CN107567558B - 转换阀 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于打开和关闭纯净气室的开口、尤其闸门的转换阀(80)，其中，开口在闭合位置中通过转换阀的闭锁元件(30)封闭且在打开的位置中被释放。对此规定，至少一个第一致动器和第二致动器间接地或直接地与闭锁元件连接，并且第一致动器联接在闭锁元件上，使得第一致动器抬起闭锁元件以打开开口和/或将闭锁元件安置到开口上以进行闭合，第二致动器联接在闭锁元件上，第二致动器使得闭锁元件横向于开口移动。转换阀实现了在空间需求很小的情况下打开和闭合纯净气室的开口。

Description

转换阀

技术领域

本发明涉及一种用于使纯净气室的开口、尤其闸门打开和闭合的转换阀，其中，开口在闭合位置中通过转换阀的闭锁元件封闭且在打开的位置中被释放。

背景技术

在生产以及研究开发中的许多制造工艺和工序不能在普通的环境条件下进行，而是需要特殊的气氛。这种制造工艺可能是例如在半导体制造中的镀层过程、在LCD或OLED制造中的封装步骤或例如在医学和制药技术中的高纯度原材料制造工艺。这些工艺例如会要求净化室条件、低湿度、惰性气氛或不同的这种条件和其他条件的组合。

已知在封闭的空间中进行这些制造工艺或工序，在该封闭的空间中根据所需的条件可设定气氛。封闭的空间具有闸门，通过闸门将所需的材料引入封闭的空间中并且能够将产品取出。对此，闸门可向外定向或闸门可连接两个封闭的空间，必须在两个封闭的空间之间交换材料或产品。

已知在罩设计中的纯净气室(例如惰性气体壳体)。罩与底板形成环绕的空间，在环绕的空间中可设定所需的气氛。预安装的罩从上方安置到底板上并且密封。所需的穿引部、闸门、前置的腔室和所需的其他机组和组件优选已经安装在罩上并且经过测试。因此，纯净气室可快速地搭建在预先设定的工作或生产场地上。罩设计的装配件提供了如下可行性方案，能够在封闭的空间中运行任意设备或设备部件，能够根据要求设定该封闭的空间的气氛。为此根据相应的设备调节罩的大小。如此敷设用于构造纯净气室的材料，使得该材料没有例如通过杂质或气体析出改变在纯净气室内部的气氛。此外围墙设计成，使得在纯净气室的内部空间和环境之间没有气体交换。已知纯净气室由不锈钢或铝构成。

能够将材料引入纯净气室或从中排出的开口可通过转换阀闭合或打开。对此，闸门可布置在两个纯净气室之间，或者是纯净气室向外的连接部。闸门也可用作纯净气室与真空腔室、另一闸门或其他的工艺机械的连接部。已知的转换阀具有密封的门，其为了打开而围绕相应的铰链摆入纯净气室的内部空间。这可手动地或优选借助致动器来进行。在这种情况下不利的是，在纯净气室的内部空间中的大的空间需求，该空间必须保持空置，从而转换阀的门可打开。另一缺点由已知的门和转换阀的结构形式造成。它们优选由金属、例如由不锈钢或铝制成。用这些金属能够提供具有高度机械稳定性的、相对于纯净气室的内部空间中的气氛为惰性的、气密的门。在此不利的是，由此制成的门和转换阀的重量大，该重量加上大多同样由金属、尤其铝或不锈钢制成的纯净气室的重量并因此导致纯净气室的搭建位置的单位面积负荷很高并且具有由此引起的对建筑物的负荷要求很高。此外，纯净气室的大的重量提高了其安装和服务方面的费用，因为必须使用具有相应承载能力的起重机或升降装置。

发明内容

因此，本发明的目的是提供用于纯净气室的可气密地闭合的转换阀，该转换阀具有很小的用于打开的空间需求以及很小的自重。

本发明的目的通过以下方式实现，即，至少一个第一致动器和第二致动器间接地或直接地与闭锁元件连接，并且第一致动器联接在闭锁元件上，使得第一致动器抬起闭锁元件以打开开口和/或使闭锁元件安置到开口上以进行闭合，第二致动器联接在闭锁元件上，第二致动器使得闭锁元件横向于开口移动。对此，第二致动器优选可布置成，第二致动器使得闭锁元件至少大致垂直于第一致动器的运动方向移动。通过第二致动器引起的移动例如可相对于开口水平地、竖直地或正交地进行。通过结合升降运动和滑移运动可节省空间地打开转换阀。在纯净气室的内部空间中无需保留空间，以便为了打开门能够使门摆入该空间中。由此在纯净气室中有明显更大的工作面积可用。可替代地，纯净气室可在相应设备占用面积相同的情况下实施得更小。由此能够明显降低纯净气室的气体需求以及运行成本。通过单独实施的升降运动，闭锁元件均匀地压到开口上。由此能够可靠地实现开口的气密的封闭。

可通过以下方式简单地、轻松地且成本有利地实施第一致动器，即，至少一个弹簧间接地或直接地联接到闭锁元件上，并且弹簧将闭锁元件压入或拉入闭合位置中。由此，第一致动器使得闭锁元件克服弹簧力进行提升运动，而在第一致动器不再受操控之后，弹簧再次朝相反方向推移闭锁元件。由此第一致动器仅需朝一个方向作用。第一致动器可相应简单地实施，例如通过低压、通过压缩空气或通过液压液驱动。第一致动器也可实施成电驱动、磁驱动或机械驱动。对此使用低压的优点是，不会无意地将杂质，例如空气或液压液引入纯净气室。优选地，至少一个弹簧设计成，其将闭锁元件压入或拉入闭合位置中。由此在受到干扰时、例如在用于操控第一致动器的能量失效时使转换阀始终运动到闭合的且可靠的位置中并且保持在该位置中。在可替代的实施方式中，第一致动器可沿两个方向，即反向于弹簧力和随着弹簧力起作用。由此额外地实现了借助第一致动器辅助朝向起作用的弹簧力的方向的闭合过程。

通过环绕着开口布置密封件且使闭锁元件在闭合位置中贴靠在密封件上，能够实现转换阀的简单且成本有利的密封。

闭锁元件的可单独操控的且实施的运动、即升降运动和滑移运动可通过以下方式实现，即，第一致动器和闭锁元件布置在滑移组件上，并且第二致动器横向于开口调节滑移组件与布置在其上的第一致动器和布置在其上的闭锁元件。获得了简单而机械稳定的构造方式、优选具有直线致动器。为了闭合开口，第二致动器通过移动滑移组件将闭锁元件带入与开口相对的位置中，然后第一致动器通过闭锁元件的升降运动闭合开口。为了释放开口，第一致动器将闭锁元件从开口上提起。然后第二致动器横向于开口移动滑移装置和闭锁元件。

如果设置成滑移组件可直线运动地支承在至少一个引导轨道上且通过第二致动器可沿着引导轨道调节滑移组件，可确保对滑移组件的可靠支承。由此也能够拦截通过挤压闭锁元件而引入的横向力，由此实现了对开口可靠且气密的封闭。在引导轨道的位置上或除此之外，也可设置推板以便拦截横向力。

根据本发明的一个优选的实施方式可规定，第二致动器至少由引导管和可在引导管上直线运动地支承的滑块构成，在引导管中布置可直线运动的磁体，且磁体与滑块磁性联接。对此，引导管可具有圆形、四边形、任意其他的横截面。优选地，引导管形成闭合的圆柱体，在圆柱体的内部空间中布置可运动地支承的活塞。活塞将圆柱体分成两个圆柱形腔室。为每个圆柱形腔室分配压缩空气连接端。借助压缩空气，活塞能够在缸中沿着引导管的纵向长度运动。在活塞上固定有磁体或活塞本身实施成磁性的，从而实现与滑块的磁性联接。通过以磁方式传递力能可靠地避免将杂质，例如润滑剂、液压油或压缩空气引入纯净气室。滑块优选与滑移组件连接。通过调节在引导管中可直线运动的磁体，滑块以及滑移组件能够移入其期望的位置中。活塞和/或磁体也可通过电主轴驱动、通过空气弹簧、通过具有配重的绳索或通过具有活塞杆的气动缸来驱动。

根据本发明的另一优选的实施方式可规定，为转换阀分配具有连接板的连接元件，使得开口构造成在连接板中的缺口，且第一致动器和/或引导轨道间接地或直接地固定在连接元件上。转换阀由此形成组件，该组件可作为整体安装在纯净气室的侧壁中的缺口之中或之上。为此，连接板与侧壁连接。通过预安装转换阀可明显降低纯净气室的安装时间。可设置标准化的转换阀，其可应用在不同类型和实施方式的纯净气室中。

转换阀以及整个纯净气室的重量可通过以下方式得以降低，即，闭锁元件和/或连接板和/或滑移组件至少部分地由结构型芯板、尤其由蜂窝式铝质型芯板构成。相比于实施成实心的具有可比性的机械负荷能力的构件，由结构型芯板构成的构件具有明显更小的重量。通过构造具有两个间隔布置的盖板的结构型芯板获得了结构元件的非常高的抗弯曲性，盖板通过结构型芯彼此连接。由此例如使得由结构型芯板制成的闭锁元件在压到开口上时没有或仅非常小地弯曲。这实现了沿着整个密封件长度气密地封闭开口。结构型芯板基于布置在两侧的盖板根据使用盖板的渗透特性在其面法线的方向上是气密的。该结构型芯可有利地实施成，使得气体在结构型芯板之内不会横向于其面法线流动。由此确保没有气体例如通过结构型芯板的棱边或通过错开地引入盖板中的缺口、通过闭锁元件或连接板而进入纯净气室。优选地，可使用蜂窝式铝质型芯板作为结构型芯板。

根据本发明可规定，为滑移组件分配可运动地支承的载体，使得载体具有至少一个窄条和以一个角度与窄条连接的连接条，并且闭锁元件与窄条或连接条连接。在将闭锁元件压到开口上时载体由于其成型没有或仅微小地弯曲，从而确保可靠的密封。为了减小重量，载体优选可由结构型芯板制成。

根据本发明的一个特别优选的变型方案可规定，闭锁元件和滑移组件的质量一共具有小于80kg的质量；和/或闭锁元件遮盖开口的面积在0.2m²至10m²之间、优选0.2m²至5m²之间的范围中。通过使用结构型芯板可实现相对很小的质量。小的质量获得若干优点。由此闭锁元件和滑移组件的固定件可实施成受到更小的负荷且成本更有利。通过所述优点减小了纯净气室的整体质量。对于打开和闭合过程仅需使相对小的质量运动，从而能够更快地且以更小的力消耗来运动。通过调节开口的面积，纯净气室能够用于不同的应用。因此例如遮盖的10m²的开口实现了飞机涡轮机的引入，例如用于进行焊接工作。而遮盖的5m²的开口匹配于目前在显示器制造中的规格。

附图说明

下面根据在附图中示出的实施例详细阐述本发明。

其中：

图1示出了纯净气室的透视外视图；

图2示出了纯净气室的转换阀的连接元件的外视图；

图3示出在图2中所示的转换阀的透视后视图；

图4示出了转换阀的局部的透视剖面图和分解图；

图5示出了具有闭合单元的在图4中所示示意图的放大的局部；以及

图6示出了转换阀的侧向剖视图。

具体实施方式

图1以透视的外视图示出了纯净气室10。

纯净气室10具有多边形的平面形状。在所示实施例中，平面形状为六边形。在相应六边形的底部11上搭建多个侧壁12。向上，纯净气室10通过纯净气室罩盖15遮盖，该纯净气室罩盖通过栏杆16围住。

在纯净气室10的侧面固定有呈矩形通道形式的两个循环管路14.1、14.2。循环管路14.1、14.2经由输入部和提取部位与纯净气室10的内部空间连接。为此，在侧壁12中设置相应地缺口。

在前侧壁12.1中引入凹口13，凹口被转换阀80封闭，转换阀在图2中详细示出。开口23是转换阀80的组成部分。

纯净气室10是相对于其周围环境密封的壳体。在纯净气室10之内可布置制造设备或实验室装置等。此外，在纯净气室10中可设定为预先规定的气氛。为此，在纯净气室10的内部空间中有确定的气体或具有预先规定组分的气体混合物。气体或气体混合物可为惰性气体。此外，可设定气体或气体混合物的湿度。作为附加要求可预先规定纯净气室10所需的净室等级。这些要求不仅可单独实现也可结合实现。额外地，可设定另外的气氛参数，例如温度。根据本发明的纯净气理解为符合所提出要求的气氛。

视所需气氛而定，纯净气室10配设有相应的用于提供或产生该气氛的机组。在该实施方式中，纯净气室10具有两个循环管路14.1、14.2。通过循环管路，在提取部位处将气体从纯净气室10排出并且经由输入部再次输送给纯净气室10。在此将气体输送给气体处理单元。气体处理单元与纯净气室10的内部空间连接。气体处理包括设定纯净气室10的内部空间所需的气氛。

在所示实施例中，侧壁12由结构型芯板构成。对此，侧壁12可实施成蜂窝式型芯板、优选为蜂窝式铝质型芯板。结构型芯板具有多层的结构。对此，至少两个间隔的盖板面式地与结构型芯连接。在该变型方案中盖板和结构型芯由铝制成。结构型芯实施成蜂窝式型芯。以这种方式制造具有高抗弯强度并且同时重量低的板。因此，纯净气室10具有比用实心的铝或不锈钢壁制造的纯净气室明显更轻的重量。由此明显降低了地面负荷，该地面负荷由构造的设备零件和纯净气室的重量造成。因此，纯净气室也可安装在地面负荷能力较低的建筑中。此外，较低重量使得纯净气室能够更简单地搭建在其安装位置处，因为为此无需升降装置或仅需负荷能力较小的升降装置。

为了进一步降低纯净气室10的重量，也可由结构型芯板、在该实施例中由蜂窝式铝质型芯板构成纯净气室罩盖15的罩盖板以及底部11。

在可替代的实施方式中，纯净气室的侧壁12、纯净气室罩盖15和底部11也可由实心材料、例如由铝或不锈钢制成。

纯净气室10使得能够实施要求特殊气氛的制造过程或工序。这种制造工序可以是镀层工艺、封装工艺或加工或制造高纯度的物质、例如在制药领域中。经由设置的闸门输送所需的材料和物质。通过这种闸门例如能够使两个或多个纯净气室10彼此连接。在连接的纯净气室10中能够有不同的气氛或能够在相同的气氛中在其中进行不同的工序。此外，纯净气室10可通过一个或多个闸门与外部环境连接。纯净气室10由此例如可结合在制造线中。

为了在纯净气室10中维持期望的气氛，在给纯净气室10加载或卸载后必须气密地封闭闸门。为此分别设有转换阀13，转换阀相应地封闭闸门的开口23。

图2示出了用于纯净气室10的转换阀80的连接元件20的外视图。连接板21被连接框架22围住。开口23通过闭锁元件30封闭。塞子33错开地布置在闭锁元件30上，如在图4和图5中详细示出的那样。被连接板21部分遮盖地，布置有两个引导管76以及两个引导轨道77，引导管分别具有第二安装接套71.2。引导管76是气动缸的一部分。引导管被分配给在图3和图4中示出的两个滑移致动器70。两个能量链75用于给转换阀80输送能量。此外通过能量输送部81给转换阀80输送能量，在该实施例中为压缩空气。

在所示实施例中，连接板21和闭锁元件30由结构型芯板、优选由蜂窝式铝质型芯板制成。相对于实心材料，通过使用结构型芯板可明显降低转换阀80的重量。结构型芯板优选针对此处的应用情况可实施成气密的。由此实现轻型的且由此密封的转换阀80。

连接元件20借助其连接框架22固定在纯净气室10的侧壁12、12.1中的在图1中所示的凹口13上，使得通过转换阀80气密地封闭凹口。开口23能够通过闭锁元件30的结合的升降和推移运动而打开和闭合。对此所需的能量通过能量输送部81和能量链75输送给转换阀80。

转换阀80可预安装成组件。组件此时可固定在纯净气室10上。为此，连接框架22、引导轨道77的伸出区域以及第二安装接套71.2与纯净气室10的侧壁12、12.1连接。通过使用预安装的转换阀80可明显降低纯净气室10的安装时间。此外，转换阀80能够在装入纯净气室10之前检测密封性。

图3示出了在图2中所示的转换阀80的透视后视图。

引导轨道77旋紧在转换阀80的连接板21上，使得引导轨道在一侧伸出超过连接板21和其连接框架22。滑移致动器70的引导管76同样在一侧固定在连接板21上。为此，在连接板21上在两个对置的侧面区域中分别安装第一安装接套71.1，在第一安装接套上分别固定有第一管保持件72.1。在固定在侧壁12、12.1上的第二安装接套71.2上同样设置两个管保持件72.2。引导管76在其相应的端部通过管保持件72.1、72.2保持。分别有滑块73直线地沿着引导管76可运动地支承在引导管76上。

引导管76分别是气动缸的一部分并且气密地闭合。在引导管76中分别被遮盖地布置有可沿着相应的引导管76运动的具有磁体的活塞。磁体优选实施成永磁体。永磁体可安装在活塞上或活塞本身可实施成磁性的。在滑块73之中或之上同样布置有磁体、优选永磁体。在引导管76之内的磁体与对应的滑块73中的磁体磁联接。通过移动活塞以及随之移动引导管76中的磁体，由此能够使滑块73直线地沿着引导管76被调节。活塞将气动缸分成相应两个缸腔。每一缸腔与实施成压缩空气输送部的能量输送部81连接。通过相应地控制压缩空气能够使活塞在缸中沿着引导管76移动。通过将磁体实施成永磁体，即使在电流中断的情况下也维持在引导管76中的磁体和在滑块中的磁体之间的磁联接。

在引导管76之间布置滑移组件50。滑移组件50具有载体51作为基体。在所示实施例中设置U构型作为载体51，U构型具有两个窄条51.1、51.2和连接窄条51.1、51.2的连接条51.3。在窄条51.1、51.2之间间隔地布置横梁52，横梁借助安装角53与窄条51.1、51.2和连接条51.3连接。横梁52被贯穿孔52.1贯穿。

在所示实施例中，载体51、尤其窄条51.1、51.2和连接条51.3由结构型芯板、优选由蜂窝式铝质型芯板制成。由此能够将载体51的重量以及转换阀80的重量保持得很低。

载体51经由安装在侧面的角74与滑块73连接。此外，载体51可经由滑动元件78.1、78.2直线运动地支承在引导轨道77上。借助滑移致动器70的端部位置限定载体51的调节路径。光栅79监测开口23的打开和闭合过程。

在该实施例中，在载体51的连接条51.3上安装四个升降致动器60。为每一个升降致动器60分配连接端62用以输送所需的能量，在所示实施例中呈压缩空气形式的能量。在升降致动器60的侧面布置有在图4和图5中所示的闭合单元40的保护罩45。升降致动器60与闭锁元件30有效连接。

在闭合位置中，闭锁元件30间接地或直接地贴靠在连接板21上。由此气密地封闭开口23。对此有利地，在连接板21和闭锁元件30之间布置在图4中所示的环绕开口23的密封件26。为了打开开口23，可借助升降致动器60将闭锁元件30从连接板21上升起。然后借助滑移致动器70横向于开口23移动整个滑移组件50。由此闭锁元件30释放开口23。通过结合升降和推移运动可完全释放开口23，无需将阀元件、例如闸门很大程度地摆入纯净气室10的内部空间中。由此在纯净气室10中有更多空间可用于制造设备或试验设备，或可在相同占地面积的情况下使用具有更小的外部尺寸的纯净气室10。

由于使用通过将磁力传递到滑块73上的滑移致动器70能可靠地避免，杂质，例如润滑剂、压缩空气或液压油(例如其他的致动器所需)进入纯净气室10中。通过使用由结构型芯板构成的载体51和闭锁元件30实现了非常轻的滑移组件50，其可轻松地通过滑移致动器70来调节。在推移时，滑移组件50在引导轨道77上被引导。因为引导轨道77和滑移致动器70的引导管76伸出超过连接板21，所以闭锁元件30可被推移直至开口23完全被释放。

通过使用具有连接条51.3和与连接条51.3成角度布置的窄条51.1、51.2的载体51，获得了抗弯强度高的滑移组件50。由此并且还共同通过载体51的两侧支承可避免，在将闭锁元件30压到连接板21上时滑移组件50发生弯曲。这确保了开口23的可靠的气密的封闭。

借助安装角53能够轻松地由结构型芯板构建载体51。对此，横梁进一步增强载体的刚度。未示出的通向升降致动器60的、例如用于输送所需能量的输入管路可穿过横梁52的贯穿孔52.1。

因此实现了紧凑的转换阀80，转换阀可作为结构单元安装到纯净气室10的侧壁12、12.1中的相应凹口13中。

图4示出了转换阀80的局部的透视的剖视图和分解图。

通过连接框架22和通过连接框架22包围的连接板21引入钻孔，通过该钻孔，连接板22借助连接螺钉22.1可与纯净气室的侧壁12、12.1拧紧。在连接板21的内侧上安装补偿轨道27，引导轨道77放置在补偿轨道上并且与连接板21连接、优选拧紧。补偿轨道27用于补偿高度，使得引导轨道77能够在连接框架22上引导。同时补偿轨道使得能够通过相应的螺接件可靠且牢固地连接引导轨道77。环绕开口23地布置密封件26、优选O形密封件。密封件26保持在两个密封框架25.1、25.2之间。密封框架25.1、25.2在安装孔24处拧紧在安装板21上。

与开口23相对地布置闭锁元件30。闭锁元件30由结构型芯板、优选由蜂窝式铝质型芯板制成。闭锁元件具有两个容纳孔31和另一钻孔32。容纳孔31仅穿过结构型芯板的其中一个盖板和结构型芯，从而面对开口23的盖板没有被贯穿。由此闭锁元件30在容纳孔31的区域中也保持气密的。钻孔32完全地贯穿闭锁元件30。该钻孔朝向面对滑移组件50的盖板扩张，从而塞子33可从开口23的侧面开始引入钻孔32中，如在图2中所示。塞子33气密地封闭钻孔32。塞子还用于拧紧连接元件56。通过塞子33的止挡面能够形状配合连接地传递很高的力。

在闭锁元件30和滑移组件50的载体51之间布置闭合单元40。闭合单元40作为分解图示出一次，并且以部分安装地示出一次，如在图5中放大示出的那样。为封闭单元40的布置在闭锁元件30上的部分单元分别分配保持衬套41、弹簧42、引导销43、引导衬套44和保护罩45。

如在图5中所示，保持衬套41由保持部41.2和法兰41.1构成。在保持部41.2中沿轴向装入螺钉容纳部41.3，螺钉容纳部在法兰41.1的一侧上被弹簧容纳部41.4包围。保持衬套41可被装入闭锁元件30的容纳孔31中并且在此借助其保持部41.2锚固住，尤其粘住。优选地，保持衬套41由金属、尤其不锈钢制成。

弹簧42实施成压缩弹簧。引导销43在引导区段43.2面对保持衬套41的端侧上具有螺纹43.1。与螺纹43.1对置地，引导区段43.2以头部盘43.3终止。

引导衬套44由第二止挡44.1和第二保持部44.2构成，第二止挡和第二保持部被引导孔44.3贯穿。引导衬套44优选由金属、特别是不锈钢制成。

这种引导衬套44能够以其第二保持部44.2安装固定在衬套容纳部54中，衬套容纳部被引入载体51的连接条51.3中。引导销43穿过引导衬套44的引导孔44.3。对此，其头部盘43.3伸入载体51的两个窄条51.1、51.2之间的区域中并且在此处通过保护罩45遮盖，如在图3中所示。在连接条51.3的对置侧上，引导销43穿过弹簧42，弹簧布置在引导衬套44和保持衬套41之间并且保持在弹簧容纳部41.4中。

引导销43可以其螺纹43.1旋入保持衬套41的螺钉容纳部41.3中。由此，闭锁元件30根据引导销43在引导衬套44中的调节路径可运动地与载体51连接并且随之与滑移组件50连接。弹簧42在压力预紧下保持在载体51和闭锁元件30之间并且将它们彼此压开。

嵌件55被装入载体51的连接条51.3中的相应深度并且与连接条51.3连接。嵌件55优选由金属制成。在嵌件55中设置凹口55.1和钻孔55.2。

实施成短行程气动缸的升降致动器60在嵌件55的区域中与载体51的连接条51.3连接。在升降致动器60之内在短行程气动缸的缸中引入自由体积61。升降致动器60的实施成装配件的固定区段63被引入嵌件55的钻孔55.2中。在固定区段63中布置螺纹孔。

连接元件56布置在载体51和闭锁元件30之间。螺钉56.1穿过连接元件56。在连接元件56的侧翼上引入缺口56.1。连接元件56与所选视图的截面镜像对称地构造。为了安装，将连接元件引入嵌件55的凹口55.1中并且借助螺钉56.1与升降致动器60的固定区段63连接。连接元件56的缺口56.2此时与闭锁元件30中的钻孔32对齐。升降致动器60的自由体积61经由隐藏布置的开口、缺口56.2和钻孔32与塞子33连接。

如在图4中所示，载体51在背离连接板51.3的一侧上被后壁57遮盖。

图6示出了转换阀80的侧视剖视图。对此，转换阀80的闭锁元件30占据在打开位置和闭合位置之间的中间位置。

载体51以及闭锁元件30借助布置在两侧的滑移致动器70而驶入闭合位置中。由此闭锁元件30遮盖开口23。升降致动器60通过压缩空气被驱动。压缩空气经由在图3中所示的连接端62施加到升降致动器60上。在压缩空气输送的第一位置中，闭锁元件30通过升降致动器60克服弹簧42的弹簧力从开口23和环绕开口23的密封件26上抬起。相应地，弹簧42被压缩并且引导销43驶入保护罩45中。在压缩空气输送的第二位置中，弹簧42将闭锁元件30压到连接板21上或压到密封件26上，由此开口23被气密地封闭。在升降致动器60相应地实施成沿第二方向作用的气动缸时，在压缩空气输送的第二位置中通过升降致动器60辅助闭合过程。有利地，通过弹簧42将闭锁元件30压入闭合的位置中。由此实现了转换阀80的固有安全性，因为该转换阀在压缩空气输送失效时回到其闭合的位置中。

通过操控滑移致动器70能够在通过升降致动器60使闭锁元件30抬起之后使载体51沿着引导轨道77移动。由此释放开口23。为了闭合转换阀80，使载体51再次沿着引导轨道77移动，直至闭锁元件30定位在开口23对面。接下来借助升降致动器60并且通过弹簧42的辅助，将闭锁元件30压到开口23上或环绕开口23的密封件26上。

通过结合升降运动和滑移运动可封闭和打开开口23。为此仅要求在纯净气室10之内的很小的空间需求。通过使用结构型芯板来构建转换阀80，可将其重量保持得很低。

Claims (10)

1.转换阀(80)，用于打开和关闭纯净气室(10)的开口(23)，其中，所述开口(23)在闭合位置中通过所述转换阀(80)的闭锁元件(30)封闭且在打开的位置中被释放，

其特征在于，至少一个第一致动器和第二致动器间接地或直接地与所述闭锁元件(30)连接，并且所述第一致动器联接在所述闭锁元件(30)上，使得所述第一致动器抬起所述闭锁元件(30)以打开开口(23)和/或将所述闭锁元件安置到开口上以进行闭合，所述第二致动器联接在所述闭锁元件(30)上，所述第二致动器使得所述闭锁元件(30)横向于开口(23)移动；所述第二致动器至少由引导管(76)和能在所述引导管(76)上直线运动地支承的滑块(73)构成，在所述引导管(76)中布置能直线运动的磁体，且所述磁体与所述滑块(73)磁性联接，至少一个弹簧(42)间接地或直接地联接到所述闭锁元件(30)上，并且所述弹簧(42)将所述闭锁元件(30)压入或拉入闭合位置中。

2.根据权利要求1所述的转换阀(80)，其特征在于，环绕着开口(23)布置密封件(26)，使所述闭锁元件(30)在闭合位置中贴靠在所述密封件(26)上。

3.根据权利要求1所述的转换阀(80)，其特征在于，所述第一致动器和所述闭锁元件(30)布置在滑移组件(50)上，并且所述第二致动器横向于开口(23)调节该滑移组件(50)与布置在其上的第一致动器和布置在其上的闭锁元件(30)。

4.根据权利要求3所述的转换阀(80)，其特征在于，所述滑移组件(50)能直线运动地支承在至少一个引导轨道(77)上，且通过所述第二致动器能沿着所述引导轨道(77)调节所述滑移组件(50)。

5.根据权利要求4所述的转换阀(80)，其特征在于，为所述转换阀(80)分配具有连接板(21)的连接元件(20)，使得所述开口(23)构造成在所述连接板(21)中的缺口，且所述第一致动器和/或所述引导轨道(77)间接地或直接地固定在所述连接元件(20)上。

6.根据权利要求1所述的转换阀(80)，其特征在于，所述闭锁元件(30)和/或连接板(21)和/或滑移组件(50)至少部分地由结构型芯板构成。

7.根据权利要求6所述的转换阀(80)，其特征在于，所述闭锁元件(30)和/或连接板(21)和/或滑移组件(50)至少部分地由蜂窝式铝质型芯板构成。

8.根据权利要求3所述的转换阀(80)，其特征在于，为所述滑移组件(50)分配能运动地支承的载体(51)，使得所述载体(51)具有至少一个窄条(51.1、51.2)和以一个角度与所述窄条(51.1、51.2)连接的连接条(51.3)，并且所述闭锁元件(30)与所述窄条(51.1、51.2)或所述连接条(51.3)连接。

9.根据权利要求3所述的转换阀(80)，其特征在于，所述闭锁元件(30)和所述滑移组件(50)的质量一共具有小于80kg的质量，和/或所述闭锁元件(30)遮盖开口(23)的面积在0.2m²至10m²之间的范围中。

10.根据权利要求9所述的转换阀(80)，其特征在于，所述闭锁元件(30)遮盖开口(23)的面积在0.2m²至5m²之间的范围中。