CN107526247B - 一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，涉及掩膜板清洗设备技术领域，为解决现有的掩膜板清洗系统的对掩膜板清洗效果不好的问题而发明。该掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。本发明可用于掩膜板的清洗。

Description

一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法

技术领域

本发明涉及掩膜板清洗设备技术领域，尤其涉及一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法。

背景技术

在显示装置的制造过程中，经常会用到掩膜板(Mask)，通过掩膜板的遮挡作用可以在基板上形成所需的图形，例如掩膜板在OLED(Organic Light-Emitting Diode有机发光二极管)显示器件的制作中就发挥着重要的作用，目前OLED器件的有机发光层(EL层)的制备的主要方式是蒸镀，由于掩膜板主要是对基板上不需要覆盖有机发光材料的部分进行遮挡，那么，在蒸镀过程中，掩膜板上就不可避免地会蒸镀上有机发光材料，因此，掩膜板在使用一段时间后就需要对其进行清洗，以去除掩膜板上所蒸镀上的有机发光材料，否则有机发光材料在掩膜板上越积越厚，容易落在基板上，这样对OLED显示器件的显示产生不良影响。由此可见，掩膜板的清洗是否干净直接影响着OLED显示器件的显示质量，掩膜板的清洗主要是由掩膜板清洗设备来完成的，而掩膜板的夹具是掩膜板清洗设备中的重要部件，主要是对掩膜板进行固定，在清洗过程中掩膜板的夹具是掩膜板的载体，其结构设计得是否合理，直接关系着掩膜板的清洗效果。

现有的一种掩膜板的夹具，如图1所示，包括：固定架01，固定架01上设有第一夹爪02和第二夹爪03，第一夹爪02和第二夹爪03用于夹紧掩膜板0200。固定架01用于与移动臂0300固定连接，移动臂0300可带动固定架01沿水平方向(图中的Y方向)和竖直方向(图中的Z方向)移动。在对掩膜板0200进行清洗时，固定架01上的第一夹爪02和第二夹爪03夹紧待清洗的掩膜板0200，然后移动臂0300带着掩膜板的夹具0100以及掩膜板0200伸入到盛有清洗液(比如碳氢药液)的清洗桶槽0400中，掩膜板0200浸在清洗液中，清洗桶槽0400的桶底上还设有一排超声波振子0410(如图2所示)，超声波振子0410可发出超声波振动清洗液，以对掩膜板0200进行清洗。

然而，现有这种掩膜板的夹具中，固定架01与移动臂0300是固定连接，如图2所示，当掩膜板的夹具0100伸入到清洗桶槽0400中后，掩膜板0200的下端很容易对超声波振子0410所发射的超声波进行阻挡，造成超声波很难照射到掩膜板0200的上部，这样导致掩膜板0200上部没被超声波照射到的死角很难被清洗干净，而掩膜板0200上的有机发光材料清洗不干净，则在蒸镀时容易落在基板上，从而对显示器件的显示质量造成不良的影响。

发明内容

本发明的实施例提供一种掩膜板的夹具、掩膜板清洗系统及清洗掩膜板的方法，用以解决现有的清洗系统对掩膜板清洗效果不好的问题。

为达到上述目的，一方面，本发明实施例提供了一种掩膜板的夹具，包括：吊架；固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动。

进一步地，所述第一驱动装置包括第一电机和传动机构，所述第一电机固定于所述吊架的顶部，所述传动机构的第一端与所述第一电机相连接，所述传动机构的第二端与所述固定架的顶部铰接，且铰接的中心轴线平行于所述转动的中心轴线，所述转动的中心轴线与所述固定架的顶部之间具有用于调整所述固定架相对所述吊架转动角度的距离，所述第一电机可通过所述传动机构驱动所述固定架相对所述吊架转动。

更进一步地，所述传动机构包括第一丝杠、第一螺母和传动件，所述第一丝杠与所述第一电机的输出轴连接，并且所述第一丝杠沿所述吊架的纵向延伸，所述第一螺母与所述第一丝杠相配合，所述传动件的第一端与所述第一螺母转动连接，且所述传动件与所述第一螺母之间的转动轴线平行于所述转动的中心轴线，所述传动件的第二端与所述固定架的顶部铰接，所述传动机构的第一端为所述第一丝杠与所述第一电机的连接端，所述传动机构的第二端为所述传动件的第二端。

进一步地，所述固定架包括本体以及第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件与所述本体固定连接，所述第二夹紧件与所述本体活动连接，所述第二夹紧件连接有驱动件，所述驱动件固定于所述本体上，并可驱动所述第二夹紧件向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。

更进一步地，所述第一夹紧件、所述第二夹紧件沿所述本体的纵向布置，并且所述第二夹紧件位于所述第一夹紧件的上方。

更进一步地，所述驱动件包括第二电机，所述第二电机固定于所述本体上，所述第二电机的输出轴连接有第二丝杠，所述第二丝杠上配合有第二螺母，所述第二夹紧件与所述第二螺母固定连接，所述第二电机可通过所述第二丝杠驱动所述第二夹紧件可向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。

本发明实施例提供的掩膜板的夹具，由于固定架与吊架转动连接，且转动的中心轴线沿固定架的横向延伸，第一驱动装置固定于吊架上，并与固定架相连接，并且可驱动固定架相对吊架之间的转动，这样当移动臂带着吊架、固定架以及待清洗的掩膜板伸入到清洗桶槽之后，第一驱动装置就可以通过驱动固定架相对吊架之间的转动，以使掩膜板靠近超声波振子的一端避开超声波的发射路径，来避免超声波振子所发射的超声波被掩膜板所阻挡，超声波振子所发射的超声波就可以照射到掩膜板别的部位，这样掩膜板上没有被超声波所照射的死角部位就可以大大减少，减少了有机发光材料在掩膜板上的残留，从而可以大大提高掩膜板的清洗效果；同时，固定架相对吊架转动也可以对清洗通槽中的清洗液起到搅动的作用，有利于清洗液的流动，从而对掩膜板表面进行冲洗，同样也可以提高掩膜板的清洗效果。而掩膜板的清洗效果的提高，在掩膜板使用时，比如在基板蒸镀有机发光层时，就可以减小掩膜板上残留的有机发光材料掉落在基板上的几率，从而对提高显示器件的显示品质有利。

另一方面，本发明实施例还提供了一种掩膜板清洗系统，包括：移动臂、上述任一实施例中所述的掩膜板的夹具和清洗桶槽，所述移动臂可沿水平和竖直方向移动，所述吊架与所述移动臂固定连接，所述移动臂可带动所述掩膜板的夹具伸入到所述清洗桶槽中，所述清洗桶槽的桶底设置有第一超声波振子，所述第一超声波振子可向上方发射超声波。

进一步地，本发明实施例提供的掩膜板清洗系统还包括：超声波振子承载件，所述超声波振子承载件上设有第二超声波振子，所述第二超声波振子可向下方发射超声波，所述超声波振子承载件连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置设置在所述清洗桶槽外，所述第二驱动装置可驱动所述超声波振子承载件移动，以将所述第二超声波振子移动至所述清洗桶槽中。

更进一步地，所述清洗通槽的桶口处向侧向延伸形成有凸缘，所述第二驱动装置设置在所述凸缘上，所述第二驱动装置包括水平驱动装置和竖直驱动装置，所述水平驱动装置可驱动所述超声波振子承载件沿水平方向移动，所述竖直驱动装置可驱动所述超声波振子承载件沿竖直方向移动。

更进一步地，所述水平驱动装置包括水平电机，所述水平电机固定在所述凸缘上，所述水平电机的输出轴上连接有第三丝杠，所述第三丝杠沿水平方向延伸，所述第三丝杠上配合有第三螺母，所述第三螺母上连接有固定件；所述竖直驱动装置包括竖直电机，所述竖直电机固定在所述固定件上，所述竖直电机的输出轴上连接有第四丝杠，所述第四丝杠沿竖直方向延伸，所述第四丝杠上配合有第四螺母，所述第四螺母上与所述超声波振子承载件固定连接。

本发明实施例提供的掩膜板清洗系统，由于包括上述任一实施例中所述的掩膜板的夹具，移动臂可沿水平和竖直方向移动，并且吊架与移动臂固定连接，这样移动臂就可以带着掩膜板的夹具及待清洗的掩膜板沿水平方向移动至清洗桶槽的桶口上方，然后再沿竖直方向移动将掩膜板的夹具及待清洗的掩膜板伸入到清洗桶槽中，这时掩膜板的夹具中的第一驱动装置就可以通过驱动固定架相对吊架之间的转动，以使掩膜板的下端避开第一超声波振子所发出的超声波的发射路径，避免了超声波被掩膜板的下端所阻挡，第一超声波振子所发射的超声波就可以照射到掩膜板别的部位，这样掩膜板上没有被超声波所照射的死角部位就可以大大减少，减少了有机发光材料在掩膜板上的残留，从而可以大大提高掩膜板的清洗效果；同时，固定架相对吊架转动也可以对清洗通槽中的清洗液起到搅动的作用，有利于清洗液的流动，从而对掩膜板表面进行冲洗，同样也可以提高掩膜板的清洗效果。而掩膜板的清洗效果的提高，在掩膜板使用时，比如在基板蒸镀有机发光层时，就可以减小掩膜板上残留的有机发光材料掉落在基板上的几率，从而对提高显示器件的显示品质有利。

第三方面，本发明实施例还提供了一种清洗掩膜板的方法，包括以下步骤：

将固定有掩膜板的夹具置入盛有清洗液的清洗桶槽中；

开启位于所述清洗桶槽底部的第一超声波振子，并驱动所述夹具带动所述掩膜板绕一中心轴线偏转，所述中心轴线沿所述夹具的横向延伸，以使所述掩膜板避开所述第一超声波振子所发射出的超声波；

在清洗完成后，将所述固定有掩膜板的夹具移出所述清洗桶槽。

进一步地，本发明实施例还提供的清洗掩膜板的方法还包括以下步骤：

在将固定有掩膜板的夹具置入盛有清洗液的清洗桶槽中之后，将第二超声波振子移动至所述清洗桶槽内，并开启所述第二超声波振子；

在清洗完成后，在将所述固定有掩膜板的夹具移出所述清洗桶槽之前，将所述第二超声波振子移出所述清洗桶槽。

本发明实施例提供的清洗掩膜板的方法，由于开启第一超声波振子后，可以驱动夹具带动掩膜板绕一中心轴线偏转，以使掩膜板的下端避开第一超声波振子所发射出的超声波，这样第一超声波振子所发射出的超声波就可以避免被掩膜板所阻挡，第一超声波振子所发射的超声波就可以照射到掩膜板别的部位，这样掩膜板上没有被超声波所照射的死角部位就可以大大减少，从而可以大大提高掩膜板的清洗效果，减少了有机发光材料在掩膜板上的残留；同时，掩膜板的夹具带动掩膜板绕一中心轴线偏转也可以对清洗通槽中的清洗液起到搅动的作用，有利于清洗液的流动，从而对掩膜板表面进行冲洗，同样也可以提高掩膜板的清洗效果。而掩膜板的清洗效果的提高，在掩膜板使用时，比如在基板蒸镀有机发光层时，就可以减小掩膜板上残留的有机发光材料落在基板上的几率，从而对提高显示器件的显示质量有利。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有的一种掩膜板清洗系统的结构示意图；

图2为现有的这种掩膜板清洗系统的剖面视图；

图3为本发明实施例中的掩膜板清洗系统的结构示意图；

图4为本发明实施例中的掩膜板的夹具的结构示意图；

图5为本发明实施例中的掩膜板的夹具中的固定架带动掩膜板转动的示意图；

图6为本发明实施例中的掩膜板清洗系统的第二驱动装置的结构示意图；

图7为本发明实施例提供的清洗掩膜板的方法的流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于实施例安装位置所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或组件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参见图4，本发明实施例提供了一种掩膜板的夹具，包括：吊架1；固定架2，固定架2用于固定掩膜板(图中标号M所示)，固定架2与吊架1转动连接，且转动的中心轴线3沿固定架2的横向(图中所示的X方向)延伸；第一驱动装置4，第一驱动装置4固定于吊架1上，并与固定架2相连接，第一驱动装置4用于驱动固定架2相对吊架1之间的转动。

本发明实施例提供的掩膜板的夹具，如图4所示，由于固定架2与吊架1转动连接，且转动的中心轴线3沿固定架2的横向延伸，第一驱动装置4固定于吊架1上，并与固定架2相连接，并且可驱动固定架2相对吊架1之间的转动，这样当移动臂200带着吊架1、固定架2以及掩膜板伸入到清洗桶槽300之后(如图3所示)，第一驱动装置4就可以通过驱动固定架2相对吊架1之间的转动，以使掩膜板靠近超声波振子的一端避开超声波的发射路径(如图5所示)，来避免超声波振子所发射的超声波被掩膜板所阻挡，超声波振子所发射的超声波就可以照射到掩膜板别的部位，这样掩膜板上没有被超声波所照射的死角部位就可以大大减少，减少了有机发光材料在掩膜板上的残留，从而可以大大提高掩膜板的清洗效果；同时，固定架2相对吊架1转动也可以对清洗通槽中的清洗液起到搅动的作用，有利于清洗液的流动，从而对掩膜板表面进行冲洗，同样也可以提高掩膜板的清洗效果。而掩膜板的清洗效果的提高，在掩膜板使用时，比如在基板蒸镀有机发光层时，就可以减小掩膜板上残留的有机发光材料掉落在基板上的几率，从而对提高显示器件的显示品质有利。

其中，第一驱动装置4的结构并不唯一，比如第一驱动装置4可以为以下结构：如图4所示，第一驱动装置4包括第一电机41和传动机构42，第一电机41固定于吊架1的顶部，传动机构42的第一端与第一电机41相连接，传动机构42的第二端与固定架2的顶部铰接，且铰接的中心轴线(图中标号m所示)平行于转动的中心轴线3，转动的中心轴线3与固定架2的顶部之间具有用于调整固定架2相对吊架1转动角度的距离，第一电机41可通过传动机构42驱动固定架2相对吊架1转动。

另外，第一驱动装置4也可以为以下结构：第一驱动装置4包括第一电机41，第一电机41设置在固定架2上与吊架1转动连接的部位，第一电机41的输出轴与固定架2相连接，第一电机41直接驱动固定架2相对吊架1转动。相比第一电机41直接驱动固定架2相对吊架1转动的实施例，第一驱动装置4包括第一电机41和传动机构42的实施例中，第一电机41是设置在吊架1的顶部，这样在对掩膜板进行清洗时，第一电机41就不用浸在具有腐蚀性的清洗液之中，可以确保第一电机41的正常工作，而且第一电机41也不用设置较昂贵的防清洗液腐蚀的防护装置，从而有利于降低成本。

在第一驱动装置4包括第一电机41和传动机构42的实施例中，传动机构42的结构也不唯一，比如传动机构42可以采用以下结构：如图4所示，传动机构42包括第一丝杠421、第一螺母422和传动件423，第一丝杠421与第一电机41的输出轴连接，并且第一丝杠421沿吊架1的纵向延伸(图中所示的Y方向)，第一螺母422与第一丝杠421相配合，传动件423的第一端与第一螺母422转动连接，且传动件423与第一螺母422之间的转动轴线(图中标号n所示)平行于转动的中心轴线3，传动件423的第二端与固定架2的顶部铰接，并且铰接轴线m平行于转动的中心轴线3。第一电机41工作时，带动第一丝杠421旋转，以使第一螺母422能够在第一丝杠421上沿吊架1的纵向来回移动，这样第一螺母422就可以通过传动件423带动固定架2绕转动的中心轴线3摆动，从而使掩膜板上靠近超声波振子的部位避开超声波的发射路径，有利于提高掩膜板的清洗效果。

另外，传动机构42也可以采用以下结构：传动机构42包括转盘和连杆，转盘与第一电机41的输出轴相连接，转盘的中心轴线与第一电机41的输出轴的延伸方向相同，并且第一电机41的输出轴平行于转动的中心轴线3，连杆的第一端与转盘转动连接，并且转动连接点位于靠近转盘的边沿处，且转动连接轴与转盘的中心轴线平行，连杆的第二端与固定架2的顶部铰接，并且铰接轴线平行于转动的中心轴线3。第一电机41工作时，带动转盘旋转，然后转盘通过连杆带动固定架2绕转动的中心轴线3摆动(相当于曲柄摇杆机构)。相比传动机构42包括转盘和连杆的实施例，传动机构42包括第一丝杠421、第一螺母422和传动件423的实施例中，是通过第一螺母422在第一丝杠421上的位置来控制固定架2的摆动角度，第一电机41转一周第一螺母422只前进一个螺纹的距离，这样能够精确的控制第一螺母422在第一丝杠421上的位置，从而能够精确地控制固定架2的摆动角度，进而能够使掩膜板更好地避开超声波的发生路径，对提高掩膜板的清洗效果更加有力。

为了使固定架2绕转动的中心轴线3的摆动更加平稳，如图4所示，传动件423的数目为两个，两个传动件423对称分布于固定架2的横向中心面(图中标号A所示的面)的两侧，两个传动件423的一端均与第一螺母422转动连接，另一端均与固定架2的顶部铰接。其中，第一螺母422上可以固定有连接轴(图中标号t所示)，两个传动件423通过与连接轴转动连接，以实现与第一螺母422的转动连接。通过设置两个传动件423，并且对称分布于固定架2的横向中心面A的两侧，这样可以保证固定架2绕转动的中心轴线3的摆动过程中在横向上的受力平衡，从而使固定架2绕转动的中心轴线3的摆动更加平稳。

在本发明实施例提供的掩膜板的夹具中，为了便于固定架2对掩膜板进行固定，如图4所示，固定架2包括本体21以及第一夹紧件22和第二夹紧件23，第一夹紧件22与本体21固定连接，第二夹紧件23与本体21活动连接，第二夹紧件23连接有驱动件24，驱动件24固定于本体21上，并可驱动第二夹紧件23向远离或靠近第一夹紧件22的方向移动。在固定掩膜板时，可以先将掩膜板放置在第一夹紧件22和第二夹紧件23之间，然后驱动件24驱动第二夹紧件23向靠近第一夹紧件22的方向移动，以夹紧掩膜板；清洗完毕之后，驱动件24驱动第二夹紧件23向远离第一夹紧件22的方向移动，以松开清洗后的掩膜板。通过第一夹紧件22与本体21固定连接，第二夹紧件23与本体21活动连接的这种设置方式，驱动件24可以驱动第二夹紧件23移动，以灵活控制第一夹紧件22、第二夹紧件23之间的距离以适应不同大小的掩膜板，同时也可以控制第一夹紧件22、第二夹紧件23对掩膜板的夹紧力，以使掩膜板进行更好地固定在固定架2上。

其中，第一夹紧件22、第二夹紧件23在本体21上的布置方式并不唯一，比如如图4所示，第一夹紧件22、第二夹紧件23可以沿本体21的纵向(图中所示的y方向)布置，并且第二夹紧件23位于第一夹紧件22的上方。另外，第一夹紧件22、第二夹紧件23也可以沿本体21的横向(图中所示的x方向)布置。相比沿本体21的横向布置，第一夹紧件22、第二夹紧件23沿本体21的纵向布置时，掩膜板的重量是由第一夹紧件22来支撑的，而不是由第一夹紧件22、第二夹紧件23与掩膜板之间的摩擦力来抵消的，这种设置方式可以固定重量较大的掩膜板。

驱动件24的结构也不唯一，比如驱动件24可以为以下结构：如图4所示，驱动件24包括第二电机241，第二电机241固定于本体21上，第二电机241的输出轴连接有第二丝杠242，第二丝杠242上配合有第二螺母243，第二夹紧件23与第二螺母243固定连接，第二电机241可通过第二丝杠242驱动第二夹紧件23可向远离或靠近第一夹紧件22的方向移动。第二电机241工作时驱动第二丝杠242旋转，第二螺母243就可以沿第二丝杠242来回移动，以带动第二夹紧件23向远离或靠近第一夹紧件22的方向移动，这样就可以实现对掩膜板的夹紧与松开。其中，第二螺母243可以与第二夹紧件23一体成型(如图4所示)，也可以与第二夹紧件23分体制作，然后第二夹紧件23安装在第二螺母243上，在此不做具体限定。

另外，驱动件24也可以为以下结构：驱动件24包括气缸，气缸固定于本体21上，气缸的活塞杆与第二夹紧件23固定连接，气缸可驱动第二夹紧件23可向远离或靠近第一夹紧件22的方向移动。相比气缸，通过第二电机241、第二丝杠242驱动第二夹紧件23对第一夹紧件22移动的方式，结构比较简单，无需设置气泵、管路、控制气阀等部件，有利于减少零件个数，从而可以提高第一夹紧件22、第二夹紧件23工作时的可靠性。

为了保证在夹紧时掩膜板在其横向上受力平衡，如图4所示，第一夹紧件22、第二夹紧件23的数目均为两个，两个第一夹紧件22对称设置在固定架2的横向中心面A的两侧，两个第二夹紧件23对称设置在固定架2的横向中心面的两侧。通过设置两个第一夹紧件22和两个第二夹紧件23，这样当两个第一夹紧件22和两个第二夹紧件23夹紧掩膜板时，就可以保证掩膜板在其横向上受力平衡，从而使掩膜板的固定效果更好。

本发明实施例提供的掩膜板的夹具中，吊架1的形状有很多，为了便于固定架2相对吊架1平稳的转动，如图4所示，吊架1为龙门式吊架，固定架2与吊架1横向的两侧转动连接，这样有利于保证固定架2在其横向上保持平衡，从而可以使固定架2相对吊架1转动得比较平稳。

另一方面，如图3所示，本发明实施例还提供了一种掩膜板清洗系统，包括：移动臂200、上述任一实施例中的掩膜板的夹具100和清洗桶槽300，移动臂200可沿水平和竖直方向移动，吊架1与移动臂200固定连接，移动臂200可带动掩膜板的夹具100伸入到清洗桶槽300中，清洗桶槽300的桶底设置有第一超声波振子310(如图5所示)，第一超声波振子310可向上方发射超声波。

其中，“第一超声波振子310可向上方发射超声波”中的“上方”不但可以是正上方，也可以是斜上方。

参见图3，由于本发明实施例提供的掩膜板清洗系统包括上述任一实施例中所述的掩膜板的夹具100，移动臂200可沿水平和竖直方向移动，并且吊架1与移动臂200固定连接，这样移动臂200就可以带着掩膜板的夹具100及待清洗的掩膜板沿水平方向移动至清洗桶槽300的桶口上方，然后再沿竖直方向移动将掩膜板的夹具100及待清洗的掩膜板伸入到清洗桶槽300中，这时掩膜板的夹具100中的第一驱动装置4就可以通过驱动固定架2相对吊架1之间的转动，以使掩膜板的下端避开第一超声波振子310所发出的超声波的发射路径(如图5所示)，避免了超声波被掩膜板的下端所阻挡，第一超声波振子310所发射的超声波就可以照射到掩膜板别的部位，这样掩膜板上没有被超声波所照射的死角部位就可以大大减少，减少了有机发光材料在掩膜板上的残留，从而可以大大提高掩膜板的清洗效果；同时，固定架2相对吊架1转动也可以对清洗通槽中的清洗液起到搅动的作用，有利于清洗液的流动，从而对掩膜板表面进行冲洗，同样也可以提高掩膜板的清洗效果。而掩膜板的清洗效果的提高，在掩膜板使用时，比如在基板蒸镀有机发光层时，就可以减小掩膜板上残留的有机发光材料掉落在基板上的几率，从而对提高显示器件的显示品质有利。

为了进一步提高掩膜板的清洗效果，如图6所示，本发明实施例提供的掩膜板清洗系统还包括：超声波振子承载件400，超声波振子承载件400上设有第二超声波振子410，第二超声波振子410可向下方(不但是正下方，也可以是斜下方)发射超声波，超声波振子承载件400连接有第二驱动装置500，第二驱动装置500设置在清洗桶槽300外，第二驱动装置500可驱动超声波振子承载件400移动，以将第二超声波振子410移动至清洗桶槽300中。当掩膜板的夹具100及掩膜板伸入到清洗桶槽300中后，第二驱动装置500驱动超声波振子承载件400移动，以将第二超声波振子410移动至清洗桶槽300中，这样，如图5所示，第一超声波振子310、第二超声波振子410同时发射出超声波，以对掩膜板的表面进行清洗。由于第一超声波振子310、第二超声波振子410分别位于掩膜板的上部和下部，这样第一超声波振子310、第二超声波振子410所发射出的超声波能够对掩膜板的表面进行全面的覆盖，从而能够进一步提高掩膜板的清洗效果；此外，超声波振子承载件400设计成移动式的，这样超声波振子承载件400就可以在掩膜板的夹具100置入盛有清洗液的清洗桶槽300中之后移动至清洗桶槽300内，并且在掩膜板的夹具100移出清洗桶槽300之前移出清洗桶槽300，从而可以避免超声波振子承载件400与掩膜板的夹具100发生运动干涉，确保掩膜板的夹具100顺利伸入或移出清洗桶槽300。

其中，驱动装置的结构组成并不唯一，比如驱动装置可以为以下结构：如图6所示，清洗桶槽300的桶口处向侧向延伸形成有凸缘320，第二驱动装置500设置在凸缘320上，第二驱动装置500包括水平驱动装置510和竖直驱动装置520，水平驱动装置510可驱动超声波振子承载件400沿水平方向移动，竖直驱动装置520可驱动超声波振子承载件400沿竖直方向移动。当掩膜板的夹具100及掩膜板伸入到清洗桶槽300中后，水平驱动装置510驱动超声波振子承载件400沿水平方向移动至与清洗桶槽300的桶口相对的位置，然后，竖直驱动装置520驱动超声波振子承载件400沿竖直方向向下移动，以使第二超声波振子410浸在清洗液之中。

另外，驱动装置也可以为以下结构：清洗通槽的侧壁向侧向延伸形成有安装板，第二驱动装置500设置在安装板上，清洗桶槽300与安装板相连接的侧壁上开设有缺口，第二驱动装置500包括水平驱动装置510，水平驱动装置510可驱动超声波振子承载件400沿水平方向移动，并通过缺口将超声波振子承载件400移动至清洗桶槽300内。相比第二驱动装置500只包括水平驱动装置510的实施例，第二驱动装置500包括水平驱动装置510和竖直驱动装置520的实施例，由于竖直驱动装置520可将第二超声波振子410浸在清洗液之中，这样第二超声波振子410发出的超声波就可以在清洗液中传播以对掩膜板进行清洗，就避免了第二超声波振子410未浸在清洗液中时超声波在空气中传播所造成的衰减，因而可以提高第二超声波振子410所发出超声波对掩膜板的清洗效果，进而可以整体提高掩膜板的清洗效果。

在第二驱动装置500包括水平驱动装置510和竖直驱动装置520的实施例中，水平驱动装置510、竖直驱动装置520可具体通过以下结构来实现：如图6所示，水平驱动装置510包括水平电机511，水平电机511固定在凸缘320上，水平电机511的输出轴上连接有第三丝杠512，第三丝杠512沿水平方向延伸，第三丝杠512上配合有第三螺母513，第三螺母513上连接有固定件514；竖直驱动装置520包括竖直电机521，竖直电机521固定在固定件514上，竖直电机521的输出轴上连接有第四丝杠522，第四丝杠522沿竖直方向延伸，第四丝杠522上配合有第四螺母523，第四螺母523上与超声波振子承载件400固定连接。水平驱动装置510和竖直驱动装置520的具体工作过程如下：水平电机511开始工作，驱动第三丝杠512旋转，以带动第三螺母513在第三丝杠512上运动，进而通过固定件514带动竖直电机521、第四丝杠522、第四螺母523以及超声波振子承载件400沿水平方向移动；竖直电机521开始工作，驱动第四丝杠522旋转，以带动第四螺母523在第四丝杠522上运动，进而通过第四螺母523带动超声波振子承载件400在竖直方向上运动。

其中，第三螺母513可以与固定件514一体成型(如图6所示)，也可以与固定架2分体制作，然后固定件514安装在第三螺母513上，在此不做具体限定；第四螺母523可以与超声波振子承载件400一体成型(如图6所示)，也可以与超声波振子承载件400分体制作，然后超声波振子承载件400安装在第四螺母523上，在此也不做具体限定。

为了使第三螺母513、第四螺母523在运动过程中更加平稳，如图6所示，水平驱动装置510还包括水平导轨515，水平导轨515设置于凸缘320上，并且水平导轨515的延伸方向与第三丝杠512的延伸方向相同，第三螺母513可沿水平导轨515滑动；竖直驱动装置520还包括竖直导轨524，竖直导轨524设置于固定件514上，并且竖直导轨524的延伸方向与第四丝杠522的延伸方向相同，第四螺母523可沿竖直导轨524滑动。通过设置水平导轨515，这样在第三螺母513沿水平方向运动的过程中水平导轨515可以对其进行限位，避免其在运动过程中发生晃动，使第三螺母513在运动过程中更加平稳；通过设置竖直导轨524，这样在第四螺母523沿竖直方向运动的过程中竖直导轨524可以对其进行限位，避免其在运动过程中发生晃动，使第四螺母523在运动过程中更加平稳。而第三螺母513、第四螺母523运动平稳进而保证了超声波振子承载件400水平运动和竖直运动时的平稳性。

第三方面，如图7所示，本发明实施例还提供了一种清洗掩膜板的方法，包括以下步骤：

S₁：将固定有掩膜板的夹具100置入盛有清洗液的清洗桶槽300中；

S₂：开启位于清洗桶槽300底部的第一超声波振子310，并驱动夹具带动掩膜板绕一中心轴线偏转，中心轴线沿夹具100的横向延伸，以使掩膜板的下端避开第一超声波振子310所发射出的超声波；

其中，如图3所示，中心轴线可以是固定架2与吊架1之间的转动的中心轴线3。

S₃：在清洗完成后，将固定有掩膜板的夹具100移出清洗桶槽300。

其中，执行S₁、S₃步骤的主体可以是移动臂200，移动臂200带动夹具100移动，以将其置入或者移出盛有清洗液的清洗桶槽300中；也可以是别的移动设备，在此不做具体限定。

本发明实施例提供的清洗掩膜板的方法，由于开启第一超声波振子310后，可以驱动夹具100带动掩膜板绕一中心轴线偏转，以使掩膜板的下端避开第一超声波振子310所发射出的超声波，这样第一超声波振子310所发射出的超声波就可以避免被掩膜板所阻挡，第一超声波振子310所发射的超声波就可以照射到掩膜板别的部位，这样掩膜板上没有被超声波所照射的死角部位就可以大大减少，从而可以大大提高掩膜板的清洗效果，减少了有机发光材料在掩膜板上的残留；同时，夹具100带动掩膜板绕一中心轴线偏转也可以对清洗通槽中的清洗液起到搅动的作用，有利于清洗液的流动，从而对掩膜板表面进行冲洗，同样也可以提高掩膜板的清洗效果。而掩膜板的清洗效果的提高，在掩膜板使用时，比如在基板蒸镀有机发光层时，就可以减小掩膜板上残留的有机发光材料落在基板上的几率，从而对提高显示器件的显示质量有利。

为了进一步提高掩膜板的清洗效果，如图7所示，本发明实施例提供的清洗掩膜板的方法还包括以下步骤：

N₁：在将固定有掩膜板的夹具100置入盛有清洗液的清洗桶槽300中之后，将第二超声波振子410移动至清洗桶槽300内，并开启第二超声波振子410；

其中，在掩膜板的夹具100置入盛有清洗液的清洗桶槽300中之后，可以通过驱动装置驱动第二超声波振子410移动，以将第二超声波振子410移动至清洗桶槽300内。

N₂：在清洗完成后，在将固定有掩膜板的夹具100移出清洗桶槽300之前，将第二超声波振子410移出清洗桶槽300。

通过步骤N₁、N₂，这样在掩膜板的清洗过程中，第一超声波振子310、第二超声波振子410就可以同时发射出超声波，以对掩膜板的表面进行清洗。由于第一超声波振子310、第二超声波振子410分别位于掩膜板的上部和下部，这样第一超声波振子310、第二超声波振子410所发射出的超声波能够对掩膜板的表面进行全面的覆盖，从而能够进一步提高掩膜板的清洗效果。此外，第二超声波振子410是在掩膜板的夹具100置入盛有清洗液的清洗桶槽300中之后才移动至清洗桶槽300内，并且在掩膜板的夹具100移出清洗桶槽300之前就已经移出清洗桶槽300，这样可以避免第二超声波振子410与掩膜板的夹具100发生运动干涉，确保掩膜板的夹具100顺利伸入或移出清洗桶槽300。

以上，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种掩膜板的夹具，其特征在于，包括：

吊架；

固定架，所述固定架用于固定掩膜板，所述固定架与所述吊架转动连接，且转动的中心轴线沿所述固定架的横向延伸；

第一驱动装置，所述第一驱动装置固定于所述吊架上，并与所述固定架相连接，所述第一驱动装置用于驱动所述固定架相对所述吊架之间的转动；

所述第一驱动装置包括第一电机和传动机构，所述第一电机固定于所述吊架的顶部，所述传动机构的第一端与所述第一电机相连接，所述传动机构的第二端与所述固定架的顶部铰接，且铰接的中心轴线平行于所述转动的中心轴线，所述转动的中心轴线与所述固定架的顶部之间具有用于调整所述固定架相对所述吊架转动角度的距离，所述第一电机可通过所述传动机构驱动所述固定架相对所述吊架转动；

所述传动机构包括第一丝杠、第一螺母和传动件，所述第一丝杠与所述第一电机的输出轴连接，并且所述第一丝杠沿所述吊架的纵向延伸，所述第一螺母与所述第一丝杠相配合，所述传动件的第一端与所述第一螺母转动连接，且所述传动件与所述第一螺母之间的转动轴线平行于所述转动的中心轴线，所述传动件的第二端与所述固定架的顶部铰接，

所述传动机构的第一端为所述第一丝杠与所述第一电机的连接端，所述传动机构的第二端为所述传动件的第二端。

2.根据权利要求1所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述固定架包括本体以及第一夹紧件和第二夹紧件，所述第一夹紧件与所述本体固定连接，所述第二夹紧件与所述本体活动连接，所述第二夹紧件连接有驱动件，所述驱动件固定于所述本体上，并可驱动所述第二夹紧件向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。

3.根据权利要求2所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述第一夹紧件、所述第二夹紧件沿所述本体的纵向布置，并且所述第二夹紧件位于所述第一夹紧件的上方。

4.根据权利要求2所述的掩膜板的夹具，其特征在于，所述驱动件包括第二电机，所述第二电机固定于所述本体上，所述第二电机的输出轴连接有第二丝杠，所述第二丝杠上配合有第二螺母，所述第二夹紧件与所述第二螺母固定连接，所述第二电机可通过所述第二丝杠驱动所述第二夹紧件可向远离或靠近所述第一夹紧件的方向移动。

5.一种掩膜板清洗系统，其特征在于，包括：移动臂、权利要求1～4任一项所述的掩膜板的夹具和清洗桶槽，所述移动臂可沿水平和竖直方向移动，所述吊架与所述移动臂固定连接，所述移动臂可带动所述掩膜板的夹具伸入到所述清洗桶槽的内部，所述清洗桶槽的桶底设置有第一超声波振子，所述第一超声波振子可向上方发射超声波。

6.根据权利要求5所述的掩膜板清洗系统，其特征在于，还包括：超声波振子承载件，所述超声波振子承载件上设有第二超声波振子，所述第二超声波振子可向下方发射超声波，所述超声波振子承载件连接有第二驱动装置，所述第二驱动装置设置在所述清洗桶槽外，所述第二驱动装置可驱动所述超声波振子承载件移动，以将所述第二超声波振子移动至所述清洗桶槽中。

7.根据权利要求6所述的掩膜板清洗系统，其特征在于，所述清洗桶 槽的桶口处向侧向延伸形成有凸缘，所述第二驱动装置设置在所述凸缘上，所述第二驱动装置包括水平驱动装置和竖直驱动装置，所述水平驱动装置可驱动所述超声波振子承载件沿水平方向移动，所述竖直驱动装置可驱动所述超声波振子承载件沿竖直方向移动。

8.根据权利要求7所述的掩膜板清洗系统，其特征在于，所述水平驱动装置包括水平电机，所述水平电机固定在所述凸缘上，所述水平电机的输出轴上连接有第三丝杠，所述第三丝杠沿水平方向延伸，所述第三丝杠上配合有第三螺母，所述第三螺母上连接有固定件；所述竖直驱动装置包括竖直电机，所述竖直电机固定在所述固定件上，所述竖直电机的输出轴上连接有第四丝杠，所述第四丝杠沿竖直方向延伸，所述第四丝杠上配合有第四螺母，所述第四螺母上与所述超声波振子承载件固定连接。

9.一种清洗掩膜板的方法，用于清洗权利要求1～4任一项所述的掩膜板的夹具固定的掩膜板，其特征在于，包括以下步骤：

将固定有掩膜板的夹具置入盛有清洗液的清洗桶槽中；

开启位于所述清洗桶槽底部的第一超声波振子，并驱动所述夹具带动所述掩膜板绕一中心轴线偏转，所述中心轴线沿所述夹具的横向延伸，以使所述掩膜板的下端避开所述第一超声波振子所发射出的超声波；

在清洗完成后，将所述固定有掩膜板的夹具移出所述清洗桶槽。

10.根据权利要求9所述的清洗掩膜板的方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在将固定有掩膜板的夹具置入盛有清洗液的清洗桶槽中之后，将第二超声波振子移动至所述清洗桶槽内，并开启所述第二超声波振子；

在清洗完成后，在将所述固定有掩膜板的夹具移出所述清洗桶槽之前，将所述第二超声波振子移出所述清洗桶槽。

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