CN106155434A - 一种柔性触控屏及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种柔性触控屏及其制备方法，所述柔性触控屏包括柔性衬底，所述柔性衬底呈折叠设置，形成设置有若干独立的第一感测图案的第一柔性衬底和设置有若干独立的第二感测图案的第一柔性衬底，所述第一导电单元和第二导电单元之间设置有绝缘层；所述第一感测图案和第二感测图案形成互感电容结构。该种结构的柔性触控屏结构简单，制备过程仅需要在基板上形成导电层，经过刻蚀后再蒸镀一层绝缘层后即可，仅仅需要形成两层膜层，刻蚀一次即可实现。大大简化了制备工艺，提高了成品率。

Description

一种柔性触控屏及其制备方法

技术领域

本发明涉及电子技术领域，具体涉及一种电容式柔性触控屏及其制备方法。

背景技术

触控屏(英文全称为Touch Panel)，又称触摸屏、触控面板，是一种形成在图像显示装置显示面上，利用人体或电容笔等导体进行指令输入的装置，可代替鼠标、键盘等外接输入装置以及机械式输入按键等输入设备，可有效简化电脑、手机等电子产品结构，具有非常广阔的应用前景。

触控屏分为电阻式覆盖(resistive overlay)触控屏、光敏式触控屏、电容式触控屏等。其中，电容式触控屏(英文全称为Capacity Touch Panel，简称为CTP)是利用人体的电流感应对屏幕进行控制的，根据侦测触碰区域的电容变化，进而计算触碰位置，具有灵敏度高、容易实现多点触控技术等优点，逐渐成为智能手机、平板电脑等电子产品中应用的主流触控屏。

中国专利文献CN102163095A公开了一种电容式触控屏及其制备方法，包括形成在透明基底上的第一感测图案和第二感测图案。第一感测图案彼此通过第一连接图案沿第一方向连接设置，第二感测图案彼此通过第二连接图案沿第二方向连接设置，第一感测图案连接而成的列与第二感测图案连接而成的行形成绝缘且彼此交叉的结构。

为了防止第一连接图案和第二连接图案短路，第一连接图案和第二感测图案之间需形成绝缘层，制备方法为：在透明基底上顺序形成导电层和绝缘层；在绝缘层上形成光致抗蚀剂层并图案化形成掩膜；通过掩膜分别对导电层和绝缘层进行图案化，形成第一感测图案、第二感测图案以及串联第一感测图案的第一连接图案，图案化后除去掩膜；在基底上形成覆盖第二感测图案和绝缘层的导电层，并图案化形成串联第二感测图案的第二连接图案。

上述工艺中需要形成第一感测图案、第二感测图案、第一连接图案、第二连接图案的形成过程以及绝缘层的图案化工艺共需要执行四层膜层、两道掩模和三道刻蚀工艺，制造工艺复杂，从而降低了触控屏的生产效率和良品率，提高了生产成本。

发明内容

为此，本发明所要解决的是现有技术中触控屏制备工艺复杂的问题，提供一种制备工艺简单的柔性触控屏及其制备方法。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

一种柔性触控屏，所述柔性衬底呈折叠设置，形成设置有若干独立的第一感测图案的第一柔性衬底和设置有若干独立的第二感测图案的第二柔性衬底；

所述的第一感测图案通过第一连接图案实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案通过第二连接图案实现串联连接，形成第二导电单元；所述第一导电单元和第二导电单元之间设置有绝缘层；所述第一感测图案和第二感测图案形成互感电容结构。

所述第一感测图案和第二感测图案分别位于所述的柔性衬底中心线两侧，所述柔性衬底沿其中心线对折后，所述第一感测图案和第二感测图案形成互感电容结构。

所述第一感测图案与所述第二感测图案形状相同。

所述绝缘层是由氮化硅、氧化硅或氮氧化硅中的一种或其组合物制备而成。

一种柔性触控屏的制备方法，包括如下步骤：

S1、将柔性衬底贴合在刚性辅助衬底上；

S2、在柔性衬底上远离所述刚性辅助衬底的一侧形成导电层；

S3、采用刻蚀工艺对所述导电层进行图案化，形成若干独立的第一感测图案和第二感测图案，以及位于所述第一感测图案之间的第一连接图案(51)，位于第二感测图案之间的第二连接图案；

所述第一感测图案通过第一连接图案实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案通过第二连接图案实现串联连接，形成第二导电单元；

S4、蒸镀形成覆盖所述第一导电单元的绝缘层；

S5、将所述柔性衬底去除所述辅助衬底后折叠，所述第一感测图案和第二感测图案形成互感电容结构，封装即得。

作为另一种选择，所述步骤S2和步骤S3为：

S2、在柔性衬底上远离所述辅助衬底的一侧形成彼此绝缘的第一导电层和第二导电层；

S3、采用刻蚀工艺对所述第一导电层进行图案化，形成若干独立的第一感测图案和位于所述第一感测图案之间的第一连接图案；采用刻蚀工艺对所述第二导电层进行图案化，形成若干独立的第二感测图案和位于所述第二感测图案之间的第二连接图案；

所述第一感测图案通过第一连接图案实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案通过第二连接图案实现串联连接，形成第二导电单元。

优选地，所述步骤S1中的刚性辅助衬底为刚性平面或滚筒表面。

所述步骤S4为：蒸镀形成覆盖所述蒸镀形成覆盖所述第二导电单元的绝缘层。

所述步骤S4为：蒸镀形成覆盖所述蒸镀形成覆盖所述第一导电单元和第二导电单元的绝缘层。

所述步骤S5中是将所述柔性衬底沿其中心线对折。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

本发明所述的柔性触控屏是柔性衬底上设置有若干独立的第一感测图案和若干独立的第二感测图案后，将柔性衬底折弯后使对应位置的第一感测图案和第二感测图案形成互感电容结构。该种结构的柔性触控屏结构简单，制备过程仅需要在基板上形成导电层，经过刻蚀后再蒸镀一层绝缘层后即可，仅仅需要形成两层膜层，刻蚀一次即可实现。大大简化了制备工艺，提高了成品率。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1-图5是本发明柔性触控屏制备过程结构示意图；

图6是图4所示柔性触控屏俯视图；

图7是本发明图5所示柔性触控屏俯视图。

图中附图标记表示为：1-柔性衬底、2-辅助衬底、31-第一感测图案、32-第二感测图案、4-绝缘层、51-第一连接图案、52-第二连接图案、61-第一电接触点、62-第二电接触点。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。

本发明可以以许多不同的形式实施，而不应该被理解为限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例，使得本公开将是彻底和完整的，并且将把本发明的构思充分传达给本领域技术人员，本发明将仅由权利要求来限定。在附图中，为了清晰起见，会夸大层和区域的尺寸和相对尺寸。应当理解的是，当元件例如层、区域或基板被称作“形成在”或“设置在”另一元件“上”时，该元件可以直接设置在所述另一元件上，或者也可以存在中间元件。相反，当元件被称作“直接形成在”或“直接设置在”另一元件上时，不存在中间元件；当元件被称为“透明或半透明”，表示该元件具有高的光学透射率。

如图5和图7所示，本发明的一种柔性触控屏，包括柔性衬底1，所述柔性衬底1呈折叠设置，形成设置有若干独立的第一感测图案31的第一柔性衬底和设置有若干独立的第二感测图案32的第二柔性衬底；

如图6所示，所述的第一感测图案31通过第一连接图案51实现串联连接，形成第一导电单元，第一感测图案31为菱形，相邻两个菱形的接触点即为第一连接图案51，作为其他实施方式，第一连接图案51也可以为连接相邻第一感测图案31的方形或其他任何形状的图案，只要能够使第一感测图案31串联连接即可实现发明目的。所述的第二感测图案32通过第二连接图案52实现串联连接，形成第二导电单元；所述第一导电单元和所述第二导电单元之间绝缘，作为其他实施方式，第二连接图案52也可以为连接相邻第二感测图案32的方形或其他任何形状的图案，只要能够使第二感测图案32串联连接即可实现发明目的。

所述第一感测图案31和第二感测图案32分别位于所述的柔性衬底1中心线两侧，所述柔性衬底1沿其中心线对折后，所述第一感测图案31和第二感测图案32形成互感电容结构。

如图5所示，所述第一导电单元和第二导电单元之间设置有绝缘层4；所述第一感测图案31和第二感测图案32形成互感电容结构。柔性衬底1优选沿其中心线对折。

所述第一感测图案31与所述第二感测图案32形状相同。

所述绝缘层4是由氮化硅、氧化硅或氮氧化硅中的一种或其组合物制备而成。

如图1-6所示，上述柔性触控屏的制备方法包括如下步骤：

S1、如图1所示，将柔性衬底1贴合在辅助衬底2上，所述辅助衬底2具有刚性平面；作为其他可实施方式，辅助衬底2也可以为滚筒表面；

S2、在柔性衬底1上远离所述辅助衬底2的一侧通过溅射工艺形成导电层；本实施例中所述导电层优选为铟锡氧化物(ITO)层，作为本发明的其他实施例，所述导电层选自但不限于钼(Mo)、银(Ag)、钛(Ti)、铜(Cu)、铝(Al)或钼/铝/钼(Mo/Al/Mo)等低阻材料，具体制备方法根据材料进行选择，均可以实现本发明的目的，属于本发明的保护范围。

S3、采用湿法刻蚀工艺对所述导电层进行图案化，形成如图2所示的若干独立的第一感测图案31和第二感测图案32，以及如图6所示，位于所述第一感测图案31之间的第一连接图案51，位于所述第二感测图案32之间的第二连接图案52；

所述第一感测图案31通过第一连接图案51实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案32通过第二连接图案52实现串联连接，形成第二导电单元；

通过刻蚀同时形成如图6所示的第一电接触点61和第二电接触点62，所述第一电接触点61与所述第一导电单元电连接，所述第二电接触点62与所述第二导电单元电连接。

所述湿法刻蚀工艺中所采用的刻蚀剂选自但不限于包含草酸的酸性刻蚀剂，本实施例优选草酸。本实施例中，优选对所述第一连接图案52过刻蚀，使得所述第一连接图案52的侧面比所述掩膜对应区域的侧面更靠内，即得所述第一连接图案52在所述柔性衬底1上的投影在所述掩膜对应区域在所述柔性衬底1上的投影范围内。

S4、蒸镀形成如图3所示的覆盖所述第一导电单元的绝缘层4；

S5、将所述柔性衬底1去除所述辅助衬底2后折叠，所述第一感测图案31和第二感测图案32形成互感电容结构，封装即得。

优选的，所述柔性衬底1去除所述辅助衬底2后沿其中心线对折。

所述的第一感测图案31和所述第二感测图案32也可以采用相同或不同的材料制备而成。当其采用不同的材料制备时，所述步骤S2和步骤S3为：

S2、在柔性衬底1上远离所述辅助衬底2的一侧形成彼此绝缘的第一导电层和第二导电层；

S3、采用刻蚀工艺对所述第一导电层进行图案化，形成若干独立的第一感测图案31和位于所述第一感测图案31之间的第一连接图案51；采用刻蚀工艺对所述第二导电层进行图案化，形成若干独立的第二感测图案32和位于所述第二感测图案32之间的第二连接图案52；

所述第一感测图案31通过第一连接图案51实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案32通过第二连接图案52实现串联连接，形成第二导电单元。

作为其他实施方式，所述的步骤S4为：蒸镀形成覆盖所述第二导电单元的绝缘层4；作为再一种实施方式，所述的步骤S4为：蒸镀形成覆盖所述第一导电单元和第二导电单元的绝缘层4。即，所述绝缘层4也可以只设置在所述第一导电单元上方或者第二导电单元上方，能够在柔性衬底1后使第一导电单元和第二导电单元之间绝缘即可实现本发明的目的。

如图6所示，本发明的柔性衬底1上分别设有第一电接触点61和第二电接触点62，所述柔性基衬底折叠后，第一电接触点61和第二电接触点62的圆形图案叠置实现电连通，作为其他实施方式，第一电接触点61和第二电接触点62也可以为方形或其他任何形状的图案，只要二者之间能够使图案叠置实现电连通即可实现发明目的。

本发明所述的柔性触控屏备过程仅需要在基板上形成导电层，经过刻蚀后再蒸镀一层绝缘层后即可，仅仅需要形成两层膜层，刻蚀一次即可实现。大大简化了制备工艺，提高了成品率。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种柔性触控屏，包括柔性衬底(1)，其特征在于，所述柔性衬底(1)呈折叠设置，形成设置有若干独立的第一感测图案(31)的第一柔性衬底和设置有若干独立的第二感测图案(32)的第二柔性衬底；

所述的第一感测图案(31)通过第一连接图案(51)实现串联连接，形成第一导电单元；

所述的第二感测图案(32)通过第二连接图案(52)实现串联连接，形成第二导电单元；

所述第一导电单元和第二导电单元之间设置有绝缘层(4)；

所述第一感测图案(31)和第二感测图案(32)形成互感电容结构。

2.根据权利要求1所述的一种柔性触控屏，其特征在于，所述第一感测图案(31)和第二感测图案(32)分别位于所述的柔性衬底(1)中心线两侧，所述柔性衬底(1)沿其中心线对折后，所述第一感测图案(31)和第二感测图案(32)形成互感电容结构。

3.根据权利要求1所述的一种柔性触控屏，其特征在于，所述第一感测图案(31)与所述第二感测图案(32)形状相同。

4.根据权利要求1所述的一种柔性触控屏，其特征在于，所述绝缘层(4)是由氮化硅、氧化硅或氮氧化硅中的一种或其组合物制备而成。

5.一种柔性触控屏的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将柔性衬底(1)贴合在刚性辅助衬底(2)上；

S2、在柔性衬底(1)上远离所述辅助衬底(2)的一侧形成导电层；

S3、采用刻蚀工艺对所述导电层进行图案化，形成若干独立的第一感测图案(31)和第二感测图案(32)，以及位于所述第一感测图案(31)之间的第一连接图案(51)，位于第二感测图案(32)之间的第二连接图案(52)；

所述第一感测图案(31)通过第一连接图案(51)实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案(32)通过第二连接图案(52)实现串联连接，形成第二导电单元；

S4、蒸镀形成覆盖所述第一导电单元的绝缘层(4)；

S5、将所述柔性衬底(1)去除所述辅助衬底(2)后折叠，所述第一感测图案(31)和第二感测图案(32)形成互感电容结构，封装即得。

6.根据权利要求5所述的柔性触控屏的制备方法，其特征在于，所述步骤S2和步骤S3为：

S2、在柔性衬底(1)上远离所述辅助衬底(2)的一侧形成彼此绝缘的第一导电层和第二导电层；

S3、采用刻蚀工艺对所述第一导电层进行图案化，形成若干独立的第一感测图案(31)和位于所述第一感测图案(31)之间的第一连接图案(51)；采用刻蚀工艺对所述第二导电层进行图案化，形成若干独立的第二感测图案(32)和位于所述第二感测图案(32)之间的第二连接图案(52)；

所述第一感测图案(31)通过第一连接图案(51)实现串联连接，形成第一导电单元；所述的第二感测图案(32)通过第二连接图案(52)实现串联连接，形成第二导电单元。

7.根据权利要求5或6所述的柔性触控屏的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中的刚性辅助衬底(2)为刚性平面或滚筒表面。

8.根据权利要求5或6所述的柔性触控屏的制备方法，其特征在于，所述步骤S4为：蒸镀形成覆盖所述第二导电单元的绝缘层(4)。

9.根据权利要求5或6所述的柔性触控屏的制备方法，其特征在于，所述步骤S4为：蒸镀形成覆盖所述第一导电单元和第二导电单元的绝缘层(4)。

10.根据权利要求5或6所述的柔性触控屏的制备方法，其特征在于，所述步骤S5中是将所述柔性衬底(1)沿其中心线对折。