CN106439197B - 模块化总线式电磁阀组的互锁装置 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在电磁阀阀座上的多个电磁阀，互锁装置包括：输入接口，输入接口与总线耦合器相连，以接收总线耦合器传输的电磁阀控制指令；输出接口，输出接口与通过电磁阀阀座与多个电磁阀相连；控制器，控制器用于根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。本发明能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。本发明还提出了一种模块化总线式电磁阀组。

Description

模块化总线式电磁阀组的互锁装置

技术领域

本发明涉及电磁阀互锁技术领域，特别涉及一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置。

背景技术

目前的模块化总线式电磁阀组在实际应用中无法对阀组其中某个电磁阀或某几个电磁阀进行硬件互锁。总线式电磁阀组的供电端口只有两个，分别是控制电源和驱动电源，将模块化总线式电磁阀组的控制电源或驱动电源设定为互锁的执行对象，当互锁的执行条件满足时，将模块化总线式电磁阀组的驱动电源断掉，使阀组中的电磁阀全部进入关断状态。因此，无论是将互锁端连接到控制电源或驱动电源都难以达成目的。

然而，在电磁阀的应用过程中，当现场的实际情况或工艺流程不需要、不允许当互锁条件满足时所有的电磁阀全部关断，只要求关断指定阀组中某个或某几个电磁阀的时候，目前的模块化总线式电磁组的互锁方法就无法满足硬件互锁的需求。

发明内容

本发明旨在至少解决上述技术问题之一。

为此，本发明的一个目的在于提出一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，该互锁装置能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。

本发明的另一个目的在于提出一种模块化总线式电磁阀组。

为了实现上述目的，本发明第一方面的实施例提出了一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，所述模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在所述电磁阀阀座上的多个电磁阀，所述互锁装置包括：输入接口，所述输入接口与所述总线耦合器相连，以接收所述总线耦合器传输的电磁阀控制指令；输出接口，所述输出接口与通过所述电磁阀阀座与所述多个电磁阀相连；控制器，所述控制器用于根据所述电磁阀控制指令从所述多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制所述目标电磁阀进行互锁。

根据本发明实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，通过输入接口接收电磁阀控制指令，根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。因此，该互锁装置能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。

另外，根据本发明上述实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置还可以具有如下附加的技术特征：

在一些示例中，所述控制器还包括：多个常闭触点、互锁输入输出接口和多个互锁继电器，其中，所述多个常闭触点与所述多个互锁继电器一一对应相连；所述多个电磁阀通过所述互锁输入输出接口与所述多个互锁继电器相连，以在满足互锁条件时，向对应于所述目标电磁阀的目标互锁继电器传输互锁信号，以使所述目标互锁继电器的电源接通，以使对应于所述目标互锁继电器的常闭触点断开，以完成所述目标电磁阀的互锁。

在一些示例中，当所述目标互锁继电器处于非工作状态时，对应的常闭触点处于闭合状态，以使对应的所述目标电磁阀的控制回路导通；当所述目标互锁继电器处于工作状态时，对应的常闭触点处于断开状态，以使对应的所述目标电磁阀的控制回路断开。

在一些示例中，当所述目标互锁继电器处于工作状态时，对应的所述目标电磁阀不响应所述电磁阀控制指令。

在一些示例中，所述互锁输入输出接口还用于根据用户输入的状态设置指令将所述目标互锁继电器设置为非工作状态。

在一些示例中，所述电磁阀、所述常闭触点和所述互锁继电器的数量相同。

在一些示例中，所述总线耦合器与上位机相连，以接收所述上位机提供的所述电磁阀控制指令。

为了实现上述目的，本发明第二方面的实施例提出了一种模块化总线式电磁阀组，包括本发明上述实施例所述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置。

根据本发明实施例的模块化总线式电磁阀组，通过互锁装置的输入接口接收电磁阀控制指令，根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。因此，该模块化总线式电磁阀组能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是现有模块化总线式电磁阀组的结构示意图；

图2是根据本发明一个实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置的整体示意图；以及

图3是根据本发明一个实施例的控制器的结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

以下结合附图描述根据本发明实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置及模块化总线式电磁阀组。

图2是根据本发明一个实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置的整体结构示意图。

在描述该互锁装置之前，首先结合图1描述目前的模块化总线式电磁阀组基本结构。如图1所示，目前的模块化总线式电磁阀组包括：总线耦合器1、多个电磁阀4及电磁阀阀座5，其中，多个电磁阀4集成在电磁阀阀座5上。其中，总线耦合器4具有输出接口2，电磁阀阀座5具有输入接口3。总线耦合器1的功能是按照相应的技术规范协议与上位机进行通信，按照上位机的控制指令实现对电磁阀的控制。电磁阀阀座5和电磁阀4是集成一起的，其主要功能是按照总线耦合器1的输出指令和电源通断，来对阀组中各个电磁阀进行开通和关断。基于此，本发明的实施例是在不改变上述电磁阀组的两个单元的内部结构和外形的基础上，新增加一个相对独立的互锁装置。该互锁装置安装的位置介于总线耦合器1与电磁阀阀座5和电磁阀4的集成单元的中间。

基于此，结合图2所示，本发明实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，包括：输入接口110、输出接口120和控制器130。

其中，输入接口110与总线耦合器1相连，以接收总线耦合器1传输的电磁阀控制指令。更为具体地，例如，总线耦合器1的输入接口与外部的上位机相连，用于接收上位机下达的电磁阀控制指令，并传输该电磁阀控制指令。

输出接口120与通过电磁阀阀座5与多个电磁阀4相连。

综上，输入接口110和输出接口120分别用于完成与总线耦合器1和电磁阀阀座5和多个电磁阀4的连接功能。

控制器130用于根据电磁阀控制指令从多个电磁阀4中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。

具体地，在本发明的一个实施例中，结合图3所示，控制器130包括：多个常闭触点131(例如图3中的常闭触点k1至kn)、互锁输入输出接口132和多个互锁继电器133(例如图3中的继电器K1至Kn)。其中，多个常闭触点131与多个互锁继电器133一一对应相连；多个电磁阀4通过互锁输入输出接口132与多个互锁继电器133相连，以在满足互锁条件时，向对应于目标电磁阀的目标互锁继电器传输互锁信号，以使目标互锁继电器的电源接通，从而使对应于目标互锁继电器的常闭触点断开，以完成目标电磁阀的互锁。

综上，控制器130主要用于完成目标电磁阀的互锁功能。其中，通过互锁输入输出接口132完成互锁信号的通信功能。

其中，当目标互锁继电器处于非工作状态时，对应的常闭触点处于闭合状态，以使对应的目标电磁阀的控制回路导通，目标电磁阀处于工作状态；当目标互锁继电器处于工作状态时，对应的常闭触点处于断开状态，以使对应的目标电磁阀的控制回路断开，目标电磁阀实现互锁，不工作。

进一步地，当目标互锁继电器处于工作状态时，对应的目标电磁阀不响应电磁阀控制指令。换言之，当目标互锁继电器处于工作状态下，对应的目标电磁阀的电源回路将断开，此时无论上位机对目标电磁阀控制指令如何，目标电磁阀都会处于停止工作的状态，从而实现硬件互锁的功能。

在本发明的一个实施例中，互锁输入输出接口132还用于根据用户输入的状态设置指令将目标互锁继电器设置为非工作状态。换言之，即互锁输入输出接口132还具有相应的跳线功能，可以根据用户的实际使用条件灵活的将互锁继电器设置在不工作的状态。

在本发明的一个实施例中，例如，电磁阀、常闭触点和互锁继电器的数量相同，即多个电磁阀、多个常闭触点和多个互锁继电器的数量一一对应。例如，图3中包括n个常闭触点(k1至kn)，则相应地应该有n个电磁阀及n个互锁继电器(K1至Kn)。

为了更好地理解本发明实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，以下结合一个具体实施例，以模块化的互锁单元的实际应用进行举例。在本实施例中，以华海清科公司的Universal300系列化学机械抛光机的清洗单元为例。在CMP单元对晶圆进行抛光后要通过清洗单元将晶圆表面的附着物清洗干净，完成抛光。清洗的过程主要是通过清洗液和DIW的刷洗，因此在通过机械手放置晶圆完成后，会通过清洗腔室内部的液路系统向晶圆表面喷洒液体，腔室的外边缘配置了漏液传感器。当箱体发生不明原因的泄露，互锁信号会触发互锁单元将相应对应DIW和清洗液供液的气动阀的电源回路断开，实现硬件互锁功能。因此，使用本发明实施例的互锁装置，可以只对总线式电磁阀组的目标电磁阀个体进行互锁。如果互锁信号关断阀组的电源入口回路，整个阀组所有电磁都会关断，但如果机械手正在取放片，如果此关断相应的电磁阀会造成机械手撞到门上发生碰撞事故，而使用了本发明实施例的互锁装置将会避免此种事故的发生。

综上，根据本发明实施例的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，通过输入接口接收电磁阀控制指令，根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。因此，该互锁装置能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。

本发明的进一步实施例还提出了一种模块化总线式电磁阀组。该模块化总线式电磁阀组包括本发明上述实施例所描述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置。

综上，根据本发明实施例的模块化总线式电磁阀组，通过互锁装置的输入接口接收电磁阀控制指令，根据电磁阀控制指令从多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制目标电磁阀进行互锁。因此，该模块化总线式电磁阀组能按照实际需求对目标电磁阀个体进行互锁，实现了指定电磁阀的互锁功能，从而能够满足不同的工艺需求。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同限定。

Claims (6)

1.一种模块化总线式电磁阀组的互锁装置，其特征在于，所述模块化总线式电磁阀组包括总线耦合器、电磁阀阀座及集成在所述电磁阀阀座上的多个电磁阀，所述互锁装置包括：

输入接口，所述输入接口与所述总线耦合器相连，以接收所述总线耦合器传输的电磁阀控制指令；

输出接口，所述输出接口与通过所述电磁阀阀座与所述多个电磁阀相连；

控制器，所述控制器用于根据所述电磁阀控制指令从所述多个电磁阀中确定目标电磁阀，并控制所述目标电磁阀进行互锁，其中，所述控制器包括多个常闭触点、互锁输入输出接口和多个互锁继电器，所述多个常闭触点与所述多个互锁继电器一一对应相连，所述多个电磁阀通过所述互锁输入输出接口与所述多个互锁继电器相连，以在满足互锁条件时，向对应于所述目标电磁阀的目标互锁继电器传输互锁信号，以使所述目标互锁继电器的电源接通，以使对应于所述目标互锁继电器的常闭触点断开，以完成所述目标电磁阀的互锁，所述互锁输入输出接口用于根据用户输入的状态设置指令将所述目标互锁继电器设置为非工作状态。

2.根据权利要求1所述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，其特征在于，

当所述目标互锁继电器处于非工作状态时，对应的常闭触点处于闭合状态，以使对应的所述目标电磁阀的控制回路导通；

当所述目标互锁继电器处于工作状态时，对应的常闭触点处于断开状态，以使对应的所述目标电磁阀的控制回路断开。

3.根据权利要求2所述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，其特征在于，当所述目标互锁继电器处于工作状态时，对应的所述目标电磁阀不响应所述电磁阀控制指令。

4.根据权利要求1-3任一项所述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，其特征在于，所述电磁阀、所述常闭触点和所述互锁继电器的数量相同。

5.根据权利要求1所述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置，所述总线耦合器与上位机相连，以接收所述上位机提供的所述电磁阀控制指令。

6.一种模块化总线式电磁阀组，其特征在于，包括如权利要求1-5任一项所述的模块化总线式电磁阀组的互锁装置。