CN104813498A - 透明电极以及相关制造工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及多层导电透明电极，其包括：-基底层，-包括如下的导电层：○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，和○金属纳米丝的逾渗网络，所述导电层与所述基底层直接接触并且所述导电层还包括至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物。本发明还涉及用于制造这样的多层导电透明电极的工艺。

Description

透明电极以及相关制造工艺

本发明涉及在有机电子学的总的领域中的导电透明电极以及其制造工艺(方法)。

具有高的透射率和电导率性质两者的导电透明电极目前是电子设备领域中值得考虑的发展主题，该类型的电极被越来越多地用于例如光伏电池、液晶屏、有机发光二极管(OLED)或聚合物发光二极管(PLED)和触摸屏的器件。

为了获得具有高的透射率和电导率性质的导电透明电极，具有这样的多层导电透明电极是已知的实践：其首先包括基底层，所述基底层上沉积有粘合(adhesion)层、金属纳米丝(纳米长丝，nanofilament)的逾渗网络、以及由导电聚合物例如聚(3,4-亚乙基二氧噻吩)(PEDOT)和聚(苯乙烯磺酸)钠(PSS)混合物(形成所谓的PEDOT:PSS)制成的包封层。

专利申请US2009/129004提出了这样的多层透明电极：其使得可实现所有的期望性质，尤其是在透射率和表面电阻率方面。然而，这样的电极具有拥有基底、粘合层、由金属纳米丝组成的层、包括碳纳米管和导电聚合物的电均化(homogenization)层的复杂结构。层的该增加引起工艺的显著成本。此外，使用粘合层的需要引起光学透射的损失。最后，所述均化层基于碳纳米管，其造成分散问题。

因此期望开发包括最少的层并且不包括任何碳纳米管的导电透明电极。

因此，本发明的目的之一是至少部分地克服现有技术缺点并且提出具有高的透射率和电导率性质的多层导电透明电极以及其制造工艺。

因此，本发明涉及多层导电透明电极，其包括：

-基底层，

-导电层，其包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，和

○金属纳米丝的逾渗网络，

所述导电层与所述基底层直接接触且所述导电层还包括至少一种疏水性粘合(adhesive)聚合物或粘合共聚物。

根据本发明的多层导电透明电极满足以下要求和性质：

-小于100Ω/□的表面电阻R，

-大于或等于75％的在可见光谱中的平均透射率T_平均，

-直接粘合至基底，和

-不存在光学缺陷。

根据本发明的一个方面，所述导电层还包括至少一种另外的聚合物。

根据本发明的另一方面，所述另外的聚合物为聚乙烯基吡咯烷酮。

根据本发明的另一方面，所述多层导电透明电极具有大于或等于75％的在可见光谱中的平均透射率。

根据本发明的另一方面，所述多层导电透明电极具有小于100Ω/□的表面电阻。

根据本发明的另一方面，所述基底选自玻璃和透明柔性聚合物。

根据本发明的另一方面，所述金属纳米丝为贵金属的纳米丝。

根据本发明的另一方面，所述金属纳米丝为非贵金属的纳米丝。

根据本发明的另一方面，所述粘合聚合物或粘合共聚物选自聚乙酸乙烯酯聚合物或者丙烯腈-丙烯酸酯共聚物。

本发明还涉及用于制造多层导电透明电极的工艺，其包括以下步骤：

-制备和直接施加导电层到基底层上的步骤，所述导电层包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，

○金属纳米丝的逾渗网络，和

○至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

-使所述导电层交联的步骤。

根据按照本发明的工艺的一个方面，制备和直接施加导电层到基底层上的步骤包括以下子步骤：

-制备形成导电层的组合物的子步骤，所述形成导电层的组合物包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物的分散体或悬浮液，

○至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

-将金属纳米丝的悬浮液添加至所述形成导电层的组合物的子步骤，和

-将混合物直接施加到所述基底层上的子步骤。

根据按照本发明的工艺的另一方面，制备和直接施加导电层到基底层上的步骤包括以下子步骤：

-制备形成导电层的组合物的子步骤，所述形成导电层的组合物包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物的分散体或悬浮液，

○至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

-将金属纳米丝的悬浮液直接施加到所述基底层上以形成金属纳米丝的逾渗网络的子步骤，

-将所述形成导电层的组合物施加到所述金属纳米丝的逾渗网络上的子步骤。

根据按照本发明的工艺的另一方面，所述形成导电层的组合物还包括至少一种另外的聚合物。

根据按照本发明的工艺的另一方面，所述另外的聚合物为聚乙烯基吡咯烷酮。

根据按照本发明的工艺的另一方面，所述基底层的基底选自玻璃和透明柔性聚合物。

根据按照本发明的工艺的另一方面，所述金属纳米丝为贵金属的纳米丝。

根据按照本发明的工艺的另一方面，所述金属纳米丝为非贵金属的纳米丝。

根据按照本发明的工艺的另一方面，所述粘合聚合物或粘合共聚物选自聚乙酸乙烯酯聚合物或丙烯腈–丙烯酸酯共聚物。

在阅读作为非限制性的说明性实例给出的以下描述、以及附图时，本发明的其它特性和优点将更清楚地显现，在附图中：

-图1为多层导电透明电极的各层的以横截面形式的示意图，

-图2为根据本发明的制造工艺的各步骤的流程图。

本发明涉及图1中所示的多层导电透明电极。该类型的电极优选地具有0.05μm-20μm的厚度。

所述多层导电透明电极包括：

-基底层1，和

-与基底层1直接接触的导电层2。

为了保持电极的透明性质，基底层1必须是透明的。其可为柔性的或刚性的并且有利地选自玻璃(在其必须为刚性的情况下)，或者替代地选自透明柔性聚合物例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚砜(PSU)、酚醛树脂、环氧树脂、聚酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚醚酯树脂、聚醚酰胺树脂、聚(乙酸乙烯酯)、硝酸纤维素、醋酸纤维素、聚苯乙烯、聚烯烃、聚酰胺、脂族聚氨酯、聚丙烯腈、聚四氟乙烯(PTFE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚芳酯(多芳基化合物，polyarylate)、聚醚酰亚胺、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)和聚偏氟乙烯(PVDF)，最优选的柔性聚合物为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚醚砜(PES)。

导电层2包括：

(a)至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，

(b)至少一种粘合聚合物或粘合共聚物，

(c)金属纳米丝3的逾渗网络。

导电层2还可包括：

(d)至少一种另外的聚合物。

导电聚合物(a)为聚噻吩，后者为最为热和电子稳定的聚合物之一。优选的导电聚合物为聚(3,4-亚乙基二氧噻吩)-聚(苯乙烯磺酸盐)(聚(磺苯乙烯))(PEDOT:PSS)，后者对光和热是稳定的，容易分散在水中，并且不具有任何环境缺点。

粘合聚合物或粘合共聚物(b)优先为疏水性化合物并且可选自聚乙酸乙烯酯聚合物或丙烯腈–丙烯酸酯共聚物。粘合聚合物或粘合共聚物(b)尤其容许金属纳米丝3的逾渗网络和导电聚合物(a)之间更好的粘合。

金属纳米丝3的逾渗网络优先由贵金属例如银、金或铂的纳米丝构成。金属纳米丝3的逾渗网络也可由非贵金属例如铜的纳米丝构成。

金属纳米丝3的逾渗网络可由金属纳米丝3的一个或多个重叠的层组成，从而形成导电逾渗网络，并且可具有0.01μg/cm²-1mg/cm²的金属纳米丝3密度。

所述另外的聚合物(d)选自聚乙烯醇(PVOH)、聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)、聚乙二醇，或者替代地，纤维素或者其它多糖的醚和酯。该另外的聚合物(d)为粘度增强剂并且在向基底层1施加导电层2期间帮助形成良好品质的膜。

导电层2可以如下重量比例包括成分(a)、(b)、(c)和(d)的每一种(对于100重量％的总量)：

(a)10重量％-65重量％的至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，

(b)20重量％-85重量％的至少一种粘合聚合物或粘合共聚物，

(c)5重量％-40重量％的金属纳米丝3，和

(d)0-15重量％的至少一种另外的聚合物。

根据本发明的多层导电透明电极因此包括：

-小于100Ω/□的表面电阻R，

-大于或等于75％的在可见光谱中的平均透射率T_平均，

-直接粘合至基底，和

-不存在光学缺陷。

本发明还涉及制造多层导电透明电极的工艺，包括以下步骤：

该制造工艺的步骤示于图2的流程图中。

i)在基底层1上的导电层2的制备

在该步骤i中在基底层1上制备导电层2。

为了保持电极的透明性质，基底层1必须是透明的。其可为柔性的或刚性的，并且有利地选自玻璃(在其必须为刚性的情况下)，或者替代地选自透明柔性聚合物例如聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)、聚醚砜(PES)、聚碳酸酯(PC)、聚砜(PSU)、酚醛树脂、环氧树脂、聚酯树脂、聚酰亚胺树脂、聚醚酯树脂、聚醚酰胺树脂、聚(乙酸乙烯酯)、硝酸纤维素、醋酸纤维素、聚苯乙烯、聚烯烃、聚酰胺、脂族聚氨酯、聚丙烯腈、聚四氟乙烯(PTFE)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、聚芳酯(多芳基化合物)、聚醚酰亚胺、聚醚酮(PEK)、聚醚醚酮(PEEK)和聚偏氟乙烯(PVDF)，最优选的柔性聚合物为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN)和聚醚砜(PES)。

导电层2包括：

(a)至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，

(b)至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

(c)金属纳米丝3的逾渗网络。

导电层2还可包括：

(d)至少一种另外的聚合物。

导电聚合物(a)为聚噻吩，后者为最为热和电子稳定的聚合物之一。优选的导电聚合物为聚(3,4-亚乙基二氧噻吩)-聚(苯乙烯磺酸盐)(PEDOT:PSS)，后者对光和热是稳定的，容易分散在水中，并且不具有任何环境缺点。

粘合聚合物或粘合共聚物(b)为疏水性化合物并且选自聚乙酸乙烯酯聚合物或丙烯腈–丙烯酸酯共聚物。粘合聚合物或粘合共聚物(b)尤其容许金属纳米丝3的逾渗网络和导电聚合物(a)之间更好的粘合。

由于粘合聚合物或粘合共聚物(b)为疏水性化合物，其在溶剂中形成悬浮液并且这容许后者在溶液内更好的分散。

所述另外的聚合物(d)选自聚乙烯醇(PVOH)、聚乙烯基吡咯烷酮(PVP)、聚乙二醇，或者替代地，纤维素或者其它多糖的醚和酯。

用于制备导电层2的步骤i)的第一子步骤101因此是形成导电层2的组合物的制备。为此，将组分(a)、(b)和任选的(d)混合在一起以形成所述组合物。

为此，导电聚合物(a)可为在水中和/或在溶剂中的分散体或悬浮液的形式，所述溶剂优选为选自如下的极性有机溶剂：二甲亚砜(DMSO)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、乙二醇、四氢呋喃(THF)、二甲基乙酸酯(DMAc)、二甲基甲酰胺(DMF)，所述导电聚合物(b)优选地为在水、二甲亚砜(DMSO)或乙二醇中的分散体或悬浮液。

所述另外的聚合物(d)可自身为在水中和/或在溶剂中的分散体或悬浮液的形式，所述溶剂优选为选自如下的有机溶剂：二甲亚砜(DMSO)、N-甲基-2-吡咯烷酮(NMP)、乙二醇、四氢呋喃(THF)、二甲基乙酸酯(DMAc)或二甲基甲酰胺(DMF)。

所述形成导电层的组合物的制备可包括如下的相继步骤：混合和搅拌，例如使用磁力搅拌器，如在下文中在实验部分中描述的实施例A-D的组成实施例中所举例说明的。

根据按照本发明的制造工艺的第一实施方式，在子步骤103期间将悬浮液形式的金属纳米丝3直接添加至形成导电层2的组合物。这些金属纳米丝3(例如，由贵金属例如银、金或铂组成)优先地以在异丙醇(IPA)中的溶液的形式。

然后在子步骤105期间根据本领域技术人员已知的任何方法(最常用的技术是喷涂、喷墨涂布、浸涂、刮膜机(film-spreader)涂布、旋涂、通过浸渍的涂布、狭缝模头涂布、刮刀涂布(scraper coating)、或者柔版涂布)将形成导电层2的组合物沉积到基底层1上，和以便获得包括金属纳米丝3的逾渗网络的膜。

根据按照本发明的制造工艺的第二实施方式，预先在子步骤107期间将金属纳米丝3直接沉积到基底层1上以形成金属纳米丝3的逾渗网络。

为此，将金属纳米丝3的悬浮液直接施加至基底层1。

为了形成金属纳米丝3的悬浮液，将所述金属纳米丝3预分散在能容易地蒸发的有机溶剂(例如乙醇)中或者在表面活性剂(优选为离子导体)的存在下分散在含水介质中。正是金属纳米丝3在溶剂例如异丙醇(IPA)中的该悬浮液被施加至基底层1。

金属纳米丝3可由贵金属例如银、金或铂组成。金属纳米丝3也可由非贵金属例如铜组成。

可根据本领域技术人员已知的任何方法(最常用的技术为喷涂、喷墨涂布、浸涂、刮膜机涂布、旋涂、通过浸渍的涂布、狭缝模头涂布、刮刀涂布、或者柔版涂布)将金属纳米丝3的悬浮液沉积在基底层1上。

金属纳米丝3在悬浮液中的分散体的品质决定着(调节)蒸发之后形成的逾渗网络的品质。例如，在以单一道次(pass)制备的逾渗网络的情况下，该分散体的浓度可为0.01重量％-10重量％、优选0.1重量％-2重量％。

所形成的逾渗网络的品质也通过逾渗网络中存在的金属纳米丝3的密度定义，该密度为0.01μg/cm²-1mg/cm²、和优选0.01μg/cm²-10μg/cm²。

金属纳米丝3的最终的逾渗网络可由金属纳米丝3的若干重叠的层组成。对此，将沉积步骤重复为所需要的那么多次足够获得金属纳米丝3的多层。例如，对于0.1重量％的金属纳米丝3的分散体，金属纳米丝3的逾渗网络可包括1-800个重叠的层、优选少于100个层。

在将金属纳米丝3的逾渗网络沉积到基底层1上的子步骤107之后，在子步骤109期间根据本领域技术人员已知的任何方法(最常用的技术为喷涂、喷墨涂布、浸涂、刮膜机涂布、旋涂、通过浸渍的涂布、狭缝模头涂布、刮刀涂布、或者柔版涂布)将形成导电层2的组合物施加至金属纳米丝3的逾渗网络，和以便获得其厚度可为50nm-15μm并且包括金属纳米丝3的逾渗网络的膜。

然后进行干燥子步骤111，以从导电层2蒸发掉各种溶剂。该干燥步骤111可在20-50℃的温度在空气中进行1-45分钟。

ii)导电层2的交联

在该步骤ii期间，进行导电层2的交联，例如，通过在150℃的温度下硬化5分钟的时间。

导电层2可以如下重量比例包括成分(a)、(b)、(c)和(d)的每一种(对于100重量％的总量)：

(e)10％-65重量％的至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，

(f)20％-85重量％的至少一种粘合聚合物或粘合共聚物，

(g)5％-40重量％的金属纳米丝3，和

(h)0％-15重量％的至少一种溶解的另外的聚合物。

以下实验结果显示对于基本参数例如在550nm波长处的透射率T₅₅₀、平均透射率T_平均、表面电阻R、导电层2对基底层1的粘合以及是否存在光学缺陷，通过根据本发明的多层导电透明电极获得的值。

这些结果与对于由下文中详述的根据现有技术的反例得到的多层导电透明电极所获得的值相对放置。

1)测量方法：

总透射率的测量

总透射率，即在可见光谱范围内的穿过膜的光强度，是使用装备有积分球的Perkin Elmer Lambda 35光谱仪在UV-可见光谱[300nm-900nm]上对50×50mm试样测量的。

记录两种透射率值：

-在550nm处的透射率值T₅₅₀，和

-在整个可见光谱范围内的平均透射率值T_平均，该值对应于在可见光谱范围内的透射率的平均值。该值是每10nm测量的。

表面电阻的测量

表面电阻(以Ω/□计)可通过下式定义：

$R-\frac{\mathrm{\ρ}}{e}-\frac{1}{\mathrm{\σ},e}$

e：导电层的厚度(以cm计)，

σ：所述层的电导率(以S/cm计)(σ＝1/ρ)，

ρ：所述层的电阻率(以Ω.cm计)。

对20×20mm试样使用Keithley 2400SourceMeter欧姆计并且在两个点上测量表面电阻以进行所述测量。首先通过CVD在电极上沉积金触点(contact)，以便利于所述测量。

缺陷的存在的评价

透明电极中的缺陷的存在的评价是对50×50mm试样使用OlympusBX51光学显微镜以放大倍数(×100，×200，×400)进行的。将各试样通过显微镜以不同的放大倍数全面地进行观察。全部试样不具有大于5μm缺陷被认为是有效的(valid)。

电极对基底的粘合的评价

电极对基底的粘合的评价是使用ASTMD3359粘合测试对50×50mm试样进行的。该测试的原理在于通过使用圆盘切割机刮擦工具在涂层中制造平行的和垂直的切口而产生格栅(grid)。所述切口必须向下穿透至基底。接着，将压敏胶带施加到该格栅上。然后将该带快速除去。全部试样未显示出任何剥离被认为是有效的。

2)实施例的组成：

索引：

实施例A：

将0.8g在异丙醇(IPA)中的0.19重量％浓度的银纳米丝分散体刮刀涂布到玻璃基底上以形成银纳米丝的逾渗网络。

将10g DMSO添加至5g包含1.2％干提取物的PEDOT:PSS CleviosPH1000中。将混合物使用磁力搅拌器以600rpm搅拌。在搅拌10分钟之后，向溶液添加0.6g Emultex 378(干提取物45％，Tg＝40℃)并且搅拌30分钟。

然后将所获得的混合物刮刀涂布到银纳米丝的逾渗网络上。将该网络在150℃硬化5分钟的时间。

实施例B：

将0.8g在IPA中的0.19重量％浓度的银纳米丝分散体刮刀涂布到柔性基底(PET，PEN)上以形成银纳米丝的逾渗网络。

将10g DMSO添加至(在去离子水中稀释至20％的)30mg PVP，然后使用磁力搅拌器以600rpm搅拌10分钟。然后向前述混合物添加5g包含1.2％干提取物的PEDOT:PSS Clevios PH1000。在再搅拌10分钟之后，向溶液添加0.6g Revacryl 272(干提取物45％，Tg＝-30℃)并且搅拌30分钟。

然后将所获得的混合物刮刀涂布到银纳米丝的逾渗网络上。将该网络在150℃硬化5分钟的时间。

实施例C：

将20g DMSO添加至(在去离子水中稀释至20％的)20mg PVP，然后使用磁力搅拌器以600rpm搅拌10分钟。然后向前述混合物添加5g包含1.2％干提取物的PEDOT:PSS Clevios PH1000。在再搅拌10分钟之后，向溶液添加0.6g Emultex 378(干提取物45％，Tg＝40℃)和4g在IPA中的2.48重量％浓度的银纳米丝分散体并且搅拌30分钟。

然后将所获得的混合物刮刀涂布到玻璃基底上。然后将沉积物在150℃硬化5分钟的时间。

实施例D：

将0.6g在IPA中的0.19重量％浓度的银纳米丝分散体刮刀涂布到玻璃基底上以形成银纳米丝的逾渗网络。

将10g DMSO添加至(在去离子水中稀释至20％的)30mg PVP，然后使用磁力搅拌器以600rpm搅拌10分钟。然后向前述混合物添加5g包含1.2％干提取物的PEDOT:PSS Clevios PH1000。在再搅拌10分钟之后，向溶液添加0.6g Revacryl 272(干提取物45％，Tg＝-30℃)并且搅拌30分钟。

然后将所获得的混合物刮刀涂布到银纳米丝的逾渗网络上。将该网络在150℃硬化5分钟的时间。

根据现有技术的反例：

使用旋涂器根据以下参数将2g丁腈橡胶(NBR)Synthomer 5130(其为自交联性的并且用蒸馏水预稀释至15％)沉积在柔性基底(PET，PEN)上：加速度200rpm/s，速度2000rpm达100s。然后将该乳胶膜在烘箱中在150℃硬化5分钟。

然后将2g在乙醇中的0.16重量％浓度的银纳米丝分散体通过旋涂(加速度500rpm.s，速度：5000rpm，时间：100s)沉积在经硬化的乳胶的层上。将该操作重复6次(6层银纳米丝)以形成银纳米丝的逾渗网络。

使用高剪切混合器(Silverson L5M)以800转/分钟的速度将8.5mgMWNT Graphistrength C100碳纳米管在14.17g PEDOT:PSS CleviosPH1000分散体中和在17g DMSO中分散2小时。

将31.1g该先前制备的碳纳米管分散体添加至3.76g以含水悬浮液形式的Synthomer。然后将该混合物使用磁力搅拌器搅拌30分钟。

然后将所获得的混合物使用不锈钢筛(grate)()过滤，以除去灰尘和差地分散的碳纳米管的大聚集体。

然后使用旋涂器(加速度500rpm.s，速度：5000rpm，时间：100s)将该混合物施加至银纳米丝的逾渗网络。将该网络在150℃硬化5分钟。

结果：

粘合聚合物或粘合共聚物(b)直接存在于导电层2中容许后者与基底层1的直接接触和直接粘合，而没有必要预先将另外的粘合层施加到所述基底层1上。这于是容许高的透射率。此外，导电层2的组成容许低的表面电阻，并且在不存在电导率“掺杂”成分例如现有技术中使用的碳纳米管的情况下实现此效果。

该多层导电透明电极因此具有高的透射率、低的表面电阻，成本降低，因为组成较简单并且需要较少的制造步骤。

Claims (18)

1.多层导电透明电极，其包括：

-基底层(1)，

-导电层(2)，其包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，和

○金属纳米丝(3)的逾渗网络，

特征在于，导电层(2)与基底层(1)直接接触并且导电层(2)还包括至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物。

2.如前一权利要求中所述的多层导电透明电极，特征在于导电层(2)还包括至少一种另外的聚合物。

3.如前一权利要求中所述的多层导电透明电极，特征在于所述另外的聚合物为聚乙烯基吡咯烷酮。

4.如前述权利要求之一中所述的多层导电透明电极，特征在于其具有大于或等于75％的在可见光谱范围内的平均透射率。

5.如前述权利要求之一中所述的多层导电透明电极，特征在于其具有小于100Ω/□的表面电阻。

6.如前述权利要求之一中所述的多层导电透明电极，特征在于基底(1)选自玻璃和透明柔性聚合物。

7.如前述权利要求之一中所述的多层导电透明电极，特征在于金属纳米丝(3)为贵金属的纳米丝。

8.如权利要求1-6之一中所述的多层导电透明电极，特征在于金属纳米丝(3)为非贵金属的纳米丝。

9.如前述权利要求之一中所述的多层导电透明电极，特征在于所述粘合聚合物或粘合共聚物选自聚乙酸乙烯酯聚合物或丙烯腈-丙烯酸酯共聚物。

10.用于制造多层导电透明电极的工艺，其包括以下步骤：

-制备和直接施加导电层(2)到基底层(1)上的步骤(i)，所述导电层(2)包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物，

○金属纳米丝(3)的逾渗网络，和

○至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

-使导电层(2)交联的步骤(ii)。

11.如权利要求10中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于制备和直接施加导电层(2)到基底层(1)上的步骤(i)包括以下子步骤：

-制备形成导电层(2)的组合物的子步骤(101)，所述形成导电层(2)的组合物包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物的分散体或悬浮液，

○至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

-将金属纳米丝(3)的悬浮液添加至所述形成导电层(2)的组合物的子步骤(103)，

-将混合物直接施加到基底层(1)上的子步骤(105)，和

-干燥的子步骤(111)。

12.如权利要求10中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于制备和直接施加导电层(2)到基底层(1)上的步骤(i)包括以下子步骤：

-制备形成导电层(2)的组合物的子步骤(101)，所述形成导电层(2)的组合物包括：

○至少一种任选地被取代的聚噻吩导电聚合物的分散体或悬浮液，

○至少一种疏水性粘合聚合物或粘合共聚物，

-将金属纳米丝(3)的悬浮液直接施加到基底层(1)上以形成金属纳米丝(3)的逾渗网络的子步骤(107)，

-将所述形成导电层(2)的组合物施加到所述金属纳米丝(3)的逾渗网络上的子步骤(109)，和

-干燥的子步骤(111)。

13.如权利要求11和12任一项中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于所述形成导电层(2)的组合物还包括至少一种另外的聚合物。

14.如前一权利要求中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于所述另外的聚合物为聚乙烯基吡咯烷酮。

15.如权利要求10-14之一中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于基底层(1)的基底选自玻璃和透明柔性聚合物。

16.如权利要求10-15之一中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于金属纳米丝(3)为贵金属的纳米丝。

17.如权利要求10-15之一中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于金属纳米丝(3)为非贵金属的纳米丝。

18.如权利要求10-17之一中所述的用于制造多层导电透明电极的工艺，特征在于所述粘合聚合物或粘合共聚物选自聚乙酸乙烯酯聚合物或丙烯腈-丙烯酸酯共聚物。