[go: up one dir, main page]

CN107850818A - 具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机 - Google Patents

具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机 Download PDF

Info

Publication number
CN107850818A
CN107850818A CN201680042123.9A CN201680042123A CN107850818A CN 107850818 A CN107850818 A CN 107850818A CN 201680042123 A CN201680042123 A CN 201680042123A CN 107850818 A CN107850818 A CN 107850818A
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser beam
laser
frequency
deflected
converted
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201680042123.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107850818B (zh
Inventor
C·施托尔岑堡
D·鲍尔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Trumpf Laser GmbH
Original Assignee
Trumpf Laser GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Trumpf Laser GmbH filed Critical Trumpf Laser GmbH
Publication of CN107850818A publication Critical patent/CN107850818A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107850818B publication Critical patent/CN107850818B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/31—Digital deflection, i.e. optical switching
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/29—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the position or the direction of light beams, i.e. deflection
    • G02F1/33—Acousto-optical deflection devices
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/35—Non-linear optics
    • G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
    • B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F2201/00—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00
    • G02F2201/34—Constructional arrangements not provided for in groups G02F1/00 - G02F7/00 reflector

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Lasers (AREA)

Abstract

在一种用于对激光射束(2)进行功率调制的射束调制器(1)的情况下，所述射束调制器具有布置在入射的所述激光射束(2)的射束路径中的可操控的偏转装置(3)，所述偏转装置具有两个操控状态，其中，入射的所述激光射束(2)不同程度(α1，α2)地偏转，根据本发明设置，在不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)的射束路径中布置有至少一个非线性晶体(5)，所述非线性晶体对所述不同程度偏转的两个激光射束中的一个以较高的效率进行频率转换，对另一个以较低的效率进行频率转换，并且在以较高的效率进行频率转换的以及以较低效率进行频率转换的所述激光射束(6a，6b)的射束路径中布置有分离器(7)，所述分离器使所述激光射束(6a，6b)的经频率转换的部分以及未经频率转换的部分在空间上彼此分离，其中，空间上分离的两个激光射束(9a，9b，9c)中的一个形成功率调制的输出激光射束。

Description

具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机
技术领域
本发明涉及一种用于对激光射束进行功率调制的射束调制器、一种所属的激光加工机以及一种用于对激光射束进行功率调制的方法，该射束调制器具有布置在入射的激光射束的射束路径中的、可操控的偏转装置，该偏转装置具有两个操控状态，其中，入射的激光射束不同程度地偏转。换句话说，偏转装置具有第一操控状态和第二操控状态，在该第一操控状态中，入射的激光射束以第一角度偏转，在该第二操控状态中，入射的激光射束以不同的第二角度偏转。
背景技术
在激光器、尤其脉冲激光器的情况下，对于许多应用来说，需要对激光射束的输出功率进行高度动态的调制。这种功率调制可以借助快速偏转单元来实现，该快速偏转单元例如可以由声光调制器(AOM)或电光探测器形成。然而，为了可以将未经调制的和经调制的激光射束彼此分离，需要大的偏转角或大的结构空间，这显著限制射束调制器的设计。
发明内容
因此，本发明基于以下任务：以下进一步研究开始提及的类型的射束调制器，使得可以使用具有较小的偏转角的偏转装置。
根据本发明，通过以下方式来解决该任务：在不同程度偏转的两个激光射束的射束路径中布置有至少一个非线性晶体，所述非线性晶体对不同程度偏转的两个激光射束中的一个以较高的效率进行频率转换并且对另一激光射束以较低的效率进行频率转换，并且在以较高的效率进行频率转换的激光射束的射束路径中以及以较低的效率进行频率转换的激光射束的射束路径中布置有分离器，该分离器在空间上分离激光射束的经频率转换的部分以及未经频率转换的部分，其中，空间上分离的两个激光射束中的一个形成功率调制的输出激光射束。
在电操控的偏转装置的情况下，例如可以通过以下方式实现偏转装置的两个操控状态：
-施加以及不施加电操控信号；
-施加具有不同功率的操控信号；
-施加具有不同幅度的操控信号；
-施加具有不同频率的操控信号；
-施加具有不同功率和不同频率的操控信号。
根据本发明，与后面的频率转换相结合，可以放弃大的偏转角。不同程度偏转的两个激光射束中的一个的偏转角仅必须足够大，以便离开非线性晶体的对于频率转换所需的角度接受范围(Winkelakzeptanzbereich)，并且因此不被频率转换或以显著降低地效率被频率转换。理想地，使偏转角以及影响晶体的角度接受范围的晶体长度如此彼此匹配，使得在两个偏转状态中的一个中发生最大频率转换并且在另一个中发生最小频率转换或不发生频率转换。
然后，借助分离器来实现经调制的与未经调制的辐射的分离或经频率转换的与未经频率转换的辐射的分离。本发明可以实现高效的功率调制以及由于小的偏转角而可以实现较低的结构空间。适合频率转换的材料例如是铌酸锂、磷酸二氢钾、β-硼酸钡或三硼酸锂。
优选地，不同程度偏转的两个激光射束分别照射到至少一个非线性晶体上，使得在两个操控状态中，总是相同的激光功率照射到非线性晶体上，因此，该非线性晶体在两个操控状态中都受到尽可能相同的加热。
在特别优选的实施方式中，在偏转装置的两个操控状态中的一个中，入射的激光射束由偏转装置以0°的角度偏转，也就是说，入射的激光射束仅在另一操控状态中偏转。
特别优选地，不同程度偏转的两个激光射束中的一个在至少一个非线性晶体的对于频率转换所需的接受角度范围(Akzeptanzwinkelbereich)内照射到非线性晶体上，而另一激光射束在接受角度范围以外照射到非线性晶体上。
优选地，在不同程度偏转的两个激光射束的射束路径中布置有非线性的倍频晶体(SHG(二次谐波产生)晶体)或至少两个非线性晶体的组合，该倍频晶体用于产生具有双倍频率的激光射束，所述至少两个非线性晶体的组合用于使频率变为三倍(THG(三次谐波产生))或更高倍。
优选地，偏转装置构造为电操控的声光调制器，该偏转装置例如仅在其两个操控状态中的一个中使入射的激光射束偏转。可以使用具有小偏转角的成本有利的声光调制器。作为声光调制器，大多使用LiNbO3晶体或PbMoO4晶体、玻璃或石英。
优选地，分离器构造为二向色镜，该二向色镜使激光射束的经频率转换的和未经频率转换的部分在空间上彼此分离。替代二向色镜，也可以使用镜或其他分束器或其他装置。
输出激光射束要么可以由未经频率转换的激光射束形成，要么可以由经频率转换的激光射束形成，其中，在后者的情况下，在声光调制器故障的情况下不产生功率调制的输出激光射束。可以通过输入功率分配到两个偏转状态上的关系来调节输出射束的功率部分。控制单元将相应的操控信号提供给偏转单元。替代地，也可以通过输入功率的调制来实现输出功率。然而在许多应用中有利的是，保持输入功率恒定并且在在此描述的装置中对功率进行调制。
优选地，射束调制器具有探测器和调节单元，该探测器探测空间上分离的激光射束的至少一个的功率，调节单元根据所探测的激光功率来操控偏转单元。
本发明还涉及一种用于加工工件的所属的激光加工机，该激光加工机具有：用于产生激光射束的激光射束产生器、根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器以及对射束调制器的偏转装置尤其电地进行操控的机器控制装置。
在另一方面中，本发明还涉及一种用于对激光射束进行功率调制的方法，其中，使入射的激光射束选择性地在两个不同角度下偏转，其中，以不同的效率对不同程度偏转的两个激光射束进行频率转换，其中，使激光射束的经频率转换的部分以及未经频率转换的部分在空间上彼此分离，其中，空间上分离的两个激光射束中的一个形成功率调制的输出激光射束。
优选地，探测空间上分离的激光射束中的至少一个的功率，并且根据所探测的激光功率控制入射的激光射束的偏转。
附图说明
本发明的主题的其他优点和有利构型从说明书中、权利要求中以及附图中得出。上面提到的以及更详细列举的特征也可以单独使用或以多个任意组合的形式使用。所示的和所描述的实施方式不应理解为穷尽的枚举，而应理解为具有用于描述本发明的多个示例性特征。
附图示出：
图1示出根据本发明的具有用于使激光辐射的频率加倍的SHG晶体的射束调制器；
图2示出根据本发明的具有用于使激光辐射的频率变成三倍的两个非线性晶体的射束调制器；
图3示出根据本发明的具有功率调节装置的射束调制器；
图4示出具有根据本发明的射束调制器的激光加工机。
在以下附图描述中，对于相同或功能相同的构件使用相同的附图标记。
具体实施方式
图1和图2中示出的射束调制器1用于对激光射束2进行高动态的功率调制。
射束调制器1分别具有布置在入射的激光射束2的射束路径中的、例如可电操控的偏转装置3，该偏转装置在非电操控的第一状态中不对入射的激光射束2进行偏转(具有α1＝0°的偏转角的未经偏转的激光射束4a)，在电操控的第二状态中对入射的激光射束进行偏转(具有α2>0°的偏转角的经偏转的激光射束4b)。偏转装置3例如是可电操控的声光调制器。
在两个激光射束4a、4b的射束路径中布置有非线性的SHG晶体5。未经偏转的激光射束4a在SHG晶体5的对于SHG频率转换所需的SHG角度接受范围内(在示出的实施例中以直角)照射到SHG晶体5上，并且因此至少部分地转换为双倍的频率(经频率转换的激光射束6a，未经频率转换的射束6c)。相反地，经偏转的激光射束4b在SHG角度接受范围以外照射到SHG晶体5上，并且因此不(或低效率地)被频率转换(未经频率转换的激光射束6b)。
在经频率转换的部分以及未经频率转换的激光射束6a、6b、6c的射束路径中布置有呈波长相关的分束器7形式的分离器、例如二向色镜，该分束器对经频率转换的激光射束6a的波长是反射性的，并且对于未经频率转换的激光射束6b、6c的波长是透射性的。例如在45°的角度下布置在射束路径中的分束器7对未经频率转换的激光射束6b、6c进行透射(经透射的激光射束9b、9c)并且使经频率转换的激光射束6a偏转90°(经偏转的激光射束9a)。将激光射束9a或9b/9c中的一个作为射束调制器1的功率调制的输出激光射束使用，相反地，可以将未使用的其他激光射束偏转到(未示出的)射束阱(Strahlfalle)中。
在两个操控状态中，由控制单元10将不同的电控制信号施加在偏转装置3上，以便使入射的激光射束2不同程度地偏转。通过偏转装置3的两个操控状态之间的电切换(在此是电控制信号的二进制的接通和断开)可以相应地对输出激光射束进行功率调制或调节所述两个状态的关系。附加地，通过控制单元10可以调节：如何将入射的激光射束2的功率分配到未经偏转的激光射束以及经偏转的激光射束4a、4b上。
因为不同程度偏转的两个激光射束4a、4b分别照射到非线性晶体5上，所以在两个操控状态中始终以相同的激光功率照射到非线性晶体5上，因此，该非线性晶体在两个操控状态中受到尽可能相同的加热。
替代波长相关的分束器7，也可以使用另一种分离器(即例如镜或分束器)来对两个输出激光射束9a、9b在空间上进行分离。
与图1的射束调制器相比，图2中示出的射束调制器1的不同之处仅在于，在此使用两个非线性晶体5、5′的组合来使频率变为三倍。第一晶体5是SHG晶体并且至少部分地产生二次谐波、即倍频。在第二晶体5′中，则由基频(激光射束6c)和二次谐波(激光射束6a)在和频过程(Summenfrequenzprozess)中至少部分地产生三次谐波、即三倍频。未经偏转的激光射束4a分别在对于两个频率转换所需的角度接受范围内照射到两个晶体5、5′上，因此至少部分地转换为三倍频率。这种转换为三倍频率的激光射束以6d表示。相反地，经偏转的激光射束4b在角度接受范围以外照射到两个晶体5、5′中的至少一个上，由此，没有功率或显著减少的功率被频率转换。分束器7仅将转换为三倍频率的激光射束6d偏转90°(经偏转的激光射束9a)，并且使其他激光射束6a、6b、6c透射(经透射的激光射束9b、9c)。
因为激光射束6a-6c都分别照射到第二晶体5′上，所以在两个操控状态中始终以相同的激光功率照射到第二晶体5′上，因此，该第二晶体在两个操控状态中受到尽可能相同的加热。
替代示出的两个依次布置的晶体5、5′，三个或更多的晶体也可以依次布置。然而，替代使波长变为三倍，其他转换方案也是可能的，例如两个依次布置的SHG晶体用于使频率变为四倍。
经偏转的激光射束4b的偏转角例如可以与非线性晶体5、5′的正弦函数的第一最小值相匹配。
在图1和图2中，对未经偏转的激光射束4a进行频率转换，并且由于基本波长的整个激光功率都可供使用，因此在调制的情况下不产生功率损耗。
替代如在图1和图2中那样对未经偏转的激光射束4a进行转换，非线性晶体5、5′也可以如此布置，使得经偏转的激光射束4b在晶体5、5′的角度接受范围内照射到晶体5、5′上，并且因此被频率转换。相反地，未经偏转的激光射束4a在晶体5、5′的角度接受范围以外照射到晶体5、5′上，并且因此不被频率转换。即使在这种情况下，也借助分束器7使经频率转换的和未经频率转换的激光射束在空间上彼此分离。在这种情况下，对经偏转的激光射束4b进行频率转换，因此，在声光调制器3故障的情况下没有功率被转换。
与图1中的射束调制器相比，图3中示出的射束调制器1的不同之处仅在于，在此通过部分反射的镜11将输出激光射束9a的一部分偏转到探测器/测量接收器12上并且在调节单元(例如机器控制装置)13中与功率期望值进行比较，相应地，由调节单元13操控/调节偏转单元3或其控制单元10。因此，可以调节到恒定的功率或预给定的功率。替代地，也可以测量未使用的激光射束9b、9c，由此计算出输出激光射束9a的功率并且将其与期望值进行比较。然而，在此可能不会考虑或补偿例如由退化/损坏/温度/未校准而引起的非线性晶体的转换效率的变化。
图4示意性地示出激光加工机20，其具有用于产生激光射束2的激光射束产生器21、射束调制器1以及对偏转装置3或其控制单元10电地进行操控的机器控制装置22。借助输出激光射束9a可以以激光功率的期望的调制来加工工件23。

Claims (15)

1.一种用于对激光射束(2)进行功率调制的射束调制器(1)，所述射束调制器具有布置在入射的激光射束(2)的射束路径中的、可操控的偏转装置(3)，所述偏转装置具有两个操控状态，其中，所述入射的激光射束(2)不同程度地(α1，α2)偏转，
其特征在于，
在不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)的射束路径中布置有至少一个非线性晶体(5；5′)，所述非线性晶体对不同程度偏转的两个激光射束中的一个以较高的效率进行频率转换并且对另一激光射束以较低的效率进行频率转换，并且在以较高的效率进行频率转换的激光射束以及以较低的效率进行频率转换的激光射束(6a，6b)的射束路径中布置有分离器(7)，所述分离器在空间上分离所述激光射束(6a，6b)的经频率转换的部分以及未经频率转换的部分，其中，空间上分离的两个激光射束(9a，9b，9c)中的一个形成功率调制的输出激光射束。
2.根据权利要求1所述的射束调制器，其特征在于，在所述偏转装置(3)的两个操控状态中的一个中，所述入射的激光射束(2)由所述偏转装置(3)以0°的角度(α1)偏转。
3.根据权利要求1或2所述的射束调制器，其特征在于，所述不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)分别照射到所述至少一个非线性晶体(5；5′)上。
4.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述不同程度偏转的两个激光射束中的一个(4a)在所述至少一个非线性晶体(5；5′)的对于频率转换所需的接受角度范围内照射到所述非线性晶体(5；5′)上，所述另一激光射束(4b)在所述接受角度范围以外照射到所述非线性晶体(5；5′)上。
5.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，在所述不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)的射束路径中布置有非线性的倍频晶体(5)或用于使频率变为多倍的至少两个非线性晶体(5，5′)的组合。
6.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述偏转装置(3)构造为电操控的声光调制器。
7.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述分离器(7)构造为二向色镜。
8.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述输出激光射束由经频率转换的激光射束(9a)形成。
9.根据权利要求1至7中任一项所述的射束调制器，其特征在于，所述输出激光射束由未经频率转换的激光射束(9b，9c)形成。
10.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于对所述偏转装置(3)尤其电地进行操控的控制单元(10)。
11.根据权利要求10所述的射束调制器，其特征在于，所述控制单元(10)如此操控所述偏转装置(3)，使得所述入射的激光射束(2)以可调节的功率关系分配到经偏转的射束和未经偏转的射束(4a，4b)上。
12.根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器，其特征在于探测器(12)以及调节单元(13)，所述探测器探测空间上分离的激光射束(9a，9b，9c)中的至少一个的功率，所述调节单元根据所探测的激光功率来操控所述偏转单元(3)。
13.一种用于加工工件(23)的激光加工机(20)，所述激光加工机具有用于产生激光射束(2)的激光射束产生器(21)、根据上述权利要求中任一项所述的射束调制器(1)、对所述射束调制器(1)的偏转装置(3)尤其电地进行操控的机器控制装置(13，22)。
14.一种用于对激光射束(2)进行功率调制的方法，其中，选择性地在两个不同角度(α1，α2)下偏转入射的激光射束(2)，其中，以不同的效率对不同程度偏转的两个激光射束(4a，4b)进行频率转换，其中，使激光射束(6a，6b)的经频率转换的部分和未经频率转换的部分在空间上彼此分离，其中，在空间上分离的两个激光射束(9a，9b，9c)中的一个形成功率调制的输出激光射束。
15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，探测空间上分离的激光射束(9a，9b，9c)中的至少一个的功率，并且根据所探测的激光功率控制所述入射的激光射束(2)的偏转。
CN201680042123.9A 2015-07-17 2016-07-11 具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机 Active CN107850818B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102015213468.7 2015-07-17
DE102015213468.7A DE102015213468A1 (de) 2015-07-17 2015-07-17 Strahlmodulator mit Frequenzkonversion sowie zugehöriges Verfahren und Laserbearbeitungsmaschine
PCT/EP2016/066401 WO2017012898A1 (de) 2015-07-17 2016-07-11 Strahlmodulator mit frequenzkonversion sowie zugehöriges verfahren und laserbearbeitungsmaschine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107850818A true CN107850818A (zh) 2018-03-27
CN107850818B CN107850818B (zh) 2021-11-02

Family

ID=56550851

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201680042123.9A Active CN107850818B (zh) 2015-07-17 2016-07-11 具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机

Country Status (4)

Country Link
KR (1) KR102556710B1 (zh)
CN (1) CN107850818B (zh)
DE (2) DE102015213468A1 (zh)
WO (1) WO2017012898A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115812017A (zh) * 2020-07-15 2023-03-17 浜松光子学株式会社 激光加工装置和激光加工方法

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3928388B1 (en) 2019-02-21 2025-10-22 Electro Scientific Industries, Inc. Phased-array beam steering for materials processing
US11378863B1 (en) * 2021-04-15 2022-07-05 Coherent Kaiserslautern GmbH Nonlinear frequency conversion with variable average power and stable heat load

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5909306A (en) * 1996-02-23 1999-06-01 President And Fellows Of Harvard College Solid-state spectrally-pure linearly-polarized pulsed fiber amplifier laser system useful for ultraviolet radiation generation
CN101035647A (zh) * 2004-06-07 2007-09-12 电子科学工业公司 用于提高激光系统性能的声光调制器调制技术
US20110075688A1 (en) * 2007-08-29 2011-03-31 National Tsing Hua University Electro-optic bragg deflector and method of using it as laser q-switch in an actively q-switched laser and an actively q-switched wavelength-conversion laser
EP2626742A1 (en) * 2012-02-08 2013-08-14 Advantest Corporation Wavelength converting apparatus, light source apparatus and wavelength converting method
WO2014012847A1 (de) * 2012-07-19 2014-01-23 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Laseroszillator und verfahren zum erzeugen zweier laserstrahlen unterschiedlicher wellenlängen

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6129884A (en) * 1999-02-08 2000-10-10 3D Systems, Inc. Stereolithographic method and apparatus with enhanced control of prescribed stimulation production and application
US6961355B1 (en) * 2003-01-09 2005-11-01 Photonics Industries, Int'l. Variable power pulsed secondary beam laser
US7483196B2 (en) * 2003-09-23 2009-01-27 Applied Materials, Inc. Apparatus for multiple beam deflection and intensity stabilization
WO2005121889A2 (en) * 2004-06-07 2005-12-22 Electro Scientific Industries, Inc. Aom modulation techniques for improving laser system performance

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5909306A (en) * 1996-02-23 1999-06-01 President And Fellows Of Harvard College Solid-state spectrally-pure linearly-polarized pulsed fiber amplifier laser system useful for ultraviolet radiation generation
CN101035647A (zh) * 2004-06-07 2007-09-12 电子科学工业公司 用于提高激光系统性能的声光调制器调制技术
US20110075688A1 (en) * 2007-08-29 2011-03-31 National Tsing Hua University Electro-optic bragg deflector and method of using it as laser q-switch in an actively q-switched laser and an actively q-switched wavelength-conversion laser
EP2626742A1 (en) * 2012-02-08 2013-08-14 Advantest Corporation Wavelength converting apparatus, light source apparatus and wavelength converting method
WO2014012847A1 (de) * 2012-07-19 2014-01-23 Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg Laseroszillator und verfahren zum erzeugen zweier laserstrahlen unterschiedlicher wellenlängen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115812017A (zh) * 2020-07-15 2023-03-17 浜松光子学株式会社 激光加工装置和激光加工方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE112016003216A5 (de) 2018-04-19
KR20180030539A (ko) 2018-03-23
DE102015213468A1 (de) 2017-01-19
CN107850818B (zh) 2021-11-02
KR102556710B1 (ko) 2023-07-17
WO2017012898A1 (de) 2017-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8243764B2 (en) Frequency conversion of a laser beam using a partially phase-mismatched nonlinear crystal
JP2020074033A (ja) 複数の出力ビームを備える音響光学デフレクタ
US10378964B2 (en) Pulsed light waveform measurement method and waveform measurement device
JP2021524060A (ja) レーザビームの方法及びシステム
JP2014530493A (ja) 制御可能多波長ファイバ・レーザ光源
CN107850818A (zh) 具有频率转换的射束调制器以及所属方法和激光加工机
US20170023843A1 (en) Apparatus for beam-dividing using acousto-optic modulators
US20100150185A1 (en) Multi-variable control methods for optical packages
WO2016039815A1 (en) Nonlinear spectrally narrowed fiber amplifier
WO2014021370A1 (ja) レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置
US11796889B2 (en) Frequency conversion arrangement for optimising properties of a harmonic of a laser
KR20230168206A (ko) 가변 평균 파워 및 안정적인 열 부하를 가진 비선형 주파수 변환
JP5483084B2 (ja) レーザ加工装置
JP2013156448A (ja) レーザ装置、露光装置及び検査装置
JP6016124B2 (ja) パルスレーザ装置、露光装置および検査装置
KR102657136B1 (ko) 고속 변조 디바이스를 포함하며 n－파 혼합에 의해 광 펄스들을 생성하거나 증폭하기 위한 비선형 광학 시스템
KR102798442B1 (ko) 음향 광학 장치의 열 안정화
JP2015180903A (ja) レーザ装置、該レーザ装置を備えた露光装置及び検査装置
JP2011053314A (ja) 光源装置
EP3414623B1 (en) Optical frequency mixing module
CN111146679A (zh) 一种激光和频装置
CN111045272A (zh) 一种共线圆偏振长波双色场产生太赫兹波的装置及方法
KR102914285B1 (ko) 음향 광학 장치의 열 안정화
US11888282B2 (en) Laser driving device and method for enabling uniform light field
JP2015180902A (ja) レーザ装置、このレーザ装置を備えた露光装置及び検査装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant