CN106053278A - 一种微纳米切削试验装置 - Google Patents
一种微纳米切削试验装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106053278A CN106053278A CN201610519462.3A CN201610519462A CN106053278A CN 106053278 A CN106053278 A CN 106053278A CN 201610519462 A CN201610519462 A CN 201610519462A CN 106053278 A CN106053278 A CN 106053278A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- micro
- translation platform
- dimensional micro
- workbench
- ball screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title claims abstract description 43
- 238000013519 translation Methods 0.000 claims description 65
- 238000000418 atomic force spectrum Methods 0.000 claims description 10
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 3
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract description 14
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 11
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000007373 indentation Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 238000011160 research Methods 0.000 description 3
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000000329 molecular dynamics simulation Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/58—Investigating machinability by cutting tools; Investigating the cutting ability of tools
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
本发明涉及一种微纳米切削试验装置，属于微位移、微小切削力测量技术领域。本发明包括三维微动平移台、手动平移台、夹具、二维微小力传感器、采集模块、控制系统、显示装置；手动平移台上设置有夹具，三维微动平移台上设置有二维微小力传感器，二维微小力传感器与采集模块相连，采集模块与显示装置相连，三维微动平移台包括控制系统。本发明结构简单和原理简单，操作起来比较容易，且具有比较高的测量精度，可手动实现X、Y、Z三个方向的位移进给，而且移动速度较为迅速，控制较为便捷，造价成本较低。
Description
技术领域
本发明涉及一种微纳米切削试验装置，属于微位移、微小切削力测量技术领域。
背景技术
目前，随着微机械和微机电系统（MEMS）的日益发展，超精密加工技术的加工精度已经达到几十纳米，表面粗糙度达到几纳米。但是在一定程度上，由于微纳米加工机理的缺乏，超精密加工技术领域的发展受到了限制。例如在微纳米切削加工过程中，当切削深度达到几十纳米或几纳米，甚至 1nm 以下时，材料被看作是原子或分子的集合体，切削发生在很小的区域内，材料是以离散的数个原子或原子层的方式去除，由于加工工件不再是连续体，切削现象在本质上是原子的、离散的物理现象。因此在微纳米级切削过程中,采用建立在传统连续介质力学基础上的有限元方法和切削理论来解释纳米级切削机理显然是不合适的，所以必须从分子、原子的角度来研究微纳米切削加工的机理，目前利用分子动力学方法对微纳米切削过程进行计算和模拟来研究微纳米切削机理，但由于时间尺度等原因，仿真规模较小，而相应级别的切削实验困难，还不能进行直接验证。
为了从实验的角度研究微纳米切削机理，实现微纳米切削，需要能够实现微位移进给以及微小切削力测量的实验装置。在国内外的研究过程中，都是在超精密机床以及纳米压痕仪上进行微纳米切削试验，而超精密机床、纳米压痕仪造价高，体积庞大，结构复杂，对周围环境的要求也很高。
发明内容
本发明要解决的技术问题是：本发明提供一种微纳米切削试验装置，用于解决现有的超精密机床、纳米压痕仪造价高，体积庞大，结构复杂，对周围环境的要求高、操作复杂、测量精度低、移动速度慢的问题，
本发明技术方案是：一种微纳米切削试验装置，包括三维微动平移台8、手动平移台、夹具23、二维微小力传感器10、采集模块、控制系统、显示装置；手动平移台上设置有夹具23，三维微动平移台8上设置有二维微小力传感器10，二维微小力传感器10与采集模块相连，采集模块与显示装置相连，三维微动平移台8包括控制系统。
作为本发明的优选方案，所述手动平移台包括X方向手动平移台、Y方向手动平移台、Z方向手动平移台。
作为本发明的优选方案，所述X方向手动平移台包括基座1、连接件 2、直线导轨3、工作台4、精密滚珠丝杠5、轴承座6、连接件9、试件卡槽11；
所述连接件2固定在基座1上，直线导轨3、轴承座6固定在连接件2上，工作台4与精密滚珠丝杠5进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠5上的手动旋钮7，在直线导轨3运动，其主要作用是可以在X方向上较大范围的手动控制三维微动平移台的位置，带动二维微小力传感器10，实现它与刀具之间的快速位移进给。三维微动平移台8下端固定在工作台4上，连接件9固定在三维微动平移台8上端，二维微小力传感器10一端固定在连接件9上，其连接件 9作用实现三维微动平移台8与二维微小力传感器10的固定连接。实验所需试件卡在试件卡槽11上，试件卡槽11通过胶粘剂固定在二维微小力传感器10的另一端上；
所述Y方向手动平移台包括拆卸式支撑架12、直线导轨13、工作台14、精密滚珠丝杠15、轴承座16；
所述拆卸式支撑架12固定在基座1上，直线导轨13、轴承座16固定在拆卸式支撑架12上，工作台14与精密滚珠丝杠15进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠15上的手动旋钮17，在直线导轨13运动；可手动快速实现带动刀具24在 Y方向上进行位移进给，迅速逼近试件。
所述Z方向手动平移台包括直线导轨18、工作台19、精密滚珠丝杠20轴承座21；
所述直线导轨18、轴承座21固定在工作台14上，工作台19与精密滚珠丝杠20进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠20上的手动旋钮22，在直线导轨18运动，可手动快速实现带动刀具24在Z方向上位移进给。夹具23固定在工作台19上，夹具23上装夹刀具24。
作为本发明的优选方案，所述夹具23采用L形夹具。
作为本发明的优选方案，所述显示装置采用装有切削力曲线显示软件的计算机。
该试验装置所采用的三维微动平移台可以采用哈尔滨芯明天有限公司生产的XP-611.XYZ纳米级精密定位平移台，是以压电陶瓷为驱动源的多轴纳米定位系统。其在三个方向均可实现100u m的定位扫描范围，台体结构紧凑，无摩擦、柔性铰链导向系统使得三维平台具有超高的分辨率和毫秒的响应时间，可实现开/闭环控制。该平移台控制系统主要有位置传感模块，功率放大模块，主控显示模块以及机箱电源模块组成。二维微小力传感器10可以采用南京神源生智能科技有限公司生产的微小力传感器，其型号为S2-001NHL001，方向分辨率为1mN，量程1000 mN，主要进行微纳米切削过程切削力的测量。其基本原理是把传感器中压电陶瓷受到的力转换成电信号传到电荷放大器中，再转换数据信号，然后通过数据采集系统进行输出。刀具采用直线刃金刚石刀具。
本发明的工作过程是：
在实验过程中，首先通过手动旋转旋钮移动X方向手动平移台，带动三维微动平移台上端的二维微小力传感器带有试件的一端快速接近刀具。然后通过手动旋钮手移动Y方向手动平移台，带动刀具进行水平方向快速移动，调整刀具位置，到达合适的距离后，通过手动旋钮手移动Z方向手动平移台，带动刀具进行垂直方向快速移动，迅速逼近试件，到达一定距离后，微调旋钮带动刀具缓慢靠近试件，然后通过控制系统驱动三维微动平移台向上进行微位移移动，带动二维微小力传感器带有试件的一端向上移动，逐步缓慢逼近试件，并通过二维微小力传感器的数据采集模块输出的切削力曲线，判断工件与刀具是否接触。当二维微小力传感器竖直方向的切削力曲线发生突变时，则认为试件与刀具接触，完成法向切削力加载过程，然后，通过控制系统驱动三维微动平移台进行水平微位移移动，移动一段距离后，完成微纳米切削过程。再驱动三维微动平移台向下移动，并通过二维微小力传感器的数据采集系统输出的切削力曲线，判断工件与刀具是否脱离，当二维微小力传感器竖直方向的切削力曲线发生突变时，则认为试件与刀具脱离，完成卸载过程。具体微纳米切削试验装置等轴测图如图1所示。
本发明的有益效果是：
（1）与现有的微纳米切削试验装置相比，此装置的有益效果在于结构简单和原理简单，操作起来比较容易，且具有比较高的测量精度，可以进行一些微纳尺度下材料切削试验研究。
（2）此装置无需采用三维粗动平移台及其控制系统，利用精密滚珠丝杠可手动实现X、Y、Z三个方向的位移进给，而且移动速度较为迅速，控制较为便捷，造价成本较低。
（3）此装置采用三维微动平移台即可实现法向切削力的加载，通过二维微小力传感器可测得法向切削力的大小，结构相对紧凑，在微纳切削过程中，对微小切削力测量具有良好的效果。
（4）以从实验的角度研究微纳米切削机理，为民用工业和国防工业中高精度零件和元器件的超精密和微纳米加工提供必要的实验数据支撑，对超精密加工技术未来的发展有着极其深远的意义。
附图说明
图1是本发明等轴测图；
图2是本发明主视图；
图3是本发明左视图。
图1-3中各标号：1-基座，2-连接件，3-直线导轨，4-工作台，5-精密滚珠丝杠，6-轴承座，7-手动旋钮，8-三维微动平移台，9-连接件，10-二维微小力传感器，11-试件卡槽，12-拆卸式支撑架，13-直线导轨，14-工作台，15-精密滚珠丝杠，16-轴承座，17-手动旋钮，18-直线导轨，19-工作台，20-精密滚珠丝杠，21-轴承座，22-手动旋钮，23-L形夹具，24-刀具。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，对本发明作进一步说明。
实施例1：如图1-3所示，一种微纳米切削试验装置，包括三维微动平移台8、手动平移台、夹具23、二维微小力传感器10、采集模块、控制系统、显示装置；手动平移台上设置有夹具23，三维微动平移台8上设置有二维微小力传感器10，二维微小力传感器10与采集模块相连，采集模块与显示装置相连，三维微动平移台8包括控制系统。
作为本发明的优选方案，所述手动平移台包括X方向手动平移台、Y方向手动平移台、Z方向手动平移台。
作为本发明的优选方案，所述X方向手动平移台包括基座1、连接件2、直线导轨3、工作台4、精密滚珠丝杠5、轴承座6、连接件9、试件卡槽11；
所述连接件2固定在基座1上，直线导轨3、轴承座6固定在连接件2上，工作台4与精密滚珠丝杠5进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠5上的手动旋钮7，在直线导轨3运动，其主要作用是可以在X方向上较大范围的手动控制三维微动平移台的位置，带动二维微小力传感器10，实现它与刀具之间的快速位移进给。三维微动平移台8下端固定在工作台4上，连接件9固定在三维微动平移台8上端，二维微小力传感器10一端固定在连接件9上，其连接件 9作用实现三维微动平移台8与二维微小力传感器10的固定连接。实验所需试件卡在试件卡槽11上，试件卡槽11通过胶粘剂固定在二维微小力传感器10的另一端上；
所述Y方向手动平移台包括拆卸式支撑架12、直线导轨13、工作台14、精密滚珠丝杠15、轴承座16；
所述拆卸式支撑架12固定在基座1上，直线导轨13、轴承座16固定在拆卸式支撑架12上，工作台14与精密滚珠丝杠15进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠15上的手动旋钮17，在直线导轨13运动；可手动快速实现带动刀具24在 Y方向上进行位移进给，迅速逼近试件。
所述Z方向手动平移台包括直线导轨18、工作台19、精密滚珠丝杠20轴承座21；
所述直线导轨18、轴承座21固定在工作台14上，工作台19与精密滚珠丝杠20进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠20上的手动旋钮22，在直线导轨18运动，可手动快速实现带动刀具24在Z方向上位移进给。夹具23固定在工作台19上，夹具23上装夹刀具24。
在实验过程中，首先通过手动旋转旋钮移动X方向手动平移台，带动三维微动平移台上端的二维微小力传感器带有试件的一端快速接近刀具。然后通过手动旋钮手移动Y方向手动平移台，带动刀具进行水平方向快速移动，调整刀具位置，到达合适的距离后，通过手动旋钮手移动Z方向手动平移台，带动刀具进行垂直方向快速移动，迅速逼近试件，到达一定距离后，微调旋钮带动刀具缓慢靠近试件，然后通过控制系统驱动三维微动平移台向上进行微位移移动，带动二维微小力传感器带有试件的一端向上移动，逐步缓慢逼近试件，并通过二维微小力传感器的数据采集模块输出的切削力曲线，判断工件与刀具是否接触。当二维微小力传感器竖直方向的切削力曲线发生突变时，则认为试件与刀具接触，完成法向切削力加载过程，然后，通过控制系统驱动三维微动平移台进行水平微位移移动，移动一段距离后，完成微纳米切削过程。再驱动三维微动平移台向下移动，并通过二维微小力传感器的数据采集系统输出的切削力曲线，判断工件与刀具是否脱离，当二维微小力传感器竖直方向的切削力曲线发生突变时，则认为试件与刀具脱离，完成卸载过程。
上面结合附图对本发明的具体实施例作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施例，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。
Claims (5)
1.一种微纳米切削试验装置，其特征在于：包括三维微动平移台（8）、手动平移台、夹具（23）、二维微小力传感器（10）、采集模块、控制系统、显示装置；手动平移台上设置有夹具（23），三维微动平移台（8）上设置有二维微小力传感器（10），二维微小力传感器（10）与采集模块相连，采集模块与显示装置相连，三维微动平移台（8）包括控制系统。
2.根据权利要求1所述的微纳米切削试验装置，其特征在于：所述手动平移台包括X方向手动平移台、Y方向手动平移台、Z方向手动平移台。
3.根据权利要求2所述的微纳米切削试验装置，其特征在于：所述X方向手动平移台包括基座（1）、连接件（2）、直线导轨（3）、工作台（4）、精密滚珠丝杠（5）、轴承座（6）、连接件（9）、试件卡槽（11）；
所述连接件（2）固定在基座（1）上，直线导轨（3）、轴承座（6）固定在连接件（2）上，工作台（4）与精密滚珠丝杠（5）进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠（5）上的手动旋钮（7），在直线导轨（3）运动，三维微动平移台（8）下端固定在工作台（4）上，连接件（9）固定在三维微动平移台（8）上端，二维微小力传感器（10）一端固定在连接件（9）上，实验所需试件卡在试件卡槽（11）上，试件卡槽（11）通过胶粘剂固定在二维微小力传感器（10）的另一端上；
所述Y方向手动平移台包括拆卸式支撑架（12）、直线导轨（13）、工作台（14）、精密滚珠丝杠（15）、轴承座（16）；
所述拆卸式支撑架（12）固定在基座（1）上，直线导轨（13）、轴承座（16）固定在拆卸式支撑架（12）上，工作台（14）与精密滚珠丝杠（15）进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠（15）上的手动旋钮（17），在直线导轨（13）运动；
所述Z方向手动平移台包括直线导轨（18）、工作台（19）、精密滚珠丝杠（20）轴承座（21）；
所述直线导轨（18）、轴承座（21）固定在工作台（14）上，工作台（19）与精密滚珠丝杠（20）进行配合，使其通过旋转精密滚珠丝杠（20）上的手动旋钮（22），在直线导轨（18）运动，夹具（23）固定在工作台（19）上，夹具（23）上装夹刀具（24）。
4.根据权利要求1所述的微纳米切削试验装置，其特征在于：所述夹具（23）采用L形夹具。
5.根据权利要求1所述的微纳米切削试验装置，其特征在于：所述显示装置采用装有切削力曲线显示软件的计算机。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610519462.3A CN106053278A (zh) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 一种微纳米切削试验装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610519462.3A CN106053278A (zh) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 一种微纳米切削试验装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106053278A true CN106053278A (zh) | 2016-10-26 |
Family
ID=57201897
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610519462.3A Pending CN106053278A (zh) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 一种微纳米切削试验装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106053278A (zh) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107457573A (zh) * | 2017-09-19 | 2017-12-12 | 苏州迈客荣自动化技术有限公司 | 一种精密定位工作台 |
| CN110052750A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-07-26 | 中国人民解放军陆军工程大学 | 基于便携式切割弹的切割试验台 |
| CN110553943A (zh) * | 2019-10-09 | 2019-12-10 | 真彩文具股份有限公司 | 圆珠笔头材料切削力测试装置 |
| CN111230592A (zh) * | 2020-02-16 | 2020-06-05 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种精密切削微纳米力学测试实验平台及方法 |
| CN114544412A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-05-27 | 矿冶科技集团有限公司 | 一种柔性加围压机械破岩试验装置 |
| CN115533772A (zh) * | 2022-09-30 | 2022-12-30 | 浙江工业大学 | 实现材料均匀去除的小工具设计制备方法及研抛装置 |
| CN118438262A (zh) * | 2024-05-16 | 2024-08-06 | 广东工业大学 | 一种切削加工装置和切削加工方法 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101598680A (zh) * | 2008-06-06 | 2009-12-09 | 北京固鸿科技有限公司 | 整体式射线检测装置 |
| CN101876609A (zh) * | 2009-06-12 | 2010-11-03 | 赵宏伟 | 微纳米级原位纳米压痕刻划测试系统 |
| CN102252925A (zh) * | 2011-04-19 | 2011-11-23 | 吉林大学 | 纳米压痕/刻划测试装置 |
| CN102288501A (zh) * | 2011-07-25 | 2011-12-21 | 吉林大学 | 精密纳米压痕测试装置 |
| CN102928306A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-02-13 | 吉林大学 | 原位微纳米力学测试及刻划加工一体机 |
| CN104297082A (zh) * | 2014-09-25 | 2015-01-21 | 吉林大学 | 原位微纳米压痕/划痕测试仪 |
| CN104495743A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-08 | 天津大学 | 用于微纳加工与表面形貌测量的设备及其使用方法 |
| CN104729911A (zh) * | 2015-03-11 | 2015-06-24 | 吉林大学 | 原位微纳米压痕/划痕测试平台及测试方法 |
| CN105021478A (zh) * | 2015-07-29 | 2015-11-04 | 吉林大学 | 微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置 |
-
2016
- 2016-07-05 CN CN201610519462.3A patent/CN106053278A/zh active Pending
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101598680A (zh) * | 2008-06-06 | 2009-12-09 | 北京固鸿科技有限公司 | 整体式射线检测装置 |
| CN101876609A (zh) * | 2009-06-12 | 2010-11-03 | 赵宏伟 | 微纳米级原位纳米压痕刻划测试系统 |
| CN102252925A (zh) * | 2011-04-19 | 2011-11-23 | 吉林大学 | 纳米压痕/刻划测试装置 |
| CN102288501A (zh) * | 2011-07-25 | 2011-12-21 | 吉林大学 | 精密纳米压痕测试装置 |
| CN102928306A (zh) * | 2012-10-26 | 2013-02-13 | 吉林大学 | 原位微纳米力学测试及刻划加工一体机 |
| CN104297082A (zh) * | 2014-09-25 | 2015-01-21 | 吉林大学 | 原位微纳米压痕/划痕测试仪 |
| CN104495743A (zh) * | 2014-12-26 | 2015-04-08 | 天津大学 | 用于微纳加工与表面形貌测量的设备及其使用方法 |
| CN104729911A (zh) * | 2015-03-11 | 2015-06-24 | 吉林大学 | 原位微纳米压痕/划痕测试平台及测试方法 |
| CN105021478A (zh) * | 2015-07-29 | 2015-11-04 | 吉林大学 | 微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107457573A (zh) * | 2017-09-19 | 2017-12-12 | 苏州迈客荣自动化技术有限公司 | 一种精密定位工作台 |
| CN110052750A (zh) * | 2019-05-15 | 2019-07-26 | 中国人民解放军陆军工程大学 | 基于便携式切割弹的切割试验台 |
| CN110553943A (zh) * | 2019-10-09 | 2019-12-10 | 真彩文具股份有限公司 | 圆珠笔头材料切削力测试装置 |
| CN111230592A (zh) * | 2020-02-16 | 2020-06-05 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种精密切削微纳米力学测试实验平台及方法 |
| CN114544412A (zh) * | 2022-04-26 | 2022-05-27 | 矿冶科技集团有限公司 | 一种柔性加围压机械破岩试验装置 |
| CN114544412B (zh) * | 2022-04-26 | 2022-07-15 | 矿冶科技集团有限公司 | 一种柔性加围压机械破岩试验装置 |
| CN115533772A (zh) * | 2022-09-30 | 2022-12-30 | 浙江工业大学 | 实现材料均匀去除的小工具设计制备方法及研抛装置 |
| CN118438262A (zh) * | 2024-05-16 | 2024-08-06 | 广东工业大学 | 一种切削加工装置和切削加工方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106053278A (zh) | 一种微纳米切削试验装置 | |
| CN101424879B (zh) | 电阻应变反馈式闭环二维柔性铰链工作台 | |
| CN104297082B (zh) | 原位微纳米压痕/划痕测试仪 | |
| CN102288500B (zh) | 一种高精度仪器化压入仪及金刚石压头压入试样深度的计算方法 | |
| CN103499308B (zh) | 独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台 | |
| CN103395090B (zh) | 光栅机械刻划工艺试验装置 | |
| CN102928306A (zh) | 原位微纳米力学测试及刻划加工一体机 | |
| CN101832901B (zh) | 一种接触式摩擦界面粘滑特性在线检测装置 | |
| CN103743640B (zh) | 固体薄膜纳米压痕连续测量仪 | |
| CN102530850A (zh) | 一种采用afm探针纳米刻划加工毫米尺寸微纳结构的方法 | |
| CN203550916U (zh) | 独立式五自由度超精密材料原位测试显微观测台 | |
| TW201231918A (en) | Image measuring apparatus | |
| CN204188474U (zh) | 原位微纳米压痕/划痕测试仪 | |
| CN203409814U (zh) | 光栅机械刻划工艺试验装置 | |
| Geng et al. | A probe-based force-controlled nanoindentation system using an axisymmetric four-beam spring | |
| CN201697862U (zh) | 一种接触式摩擦界面粘滑特性在线检测装置 | |
| CN105021478A (zh) | 微型精密原位纳米压痕及刻划测试装置 | |
| CN203688375U (zh) | 固体薄膜纳米压痕连续测量仪 | |
| CN106840929B (zh) | 一种微纳米划痕仪及其应用方法 | |
| CN106644715B (zh) | 一种便携式划入测试系统 | |
| CN203432801U (zh) | 静压气体止推轴承性能测试实验台 | |
| CN102507339A (zh) | 纳米级微拉伸装置 | |
| CN101003357A (zh) | 基于原子力显微镜恒力模式的纳米微小结构加工方法 | |
| CN202305565U (zh) | 一种具有大范围和高深-宽比测量能力的扫描隧道显微镜 | |
| CN102608359A (zh) | 纳米操纵器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20161026 |