CN107102512A - 防尘薄膜组件收纳容器 - Google Patents

Abstract

提供一种收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其随时间的变化起因以及制造起因的尺寸误差的影响小，其管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器为由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成的且收纳无剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持掩模具有粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。

Description

防尘薄膜组件收纳容器

技术领域

本发明涉及收纳在半导体装置、印刷基板、液晶面板或有机EL面板等的制造时作为除尘器使用的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器。

背景技术

在LSI、超LSI等的半导体制造或液晶面板等的制造中，要对半导体晶片或液晶用原板进行光照射进行图案的制作，此时，如使用的光掩模或中间掩模(以下统称“光掩模”)有灰尘附着，由于该灰尘会吸收光或使光弯曲，由此转印的图案就会变形，角部会不齐，还会使基底变黑脏污等，由此尺寸、品质、外观等会受损。

由此，这些操作通常在无尘室中进行，但是即使如此，要保持光掩模的经常清洁也是困难的，所以要在光掩模表面贴附作为除尘器的防尘薄膜组件后再进行曝光。如此，异物就不会在光掩模的表面上直接附着，而是在防尘薄膜组件上附着，这样在光刻时只要将焦点对准光掩模的图案，防尘薄膜组件上的异物就与转印无关系了。

一般来说，这样的防尘薄膜组件，是将光良好透过的由硝化纤维素、酢酸纤维素或氟树脂等构成的透明的防尘薄膜组件膜，在铝、钢铁、不锈钢、工序塑料等构成的防尘薄膜组件框架的上端面贴附或粘接而构成。另外，在防尘薄膜组件框架的下端面上设置为了将防尘薄膜组件贴于光掩模的由聚丁烯树脂、聚酢酸乙烯基树脂、丙烯酸树脂、硅树脂等构成的粘着剂层以及以保护粘着剂层的为目的的离型型层(剥离片)。

该剥离片通常为在PET树脂等的100-200μm程度薄的薄膜上将离型剂涂布切断加工成所希望所望的形状来使用，但是由于其薄膜薄，为了将其制成形状与框架的外形几乎相同的框状的形状，会变成绳状，从而具有难以清净的问题。另外，在向掩模粘着剂层的贴附等的操作中，对其处理也极为不便。进一步，在将防尘薄膜组件从容器中用自动装置取出时，将剥离片剥离的工序是必须的，但是剥离片为薄的薄膜状，其形状等不安定，从而也具有不宜用自动装置来进行处理的问题。

具有这些问题的剥离片，仅仅为了保护粘着剂，而在防尘薄膜组件使用时要将其剥掉废弃，所以只要不使用剥离片，就不会发生所述问题。

由此，本发明人以前就发明了不使用剥离片的防尘薄膜组件以及对该防尘薄膜组件进行收纳的收纳容器(例如参照专利文献1和2)。这些在专利文献1和2记载的防尘薄膜组件收纳容器为，在防尘薄膜组件框架的外侧形成不进行掩模粘着剂层涂布的未涂布区域，在将该未涂布区域用在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置的防尘薄膜组件框架支持装置支持的同时，向在防尘薄膜组件框架的外侧面设置的非贯通孔中插入针，从而将防尘薄膜组件固定(参照下述的比较例)。这样，由于这些防尘薄膜组件收纳容器收纳的防尘薄膜组件上不使用剥离片，不需要剥离片的剥离，也就不用担心剥离片剥离时接触防尘薄膜组件膜，从而易于用自动装置将防尘薄膜组件取出变得容易，这是一大优点。

但是，即使这样的防尘薄膜组件收纳容器在其管理运用上也有若干问题，即例如专利文献1的防尘薄膜组件收纳容器中，防尘薄膜组件在其垂直方向上用防尘薄膜组件框架支持装置支持，其水平方向为向框架外侧面的孔中插入针来进行限制，从而将其固定在防尘薄膜组件收纳容器上，如此，如针和框架外侧面的孔不能正确地相对，或者针的轴方向的距离与设计不一样，就不能将针插入孔，从而不能将防尘薄膜组件良好地固定，这会成为一个问题。

另外，在大型的防尘薄膜组件收纳容器的场合，防尘薄膜组件收纳容器全体的制造误差大，并且在用树脂制成的场合，还会发生由于温度变化以及吸湿会发生尺寸变动，从而对针的组装位置的严密管理会变得困难。由此，容器制作后的保管中，就要对针的位置进行再一次调整，从而会发生在防尘薄膜组件的收纳之后由于尺寸变动而带来的针和防尘薄膜组件框架之间的摩擦而发生灰尘的问题。

现有技术文献

专利文献1：特开2009-128635

专利文献2：特开2011-34020

发明内容

本发明就是鉴于上述问题而完成的，本发明的目的为提供一种没有剥离片的防尘薄膜组件的收纳容器，其随时间的变化以及由于制造而带来的尺寸误差的影响小、管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。

本发明为一种由防尘薄膜组件收纳容器本体和在防尘薄膜组件收纳容器本体嵌合而密闭的盖体构成的、收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持具有掩模粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置在支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。

另外，本发明还具有所述固定器保持装置具有和框架固定器嵌合的沟或孔，框架固定器被在大略水平方向可移动地保持的特征。

然后优选的是，本发明的框架固定器的一部分被盖体从上方按压，其位置被固定；本发明的框架固定器也可以其一部分被设于盖体内侧上的弹性体从上方按压，从而其位置被固定。另外，用粘着带贴附固定也可。

另外，本发明的框架固定器优选以后端与盖体的内面接触，其水平方向的移动被限制，或以后端与设于盖体内面上的弹性体相接触，其水平方向的移动被限制。

发明效果

根据本发明，通过向在防尘薄膜组件框架的外侧面设置的沟中插入板状的框架固定器从而将防尘薄膜组件固定之外，通过盖体的内面或内面上设置的弹性体对框架固定器按压固定，对尺寸误差的容许范围大，因此，不易受到容器的随时间的变化以及由制造引起的尺寸误差的影响，从而具有管理运用容易的优点。

附图说明

图1是本发明的防尘薄膜组件收纳容器的实施方式的平面图。

图2是表示本发明的实施方式的图1的A-A截面图。

图3是表示本发明的实施方式的图1的B-B截面图。

图4是表示本发明的实施方式的图2的C部扩大图。

图5是表示本发明的实施方式的图3的D部扩大图。

图6是本发明的防尘薄膜组件收纳容器全体的斜视图。

图7是将框架固定器插入固定器保持装置的沟而保持的状态的斜视图。

图8是将框架固定器插入固定器保持装置的角孔而保持的状态的斜视图。

图9是将框架固定器用粘着带保持在固定器保持装置的状态的斜视图。

图10是将框架固定器用盖体内部的弹性体按压而固定的状态的截面图。

图11是使用比较例的针的防尘薄膜组件收纳容器的平面图。

图12是将比较例的针用针保持装置保持的状态的斜视图。

具体实施方式

以下对本发明的实施方式参照附图进行详细说明，但是本发明并不限于此。另外，本发明对边长为超过500mm的大型的防尘薄膜组件适用时效果特别大，但是本发明不被防尘薄膜组件的大小以及用途限定。

图1-图10表示本发明的实施方式。在图1中，为了进行说明，将与防尘薄膜组件收纳容器本体11在周缘部嵌合止动的盖体12省略。在本发明的防尘薄膜组件收纳容器本体11上，如图1表示的那样，设置了防尘薄膜组件框架支持装置13、框架固定器14、固定器保持装置15。另一方面，在收纳的防尘薄膜组件20上，如图4表示的那样，沿着防尘薄膜组件框架21的下端面内周上设置了掩模粘着剂层22，在外周部上具有掩模粘着剂层未涂布区域23。然后，其相反面上通过防尘薄膜组件膜粘接层24绷紧设置了防尘薄膜组件膜25。

收纳的防尘薄膜组件20以在防尘薄膜组件框架21的掩模粘着剂层22被设置的面的外周至少具有1mm宽的掩模粘着剂层未涂布区域23为优选，但是并不对其它的方式进行制限。

防尘薄膜组件框架支持装置13以在防尘薄膜组件框架21的各边上至少1处上设置为优选，更优选为2处以上。其位置以及个数以考虑向防尘薄膜组件框架21的向下方向的自重挠曲以及运输中的振动来决定为优选。

防尘薄膜组件框架支持装置13如图4表示的那样为阶梯状，在其段差部13a上具有防尘薄膜组件框架21的掩模粘着剂层未涂布区域23。该阶梯形状，以高度为防尘薄膜组件框架21的高的20％以上的垂直面13b为优选，以其上部为以5-45°的角度向外侧张开的锥面13c为优选。另外，防尘薄膜组件框架支持装置13的顶部的高，由于要在用自动装置或取出夹具的将防尘薄膜组件20的取出的操作中避免与该装置相干扰，所以以比防尘薄膜组件膜25的面还低为优选。

该防尘薄膜组件框架支持装置13的形状为，并不限定为图4表示的形状，可以根据防尘薄膜组件框架21的形状作适宜改变。另外，如可以用其它的方法对防尘薄膜组件20的水平方向的移动进行限制的话，没有段差的平面形状也可。

防尘薄膜组件框架支持装置13以使用树脂、弹性体等的软质并且在与防尘薄膜组件框架21接触中难以发生灰尘的材质为优选，以用注射成形、浇注成形、光造形等的一次成形形成的方法来制作为优选。作为具体的材质，可以列举苯乙烯系、聚酯系、烯烃系、聚酰胺系、聚氨酯系等的热塑性弹性体；作为橡胶、丁腈橡胶、氟橡胶、乙烯丙烯橡胶、氯丁橡胶、硅橡胶等。在此，苯乙烯系、聚酯系弹性体具有表面粘着力小、载置的防尘薄膜组件框架21不易贴附的优点，是特别优选的。

防尘薄膜组件框架支持装置13的大小以沿着防尘薄膜组件框架21的长度为10-50mm的程度为优选，可以用粘接等公知的方法在防尘薄膜组件收纳容器本体11装上。更优选为，如图4其截面被表示的那样，防尘薄膜组件框架支持装置13的下面为加工为内螺纹的金属制部件，例如将板螺钉17插入成形，用螺栓16从防尘薄膜组件收纳容器本体11的外侧缔结固定为优选。

防尘薄膜组件框架21的外侧面设置的沟26中，如图5所示的那样，板状框架固定器14被插入。该框架固定器14如图7以及图8所示进一步被在防尘薄膜组件收纳容器本体11上设置的固定器保持装置15的水平方向的沟15a或角孔15b保持。图7为在固定器保持装置15上设置沟15a的实施方式，图8为在固定器保持装置15上设置角孔15b的实施方式。这些沟15a或角孔15b以设置可以使在与框架固定器14嵌合时可以顺利地拔插的公差为优选。沟15a与角孔15b相比，在尺寸管理容易度、成形性以及洗净性好等的点上有优势。

另外，防尘薄膜组件固定器14其先端为具有段差14a的形状，但是也可为先端为R状、锥状或数个形状的组合形状。另外，整体的形状也可以进行适宜地改变。

框架固定器14以及固定器保持装置15为，以用ABS、PPS、POM、PEEK等的树脂制作为优选，根据必要可进行添加物强化。作为制造方法可以例举出注射成型、传递模塑成形等的溶融成形或机械切削加工等。

在向防尘薄膜组件收纳容器本体11组装的场合，除粘接之外，另加从防尘薄膜组件收纳容器外侧螺栓(未示出)紧固为优选。固定器保持装置15，从量产性、操作性、发生灰尘防止的点来看，将具有内螺纹的金属部品插入注射成形制作为最优选。

框架固定器14如图1表示的那样，在该实施方式中被设置在长边的角部近傍的4处，但是该设置位置以及个数可以考虑框架的固定的容易性，与防尘薄膜组件取出夹具或自动装置的相互影响，进行适宜决定。例如，在短边的角部近傍的4处也没有问题，另外在短边和长边的两方配置也可。作为优选设置位置为框架的刚性高、膜张力造成的框架挠曲小、尺寸安定的框架的角近傍为好，但是如果框架的刚性高的话，在较为内侧配置也没问题。

防尘薄膜组件20，如果防尘薄膜组件框架侧面的沟26插入的框架固定器14在运输拔出的话，有在防尘薄膜组件收纳容器10内移动，掩模粘着剂层22与容器粘接、污损或破损的可能。由此，为了将框架固定器14在固定器保持装置15上良好地固定，以使盖体12的内面与框架固定器14的上面接触或按压，将框架固定器14固定的结构为优选。例如，如图5表示的那样，在盖体12的内侧将树脂、橡胶、弹性体等构成的弹性体51设置的同时，通过该弹性体51将框架固定器14按压固定为优选。该实施方式中，通过弹性体51可以更进一步排除尺寸误差的影响。

作为弹性体51的合适的材质，具体说有苯乙烯系、聚酯系、烯烃系、聚酰胺系、聚氨酯系等的热可塑性弹性体，作为橡胶可以例举丁腈橡胶、氟橡胶、乙烯丙烯橡胶、氯丁橡胶、硅橡胶、聚氨酯橡胶等。其中，从低硬度之物从易于得到、发生灰尘性低、低发气性的点来看，以硅橡胶、聚氨酯橡胶为特别优选。

另外，作为将框架固定器14固定的其它的实施方式，有如图9表示的那样，将固定器保持装置91的形状做成具有平面部的形状，将框架固定器14用粘着带92在固定器保持装置91上贴附固定的方式。在该实施方式中，虽然在粘着带92的组装卸下时，有从操作人的手等向防尘薄膜组件20附着异物的危险，但是，具有操作简便、在设计以及运用中关于框架固定器14的固定可以不用考虑与盖体12的位置关系的优点。

另外，作为其它的实施方式，可以例举出使框架固定器14的后端与盖体12的内面接触，对向水平方向(从沟拔出的方向)的移动进行限制的方式。在该实施方式中，如图10表示的那样，将弹性体101装在盖体12内面上进行接触为优选。该实施方式中是通过弹性体101对框架固定装置14进行限制，由此可以进一步吸收各部件的尺寸误差，从而消除由尺寸误差造成的不合适。

防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12以用厚度2-8mm左右的丙烯酸、ABS、PVC、PC等的树脂板进行真空成型或压空成形来制作为优选。一个边为200mm以下的小型的也可用注射成型制作，该场合为了刚性以及提高平面度可以设置适宜的加强筋等。

防尘薄膜组件收纳容器本体11为了提高附着的异物的可视性，以黑色为优选。盖体12为了使收纳的防尘薄膜组件20可视，以透明或有色半透明为优选，从耐气候性等的理由，有时也可以为黑色。另外，防尘薄膜组件收纳容器本体11以及盖体12两者都为对树脂本身赋予带电防止功能或在其表面进行带电防止涂装，从异物的附着防止的观点合适。进一步，在树脂本身中添加难燃材料或使用难燃性树脂，从难燃性赋予、安全性的点来看更优选。

防尘薄膜组件收纳容器本体11在其边长为超过1000mm的特别大型的场合，以在树脂成形品的外侧装上金属以及纤维强化树脂构成的加强材料或收纳容器本身用金属制作为优选。收纳容器本身为金属时使用的材料以铝合金、镁合金等的轻合金为优选，但是也可使用不锈钢以及碳钢的薄板。作为成形方法，铸造等的一体成形是优选的，但是也可用在加压成型等将各结构部件制作后，焊接以及粘接、螺钉紧固等手段将各结构部件接合构成也可。另外为了轻量化，将其内部做成空洞也可。

另外，防尘薄膜组件收纳容器本体11及盖体12考虑一起使用时的利便性，可以设置把手及用于将盖体固定的扣(未示出)。进一步，防尘薄膜组件收纳容器本体11上也可设置考虑了用叉车等搬送的脚部等(未示出)。

实施例

以下，基于附图对本发明的实施例进行详细说明。

首先，制作如图1-图6表示的那样的防尘薄膜组件收纳容器10。防尘薄膜组件收纳容器本体11为用厚度5mm的黑色难燃带电防止ABS树脂板真空成形而制作的。另一方面，与防尘薄膜组件收纳容器本体11在周缘部嵌合盖体12，为用厚度5mm的透明聚碳酸酯树脂板真空成形而制作，成形加工后，将其全面用带电防止剂(信越聚合物(株)制，商品名SEPLEGYDA)涂装。安装后的外部尺寸为1350×1535×120mm。

防尘薄膜组件框架支持装置13，作为材质使用聚酯系弹性体(东丽·杜邦(株)制，商品名Hytrel)，向内部插入不锈钢制作的板螺帽17，注射成型制作。然后，将如此制作的防尘薄膜组件框架支持装置13在防尘薄膜组件收纳容器本体11上配置，从里面用各2个螺栓16组装。

防尘薄膜组件框架支持装置13的组装位置，如图1表示的那样，长边、短边和都为4处。其位置要考虑了将防尘薄膜组件取出时，夹住防尘薄膜组件的处理夹具或自动装置的防尘薄膜组件夹持机构相互影响后来进行决定。

另外，防尘薄膜组件收纳容器本体11上，将ABS树脂注射成型制作的固定器保持装置15从里面用螺栓(未示出)固定。该固定器保持装置15被固定的场合，插入固定器保持装置15的防尘薄膜组件固定器14调整位置，使防尘薄膜组件框架21外侧面设置的图5表示的沟26嵌合。

然后，将该防尘薄膜组件收纳容器10搬入10级的无尘室，用表面活性剂和纯水良好洗净，完全干燥。

然后，为了对该防尘薄膜组件收纳容器10进行评价，制作防尘薄膜组件20。首先，将外部尺寸1366×1136mm、框架宽12mm、框架高5.8mm的A5052铝合金制框架进行机械切削加工，制作防尘薄膜组件框架21。另外，在该防尘薄膜组件框架21的各长边上，作为通气孔将直径1.5mm的贯通孔(未示出)4处设置的同时，长边的角部近傍，设置高3mm、深2.3mm、长度40mm的沟26。然后，进行喷砂处理使其表面为Ra0.6左右，然后进行黑色氧化处理。

另外，该防尘薄膜组件框架21的框的一个面上，将甲苯稀释的硅粘着剂(信越化学工业(株)制)用空气加压式分布器涂布，沿着其内周形成高1.2mm、宽5mm的掩模粘着剂层22的涂布区域。在框架宽为12mm的防尘薄膜组件框架21上，在其外周形成未涂布的宽7mm的掩模粘着剂层的未涂布区域23。

进一步，在形成防尘薄膜组件框架21的掩模粘着剂层22面的对面上，将甲苯稀释的硅粘着剂(信越化学工业(株)制)用空气加压式分布器涂布，形成防尘薄膜组件膜粘接层24。然后，在该防尘薄膜组件膜粘接层24上，作为防尘薄膜组件膜25将氟系树脂(旭硝子(株)制，商品名Cytop)构成的厚度4.1μm膜绷紧设置，同时将在各长边设置的通气孔用PTFE膜构成的过滤器覆盖(未示出)，防尘薄膜组件20完成。

然后，对这样制作的防尘薄膜组件20在暗室内进行异物检查，然后，在洗净的防尘薄膜组件收纳容器本体11上的防尘薄膜组件框架支持装置13上载置，如图5表示的那样，将框架固定器14在固定器保持装置15上滑动，插入防尘薄膜组件框架21的外侧面的沟26。然后，将盖体12盖在防尘薄膜组件收纳容器本体11上进行密闭，同时将其周缘部用粘着带(未示出)密封，完成防尘薄膜组件20在防尘薄膜组件收纳容器10中的收纳。

在该防尘薄膜组件20的收纳时，在4处的框架固定器14近傍的盖体12的内侧上，如图5表示的那样，将硬度50(肖氏A)的硅橡胶制的弹性体51装上。该弹性体51，在将盖体12在防尘薄膜组件收纳容器本体11上载置时，进行调整使其与框架固定器14的上部接触，得到0.2-1mm的变形，就像要压碎那样，所以框架固定器14由于该弹性体51的作用，在固定器保持装置15上处于被按压固定的状态。

最后，对本发明的防尘薄膜组件收纳容器10进行评价，将不使用以往的剥离片的防尘薄膜组件20被收纳的防尘薄膜组件收纳容器10由2名操作人员抬起至大约腰部高度，从水平到略垂直倾斜的动作对各边(4方向)各进行5回，合计20回。其后，在无尘室内开捆，在暗室对防尘薄膜组件20的损伤以及异物的附着状况进行检查，防尘薄膜组件20在防尘薄膜组件收纳容器本体11上完全没动，防尘薄膜组件20附着的异物的增加也完全没有发现。

另外，对防尘薄膜组件框架21也进行了检查，与防尘薄膜组件框架支持装置13接触的部分的异物附着以及擦伤等的痕迹没有看到，掩模粘着剂层22也完全没有发现接触痕迹等的缺陷。

然后，将该防尘薄膜组件收纳容器10保持在湿度40-70％、温度20-30℃的环境中保管1年，1年后将该防尘薄膜组件收纳容器10再次开捆，对该防尘薄膜组件20与1年前的试验同样地收纳，在防尘薄膜组件框架支持装置13上将防尘薄膜组件框架21载置，能够将防尘薄膜组件固定器14向沟26中插入，任何随时间的变化或运用上以及管理上的问题都没有发现。

比较例

在比较例中，首先将实施例的防尘薄膜组件收纳容器10的框架固定器14、固定器保持装置15替换，制作如图11的平面图表示的那样的，使用针112和针保持装置113构成的固定装置的防尘薄膜组件收纳容器110。图12为针112和针保持装置113组合的状态的斜视图。图11中，为了对防尘薄膜组件收纳容器本体进行说明，对盖体的记载加以省略，盖体的结构基本上与实施例相同。

比较例的针112和针保持装置113的材质都为ABS树脂，注射成型制作。针112由针轴112a、突起112b、更粗的操作部112c构成，同时被针保持装置113支持。另外，针112在拔插可能的间隙嵌合的同时，由旋回操作使突起112b与针保持装置的凹部113a咬合，以插入的位置固定。然后，针轴112a的先端上，为了防止与防尘薄膜组件框架121滑擦而发生灰尘防止，设置了氟橡胶构成的弹性体114。

然后在比较例中，也进行与实施例同寸的防尘薄膜组件框架121，在其长边外侧面上将直径2mm、深2.5mm的非贯通的圆孔122在离框架角部30mm的位置合计4处设置。然后，将防尘薄膜组件框架121在防尘薄膜组件收纳容器本体111上的防尘薄膜组件框架支持装置13上载置时，将针保持装置113的位置进行调整，使针112插入防尘薄膜组件框架121的外侧面的孔122，同时用螺栓(未示出)在防尘薄膜组件收纳容器本体111上固定。

然后，与实施例同样，该防尘薄膜组件收纳容器110搬入10级的无尘室，用表面活性剂和纯水洗净，完全干燥。

然后，比较例中，为了对防尘薄膜组件收纳容器110进行评价，除了使用防尘薄膜组件框架121以外，也用与实施例完全相同的材料和制作工序制作防尘薄膜组件120，比较例的防尘薄膜组件框架121也在掩模粘着剂层涂布的领域和其外周上形成掩模粘着剂层没有涂布的未涂布区域。因此，比较例的防尘薄膜组件120和实施例的防尘薄膜组件20，为实施例的防尘薄膜组件框架21的外侧面中有沟26，而防尘薄膜组件框架121的外侧面中有非贯通的圆孔122，除了这一点外它们完全相同。

将这样的防尘薄膜组件120在暗室内进行异物检查后，将其收纳于防尘薄膜组件收纳容器110内，周缘部用粘着带密封(未示出)，防尘薄膜组件收纳容器110制备完成。

最后，对比较例的防尘薄膜组件收纳容器110的评价，与实施例同样，防尘薄膜组件120被收纳了的防尘薄膜组件收纳容器110由2名操作人员抬高至大约腰部高度，从水平向大约垂直倾斜的动作对各边(4方向)各进行5回，共计20回。其后，在无尘室内开捆，暗室中对防尘薄膜组件120的损伤以及异物的附着状况进行检查，防尘薄膜组件120在防尘薄膜组件收纳容器本体111上完全不动，防尘薄膜组件120附着的异物的增加也完全没有看到。

另外，对防尘薄膜组件框架121进行检查，与防尘薄膜组件框架支持装置13接触的部分的异物附着以及擦伤等的痕迹完全没有看到。

但是，然后将该使用了的防尘薄膜组件收纳容器110与实施例相同在湿度50％、温度20-30℃的环境进行1年保管，1年后将该防尘薄膜组件收纳容器100再次开捆，想要将相同的防尘薄膜组件120进行收纳时，防尘薄膜组件框架121的孔122和针112的位置不能对准，在水平方向有大约1.5mm的错位，不能将针112插入。作为其理由，为防尘薄膜组件收纳容器本体111的随时间发生了尺寸变化，使针112的位置错位，如要将防尘薄膜组件120收纳，要对针的位置的再调整。

附图标记说明

10防尘薄膜组件收纳容器；11防尘薄膜组件收纳容器本体；12盖体13防尘薄膜组件框架支持装置；13a段差部；13b垂直面；13c锥面；14框架固定器；14a先端段差部；15固定器保持装置；15a沟；15b角孔；16螺栓；17板螺帽；20防尘薄膜组件；21防尘薄膜组件框架；22掩模粘着剂层；23掩模粘着剂层未涂布区域；24防尘薄膜组件膜粘接层；25防尘薄膜组件膜；26沟；51弹性体；91固定器保持装置；92粘着带；101弹性体；110防尘薄膜组件收纳容器；111防尘薄膜组件收纳容器本体；112针；112a针轴；112b突起；112c操作部；113针保持装置；113a凹部；114弹性体；120防尘薄膜组件；121防尘薄膜组件框架(比较例)；122孔。

Claims (7)

1.一种防尘薄膜组件收纳容器，它由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于该防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成并且收纳没有剥离片的防尘薄膜组件，其特征在于，在所述防尘薄膜组件收纳容器本体上，设置支持具有掩模粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在所述防尘薄膜组件框架支持装置支持所述防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，所述固定器保持装置保持被插在设于所述防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。

2.根据权利要求1所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述固定器保持装置具有和所述框架固定器嵌合的沟或孔，该框架固定器能在大致水平方向上可移动地被保持。

3.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述框架固定器的一部分被所述盖体从上方按压，从而其位置被固定。

4.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述框架固定器的一部分被设置在所述盖体的内侧的弹性体从上方按压，从而其位置被固定。

5.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述框架固定器被粘着带贴附，从而被固定在所述固定器保持装置上。

6.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述框架固定器的后端与所述盖体的内面接触，水平方向的移动被限制。

7.根据权利要求1或2所述的防尘薄膜组件收纳容器，其特征在于，所述框架固定器的后端与设于所述盖体的内面的弹性体接触，水平方向的移动被限制。