[go: up one dir, main page]

CN106312567B - 具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法 - Google Patents

具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106312567B
CN106312567B CN201610739003.6A CN201610739003A CN106312567B CN 106312567 B CN106312567 B CN 106312567B CN 201610739003 A CN201610739003 A CN 201610739003A CN 106312567 B CN106312567 B CN 106312567B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
slide unit
unit
lens
work surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610739003.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106312567A (zh
Inventor
于化东
王志超
许金凯
于占江
廉中旭
张向辉
徐哲
杜强
于文川
任增辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun University of Science and Technology
Original Assignee
Changchun University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun University of Science and Technology filed Critical Changchun University of Science and Technology
Priority to CN201610739003.6A priority Critical patent/CN106312567B/zh
Publication of CN106312567A publication Critical patent/CN106312567A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106312567B publication Critical patent/CN106312567B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23PMETAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P23/00Machines or arrangements of machines for performing specified combinations of different metal-working operations not covered by a single other subclass
    • B23P23/04Machines or arrangements of machines for performing specified combinations of different metal-working operations not covered by a single other subclass for both machining and other metal-working operations
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23KSOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K26/00Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
    • B23K26/02Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
    • B23K26/04Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
    • B23K26/046Automatically focusing the laser beam

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)

Abstract

具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法属于机械加工设备技术领域,目的在于解决现有技术存在的激光辅助微切削过程中不能实时监测待加工表面的高度变化的问题。本发明的运动单元、激光辅助加工单元安装在减震平台上,光学自动跟随单元设置在激光辅助加工上;光学自动跟随单元包括透镜A、透镜B和线阵CCD传感器;激光辅助加工单元中的激光光源发出的激光经透镜A照射到待加工表面,经待加工表面反射的激光光束透过透镜B聚焦于线阵CCD传感器;待加工表面安装在运动单元上,计算机控制单元根据线阵CCD传感器反馈的激光作用距离通过运动单元实时调节待加工表面在X向、Y向和Z向的位移。

Description

具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法
技术领域
本发明属于机械加工设备技术领域,具体涉及一种具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法。
背景技术
随着航空航天、国防工业、微电子工业的发展,对精密三维复杂微小结构件的需求日益迫切,在使用功能、材料特性、结构形状、可靠性、互换性等方面的要求也越来越高;为保证系统在高过载、高速度、高旋转等严酷环境下的高安全可靠性,大量应用具有强度高、重量轻、高韧性、高延展性及耐损伤特性的材料(MMC)加工微小型薄壁腔体、曲面体等复杂、异形、集成结构,但加工难度增大,激光辅助微切削技术是目前解决难加工材料加工的一种高效的加工方法。激光辅助切削是通过激光光斑与材料的相互作用,在材料被微切削刀具去除前改变其性能,使其屈服极限降低到断裂韧度以下,在微切削刀具作用下产生粘塑性流动。从而减小切削力,提高刀具耐用度和寿命、改变切屑形态,减小振动,减少表面裂纹,提高表面加工质量。
Jonathan A.Shelton等人[14,15]用100μm直径立铣刀对Ti6Al4V、AISI 422、AISI316和Inconel 718等材料进行激光辅助微铣削试验,分析了激光辅助微铣削对加工表面光洁度及边缘毛刺的影响。在激光辅助微切削试验验证方面,Ramesh Singh等人[16,37,38]应用统计分析的方法对激光辅助微细沟槽微铣削工艺进行优化研究,改进的统计模型有效地消除了对已加工表面的热影响,并使切削力降低,试验结果证明了通过激光辅助加热可提高切槽深度的准确度。melkote等人[39]使用TiAlN涂层硬质合金立铣刀对硬度为62HRC硬化A2工具钢进行了激光辅助微铣削开槽测试实验,实验结果表明:应用激光辅助微铣削可降低刀具磨损和表面粗糙度、提高切削速度和槽深准确性。
在上述激光辅助微切削实验中未全面考虑到材料微结构的影响,而微切削中切削厚度在0.1-200μm之间,增强体和基体晶粒尺寸一般在0.1-100μm的尺度,和刀具刃口钝圆半径在尺寸上相当,切屑的形成机理和材料变形机制必然与激光温度场、增强体和基体晶粒大小、分布以及取向密切相关。因此,对于难加工材料激光辅助微细切削过程,应通过分析激光温度场、增强体和基体晶粒大小、分布、取向及增强体-基体晶界效应对激光辅助微切削过程中表面层微观缺陷形成的影响,研究表面层微观缺陷形成及演化机制,才能深入、全面分析难加工材料激光辅助微切削过程物理本质。铣削加工过程中,材料的去除过程比正交切削的过程更为复杂。在研究难加工材料激光辅助微切削机理时,应用正交微切削实验方法能将复杂的铣削过程优化为简单的一维正交切削过程,研究人员可建立与实际切削过程接近的切削模型。由于激光辅助加工中需要考虑激光与材料的作用距离所产生的影响,尤其是在微切削加工过程中,加工量在0.1-200μm范围,工件被切削得实际切削厚度与加工指令给定的切削厚度存在差异,所以需要对激光的作用距离进行精确测量与控制。目前,大部分研究人员都是直接将激光光源与传统的铣床或车床进行复合,在整个加工系统中,不能实时监测待加工表面的高度变化。
发明内容
本发明的目的在于提出一种具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法,解决现有技术存在的激光辅助微切削过程中不能实时监测待加工表面的高度变化的问题,实现待加工表面实时跟随设定好的激光作用距离。
为实现上述目的,本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置包括减震平台、运动单元、激光辅助加工单元、光学自动跟随单元和计算机控制单元;
所述运动单元安装在所述减震平台上,激光辅助加工单元的龙门支撑架固定在所述减震平台上,所述光学自动跟随单元设置在所述激光辅助加工单元的龙门支撑架上;
所述光学自动跟随单元包括透镜A、透镜B和线阵CCD传感器;激光辅助加工单元中的激光光源发出的激光经透镜A照射到待加工表面上刀具沿进给方向的前端,经待加工表面反射的激光光束透过透镜B聚焦于线阵CCD传感器,所述线阵CCD传感器和所述计算机控制单元连接;
所述待加工表面安装在运动单元上,计算机控制单元根据线阵CCD传感器反馈的激光作用距离通过运动单元实时调节待加工表面在X向、Y向和Z向的位移。
所述运动单元包括X向滑台、Y向滑台、Z向滑台和工件夹具;所述Z向滑台固定在减震平台上,所述Y向滑台固定在Z向滑台上;X向滑台固定在Y向滑台上,工件夹具固定在X向滑台上;所述X向滑台使用直线电机驱动,所述Y向滑台和Z向滑台使用伺服电机驱动;Z向滑台为大行程滑台,计算机控制单元控制X向滑台、Y向滑台和Z向滑台运动。
所述激光辅助加工单元还包括安装支架、切削刀具和力传感器;激光光源通过安装支架安装在龙门支撑架横梁顶端;激光光源轴线安装在切削刀具沿进给方向的前端并垂直于X向滑台台面,所述切削刀具安装在力传感器上,切削刀具的主切削刃垂直于待加工表面进给方向。
所述激光光源轴线与透镜A轴线一致。
基于具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置的微切削方法包括以下步骤:
步骤一:调整微切削装置,将待加工表面通过工件夹具夹紧;
步骤二:调整透镜A和待加工表面的作用距离为L;
步骤三:计算机控制单元控制运动单元带动待加工表面进行做正交运动,实现正交切削;
步骤四:激光光源发出的激光光束经透镜A照射到待加工表面,经待加工表面反射的激光光束经透镜B聚焦于线阵CCD传感器;
步骤五,实时判断激光在线阵CCD传感器的像面上是否有位移,若是,则执行步骤六,若否,则执行步骤八;
步骤六,计算机控制单元根据激光在线阵CCD传感器的像面上形成的位移d'通过公式(1)计算得到待加工表面在Y方向的运动距离d:
其中:a为激光入射光轴和反射光轴的交点到透镜B前主面的距离;
b为透镜B后主面到线阵CCD传感器像面中心点的距离;
θ1为激光入射光轴和反射光轴的夹角;
θ2为激光反射光轴和线阵CCD传感器像面的夹角;
整理得到待加工表面在Y方向的运动距离d:
步骤七:计算机控制单元根据步骤六中获得的待加工表面在Y方向的运动距离d驱动Y向滑台运动,使待加工表面与透镜A的距离为L;
步骤八:切削刀具继续对待加工表面进行加工;
步骤九:重复步骤五到步骤八直到加工完成。
本发明的有益效果为:本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法,通过激光与材料的相互作用,在材料被微切削刀具去除前改变其性能,使其屈服极限降低到断裂韧度以下,在微切削刀具作用下产生粘塑性流动。从而减小切削力,提高刀具耐用度和寿命、改变切屑形态,减小振动,减少表面裂纹,提高表面加工质量。另外,本发明的光学自动跟随单元将激光同时用于工件位置反馈中,实时监测待加工表面的高度变化。激光除了起到对工件的加热作用,还起到工件位置反馈作用,本发明的光学自动跟随单元直接采用现有激光辅助加工中的激光光源作为光源,节省了成本,另外,为了实现更高精度的微切削加工,需要考虑不同材料的理论切深与实际切深所存在的差别,这一差别可以通过对加工后表面高度的变化进行测量得到,并对这一差别进行补偿实现精密微切削。由于现有激光辅助加工中的激光光源本身安装的特性,本发明的测量光路垂直于加工表面安装,精确测量的同时不会与加工装置发生干涉,高度集成了测量与加工装置。保证了位置反馈的精度;本发明提供了一种更为精确的方法实现工件表面的自动跟随,解决了激光辅助切削过程中,工件表面高度不能精确测量的问题,提高了加工精度。
附图说明
图1为本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置结构示意图;
图2为本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置中光学自动跟随光路图;
图3为本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置中光学自动跟随原理图;
图4为本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削方法流程图;
其中:1、减震平台,2、Z向滑台,3、Y向滑台,4、X向滑台,5、工件夹具,6、切削刀具,7、力传感器,8、激光光源,9、安装支架,10、透镜A,11、线阵CCD传感器,12、透镜B,13、龙门支撑架。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的实施方式作进一步说明。
参见附图1,本发明的具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置包括减震平台1、运动单元、激光辅助加工单元、光学自动跟随单元和计算机控制单元;
所述运动单元安装在所述减震平台1上,激光辅助加工单元的龙门支撑架13固定在所述减震平台1上,所述光学自动跟随单元设置在所述激光辅助加工单元的龙门支撑架13上;
所述光学自动跟随单元包括透镜A10、透镜B12和线阵CCD传感器11;激光辅助加工单元中的激光光源8发出的激光经透镜A10照射到待加工表面上刀具沿进给方向的前端,经待加工表面反射的激光光束透过透镜B12聚焦于线阵CCD传感器11,所述线阵CCD传感器11和所述计算机控制单元连接;
所述待加工表面安装在运动单元上,计算机控制单元根据线阵CCD传感器11反馈的激光作用距离通过运动单元实时调节待加工表面在X向、Y向和Z向的位移。
所述运动单元包括X向滑台4、Y向滑台3、Z向滑台2和工件夹具5;所述Z向滑台2固定在减震平台1上,所述Y向滑台3固定在Z向滑台2上;X向滑台4固定在Y向滑台3上,工件夹具5固定在X向滑台4上;所述X向滑台4使用直线电机驱动,所述Y向滑台3和Z向滑台2使用伺服电机驱动;Z向滑台2为大行程滑台,计算机控制单元控制X向滑台4、Y向滑台3和Z向滑台2运动。由于静态负载最小,使用直线滑台可以实现正交切削中的高速进给;使用工件夹具5便于工件的快速装卸。
所述激光辅助加工单元还包括安装支架9、切削刀具6和力传感器7;激光光源8通过安装支架9安装在龙门支撑架13横梁顶端;激光光源8轴线安装在切削刀具6沿进给方向的前端并垂直于X向滑台4台面,所述切削刀具6安装在力传感器7上,切削刀具6的主切削刃垂直于待加工表面进给方向,所述激光辅助加工单元位置固定,运动单元带动工件完成进给,实现激光辅助正交切削。
所述激光光源8轴线与透镜A10轴线一致,激光光源8垂直入射透镜形成高能激光束作用于待加工表面。
参见附图2,光学自动跟随单元光路使用激光辅助加工单元中的激光光源8,通过线阵CCD传感器11采集工件表面返回的激光位置并计算光路中光程差变化量,激光辅助正交微切削过程中,在切削刀具6切入工件前,激光光源8通过透镜A10作用在待加工表面,切削刀具6切削刃与激光光源8光轴的距离不变,在加工之前设定完毕,作用时间取决于切削刀具6切削刃与激光光源8光轴的距离以及工件的进给速度,同时通过光学自动跟随单元反馈的光程差变化量,即激光作用距离的变化,调整工件的高度,保证工件始终在设定的激光作用距离下被加工;所述计算机控制单元通过数控系统控制运动单元的进给与激光作用达到同步。
参见附图3和附图4,基于具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置的微切削方法包括以下步骤:
步骤一:调整微切削装置,将待加工表面通过工件夹具5夹紧;
步骤二:调整透镜A10和待加工表面的作用距离为L;
步骤三:计算机控制单元控制运动单元带动待加工表面进行做正交运动,实现正交切削;
步骤四:激光光源8发出的激光光束经透镜A10照射到待加工表面,经待加工表面反射的激光光束经透镜B12聚焦于线阵CCD传感器11;
步骤五,实时判断激光在线阵CCD传感器11的像面上是否有位移,若是,则执行步骤六,若否,则执行步骤八;
步骤六,计算机控制单元根据激光在线阵CCD传感器11的像面上形成的位移d'通过公式(1)计算得到待加工表面在Y方向的运动距离d:
其中:a为激光入射光轴和反射光轴的交点到透镜B12前主面的距离;
b为透镜B12后主面到线阵CCD传感器11像面中心点的距离;
θ1为激光入射光轴和反射光轴的夹角;
θ2为激光反射光轴和线阵CCD传感器11像面的夹角;
整理得到待加工表面在Y方向的运动距离d:
步骤七:计算机控制单元根据步骤六中获得的待加工表面在Y方向的运动距离d驱动Y向滑台3运动,使待加工表面与透镜A10的距离为L;
步骤八:切削刀具6继续对待加工表面进行加工;
步骤九:重复步骤五到步骤八直到加工完成。

Claims (4)

1.具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置的微切削方法,其特征在于,
具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置包括减震平台(1)、运动单元、激光辅助加工单元和计算机控制单元;
所述运动单元安装在所述减震平台(1)上,激光辅助加工单元的龙门支撑架(13)固定在所述减震平台(1)上;
还包括光学自动跟随单元,所述光学自动跟随单元设置在所述激光辅助加工单元的龙门支撑架(13)上;所述光学自动跟随单元包括透镜A(10)、透镜B(12)和线阵CCD传感器(11);激光辅助加工单元中的激光光源(8)发出的激光经透镜A(10)照射到待加工表面上刀具沿进给方向的前端,经待加工表面反射的激光光束透过透镜B(12)聚焦于线阵CCD传感器(11),所述线阵CCD传感器(11)和所述计算机控制单元连接;
所述待加工表面安装在运动单元上,计算机控制单元根据线阵CCD传感器(11)反馈的激光作用距离通过运动单元实时调节待加工表面在X向、Y向和Z向的位移;
所述的微切削方法包括以下步骤:
步骤一:调整微切削装置,将待加工表面通过工件夹具(5)夹紧;
步骤二:调整透镜A(10)和待加工表面的作用距离为L;
步骤三:计算机控制单元控制运动单元带动待加工表面进行做正交运动,实现正交切削;
步骤四:激光光源(8)发出的激光光束经透镜A(10)照射到待加工表面,经待加工表面反射的激光光束经透镜B(12)聚焦于线阵CCD传感器(11);
步骤五,实时判断激光在线阵CCD传感器(11)的像面上是否有位移,若是,则执行步骤六,若否,则执行步骤八;
步骤六,计算机控制单元根据激光在线阵CCD传感器(11)的像面上形成的位移d'通过公式(1)计算得到待加工表面在Y方向的运动距离d:
(1)
其中:a为激光入射光轴和反射光轴的交点到透镜B(12)前主面的距离;
b为透镜B(12)后主面到线阵CCD传感器(11)像面中心点的距离;
θ1为激光入射光轴和反射光轴的夹角;
θ2为激光反射光轴和线阵CCD传感器(11)像面的夹角;
整理得到待加工表面在Y方向的运动距离d:
(2);
步骤七:计算机控制单元根据步骤六中获得的待加工表面在Y方向的运动距离d驱动Y向滑台(3)运动,使待加工表面与透镜A(10)的距离为L;
步骤八:切削刀具(6)继续对待加工表面进行加工;
步骤九:重复步骤五到步骤八直到加工完成。
2.根据权利要求1所述的微切削方法,其特征在于,所述运动单元包括X向滑台(4)、Y向滑台(3)、Z向滑台(2)和工件夹具(5);所述Z向滑台(2)固定在减震平台(1)上,所述Y向滑台(3)固定在Z向滑台(2)上;X向滑台(4)固定在Y向滑台(3)上,工件夹具(5)固定在X向滑台(4)上;所述X向滑台(4)使用直线电机驱动,所述Y向滑台(3)和Z向滑台(2)使用伺服电机驱动;Z向滑台(2)为大行程滑台,计算机控制单元控制X向滑台(4)、Y向滑台(3)和Z向滑台(2)运动。
3.根据权利要求2所述的微切削方法,其特征在于,所述激光辅助加工单元还包括安装支架(9)、切削刀具(6)和力传感器(7);激光光源(8)通过安装支架(9)安装在龙门支撑架(13)横梁顶端;激光光源(8)轴线安装在切削刀具(6)沿进给方向的前端并垂直于X向滑台(4)台面,所述切削刀具(6)安装在力传感器(7)上,切削刀具(6)的主切削刃垂直于待加工表面进给方向。
4.根据以上任意一项权利要求所述的微切削方法,其特征在于,所述激光光源(8)轴线与透镜A(10)轴线一致。
CN201610739003.6A 2016-08-26 2016-08-26 具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法 Active CN106312567B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610739003.6A CN106312567B (zh) 2016-08-26 2016-08-26 具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610739003.6A CN106312567B (zh) 2016-08-26 2016-08-26 具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106312567A CN106312567A (zh) 2017-01-11
CN106312567B true CN106312567B (zh) 2019-04-12

Family

ID=57791527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610739003.6A Active CN106312567B (zh) 2016-08-26 2016-08-26 具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106312567B (zh)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10618131B2 (en) 2014-06-05 2020-04-14 Nlight, Inc. Laser patterning skew correction
WO2017091505A1 (en) 2015-11-23 2017-06-01 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
US11179807B2 (en) 2015-11-23 2021-11-23 Nlight, Inc. Fine-scale temporal control for laser material processing
JP7186695B2 (ja) 2016-09-29 2022-12-09 エヌライト,インコーポレーテッド 調節可能なビーム特性
EP3607389B1 (en) 2017-04-04 2023-06-07 Nlight, Inc. Optical fiducial generation for galvanometric scanner calibration
CN107181931B (zh) * 2017-05-15 2019-10-25 华中科技大学 一种用于正交车削和铣削过程高速成像的拍摄系统
CN107014323B (zh) * 2017-06-06 2023-02-03 富加宜连接器(东莞)有限公司 一种点激光共面度测试装置及其方法
CN107363552B (zh) * 2017-07-04 2019-04-02 南京航空航天大学 一种激光诱导氧化辅助微细车削加工装置及其方法
CN108287067B (zh) * 2018-01-15 2020-02-14 大连交通大学 一种振动切削冲击落刀试验装置及其工作方法
CN112041651A (zh) * 2018-03-27 2020-12-04 深圳市柔宇科技股份有限公司 激光束焦点的检测平台、系统及方法
CN108838889B (zh) * 2018-06-25 2023-06-30 广东工贸职业技术学院 一种硬脆自由曲面磨削装置及磨削方法
CN109500604B (zh) * 2018-12-06 2020-08-11 哈尔滨工业大学 五维手动位移平台、含有五维手动位移平台的车削辅助系统及车削辅助系统的调试方法
CN110421351B (zh) * 2019-08-27 2021-06-29 哈尔滨理工大学 用于车铣复合机床的激光加热自动监测系统及监测方法
CN112317963A (zh) * 2020-10-21 2021-02-05 长春理工大学 飞秒激光复合快速刀具伺服正交切削装置及方法
CN113305571B (zh) * 2021-06-24 2023-04-14 长春理工大学 超声振动辅助激光调控磨削与在线修整装置及方法
CN113618242A (zh) * 2021-08-23 2021-11-09 东风柳州汽车有限公司 用于标准试板或样件的激光远程对焦的区域自动焊接装置
CN113857653B (zh) * 2021-12-03 2022-02-18 太原理工大学 一种超声辅助激光的表面改性装置
CN115846880B (zh) * 2022-12-26 2024-11-26 西安中科微精光子科技股份有限公司 一种半球工件的激光抛光方法、系统及计算机存储介质
CN116423073A (zh) * 2023-04-12 2023-07-14 北京石油化工学院 一种倒置加工装置及航空叶片加工方法
CN116944928A (zh) * 2023-07-31 2023-10-27 大连理工大学 一种多级自适应调节的随动辅助装夹方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202240152U (zh) * 2011-09-05 2012-05-30 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 激光加工中实时监测焦点位置的装置
CN202726319U (zh) * 2012-08-21 2013-02-13 武汉先河激光技术有限公司 一种银浆激光蚀刻机
CN203751530U (zh) * 2013-12-25 2014-08-06 武汉高能激光设备制造有限公司 一种可自动跟焦的激光切割总成
CN203778968U (zh) * 2014-04-02 2014-08-20 温州大学 一种聚焦镜旋转的激光刻蚀加工光路系统
CN104907704A (zh) * 2014-04-02 2015-09-16 温州大学 一种变焦距激光精密加工深槽深孔装置
CN105252144A (zh) * 2014-07-17 2016-01-20 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种高精度激光随动切割头及其监测和自动寻焦方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN202240152U (zh) * 2011-09-05 2012-05-30 中科中涵激光设备(福建)股份有限公司 激光加工中实时监测焦点位置的装置
CN202726319U (zh) * 2012-08-21 2013-02-13 武汉先河激光技术有限公司 一种银浆激光蚀刻机
CN203751530U (zh) * 2013-12-25 2014-08-06 武汉高能激光设备制造有限公司 一种可自动跟焦的激光切割总成
CN203778968U (zh) * 2014-04-02 2014-08-20 温州大学 一种聚焦镜旋转的激光刻蚀加工光路系统
CN104907704A (zh) * 2014-04-02 2015-09-16 温州大学 一种变焦距激光精密加工深槽深孔装置
CN105252144A (zh) * 2014-07-17 2016-01-20 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种高精度激光随动切割头及其监测和自动寻焦方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106312567A (zh) 2017-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106312567B (zh) 具有激光焦点自动跟随的激光辅助正交微切削装置及方法
CN108890138B (zh) 一种用于陶瓷基复合材料的超快激光抛光加工方法
CN106903434B (zh) 一种微型车刀表面织构的制造装置及制造方法
CN101508025B (zh) 一种非球面光学元件轴对称自由曲面的加工控制方法
US10549382B2 (en) Laser-assisted micromachining systems and methods
US20170361400A1 (en) Initial distance approach for laser processing
Lin et al. Development of a non-resonant 3D elliptical vibration cutting apparatus for diamond turning
CN107344251A (zh) 蒙皮加工的镜像铣削方法与系统
JP2012192503A (ja) 超精密複合加工装置および超精密複合加工方法
CN210387968U (zh) 激光切割设备
CN111421250B (zh) 一种半导体晶圆激光切割机
CN114101898A (zh) 一种激光加工装置
CN104932426A (zh) 声发射飞刀切削微结构对刀装置及方法
CN104942652B (zh) 激光衍射在线对刀检刀系统及方法
CN105136600A (zh) 提高碳纤维复合材料直角切削实验精度的方法
CN119347562B (zh) 一种硬脆材料大深径比小孔激光铣削-精密磨削工艺及其装置
CN213827472U (zh) 一种激光车削加工机床
CN112519016A (zh) 一种切削装置及其使用方法
CN114131345A (zh) 车铣复合加工检测一体装备及其使用方法
CN103586986B (zh) 一种具有微刀具监控能力的超精密三轴联动微铣削装置
CN215727469U (zh) 一种工程陶瓷临界切厚测定用变深度刻划装置
CN114682918A (zh) 一种表面微织构皮秒激光加工装置及方法
CN111251474B (zh) 基于声发射信号特征识别与加工参数自动匹配的陶瓷激光车削复合塑性加工方法
Zhang et al. Determining issues in optimal turning of micro-structured functional surfaces
CN114918530A (zh) 一种激光原位辅助压痕/划痕装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant