CN106405826A - 一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法 - Google Patents
一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106405826A CN106405826A CN201510452630.7A CN201510452630A CN106405826A CN 106405826 A CN106405826 A CN 106405826A CN 201510452630 A CN201510452630 A CN 201510452630A CN 106405826 A CN106405826 A CN 106405826A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- image
- scanning
- galvanometer
- eyeglass
- imaging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
Claims (10)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510452630.7A CN106405826B (zh) | 2015-07-29 | 2015-07-29 | 一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201510452630.7A CN106405826B (zh) | 2015-07-29 | 2015-07-29 | 一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106405826A true CN106405826A (zh) | 2017-02-15 |
| CN106405826B CN106405826B (zh) | 2019-04-19 |
Family
ID=58009028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201510452630.7A Active CN106405826B (zh) | 2015-07-29 | 2015-07-29 | 一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106405826B (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108672921A (zh) * | 2018-06-30 | 2018-10-19 | 东莞市镭达激光智能科技有限公司 | 一种透振镜片真同轴成像系统及其操作方法 |
| CN109363767A (zh) * | 2018-09-22 | 2019-02-22 | 上海市激光技术研究所 | 一种激光输出装置及调整方法 |
| CN109525762A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-03-26 | 深圳英微智能科技有限公司 | 大幅面图像获取方法及设备 |
| CN110691968A (zh) * | 2017-06-02 | 2020-01-14 | 浜松光子学株式会社 | 半导体检查装置 |
| CN108007365B (zh) * | 2017-11-21 | 2020-02-11 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 三维测量系统及使用方法 |
| CN111854632A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-30 | 新拓三维技术(深圳)有限公司 | 一种高速运动物体的图像测量方法及计算机可读存储介质 |
| CN113520594A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-10-22 | 浙江大学 | 一种双光路3d成像模组的装配方法 |
| CN114760403A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-07-15 | 中国科学技术大学 | 一种图像获取系统和方法 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101733556A (zh) * | 2009-12-25 | 2010-06-16 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种激光切割机 |
| CN201721134U (zh) * | 2010-06-04 | 2011-01-26 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 近波长同轴定位激光打标系统 |
| CN201784258U (zh) * | 2010-05-28 | 2011-04-06 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种ccd图像传感器定位打标系统 |
| CN103128450A (zh) * | 2013-02-19 | 2013-06-05 | 深圳市海目星激光科技有限公司 | 一种紫外激光加工装置 |
| CN204054955U (zh) * | 2014-05-08 | 2014-12-31 | 佛山市联动科技实业有限公司 | 带检测的激光打标机 |
| CN204075508U (zh) * | 2014-08-27 | 2015-01-07 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种具有监视功能的激光加工头 |
| CN104469112A (zh) * | 2014-12-01 | 2015-03-25 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 大视场的成像方法及装置 |
| WO2015070964A1 (de) * | 2013-11-14 | 2015-05-21 | Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum erzeugen dynamischer scannerfiguren zum bearbeiten eines werkstücks |
| KR20150057522A (ko) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 한국기계연구원 | 연속적인 롤 패터닝이 가능한 레이저 가공시스템 및 레이저 가공방법 |
-
2015
- 2015-07-29 CN CN201510452630.7A patent/CN106405826B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101733556A (zh) * | 2009-12-25 | 2010-06-16 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种激光切割机 |
| CN201784258U (zh) * | 2010-05-28 | 2011-04-06 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种ccd图像传感器定位打标系统 |
| CN201721134U (zh) * | 2010-06-04 | 2011-01-26 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 近波长同轴定位激光打标系统 |
| CN103128450A (zh) * | 2013-02-19 | 2013-06-05 | 深圳市海目星激光科技有限公司 | 一种紫外激光加工装置 |
| WO2015070964A1 (de) * | 2013-11-14 | 2015-05-21 | Jenoptik Automatisierungstechnik Gmbh | Verfahren und vorrichtung zum erzeugen dynamischer scannerfiguren zum bearbeiten eines werkstücks |
| KR20150057522A (ko) * | 2013-11-19 | 2015-05-28 | 한국기계연구원 | 연속적인 롤 패터닝이 가능한 레이저 가공시스템 및 레이저 가공방법 |
| CN204054955U (zh) * | 2014-05-08 | 2014-12-31 | 佛山市联动科技实业有限公司 | 带检测的激光打标机 |
| CN204075508U (zh) * | 2014-08-27 | 2015-01-07 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种具有监视功能的激光加工头 |
| CN104469112A (zh) * | 2014-12-01 | 2015-03-25 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 大视场的成像方法及装置 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 晏恒峰: "《基于机器视觉的激光振镜扫描系统研究》", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》 * |
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11209476B2 (en) | 2017-06-02 | 2021-12-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor inspection device |
| EP4414694A3 (en) * | 2017-06-02 | 2024-11-13 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor inspection device |
| TWI831288B (zh) * | 2017-06-02 | 2024-02-01 | 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 | 半導體檢查裝置 |
| CN110691968A (zh) * | 2017-06-02 | 2020-01-14 | 浜松光子学株式会社 | 半导体检查装置 |
| US11714120B2 (en) | 2017-06-02 | 2023-08-01 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor inspection device |
| CN115326827A (zh) * | 2017-06-02 | 2022-11-11 | 浜松光子学株式会社 | 半导体检查装置 |
| EP3633355A4 (en) * | 2017-06-02 | 2021-03-31 | Hamamatsu Photonics K.K. | Semiconductor inspection device |
| CN110691968B (zh) * | 2017-06-02 | 2022-08-26 | 浜松光子学株式会社 | 半导体检查装置 |
| TWI769229B (zh) * | 2017-06-02 | 2022-07-01 | 日商濱松赫德尼古斯股份有限公司 | 半導體檢查裝置 |
| CN108007365B (zh) * | 2017-11-21 | 2020-02-11 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 三维测量系统及使用方法 |
| CN108672921A (zh) * | 2018-06-30 | 2018-10-19 | 东莞市镭达激光智能科技有限公司 | 一种透振镜片真同轴成像系统及其操作方法 |
| CN109363767B (zh) * | 2018-09-22 | 2024-03-29 | 上海市激光技术研究所有限公司 | 一种激光输出装置及调整方法 |
| CN109363767A (zh) * | 2018-09-22 | 2019-02-22 | 上海市激光技术研究所 | 一种激光输出装置及调整方法 |
| CN109525762A (zh) * | 2018-12-05 | 2019-03-26 | 深圳英微智能科技有限公司 | 大幅面图像获取方法及设备 |
| CN111854632B (zh) * | 2020-06-22 | 2021-12-14 | 新拓三维技术(深圳)有限公司 | 一种高速运动物体的图像测量方法及计算机可读存储介质 |
| CN111854632A (zh) * | 2020-06-22 | 2020-10-30 | 新拓三维技术(深圳)有限公司 | 一种高速运动物体的图像测量方法及计算机可读存储介质 |
| CN113520594A (zh) * | 2021-05-31 | 2021-10-22 | 浙江大学 | 一种双光路3d成像模组的装配方法 |
| CN113520594B (zh) * | 2021-05-31 | 2023-08-08 | 浙江大学 | 一种双光路3d成像模组的装配方法 |
| CN114760403A (zh) * | 2022-04-21 | 2022-07-15 | 中国科学技术大学 | 一种图像获取系统和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106405826B (zh) | 2019-04-19 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106405826A (zh) | 一种双光路成像的振镜扫描系统及扫描方法 | |
| CN104439695B (zh) | 一种激光加工系统的视觉检测装置 | |
| CN103728315B (zh) | 大口径元件表面检测装置及相应的损伤快速定位方法 | |
| CN110404816B (zh) | 一种基于机械臂的3d曲面玻璃缺陷检测装置及方法 | |
| CN104469112A (zh) | 大视场的成像方法及装置 | |
| JP2012132910A (ja) | 構造化照明を用いるエッジ検出 | |
| CN107517374A (zh) | 一种线阵相机视场的确定方法及装置 | |
| JP6368766B2 (ja) | 対象物の自動アライメント方法及びその自動アライメント検出装置 | |
| CN221426486U (zh) | 一种透明半透明晶圆瑕疵检测设备 | |
| CN114136975A (zh) | 一种微波裸芯片表面缺陷智能检测系统和方法 | |
| CN110082360A (zh) | 一种基于阵列相机的序列光学元件表面缺陷在线检测装置及方法 | |
| CN114113135A (zh) | 一种区分玻璃盖板上下表面异物缺陷的方法 | |
| CN110097540A (zh) | 多边形工件的视觉检测方法及装置 | |
| JP6590429B1 (ja) | 共焦点顕微鏡、及びその撮像方法 | |
| CN118882520A (zh) | 一种大口径曲面光学元件表面缺陷三维检测装置及方法 | |
| CN111912854A (zh) | 基于振镜快速扫描的大面积表面缺陷光学检测系统及方法 | |
| US12013525B2 (en) | Magnified observation apparatus | |
| CN110441331B (zh) | 玻璃光畸变检测系统及方法 | |
| JP6508763B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| CN113066736A (zh) | 一种高精度、大幅面和高通量六维度晶圆检测系统 | |
| JP2002303581A (ja) | パネル検査装置及びパネル検査方法 | |
| CN116309864B (zh) | 一种短波红外双相机标定装置及标定方法 | |
| JP2014222221A (ja) | 発光体の検査装置 | |
| JP7161877B2 (ja) | レンズ特性測定装置及びレンズ特性測定装置の作動方法 | |
| CN112378853A (zh) | 一种机械零件表面缺陷的检测装置、检测方法及相关装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| TA01 | Transfer of patent application right | ||
| TA01 | Transfer of patent application right |
Effective date of registration: 20180511 Address after: 518000 9 new West Road, North Nanshan District high tech park, Shenzhen, Guangdong Applicant after: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd. Applicant after: SHENZHEN HAN'S SCANNER S&T Co.,Ltd. Address before: 518000 9 new West Road, North Nanshan District high tech park, Shenzhen, Guangdong Applicant before: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd. Applicant before: SHENZHEN HAN'S MOTOR S&T Co.,Ltd. |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231128 Address after: 518000 Building 401, Building 4, Chongqing Road, Han's Laser Industrial Park, Heping Community, Fuyong Street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: SHENZHEN HAN'S SCANNER S&T Co.,Ltd. Address before: 518000 9 new West Road, North Nanshan District high tech park, Shenzhen, Guangdong Patentee before: HAN'S LASER TECHNOLOGY INDUSTRY GROUP Co.,Ltd. Patentee before: SHENZHEN HAN'S SCANNER S&T Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 518000 Building 401, Building 4, Chongqing Road, Han's Laser Industrial Park, Heping Community, Fuyong Street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: Shenzhen SITE Optical Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 518000 Building 401, Building 4, Chongqing Road, Han's Laser Industrial Park, Heping Community, Fuyong Street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: SHENZHEN HAN'S SCANNER S&T Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 518000 Guangdong Province, Shenzhen City, Bao'an District, Xixiang Street, Tiegang Community, Tao Hua Yuan Science and Technology Innovation Ecological Park, Building B2, Building B10, Building B9, 3rd Floor Patentee after: Shenzhen SITE Optical Technology Co.,Ltd. Country or region after: China Address before: 518000 Building 401, Building 4, Chongqing Road, Han's Laser Industrial Park, Heping Community, Fuyong Street, Bao'an District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: Shenzhen SITE Optical Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |
|
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: 518000Guangdong ProvinceShenzhen CityBao'an DistrictXixiang StreetTiegang CommunityTaohuayuan Science and Technology Innovation Ecological Park1st Floor of Building B2Building B2Building B103rd Floor of Building B9 Patentee after: Shenzhen Sito Optics Technology Co., Ltd. Country or region after: China Address before: 518000 Guangdong Province, Shenzhen City, Bao'an District, Xixiang Street, Tiegang Community, Tao Hua Yuan Science and Technology Innovation Ecological Park, Building B2, Building B10, Building B9, 3rd Floor Patentee before: Shenzhen SITE Optical Technology Co.,Ltd. Country or region before: China |