CN107405755A - 超硬磨料砂轮 - Google Patents

Abstract

一种超硬磨料砂轮，其具有超硬磨粒层，其中超硬磨粒被结合剂固定，并且超硬磨粒层中的超硬磨粒所占据的面积比率为20％至70％。

Description

超硬磨料砂轮

技术领域

本发明涉及一种超硬磨料砂轮。本申请要求基于2015年12月10日提交的日本专利申请No.2015-241160的优先权，并且其全部内容通过引用并入本文。

背景技术

日本专利待审查公开No.5-16070(专利文献1)、No.2000-233370(专利文献2)以及No.5-200670(专利文献3)中公开了一种超硬磨料砂轮，其包括位于基底金属上的超硬磨粒层，该超硬磨粒层具有通过金属镀覆而固定的超硬磨粒，例如CBN磨粒或金刚石磨粒。

参考文献

专利文献

专利文献1：日本专利待审查公开No.5-16070

专利文献2：日本专利待审查公开No.2000-233370

专利文献3：日本专利待审查公开No.5-200670

发明内容

根据本发明的一个方面的超硬磨料砂轮是具有超硬磨粒层的超硬磨料砂轮，其中超硬磨粒层具有通过结合剂固定的超硬磨粒，并且超硬磨粒层中的超硬磨粒所占据的面积比率为20％至70％。

[本公开的效果]

根据本公开，可以提供具有良好磨削性能和长使用寿命的超硬磨料砂轮。

附图说明

图1示出了根据实施方案的超硬磨料砂轮的平面图。

图2示出了沿图1中的直线II-II截取得到的剖视图。

图3示出了图2中的一个磨粒的放大剖视图。

具体实施方式

[本公开实施方案的描述]

首先，将列举和描述本发明的实施方案。

为了解决如上所述的电镀超硬磨料砂轮和钎焊型超硬磨料砂轮的问题，本发明的发明人已经进行了深入的研究，最终，本发明人成功地发明了具有良好磨削性能以及长使用寿命的超硬磨料砂轮。

在常规的超硬磨料砂轮中，在基底金属上析出的金属镀层填充超硬磨粒之间的间隙并因此生长。金属镀层析出直到该镀层具有能够使其牢固地保持超硬磨粒的厚度。主要使用镍镀层作为金属镀层。这样构造的超硬磨料砂轮被称为电镀超硬磨料砂轮。由于电镀超硬磨料砂轮具有以理想状态固定的超硬磨粒，且超硬磨粒的突出端充分暴露，因此不需要修整，并且具有大容量的容屑槽，因此较少被磨屑堵塞，并且磨削性能极其优异，因此被广泛用于高效率磨削和粗磨。

然而，上述电镀超硬磨料砂轮具有超硬磨粒，其突出端的高度不均匀，这是因为超硬磨粒的粒径不同并且姿势固定。这阻碍了工件具有高精度的表面粗糙度，因此，在精密磨削领域中，电镀超硬磨料砂轮被修整后使用。在这种情况下，由于超硬磨粒层是单层，因此过度的修整会导致磨削性能和使用寿命降低的问题。

还已知的是钎焊型超硬磨料砂轮，其包括位于基底金属上的超硬磨粒层，该超硬磨粒层具有通过钎焊材料固定的超硬磨粒，如CBN磨粒或金刚石磨粒。和上述电镀超硬磨料砂轮一样，钎焊型超硬磨料砂轮也具有超硬磨粒，其中超硬磨粒突出端的高度不均匀，这是因为超硬磨粒的粒径不同并且姿势固定。这阻碍了工件具有高精度的表面粗糙度，因此，在精密磨削领域中，钎焊型超硬磨料砂轮被修整后使用。然而在这种情况下，由于超硬磨粒层是单层，因此过度的修整会导致磨削性能和使用寿命降低的问题。

本发明是为了解决上述问题而设计的，且本发明为具有良好磨削性能和长使用寿命的超硬磨料砂轮。

由这些发现而完成的发明涉及具有超硬磨粒层的超硬磨料砂轮，其中超硬磨粒层具有通过结合剂固定的超硬磨粒，并且超硬磨粒层中的超硬磨粒所占据的面积比率为20％至70％。

优选地，超硬磨粒的平均粒径为5μm至2000μm。

优选地，作用于工件上的超硬磨粒的突出端的面积比率是超硬磨粒层表面的每单位面积的1％至30％。

优选地，在超硬磨粒的突出端处形成高度为1μm以上的凹凸部。

优选地，超硬磨粒层具有固定在单层中的超硬磨粒，并且结合剂是金属镀层或钎焊材料。

优选地，结合剂的厚度为超硬磨粒的平均粒径的30％至90％。

优选地，多个超硬磨粒作用于工件上，并且作用于工件上的多个超硬磨粒各自的突出端的高度变化量为5μm以下。

优选地，超硬磨料砂轮用于精确磨削，其中工件的表面粗糙度为5μm Rz以下。

优选地，超硬磨粒层中的超硬磨粒所占据的面积比率为30％至70％。

优选地，结合剂的厚度为超硬磨粒的平均粒径的30％至80％。

[本发明的实施方案的详细描述]

参见图1至图3，超硬磨料砂轮1是具有超硬磨粒层10的超硬磨料砂轮1，该超硬磨粒层10具有通过结合剂100固定的超硬磨粒101、102、103，并且超硬磨粒层10中的超硬磨粒101、102、103所占据的面积比率为20％至70％。注意，“所占据的面积比率”定义为当从正上方观察超硬磨粒层10时，每单位面积(例如，每1mm²)的超硬磨粒层10中超硬磨粒所占据的面积的比率。

为了测量超硬磨粒101、102、103所占据的面积比率，首先用SEM(扫描电子显微镜)观察超硬磨粒层10的表面，以获得图像的电子数据。利用图像分析软件来区分超硬磨粒101、102、103和结合剂100。例如，在1000μm×1000μm的视野中，在任意三个位置测量由磨粒所占据的面积比率，并且计算三个位置处的磨粒所占据的面积比率的平均值。

当考虑超硬磨料砂轮1的性能(例如磨削性能和使用寿命)时，超硬磨粒101、102、103所占据的面积比率优选为30％至70％，更优选为35％至70％。

优选地，超硬磨粒101、102、103的平均粒径为5μm至2000μm。为了测量平均粒径，例如，使结合剂100熔融，并且将超硬磨粒101、102、103从超硬磨料砂轮1中移除。当超硬磨料砂轮1较小时，超硬磨粒101、102、103从整个超硬磨料砂轮1中移除。当超硬磨料砂轮1较大时，可能难以从整个超硬磨料砂轮1中移除超硬磨粒101、102、103。在这种情况下，从超硬磨粒层10中剥离出等于或大于25mm²或更大面积的部分。从剥离的部分中移除超硬磨粒101、102、103。用激光衍射型粒度分布测定仪(例如，Shimadzu Corporation所制SALD系列)测定超硬磨粒101、102、103的平均粒径。

优选地，超硬磨粒101的突出端101a和超硬磨粒103的突出端103a在工件上作用的面积比率优选为超硬磨粒层10的表面的每单位面积的1％至30％。注意，超硬磨粒101的突出端101a和超硬磨粒103的突出端103a在工件上作用的面积比率被定义为当从正上方观察超硬磨粒层10时，超硬磨粒101的突出端101a和超硬磨粒103的突出端103a在每单位面积超硬磨粒层10上作用于工件的面积比率，例如每1mm²超硬磨粒层10的面积比率。为了测量超硬磨粒101的突出端101a和超硬磨粒103的突出端103a在工件上的面积比率，用SEM(扫描电子显微镜)观察超硬磨粒层10的表面，以获得图像的电子数据，并使用图像分析软件来获得作用于工件上的超硬磨粒101的突出端101a和超硬磨粒103的突出端103a的表面的面积比率，从而进行计算。超硬磨粒102具有突出端102a，其不具有凹陷或凸起，因此不用于机械加工。因此，突出端102的区域不是有助于机械加工的区域。

优选地，超硬磨粒101的突出端101a和超硬磨粒103的突出端103a分别具有高度为1μm以上的凹凸部101b和103b。为了使超硬磨料砂轮获得令人满意的磨削性能，突出端更优选具有2μm以上、最优选3μm以上的凹凸部101b和103b。

可以用激光显微镜来测量突出端101a和103a的凹凸部101b和103b的尺寸，激光显微镜能够非常好地测量复杂的微观形状，并且能够以非接触的方式观察和测量样品的三维表面形状。作为激光显微镜，例如可以使用由Olympus Corporation制造的3D测量激光显微镜OLS系列和由Keyence Corporation制造的形状分析激光显微镜VX系列。

如图3所示，凹凸部101b具有高度t2，其表示凹凸部101b中最高部分和最低部分之间的水平差。

优选地，超硬磨粒层10具有固定在单层中的超硬磨粒101、102、103，并且结合剂100是金属镀层或钎焊材料。可以使用金属镀层或钎焊材料作为结合剂。作为金属镀层，镍镀层是适合的；作为钎焊材料，银的钎焊材料是适合的。

优选地，结合剂100的厚度为超硬磨粒101、102、103的平均粒径的30％至90％。该超硬磨料砂轮是这样的，其中结合剂100的厚度为超硬磨粒101、102、103的平均粒径的30％至90％。为了使得结合剂100以更高的力保持超硬磨粒，并且为了获得令人满意的砂轮性能，结合剂100的厚度更优选为超硬磨粒101、102、103的平均粒径的30％至80％，最优选为30％至70％。

如图2所示，优选地，多个超硬磨粒101、102、103作用于工件上，并且作用于工件的多个超硬磨粒101、102、103的突出端101a、103a的高度变化量t1为5μm以下。更优选地，作用于工件的超硬磨粒101、102、103的突出端101a、103a的高度变化量t1为4μm以下。变化量t1最优选为3μm以下。可以使用形状分析激光显微镜(例如，由Keyence Corporation生产的VX系列中的激光显微镜)来测量作用于工件的超硬磨粒的突出端的高度变化量。变化量t1表示凹凸部101b和103b中最高部分和最低部分之间的高度差。为了测量变化量，例如，对面积为1mm²的超硬磨粒层10的表面进行三维测量，并且在横截面中分析起作用的超硬磨粒101、102、103以测量凹凸部，并且将凹凸部中最高部分和最低部分之间的高度差定义为变化量。

优选地，超硬磨料砂轮用于精密磨削，其中工件的表面粗糙度为5μm Rz以下。表面粗糙度(Rz：微观不平度十点高度)根据JIS B 0610(2001)测定。

(实施例1)

按照如下所述制造样品No.1-20的电镀CBN砂轮。

首先，在基底金属掩膜步骤中，除了基底金属的表面中将要在其上形成超硬磨粒层的表面之外，基底金属的其他所有表面均被诸如掩蔽胶带或掩蔽涂剂之类的掩蔽材料掩蔽。

接着，在镀镍步骤中，在均匀分散有CBN磨粒的镀槽中，在基底金属表面中未被掩蔽的部分上析出镍镀层，并且镍镀层填充超硬磨粒之间的间隙，从而生长，直到镍镀层具有能够保持CBN磨粒的厚度为止，使镍镀层析出以提供完整的单一CBN磨粒层。

随后，在掩膜移除步骤中，移除掩蔽胶带或掩蔽涂剂等掩膜材料。

虽然这样生产的电镀CBN砂轮中CBN磨粒的突出端比镍镀层突出的足够多，并且磨削性能优异，但是由于CBN磨粒的粒径不同并且姿势固定，所以CBN磨粒的高度不均匀。

随后，使用真空机进行修整，从而生产表1所示的电镀CBN砂轮。

使砂轮在以下述条件对工件进行磨削以进行磨削试验，工件的表面粗糙度如表1所示。

此外，分别观察工件和砂轮各自的表面，以评估磨削性能和使用寿命。

工件：钢(硬度：HRC55)

砂轮圆周速度：50米/秒

进给速率：600毫米/分钟

磨削试验时间：5小时

表1包含“砂轮性能”列，其下包括“工件的表面粗糙度”列，其中评估A表示工件的表面粗糙度为Rz 5μm以下。评估B表示工件的表面粗糙度超过Rz 5μm并且等于或小于Rz 7μm。评估C表示工件的表面粗糙度超过Rz 7μm。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的效果。具有评估B的砂轮具有优异的效果。具有评估C的砂轮不能用于实际使用。

表1中“砂轮性能”列之下包括“磨削性能”列，其中评估A表示工件未燃烧。评估C表示工件明显燃烧。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的磨削性能。而尽管具有评估C的砂轮会使工件燃烧，但是该砂轮仍可以用于燃烧不会构成问题的领域。

“使用寿命”一列的评估的定义如下：

当所用每个样品编号的砂轮的磨削过程结束时，根据突出端形状来评估砂轮的使用寿命。评估A表示：当样品1的使用寿命为“1”时，相对使用寿命为“0.8以上”。评估D表示：当样品1的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.4”。

可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的使用寿命。发现具有评估D的砂轮不适用于实际使用。

从表1可以看出，样品1-19的超硬磨料砂轮在工件表面粗糙度、磨削性能和使用寿命中的至少一个方面是优异的。

(实施例2)

以与实施例1相似的方法制造表2所示样品No.30-34的电镀CBN砂轮。注意，样品35具有过量的超硬磨粒，并且不能制造电镀CBN砂轮。

使砂轮在以下述条件对工件进行磨削以进行磨削试验，工件的表面粗糙度如表2所示。

此外，分别观察工件和砂轮各自的表面以评估磨削性能和使用寿命。

工件：钢(硬度：HRC55)

砂轮圆周速度：50米/秒

进给速率：600毫米/分钟

磨削试验时间：5小时

表2包含“砂轮性能”列，其下包括“工件的表面粗糙度”列，其中评估A表示工件的表面粗糙度为Rz 5μm以下。评估B表示工件的表面粗糙度超过Rz 5μm并且等于或小于Rz 7μm。评估C表示工件的表面粗糙度超过Rz 7μm。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的效果。具有评估B的砂轮具有优异的效果。具有评估C的砂轮不能用于实际使用。

表2中“砂轮性能”列之下包括“磨削性能”列，其中评估A表示工件未燃烧。评估B表示工件轻微燃烧。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的磨削性能。发现具有评估B的砂轮具有优异的磨削性能。

“使用寿命”一列的评估A至C的定义如下：

当所用每个样品编号的砂轮的磨削过程结束时，根据突出端形状评估来磨轮的使用寿命。评估A表示：当样品31的使用寿命为“1”时，相对使用寿命为“0.8以上”。评估B表示：当样品31的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.8”。评估C表示：当样品31的使用寿命为“1”时，相对寿命“小于0.6”。

可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的使用寿命。具有评估B的砂轮显示出优异的使用寿命。具有评估C的砂轮显示出正常的使用寿命。

从表2可以看出，超硬磨粒所占据的面积比率需要为20％以上70％以下，优选为30％以上70％以下。尽管从磨削性能方面看，超硬磨粒所占据的面积比率为18％的样品34是优选的，但其表面粗糙度和使用寿命较差。

(实施例3)

以与实施例1相似方法制造表3所示的样品No.40-44的电镀CBN砂轮。

使砂轮在以下述条件对工件进行磨削以进行磨削试验，工件的表面粗糙度如表3所示。

此外，分别观察工件和砂轮各自的表面以评估磨削性能和使用寿命。

工件：钢(硬度：HRC55)

砂轮圆周速度：60米/秒

进给速率：620毫米/分钟

磨削试验时间：5小时

该切削条件是严苛磨削条件，因为与实施例1相比，它具有更高的圆周速度和更高的进给速率。表3包含“砂轮性能”列，其下包括“工件的表面粗糙度”列，其中评估A表示工件的表面粗糙度为Rz 5μm以下。评估B表示工件的表面粗糙度超过Rz 5μm并且等于或小于Rz7μm。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的效果。具有评估B的砂轮具有优异的效果。

表3中“砂轮性能”列之下包括“磨削性能”列，其中评估A表示工件未燃烧。评估B表示工件轻微燃烧。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的磨削性能。发现具有评估B的砂轮具有优异的磨削性能。

“使用寿命”一列的评估A和B的定义如下：

当使用每个样品编号的砂轮的磨削过程结束时，根据突出端形状来评估砂轮的使用寿命。评估A表示：当样品41的使用寿命为“1”时，相对使用寿命为“0.8以上”。评估B表示：当样品41的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.8”。

可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的使用寿命。具有评估B的砂轮显示出优异的使用寿命。

从表3可以看出，优选平均粒径为5μm至2000μm的超硬磨粒。

(实施例4)

以与实施例1相似方法制造表4所示样品No.50和No.51电镀CBN砂轮。

使砂轮在以下述条件对工件进行磨削以进行磨削试验，工件的表面粗糙度如表4所示。

此外，分别观察工件和砂轮各自的表面以评估磨削性能和使用寿命。

工件：钢(硬度：HRC55)

砂轮圆周速度：60米/秒

进给速率：700毫米/分钟

磨削试验时间：5小时

这种切削条件是严苛的磨削条件，因为与实施例1相比，它具有更高的圆周速度和更高的进给速率。表4包含“砂轮性能”列，其下包括“工件的表面粗糙度”列，其中评估A表示工件的表面粗糙度为Rz 5μm以下。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的效果。

表4中“砂轮性能”列之下包括“磨削性能”列，其中评估A表示工件未燃烧。评估B表示工件轻微燃烧。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的磨削性能。具有评估B的砂轮具有优异的磨削性能。

“使用寿命”一列的评估A和B的定义如下：

当使用每个样品编号的砂轮的磨削过程结束时，根据突出端形状来评估砂轮的使用寿命。评估A表示：当样品51的使用寿命为“1”时，相对使用寿命为“0.8以上”。评估B表示：当样品51的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.8”。

可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的使用寿命。具有评估B的砂轮显示出优异的使用寿命。

从表4可以看出，优选突出端的凹陷与凸起之间具有较大差异水平的超硬磨粒。

(实施例5)

以与实施例1相似方法制造表5所示样品No.60-65电镀CBN砂轮。

使砂轮在以下述条件对工件进行磨削以进行磨削试验，工件的表面粗糙度如表5所示。

此外，分别观察工件和砂轮各自的表面以评估磨削性能和使用寿命。

工件：钢(硬度：HRC55)

砂轮圆周速度：50米/秒

进给速率：650毫米/分钟

磨削试验时间：5小时

该切削条件是严苛磨削条件，因为与实施例1相比，它具有更高的进给速率。表5包含“砂轮性能”列，其下包括“工件的表面粗糙度”列，其中评估A表示工件的表面粗糙度为Rz5μm以下。评估B表示工件的表面粗糙度超过Rz 5μm并且等于或小于Rz 7μm。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的效果。具有评估B的砂轮具有优异的效果。

表5中“砂轮性能”列之下包括“磨削性能”列，其中评估A表示工件未燃烧。评估B表示工件轻微燃烧。评估C表示工件明显燃烧。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的磨削性能。具有评估B的砂轮具有优异的磨削性能。发现尽管具有评估C的砂轮会使工件燃烧，但是该砂轮仍可以用于燃烧不构成问题的领域。

“使用寿命”一列的评估A至C的定义如下：

当使用每个样品编号的砂轮的磨削过程结束时，根据突出端形状来评估砂轮的使用寿命。评估A表示：当样品62的使用寿命为“1”时，相对使用寿命为“0.8以上”。评估B表示：当样品62的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.8”。评估C表示：当样品62的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.6”。

可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的使用寿命。发现具有评估B的砂轮显示出优异的使用寿命。发现具有评估C的砂轮显示出普通的使用寿命。

从表5可以看出，结合剂的厚度相对于平均粒径优选为30％以上90％以下，最优选为30％以上80％以下。

(实施例6)

以与实施例1相似方法制造表6所示样品No.70-74电镀CBN砂轮。然而，需要注意的是，在实施例1中，通过电镀固定超硬磨粒；而在样品No.70-74中，用钎焊材料固定超硬磨粒。

使砂轮在以下述条件对工件进行磨削以进行磨削试验，工件的表面粗糙度如表6所示。

此外，分别观察工件和砂轮各自的表面以评估磨削性能和使用寿命。

工件：钢(硬度：HRC55)

砂轮圆周速度：70米/秒

进给速率：700毫米/分钟

磨削试验时间：5小时

该切削条件是严苛磨削条件，因为与实施例1相比，它具有更高的圆周速度和更高的进给速率。表6包含“砂轮性能”列，其下包括“工件的表面粗糙度”列，其中评估A表示工件的表面粗糙度为Rz 5μm以下。评估B表示工件的表面粗糙度超过Rz 5μm并且等于或小于Rz7μm。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的效果。具有评估B的砂轮具有优异的效果。

表6中“砂轮性能”列之下包括“磨削性能”列，其中评估A表示工件未燃烧。评估B表示工件轻微燃烧。可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的磨削性能。具有评估B的砂轮具有优异的磨削性能。

“使用寿命”一列的评估A和B的定义如下：

当使用每个样品编号的砂轮的磨削过程结束时，根据突出端形状来评估砂轮的使用寿命。评估A表示：当样品71的使用寿命为“1”时，相对使用寿命为“0.8以上”。评估B表示：当样品71的使用寿命为“1”时，相对使用寿命“小于0.8”。

可以发现，具有评估A的砂轮显示出非常优异的使用寿命。具有评估B的砂轮显示出优异的使用寿命。

从表6可以看出，结合剂的厚度相对于平均粒径优选为1μm以上5μm以下。

因此，虽然已经在实施方案和实施例中描述了本发明，但仍可对本发明所描述的实施方案和实施例进行各种修改。具体而言，将本发明应用于通过磨削而大规模制造各种机械的钢部件和汽车的钢部件的CBN砂轮时，可以获得高精度的加工结果，并且还可以获得稳定的、令人满意的磨削性能以及长的使用寿命。此外，本发明可以应用于金刚石砂轮。上述砂轮也可以用于超硬磨料磨削工具领域，例如用于通过成形磨削等来磨削工件的超硬磨料砂轮和超硬磨料抛光轮。

应当理解，本文公开的实施方案和实施例仅是为了说明的目的进行描述，而非对任何方面进行限制。本发明的范围由权利要求内容而不是上述实施例来定义，并且旨在包括等同于权利要求范围和含义以内的任何修改。

附图标记列表

1：超硬磨料砂轮；10：超硬磨粒层；100：结合剂；101、102、103：超硬磨粒；101a、102a、103a：突出端；101b、103b：凹凸部；110：基底金属。

Claims (10)

1.一种超硬磨料砂轮，其具有超硬磨粒层，该超硬磨粒层具有通过结合剂而固定的超硬磨粒，其中所述超硬磨粒层中的被所述超硬磨粒占据的面积比率为20％至70％。

2.根据权利要求1所述的超硬磨料砂轮，其中所述超硬磨粒的平均粒径为5μm至2000μm。

3.根据权利要求1或2所述的超硬磨料砂轮，其中作用于工件上的所述超硬磨粒的突出端的面积比率是所述超硬磨粒层的每单位面积的1％至30％。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的超硬磨料砂轮，其中在所述超硬磨粒的突出端处形成有高度为1μm以上的凹凸部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的超硬磨料砂轮，其中所述超硬磨粒层具有固定在单层中的所述超硬磨粒，并且所述结合剂是金属镀层或钎焊材料。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的超硬磨料砂轮，其中所述结合剂的厚度为所述超硬磨粒的平均粒径的30％至90％。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的超硬磨料砂轮，其中多个所述超硬磨粒作用于工件上，并且作用于所述工件上的所述多个超硬磨粒各自的突出端的高度变化量为5μm以下。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的超硬磨料砂轮，其用于精确磨削，其中工件的表面粗糙度Rz为5μm以下。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的超硬磨料砂轮，其中所述超硬磨粒层中被所述超硬磨粒占据的面积比率为30％至70％。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的超硬磨料砂轮，其中所述结合剂的厚度为所述超硬磨粒的平均粒径的30％至80％。