CN105514006B - 旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置，旋转限制装置的特征在于，包括：第一限制构件，结合于旋转部上；第二限制构件，可旋转地结合于运行底座上；以及移动构件，用于控制第二限制构件的位置，若第一限制构件旋转而接触于第二限制构件，则第二限制构件一同旋转，当第二限制构件由于与第一限制构件接触而旋转时，移动构件控制第二限制构件的位置，以限制第二限制构件的旋转范围，从而在确保旋转部旋转一圈的同时防止旋转部连续旋转。根据本发明，第二限制构件可移动地结合于运行底座上，由此，能够防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转部不能旋转的范围，从而能够提高搬运基板的工作效率。

Description

旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置

技术领域

本发明涉及用于搬运基板的基板搬运装置。

背景技术

显示装置、太阳能电池、半导体元件等(以下称“电子部件”)经过各种工序制造而成。这些制造工序中利用用于制造所述电子部件的基板(substrate)。例如，所述制造工序可以包括在基板上沉积导体、半导体、电介质等薄膜的沉积工序以及使沉积后的薄膜形成为规定图案的蚀刻工序等。这些制造工序在进行相关工序的工艺腔室内完成。基板搬运装置用于在所述工艺腔室之间搬运基板。

图1是示出现有技术涉及的基板搬运装置的概略立体图。

参照图1，现有技术涉及的基板搬运装置1包括：搬运臂10，用于支撑基板S；升降部20，用于升降所述搬运臂10；旋转部30，用于旋转所述搬运臂10；以及限制部40，用于限制所述旋转部30的旋转范围。

所述搬运臂10在支撑所述基板S的状态下水平移动，从而搬运所述基板10。所述搬运臂10包括：支撑机械手11，用于支撑所述基板10；臂单元12，用于在水平方向上搬运所述支撑机械手11；以及臂基体13，其一侧与所述臂单元12结合，另一侧与所述升降部20结合。

所述升降部20使所述搬运臂10在垂直方向上移动。所述升降部20通过升降所述臂基体13来使结合于所述臂基体13上的所述支撑机械手11以及所述臂单元12升降。所述升降部20包括：第一升降单元21，结合于所述旋转部30上；以及第二升降单元22，其一侧与所述第一升降单元21结合，另一侧与所述搬运臂10结合。

所述旋转部30用于使所述升降部20旋转。所述旋转部30以旋转轴31为中心旋转所述升降部20，从而使被支撑在所述搬运臂10上的所述基板S旋转。

所述限制部40限制所述旋转部30的旋转范围。所述限制部40包括：第一限制构件41，与所述旋转部30结合；第二限制构件42，与结合有所述旋转部30的运行底座50结合，用于限制所述旋转部30的旋转范围。

所述第一限制构件41结合于所述旋转部30上。所述旋转部30旋转时，所述第一限制构件41与所述第二限制构件42相接触，以便限制所述旋转部30的旋转范围。

所述第二限制构件42结合于所述运行底座50上。所述第二限制构件42通过所述旋转轴31以顺时针方向或者逆时针方向旋转来限制所述第一限制构件41的移动，从而限制所述旋转部30的旋转范围。

在此，对现有技术涉及的基板搬运装置1而言，通过所述第二限制构件42来限制所述第一限制构件41的移动路径，从而限制所述旋转部30的旋转范围。因此，对现有技术涉及的基板搬运装置1而言，由于所述第二限制构件42的厚度而形成所述旋转部30不能旋转的范围R。因此，现有技术涉及的基板搬运装置1，由于所述第二限制构件42所具有的厚度导致所述旋转部30的旋转范围变小，从而限制所述旋转部30的活动区域，降低搬运所述基板S的工作效率。

发明内容

所要解决的技术问题

本发明为了解决如上所述的问题而提出，其目的在于，提供一种能够防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转轴不能旋转的范围的旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置。

解决技术问题的方案

为了解决如上所述的技术问题，本发明可以包括如下结构。

本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，包括：第一限制构件，结合于旋转部上，所述旋转部与用于支撑基板的搬运臂连接，并且以旋转轴为中心旋转，从而使所述搬运臂旋转；第二限制构件，可旋转地结合于运行底座上，在所述第一限制构件旋转时接触于所述第一限制构件，以限制所述第一限制构件的旋转，其中，所述运行底座上可旋转地结合有所述旋转部；以及移动构件，用于控制所述第二限制构件的位置，若所述第一限制构件旋转而接触于所述第二限制构件，则所述第二限制构件一同旋转，当所述第二限制构件与所述第一限制构件接触而旋转时，所述移动构件控制所述第二限制构件的位置，以限制所述第二限制构件的旋转范围，从而在确保所述旋转部旋转一圈的同时防止所述旋转部连续旋转。

根据本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，所述移动构件控制所述第二限制构件的位置，使得所述第二限制构件位于第一位置和第二位置之间，所述第一位置是所述第二限制构件由于与所述第一限制构件接触从而向第一方向旋转后接触于所述运行底座的位置，所述第二位置是所述第二限制构件由于与所述第一限制构件接触从而向相反于所述第一方向的第二方向旋转后接触于所述运行底座的位置。

根据本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，所述移动构件包括：第一喷射机构，向所述第二限制构件侧喷射气体，以使所述第二限制构件向所述第二方向移动；以及第二喷射机构，向所述第二限制构件侧喷射气体，以使所述第二限制构件向所述第一方向移动，基于所述第一喷射机构以及所述第二喷射机构来控制所述第二限制构件，使得所述第二限制构件位于所述第一位置和所述第二位置之间。

根据本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，所述移动构件包括：第一弹性构件，向所述第二限制构件提供在所述第二方向上的弹力；以及第二弹性构件，向所述第二限制构件提供在所述第一方向上的弹力，基于所述第一弹性构件以及所述第二弹性构件来控制所述第二限制构件，使得所述第二限制构件位于所述第一位置和所述第二位置之间。

本发明涉及的基板搬运装置，其特征在于，包括：搬运臂，用于搬运基板；升降部，用于升降所述搬运臂，以改变所述搬运臂所位于的高度；旋转部，用于旋转所述升降部，以改变所述搬运臂所朝向的方向；以及上述的任意一种基板搬运装置用的旋转限制装置，用于限制所述旋转部的旋转。

发明效果

根据本发明，具有如下效果。

在本发明中，第二限制构件可移动地结合于运行底座上，从而能够防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转部不能旋转的范围，并且能够限制旋转部的旋转，以使其不能连续旋转，由此，能够提高搬运基板的工作效率。

附图说明

图1是示出现有技术涉及的基板搬运装置的概略立体图。

图2是示出本发明涉及的基板搬运装置的概略立体图。

图3是为了说明基板搬运装置中的旋转限制装置而放大了图2的A部分以示出第一限制构件的旋转状态的放大图。

图4是为了说明基板搬运装置中的旋转限制装置而放大了图2的A部分以示出第一限制构件向另一方向旋转的状态的放大图。

图5是为了示出基板搬运装置中的旋转限制装置的变形例而放大了图2的A部分的放大图。

附图标记

100：基板搬运装置

110：基板

120：搬运臂

121：支撑机械手

122：臂单元

123：臂基体

130：升降部

140：旋转部

141：旋转轴

150：运行底座

200：旋转限制装置

210：第一限制构件

220：第二限制构件

230：移动构件

231：第一弹性构件

232：第二弹性构件

233：第一喷射机构

233a：第一喷射孔

234：第二喷射机构

234a：第二喷射孔

具体实施方式

需要注意的是，在给各附图中的构成要素赋予附图标记时，对于相同的构成要素，虽然在不同的附图中示出，但也是尽可能地赋予相同的附图标记。

另一方面，本说明书中所使用的术语的含义应理解为如下。

除非文章中明确地另有定义，单数表示包括复数表示，“第一”、“第二”等术语只是用来区分一个构成要素和另一个构成要素，权利要求的范围不受这些术语限制。

应理解为，“包括”或者“具有”等术语不排除存在或增加一个或多个其它特征或者数字、步骤、动作、构成要素、部件或者其组合的可能性。

应理解为，术语“至少一个”表示包括通过一个以上的相关项目能够提供的所有组合。例如，“第一项目、第二项目以及第三项目中的至少一个”的意思，不仅分别表示第一项目、第二项目以及第三项目，也表示能够由第一项目、第二项目以及第三项目中的两个以上提供的所有项目的组合。

下面，参照附图对本发明涉及的基板搬运装置的优选实施例进行详细说明。本发明涉及的基板搬运装置用的旋转限制装置包含在本发明涉及的基板搬运装置中，因此在对本发明涉及的基板搬运装置的优选实施例进行说明的同时一并说明。

图1是示出现有技术涉及的基板搬运装置的概略立体图；图2是示出本发明涉及的基板搬运装置的概略立体图；图3是为了说明基板搬运装置中的旋转限制装置而放大了图2的A部分以示出第一限制构件的旋转状态的放大图；图4是为了说明基板搬运装置中的旋转限制装置而放大了图2的A部分以示出第一限制构件向另一方向旋转的状态的放大图。

参照图2至图4，本发明涉及的基板搬运装置100用于搬运基板110。所述基板110用于制造显示装置、太阳能电池、半导体元件等电子部件。例如，本发明涉及的基板搬运装置100可以在对所述基板110进行沉积工序、蚀刻工序等制造工序的工艺腔室之间搬运所述基板110。

本发明涉及的基板搬运装置100包括：搬运臂120，用于搬运所述基板110；升降部130，用于升降所述搬运臂，以改变所述搬运臂120所位于的高度；旋转部140，用于旋转所述升降部130，以改变所述搬运臂120所朝向的方向；以及旋转限制装置200，用于限制所述旋转部140的旋转，以使其不能连续旋转。

所述搬运臂120支撑所述基板110的底面，以搬运所述基板110。所述升降部130将所述搬运臂120升降到配置有所述基板110的位置。所述旋转部140旋转所述搬运臂120，以使所述搬运臂120朝向配置有所述基板110的方向。为了限制所述旋转部140的连续旋转，所述旋转限制装置200可移动地结合于结合有所述旋转部130的运行底座150上。因此，在本发明涉及的基板搬运装置100中，所述旋转限制装置200可移动地结合于所述运行底座150上，从而能够防止由于所述旋转限制装置200的厚度而形成所述旋转部140不能旋转的范围。因此，本发明涉及的基板搬运装置100防止形成所述旋转部140不能旋转的范围，从而在进行搬运所述基板110的作业时，能够将所述基板110搬运到所述旋转部140不能旋转的范围，因而能够提高搬运所述基板110的工作效率。

下面，参照附图对所述搬运臂120、所述升降部130、所述旋转部140以及所述旋转限制装置200进行详细说明。

参照图2至图4，所述搬运臂120用于搬运所述基板110。所述搬运臂120可旋转地结合于所述升降部130上。所述搬运臂120通过驱动部(未图示)被折叠或展开，从而能够沿着垂直于所述升降部130升降路径的方向搬运所述基板110。所述搬运臂120包括：支撑机械手121，用于支撑所述基板110；臂单元122，用于移动所述支撑机械手121；臂基体123，其上结合有所述臂单元122。

所述支撑机械手121接触于所述基板110的底面，从而能够支撑所述基板110。所述支撑机械手121可旋转地结合于所述臂单元122上。

所述臂单元122用于移动所述支撑机械手121。所述臂单元122可旋转地结合于所述臂基体123上。随着所述臂单元122以折叠或展开的方式旋转，所述支撑机械手121向所述基板110侧移动或者向远离所述基板110的方向移动。

所述臂基体123结合于所述升降部130上。所述臂基体123上可旋转地结合有所述臂单元122。所述臂基体123能够通过所述升降部130进行升降。随着所述臂基体123通过所述升降部130进行升降，所述支撑机械手121以及所述臂单元122能够一同升降。由此，所述升降部130能够调节所述支撑机械手121在垂直方向上所位于的高度。

所述升降部130用于升降所述搬运臂120，以改变所述搬运臂120所位于的高度。通过所述升降部130升降所述搬运臂120，能够使被支撑在所述搬运臂120上的所述基板110沿着所述升降部130的升降路径移动。所述升降部130可以结合于所述旋转部140上。

所述旋转部140用于旋转所述升降部130，以改变所述搬运臂120所朝向的方向。随着所述旋转部140以所述旋转轴141为中心旋转，所述升降部130以及所述搬运臂120能够以所述旋转轴141为中心一同旋转。例如，所述旋转部140可以旋转所述臂基体123，以使所述支撑机械手121朝向进行所述搬入工序以及所述搬出工序的工艺腔室或者存储盒。

所述旋转限制装置200限制所述旋转部140的旋转，以使其不能连续旋转。所述旋转限制装置200防止所述旋转部140只向一个方向旋转，从而能够防止用于向所述搬运臂120、所述升降部130以及所述旋转部140传递动力的线缆(未图示)被缠绕在所述旋转部140上。所述旋转限制装置200包括：第一限制构件210，结合于所述旋转部140上；第二限制构件220，可旋转地结合于所述运行底座150上；以及移动构件230，用于移动所述第二限制构件220。

所述第一限制构件210结合于所述旋转部140上，所述旋转部140以所述旋转轴141为中心旋转，以改变用于支撑所述基板110的所述搬运臂120所朝向的方向。随着所述旋转部140旋转，所述第一限制构件210与所述第二限制构件220相接，从而能够限制所述旋转部140的旋转，以使其不能连续旋转。

所述第二限制构件220可旋转地结合于所述运行底座150上，所述运行底座150上可旋转地结合有所述旋转部140。随着所述第一限制构件210向第一方向旋转，所述第二限制构件220可移动到接触于所述运行底座150的第一位置。此外，随着所述第一限制构件210向相反于第一方向的第二方向旋转，所述第二限制构件220可移动到接触于所述运行底座150的第二位置。例如，所述第一方向可以是顺时针方向，所述第二方向可以是逆时针方向。

所述移动构件230移动所述第二限制构件220，以使所述第二限制构件220位于所述第一位置和所述第二位置之间。例如，当所述第二限制构件220位于所述第一位置时，所述移动构件230使所述第二限制构件220向所述第二位置的方向移动。当所述第二限制构件220位于所述第二位置时，所述移动构件230使所述第二限制构件220向所述第一位置的方向移动。由此，所述移动构件230能够使所述第二限制构件220位于所述第一位置和所述第二位置之间。

因此，在本发明涉及的基板搬运装置100中，所述第二限制构件220可旋转地结合于所述运行底座150上，从而能够防止所述旋转部140的旋转范围减小相当于所述第二限制构件220厚度的程度。

即，如果所述第一限制构件210以旋转轴141为中心向第一方向或者第二方向旋转时到达所述第二限制构件220的位置而相互接触，则通过所述移动构件230使第二限制构件220位于第一位置和第二位置之间，以使第一限制构件210被移动构件230卡止，由此，在旋转时第二限制构件220接触于第一限制构件210从而限制第二限制构件220的旋转范围，以在确保旋转部140旋转一圈的同时能够防止旋转部140连续旋转。

由此，在本发明涉及的基板搬运装置100中，所述旋转部140的旋转范围增加相当于所述第二限制构件220的厚度的程度，从而能够提高搬运所述基板110的工作效率。

所述移动构件230包括：第一弹性构件231，向所述第二限制构件220提供在第二方向上的弹力；以及第二弹性构件232，向所述第二限制构件220提供在第一方向上的弹力。

所述第一弹性构件231向所述第二限制构件220提供在所述第二方向上的弹力，以使所述第二限制构件220从所述第一位置移动到所述第二位置。所述第一弹性构件231结合在所述运行底座150上的所述第一位置。例如，当所述第二限制构件220通过所述第一限制构件210移动到所述第一位置时，所述第二限制构件220通过所述第一弹性构件231的弹力能够从所述第一位置移动到所述第二位置。

所述第二弹性构件232向所述第二限制构件220提供在所述第一方向上的弹力，以使所述第二限制构件220从所述第二位置移动到所述第一位置。所述第二弹性构件232结合于所述运行底座150上的所述第二位置。例如，当所述第二限制构件220通过所述第一限制构件210移动到所述第二位置时，所述第二限制构件220通过所述第二弹性构件232的弹力能够从所述第二位置移动到所述第一位置。在此，所述第一弹性构件231以及所述第二弹性构件232可以是拉伸弹簧。

由此，在本发明涉及的基板搬运装置100中，所述第一弹性构件231以及所述第二弹性构件232移动所述第二限制构件220，以使所述第二限制构件220位于所述第一位置和所述第二位置之间，从而能够防止所述旋转部140的旋转范围减小相当于所述第二限制构件220的厚度的程度。因此，本发明涉及的基板搬运装置100能够防止所述旋转部140的旋转范围变小，从而能够进一步提高在所述工艺腔室之间搬运所述基板110的工作效率。

下面，参照附图对本发明涉及的基板搬运装置100中的所述旋转限制装置200的变形例进行详细说明。

图5是是为了示出基板搬运装置中的旋转限制装置的变形例而放大了图2的A部分的放大图。

本发明的变形例涉及的旋转限制装置200包括：第一限制构件210，结合于所述旋转部140上；第二限制构件220，可旋转地结合于所述运行底座150上；以及移动构件230，用于移动所述第二限制构件220。

进行说明之前，由于所述第一限制构件210、所述第二限制构件220具有与之前说明的实施例相同的结构，因此，在本实施例中省略详细的说明。

在本发明涉及的基板搬运装置100的变形例中，所述移动构件230在与所述第二限制构件220不接触的状态下能够使所述第二限制构件220移动到所述第一位置和所述第二位置之间。为此，所述移动构件230包括：第一喷射机构233，用于使所述第二限制构件220从所述第一位置向所述第二位置的第二方向移动；以及第二喷射机构234，用于使所述第二限制构件220从所述第二位置向所述第一位置的第一方向移动。

所述第一喷射机构233结合于所述运行底座150的一侧。所述第一喷射机构233向所述第二方向喷射气体，从而能够使位于所述第一位置的所述第二限制构件220向所述第二方向移动。由此，所述第一喷射机构233能够移动位于所述第一位置的所述第二限制构件220，以使所述第二限制构件220位于所述第一位置和所述第二位置之间。所述第一喷射机构233上形成有第一喷射孔233a，第一喷射孔233a用于喷射气体以使所述第二限制构件220向所述第二方向移动。虽然未图示，所述第一喷射孔233a可以连接于气体供给部，所述气体供给部供给用于移动所述第二限制构件220的气体。

所述第二喷射机构234结合于所述运行底座150的另一侧。所述第二喷射机构234向所述第一方向喷射气体，从而能够使位于所述第二位置的所述第二限制构件220向所述第一方向移动。由此，所述第二喷射机构234能够移动位于所述第二位置的所述第二限制构件220，以使所述第二限制构件220位于所述第一位置和所述第二位置之间。所述第二喷射机构234上形成有第二喷射孔234a，第二喷射孔234a用于喷射气体，以使所述第二限制构件220向所述第一方向移动。虽然未图示，所述第二喷射孔234a可以连接于气体供给部，所述气体供给部供给用于移动所述第二限制构件220的气体。

因此，本发明涉及的基板搬运装置100，在使所述第二限制构件220移动到所述第一位置和所述第二位置之间时，能够使所述移动构件230不与所述第二限制构件220接触的状态下移动所述第二限制构件220。因此，本发明涉及的基板搬运装置100，比起所述移动构件230与所述第二限制构件220相接的状态下移动所述第二限制构件220的情况，能够防止由于所述移动构件230和所述第二限制构件220相接触而产生灰尘。

本发明所属领域的普通技术人员可以清楚地理解，以上说明的本发明并非限定于上述的实施例以及附图，在不脱离本发明技术思想的范围内能够进行各种替换、变形以及变更。

Claims (3)

1.一种基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，包括：

第一限制构件，结合于旋转部上，所述旋转部与用于支撑基板的搬运臂连接并以旋转轴为中心旋转，从而使所述搬运臂旋转；

第二限制构件，可旋转地结合于运行底座上，在所述第一限制构件旋转时接触于所述第一限制构件，以限制所述第一限制构件的旋转，其中，所述运行底座上可旋转地结合有所述旋转部；以及

移动构件，用于控制所述第二限制构件的位置，

若所述第一限制构件旋转而接触于所述第二限制构件，则所述第二限制构件一同旋转，

当所述第二限制构件与所述第一限制构件接触而旋转时，所述移动构件控制所述第二限制构件的位置，以限制所述第二限制构件的旋转范围，从而在确保所述旋转部旋转一圈的同时防止所述旋转部连续旋转，

所述移动构件控制所述第二限制构件的位置，使得所述第二限制构件位于第一位置和第二位置之间，所述第一位置是所述第二限制构件由于与所述第一限制构件接触从而向第一方向旋转后接触于所述运行底座的位置，所述第二位置是所述第二限制构件由于与所述第一限制构件接触从而向相反于所述第一方向的第二方向旋转后接触于所述运行底座的位置，

所述移动构件包括：第一喷射机构，向所述第二限制构件侧喷射气体，以使所述第二限制构件向所述第二方向移动；以及第二喷射机构，向所述第二限制构件侧喷射气体，以使所述第二限制构件向所述第一方向移动，

基于所述第一喷射机构以及所述第二喷射机构来控制所述第二限制构件，使得所述第二限制构件位于所述第一位置和所述第二位置之间。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置用的旋转限制装置，其特征在于，

所述移动构件包括：第一弹性构件，向所述第二限制构件提供在所述第二方向上的弹力；以及第二弹性构件，向所述第二限制构件提供在所述第一方向上的弹力，

基于所述第一弹性构件以及所述第二弹性构件来控制所述第二限制构件，使得所述第二限制构件位于所述第一位置和所述第二位置之间。

3.一种基板搬运装置，其特征在于，包括：

搬运臂，用于搬运基板；

升降部，用于升降所述搬运臂，以改变所述搬运臂的高度；

旋转部，用于旋转所述升降部，以改变所述搬运臂的朝向；以及

权利要求1或2所述的基板搬运装置用的旋转限制装置，用于限制所述旋转部的旋转。