CN105358911A - 废气的处理装置 - Google Patents

Abstract

提供一种用于使废气合理地燃烧或者热分解从而无害化的废气的处理装置。处理装置(A)具有：燃烧室(1)，该燃烧室(1)的一个端部(1a)被封堵，使所供给的废气燃烧或者分解从而无害化；排气筒(2)，其与燃烧室(1)的另一个端部(1b)连接，将无害化后的废气排出；以及框体(10)，其收纳燃烧室(1)以及排气筒(2)，在燃烧室中，在被封堵的一个端部(1a)侧设置有供给需无害化的废气的废气供给口(3)，并且在比该废气供给口(3)靠排气筒(2)侧的位置设置有燃烧器(4)，此外，在该燃烧器(4)与废气供给口(3)之间、或者比该燃烧器(4)靠排气筒(2)侧的位置设置有供给助燃性气体的助燃性气体供给喷嘴(5)。

Description

废气的处理装置

技术领域

本发明涉及一种废气的处理装置，其用于通过使例如从半导体的制造工序排出的废气燃烧或者热分解而无害化并排出。

背景技术

例如，已知半导体制造工序中的特定的工序生成对人体具有毒性的气体、对地球环境带来负面影响的气体。在将这样的有害的气体向大气放出时，要求进行毒性物质的除去、无害化。因此，提出了能够通过使这样的废气燃烧或者分解而无害化，从而满足上述要求的废气的处理装置(例如参照专利文献1、2)。

专利文献1所记载的废气的处理装置具有：筒状的燃烧室，该燃烧室的一端被封堵，并被导入需无害化的废气与反应促进气体；以及排气筒，其与该燃烧室的另一端正交地连接，助燃性气体从该排气筒的一端流入，从该排气筒的另一端排出燃烧废气。从燃烧室的一端侧导入废气与作为反应促进气体而从氢、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷等选出的气体，由该反应促进气体与废气构成的混合气体以层流状态向排气筒侧流动。虽然该混合气体具有可燃性，但不包含具有助燃性的氧。

另一方面，作为助燃性气体，例如空气高速地流入排气筒，该助燃气体的一部分与设置在排气筒与燃烧室的交叉部分的挡板碰撞，形成与燃烧室的混合气体混合的涡旋流。因此，通过利用设置在燃烧室的火花塞这样的点火装置进行点火，能够使废气、反应促进气体、以及空气混合而成的气体燃烧，由此废气通过燃烧或者分解而无害化。此外，无害化后的废气在排气筒的内部流动并导入至洗涤器，伴随于燃烧或者分解而产生的粉尘通过洗涤器被捕集，并且在充分冷却后向大气排出。

在专利文献1所记载的废气的处理装置中，用作助燃性气体的空气不仅发挥对废气与反应促进气体的混合气体进行助燃的作用，还发挥用于对燃烧废气进行冷却的冷却气体的作用。因此，需要大量的空气。

专利文献2所记载的废气的处理装置构成为，在一端被封堵的燃烧室的一端侧设置有需无害化的废气的供给路，并且在比该供给路靠另一端侧的位置设置有燃烧器。将氢气、LNG、LPG、城市煤气等燃料气体与空气供给至燃烧器，通过使它们的混合气体燃烧，能够使废气在高温区域燃烧或者分解而无害化。另外，在与燃烧室的另一端侧连接的燃烧气体搬运通路中，通过与下游侧连接的洗涤器从上游侧吸引空气，并从燃烧室吸引废气燃烧而成的燃烧气体。

在专利文献2所记载的废气的处理装置中，在燃烧室与燃烧气体搬运通路的交叉点未设置有挡板。因此，从燃烧气体搬运通路的上游侧吸引的空气的一部分作为燃烧室内的废气的助燃性气体而发挥作用，但该空气的大部分具有对燃烧气体进行冷却的作用。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第2963792号公报

专利文献2：日本特开2003-083531号公报

在专利文献1所记载的废气的处理装置中，使在排气筒内高速流通并与挡板碰撞的空气与在燃烧室内产生的需无害化的废气和反应促进气体的混合气体混合，并通过火花塞进行点火而使其燃烧。即，在燃烧室内产生的混合气体是可燃性气体，但在使该混合气体燃烧时需要作为助燃性气体的空气。但是，根据从排气筒流入燃烧室的空气的量的不同，担心难以使存在于该燃烧室的混合气体完全燃烧。

在专利文献2所记载的废气的处理装置中，通过使用燃烧器，能够提高燃烧室内的温度。但是，在废气是可燃性气体的情况下，燃烧室内形成氧不足的状态，为了使该废气燃烧而需要作为助燃性气体的空气，存在难以使废气完全燃烧的顾虑。

专利文献1、2所记载的在排气筒、燃烧气体搬运通路中流动的空气具有针对包括燃烧室内的废气在内的可燃性气体的作为助燃性气体的功能、从燃烧室吸引燃烧后的生成气体的功能、以及针对处理装置的冷却功能。特别是，为了发挥充分的冷却效果，需要使空气在排气筒、燃烧气体搬运通路内高速且大量地流动。其结果是，燃烧室内的温度产生极限，在废气中含有燃烧温度高的成分或者分解温度高的成分的情况下，担心产生难以对这些成分进行无害化的问题。

另外，根据供给至燃烧室的废气的性质、量的不同，无法保证从排气筒、燃烧气体搬运通路流入燃烧室的空气的量是对于使该废气完全燃烧而言充足的量。因此，与燃烧室内的燃烧无关，担心产生未燃烧状态的废气、未反应状态的废气。这样的未燃烧废气、未反应废气被在排气筒、燃烧气体搬运通路中流动的大量的空气稀释，存在降低至可燃烧范围浓度以下的顾虑。在该情况下，存在难以充分地无害化的顾虑。

发明内容

发明要解决的课题

本发明的目的在于提供一种用于使废气合理地燃烧或者热分解而无害化的废气的处理装置。

用于解决课题的方法

为了解决上述课题，本发明的废气的处理装置具有：燃烧室，该燃烧室的一个端部被封堵，使所供给的废气燃烧或者分解而无害化；排气筒，其与所述燃烧室的另一个端部连接，将在该燃烧室内无害化后的废气排出；以及框体，其收纳所述燃烧室以及排气筒，在所述燃烧室中，在被封堵的一个端部侧设置有供给需无害化的废气的废气供给口，并且在比该废气供给口靠排气筒侧的位置设置有燃烧器，此外，在该燃烧器与废气供给口之间、或者比该燃烧器靠排气筒侧的位置设置有供给助燃性气体的助燃性气体供给喷嘴。

在上述废气的处理装置的基础上，优选为，在所述燃烧室的周围配置有多个燃烧器，并且配置有多个助燃性气体供给喷嘴。

另外，在上述任一废气的处理装置的基础上，优选为，配置在所述燃烧室的周围的多个燃烧器相对于该燃烧室的中心轴倾斜地配置，并且多个助燃性气体供给喷嘴也相对于燃烧室的中心轴倾斜地配置。

另外，在上述任一废气的处理装置的基础上，优选为，在所述燃烧室中配置有刮板，该刮板具有贯通该燃烧室的一个端部并配置为能够旋转的轴、以及安装于该轴上并刮除在所述燃烧室的内表面附着的附着物的刮除构件。

发明效果

在本发明的废气的处理装置(以下简称作“处理装置”)中，在一个端部被封堵的燃烧室中设置有供给需无害化的废气的废气供给口，在比该废气供给口靠排气筒侧的位置设置有燃烧器，在该燃烧器与废气供给口之间、或者比该燃烧器靠排气筒侧的位置设置有助燃性气体供给喷嘴。因此，在燃烧室的内部存在未燃烧状态的废气的情况下，能够生成该废气与从助燃性气体供给喷嘴供给的助燃性气体的混合气体，并能够使生成的混合气体燃烧。

即，通过设置于燃烧室的助燃性气体供给喷嘴独立地供给助燃性气体，能够单独地调整该燃烧室内的氧浓度。因此，在废气是可燃性气体，燃烧室内的气氛形成为氧不足这样的情况下，能够消除氧不足，可靠地促进燃烧。

因此，不会在燃烧室内存在有未燃烧状态的废气，能够将该燃烧室内的温度保持为更高的温度的状态，因此，能够使需无害化的废气中所包含的燃烧温度高的成分可靠地燃烧，或者使分解温度高的成分可靠地分解而无害化。

特别是，在使废气燃烧时，由于不利用在排气筒内流动的空气，而是从独立的助燃性气体供给喷嘴供给助燃性气体，因此能够实现燃烧室中的废气的可靠的燃烧、可靠的高温化。因此，在排气筒内流动的空气有助于废气燃烧而成的燃烧气体的冷却、装置的冷却，能够提高冷却效率。

通过在燃烧室的周围配置多个燃烧器，并且配置多个助燃性气体供给喷嘴，能够使燃烧室的内部温度以大致均匀的状态高温化。

特别是，配置在燃烧室的周围的多个燃烧器在与燃烧室的中心轴正交的平面内倾斜地配置，并且多个助燃性气体供给喷嘴也在与燃烧室的中心轴正交的平面内倾斜地配置。因此，通过燃烧器形成的火焰与从助燃性气体供给喷嘴喷射的助燃性气体形成以中心轴为中心的漩涡状的流动，将废气卷入该漩涡状的流动，从而能够实现高效的燃烧。

此外，在燃烧室中配置有刮板，该刮板具有贯通该燃烧室的一个端部且配置为能够旋转的轴、以及安装于该轴上且刮除在燃烧室的内表面附着的附着物的刮除构件，从而即使伴随于废气的燃烧或者分解而产生的粉尘附着在燃烧室的内表面，也能够将该粉尘刮掉。

附图说明

图1是对处理装置的整体结构进行说明的示意图。

图2是对配置在燃烧室的燃烧器与助燃性气体供给喷嘴的关系进行说明的图。

图3是对燃烧室与刮板进行说明的图。

具体实施方式

以下，对本发明的处理装置进行说明。本发明的处理装置通过使从半导体、液晶面板或者太阳电池等的制造工序生成的硅烷、乙硅烷、乙硼烷、磷化氢、三氢化砷、三氟化氮、氟化硅、氯化硅等具有毒性的特殊材料气体、或者四氟化碳、六氟化硫等对地球环境带来负面影响的氟利昂气体、具有爆炸性的氢气等废气燃烧或者分解而无害化并排出。

本发明的处理装置构成为，向燃烧室内供给需无害化的废气并且供给助燃性气体，通过对燃烧器进行点火而将燃烧室内保持为高温状态，由此能够使所供给的废气燃烧而无害化，或者在高温下分解而无害化。并且，本发明的处理装置构成为，能够将无害化后的废气(以下称作“无害化气体”)从与燃烧室连接的排气筒排出。

在本发明中，要向燃烧室供给而无害化的废气不限于可燃性气体或非可燃性气体，以从半导体、液晶面板或者太阳电池等的制造工序生成的废气作为对象。在这样的废气中，有的废气是可燃性气体并能够通过燃烧而无害化的气体，有的废气是非可燃性气体并能够在高温区域内分解而无害化的气体等。因此，通过向燃烧室供给助燃性气体，能够将该燃烧室内保持为可燃烧浓度，通过对燃烧器进行点火而能够保持高温区域。

燃烧器的结构并不特别限定，能够使用可使天然气、液化石油气等燃料气体与空气、氧气等助燃性气体混合而成的混合气体燃烧的结构。另外，设置在燃烧室的燃烧器的数量并不限定，只要是能够使供给至该燃烧室的废气燃烧、或者保持分解所需的足够高的温度的数量即可。因此，优选根据供给至燃烧室的废气的成分、流量、以及燃烧室的粗度等条件适当地设定。

特别是，优选不使火焰的方向朝向燃烧室的中心，而是配置为能够绕该中心回旋，以便能够使燃烧器燃烧室内的温度均衡。通过这样配置燃烧器，能够在燃烧室的内部形成漩涡状的气流，能够消除或者减少所供给的废气的燃烧不均、分解不均。

作为向燃烧室供给的助燃性气体，能够采用空气或者氧气。特别是，若考虑价格、得到的容易度等条件，则优选空气。在该情况下，能够在框体的内部设置鼓风机或者风扇，通过驱动该鼓风机或者风扇而直接向燃烧室供给作为助燃性气体的空气。

在本发明的处理装置中，设置在燃烧室的燃烧器以及助燃性气体供给喷嘴无需一定直接安装于燃烧室，只要构成为能够安装燃烧器、助燃性气体供给喷嘴即可。即，燃烧器、助燃性气体供给喷嘴无需固定在燃烧室的规定位置，也可以构成为在该规定位置预先设置燃烧器、助燃性气体供给喷嘴的安装部，并能够向该安装部装卸。

以下，使用附图对本实施例的处理装置的结构进行说明。

处理装置A具有：一个端部(在本实施例中为图1的左侧的端部)1a被封堵的燃烧室1、与燃烧室1正交地连接于该燃烧室1的另一个端部1b的排气筒2、形成在燃烧室1的端部1a侧的废气供给口3、设置在比废气供给口3靠排气筒2侧的位置的燃烧器4、设置在比燃烧器4靠排气筒2侧的位置的助燃性气体供给喷嘴5、以及收纳燃烧室1以及排气筒2的框体10。

燃烧室1的姿态以及排气筒2的姿态不限，在本实施例中，燃烧室1的长边方向沿横向配置，沿纵向配置的排气筒2与该燃烧室1连接。燃烧室1与排气筒2的连接部要求气密性，因此两者通过焊接而连接。

燃烧室1形成为圆筒状，其粗度根据包括需无害化的废气的量在内的处理条件而设定为最佳的尺寸。特别是，由于燃烧室1的端部1b侧焊接于排气筒2，因此燃烧室1由端部1a侧的简体1c、端部1b侧的筒体1d构成，以便在对该燃烧室1的内部进行维护检查时有利。并且，这些筒体1c、1d经由凸缘1e而螺栓接合，构成燃烧室1。

废气供给口3设置在燃烧室1的被封堵的端部1a侧的简体1c。在筒体1c的侧面形成有具有凸缘3b的管接头3a，废气导入管11与该凸缘3b连接。该废气导入管11的端部11a贯通框体10地设置，与未图示的废气的生成源连接。

燃烧器4设置在比废气供给口3靠排气筒2侧的位置。为了安装燃烧器4，在构成燃烧室1的筒体1d上设置有多个管接头状的安装构件4a，燃烧器4以能够装卸的方式安装于各个安装构件4a。

如图2所示，安装构件4a等角度地设置在燃烧室1的外周面的三个位置，各个安装构件4a并不指向燃烧室1的中心，而形成为稍微倾斜的状态。因此，由燃烧器4形成的火焰如该图(b)所示向逆时针方向回旋，将供给至燃烧室1的端部1a侧的废气卷入该回旋流，能够得到良好的混合状态。

在安装于在燃烧室1设置的安装构件4a的燃烧器4上分别连接有混合气体配管12。该混合气体配管12构成为，与设置在框体10的内部的搅拌器13连接，并能够将通过该搅拌器13形成的混合气体向燃烧器4供给。

在搅拌器13上连接有与未图示的燃料气体供给源连接且通过流量计14a而被监视流量的燃料气体配管14、与设置在框体10的内部的鼓风机15连接且通过流量计16a而被监视流量的空气配管16。并且，通过一边监视各流量计14a、16a一边操作搅拌器13，能够形成与使所供给的燃料气体完全燃烧而言充足的空气的混合比的混合气体，并向燃烧器4供给。

在向燃烧器4供给混合气体之后，对从该燃烧器4喷射的混合气体进行点火的机构并不特别限定，能够在安装构件4a的附近配置未图示的火花塞进行点火。

助燃性气体供给喷嘴5设置于在燃烧室1配置的废气供给口3与燃烧器4之间，或者比燃烧器4靠排气筒2侧的位置，供给使存在于燃烧室1的内部的未燃烧状态的废气再次燃烧所需的助燃性气体。设置于燃烧室1的助燃性气体供给喷嘴5的数量不限，根据所供给的废气的成分、流量等条件而设定最佳的数量。

在本实施例中，助燃性气体供给喷嘴5设置在比设置于燃烧室1的燃烧器4靠排气筒2侧的两个位置。助燃性气体供给喷嘴5的结构并不特别限定，只要能够单独地喷射空气、氧等助燃性气体即可。特别是在本实施例中，利用空气作为助燃性气体，作为助燃性气体供给喷嘴5，只要是能够喷射对于供给至燃烧室1的废气完全燃烧而言足够量的空气的结构即可。

为了安装助燃性气体供给喷嘴5，在构成燃烧室1的筒体1d的对置位置设置有管接头状的安装构件5a。各个安装构件5a以相对于燃烧室1的中心倾斜的状态形成，助燃性气体供给喷嘴5以能够装卸的方式安装于这些安装构件5a。因此，在从助燃性气体供给喷嘴5向燃烧室1喷射助燃性气体时，所喷射的助燃性气体如图2(c)所示那样向逆时针方向回旋，从而能够得到由供给至燃烧室1的端部1a侧的废气、向逆时针方向旋转的火焰、以及助燃性气体构成的回旋流。

在各个助燃性气体供给喷嘴5上连接有空气配管17，该空气配管17经由流量计17a与鼓风机15连接。因此，通过监视流量计17a并调整空气的流量，能够设定从助燃性气体供给喷嘴5向燃烧室1供给的空气的量。

在燃烧室1的端部1b连接有排气筒2。该排气筒2的下方侧的端部2a在框体10的内部开口，上方侧的端部2b贯通框体10的上表面地配置，与未图示的水洗涤器连接。并且，由设置于水洗涤器的吸引泵产生的吸引力作用于排气筒2。并不限定该吸引力的大小，在本实施例中，在排气筒2的端部2b作用有约1千帕(KPa)的吸引力。

框体10构成为能够发挥高气密性，在上表面形成有开口10a，能够通过该开口10a导入空气。因此，当吸引力作用于排气筒2时，在该排气筒2中形成有从下方朝向上方的空气流，伴随于此，燃烧室1的内部形成为负压，并且在框体10的内部形成有从开口10a到排气筒2的空气流。另外，当使鼓风机15工作而将框体10内的空气向空气配管16、17供给时，随着该空气的供给，形成空气从框体10的开口10a流入并到达鼓风机15的空气流。

如上所述，通过水洗涤器产生的吸引力的作用、伴随于鼓风机15的工作而在框体10的内部形成的空气流，能够实现针对配置在该框体10的内部的设备的冷却作用。

当在燃烧室1中使废气燃烧时，该废气中所包含的成分的一部分成为粉尘而分离，分离出的成分有时附着于燃烧室1的内壁面。因此，在燃烧室1中设置有用于刮除附着的粉尘的刮板20。该刮板20只需采用能够通过手动操作或者自动操作而沿着燃烧室1的内表面移动从而刮除附着于该内表面的粉尘的结构即可。

如图3所示，刮板20具有：具有与燃烧室1的长度大致相等的长度的刮除构件20a、与刮除构件20a的一侧的端部连接的支承构件20b、与支承构件20b的规定位置连接且成为刮板20的旋转中心的轴20c、以及沿着支承构件20b安装的加强构件20d。

刮板20的刮除构件20a配置在燃烧室1的内部，并且轴20c以贯通燃烧室1的被封堵的端部1a的方式配置，且以能够旋转的方式支承于轴承构件21。另外，在轴20c的从轴承构件21突出的端部安装有构成驱动装置22的链轮22c。并且，通过将马达22a的旋转经由链轮22c、链22b向轴20c传递，从而刮除构件20a能够沿着燃烧室1的内表面旋转。

并不限定通过驱动装置22始终驱动刮板20还是间歇地驱动刮板20，优选与附着于燃烧室1的粉尘的量等条件对应地进行适当设定。

构成刮板20的刮除构件20a的全长配置在燃烧室1中，因此在运转中成为高温，存在寿命变短的顾虑。因此，在本实施例中，在刮除构件20a上遍及长边方向的全长形成有冷却介质通路23，通过向该冷却介质通路23供给作为冷却介质的压力空气，能够进行强制冷却。

特别是，在冷却介质通路23的刮除构件20a的自由端(与支承构件20b相反一侧的端部)形成有开口23a。另外，在将刮板20设置于燃烧室1时，在刮除构件20a中的与燃烧器4对置的位置形成有与冷却介质通路23连通的多个喷射口23b。

因此，供给至冷却介质通路23的冷却介质在流通于该冷却介质通路23的过程中对刮除构件20a进行冷却，从开口23a向排气筒2放出，同时从喷射口23b向燃烧室1的内部放出。这样，通过冷却介质在形成于构成刮板20的刮除构件20a的冷却介质通路23中流通，能够对刮板20进行冷却，降低热量造成的影响。

刮除构件20a具有将附着于燃烧室1的内表面的粉尘刮掉的功能。特别是，由于刮除构件20a在暴露于高温的状态下动作，并且将以相对于燃烧室1的内表面牢固地凝固的状态附着的粉尘刮掉，因此需要具有较高的弯曲强度。

因此，在本实施例中，刮除构件20a的剖面形成为四边形，冷却介质通路23形成为扁平的四边形。该刮除构件20a通过沿长边方向对厚度不同的两种棒材20a1、20a2进行焊接而构成。即，在较薄的棒材20a1的一个面上形成长边方向的槽，在另一个面上形成与该槽连通的多个喷射口23b，将该棒材20a1配置在燃烧室1的中心侧，将较厚的棒材20a2配置在燃烧室1的内表面侧，并对两者进行焊接，从而构成刮除构件20a。并且，通过形成于棒材20a1的槽来形成冷却介质通路23。

特别是，刮除构件20a在配置于成为高温的燃烧室1的状态下进行旋转，因此担心未被加强构件20d加强的自由端侧向燃烧室1的内表面侧变形。因此，在刮除构件20a的与棒材20a2的内表面对置的面上，从自由端到加强构件20d形成有斜面20e。优选斜面20e的倾斜角度与构成刮除构件20a的材质、燃烧室1中假设的温度等条件对应地进行适当设定。

在构成刮板20的轴20c上形成有未图示的冷却介质供给路，该冷却介质供给路与形成在刮除构件20a、支承构件20b上的冷却介质通路23连通，在规定位置沿粗度方向贯通地形成有冷却介质供给口。因此，能够使经由冷却介质供给口供给的冷却介质通过轴20c、支承构件20b、刮除构件20a，从开口23a、喷射口23b放出。

轴承构件21将构成刮板20的轴20c支承为能够旋转，并且具有经由该轴20c供给冷却介质的功能。因此，轴承构件21具有：框体25，其安装在设置于燃烧室1的托架24上，并形成有供轴20c游隙嵌合的孔(未图示)；以及轴承21a，其配置在与框体25的两端对应的部位，供轴20c嵌合并将轴20c支承为能够旋转。

在如上述那样构成的轴承构件21中，当使刮板20的轴20c与轴承21a、框体25嵌合，在该状态下向框体25供给冷却介质时，所供给的冷却介质经由形成在刮板20的轴20c上的冷却介质供给口而向冷却介质通路23供给。

接下来，对通过如上述那样构成的处理装置A实施的废气的无害化操作进行简单说明。

首先，从未图示的燃料气体供给源供给燃料气体，并且驱动鼓风机15，向搅拌器13供给空气，同时向助燃性气体供给喷嘴5供给空气。此时，从框体10的开口10a吸引空气，形成箭头a方向的空气流。

通过流量计14a监视燃料气体配管14中的燃料气体的流量，通过流量计16a监视向搅拌器13供给的空气的流量。并且，通过一边监视各流量计14a、16a一边操作搅拌器13，从而调节燃料气体与空气的混合比并向燃烧器4供给。另外，一边监视流量计17a一边向助燃性气体供给喷嘴5供给规定量的空气。

如上所述，从燃烧器4向燃烧室1供给燃料气体与空气的混合气体，并从助燃性气体供给喷嘴5向燃烧室1供给空气。并且，通过对燃烧器4进行点火，从而在燃烧室1内形成火焰。该火焰如图2所示那样向逆时针方向回旋并燃烧。

使与排气筒2连接的水洗涤器工作，从而作用该水洗涤器的吸引力。伴随于此，在排气筒2、燃烧室1以及框体10作用有负压，如图1所示，从框体10的开口10a吸引大量的空气，该空气沿箭头a方向流动，从排气筒2的下端2a沿箭头b方向流动。通过在框体10的内部产生的大量的空气流，对配置在该框体10的内部的包括燃烧室1、排气筒2、鼓风机15在内的设备进行冷却。

另外，通过作用于排气筒2的负压而在燃烧室1中产生箭头c方向的流动，伴随于该流动而产生的吸引力经由废气导入管11作用于未图示的废气生成源，从而从废气供给口3向燃烧室1供给废气。供给至燃烧室1的废气通过使燃烧器4点火产生的火焰而成为高温，可燃成分燃烧，并且高温下的分解成分进行分解。

在供给至燃烧室1的废气包括燃烧成分的情况下，通过从助燃性气体供给喷嘴5供给的空气来供给燃烧所需的氧，促进废气的燃烧。这样，废气中所包含的燃烧成分与从助燃性气体供给喷嘴5供给的空气混合而能够大致完全地燃烧，能够实现通过燃烧进行的无害化。

另外，在燃烧室1的内部，同时进行燃烧器4的火焰与废气中所包含的燃烧成分的燃烧，因此，该燃烧室1的内部温度能够保持充分的高温区域，能够使废气中所包含的高温区域内的分解成分可靠地进行分解。

如上述那样在燃烧室1的内部燃烧、或者在高温下分解而无害化后的无害化气体通过作用于排气筒2的吸引力而被吸引，沿着箭头d方向朝未图示的水洗涤器排出。

如上所述，通过经由助燃性气体供给喷嘴5向燃烧室1供给空气，即使是包含可燃性成分的废气，也能够可靠地燃烧而无害化。另外，由于在形成燃烧器4的火焰的同时进行废气中所包含的燃烧成分的燃烧，因此能够将燃烧室1的内部温度保持为高温区域，即使是废气中所包含的高温下分解的成分，也能够可靠地分解。因此，能够使供给至燃烧室1的废气燃烧、或者热分解，从而无害化。

此外，废气中所包含的粉尘成分的大部分在废气在燃烧室1内燃烧、分解的过程中落下，该粉尘通过刮板20的刮除构件20a从燃烧室1的内表面被刮除，向排气筒2流动，沿箭头d方向排出。

工业上的可利用性

本发明的废气的处理装置在利用于对从半导体的制造工序排出的废气、由液晶面板的制造工序排出的废气进行无害化时有用。

附图标记说明：

A处理装置

1燃烧室

1a、1b端部

1c、1d筒体

1e凸缘

2排气筒

2a、2b端部

3废气供给口

3a管接头

3b凸缘

4燃烧器

4a、5a安装构件

5助燃性气体供给喷嘴

10框体

10a开口

11废气导入管

11a端部

12混合气体配管

13搅拌器

14燃料气体配管

14a、16a、17a流量计

15鼓风机

16、17空气配管

20刮板

20a刮除构件

20a1、20a2棒材

20b支承构件

20c轴

20d加强构件

20e斜面

21轴承构件

21a轴承

22驱动装置

22a马达

22b链

22c链轮

23冷却介质通路

23a开口

23b喷射口

24托架

25框体

Claims (4)

1.一种废气的处理装置，其特征在于，具有：

燃烧室，该燃烧室的一个端部被封堵，使所供给的废气燃烧或者分解而无害化；

排气筒，其与所述燃烧室的另一个端部连接，将在该燃烧室内无害化后的废气排出；以及

框体，其收纳所述燃烧室以及排气筒，

在所述燃烧室中，在被封堵的一个端部侧设置有供给需无害化的废气的废气供给口，并且在比该废气供给口靠排气筒侧的位置设置有燃烧器，此外，在该燃烧器与废气供给口之间、或者比该燃烧器靠排气筒侧的位置设置有供给助燃性气体的助燃性气体供给喷嘴。

2.根据权利要求1所述的废气的处理装置，其特征在于，

在所述燃烧室的周围配置有多个燃烧器，并且配置有多个助燃性气体供给喷嘴。

3.根据权利要求1或2所述的废气的处理装置，其特征在于，

配置在所述燃烧室的周围的多个燃烧器相对于该燃烧室的中心轴倾斜地配置，并且多个助燃性气体供给喷嘴也相对于燃烧室的中心轴倾斜地配置。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的废气的处理装置，其特征在于，

在所述燃烧室中配置有刮板，该刮板具有贯通该燃烧室的一个端部并配置为能够旋转的轴、以及安装于该轴上并刮除在所述燃烧室的内表面附着的附着物的刮除构件。