CN107926155A - 检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种检查装置，分类回收电气特性测定后的元件(s)。检查装置包括：保持台(32)；能够把持保持于该保持台(32)上的元件(s)来测定电气特性的一对测定件(34、36)；及使保持台(32)与一对测定件(34、36)彼此相对移动的相对移动装置。基于元件(s)的电气特性的测定结果，改变可动件(36)与保持台(32)的相对位置关系，由此分类回收元件(s)。

Description

检查装置

技术领域

本发明涉及一种进行向电路基板安装的元件的检查的检查装置。

背景技术

在专利文献1中记载有一种从两端夹持载置于保持台的元件而测定电气特性的检查装置。在该检查装置中，从送风口部28沿着保持台的V槽供给空气，将处于该V槽上的测定后的元件朝向导入口部7′输送。另外，设置多个接收容器32_i(i＝1，2，3……)，使导入口部7′旋转至与基于元件的测定结果决定的接收容器32_i对应的位置，将该元件回收到该接收容器32i中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特公昭52-30703号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的课题涉及一种能够自动测定元件的电气特性的检查装置，通过与专利文献1所记载的检查装置中的情况不同的样态分类回收测定后的元件。

用于解决课题的技术方案

本发明的检查装置包括：(1)保持台；(2)测定部，具备能够保持被该保持台保持的元件的一对测定件，并测定元件的电气特性；(3)相对移动装置，使保持台与一对测定件彼此相对移动；及(4)分类回收装置，通过改变一对测定件与保持台的相对位置，分类回收从一对测定件释放的元件。

由于分类回收元件，因此与元件被废弃的情况相比较，能够有效地利用元件。例如，在基于测定结果按照元件适当的情况与不适当的情况分类回收的情况下，能够将适当的元件应用于朝向电路基板的安装。另外，若基于不适当的元件，则能够清楚不适当的原因。

在本发明的检查装置中，通过改变保持台与一对测定件的相对位置而分类回收元件，与之相对，在专利文献1所记载的检查装置中，在将元件从保持台送至导入口部7′之后，改变该导入口部7的转动角度，由此分类回收，本发明的检查装置中的分类的方案与专利文献1所记载的检查装置中的方案彼此不同。

附图说明

图1是包括作为本发明的一实施方式的检查装置的安装机的立体图。

图2是上述检查装置的主要部位的立体图。

图3是从与图2不同的方向观察上述检查装置的主要部位的立体图。

图4是上述检查装置的主要部位的局部剖视图。

图5是上述检查装置所包含的空气回路图。

图6是示意性表示上述安装机的控制装置的图。

图7是表示上述控制装置的存储部所存储的LCR测定程序的流程图。

图8是在上述检查装置中测定LCR的情况下的时序图。(a)是判断为元件适当的情况。(b)是判断为元件不适当的情况。

图9是表示存储于上述存储部的元件适当判定程序的流程图。

图10是表示上述检查装置的工作的俯视图，是表示判断为元件适当的情况下的工作的图。(1)是表示初始状态的图，(2)是表示夹持状态的图，(3)是表示测定状态的图，(4)是表示第一回收状态的图。

图11是表示上述检查装置的工作的俯视图，是表示判断为元件不适当的情况下的工作的图。(1)是表示初始状态的图，(2)是表示夹持状态的图，(3)是表示测定状态的图，(4′)是表示回收部选择状态的图。(5′)是表示第二回收状态的图。

图12的(a)是上述检查装置的第一回收状态下的剖视图。图12的(b)是第二回收状态下的剖视图。

具体实施方式

以下，基于附图对包含作为本发明的一实施方式的检查装置的安装机进行详细说明。

图1所示的安装机向电路基板安装元件，包括装置主体2、电路基板搬运保持装置4、元件供给装置6及头移动装置8等。

电路基板搬运保持装置4将电路基板P(以下，简称为基板P)以水平姿势搬运并保持，在图1中，将基板P的搬运方向设为x方向，将基板P的宽度方向设为y方向，将基板P的厚度方向设为z方向。y方向是安装机的前后方向，z方向是安装机的上下方向。这些x方向、y方向、z方向彼此正交。元件供给装置6供给向基板P安装的电子元件(以下，简称为元件)s，包含多个带式供料器14等。头移动装置8保持安装头16而使其在x、y、z方向上移动，安装头16具有吸附并保持元件的吸嘴18。

另外，附图标记20表示照相机。照相机20拍摄由吸嘴18保持的元件s，基于由照相机20拍摄到的图像，判定元件s是否为向电路基板P安装的预定的元件。附图标记22表示检查装置。检查装置22测定并检查元件s的电气特性。测定元件s的电气特性，判定测定出的电气特性是否与JOB信息所包含的关于元件s的信息(电气特性)一致，即，是否与在下次作业中使用的预定的元件s所具备的电气特性一致。

作为元件s的电气特性，适用L(电感)、C(电容)、R(电阻)、Z′(阻抗)等，利用检查装置22来测定这些中的一个以上。

检查装置22经由回收箱26设于电路基板搬运保持装置4的主体。回收箱26与检查装置22通过回收通路28连接，电气特性被测定了的元件s经由回收通路28被收容到回收箱26。检查装置22以能够调整高度的方式设于回收箱26。如图2、3所示，在回收箱26上以能够升降的方式卡合基底部30，在基底部30上通过包括螺栓及螺母的紧固部31(参照图4)固定主体部29，将这些基底部30及主体部29保持为能够一体升降。

如图2～4所示，检查装置22包括(i)上述主体部29及基底部30、(ii)能够保持元件s的保持台32、(iii)由固定件34及可动件36构成的一对测定件37、(iv)使保持台32移动的保持台移动装置40、(v)使可动件36接近或离开固定件34的可动件移动装置41及(vi)作为测定电气特性的测定部的LCR测定部42等。在本实施例中，元件s在两端部具有电极，能够由一对测定件37把持。作为元件s，例如适用称为方芯片的元件。

保持台32包括元件载置部44及保持元件载置部44的载置部保持体46。元件载置部44大致沿x方向延伸，在中间部的上表面形成V槽44c，在V槽44c的两侧分别利用紧固部47固定于载置部保持体46。这样，由于将供元件s载置的部分设为V形状，因此高精度地决定元件s的位置。

元件载置部44能够由具有导电性、耐磨损性且不易氧化的材料制造。元件载置部44经由多个具有导电性的部件与基底部30电连接，但通过使基底部30接地，元件载置部44也接地。在本实施例中，元件载置部44与载置部保持体46抵接，并且利用紧固部47来固定，并且载置部保持体46经由止动件80(参照图4)与主体部29抵接，主体部29被紧固部31固定于基底部30。并且，载置部保持体46、止动件80、主体部29、基底部30、紧固部31、47等具有导电性。因而，元件载置部44接地(earth)。

这样，通过使元件载置部44由具有导电性的材料制造并接地，能够进行载置于元件载置部44的元件s的除电。另外，通过使元件载置部44由具有耐磨损性的材料制造，能够抑制元件载置部44的磨损，使耐久性提高。另外，通过由不易氧化的材料、即能够形成作为金属的氧化被膜的钝态皮膜的材料制造，能够使元件载置部44不易生锈。能够使锈不易附着于元件s等，能够抑制元件s的电气特性的测定精度的降低。例如，元件载置部44能够由铝合金或者不锈钢材料等制造。

载置部保持体46大致形成长方体状，沿x方向及z方向延伸。载置部保持体46的下表面46f到达主体部29的上表面29f附近。

固定件34、可动件36分别具有彼此相向的相向面34f、36f，利用上述一对相向面34f、36f来把持元件s。固定件34经由固定件保持体55被固定于主体部29。可动件36被可动件保持体56保持为能够一体移动而接近或离开固定件34。在本实施例中，相向面36f的剖面形成三角形状，能够沿着V槽44c移动。换言之，可动件36的相向面36f的形状是大体与V槽44c对应的形状，可动件36的相向面36f、固定件34的相向面34f及保持台32的V槽44c大体位于同一高度。因此，无论元件s处于V槽44c内的哪一处，都能够利用一对相向面34f、36f来把持元件s。

另外，可动件36在本实施例中是沿y方向(移动方向)伸展的纵长部件，在后退端被可动件保持体56保持。另外，包含相向面36f的前端部的后部形成不具有比前端部沿x方向露出的部分的形状。其结果是，保持台32与可动件36能够彼此相对移动，保持台32在V槽44的底部位于可动件36的下方的状态下，能够朝相向面36f的前方移动或者朝后方移动。

另外，形成由可动件36与固定件34构成的一对测定件37、LCR测定部42、包括省略图示的电源装置等的电气电路58。在上述固定件34与可动件36之间供给电流并且检测流动的电流，基于它们的关系而利用LCR测定部42测定元件s的电气特性。LCR测定部42不限于测定L、C、R的测定部，也能够测定L、C、R、Z′等表示电气特性的物理量的一个以上。此外，图2的附图标记58a、58b是将一对测定件37朝向电气电路58连接的连接部。

在保持台32上安装有罩部50。罩部50抑制空气的扩散，包含彼此在x方向上隔开且分别设于V槽44c的两侧的一对罩用板部52、54。罩用板部52、54分别设于保持台32的固定件34侧，沿y方向及z方向、即保持台32、可动件36的移动方向及上下方向伸展，形成板状部件弯曲而成的形状。罩用板部52在俯视观察下形成槽形，包含底板部52a与在其两侧沿x方向隔开设置的侧板部52b、52c。底板部52a形成下部弯曲的形状，在侧视观察下呈L字形，在上部安装于元件载置部44的固定件34侧的侧面。另外，在保持台32的前进端位置，底板部52的下部位于固定件保持体55的上方，侧板部52b位于固定件34的外侧且位于固定件保持体55的上方，侧板部52c位于比侧板部52b靠外侧的位置、且位于固定件保持体55的外侧。侧板部52c的上下方向的尺寸比侧板部52b大，下端部伸展至主体部29的贯通孔29a附近。罩用板部54安装在相对于V槽44c与罩用板部52相反一侧的载置部保持体46。罩用板部54在保持台32的前进端位置处位于固定件保持体55的外侧。罩用板部54形成向与上下方向交叉的方向弯曲的形状，下端部伸展至主体部29的贯通孔29a附近。

另外，侧板部52c、罩用板部54的y方向的尺寸被设为在后述的第一回收状态下能够从x方向覆盖一对相向面34f、36f之间的空间的大部分的大小。

保持台移动装置40包含固定地设置于主体部29或者基底部30的作为驱动源的气缸64。在气缸64的活塞杆66(参照图5)上连结载置部保持体46。活塞杆66大致沿y方向伸展，载置部保持体46能够沿y方向移动。气缸64在缸壳体的内部包含由活塞分隔的两个空气室64a、64b，在两个空气室64a、64b与空气源68、后述的空气通路60(参照图4)、过滤器(大气)之间设置电磁阀装置69。电磁阀装置69能够是一个以上的电磁阀，例如如图5所示，包含方向切换阀、可变节流阀。利用方向切换阀，控制载置部保持体46的移动方向，利用可变节流阀，控制载置部保持体46的移动、停止。利用电磁阀装置69，通过使空气室64b与空气源68连通且使空气室64a与空气通路60连通，使保持台32前进(图4的箭头F方向的移动)，通过将空气室64b向大气开放而使空气室64a与空气源68连通，使保持台32后退(图4的箭头B方向的移动)。

可动件移动装置41包含固定地设于主体部29的作为驱动源的气缸70。在气缸70的活塞杆71上连结能够与可动件一体移动的可动件保持体56。活塞杆71也沿y方向伸展，可动件36也能够沿y方向移动。在气缸70的壳体的内部由活塞分隔出的两个空气室70a、70b经由电磁阀装置72连接空气源68、空气通路60、过滤器(大气)。电磁阀装置72包含一个以上的电磁阀，例如能够包含方向切换阀、可变节流阀等。利用电磁阀装置72，通过使空气室70b与空气通路60连通且使空气室70a与空气源68连通，使可动件36后退，通过将空气室70a向大气开放且使空气室70b与空气源68连通，使可动件36前进。

在可动件保持体56与主体部29之间设有沿y方向伸展的一对引导杆74、75，在保持台32与可动件保持体56之间设有沿y方向伸展的一对引导杆76、77。引导杆74、75的一端部与可动件保持体56连结，另一端部能够滑动地卡合于主体部29。引导杆76、77在一端部与载置部保持体46连结，并且能够滑动地卡合于可动件保持体56。利用这些引导杆74、75、76、77，使保持台32与可动件36相对于主体部29能够沿y方向彼此相对移动，并且使保持台32与可动件36能够彼此沿y方向相对移动。

另外，如图4所示，在可动件保持体56的固定件侧设置止动件82，在主体部29的保持固定件保持体55的部分设置止动件80。止动件82规定可动件保持体56与保持台32(载置部保持体46)的接近限度，止动件80规定固定件34(主体部29)与保持台32(载置部保持体46)的接近限度。

此外，如图4所示，在载置部保持体46的可动件36侧的中间部形成沿y方向凹陷的凹部46b，在凹部46b的底部能够与止动件80抵接。其结果是，保持台32与可动件36的能够相对移动的距离增大。

在本实施例中，引导杆74～77被保持台移动装置40、可动件移动装置41共用，能够认为止动件80、82是保持台移动装置40的构成要素。

在本检查装置中，在可动件36的相向面36f设有能够供给空气的空气供给装置84。空气供给装置84包括所述的罩部50、空气通路60、电离器62、气缸64、70等。如图4所示，空气通路60包含设于主体部29且大致沿上下方向伸展的部分通路60h、设于固定件侧的部件{例如固定件34的上部或者固定件保持体55的固定件34的上方的部分或者主体部29}且大致沿y方向伸展的部分通路60s等。沿y方向伸展的部分通路60s在随着接近可动件36而朝向下方的朝向上倾斜伸展，在可动件36处于离开固定件34的位置的情况下，以使延长线k到达可动件36的相向面36f的部分R的上方或者部分R内的状态进行伸展。部分R是可动件36的相向面36f的把持元件s的频率高的部分，能够称为把持部。另外，部分通路60s的端部被设为与可动件36的相向面36f相向的开口60a。因此，部分通路60s能够称为空气喷出通路。

在空气通路60连接有气缸64、70。另外，在空气通路60的气缸64、70的下游侧的部分设有电离器62。电离器62引起电晕放电而将空气离子化，能够向相向面36f供给离子化了的空气。

此外，电磁阀装置69、72的构造不限于本实施例的构造。例如，能够包含一个三位置阀、或者包含多个开闭阀等。另外，设置电离器62并非不可欠缺。

如图4的(a)、图10的(1)所示，在主体部29，在俯视观察下设有大致形成四边形的贯通孔29a，在基底部30分别设有第一贯通孔30a、第二贯通孔30b。这些第一贯通孔30a、第二贯通孔30b形成为沿着保持台32及可动件36的移动方向、即y方向隔开排列。另外，形成于主体29的贯通孔29a、形成于基底部30的第一贯通孔30a、第二贯通孔30b分别沿上下方向贯穿主体部29、基底部30，这些在俯视观察下位于重叠的部分。因此，利用这些贯通孔29a及第一贯通孔30a、第二贯通孔30b使主体29及基底部30沿上下方向贯通。

回收箱26的内部被分隔部件90沿x方向分隔成两部分，分别为第一收容部26a、第二收容部26b。另外，在回收箱26的检查装置22侧的侧壁92上沿x方向隔开、即在分隔部件90的两侧分别设有第一回收口93a、第二回收口93b。所述的第一回收通路28a、第二回收通路28b分别一端部与基底部30的第一贯通孔30a、第二贯通孔30b连接，另一端部能够相对移动地插入到回收箱26的第一回收口93a、第二回收口93b。其结果是，进入到第一贯通孔30a的元件s经由第一回收通路28a被第一收容部26a回收，进入到第二贯通孔30b的元件s经由第二回收通路28b被第二收容部26b回收，能够在第一收容部26a与第二收容部26b分类回收元件s。

此外，基底部30、回收箱26、第一回收通路28a、第二回收通路28b被设为允许基底部30相对于回收箱26的上下方向的相对移动的构造，例如，如上述那样，使第一回收通路28a、第二回收通路28b能够相对于回收箱26相对移动地卡合于回收箱26、或者使第一回收通路28a、第二回收通路28b能够伸缩等。

另外，第一贯通孔30a、第二贯通孔30b各自的开口面积形成朝向下方变小的形状，即，第一贯通孔30a、第二贯通孔30b的侧面形成倾斜的形状。因此，能够减小第一回收通路28a、第二回收通路28b的剖面积，并且增大元件s的入口侧的开口，能够使从一对测定件37放出的元件s良好地向第一回收通路28a、第二回收通路28b回收。

另一方面，在基底部30的第一贯通孔30a与第二贯通孔30b之间的部分设有在与保持台32、可动件36的移动方向正交的方向即x方向上伸展的分离壁94。分离壁94随着朝向上方而厚度(y方向)逐渐减小，顶部94p到达主体部29的上表面29f与载置部保持体46的下表面46f之间。

另外，分离壁94的前侧面94f向随着朝向下方而接近第一贯通孔30a的朝向倾斜，后侧面94r向随着朝向下方而接近第二贯通孔30b的朝向倾斜。因此，落到分离壁94的前侧面94f的元件s经由第一贯通孔30a、第一回收通路28a良好地被第一收容部26a收容，落到分离壁94的后侧面94r的元件s经由第二贯通孔30b、第二回收通路28b良好地被第二收容部26b收容。

此外，在本实施例中，分离壁94的x方向的长度与主体部29的贯通孔29a大体相同，至少比第一贯通孔30a、第二贯通孔30b长即可。

该安装机包括控制装置100。如图6所示，控制装置100包括以计算机为主体的控制器102及多个驱动电路104。控制器102包括执行部110、存储部112、输入输出部114等，基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8分别经由驱动电路104连接于输入输出部114，并且保持台移动装置40、可动件移动装置41的电磁阀装置69、72等连接于输入输出部114。另外，LCR测定部42、显示器116、可动件位置传感器118、保持台位置传感器120、检测吸嘴18的高度的吸嘴高度传感器122等被连接。在存储部112存储有图7的流程图所表示的LCR测定程序等多个程序、工作表。另外，利用设于控制器102的计时器124进行时间的计测。

此外，在本实施例中，说明了利用控制装置100来控制安装机整体的情况，但也能够使基板搬运保持装置4、元件供给装置6、头移动装置8等分别由彼此独立的控制装置控制。

以下，对安装机的工作进行说明。

在进行换产调整的情况等、进行新的带式供料器14的安设、带式供料器14的更换等的情况下等，测定被该带式供料器14保持的元件s的电气特性，检查该带式供料器14(或者元件s)是否适当。另外，将其检查结果显示于显示器116。在不适当的情况下，替换带式供料器14。另外，判定为适当的元件s被第一收容部26a回收，判定为不适当的元件s被第二收容部26b回收，测定电气特性之后的元件s在适当的情况与不适当的情况下被分类回收。

元件s的电气特性通过图7的流程图所表示的LCR测定程序的执行来测定。另外，图8的(a)、(b)示出LCR测定程序被执行的情况下的时序图。

检查装置22始终处于图10的(1)所示的初始状态。可动件36位于使可动件位置传感器118处于接通状态的开始位置，保持台32位于使保持台位置传感器120处于接通状态的位置、即与止动件80抵接的前进端位置。在该状态下，保持台32的元件载置部44处于接地的状态。在保持台32的V槽44c的上方不存在可动件36，处于能够载置元件s的状态。另外，罩部50位于固定件34的两侧(沿x方向隔开)。

在步骤1(以下简称为S1。对于其它的步骤也相同)中，判定是否发出元件s的电气特性的测定指令。在进行换产调整的情况下等发出电气特性的测定指令。当发出测定指令时，在S2中，安装头16被移动，例如，新安装的带式供料器14所保持的元件s被吸嘴18拾取，向保持台32的V槽44c上载置。例如，可知，通过使吸嘴18下降并释放元件s，将元件s载置在V槽44c上。

并且，当利用吸嘴高度传感器122检测出吸嘴18使元件s载置到V槽44c上而到达上升端时，在S3中，通过电磁阀装置72的控制使可动件36前进，将可动件位置传感器118从接通切换为断开。使可动件36的前端的相向面36f沿着元件载置部44的V槽44c前进，利用相向面36f与固定件34的相向面34f夹持元件s{图10的(2)}。在本实施例中，从开始位置至夹持元件s的可动件36的行程L₁(参照图4)由被夹持的元件s的大小等决定，且是预先决定的。在从可动件36的前进开始时起，经过了可动件36前进行程L₁所需的时间、即前进时间之后，通过可变节流阀的控制等，使可动件36的前进停止。前进时间由计时器124计测。该保持台32处于前进端位置，利用一对相向面34f、36f夹持元件s的状态为夹持状态。

在S4中，通过电磁阀装置69的控制使保持台32后退，将保持台位置传感器120从接通切换为断开。使保持台32后退直至与止动件82抵接{图10的(3)、图11的(3)}，在该位置处被保持。其间的保持台32的行程为L₂(参照图4)。

L₂＝Ld-L₁

在本实施例中，行程L₂被设为设定值Lx以上的大小(L₂≥Lx)，使元件载置部44从元件s离开设定值Lx以上。当具有导电性的部件(元件载置部44)在电气特性的测定时位于元件s的附近时，引起静电感应或产生涡流等，无法准确地检测电气特性。与之相对，若使元件载置部44从元件s离开设定值Lx以上(若将元件载置部44与元件s的最短距离设为设定值Lx以上)，则能够减小以元件载置部44位于元件s的附近为起因而产生的电气特性的测定误差。这样，设定值Lx是元件载置部44不易对元件s的电气特性的测定造成影响的距离，是预先通过实验等取得的值。其状态是测定状态。

此外，在从保持台32的后退开始时起，经过保持台32后退行程L₂所需的时间、即后退时间Ta之后，通过电磁阀装置69的控制对保持台32的位置进行保持。后退时间Ta通过计时器124来计测。

在S5中，从通过吸嘴18来释放元件s并载置在V槽44c上的时刻起，等待经过作为设定时间的除电时间。被带式供料器14保持的元件s分别处于通过以与带式供料器14的搬运相伴的振动、与物体的接触等为起因而产生的静电来带电的状态。该带电的元件s由具有导电性的材料制造，并且通过载置于接地的元件载置部44来除电，或者通过朝向空气中的放电来除电。除电时间是除去推定为元件s所具有的容量的静电所需的时间，能够预先通过实验等求出，或者基于元件s的大小、特性等理论上求出等。当元件s载置于元件载置部44起的经过时间达到除电时间时，S5的判定成为“是”，在S6中测定元件s的电气特性。

并且，当经过电气特性的测定所需的时间、即测定时间时，执行S7，但可以将测定时间设为由元件s的种类等决定的时间，也可以设为恒定的时间。无论如何均预先取得进行存储。

当经过测定时间而元件s的电气特性的测定结束时，在S7中如后述那样，读入元件s适当(OK)、或者不适当(NG)的判定结果。

在适当的情况下，在S8、S9中，使可动件36后退，使保持台32后退。可动件36通过电磁阀装置72的控制后退至比开始位置靠前方ΔLf的位置{参照图12的(a)}。可动件36在经过从(测定状态下的位置、即把持元件s的位置)后退至(比开始位置靠前方ΔLf的位置)所需的时间、即后退时间Tf之后被停止。保持台32通过电磁阀装置69的控制从测定状态下的位置后退至与可动件36的止动件82抵接的位置。保持台32的行程为(L₁-ΔLf)，因此在经过保持台32后退行程(L₁-ΔLf)所需的时间、即后退时间Tb之后，与止动件82抵接，使其停止。此外，在图12的(a)中，利用双点划线表示处于开始位置的可动件36的相向面36f的位置。

通过使可动件36的相向面36f离开固定件34的相向面34f，释放在它们之间被把持的元件s。另外，在可动件36后退时，使气缸70的空气室70b与空气通路60连通，罩用板部52、54分别位于一对相向面34f、36f之间的空间的x方向的两侧。另外，如图10的(4)、图12的(a)所示，保持台32位于可动件36的相向面36f的后方，使一对相向面34f、36f之间与第一贯通孔30a连通。

伴随着可动件36的后退，从空气室70a流出的空气从开口60a喷出，从斜上方向可动件36的相向面36f供给。空气主要在与相向面36f接触之后，沿着相向面36f朝下方流动。因此，即使元件s未从相向面36f落下而是附着于部分R，也能够使其良好地落下，被第一收容部26a回收。另外，从相向面34f、36f落下而载置在保持台32之上的元件s通过与保持台32的后退相伴的可动件36的相向面36f的前进，能够向第一贯通孔30a落下。另外，由于开口60a与相向面36f之间从x方向被罩部50覆盖，因此能够良好地抑制空气的扩散。

另外，如图12的(a)所示，保持台32离开第一贯通孔30a的上方，位于第二贯通孔30b的大致上方、换言之比分离壁94的顶部94p靠后方的第一位置。因此，从一对测定件37放出的元件s不易落入到第二贯通孔30b。

可动件36的相向面36f位于分离壁94的顶部94p的前方，保持台32的载置部保持体46的前表面46a位于分离壁94的顶部94p的后方。因此，即便通过向相向面36f供给空气而使元件s朝下方落下，该元件s在分离壁94、载置部保持体46的作用下也不易落入到比相向面36f靠后方的第二贯通孔30b。

可动件的相向面36f位于分离壁94的前侧倾斜面94f的上方。因此，朝下方落下的元件s能够沿着分离壁94的前侧倾斜面94f、第一贯通孔30a的倾斜的侧面而良好地收容于第一收容部26a。

该状态为第一回收状态，也是第一收容部选择状态。在本实施例中，通过执行LCR测定程序的S8、S9，设为第一回收状态并且设为第一收容部选择状态。

之后，在S10中，使可动件36后退至开始位置。可动件36通过电磁阀装置72的控制后退至使可动件位置传感器118从断开切换为接通。在S11中，通过电磁阀装置69的控制，在气缸64中使空气室64b与空气源68连通，使空气室64a与空气通路60连通。当使保持台32前进且与止动件80接触时，保持台位置传感器120成为接通。保持台32位于一对相向面34f、36f之间(V槽44c位于相向面34f、36f之间的下方)，V槽44c的上方设为空间。因此，能够载置元件s。该状态为初始状态。

与之相对，在测定出的元件s不适当的情况下，在S12中，如图11的(4′)所示，使保持台32前进，直至保持台位置传感器120成为接通，即直至与止动件80抵接。在该状态下，保持台32离开第二贯通孔30b的上方，位于第一贯通孔30a的上方的第二位置。将该状态称为第二收容部选择状态。

接下来，在S13中，如图11的(5′)、图12的(b)所示，使可动件36后退，直至从可动件位置传感器118成为接通起经过了预定的后退时间Tc。换言之，可动件36后退至比开始位置靠后方ΔLc的位置，相向面36f位于保持台32的后方的第二贯通孔30b的上方、即分离壁94的后方。因此，从一对测定件37放出的元件s在空气的作用下大体朝下方落下，经由第二贯通孔30b、第二回收通路28b收容于第二收容部26b。

在这种情况下，保持台32位于第一贯通孔30a的上方，因此能够良好地防止元件s向第一贯通孔30a回收。另外，保持台32的载置部保持体46的下表面46f伸展至比第一贯通孔30a稍靠上方。因此，与相向面36f接触的空气在载置部保持体46、分离壁94的作用下不易朝前方流动。与载置部保持体46、分离壁94接触后的空气朝后方流动，元件s能够被第二收容部28b良好地回收。

该状态为第二回收状态。在本实施例中，在设为第二收容部选择状态之后，设为第二回收状态。

之后，在S14中，使可动件36前进，直至可动件位置传感器118成为接通(开始位置)，设为初始状态。

另一方面，比较测定出的电气特性与JOB信息所包含的电气特性，判定该元件s是否应在之后进行的作业(JOB)中使用，换言之，相对于之后进行的作业是适当还是不适当，将其判断结果显示于显示器116。

在S21中，取得该元件s的电气特性的测定值，在S22中，根据下一JOB的JOB信息而读入对应的信息。在S23中，比较它们，判定是否一致。在一致的情况下判断为元件s适当，在不一致的情况下判断为不适当。在任意情况下，将判定结果显示于显示器116。假设在不一致的情况下，进行更换为适当的带式供料器等作业。

如以上那样，在本实施例中，能够将测定后的元件s作为适当的元件与不适当的元件而分类回收。因此，适当的元件s能够在向电路基板安装等电子元件s的组装中利用。在这种情况下，在供给离子化了的空气的情况下，也能够实现元件s的除电，在再次安装元件s的情况下是有效的。另外，根据不适当的元件s，能够清楚安装有不适当的元件s的原因。

如以上那样，在本实施例中，利用保持台移动装置40、可动件移动装置41等构成相对移动装置。另外，通过控制器102的存储LCR测定程序的S8、S9、S12、S13的部分、执行LCR测定程序的S8、S9、S12、S13的部分、可动件位置传感器118、保持台位置传感器120、计时器124等构成分类回收装置。通过其中的存储S9、S12的部分、执行S9、S12的部分等构成保持台移动控制部，通过存储S8、S13的部分、执行S8、S13的部分等构成可动件位置控制部，通过存储S9、S12的部分、执行S9、S12的部分等构成收容部选择部，通过保持台移动控制部及可动件位置控制部等构成相对位置变更部。另外，能够考虑通过主体部29及基底部30等构成主体，或者通过基底部30等构成主体。另外，保持台32也能够称为防止元件s朝第一贯通孔30a、第二贯通孔30b的任一方进入的挡板。

此外，也能够移动一对测定件的双方，将保持台固定于主体。在该情况下，也能够改变保持台与可动件的相对位置关系，能够将元件s向第一收容部26a与第二收容部26b选择性回收。

另外，在上述实施例中，基于适当与否分类回收元件s，但也能够基于元件s的电气特性的测定值而分类回收。另外，也能够基于适当与否和测定值(例如电阻值)这两方分类回收。

另外，在上述实施例中，空气供给装置与气缸64、70的工作联动而供给空气，但也能够与气缸64、70的工作无关地从空气源68直接向相向面36f供给空气。在该情况下，也能够在达到第一回收状态、第二回收状态的时刻向相向面36f供给空气。

另外，能够从第一贯通孔30a、第二贯通孔30b中的任一方选择性吸引而吸入元件s。

另外，在判断为元件s不适当的情况与判断为适当的情况下，将初始状态设为相同的状态并非不可欠缺，也能够分别从不同状态执行测定程序。能够根据初始状态下的可动件、保持台的位置，适当地决定行程。在该情况下，不需要S14的步骤。

另外，在适当的情况下，也能够将第一回收状态下的可动件的位置设为初始状态下的可动件的位置。在该情况下，不需要S10的步骤。

另外，也能够并行执行S8、S9或者并行执行S10、S11等。

另外，在元件s适当的情况下将其收容于第一收容部26a、在不适当的情况下将其收容于第二收容部26b并非不可欠缺。也能够在适当的情况下将其收容于第二收容部26b，在不适当的情况下将其收容于第一收容部26a。

另外，可动件位置传感器118、保持台位置传感器120并非不可欠缺。例如，也能够通过计时器124的计测来控制电磁阀装置69、72。另外，空气供给装置也并非不可欠缺等，本发明能够在所述实施方式所记载的方案之外，以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更、改进的形态进行实施。

附图标记说明

22：检查装置26：回收箱28：回收通路29：主体部30：基底部30：贯通孔31：紧固部32：保持台34：固定件36：可动件34f、36f：相向面40：保持台移动装置41：可动件移动装置42：LCR测定部44：元件载置部44c：V槽50：罩部84：空气供给装置100：控制装置118：可动件位置传感器120：保持台位置传感器124：计时器

能够申请专利的发明

(1)一种检查装置，设于安装机，所述安装机拾取由元件供给装置供给的元件而向电路基板安装，所述检查装置的特征在于，包括：保持台，能够保持元件；测定部，具备形成为能够彼此接近或离开而夹持或者释放所述元件的一对测定件，通过所述一对测定件来测定所述元件的电气特性；相对移动装置，使所述一对测定件与所述保持台相对移动；及分类回收装置，基于所述测定部对所述元件的所述电气特性的测定结果来控制所述相对移动装置，由此改变所述一对测定件与所述保持台的相对位置，分类回收从所述一对测定件释放的元件。

元件例如能够基于电气特性的测定值而分类回收、或者基于根据测定结果的适当与否的判断而分类回收等。

(2)根据(1)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括主体，该主体具有沿着通过所述相对移动装置使所述保持台与所述一对测定件相对移动的方向彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔。

主体包括第一贯通孔及第二贯通孔的至少两个贯通孔，也能够包括三个以上的贯通孔。

(3)根据(2)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括设于所述主体的所述第一贯通孔与所述第二贯通孔之间的分离壁。

(4)根据(2)项或(3)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括分别收容从所述一对测定件释放的元件的第一收容部及第二收容部、连接所述第一收容部与所述第一贯通孔的第一回收通路及连接所述第二收容部与所述第二贯通孔的第二回收通路。

(5)根据(2)项～(4)项中任一项所述的检查装置，其中，所述第一贯通孔和所述第二贯通孔各自的开口面积分别随着向下方行进而减小。

第一贯通孔、第二贯通孔的侧面为倾斜面。

(6)根据(1)项～(5)项中任一项所述的检查装置，其中，所述相对移动装置包括使所述保持台移动的保持台移动装置，所述相对移动控制装置包括保持台移动控制部，该保持台移动控制部基于所述测定结果来控制所述保持台移动装置，从而改变彼此离开的所述一对测定件与所述保持台的相对位置。

(7)根据(6)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括主体，该主体具有沿着通过所述相对移动装置使所述保持台与所述一对测定件相对移动的方向彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔，所述保持台移动装置使所述保持台在所述主体的所述第一贯通孔及所述第二贯通孔的上方移动，所述保持台移动控制部包括通过控制所述保持台移动装置将所述保持台变更为第一位置和第二位置的第一收容部选择部，所述第一位置离开所述第一贯通孔的上方而位于所述第二贯通孔的上方，所述第二位置离开所述第二贯通孔的上方而位于所述第一贯通孔的上方。

在保持台1的第一位置，能够从第一贯通孔回收元件，在保持台的第二位置，能够从第二贯通孔回收元件。

保持台位于第一贯通孔、第二贯通孔各自的上方是指大体位于上方，不限于保持台的下表面位于覆盖第一贯通孔、第二贯通孔各自的开口面的全部的位置。例如，存在第一贯通孔、第二贯通孔各自的开口面的一部分从保持台的下表面偏离的情况。

(8)根据(1)项～(7)项中任一项所述的检查装置，其中，所述一对测定件包括固定于所述主体的固定件及能够接近或离开所述固定件的可动件，并且所述固定件与所述可动件分别包括能够把持所述元件的相向面，该检查装置包括主体，该主体具有沿着通过所述相对移动装置使所述一对测定件与所述保持台相对移动的方向彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔，所述分类回收装置包括第一相对位置变更部，该第一相对位置变更部基于所述测定结果来控制所述相对移动装置，由此变更为第一回收状态及第二回收状态，所述第一回收状态是所述保持台位于所述第二贯通孔的上方且使所述可动件的所述相向面位于比所述保持台靠所述第一贯通孔侧的状态，所述第二回收状态是所述保持台位于所述第一贯通孔的上方且所述可动件的所述相向面位于比所述保持台靠所述第二贯通孔侧的状态。

(9)根据(6)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括具有彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔的主体及在所述主体的所述第一贯通孔与所述第二贯通孔之间设置的分离壁，所述保持台移动装置使所述保持台在所述主体的所述第一贯通孔、所述第二贯通孔及所述分离壁的上方移动，所述保持台移动控制部包括第二收容部选择部，该第二收容部选择部通过控制所述保持台移动装置，使所述保持台变更为位于所述分离壁的所述第二贯通孔侧的第三位置与位于所述分离壁的所述第一贯通孔侧的第四位置。

第一位置与第三位置可以是相同位置，也可以是不同位置，同样，第二位置与第四位置可以是相同位置，也可以是不同位置。

(10)根据(1)项～(7)项中任一项所述的检查装置，其中，所述一对测定件包括固定于所述主体的固定件及能够接近或离开所述固定件的可动件，并且所述固定件与所述可动件分别包括能够把持所述元件的相向面，该检查装置包括：主体，具有沿着通过所述相对移动装置使所述一对测定件与所述保持台相对移动的方向彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔；及分离壁，设于所述主体的所述第一贯通孔与所述第二贯通孔之间，所述分类回收装置包括第二相对位置变更部，该第二相对位置变更部基于所述测定结果来控制所述相对移动装置，由此变更为第三回收状态及第四回收状态，所述第三回收状态是所述保持台位于比所述分离壁靠第二贯通孔侧且所述可动件的所述相向面位于比所述分离壁靠所述第一贯通孔侧的状态，所述第四回收状态是所述保持台位于比所述分离壁靠所述第一贯通孔侧且所述可动件的所述相向面位于比所述分离壁靠所述第二贯通孔侧的状态。

第一回收状态及第三回收状态、第二回收状态及第四回收状态分别可以是相同状态，也可以是不同状态。

(11)根据(8)项所述的检查装置，其中，所述相对移动装置包括使所述可动件移动的可动件移动装置，所述相对位置变更部包括可动件位置控制部，该可动件位置控制部将所述第二回收状态下的所述可动件的位置设为与所述第一回收状态下的位置不同的位置。

(12)根据(1)项～(11)项中任一项所述的检查装置，其中，所述一对测定件包括固定于所述主体的固定件及能够接近或离开所述固定件的可动件，并且所述固定件与所述可动件分别包括能够把持所述元件的相向面，该检查装置包括在使所述一对测定件离开的情况下向所述可动件的相向面供给空气的空气供给装置。

(13)根据(12)项所述的检查装置，其中，该检查装置包括可动件移动装置，该可动件移动装置具备可动件用工作缸，通过该可动件用工作缸的工作使所述可动件接近或离开所述固定件，所述空气供给装置包括驱动源联动型供给部，该驱动源联动型供给部将伴随着所述可动件离开所述固定件而从所述可动件用工作缸流出的空气向所述可动件的相向面供给。

Claims (8)

1.一种检查装置，设于安装机，所述安装机拾取由元件供给装置供给的元件而向电路基板安装，

所述检查装置的特征在于，包括：

保持台，能够保持元件；

测定部，具备形成为能够彼此接近或离开而夹持或者释放所述元件的一对测定件，通过所述一对测定件来测定所述元件的电气特性；

相对移动装置，使所述一对测定件与所述保持台相对移动；及

分类回收装置，基于所述测定部对所述元件的所述电气特性的测定结果来控制所述相对移动装置，由此改变所述一对测定件与所述保持台的相对位置，分类回收从所述一对测定件释放的元件。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，

该检查装置包括主体，该主体具有沿着通过所述相对移动装置使所述一对测定件与所述保持台相对移动的方向彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，

该检查装置包括设于所述主体的所述第一贯通孔与所述第二贯通孔之间的分离壁。

4.根据权利要求2或3所述的检查装置，其中，

该检查装置包括：(a)分别收容从所述一对测定件释放的元件的第一收容部及第二收容部；(b)连接所述第一收容部与所述第一贯通孔的第一回收通路；及(c)连接所述第二收容部与所述第二贯通孔的第二回收通路，

所述第一贯通孔和所述第二贯通孔各自的开口面积分别随着向下方行进而减小。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的检查装置，其中，

所述相对移动装置包括使所述保持台移动的保持台移动装置，

所述分类回收装置包括保持台移动控制部，该保持台移动控制部基于所述测定结果来控制所述保持台移动装置，从而改变彼此离开的所述一对测定件与所述保持台的相对位置。

6.根据权利要求5所述的检查装置，其中，

该检查装置包括主体，该主体具有彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔，

所述保持台移动装置使所述保持台在所述主体的所述第一贯通孔及所述第二贯通孔的上方移动，

所述保持台移动控制部包括使所述保持台向第一位置和第二位置移动的收容部选择部，所述第一位置离开所述第一贯通孔的上方而位于所述第二贯通孔的上方，所述第二位置离开所述第二贯通孔的上方而位于所述第一贯通孔的上方。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的检查装置，其中，

所述一对测定件包括固定于所述主体的固定件及能够接近或离开所述固定件的可动件，并且所述固定件与所述可动件分别包括能够把持所述元件的相向面，

该检查装置包括主体，该主体具有沿着通过所述保持台移动装置使所述一对测定件与所述保持台相对移动的方向彼此隔开地形成的第一贯通孔及第二贯通孔，

所述分类回收装置包括相对位置变更部，该相对位置变更部基于所述测定结果来控制所述相对移动装置，由此变更为第一回收状态及第二回收状态，所述第一回收状态是所述保持台位于所述第二贯通孔的上方且所述可动件的所述相向面位于比所述保持台靠所述第一贯通孔侧的状态，所述第二回收状态是所述保持台位于所述第一贯通孔的上方且所述可动件的所述相向面位于比所述保持台靠所述第二贯通孔侧的状态。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的检查装置，其中，

所述一对测定件包括固定于所述主体的固定件及能够接近或离开所述固定件的可动件，并且所述固定件与所述可动件分别包括能够把持所述元件的相向面，

该检查装置包括在使所述一对测定件离开的情况下向所述可动件的所述相向面供给空气的空气供给装置。