CN104979232B - 晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统 - Google Patents

Abstract

一种晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统。本发明中，当一晶圆传送盒需进行存储时，先判断制造执行系统中指定的该晶圆传送盒对应的目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若未超过，将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；若超过，需动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。上述方案中物料控制系统收到的不是指定的静态目标存储柜，而是经过均衡负载的存储柜，使得各存储柜的负载均衡，避免了出现负载超过100%的存储柜，降低了自动化物料搬运系统故障的风险，此外上述方案利用了现有的自动化物料搬运系统的接口，丰富了制造执行系统以及实时派工系统的模块功能，即未改变物料控制系统，因而成本较低。

Description

晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统。

背景技术

半导体元件在制作过程中通常包含一系列工艺，上述工艺按照一特定的顺序且通常在一特定的时间段内利用各种设备实现。晶圆制造厂（Fab）中的物料流系统的主要功能在于在正确时间点将晶圆传送到每一设备上，并追踪整个制造过程中晶圆的位置以及状态。

自动化物料搬运系统（Automated Material Handing System，AMHS）由于相对手动装置能更有效、一致、以及安全地实现自动化功能，因而近年来被广泛地用于物料流系统中。

当一晶圆传送盒（Front Opening Unified Pod，FOUP）欲传送时，一制造执行系统（Manufacturing Execution System，MES）将给出目标存储柜（Destination Stocker），之后，制造执行系统向自动化物料搬运系统中的物料控制系统（Material Control System，MCS）发出传送命令，后者接受命令后，通知一传送管理者执行该传送。上述执行该传送过程中，若遇到目标存储柜存满，即负载超过100%，则控制传送小车将晶圆传送盒传送至该目标存储柜的备用存储柜（Backup Stocker）。

上述过程中，会出现一些问题，例如制造执行系统给出的目标存储柜是静态的，只有当该目标存储柜负载超过100%时，才能存入备用存储柜，这造成某些存储柜负载较高，而某些存储柜的负载较低，自动化物料搬运系统时刻处于高风险中，而一次故障又会造成较大损失。

针对上述问题，也可以由软件供应商更改自动化物料搬运系统的软件，以降低其故障的几率，然而这需要较长时间周期且成本较大。

有鉴于此，本发明提供一种晶圆传送盒的存储方法及实现晶圆传送盒存储的系统，以较低成本降低自动化物料搬运系统故障的几率。

发明内容

本发明实现的目的是以较低成本降低自动化物料搬运系统故障的几率。

为实现上述目的，本发明的一方面提供一种晶圆传送盒的存储方法，包括：

当存储晶圆传送盒时，判断该晶圆传送盒的目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若未超过，则将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；反之，则动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。

可选地，所述安全存储率的范围为小于85%。

可选地，所述动态获取备用存储柜的存储率是通过扫描每一备用存储柜的存储量加以获得。

可选地，动态获取备用存储柜的存储率是通过记录每一晶圆传送盒所在的存储柜加以获得。

可选地，动态获取备用存储柜的存储率中，所述备用存储柜是经过分类、适于存放该晶圆传送盒的备用存储柜。

可选地，所述动态获取备用存储柜的存储率中，若存在存储率超过安全存储率的备用存储柜，则记录该备用存储柜的信息，当下一晶圆传送盒存储时，该备用存储柜不再为该下一晶圆传送盒的备用存储柜。

本发明的另一方面提供一种实现晶圆传送盒存储的系统，包括：

制造执行系统，指定晶圆传送盒的目标存储柜，且判断该目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若超过，则发超过信息给实时派工系统、接收反馈信息，并将反馈信息发送给物料控制系统；若未超过，则发未超过信息给物料控制系统；

实时派工系统，收到所述制造执行系统的超过信息后，动态获取备用存储柜的存储率，并将存储率最低的备用存储柜的信息反馈给所述制造执行系统；

物料控制系统，当收到所述制造执行系统的未超过信息后，将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；当收到所述制造执行系统的反馈信息后，将晶圆传送盒存入所述反馈信息中存储率最低的备用存储柜。

可选地，备用存储柜的信息为存储柜的一维或二维识别码。

可选地，所述实时派工系统还包括记录模块，记录每一晶圆传送盒所存储的存储柜的信息。

可选地，所述记录模块还记录存储率超过安全存储率的备用存储柜的的信息。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：1）当一晶圆传送盒需进行存储时，不是直接将其放入制造执行系统指定的目标存储柜或该的目标存储柜负载100%后转而放入备用存储柜，而是先判断该目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若未超过，才将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；若超过，需动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。可见，上述方案中物料控制系统收到的不是制造执行系统中指定的静态目标存储柜，而是经过均衡负载的存储柜，如此，一方面使得各存储柜的负载均衡，避免了出现负载超过100%的存储柜，降低了自动化物料搬运系统故障的风险，另一方面，上述方案利用了现有的自动化物料搬运系统的接口，丰富了制造执行系统以及实时派工系统的模块功能，换言之，未改变物料控制系统，因而成本较低。

2）可选方案中，动态获取备用存储柜的存储率有两种实现途径：a）通过扫描每一备用存储柜的存储量加以获得；b）记录每一晶圆传送盒所在的存储柜加以获得。

3）可选方案中，动态获取备用存储柜的存储率中，所述备用存储柜是经过分类、适于存放该晶圆传送盒的备用存储柜，即在统计存储率时，避免了统计不适于放置待存储晶圆传送盒的存储柜，减少了统计量，节省了成本，提高了效率。

4）可选方案中，动态获取备用存储柜的存储率中，若存在存储率超过安全存储率的备用存储柜，则记录该备用存储柜的信息，当下一晶圆传送盒存储时，该备用存储柜不再为该下一晶圆传送盒的备用存储柜。上述方案避免了下一晶圆传送盒存储时，统计不可能存入的备用存储柜的存储率，节省了成本，提高了效率。

附图说明

图1是本发明实施例提供的实现晶圆传送盒存储的系统的模块结构图；

图2是图1中的系统对应的晶圆传送盒的存储方法的流程图。

具体实施方式

如背景技术中所述，现有的制造执行系统给出目标存储柜是静态的，只有当该目标存储柜负载超过100%时，才能存入备用存储柜，这会造成一些存储柜时刻处于故障的风险中。本发明针对上述问题，提出当一晶圆传送盒需进行存储时，不是直接将其放入制造执行系统指定的目标存储柜或该的目标存储柜负载100%后转而放入备用存储柜，而是先判断该目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若未超过，才将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；若超过，需动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。可见，上述方案中物料控制系统收到的不是制造执行系统中指定的静态目标存储柜，而是经过均衡负载的存储柜，如此，一方面使得各存储柜的负载均衡，避免了出现负载超过100%的存储柜，降低了自动化物料搬运系统故障的风险，另一方面，上述方案利用了现有的自动化物料搬运系统的接口，丰富了制造执行系统以及实时派工系统的模块功能，换言之，未改变物料控制系统，因而成本较低。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。

图1是本发明实施例提供的实现晶圆传送盒存储的系统的模块结构图；图2是图1中的系统对应的晶圆传送盒的存储方法的流程图。

首先介绍系统。参照图1所示，该系统包括：

制造执行系统（MES）1，用于指定晶圆传送盒的目标存储柜，且判断该晶圆传送盒的目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若超过，则发超过信息给实时派工系统、接收反馈信息，并将反馈信息发送给物料控制系统；若未超过，则发未超过信息给物料控制系统；

实时派工系统（RTD）2，用于收到所述制造执行系统的超过信息后，动态获取备用存储柜的存储率，并将存储率最低的备用存储柜的信息反馈给所述制造执行系统；

物料控制系统（MCS）3，用于收到所述制造执行系统的未超过信息后，将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；收到所述制造执行系统的反馈信息后，将晶圆传送盒存入所述反馈信息中存储率最低的备用存储柜。

此外，实时派工系统2还包括记录模块20，用于记录每一晶圆传送盒所存储的存储柜的信息和/或存储率超过安全存储率的备用存储柜的的信息。

物料控制系统3是自动化物料搬运系统（AMHS）中的一个模块，即AMHS的一个接口。

以下结合图1至图2，详细介绍晶圆传送盒的存储方法。

参照图2所示，当晶圆传送盒需存储时，先判断该晶圆传送盒的目标存储柜的存储率是否超过安全存储率。

上述目标存储柜是由制造执行系统1指定的，此外，上述判断过程也是由制造执行系统1完成的。

在具体实施过程中，安全存储率可以为85%，也可以根据实际需要设置为小于85%。

上述晶圆传送盒需存储的信息可以有两种触发方式，一种为操作者触发，即操作者发出存储某晶圆传送盒的命令，另一种为工序中的制造执行系统1触发，即根据工序需要，例如某一工艺完成后，存放一批晶圆的晶圆传送盒需临时存储。

若未超过，则将晶圆传送盒存入所述目标存储柜。具体地，若未超过，则制造执行系统1发未超过信息给物料控制系统3，物料控制系统3控制自动化物料搬运系统实现将晶圆传送盒存入所述目标存储柜。

若超过，则动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。具体地，若超过，则制造执行系统1发超过信息给实时派工系统2；实时派工系统2收到所述制造执行系统1的超过信息后，动态获取备用存储柜的存储率，并将存储率最低的备用存储柜的信息反馈给所述制造执行系统1；制造执行系统1接收到反馈信息后，将反馈信息发送给物料控制系统3；物料控制系统3收到所述制造执行系统1的反馈信息后，将晶圆传送盒存入所述反馈信息中存储率最低的备用存储柜。

上述过程中，动态获取备用存储柜的存储率中，所述备用存储柜是经过分类、适于存放该晶圆传送盒的备用存储柜，即在统计存储率时，避免了统计不适于放置待存储晶圆传送盒的存储柜，减少了统计量，节省了成本，提高了效率。

在适于放置待存储晶圆传送盒的备用存储柜中，每一存储柜的存储率是通过a）扫描每一备用存储柜的存储量加以获得，或b）记录每一晶圆传送盒所在的存储柜加以获得。对于a）方案，实时扫描每一备用存储柜的存储量，除以该备用存储柜的最大存储量，即可获得每一备用存储柜的存储率，所得结果可靠。对于b）方案，避免了a）方案中的实时扫描，而是通过所记录的每一晶圆传送盒所在的存储柜，统计每一备用存储柜的存储量，除以该备用存储柜的最大存储量，即可获得每一备用存储柜的存储率，省时。

上述过程中，备用存储柜的信息可以为存储柜的一维或二维识别码，也可以为其它方式的标识。

此外，出于提高效率的目的，动态获取备用存储柜的存储率中，若存在存储率超过安全存储率的备用存储柜，则记录该备用存储柜的信息，上述记录可以由记录模块20完成。当下一晶圆传送盒存储时，该备用存储柜不再为该下一晶圆传送盒的备用存储柜。上述方案避免了下一晶圆传送盒存储时，统计不可能存入的备用存储柜的存储率。

该晶圆传送盒送入存储柜后，将存储柜的信息反馈给记录系统20。

实际使用中发现，将晶元传送盒不是存入制造执行系统中指定的静态目标存储柜或指定的目标存储柜负载超过100%后才存入备用存储柜，而是存入负载未超安全存储率的存储柜或经过均衡负载的存储柜，由于避免了出现负载超过100%的存储柜，因而自动化物料搬运系统故障的风险大大降低。此外，本发明利用了现有的自动化物料搬运系统的接口，增加了制造执行系统以及实时派工系统的模块功能，换言之，未改变物料控制系统，因而成本较低。即本发明实现了以较低成本降低自动化物料搬运系统故障的风险。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (10)

1.一种晶圆传送盒的存储方法，其特征在于，包括：

当存储晶圆传送盒时，判断该晶圆传送盒的目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若未超过，则将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；反之，则动态获取备用存储柜的存储率，将晶圆传送盒放入存储率最低的备用存储柜。

2.根据权利要求1所述的存储方法，其特征在于，所述安全存储率的范围为小于85％。

3.根据权利要求1所述的存储方法，其特征在于，所述动态获取备用存储柜的存储率是通过扫描每一备用存储柜的存储量以获得。

4.根据权利要求1所述的存储方法，其特征在于，动态获取备用存储柜的存储率是通过记录每一晶圆传送盒所在的存储柜以获得。

5.根据权利要求1所述的存储方法，其特征在于，动态获取备用存储柜的存储率中，所述备用存储柜是经过分类、适于存放该晶圆传送盒的备用存储柜。

6.根据权利要求1所述的存储方法，其特征在于，所述动态获取备用存储柜的存储率中，若存在存储率超过安全存储率的备用存储柜，则记录该备用存储柜的信息，当下一晶圆传送盒存储时，该备用存储柜不再为该下一晶圆传送盒的备用存储柜。

7.一种实现晶圆传送盒存储的系统，其特征在于，包括：

制造执行系统，指定晶圆传送盒的目标存储柜，且判断该目标存储柜的存储率是否超过安全存储率，若超过，则发超过信息给实时派工系统、接收反馈信息，并将反馈信息发送给物料控制系统；若未超过，则发未超过信息给物料控制系统；

实时派工系统，收到所述制造执行系统的超过信息后，动态获取备用存储柜的存储率，并将存储率最低的备用存储柜的信息反馈给所述制造执行系统；

物料控制系统，当收到所述制造执行系统的未超过信息后，将晶圆传送盒存入所述目标存储柜；当收到所述制造执行系统的反馈信息后，将晶圆传送盒存入所述反馈信息中存储率最低的备用存储柜。

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，备用存储柜的信息为存储柜的一维或二维识别码。

9.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，所述实时派工系统还包括记录模块，记录每一晶圆传送盒所存储的存储柜的信息。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于，所述记录模块还记录存储率超过安全存储率的备用存储柜的的信息。