CN107064175B - 离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置 - Google Patents

Abstract

本公开涉及一种离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置，该传送装置包括机架组件、安装到机架组件上的顶升组件、气浮组件、定位组件和驱动组件，气浮组件用于气浮玻璃基板，顶升组件可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置，在伸出位置，顶升组件在竖直方向凸出于气浮组件以承接或承送玻璃基板，在收纳位置，顶升组件在竖直方向不凸出于气浮组件以由气浮组件浮起玻璃基板，定位组件在传送玻璃基板前将玻璃基板定位在气浮组件上，驱动组件夹紧并驱动定位后的玻璃基板沿气浮组件的长度方向往复移动。因此，有效避免滚轮传送对玻璃基板边部质量的影响，减少缺陷的产生，实现高精度传送，结合检测单元能实现玻璃基板高精度定位和检测。

Description

离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置

技术领域

本公开涉及玻璃基板缺陷检测领域，具体地，涉及一种离线式玻璃基板传送装置和玻璃基板缺陷检测装置。

背景技术

目前，在玻璃基板在线传输和检测的过程中，由于受检测条件限制或者因在线传送精度达不到定位和整板全面检测的要求，往往需要玻璃基板在离线状态下进行高精度定位和产品质量检测。

玻璃基板在线缺陷检测时，为了保证玻璃基板的产品品质，通常玻璃基板的中间区域采用气浮浮起，其两侧区域采用滚轮驱动的方式进行传送。此种传送方式存在两个弊端：一、在滚轮传送过程中，每块玻璃基板边缘部分与很多滚轮全面积接触，当其中某一个滚轮出现问题，如滚轮上有毛刺等，容易导致一批玻璃基板出现质量问题，且因滚轮数量较多，不易排查出故障滚轮，故障排除时间较长，极大影响生产效率；二、玻璃基板通过滚轮传送过程中，容易出现沿滚轮轴向方向窜动的情况，检测时实现对缺陷位置的高精度定位较为困难。

因此，如何避免滚轮传送的不足，设计一种能够实现高精度定位的玻璃基板传送装置，成为本领域需要解决的一个技术问题。

发明内容

本公开的一个目的是提供一种离线式玻璃基板传送装置，该传送装置可以有效避免滚轮传送对玻璃基板的边部质量的影响，减少缺陷的产生，提高生产效率，同时能实现高精度传送，利于实现对玻璃基板的缺陷位置的准确查找。

本公开的另一个目的是提供一种玻璃基板缺陷检测装置，该检测装置能够精准检测到玻璃基板的缺陷位置。

根据本公开的第一方面，本公开提供一种离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，包括机架组件、安装到所述机架组件上的顶升组件、气浮组件、定位组件和驱动组件，所述气浮组件用于气浮所述玻璃基板，所述顶升组件可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置，在所述伸出位置，所述顶升组件在竖直方向凸出于所述气浮组件以承接或承送所述玻璃基板，在所述收纳位置，所述顶升组件在竖直方向不凸出于所述气浮组件以由所述气浮组件浮起所述玻璃基板，所述定位组件用于在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮组件上，所述驱动组件用于夹紧并驱动定位后的所述玻璃基板沿所述气浮组件的长度方向往复移动。

可选地，所述气浮组件包括沿所述玻璃基板的宽度方向间隔设置的多组第一气浮条组，且每组第一气浮条组中的气浮条沿所述玻璃基板的长度方向延伸，所述顶升组件包括可沿竖直方向伸缩的第一伸缩件，固定到所述第一伸缩件的伸缩端上的支撑基座，以及固定到所述支撑基座上且用于滚动支撑所述玻璃基板的多个滚动支撑部，所述多个滚动支撑部均插入到相邻的所述第一气浮条组之间的空隙中，在所述伸出位置，所述多个滚动支撑部均凸出于所述气浮条的上表面，在所述收纳位置，所述多个滚动支撑部均低于所述气浮条的上表面。

可选地，在所述伸出位置，所述多个滚动支撑部在水平面上均匀地分散到所述多组第一气浮条组之间的空隙中。

可选地，所述支撑基座具有目字形框架，该目字形框架包括沿所述气浮条的宽度方向等间隔布设且沿所述气浮条的长度方向延伸的四根支撑梁，以及分别连接到所述四根支撑梁的相对两端部的一对连接梁，所述多个滚动支撑部呈矩阵式布设到所述四根支撑梁上，所述多组第一气浮条组沿所述玻璃基板的宽度方向等间隔设置，所述气浮组件还包括沿所述玻璃基板的长度方向等间隔设置的多组第二气浮条组，且每组第二气浮条组中的气浮条沿所述玻璃基板的宽度方向对齐。

可选地，所述滚动支撑部为钢珠滚轮。

可选地，所述第一伸缩件为带导杆气缸。

可选地，所述驱动组件包括用于可松开地夹紧所述玻璃基板的长度方向的边部的夹紧结构和用于驱动该夹紧结构沿所述气浮组件的长度方向往复移动的一对线性电机，且该一对线性电机分别布设在所述气浮组件的宽度方向上的两侧，所述线性电机的定子沿所述气浮组件的长度方向延伸且固定到所述机架组件上，所述夹紧结构固定到所述线性电机的动子上。

可选地，每个线性电机的动子上均固定有可沿所述气浮组件的宽度方向伸缩的第二伸缩件，所述夹紧结构固定到所述第二伸缩件的伸缩端上。

可选地，所述夹紧结构包括具有一对夹爪的夹爪气缸，以及固定到所述一对夹爪上的一对基板夹，所述一对基板夹相对设置以形成有用于夹持所述玻璃基板的一对平行夹臂。

可选地，所述驱动组件还包括具有竖直板和水平板的L形连接板，且所述水平板位于所述竖直板上方，所述第二伸缩件的伸缩端固定到所述竖直板上，所述夹紧结构固定到所述水平板上。

可选地，所述一对平行夹臂由不发尘材质制成。

可选地，所述第二伸缩件为带导杆气缸。

可选地，所述定位组件包括用于在所述气浮组件的长度方向上定位所述玻璃基板的第一定位组件，以及在所述气浮组件的宽度方向上定位所述玻璃基板的第二定位组件。

可选地，所述第一定位组件包括可沿所述气浮组件的长度方向伸缩的第一气缸，固定到该第一气缸的伸缩端上且可沿竖直方向伸缩的第二气缸，固定到所述第二气缸的伸缩端上的前滚轮，位于所述第一气缸的后方且可沿所述气浮组件的长度方向伸缩的第三气缸，以及固定到所述第三气缸的伸缩端上的后滚轮，所述前滚轮和所述后滚轮分别用于抵顶所述玻璃基板的前侧边和后侧边。

可选地，所述第二定位组件包括分别位于所述气浮组件的宽度方向两侧的左定位气缸和右定位气缸，以及分别固定到所述左定位气缸和所述右定位气缸的伸缩端上的左滚轮和右滚轮，其中所述左定位气缸和所述右定位气缸均可沿所述气浮组件的宽度方向伸缩，以通过所述左滚轮和右滚轮夹紧所述玻璃基板的左右侧边。

可选地，所述前滚轮、所述后滚轮、所述左滚轮和所述右滚轮均采用不发尘材质制成。

可选地，所述左定位气缸和右定位气缸分别通过侧向调节板固定到所述机架组件上，所述侧向调节板上形成有沿所述气浮组件的宽度方向延伸的长孔，紧固件穿过所述长孔以固定所述侧向调节板和所述机架组件。

根据本公开的第二方面，提供一种玻璃基板缺陷检测装置，包括：用于传送待检测的玻璃基板的传送装置；用于照射待检测的所述玻璃基板的板面的光源；用于对待检测的所述玻璃基板的板面进行图像采集的图像采集单元；以及用于实时检测待检测的所述玻璃基板相对于所述图像采集单元的位置的位移传感器；以及用于控制所述传送装置、所述光源、所述图像采集单元和所述位移传感器的工作状态的控制器，其中所述传送装置为本公开提供的离线式玻璃基板传送装置。

可选地，将所述玻璃基板沿所述玻璃基板的宽度方向平分为N均等区域，并沿所述玻璃基板的宽度方向从1至N顺次编号，N为偶数，所述图像采集单元为沿所述玻璃基板的宽度方向位置可调地设置于所述玻璃基板上方的N/2个相机，所述N/2个相机沿所述玻璃基板的宽度方向对齐设置，并具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述驱动组件夹紧并驱动定位后的所述玻璃基板沿所述气浮组件的长度方向向前运动，且所述N/2个相机分别一一对应地设置于所述玻璃基板的偶数均等区域的正上方，在所述第二位置，所述驱动组件夹紧并驱动所述玻璃基板沿所述气浮组件的长度方向向后运动，且所述N/2个相机分别一一对应地设置于所述玻璃基板的奇数均等区域的正上方。

通过上述技术方案，玻璃基板在离线检查时，首先可以通过机器人手臂搬入，放置在已经处于伸出位置的顶升组件上，机器人手臂撤离后，顶升组件开始下降至收纳位置，并将玻璃基板平稳放置在气浮组件上。此时，定位组件开始动作，在实现玻璃基板的四边定位后，驱动组件首先前进到玻璃基板边缘位置，并夹紧玻璃基板边缘的例如10mm以内的位置。此时，定位组件的四边定位松开，驱动组件开始动作，带动玻璃基板向前运动。经过用于检测玻璃基板整板的缺陷检测的检测单元之后，达到停止位置。此时，驱动组件带动玻璃基板向后运动。当玻璃基板返回到顶升组件所在位置后，驱动组件松开对玻璃基板的夹紧，并退回到远离玻璃基板的边缘的后侧位置。此时顶升组件开始执行上升动作，玻璃基板随着顶升组件一起上升。上游机器人手臂开始动作，将检测完成的该玻璃基板搬出，并搬入下一块玻璃基板进行检测，至此完成一个完整的传送和检测过程。因此，本公开提供的传送装置可以有效避免滚轮传送对玻璃基板边部质量的影响，能够减少缺陷的产生，提高生产效率，同时能实现高精度传送，结合检测单元能满足玻璃基板高精度定位和检测的需要。

本公开的其他特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本公开的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本公开，但并不构成对本公开的限制。在附图中：

图1是根据本公开的一示例性实施方式提供的离线式玻璃基板传送装置的立体结构示意图；

图2是图1中的A部的局部放大图；

图3是根据本公开的一示例性实施方式提供的离线式玻璃基板传送装置的机架组件、顶升组件、定位组件和驱动组件的装配图；

图4是图3中的B部的局部放大图；

图5是图3中的C部的局部放大图。

附图标记说明

1机架组件 2顶升组件 21第一伸缩件

22支撑基座 221支撑梁 222连接梁

23滚动支撑部 3气浮组件 30气浮条

31第一气浮条组 32第二气浮条组 4定位组件

41第一定位组件 42第二定位组件 411第一气缸

412第二气缸 413第三气缸 414前滚轮

415后滚轮 416后方调节板 4160长圆孔

421左定位气缸 422右定位 423左滚轮

424右滚轮 425侧向调节板 4250长孔

5驱动组件 50夹紧结构 51线性电机

511定子 512动子 513连接板

52第二伸缩件 53夹爪气缸 530夹爪

531基板夹 532平行夹臂 54L形连接板

541竖直板 542水平板

具体实施方式

以下结合附图对本公开的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本公开，并不用于限制本公开。

在本公开中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下、左、右、前、后”通常是相对于玻璃基板在传送装置上开始传送时的工作状态而言的，具体地，前方是指玻璃基板开始传送时的传送方向，后方是指背离玻璃基板开始传送时的传送方向，左方是指玻璃基板开始传送时玻璃基板的左侧方向，右方是指玻璃基板开始传送时玻璃基板的右侧方向，另外，玻璃基板的长度方向是指玻璃基板的传送方向，宽度方向是指在玻璃基板平面上垂直于长度方向的方向，此外，本公开的气浮组件与玻璃基板的长度方向、宽度方向以及高度方向均相同。

如图1至图5所示，本公开提供一种离线式玻璃基板传送装置，适用于玻璃基板由上游机器人搬入并通过该机器人在同一侧搬出的情况，其包括机架组件1、安装到机架组件1上的顶升组件2、气浮组件3、定位组件4和驱动组件5，气浮组件3用于气浮玻璃基板，顶升组件2可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置，在伸出位置，顶升组件2在竖直方向凸出于气浮组件3以承接或承送玻璃基板，在收纳位置，顶升组件2在竖直方向不凸出于气浮组件3以由气浮组件3浮起玻璃基板，定位组件4用于在传送玻璃基板前将玻璃基板定位在气浮组件3上，驱动组件5用于夹紧并驱动定位后的玻璃基板沿气浮组件3的长度方向往复移动。

在本公开中，机架组件1用于承载其他组件，传送装置的其他零部件均固定在机架组件上。

其中，气浮组件3用于保证玻璃基板能够均匀地浮起在气浮组件3的上方，保证玻璃基板在垂直方向的挠度变化在标准范围内。进一步地，气浮组件3可以通过多排并列的气浮条30实现对玻璃基板的浮起动作，例如可以采用CDA(compress dry air，压缩干燥空气)作为动力为玻璃基板提供预设的气压。进一步地，气浮组件3中由各个气浮条30的上表面组成的平面度控制在100μm以下。为保证气浮组件3稳定地浮起玻璃基板，进一步地，玻璃基板在气浮组件3上的浮起高度在0.1mm-1.5mm之间。为保证玻璃基板的传送的平稳性，进一步地，玻璃基板在气浮组件3上浮起时，玻璃基板的平面度偏差控制在±200μm以内。

如果机械人手臂直接将玻璃基板放置在气浮组件上，由于气浮组件的浮力有限，一般只能将玻璃基板浮起0.2mm至0.5mm，当机器人手臂吸取玻璃基板时，玻璃基板容易发生翘曲，这样在重力的作用下，玻璃基板很容易直接接触到气浮组件，造成玻璃基板的品质不合格。为了避免这一情况，在玻璃基板的搬入过程中，通过顶升组件上升承接玻璃基板，并将玻璃基板平稳放置在气浮组件上；在玻璃基板的搬出过程中，通过顶升组件顶起检测完成的玻璃基板，使得机器人手臂有足够的空间来吸附玻璃基板，实现搬出动作。

这样，玻璃基板在离线检查时，首先可以通过机器人手臂搬入，放置在已经处于伸出位置的顶升组件2上，机器人手臂撤离后，顶升组件2开始下降至收纳位置，并将玻璃基板平稳放置在气浮组件3上。此时，定位组件4开始动作，在实现玻璃基板的四边定位后，驱动组件5首先前进到玻璃基板边缘位置，并夹紧玻璃基板边缘的例如10mm以内的位置。此时，定位组件4的四边定位松开，驱动组件5开始动作，带动玻璃基板向前运动。经过用于检测玻璃基板整板的缺陷检测的检测单元之后，达到停止位置。此时，驱动组件5带动玻璃基板向后运动。当玻璃基板返回到顶升组件2所在位置后，驱动组件5松开对玻璃基板的夹紧，并退回到远离玻璃基板的边缘的后侧位置。此时顶升组件2开始执行上升动作，玻璃基板随着顶升组件2一起上升。上游机器人手臂开始动作，将检测完成的该玻璃基板搬出，并搬入下一块玻璃基板进行检测，至此完成一个完整的传送和检测过程。因此，本公开提供的传送装置可以有效避免滚轮传送对玻璃基板边部质量的影响，能够减少缺陷的产生，提高生产效率，同时能实现高精度传送，结合检测单元能满足玻璃基板高精度定位和检测的需要。

在本公开中，为方便气浮组件3和顶升组件2交替承载玻璃基板，且利于空间布设，如图1所示，气浮组件3可以包括沿玻璃基板的宽度方向间隔设置的多组第一气浮条组31，且每组第一气浮条组31中的气浮条30沿玻璃基板的长度方向延伸，顶升组件2包括可沿竖直方向伸缩的第一伸缩件21，固定到第一伸缩件21的伸缩端上的支撑基座22，以及固定到支撑基座22上且用于滚动支撑玻璃基板的多个滚动支撑部23。具体地，该多个滚动支撑部23可以分别通过连接杆固定到支撑基座22上。多个滚动支撑部23均插入到相邻的第一气浮条组31之间的空隙中，在伸出位置，多个滚动支撑部23均凸出于气浮条30的上表面，在收纳位置，多个滚动支撑部23均低于气浮条30的上表面。

即，多个滚动支撑部23和气浮条30交错布设在玻璃基板所覆盖的平面上，以此方式，不仅可以节省传送装置的布置空间，而且使得多个滚动支撑部23和多个气浮条30各自能够平稳地支撑玻璃基板。另外由于通过滚动支撑部23滚动支撑玻璃基板，可以减少对玻璃基板的损伤，避免影响玻璃基板的产品品质。进一步地，顶升组件2与玻璃基板相接触的部分，即该滚动支撑部23可以采用不发尘材质制成，例如该滚动支撑部23可以采用PEEK(聚醚醚酮，polyetheretherketone)制成，并且PEEK还具有良好的耐磨特性，可以保证传送装置的使用寿命。在其他变形方式中，该不发尘材质还可以为UHMWPE(超高分子量聚乙烯，ultra-high molecular weight polyethylene)。

进一步地，为保证多个滚动支撑部23能够平稳地支撑玻璃基板，如图1和图3所示，在伸出位置，多个滚动支撑部23在水平面上均匀地分散到多组第一气浮条组31之间的空隙中，以此方式，顶升组件2可以平稳地承托玻璃基板。

具体地，如图1和图3所示，支撑基座22具有目字形框架，该目字形框架包括沿气浮条30的宽度方向等间隔布设且沿气浮条30的长度方向延伸的四根支撑梁221，以及分别连接到四根支撑梁221的相对两端部的一对连接梁222，多个滚动支撑部23呈矩阵式布设到四根支撑梁221上。即，每根支撑梁221上的多个滚动支撑部23呈线性排列，且数量相同，并且在垂直于支撑梁221的方向上也形成有呈线性排列的多组滚动支撑部组。

多组第一气浮条组31沿玻璃基板的宽度方向等间隔设置，气浮组件3还包括沿玻璃基板的长度方向等间隔设置的多组第二气浮条组32，且每组第二气浮条组32中的气浮条30沿玻璃基板的宽度方向对齐。即，多个气浮条30呈矩阵式地排列，这样不仅便于玻璃基板的稳定传送，而且利于每根支撑梁221分别插入到对应的相邻第一气浮条组31之间的空隙中。

进一步地，作为一种滚动支撑玻璃基板的实施例，滚动支撑部23可以为钢珠滚轮。

在本公开中，为简化传送装置的结构，第一伸缩件21为带导杆气缸。在其他替代的方式中，该第一伸缩件还可以由滚珠丝杠代替，并通过例如伺服电机来驱动，带动滚珠丝杠动作，从而实现玻璃基板搬出时的平稳上升和承接玻璃基板时的平稳下降。

其中，为保证实现玻璃基板的平稳上升和下降，以避免因为上升下降动作导致玻璃震动，与其他部件相接触导致其他质量问题，该顶升组件驱动玻璃基板的上升或下降的速度不大于30mm/s。

在本公开中，为避免使用滚轮传送对玻璃基板的边部质量的影响，如图1至图3所示，驱动组件5包括用于可松开地夹紧玻璃基板的长度方向的边部的夹紧结构50和用于驱动该夹紧结构50沿气浮组件3的长度方向往复移动的一对线性电机51，且该一对线性电机51分别布设在气浮组件3的宽度方向上的两侧，线性电机51的定子511沿气浮组件3的长度方向延伸且固定到机架组件1上，夹紧结构50固定到线性电机51的动子512上。即，线性电机51为扁平型的线性电机。具体地，为保证驱动组件5平稳地驱动玻璃基板沿传送方向实现往复运动，位于玻璃基板同一侧的线性电机可以包括沿气浮组件3的长度方向间隔设置的一对动子512，并且位于玻璃基板同一侧的一对动子512之间可以通过连接板513固定，以保证该一对动子512同步运动，并且该夹紧结构50固定到连接板513上。这样，在玻璃基板两侧的一对线性电机的驱动下，该夹紧结构50可以替代滚轮，在夹紧玻璃基板的同时平稳地带动玻璃基板运行，从而避免使用滚轮传送对玻璃基板的边部质量的影响，且避免传送时玻璃基板发生窜动，保证玻璃基板的精准传送。

进一步地，为实现驱动组件5的高精度平面度安装要求，该驱动组件可以通过大理石平台固定到机架组件1上，由于大理石平台的平面度好，且基本不会变形，较易实现大理石平台的高精度平面度要求，从而保证了驱动组件5的高精度平面度安装要求。

进一步地，为适应不同玻璃基板的宽度，每个线性电机51的动子512上均固定有可沿气浮组件3的宽度方向伸缩的第二伸缩件52，夹紧结构50固定到第二伸缩件52的伸缩端上。因此，可以通过调整第二伸缩件52的伸缩行程，保证夹紧结构50均可以夹紧不同宽度的玻璃基板的边部，从而提高该传送装置的通用性。

更进一步地，为简化传送装置的结构，第二伸缩件52为带导杆气缸。在其他可能的实施方式中，该第二伸缩件还可以由油缸或滚轴丝杠来替代。

在本公开中，为了提高夹紧结构50夹紧玻璃基板的效率，且简化夹紧结构50的结构，如图2所示，夹紧结构50包括具有一对夹爪530的夹爪气缸53，以及固定到一对夹爪530上的一对基板夹531，一对基板夹531相对设置以形成有用于夹持玻璃基板的一对平行夹臂532。这样，通过夹爪气缸53的一对夹爪530驱动一对平行夹臂532同时夹紧玻璃基板边部的正反两板面，可以提高夹紧结构50的夹持效率，另外还需要调整夹爪气缸53的位置，保证玻璃基板不会因为该夹紧动作擦碰到气浮条，从而避免影响到玻璃基板的品质。当然在其他的变形方式中，该夹紧结构50还可以为两个相互独立的气缸，例如首先由一个气缸驱动下方的平行夹臂先把玻璃基板抬高，然后再由另一个气缸驱动上方的平行夹臂压紧玻璃基板，从而实现对玻璃基板边部的夹紧。

为利于空间布设，提高传送装置的结构紧凑性，且易于保证夹紧结构50夹紧玻璃基板时玻璃基板不与气浮组件相干涉，如图2所示，驱动组件5还包括具有竖直板541和水平板542的L形连接板54，且水平板542位于竖直板541上方，第二伸缩件52的伸缩端固定到竖直板541上，夹紧结构50固定到水平板542上。即，该夹紧结构50通过L形连接板54固定于该第二伸缩件52的上方，从而可以提高夹紧结构50相对于气浮组件的高度，易于避免夹紧结构50夹持玻璃基板时玻璃基板与气浮组件相干涉，同时还可以节省传送装置在玻璃基板的宽度方向的空间。在其他的变形方式中，该第二伸缩件52和夹紧结构50还可以沿玻璃基板的宽度方向布设，且夹紧结构50靠近气浮组件3设置。

进一步地，为避免基板夹531对玻璃基板的品质造成影响，一对平行夹臂532由不发尘材质制成。具体地，该不发尘材质可以为上述的PEEK或者UHMWPE。

在传送玻璃基板之前首先需要对玻璃基板进行精准定位，从而能精准地检测出玻璃基板上的缺陷的位置，为实现这一目的，如图1和图5所示，定位组件4包括用于在气浮组件3的长度方向上定位玻璃基板的第一定位组件41，以及在气浮组件3的宽度方向上定位玻璃基板的第二定位组件42。以此方式，通过对玻璃基板的长度方向和宽度方向上进行精准定位，这样结合检测单元从而可以精准查找玻璃基板上的缺陷位置。

为实现对玻璃基板的长度方向上的定位的同时，不影响玻璃基板的正常传送，且预设调节余量，如图1至图5所示，第一定位组件41包括可沿气浮组件3的长度方向伸缩的第一气缸411，固定到该第一气缸411的伸缩端上且可沿竖直方向伸缩的第二气缸412，固定到第二气缸412的伸缩端上的前滚轮414，位于第一气缸411的后方且可沿气浮组件3的长度方向伸缩的第三气缸413，以及固定到第三气缸413的伸缩端上的后滚轮415，前滚轮414和后滚轮415分别用于抵顶玻璃基板的前侧边和后侧边。以此方式，通过调节第一气缸411和第三气缸413的伸出行程，可以调节前滚轮414和后滚轮415在玻璃基板的长度方向的初始位置，从而吸收安装误差。其中，为进一步地提高对玻璃基板的定位精度，该第一定位组件41可以包括两套，即第一定位组件41可以包括用于抵顶玻璃基板前侧边且沿宽度方向间隔设置的两个前滚轮414，相应的两个第一气缸411和第二气缸412，用于抵顶玻璃卷边后侧边且沿宽度方向间隔设置的两个后滚轮415，以及相应的两个第三气缸413。

进一步地，为实现对玻璃基板的宽度方向上的定位的同时，且预设调节余量，如图1至图3所示，第二定位组件42包括分别位于气浮组件3的宽度方向两侧的左定位气缸421和右定位气缸422，以及分别固定到左定位气缸421和右定位气缸422的伸缩端上的左滚轮423和右滚轮424，其中左定位气缸421和右定位气缸422均可沿气浮组件的宽度方向伸缩，以通过左滚轮423和右滚轮424夹紧玻璃基板的左右侧边。以此方式，通过调节左定位气缸421和右定位气缸422在玻璃基板的宽度方向的初始位置，从而吸收安装误差。其中，为进一步地提高对玻璃基板的定位精度，该第二定位组件42可以包括两套，即第二定位组件42可以包括用于抵顶玻璃基板左侧边且沿长度方向间隔设置的两个左滚轮423，相应的两个左定位气缸421，用于抵顶玻璃基板右侧边且沿长度方向间隔设置的两个右滚轮424，相应的两个右定位气缸422。

即，玻璃基板的每条边均含有两个定位气缸来实现定位，其中为利于空间布设，该第二定位组件42可以固定在上述驱动组件5上，具体地，该左定位气缸421和右定位气缸422可以分别固定到上述一对线性电机51的相对应的连接板513上，第一气缸411和第三气缸413可以分别固定到上述机架组件1上。进一步地，为弥补左定位气缸421和右定位气缸422的本身伸缩行程有限的不足，方便调节左滚轮423、右滚轮424在玻璃基板的宽度方向的位置，如图1至图3所示，左定位气缸421和右定位气缸422分别通过侧向调节板425固定到机架组件1上，侧向调节板425上形成有沿气浮组件3的宽度方向延伸的长孔4250，紧固件穿过长孔4250以固定侧向调节板425和机架组件1。相似地，为弥补第一气缸411和第三气缸413的本身伸缩行程有限的不足，方便调节后滚轮415在玻璃基板的长度方向的位置，该第三气缸413可以通过后方调节板416固定到机架组件1上，后方调节板416上形成有沿气浮组件3的前后方向延伸的长圆孔4160，紧固件穿过该长圆孔4160以固定后方调节板416和机架组件1。

其中，为避免上述各个与玻璃基板的侧边相接触的滚轮影响玻璃基板的产品品质，前滚轮414、后滚轮415、左滚轮423和右滚轮424均采用不发尘材质制成。具体地，该不发尘材质可以采用上述提及的PEEK或者UHMWPE制成。

因此，玻璃基板的四边定位均有气缸来驱动，并通过其上固定的滚轮实现对玻璃基板的各个边缘接触夹紧。其中，左定位气缸421、右定位气缸422和第三气缸413均由一个气缸驱动完成朝向玻璃基板的前进和远离玻璃基板的后退动作。第一气缸411和第二气缸412的伸缩轴线相互垂直，玻璃基板传送时，第二气缸412和前滚轮414隐藏在气浮组件3的上表面以下位置，当执行夹紧动作时，第二气缸412首先伸出以使得前滚轮414凸出于气浮组件3，随后第一气缸411动作以使得前滚轮414抵顶玻璃基板的前侧边。当执行松开动作时，首先由第一气缸411动作以使得前滚轮414远离玻璃基板的前侧边，随后第二气缸412收缩以使得前滚轮414和第二气缸412均隐藏在气浮组件3的上表面以下位置。当位于玻璃基板的四个方向的滚轮均与玻璃基板的四条边夹紧时，驱动组件5中的一对平行夹臂532方可开始执行夹紧玻璃基板的边缘的动作。当该一对平行夹臂532完成夹紧动作之后，该四个方向上的滚轮可以执行松开动作，从而方便玻璃基板的传送。

本公开还提供一种玻璃基板缺陷检测装置，包括：用于传送待检测的玻璃基板的传送装置；用于照射待检测的玻璃基板的板面的光源；用于对待检测的玻璃基板的板面进行图像采集的图像采集单元；以及用于实时检测待检测的玻璃基板相对于图像采集单元的位置的位移传感器；以及用于控制传送装置、光源、图像采集单元和位移传感器的工作状态的控制器，其中传送装置为上述详细介绍的离线式玻璃基板传送装置。即，上文中所介绍的检测单元可以包括该光源、图像采集单元、位移传感器和控制器等软硬件部分。具体地，该图像采集单元可以为相机，位移传感器可以例如为光栅尺，因此通过光源照射玻璃基板，光可以通过透射、反射等方式进入相机，并在图像采集卡上成像，并通过控制器对图像进行分析，识别出玻璃基板上表面和内部的缺陷，其中通过该位移传感器实时检测出玻璃基板相对于相机的位移，从而便于确定玻璃基板上的缺陷的具体位置。

可选地，将玻璃基板沿玻璃基板的宽度方向平分为N均等区域，并沿玻璃基板的宽度方向从1至N顺次编号，N为偶数，图像采集单元为沿玻璃基板的宽度方向位置可调地设置于玻璃基板上方的N/2个相机，N/2个相机沿玻璃基板的宽度方向对齐设置，并具有第一位置和第二位置，在第一位置，驱动组件夹紧并驱动定位后的玻璃基板沿气浮组件的长度方向向前运动，且N/2个相机分别一一对应地设置于玻璃基板的偶数均等区域的正上方，在第二位置，驱动组件夹紧并驱动玻璃基板沿气浮组件的长度方向向后运动，且N/2个相机分别一一对应地设置于玻璃基板的奇数均等区域的正上方。例如，上述N可以取值为10，这样将玻璃基板沿其宽度方向均分成1均等区域至10均等区域总共10等分，在第一位置时，将5个相机分别设置在2均等区域、4均等区域、6均等区域、8均等区域和10均等区域上对玻璃基板进行摄像。当玻璃基板到达停止位置时，挪动该5个相机的位置，使得在第二位置时，将5个相机分别设置在1均等区域、3均等区域、5均等区域、7均等区域和9均等区域对玻璃基板进行摄像。以此方式，当上游采用机器人手臂在传送装置的同一侧搬入和搬出玻璃基板时，玻璃基板必然要经过往返各一次的传送过程，上述检测单元可以在玻璃基板前进过程中检测整个玻璃基板的二分之一面积，在玻璃基板到达停止位置后，检测单元进行位置切换，在玻璃基板返回过程中，再次检测玻璃基板剩余的二分之一面积，然后通过控制器处理的方式完成整个玻璃基板缺陷的汇总，可大约降低一半所需要的相机镜头以及处理器数量，可大大降低成本。

以上结合附图详细描述了本公开的优选实施方式，但是，本公开并不限于上述实施方式中的具体细节，在本公开的技术构思范围内，可以对本公开的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本公开的保护范围。

另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合，为了避免不必要的重复，本公开对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本公开的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本公开的思想，其同样应当视为本公开所公开的内容。

Claims (17)

1.一种离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，包括机架组件(1)、安装到所述机架组件(1)上的顶升组件(2)、气浮组件(3)、定位组件(4)和驱动组件(5)，所述气浮组件(3)用于气浮所述玻璃基板，所述顶升组件(2)可沿竖直方向升降以具有伸出位置和收纳位置，在所述伸出位置，所述顶升组件(2)在竖直方向凸出于所述气浮组件(3)以承接或承送所述玻璃基板，在所述收纳位置，所述顶升组件(2)在竖直方向不凸出于所述气浮组件(3)以由所述气浮组件(3)浮起所述玻璃基板，所述定位组件(4)用于在传送所述玻璃基板前将所述玻璃基板定位在所述气浮组件(3)上，所述驱动组件(5)用于夹紧并驱动定位后的所述玻璃基板沿所述气浮组件(3)的长度方向往复移动，所述驱动组件(5)包括用于可松开地夹紧所述玻璃基板的长度方向的边部的夹紧结构(50)和用于驱动该夹紧结构(50)沿所述气浮组件(3)的长度方向往复移动的一对线性电机(51)，且该一对线性电机(51)分别布设在所述气浮组件(3)的宽度方向上的两侧，所述线性电机(51)的定子(511)沿所述气浮组件(3)的长度方向延伸且固定到所述机架组件(1)上，所述夹紧结构(50)固定到所述线性电机(51)的动子(512)上，每个线性电机(51)的动子(512)上均固定有可沿所述气浮组件(3)的宽度方向伸缩的第二伸缩件(52)，所述夹紧结构(50)固定到所述第二伸缩件(52)的伸缩端上。

2.根据权利要求1所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述气浮组件(3)包括沿所述玻璃基板的宽度方向间隔设置的多组第一气浮条组(31)，且每组第一气浮条组(31)中的气浮条(30)沿所述玻璃基板的长度方向延伸，所述顶升组件(2)包括可沿竖直方向伸缩的第一伸缩件(21)，固定到所述第一伸缩件(21)的伸缩端上的支撑基座(22)，以及固定到所述支撑基座(22)上且用于滚动支撑所述玻璃基板的多个滚动支撑部(23)，所述多个滚动支撑部(23)均插入到相邻的所述第一气浮条组(31)之间的空隙中，在所述伸出位置，所述多个滚动支撑部(23)均凸出于所述气浮条(30)的上表面，在所述收纳位置，所述多个滚动支撑部(23)均低于所述气浮条(30)的上表面。

3.根据权利要求2所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，在所述伸出位置，所述多个滚动支撑部(23)在水平面上均匀地分散到所述多组第一气浮条组(31)之间的空隙中。

4.根据权利要求3所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述支撑基座(22)具有目字形框架，该目字形框架包括沿所述气浮条(30)的宽度方向等间隔布设且沿所述气浮条(30)的长度方向延伸的四根支撑梁(221)，以及分别连接到所述四根支撑梁(221)的相对两端部的一对连接梁(222)，所述多个滚动支撑部(23)呈矩阵式布设到所述四根支撑梁(221)上，所述多组第一气浮条组(31)沿所述玻璃基板的宽度方向等间隔设置，所述气浮组件(3)还包括沿所述玻璃基板的长度方向等间隔设置的多组第二气浮条组(32)，且每组第二气浮条组(32)中的气浮条(30)沿所述玻璃基板的宽度方向对齐。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述滚动支撑部(23)为钢珠滚轮。

6.根据权利要求2所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第一伸缩件(21)为带导杆气缸。

7.根据权利要求1所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述夹紧结构(50)包括具有一对夹爪(530)的夹爪气缸(53)，以及固定到所述一对夹爪(530)上的一对基板夹(531)，所述一对基板夹(531)相对设置以形成有用于夹持所述玻璃基板的一对平行夹臂(532)。

8.根据权利要求7所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述驱动组件(5)还包括具有竖直板(541)和水平板(542)的L形连接板(54)，且所述水平板(542)位于所述竖直板(541)上方，所述第二伸缩件(52)的伸缩端固定到所述竖直板(541)上，所述夹紧结构(50)固定到所述水平板(542)上。

9.根据权利要求7所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述一对平行夹臂(532)由不发尘材质制成。

10.根据权利要求1所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第二伸缩件(52)为带导杆气缸。

11.根据权利要求1所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述定位组件(4)包括用于在所述气浮组件(3)的长度方向上定位所述玻璃基板的第一定位组件(41)，以及在所述气浮组件(3)的宽度方向上定位所述玻璃基板的第二定位组件(42)。

12.根据权利要求11所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第一定位组件(41)包括可沿所述气浮组件(3)的长度方向伸缩的第一气缸(411)，固定到该第一气缸(411)的伸缩端上且可沿竖直方向伸缩的第二气缸(412)，固定到所述第二气缸(412)的伸缩端上的前滚轮(414)，位于所述第一气缸(411)的后方且可沿所述气浮组件(3)的长度方向伸缩的第三气缸(413)，以及固定到所述第三气缸(413)的伸缩端上的后滚轮(415)，所述前滚轮(414)和所述后滚轮(415)分别用于抵顶所述玻璃基板的前侧边和后侧边。

13.根据权利要求12所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述第二定位组件(42)包括分别位于所述气浮组件(3)的宽度方向两侧的左定位气缸(421)和右定位气缸(422)，以及分别固定到所述左定位气缸(421)和所述右定位气缸(422)的伸缩端上的左滚轮(423)和右滚轮(424)，其中所述左定位气缸(421)和所述右定位气缸(422)均可沿所述气浮组件的宽度方向伸缩，以通过所述左滚轮(423)和右滚轮(424)夹紧所述玻璃基板的左右侧边。

14.根据权利要求13所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述前滚轮(414)、所述后滚轮(415)、所述左滚轮(423)和所述右滚轮(424)均采用不发尘材质制成。

15.根据权利要求13所述的离线式玻璃基板传送装置，其特征在于，所述左定位气缸(421)和右定位气缸(422)分别通过侧向调节板(425)固定到所述机架组件(1)上，所述侧向调节板(425)上形成有沿所述气浮组件(3)的宽度方向延伸的长孔(4250)，紧固件穿过所述长孔(4250)以固定所述侧向调节板(425)和所述机架组件(1)。

16.一种玻璃基板缺陷检测装置，其特征在于，包括：用于传送待检测的玻璃基板的传送装置；用于照射待检测的所述玻璃基板的板面的光源；用于对待检测的所述玻璃基板的板面进行图像采集的图像采集单元；以及用于实时检测待检测的所述玻璃基板相对于所述图像采集单元的位置的位移传感器；以及用于控制所述传送装置、所述光源、所述图像采集单元和所述位移传感器的工作状态的控制器，其中所述传送装置为根据权利要求1-15中任一项所述的离线式玻璃基板传送装置。

17.根据权利要求16所述的玻璃基板缺陷检测装置，其特征在于，将所述玻璃基板沿所述玻璃基板的宽度方向平分为N均等区域，并沿所述玻璃基板的宽度方向从1至N顺次编号，N为偶数，所述图像采集单元为沿所述玻璃基板的宽度方向位置可调地设置于所述玻璃基板上方的N/2个相机，所述N/2个相机沿所述玻璃基板的宽度方向对齐设置，并具有第一位置和第二位置，在所述第一位置，所述驱动组件夹紧并驱动定位后的所述玻璃基板沿所述气浮组件的长度方向向前运动，且所述N/2个相机分别一一对应地设置于所述玻璃基板的偶数均等区域的正上方，在所述第二位置，所述驱动组件夹紧并驱动所述玻璃基板沿所述气浮组件的长度方向向后运动，且所述N/2个相机分别一一对应地设置于所述玻璃基板的奇数均等区域的正上方。