包括：空载置部件收集部、两个载置台、两个机器人，除此之外与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第七实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明。

如图55所示，本实施方式涉及的机器人系统100包括：空载置部件收集部44、两个载置台74、75、第一实施方式所述的图12所示的构成的机器人1、与机器人1不同的机器人1A。

在供给单元2和回收单元4之间，设置有回收未载置有对象物的空的载置部件25的空载置部件收集部44。并且，虽未图示，空载置部件收集部44和供给单元2和回收单元4被连结，载置部件25以能够自动地在这些之间移动的方式构成。由此，例如，当从供给部20的载置部件25起无全部的对象物时，能够使供给部20的载置部件25移动至空载置部件收集部44。并且，当回收部40的载置部件25被去除时，能够使空载置部件收集部44的载置部件25移动至回收部40。此外，当回收部40的载置部件25满载时，能够使空载置部件收集部44的载置部件25以相对于该满载的载置部件25层叠的方式移动至回收部40。

机器人1A设置于机器人系统100的底部。并且，相对于机器人1A或者机器人1A的对象物进行作业的部位(例如，手端操作装置)能够沿X轴、Y轴及Z轴移动。并且，相对于机器人1A的对象物进行作业的部位能够进出供给部20、空载置部件收集部44、各回收部40、载置台74、75。相对于机器人1A的对象物进行作业的部位的可动范围为图55所示的区域S7内。另一方面，机器人1所具有的手端操作装置5的可动范围为假想面C5内。在本实施方式中，通过机器人1进行对于各检查部300的对象物的输送、把持以及脱离，通过机器人1A进行对于供给部20以及各回收部40的对象物的输送、把持以及脱离。这样，由机器人1及机器人1A分担对于对象物的作业，从而，能够缩短机器人1的手端操作装置5及机器人1A对于对象物进行作业的部位的各移动距离。因此，能够更为提高生产节拍时间。

并且，通过使机器人1A为所谓的底置型、使机器人1为所谓的悬挂型，能够降低机器人1A和机器人1在作业中相互干涉。

并且，载置台74、75设置于供给单元2及回收单元4和检查单元3之间。更具体而言，载置台74位于供给单元2和检查单元3之间，载置台75位于回收单元4和检查单元3之间。这些载置台74、75可以作为机器人1A和机器人1之间的对象物的交接场所而使用。例如，机器人1A在供给部20保持对象物并将对象物输送至载置台74并载置。另一方面，机器人1在供给部74保持对象物并将对象物输送至检查部300并载置。并且，机器人1在检查部300保持对象物并将对象物输送至载置台75并载置。另一方面，机器人1A在供给部75保持对象物并将对象物输送至回收部40并载置。这样，通过利用载置台74、75，能够有效地进行机器人1及机器人1A之间的对象物的交接，能够通过机器人1及机器人1A分担对于对象物的作业。并且，例如，机器人1在载置台74保持对象物并将对象物输送至检查部300，进行保持及脱离之后，将对象物输送至载置台75并载置。此后，机器人1可以返回载置台74，机器人1也可以在载置台75保持对象物并将对象物输送至检查部300，进行保持及脱离之后，将对象物输送至载置台74并载置。由此，能够更为缩短生产节拍时间。

并且，优选的是，载置于载置台74的载置部件25为翘曲等小、能够以高精度定位的状态。由此，在机器人1保持对象物之后，即使省略通过对准用摄像部9把握对象物的保持状态，也能够以高精度进行对象物向检查部300的载置。此外，载置于载置台75的载置部件25，由于载置有检查完成的对象物，因此，其定位精度可以低于载置于载置台74的载置部件25。

此外，在本实施方式中，具有载置台74、75，“载置台”也可以为一个。这种情况下，优选的是，如图56所示，设置有载置部件25A和相比载置部件25A以高精度定位的载置部件25B。

第八实施方式

接着，对本发明的第八实施方式进行说明。

图57为从上侧观察本发明的第八实施方式涉及的机器人系统的概略图。

本实施方式涉及的机器人系统，主要包括各两个供给单元、检查单元、回收单元以及机器人，除此之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第八实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明。

如图57所示，本实施方式涉及的机器人系统100，具有：两个供给单元2、两个检查单元3、两个回收单元4以及两个机器人1。即，机器人系统100具有两个单元组200，该单元组200包括：一个供给单元2、一个检查单元3、一个回收单元4以及一个机器人1。通过该构成，能够实现例如通过各单元组200进行不同的内容的检查，能够进行多种检查的机器人系统100。

并且，在两个机器人1之间准备各种“手端操作装置”，能够配置能够更换手端操作装置的工具快换装置76。由此，各机器人1，能够通过工具快换装置76安装基于检查内容的手端操作装置。

第九实施方式

下面，对本发明的第九实施方式进行说明。

图58为从上侧观察本发明的第九实施方式涉及的机器人系统的概略图。

本实施方式涉及的机器人系统，主要具备移动机构，以及设置有各两个供给单元和回收单元，除此之外，与上述的第八实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第九实施方式，以与上述第八实施方式的不同点为中心进行说明。

图58所示的机器人系统100，包括：两个供给单元2、两个回收单元4。由此，能够实现例如通过使供给至两个供给部20的对象物为不同的种类，从而能够进行两种对象物的检查的机器人系统100。

并且，机器人1设置于移动机构91。移动机构91具有以能够使机器人1沿X轴方向往复移动的方式支承机器人1的功能。移动机构91，虽未图示，例如具备：用于安装基台110的安装部、使安装部沿X轴方向往复移动的走行轴、驱动走行轴的驱动源。该驱动源例如由周边设备控制装置72控制。

由于机器人1通过这种移动机构91能够沿X轴方向移动，因此，机器人1，能够在沿水平方向上在较宽范围内设置的多个检查部300、多个供给部20以及多个回收部40中作业。

并且，例如能够将工具快换装置76配置于壳体6内的外周部。由此，机器人1能够对应于各个种类的对象物。

第十实施方式

下面，对本发明的第十实施方式进行说明。

图59为从上侧观察本发明的第十实施方式涉及的机器人系统的概略图。此外，在图59中省略了罩部件的图示。

本实施方式涉及的机器人系统，主要具备后工序区域之外，与上述的实施方式相同。此外，在以下的说明中，关于第十实施方式，以与上述实施方式的不同点为中心进行说明。

图59所示的机器人系统100，包括能够进行检查完毕的对象物的后工序的作业单元900。在作业单元900中，例如，作为后工序，能够进行通过机器人1进行的对象物的组装(例如，包含向基板的安装、焊接)、装箱、打包等。

并且，在机器人系统100中，被划分为配置有供给单元2的供给区域S25、配置有第一检查部组31及第二检查部组32的第一检查区域S31、配置有第三检查部组33及第四检查部组34的第二检查区域S32、配置有作业单元900的作业区域S41。

在这种机器人系统100中，机器人1从供给区域S25保持对象物，将对象物向第一检查区域S31输送并载置。在第一检查区域S31例如进行对象物的导通检查等。并且，机器人1从第一检查区域S31保持检查完毕的对象物，将检查完毕的对象物向作业区域S41输送并载置。在作业区域S41例如进行被判断为合格品的对象物的打包等。并且，机器人1从作业区域S41保持被打包等的对象物，将被打包等的对象物向第二检查区域S32输送并载置。在第二检查区域S32例如进行被打包等的对象物的外观检查等。并且，机器人1从第二检查区域S32保持被打包等的对象物，将被打包等的对象物向作业区域S41输送并载置。并且，作业者从作业区域S41回收被打包等的对象物。从而，设置于作业区域S41的作业单元900可以作为回收单元而发挥作用。

这样，通过一个机器人系统100，能够进行检查、检查后的后工序、后工序后的检查。

并且，例如也可以在第一检查区域S31进行对象物(例如IC)的导通检查等，在作业单元900将对象物(例如IC)安装于基板并焊接而制作模块基板，在第二检查区域S32进行模块基板的导通检查等。

以上，基于图示的实施方式说明了本发明的机器人系统，但本发明不限于此，各部分的构成可以置换为具有同样的功能的任意的构成。并且，可以附加其他任意的构成物。并且，本发明可以将上述各实施方式中的、任意的两个以上的构成(特征)组合。

并且，在上述实施方式中，机器人所具有的机器臂的转动轴的数量为六个，在本发明中不限于此，机器臂的转动轴的数量例如可以为两个、三个、四个、五个或者七个以上。并且，在上述实施方式中，机器人所具有的臂的数量为六个，但本发明中不限于此，机器人所具有的臂的数量例如可以为两个、三个、四个、五个或者七个以上。

并且，在前述实施方式中，机器人所具有的机器臂的数量为一个，但本发明中不限于此，机器人所具有的机器臂的数量例如可以为两个以上。即，机器人例如可以为双臂机器人等的多臂机器人。

Claims (15)

1.一种机器人系统，其特征在于，具备：

供给部，供给对象物；

第一检查部组，具有检查被供给的所述对象物的多个第一检查部；

第二检查部组，具有检查被供给的所述对象物的多个第二检查部；

回收部，回收被检查的所述对象物；以及

机器人，具有机器臂，进行所述对象物的保持、输送以及脱离，

所述机器人能够成批输送多个所述对象物，

在从所述对象物的供给至回收期间，通过所述机器人进行的所述对象物的输送所花费的输送时间的合计比通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离所花费的处理时间的合计短。

2.根据权利要求1所述的机器人系统，其特征在于，

通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离中的至少一方在所述供给部、所述第一检查部组、所述第二检查部组及所述回收部的各自中进行。

3.根据权利要求1或2所述的机器人系统，其特征在于，

通过所述机器人进行的所述对象物的输送在所述供给部和所述第一检查部组之间、所述第一检查部组和所述回收部之间、所述供给部和所述第二检查部组之间以及所述第二检查部组和所述回收部之间的各自中进行。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

通过所述机器人进行的对于所述对象物的作业包括：

第一阶段，包含所述供给部、所述第一检查部组及所述回收部中的所述对象物的保持及脱离中的至少一方、和所述供给部和所述第一检查部组之间以及所述第一检查部组和所述回收部之间的所述对象物的输送；以及

第二阶段，包含所述供给部、所述第二检查部组及所述回收部中的所述对象物的保持及脱离中的至少一方、和所述供给部和所述第二检查部组之间以及所述第二检查部组和所述回收部之间的所述对象物的输送，

在所述第一阶段中，通过所述机器人进行的所述对象物的输送时间的合计比通过所述机器人进行的所述对象物的处理时间的合计短，

在所述第二阶段中，通过所述机器人进行的所述对象物的输送时间的合计比通过所述机器人进行的所述对象物的处理时间的合计短。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人进行如下作业：

第一作业，通过所述机器臂将多个所述对象物从所述供给部保持；

第二作业，在所述第一作业之后，通过所述机器臂将多个所述对象物从所述供给部向所述第一检查部组输送；

第三作业，在所述第二作业之后，在所述第一检查部组通过所述机器臂进行使多个所述对象物脱离的作业和保持多个所述对象物的作业；

第四作业，在所述第三作业之后，通过所述机器臂，将多个所述对象物从所述第一检查部组向所述回收部输送；

第五作业，在所述第四作业之后，通过所述机器臂，使多个所述对象物在所述回收部脱离；

第六作业，在所述第五作业之后，通过所述机器臂，从所述供给部保持多个所述对象物；

第七作业，在所述第六作业之后，通过所述机器臂，将多个所述对象物从所述供给部向所述第二检查部组输送；

第八作业，在所述第七作业之后，在所述第二检查部组通过所述机器臂进行使多个所述对象物脱离的作业和保持多个所述对象物的作业；

第九作业，在所述第八作业之后，通过所述机器臂，将多个所述对象物从所述第二检查部组向所述回收部输送；以及

第十作业，在所述第九作业之后，通过所述机器臂，使多个所述对象物在所述回收部脱离，

所述第二作业所花费的作为所述输送时间的第二时间和所述第四作业所花费的作为所述输送时间的第四时间的合计比所述第一作业所花费的作为所述处理时间的第一时间、所述第三作业所花费的作为所述处理时间的第三时间和所述第五作业所花费的作为所述处理时间的第五时间的合计短，

所述第七作业所花费的作为所述输送时间的第七时间和所述第九作业所花费的作为所述输送时间的第九时间的合计比所述第六作业所花费的作为所述处理时间的第六时间、所述第八作业所花费的作为所述处理时间的第八时间和所述第十作业所花费的作为所述处理时间的第十时间的合计短。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人具有连接于所述机器臂的手端操作装置，

所述手端操作装置具有：能够围绕转动轴转动的转动部件；和设置于所述转动部件并保持所述对象物的多个保持部。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

从重力方向观察，多个所述第一检查部及多个所述第二检查部分别配置于以所述机器人为中心的圆弧上。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

从重力方向观察，所述第一检查部和所述第二检查部重叠配置。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

从重力方向观察，所述机器人及所述供给部位于所述第一检查部组及所述第二检查部组的内侧，

所述供给部的上部的高度为所述第一检查部的上部的高度以下，并且，所述供给部的上部的高度为所述第二检查部的上部的高度以下。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人系统的设置面积为256m²以下。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人系统具备壳体，所述壳体收容所述供给部、所述第一检查部、所述第二检查部、所述回收部和所述机器人，

所述第一检查部及所述第二检查部分别具有：载置有所述对象物的检查台；和能够使所述检查台向所述壳体的外部移动的移动机构。

12.根据权利要求11所述的机器人系统，其特征在于，

所述第一检查部及所述第二检查部分别具有：第一部件，连接于所述检查台，在所述检查台位于所述壳体的内部的状态下，所述第一部件设置于所述壳体；第二部件，在所述检查台位于所述壳体的内部的状态下，所述第二部件位于所述检查台的上部；以及连结部件，连结所述第一部件和所述第二部件，

通过将所述第一部件向所述壳体的外侧拉出，所述检查台位于所述壳体的外部，

在所述检查台位于所述壳体的外部的状态下，所述第二部件作为隔开所述壳体的内部和外部的隔开部而发挥作用。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人对于所述第一检查部组所具有的多个所述第一检查部中的被选择的所述第一检查部，进行所述对象物的保持及脱离，

所述机器人对于所述第二检查部组所具有的多个所述第二检查部中的被选择的所述第二检查部，进行所述对象物的保持及脱离。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器臂具有被连结的至少两个臂，

在从所述对象物的供给至回收期间，所述机器人在所述至少两个臂交叉的状态下进行所述对象物的输送。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的机器人系统，其特征在于，

所述机器人具备：

连接于所述机器臂并具有通过吸附而保持所述对象物的多个吸附部的部件；

流路部，连接于所述吸附部，并具备供气体流动的流路；

检测部，检测所述气体在所述流路部中的压力或者每单位时间的流量；以及

摄像部，具有摄像功能，

基于来自所述摄像部的检测结果和来自所述检测部的检测结果，求出通过所述机器人进行的所述对象物的保持及脱离中的示教点。