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CN104603545A - 空气净化结构和空气净化系统 - Google Patents

空气净化结构和空气净化系统 Download PDF

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CN104603545A
CN104603545A CN201480001827.2A CN201480001827A CN104603545A CN 104603545 A CN104603545 A CN 104603545A CN 201480001827 A CN201480001827 A CN 201480001827A CN 104603545 A CN104603545 A CN 104603545A
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CN
China
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air
purification structure
cavity
air purification
mobile terminal
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CN201480001827.2A
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理查德珍·玛丽·比丽尔
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Shenzhen Xiangtaoruijie Trading Co ltd
Original Assignee
Shenzhen Xiangtaoruijie Trading Co ltd
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Publication date
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Abstract

一种空气净化结构(1),包括内部具有腔体的筒状件,筒状件的上端设有空气入口(111),下端设有空气出口(152),腔体内设有空气过滤器(12)、空气质量传感器(18)、吸风组件(17)以及控制电路板(19),沿筒状件自上而下的方向依序布置有空气入口(111)、空气过滤器(12)、空气出口(152)以及空气质量传感器(18)。通过吸风组件(17)可以将外部的空气经由空气入口(111)吸入腔体内实现空气净化,并利用空气质量传感器(18)检测其空气质量指数,并由控制电路板(19)将空气质量指数朝外传输,根据该空气质量指数,实现对空气净化结构(1)的开启或关闭,该空腔净化结构(1)可以提供空气质量指数,可以对空气提供指导性策略,对空气进行实时净化。同时还公开了一种包括上述空气净化结构(1)的空气净化系统。

Description

空气净化结构和空气净化系统
技术领域
本发明涉及空气净化的技术领域,尤其涉及空气净化结构以及包括该空气净化结构的空气净化系统。
背景技术
人们每天平均大约有80%以上的时间是在室内度过,随着生产和生活方式的更加现代化,更多的工作和文娱体育活动都可以在室内进行,购物也不必每天上街,可以直接在室内进行网上购物。另外,合适的室内微小气候使人们不必经常到户外去调节热效应,这样,人们的室内活动时间就更多,甚至可以高达93%以上。因此,室内空气质量对人体健康的关系就显得更加密切及更加重要。
虽然,在室内,污染物的浓度往往较低,但由于接触时间很长,其累积接触量也很高,尤其对于老、幼、病、残等体弱人群或者机体抵抗力较低的人群而言,其户外活动机会更少,累积接触量则更大,因此,室内空气质量的好坏与他们的关系尤为重要。
现时,室内污染物对人体的危害是多方面的,主要表现是呼吸道疾病、生理机能障碍以及眼鼻等粘膜组织受到刺激而患病等方面。
现有技术中,解决室内空气污染的主要办法是通风以及通过空气净化设备对室内空气进行净化。
通风具有季节局限性,并且受室外空气影响,从而难以实质对室内空气进行净化;空气净化设备则通过风扇吸入空气,再通过其内的过滤器滤除有害气体、灰尘及细菌等污染物,以及去除异味等,从而对室内空气起到净化效果。但是,现有的空气净化设备通常仅能通过人工开启或关闭,无法实时提供室内空气的质量指数,这样,用户则往往需要通过对室内空气的感观来开启或关闭空气净化设备,并且,对于一些无臭无味的有害气体,以及空气中悬浮颗粒而言,用户往往是无法感知的,因此,现有空气净化设备无法对室内空气提供指导性的启动策略,也无法实现远程控制功能,无法对室内空气进行实时净化。
发明内容
本发明的目的在于提供空气净化结构,旨在解决现有技术中的空气净化设备无法提供室内空气的质量指数,无法对室内空气进行实时净化以及无法对室内空气提供指导性启动策略的问题。
本发明是这样实现的,空气净化结构,包括内部具有腔体的筒状件,所述筒状件的上端设有空气入口,其下端设有空气出口,所述腔体内设有空气过滤器、空气质量传感器、吸风组件以及控制电路板,沿所述筒状件自上而下的方向,所述空气入口、空气过滤器、空气出口以及空气质量传感器依序布置。
本发明还提供了空气净化系统,包括上述的空气净化结构以及用于接收空气净化结构发出的空气质量数据并根据用户输入的控制信息控制空气净化结构运行的移动终端。
与现有技术相比,本发明提供的空气净化结构,通过吸风组件的作用,可以将外部的空气经由空气入口吸入腔体内,通过空气净化器净化,并利用空气质量传感器检测其空气质量指数,并由控制电路板将空气质量指数朝外传输等,如传输至外部的设备,或者,根据该空气质量指数,实现对空气净化结构的开启或关闭等,该空气净化结构可以提供空气质量指数,并且可以对空气提供指导性策略,对空气进行实时净化。
采用该空气净化结构与移动终端配合,移动终端可以显示空气质量指数,并且,其可以对空气净化结构发送控制质量,以使空气净化结构实时启动或关闭,实现对室内空气的实时净化。
附图说明
图1是本发明实施例提供的空气净化结构的立体示意图;
图2是本发明实施例提供的空气净化结构的剖切示意图;
图3是本发明实施例提供的空气净化结构的立体爆炸示意图;
图4是图3中的A处放大示意图;
图5是本发明实施例提供的空气过滤器的立体示意图;
图6是本发明实施例提供的空气过滤器的剖切示意图;
图7是本发明实施例提供的空气净化结构净化过程空气流通示意图;
图8是本发明实施例提供的空气净化系统的立体示意图一;
图9是本发明实施例提供的空气净化系统的立体示意图二;
图10是本发明实施例提供的移动终端对空气净化结构进行智能控制的模式示意图一;
图11是本发明实施例提供的移动终端对空气净化结构进行智能控制的模式示意图二;
图12是本发明实施例提供的移动终端对空气净化结构进行自动控制的模式示意图;
图13是本发明实施例提供的移动终端对空气净化结构进行手动控制的模式示意图;
图14是本发明实施例提供的移动终端对空气净化结构感测的空气质量数据进行统计的界面图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
以下结合具体实施例对本发明的实现进行详细的描述。
如图1~14所示,为本发明提供的较佳实施例。
参照图1~7所示,本实施例提供的空气净化结构1可以适用在室内,如人们居住的室内,或者其它一些封闭空间等等,当然,其也可以运用在一些特殊的开放性场合,并不仅限制于某个场所。
上述的空气净化结构1包括筒状件,该筒状件内具有腔体,且该筒状件的上端设有空气入口111,其下端设有空气出口152,在其腔体内设有空气过滤器12、空气质量传感器18、吸风组件17以及控制电路板19(图中未标出)。沿着筒状件自上而下的延伸方向,空气入口111、空气过滤器12、空气出口152以及空气质量传感器18依序布置。
空气入口111连通腔131体及外部,在吸风组件17的作用下,外部的空气可以通过该空气入口111进入腔体内;空气过滤器12则可以对进入腔体内的空气首先进行过滤出来;过滤后的空气继续朝腔体下端走,此时,空气质量传感器18则可以对其进行检测,从而得到室内空气的质量指数;最后,通过质量检测后的空气则通过空气出口152散发在筒状件外的空气中。
上述的控制电路板19与空气质量传感器18电性连接,其对整个空气净化结构1起到控制的作用,该控制电路板19中可以设置多种电子元件,如无线传输元件等等,并且,其可以用于与外部设备连接,从而实现该空气净化结构1与外部设备电性连接的作用,其连接可以是有线或者无线。
控制电路板19可以设置在腔体的任何位置,当然,为了更好便于其与空气质量传感器18电性连接,其设置在腔体的下方,与空气质量传感器18相邻的位置。
吸风组件17主要用于将筒状件外的空气吸入腔体内,并且在腔体内自上而下流动,并最后由空气出口152排出,形成空气流通的循环。
吸风组件17位于空气过滤器12的下方,当然,其可以位于空气出口152的下方,也可以位于空气出口152的上方,具体可视实际需要而定。
本实施例提供的空气净化结构1,其通过在筒状件的腔体内设置吸风组件17,使得外部的空气由空气入口111进入腔体内,并且依序经过空气过滤器12、空气质量传感器18及空气出口152,空气质量传感器18可以检测处空气的质量指数,并且其可以传输信号给控制电路板19,由控制电路板19进行判断是否启动该空气净化结构1,或者由控制电路板19传输至外部的设备,这样,则可以实现空气净化结构1提供室内空气的质量指数,并且,控制电路板19可以根据接收的信号,对室内空气提供指导性策略,启动空气净化结构1,对室内空气进行实时净化。
本实施例中,筒状件包括筒体13、底座15以及上盖11,其中,筒体13中设有通腔131,该通腔131贯穿筒体13的上下端,从而,在筒体13的上端及下端分别形成有上端开口以及下端开口;上盖11封设在筒状件的上端开口,其中,上述的空气入口111则设置在该上盖11中,上述中的空气过滤器12放置在筒体13的通腔131中;底座15中具有上端开口的凹腔151,其连接在筒体13的下端开口处,与筒体13连接为一体,从而筒体13的通腔131与底座15的凹腔151连通,并形成了筒状体的腔体。
上述中的空气质量传感器18、吸风组件17以及控制电路板19则设置在底座15的凹腔151中,且空气出口152则设置在底座15的侧壁上,其连通凹腔151及外部,从而使得进入凹腔151中的空气可以经由该空气出口152排至外部。
本实施例中,上盖11的中间部位呈镂空状,形成上述的空气入口111,当然,其镂空部位也可以设置在上盖11的其它位置,并不仅限制于本实施例中的设置方式。
空气过滤器12呈垂直于筒体13的中轴线布置,从而保证进入通腔131中的空气可以完全经过该空气过滤器12的处理。
具体地,空气过滤器12包括过滤筒,该过滤筒的侧壁121由多层依序堆叠的过滤层环绕而成,过滤筒的上端由过滤盖125封闭,其下端形成开口布置。由于该过滤筒的侧壁121都是过滤层,这样,进入腔体131内的空气可以从过滤筒的侧壁121进入过滤筒的内部,然后由过滤筒下端的开口排出,使得该过滤筒可以360°进气,大大提高其净化效率。
上述过滤筒的侧壁121的多层过滤层包括HEPA过滤层122、活性炭过滤层123以及网布过滤层124,其中,HEPA过滤层122用于过滤空气中的粉尘颗粒,活性炭过滤层123则用于取出空气中的气味,网布过滤层124则用于对空气进行杀菌。
本实施例中,沿过滤筒的侧壁121自外而内的方向,HEPA过滤层122、活性炭过滤层123以及网布过滤层124依序布置,当然,该三个过滤层的布置位置也可以改变,并不仅限制于本实施例中的布置次序。或者,还可以设置其它类型的过滤层,增加过滤筒对空气的净化效果。
为了便于对上述过滤筒的安装,本实施例中,过滤筒的下端连接有安装环,该安装环外侧朝外延伸,形成凸台126,并且,在筒体13的内壁上朝外凸设有凸棱(图中未示出),安装环的凸台126则放置在该凸棱上,从而使得过滤筒固定在筒体13内。当然,凸棱可以是连续状布置,从而形成环形状,其也可以是断续状布置,也就是由多个凸棱围合形成断续状环状。
当然,用于放置过滤筒的结构还可以为其它设置方式,例如直接通过黏胶,或者在通腔131的内壁上设置卡扣结构等,并不仅限制于上述的凸棱。
本实施例中,筒体13为竹质材料制成,其可以更加环保,且可以起到防菌的作用。
本实施例中,在筒体13的下端开口处封设有隔板14,也就是说,该隔板14位于筒体13下端与底座15的上端之间,该隔板14呈镂空状,形成通孔141,该通孔141连通筒体13的通腔131与底座15的凹腔151。
底座15的侧壁中设置有多个排气格栅,多个排气格栅环绕底座15侧壁布置,从而形成了上述的空气出口152。这样,由于排气格栅的布置方向与筒体13的中轴线呈垂直状态,也与上盖11的空气进口呈垂直状,进入凹腔151中的空气,进而由排气格栅排出外部。
由于空气进口与空气出口152呈正交状态,这样,经过空气净化结构1净化后的空气则可以从底座15的外走均匀吹出,从而使得室内空气可以经由该空气净化结构1形成较佳的气流循环,大大提高空气净化效率,提高其对室内空气的净化效果。
本实施例中,吸风组件17为由电机驱动的旋转风叶,该旋转风叶安装在底座15中,且旋转轴线与底座15的中轴线平行或者重合,这样,在电机的驱动下,随着旋转风叶的旋转,在腔体内产生朝下的吸力,该吸力可以使得外部的空气进入腔体中,并在腔体中自上而下流动,直至由空气出口152排出外部。
具体地,上述的风叶为后倾式风叶,这样,其旋转时,产生的吸力更大,从而使得该空气净化结构1的出风量更大。
本实施例中,控制电路板19设置在底座15凹腔151的底部,这样,便于筒状件内部空间布置,当然,其也可以设置在其它位置。为了便于控制电路板19与外部设备的连接,本实施例中,控制电路板19连接有连接电线,该连接电线经由底座15的侧壁引至外部。
本实施例中,风叶的位置与底座15侧壁上的格栅对齐,便于空气可以经由格栅排出外部。
空气质量传感器18设置在凹腔151中,且位于吸风组件17的下方,对应地,在底座15的侧壁上开设有开口,该开口与空气质量传感器18的位置对应。为了对空气质量传感器18进行保护,本实施例中,在空气质量传感器18外罩设有保护盒16。
本实施例中,空气质量传感器18包括一氧化碳传感器183、PM2.5传感器181以及TVOC传感器184,分别对空气中的质量进行检测,当然,根据使用环境不同,也还可以包括其他各种类型的传感器,并不仅限制于本实施例中的设置。
为了使得空气可以迅速与空气质量传感器18接触,实现空气质量指数的检测,避免空气在空气质量传感器18的附近不流通,以致空气质量传感器18不能真实反映外界空气质量,本实施例中,在底座的凹腔151中设有风扇182,该风扇182布置在空气质量传感器18的外侧,其工作时,产生吸力,可以将进入凹腔151中的空气往空气质量传感器18处吸,使得空气迅速通过空气质量传感器18的检测。
在装配上述的空气净化结构1时,首先,将控制电路板19、空气质量传感器18、风扇182以及吸风组件17等安装在底座15中,再将隔板14覆盖固定在底座15的上端上,实现底座15的装配;将筒体13的下端连接固定在底座15的上端,并将空气过滤器12放置在筒体13的通腔131中,最后,将上盖11置于筒体13的上端,从而实现整个空气净化结构1的装配。当需要更换通腔131内的空气过滤器12时,可以将上盖11从筒体13的顶部移开,并将通腔131内的空气过滤器12取出清理或更换则可。该空气净化结构1的装配以及拆卸非常简单,并且维护也非常方便。
本实施例中,筒体13以及底座15都呈圆筒状,当然,其形状也可以是四方形,或者其它形状,并不仅限制于本实施例中的形状。
本实施例还提供了空气净化系统,参照图8~14所示,其包括了上述的空气净化结构1以及移动终端2,该移动终端2用于接收空气净化结构1发出的空气质量数据,并根据用户输入的控制信息,控制空气净化结构1的运行。
具体地,移动终端2与空气净化结构1之间可以采用近距离通讯方式及远程通讯方式,具体如下:
当移动终端2与空气净化结构1之间的距离较近时,移动终端2可以通过蓝牙、WIFI、NFC等方式与空气净化结构1实现无线通讯,从而实现对空气净化结构1的近距离遥控。
移动终端2与空气净化结构1之间采用近距离通讯方式连接,可以避免信号延迟现象,实现对空气净化结构1的实时控制。
当移动终端2与空气净化结构1之间的距离较大时,两者之间可采用远程通讯方式,此时,空气净化系统还包括服务器4以及路由器3,空气净化结构1将检测到的空气质量数据通过路由器3传输至服务器4,服务器4将接受到的空气质量数据分发至移动终端2;移动终端2接收并显示空气质量数据,并根据用户输入的控制信息控制空气净化结构1的运行,并且移动终端2将用户控制数据发送至服务器4,服务器4将用户控制数据下发至路由器3,路由器3将用户控制数据转发至空气净化结构1,控制空气净化结构1的运行。
当然,移动终端2通过无线移动通信网络与服务器4通讯连接,空气净化结构1通过以太网的形式与服务器4通讯连接。从而实现移动终端2对空气净化结构1的远程控制。
在上述的移动终端2中,其内设置有通讯选择,以便于其优先选择近距离通讯方式与空气净化结构1连接。例如,当移动终端2和空气净化结构1建立起蓝牙通信时,移动终端2通过蓝牙方式与空气净化结构1进行交互;或者,当移动终端2和空气净化结构1均在一个WIFI网络下时,移动终端2可通过路由器3与空气净化结构1进行通讯,从而在近距离的情况下,实现对空气净化结构1的遥控,避免出现信号延迟现象。
本实施例中,移动终端2对空气净化结构1的控制包括三个模式,参照图7~10所示,分别是智能模式、自动模式以及手动模式,具体如下:
如图10所示,为移动终端2对空气净化结构1进行智能控制模式的界面图,在该模式下,移动终端2从服务器4获取多个国际空气质量标准供用户选择,例如WHO、USEPA,EEA,HKEPD等标准,或者从服务器4获取预设特殊地点(例如瑞士、西藏)的空气质量数据,用户可以选定这些标准,然后基于该标准设置阈值,具体如图11所示。从而,移动终端2从服务器4获取预设特殊地点的空气质量数据,并将该预设特殊地点的空气质量数据作为向用户提供建议的空气质量阈值数据基础。
图11是移动终端2基于WHO标准对空气净化结构1进行智能控制模式的界面图。在该模式下,用户可以对不同的空气质量标准进行自定义阈值,例如PM2.5,PM10,TVOC,CO等等。移动终端2将设定好的阈值数据发送至空气净化结构1,空气净化结构1根据预设的空气质量阈值数据自动启动或停止。
例如基于WHO标准,PM2.5的24小时平均浓度为25μg/m3;PM10的24小时平均浓度50μg/m3。用户可以自定义PM2.5的阈值为50μg/m3,PM10的阈值为80μg/m3,一旦移动终端2接收到的PM2.5或PM10超出该预设的阈值,则移动终端2控制空气净化结构1启动。
以上述的智能模式设置方法举例,例如,用户点击图10中的WHO标准后,进入图11所示的阈值设置界面,在初始状态下图11中界面显示WHO给定的标准:例如PM2.5的24小时平均浓度为25μg/m3;PM10的24小时平均浓度50μg/m3;TVOC为24小时平均浓度0.2mg/m3。图11中为WHO给定的标准,用户可以以该标准给出的空气质量数值设定为阈值,也可以设置自己希望的阈值,但空气净化结构1发送至移动终端2的空气质量数据超过其中任意阈值数据后,移动终端2通过服务器4控制空气净化结构1启动,运行一段时间后(例如30分钟),空气净化结构1检测室内空气质量数据,若室内空气质量数据依然超过该阈值,则空气净化结构1继续运行,若室内空气质量数据低于该阈值,则空气净化结构1停止运行。
图12是一种实施例中移动终端2对空气净化结构1进行自动控制的模式界面图。在这个模式下,用户可以预设空气净化结构1的启动时间、运行时长,以及运行模式及重复模式。
图13是一种实施例中移动终端2对空气净化结构1进行手动控制的模式界面图。在这个模式下,用户可以实时控制空气净化结构1的运行时长,以及运行模式档位。
图14是一种实施例中移动终端2对空气净化结构1感测的空气质量数据进行统计的界面图。在图14中,移动终端2对空气净化结构1将感测的空气质量数据按照24小时的时间以图形方式进行统计并显示,当然也可按照列表进行统计及显示,图14中显示了24小时内空气净化结构1感测的PM2.5值的变化。
另外,移动终端2还可从服务器4获取户外空气质量数据,并将户外空气质量数据与空气净化结构2感测的空气质量数据进行对比,并在移动终端2上进行统计显示。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.空气净化结构,其特征在于,包括内部具有腔体的筒状件,所述筒状件的上端设有空气入口,其下端设有空气出口,所述腔体内设有空气过滤器、空气质量传感器、吸风组件以及控制电路板,沿所述筒状件自上而下的方向,所述空气入口、空气过滤器、空气出口以及空气质量传感器依序布置。
2.如权利要求1所述的空气净化结构,其特征在于,所述筒状体包括具有通腔的筒体、上盖以及底座,所述通腔贯穿所述筒体,于所述筒体的上端及下端分别形成上端开口及下端开口;所述上盖封设于所述筒体的上端开口,其中设有所述空气入口;所述底座中设有凹腔,其连接于所述筒体的下端开口处,所述通腔与所述凹腔形成所述腔体,所述空气出口设于所述底座;所述空气过滤器设于所述通腔内,所述空气质量传感器、吸风组件以及控制电路板设于所述凹腔中。
3.如权利要求2所述的空气净化结构,其特征在于,所述空气过滤器包括过滤筒,所述过滤筒的侧壁由多层依序堆叠的过滤层环绕而成,所述过滤筒的上端封设有过滤盖,其下端呈开口设置。
4.如权利要求3所述的空气净化结构,其特征在于,所述筒体的下端开口处封设有隔板,所述隔板中设有连通所述通腔及凹腔的通孔。
5.如权利要求2至4任一项所述的空气净化结构,其特征在于,所述底座的侧壁设有多个格栅,多个所述格栅环绕所述底座的侧壁布置,形成所述空气出口。
6.如权利要求2至4任一项所述的空气净化结构,其特征在于,所述吸风组件为由电机驱动的旋转叶片,所述旋转叶片呈后倾式,其旋转轴线平行或重合于所述筒体的中轴线。
7.如权利要求2至4任一项所述的空气净化结构,其特征在于,所述空气质量传感器设于所述凹腔中,位于所述吸风组件的下方,所述底座的侧壁与所述空气质量传感器对应的位置设有开口。
8.如权利要求2至4任一项所述的空气净化结构,其特征在于,所述凹腔中设有风扇,所述风扇位于所述空气质量传感器的外侧。
9.空气净化系统,其特征在于,包括权利要求1~8任一项所述的空气净化结构以及用于接收空气净化结构发出的空气质量数据并根据用户输入的控制信息控制空气净化结构运行的移动终端。
10.如权利要求9所述的空气净化系统,其特征在于,所述空气净化系统还包括路由器以及通过所述路由器接受所述空气净化结构发出的空气质量数据的服务器。
11.根据权利要求10所述的空气净化系统,其特征在于,所述空气净化结构根据预设的空气质量阈值数据自动启动或停止。
12.根据权利要求11所述的空气净化系统,其特征在于,所述移动终端从所述服务器获取预设特殊地点的空气质量数据,并将该预设特殊地点的空气质量数据作为向用户提供建议的空气质量阈值数据基础。
13.根据权利要求9所述的空气净化系统,其特征在于,所述移动终端对空气净化结构将感测的空气质量数据按照时间以图形或列表进行统计。
14.根据权利要求10所述的空气净化系统,其特征在于,所述移动终端从所述服务器获取户外空气质量数据,并将所述户外空气质量数据与空气净化结构将感测的空气质量数据进行对比。
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Cited By (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106091324A (zh) * 2016-08-11 2016-11-09 科比环保科技(天津自贸试验区)有限公司 空气净化用风机组件
CN106091325A (zh) * 2016-08-11 2016-11-09 科比环保科技(天津自贸试验区)有限公司 模块化空气净化用风机装置
CN106123144A (zh) * 2016-08-11 2016-11-16 科比环保科技(天津自贸试验区)有限公司 空气净化器
CN106338106A (zh) * 2016-06-23 2017-01-18 倪静 一种去尘设备
CN106949538A (zh) * 2017-02-22 2017-07-14 四川万康节能环保科技有限公司 一种多功能高效空气净化器
EP3211347A1 (en) * 2016-02-26 2017-08-30 LG Electronics Inc. Air cleaner
US9821259B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9821262B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner and method for controlling an air cleaner
US9827523B2 (en) 2016-02-26 2017-11-28 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9914082B2 (en) 2016-02-26 2018-03-13 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9943794B2 (en) 2016-02-26 2018-04-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9950289B2 (en) 2016-02-26 2018-04-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN108279285A (zh) * 2017-01-06 2018-07-13 阿兹穆特监控股份公司 检测和分析单元,包括该单元的控制设备,相关控制方法
US10323855B2 (en) 2016-02-26 2019-06-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10436469B2 (en) 2016-02-26 2019-10-08 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10495104B2 (en) 2016-02-26 2019-12-03 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN110748992A (zh) * 2019-10-24 2020-02-04 广州市中潭空气净化科技有限公司 一种用于公共厕所的除臭效率高的空气净化设备
CN111344522A (zh) * 2017-11-27 2020-06-26 阿斯莫Ip控股公司 包括洁净迷你环境的装置
CN111336608A (zh) * 2020-03-07 2020-06-26 唐山核聚安全系统工程有限公司 一种带定向吸风功能的移动负压防护系统
CN111336607A (zh) * 2020-03-07 2020-06-26 唐山核聚安全系统工程有限公司 一种隔离病房或方舱医院专用的负压防护系统
US10697665B2 (en) 2016-02-26 2020-06-30 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN113864958A (zh) * 2016-12-06 2021-12-31 斐乐公司 具有智能传感器和气流的空气净化器
CN114111893A (zh) * 2021-11-11 2022-03-01 山东省食品药品检验研究院 实验室质量管理用室内检测装置
CN117722620A (zh) * 2024-02-18 2024-03-19 深圳市雷摩电子有限公司 多功能的太阳能路灯
US11938433B2 (en) 2016-02-26 2024-03-26 Lg Electronics Inc. Air cleaner

Families Citing this family (235)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20130023129A1 (en) 2011-07-20 2013-01-24 Asm America, Inc. Pressure transmitter for a semiconductor processing environment
US20160376700A1 (en) 2013-02-01 2016-12-29 Asm Ip Holding B.V. System for treatment of deposition reactor
US10858737B2 (en) 2014-07-28 2020-12-08 Asm Ip Holding B.V. Showerhead assembly and components thereof
US10941490B2 (en) 2014-10-07 2021-03-09 Asm Ip Holding B.V. Multiple temperature range susceptor, assembly, reactor and system including the susceptor, and methods of using the same
US10276355B2 (en) 2015-03-12 2019-04-30 Asm Ip Holding B.V. Multi-zone reactor, system including the reactor, and method of using the same
EP3163203B1 (en) * 2015-10-30 2020-12-02 LG Electronics Inc. Air freshener
US11139308B2 (en) 2015-12-29 2021-10-05 Asm Ip Holding B.V. Atomic layer deposition of III-V compounds to form V-NAND devices
US10529554B2 (en) 2016-02-19 2020-01-07 Asm Ip Holding B.V. Method for forming silicon nitride film selectively on sidewalls or flat surfaces of trenches
US10343920B2 (en) 2016-03-18 2019-07-09 Asm Ip Holding B.V. Aligned carbon nanotubes
US11453943B2 (en) 2016-05-25 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Method for forming carbon-containing silicon/metal oxide or nitride film by ALD using silicon precursor and hydrocarbon precursor
US9859151B1 (en) 2016-07-08 2018-01-02 Asm Ip Holding B.V. Selective film deposition method to form air gaps
US10612137B2 (en) 2016-07-08 2020-04-07 Asm Ip Holdings B.V. Organic reactants for atomic layer deposition
US9887082B1 (en) 2016-07-28 2018-02-06 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US9812320B1 (en) 2016-07-28 2017-11-07 Asm Ip Holding B.V. Method and apparatus for filling a gap
US11532757B2 (en) 2016-10-27 2022-12-20 Asm Ip Holding B.V. Deposition of charge trapping layers
US10714350B2 (en) 2016-11-01 2020-07-14 ASM IP Holdings, B.V. Methods for forming a transition metal niobium nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related semiconductor device structures
KR102546317B1 (ko) 2016-11-15 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기체 공급 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11447861B2 (en) 2016-12-15 2022-09-20 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus and a method of forming a patterned structure
US11581186B2 (en) 2016-12-15 2023-02-14 Asm Ip Holding B.V. Sequential infiltration synthesis apparatus
US11390950B2 (en) 2017-01-10 2022-07-19 Asm Ip Holding B.V. Reactor system and method to reduce residue buildup during a film deposition process
US10468261B2 (en) 2017-02-15 2019-11-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metallic film on a substrate by cyclical deposition and related semiconductor device structures
US10770286B2 (en) 2017-05-08 2020-09-08 Asm Ip Holdings B.V. Methods for selectively forming a silicon nitride film on a substrate and related semiconductor device structures
US12040200B2 (en) 2017-06-20 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and methods for calibrating a semiconductor processing apparatus
US11306395B2 (en) 2017-06-28 2022-04-19 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a transition metal nitride film on a substrate by atomic layer deposition and related deposition apparatus
KR20190009245A (ko) 2017-07-18 2019-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자 구조물 형성 방법 및 관련된 반도체 소자 구조물
US11374112B2 (en) 2017-07-19 2022-06-28 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a group IV semiconductor and related semiconductor device structures
US10590535B2 (en) 2017-07-26 2020-03-17 Asm Ip Holdings B.V. Chemical treatment, deposition and/or infiltration apparatus and method for using the same
US10692741B2 (en) 2017-08-08 2020-06-23 Asm Ip Holdings B.V. Radiation shield
US10770336B2 (en) 2017-08-08 2020-09-08 Asm Ip Holding B.V. Substrate lift mechanism and reactor including same
US11769682B2 (en) 2017-08-09 2023-09-26 Asm Ip Holding B.V. Storage apparatus for storing cassettes for substrates and processing apparatus equipped therewith
US11830730B2 (en) 2017-08-29 2023-11-28 Asm Ip Holding B.V. Layer forming method and apparatus
US11295980B2 (en) 2017-08-30 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum metal film over a dielectric surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
US10658205B2 (en) 2017-09-28 2020-05-19 Asm Ip Holdings B.V. Chemical dispensing apparatus and methods for dispensing a chemical to a reaction chamber
US10403504B2 (en) 2017-10-05 2019-09-03 Asm Ip Holding B.V. Method for selectively depositing a metallic film on a substrate
US10923344B2 (en) 2017-10-30 2021-02-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a semiconductor structure and related semiconductor structures
KR102597978B1 (ko) 2017-11-27 2023-11-06 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배치 퍼니스와 함께 사용하기 위한 웨이퍼 카세트를 보관하기 위한 보관 장치
US10872771B2 (en) 2018-01-16 2020-12-22 Asm Ip Holding B. V. Method for depositing a material film on a substrate within a reaction chamber by a cyclical deposition process and related device structures
WO2019142055A2 (en) 2018-01-19 2019-07-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a gap-fill layer by plasma-assisted deposition
TWI799494B (zh) 2018-01-19 2023-04-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 沈積方法
US11081345B2 (en) 2018-02-06 2021-08-03 Asm Ip Holding B.V. Method of post-deposition treatment for silicon oxide film
US11685991B2 (en) 2018-02-14 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10896820B2 (en) 2018-02-14 2021-01-19 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a ruthenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process
US10731249B2 (en) 2018-02-15 2020-08-04 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a transition metal containing film on a substrate by a cyclical deposition process, a method for supplying a transition metal halide compound to a reaction chamber, and related vapor deposition apparatus
KR102636427B1 (ko) 2018-02-20 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 장치
US10975470B2 (en) 2018-02-23 2021-04-13 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for detecting or monitoring for a chemical precursor in a high temperature environment
US11473195B2 (en) 2018-03-01 2022-10-18 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing apparatus and a method for processing a substrate
KR102646467B1 (ko) 2018-03-27 2024-03-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 상에 전극을 형성하는 방법 및 전극을 포함하는 반도체 소자 구조
KR102600229B1 (ko) 2018-04-09 2023-11-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 장치, 이를 포함하는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
US12025484B2 (en) 2018-05-08 2024-07-02 Asm Ip Holding B.V. Thin film forming method
US12272527B2 (en) 2018-05-09 2025-04-08 Asm Ip Holding B.V. Apparatus for use with hydrogen radicals and method of using same
KR102596988B1 (ko) 2018-05-28 2023-10-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법 및 그에 의해 제조된 장치
US11718913B2 (en) 2018-06-04 2023-08-08 Asm Ip Holding B.V. Gas distribution system and reactor system including same
KR102568797B1 (ko) 2018-06-21 2023-08-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 시스템
US10797133B2 (en) 2018-06-21 2020-10-06 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing a phosphorus doped silicon arsenide film and related semiconductor device structures
TWI815915B (zh) 2018-06-27 2023-09-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於形成含金屬材料及包含含金屬材料的膜及結構之循環沉積方法
KR102854019B1 (ko) 2018-06-27 2025-09-02 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 함유 재료를 형성하기 위한 주기적 증착 방법 및 금속 함유 재료를 포함하는 필름 및 구조체
US10755922B2 (en) 2018-07-03 2020-08-25 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US10388513B1 (en) 2018-07-03 2019-08-20 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing silicon-free carbon-containing film as gap-fill layer by pulse plasma-assisted deposition
US11430674B2 (en) 2018-08-22 2022-08-30 Asm Ip Holding B.V. Sensor array, apparatus for dispensing a vapor phase reactant to a reaction chamber and related methods
KR102707956B1 (ko) 2018-09-11 2024-09-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 증착 방법
US11024523B2 (en) 2018-09-11 2021-06-01 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus and method
CN110970344B (zh) 2018-10-01 2024-10-25 Asmip控股有限公司 衬底保持设备、包含所述设备的系统及其使用方法
KR102592699B1 (ko) 2018-10-08 2023-10-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 박막 증착 장치와 기판 처리 장치
KR102546322B1 (ko) 2018-10-19 2023-06-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
US12378665B2 (en) 2018-10-26 2025-08-05 Asm Ip Holding B.V. High temperature coatings for a preclean and etch apparatus and related methods
US11087997B2 (en) 2018-10-31 2021-08-10 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
KR102748291B1 (ko) 2018-11-02 2024-12-31 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US11572620B2 (en) 2018-11-06 2023-02-07 Asm Ip Holding B.V. Methods for selectively depositing an amorphous silicon film on a substrate
US10818758B2 (en) 2018-11-16 2020-10-27 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a metal silicate film on a substrate in a reaction chamber and related semiconductor device structures
US12040199B2 (en) 2018-11-28 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing apparatus for processing substrates
US11217444B2 (en) 2018-11-30 2022-01-04 Asm Ip Holding B.V. Method for forming an ultraviolet radiation responsive metal oxide-containing film
KR102636428B1 (ko) 2018-12-04 2024-02-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치를 세정하는 방법
US11158513B2 (en) 2018-12-13 2021-10-26 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a rhenium-containing film on a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures
JP7504584B2 (ja) 2018-12-14 2024-06-24 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 窒化ガリウムの選択的堆積を用いてデバイス構造体を形成する方法及びそのためのシステム
TWI819180B (zh) 2019-01-17 2023-10-21 荷蘭商Asm 智慧財產控股公司 藉由循環沈積製程於基板上形成含過渡金屬膜之方法
US11482533B2 (en) 2019-02-20 2022-10-25 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and methods for plug fill deposition in 3-D NAND applications
TWI845607B (zh) 2019-02-20 2024-06-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用來填充形成於基材表面內之凹部的循環沉積方法及設備
JP7603377B2 (ja) 2019-02-20 2024-12-20 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基材表面内に形成された凹部を充填するための方法および装置
TWI842826B (zh) 2019-02-22 2024-05-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理設備及處理基材之方法
KR102858005B1 (ko) 2019-03-08 2025-09-09 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 질화물 층을 선택적으로 증착하는 방법, 및 선택적으로 증착된 실리콘 질화물 층을 포함하는 구조체
KR102762833B1 (ko) 2019-03-08 2025-02-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. SiOCN 층을 포함한 구조체 및 이의 형성 방법
JP2020167398A (ja) 2019-03-28 2020-10-08 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ドアオープナーおよびドアオープナーが提供される基材処理装置
KR102809999B1 (ko) 2019-04-01 2025-05-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자를 제조하는 방법
KR102897355B1 (ko) 2019-04-19 2025-12-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 층 형성 방법 및 장치
KR20200125453A (ko) 2019-04-24 2020-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기상 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
KR20200130121A (ko) 2019-05-07 2020-11-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 딥 튜브가 있는 화학물질 공급원 용기
KR20200130652A (ko) 2019-05-10 2020-11-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면 상에 재료를 증착하는 방법 및 본 방법에 따라 형성된 구조
JP7612342B2 (ja) 2019-05-16 2025-01-14 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
JP7598201B2 (ja) 2019-05-16 2024-12-11 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ウェハボートハンドリング装置、縦型バッチ炉および方法
USD947913S1 (en) 2019-05-17 2022-04-05 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
USD975665S1 (en) 2019-05-17 2023-01-17 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
KR20200141002A (ko) 2019-06-06 2020-12-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 배기 가스 분석을 포함한 기상 반응기 시스템을 사용하는 방법
US12252785B2 (en) 2019-06-10 2025-03-18 Asm Ip Holding B.V. Method for cleaning quartz epitaxial chambers
KR20200143254A (ko) 2019-06-11 2020-12-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 개질 가스를 사용하여 전자 구조를 형성하는 방법, 상기 방법을 수행하기 위한 시스템, 및 상기 방법을 사용하여 형성되는 구조
CN112146236B (zh) * 2019-06-28 2024-12-13 广东美的制冷设备有限公司 调节系统、控制方法、装置、线控设备、服务器和介质
KR102911421B1 (ko) 2019-07-03 2026-01-12 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치용 온도 제어 조립체 및 이를 사용하는 방법
JP7499079B2 (ja) 2019-07-09 2024-06-13 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同軸導波管を用いたプラズマ装置、基板処理方法
KR20210008310A (ko) 2019-07-10 2021-01-21 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 지지 조립체 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR102895115B1 (ko) 2019-07-16 2025-12-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102860110B1 (ko) 2019-07-17 2025-09-16 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 게르마늄 구조를 형성하는 방법
KR20210010816A (ko) 2019-07-17 2021-01-28 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 라디칼 보조 점화 플라즈마 시스템 및 방법
US11643724B2 (en) 2019-07-18 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Method of forming structures using a neutral beam
KR102903090B1 (ko) 2019-07-19 2025-12-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 토폴로지-제어된 비정질 탄소 중합체 막을 형성하는 방법
TWI851767B (zh) 2019-07-29 2024-08-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於利用n型摻雜物及/或替代摻雜物選擇性沉積以達成高摻雜物併入之方法
KR20210015655A (ko) 2019-07-30 2021-02-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치 및 방법
CN112309899B (zh) 2019-07-30 2025-11-14 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112309900B (zh) 2019-07-30 2025-11-04 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
US11587814B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11587815B2 (en) 2019-07-31 2023-02-21 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
US11227782B2 (en) 2019-07-31 2022-01-18 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly
KR20210018759A (ko) 2019-08-05 2021-02-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 화학물질 공급원 용기를 위한 액체 레벨 센서
CN112342526A (zh) 2019-08-09 2021-02-09 Asm Ip私人控股有限公司 包括冷却装置的加热器组件及其使用方法
USD965524S1 (en) 2019-08-19 2022-10-04 Asm Ip Holding B.V. Susceptor support
USD965044S1 (en) 2019-08-19 2022-09-27 Asm Ip Holding B.V. Susceptor shaft
US11639548B2 (en) 2019-08-21 2023-05-02 Asm Ip Holding B.V. Film-forming material mixed-gas forming device and film forming device
USD979506S1 (en) 2019-08-22 2023-02-28 Asm Ip Holding B.V. Insulator
KR20210024423A (ko) 2019-08-22 2021-03-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 홀을 구비한 구조체를 형성하기 위한 방법
US11286558B2 (en) 2019-08-23 2022-03-29 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing a molybdenum nitride film on a surface of a substrate by a cyclical deposition process and related semiconductor device structures including a molybdenum nitride film
TWI838570B (zh) 2019-08-23 2024-04-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 使用雙(二乙基胺基)矽烷藉由peald沉積具有經改良品質之氧化矽膜的方法
KR102868968B1 (ko) 2019-09-03 2025-10-10 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 칼코지나이드 막 및 상기 막을 포함한 구조체를 증착하기 위한 방법 및 장치
KR102806450B1 (ko) 2019-09-04 2025-05-12 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 희생 캡핑 층을 이용한 선택적 증착 방법
KR102733104B1 (ko) 2019-09-05 2024-11-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US12469693B2 (en) 2019-09-17 2025-11-11 Asm Ip Holding B.V. Method of forming a carbon-containing layer and structure including the layer
US11562901B2 (en) 2019-09-25 2023-01-24 Asm Ip Holding B.V. Substrate processing method
CN112593212B (zh) 2019-10-02 2023-12-22 Asm Ip私人控股有限公司 通过循环等离子体增强沉积工艺形成拓扑选择性氧化硅膜的方法
TW202128273A (zh) 2019-10-08 2021-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體注入系統、及將材料沉積於反應室內之基板表面上的方法
TWI846953B (zh) 2019-10-08 2024-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理裝置
KR20210042810A (ko) 2019-10-08 2021-04-20 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 활성 종을 이용하기 위한 가스 분배 어셈블리를 포함한 반응기 시스템 및 이를 사용하는 방법
TWI846966B (zh) 2019-10-10 2024-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成光阻底層之方法及包括光阻底層之結構
US12009241B2 (en) 2019-10-14 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Vertical batch furnace assembly with detector to detect cassette
TWI834919B (zh) 2019-10-16 2024-03-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氧化矽之拓撲選擇性膜形成之方法
US11637014B2 (en) 2019-10-17 2023-04-25 Asm Ip Holding B.V. Methods for selective deposition of doped semiconductor material
KR102845724B1 (ko) 2019-10-21 2025-08-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 막을 선택적으로 에칭하기 위한 장치 및 방법
KR20210050453A (ko) 2019-10-25 2021-05-07 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 표면 상의 갭 피처를 충진하는 방법 및 이와 관련된 반도체 소자 구조
US11646205B2 (en) 2019-10-29 2023-05-09 Asm Ip Holding B.V. Methods of selectively forming n-type doped material on a surface, systems for selectively forming n-type doped material, and structures formed using same
KR102890638B1 (ko) 2019-11-05 2025-11-25 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 도핑된 반도체 층을 갖는 구조체 및 이를 형성하기 위한 방법 및 시스템
US11501968B2 (en) 2019-11-15 2022-11-15 Asm Ip Holding B.V. Method for providing a semiconductor device with silicon filled gaps
KR102861314B1 (ko) 2019-11-20 2025-09-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판의 표면 상에 탄소 함유 물질을 증착하는 방법, 상기 방법을 사용하여 형성된 구조물, 및 상기 구조물을 형성하기 위한 시스템
KR20210065848A (ko) 2019-11-26 2021-06-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 제1 유전체 표면과 제2 금속성 표면을 포함한 기판 상에 타겟 막을 선택적으로 형성하기 위한 방법
CN112951697B (zh) 2019-11-26 2025-07-29 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
CN120432376A (zh) 2019-11-29 2025-08-05 Asm Ip私人控股有限公司 基板处理设备
CN112885692B (zh) 2019-11-29 2025-08-15 Asmip私人控股有限公司 基板处理设备
JP7527928B2 (ja) 2019-12-02 2024-08-05 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基板処理装置、基板処理方法
KR20210070898A (ko) 2019-12-04 2021-06-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
US11885013B2 (en) 2019-12-17 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Method of forming vanadium nitride layer and structure including the vanadium nitride layer
US11527403B2 (en) 2019-12-19 2022-12-13 Asm Ip Holding B.V. Methods for filling a gap feature on a substrate surface and related semiconductor structures
KR20210089079A (ko) 2020-01-06 2021-07-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 채널형 리프트 핀
JP7730637B2 (ja) 2020-01-06 2025-08-28 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー ガス供給アセンブリ、その構成要素、およびこれを含む反応器システム
US11993847B2 (en) 2020-01-08 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Injector
KR102882467B1 (ko) 2020-01-16 2025-11-05 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고 종횡비 피처를 형성하는 방법
KR102675856B1 (ko) 2020-01-20 2024-06-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법 및 박막 표면 개질 방법
TWI889744B (zh) 2020-01-29 2025-07-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 污染物捕集系統、及擋板堆疊
TW202513845A (zh) 2020-02-03 2025-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 半導體裝置結構及其形成方法
KR20210100010A (ko) 2020-02-04 2021-08-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 대형 물품의 투과율 측정을 위한 방법 및 장치
US11776846B2 (en) 2020-02-07 2023-10-03 Asm Ip Holding B.V. Methods for depositing gap filling fluids and related systems and devices
TW202146691A (zh) 2020-02-13 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 氣體分配總成、噴淋板總成、及調整至反應室之氣體的傳導率之方法
CN113257655A (zh) 2020-02-13 2021-08-13 Asm Ip私人控股有限公司 包括光接收装置的基板处理设备和光接收装置的校准方法
US11781243B2 (en) 2020-02-17 2023-10-10 Asm Ip Holding B.V. Method for depositing low temperature phosphorous-doped silicon
TWI895326B (zh) 2020-02-28 2025-09-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 專用於零件清潔的系統
KR20210113043A (ko) 2020-03-04 2021-09-15 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 정렬 고정구
KR20210116240A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 조절성 접합부를 갖는 기판 핸들링 장치
KR20210116249A (ko) 2020-03-11 2021-09-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 록아웃 태그아웃 어셈블리 및 시스템 그리고 이의 사용 방법
CN113394086A (zh) 2020-03-12 2021-09-14 Asm Ip私人控股有限公司 用于制造具有目标拓扑轮廓的层结构的方法
US12173404B2 (en) 2020-03-17 2024-12-24 Asm Ip Holding B.V. Method of depositing epitaxial material, structure formed using the method, and system for performing the method
KR102755229B1 (ko) 2020-04-02 2025-01-14 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 박막 형성 방법
TWI887376B (zh) 2020-04-03 2025-06-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 半導體裝置的製造方法
TWI888525B (zh) 2020-04-08 2025-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於選擇性蝕刻氧化矽膜之設備及方法
KR20210127620A (ko) 2020-04-13 2021-10-22 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 질소 함유 탄소 막을 형성하는 방법 및 이를 수행하기 위한 시스템
US11821078B2 (en) 2020-04-15 2023-11-21 Asm Ip Holding B.V. Method for forming precoat film and method for forming silicon-containing film
KR20210128343A (ko) 2020-04-15 2021-10-26 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 크롬 나이트라이드 층을 형성하는 방법 및 크롬 나이트라이드 층을 포함하는 구조
US11996289B2 (en) 2020-04-16 2024-05-28 Asm Ip Holding B.V. Methods of forming structures including silicon germanium and silicon layers, devices formed using the methods, and systems for performing the methods
TW202143328A (zh) 2020-04-21 2021-11-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於調整膜應力之方法
TW202208671A (zh) 2020-04-24 2022-03-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成包括硼化釩及磷化釩層的結構之方法
KR20210132600A (ko) 2020-04-24 2021-11-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 바나듐, 질소 및 추가 원소를 포함한 층을 증착하기 위한 방법 및 시스템
US11898243B2 (en) 2020-04-24 2024-02-13 Asm Ip Holding B.V. Method of forming vanadium nitride-containing layer
KR102866804B1 (ko) 2020-04-24 2025-09-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 냉각 가스 공급부를 포함한 수직형 배치 퍼니스 어셈블리
TWI887400B (zh) 2020-04-24 2025-06-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於穩定釩化合物之方法及設備
KR102783898B1 (ko) 2020-04-29 2025-03-18 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 고체 소스 전구체 용기
KR20210134869A (ko) 2020-05-01 2021-11-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. Foup 핸들러를 이용한 foup의 빠른 교환
JP7726664B2 (ja) 2020-05-04 2025-08-20 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 基板を処理するための基板処理システム
JP7736446B2 (ja) 2020-05-07 2025-09-09 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー 同調回路を備える反応器システム
KR20210137395A (ko) 2020-05-07 2021-11-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 불소계 라디칼을 이용하여 반응 챔버의 인시츄 식각을 수행하기 위한 장치 및 방법
KR102788543B1 (ko) 2020-05-13 2025-03-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반응기 시스템용 레이저 정렬 고정구
TW202146699A (zh) 2020-05-15 2021-12-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成矽鍺層之方法、半導體結構、半導體裝置、形成沉積層之方法、及沉積系統
KR102905441B1 (ko) 2020-05-19 2025-12-30 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 장치
KR102795476B1 (ko) 2020-05-21 2025-04-11 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다수의 탄소 층을 포함한 구조체 및 이를 형성하고 사용하는 방법
KR20210145079A (ko) 2020-05-21 2021-12-01 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판을 처리하기 위한 플랜지 및 장치
KR102702526B1 (ko) 2020-05-22 2024-09-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 과산화수소를 사용하여 박막을 증착하기 위한 장치
TW202212650A (zh) 2020-05-26 2022-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沉積含硼及鎵的矽鍺層之方法
TW202212620A (zh) 2020-06-02 2022-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 處理基板之設備、形成膜之方法、及控制用於處理基板之設備之方法
KR20210156219A (ko) 2020-06-16 2021-12-24 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 붕소를 함유한 실리콘 게르마늄 층을 증착하는 방법
JP7703376B2 (ja) 2020-06-24 2025-07-07 エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー シリコンを備える層を形成するための方法
TWI873359B (zh) 2020-06-30 2025-02-21 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
KR102707957B1 (ko) 2020-07-08 2024-09-19 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 기판 처리 방법
TWI864307B (zh) 2020-07-17 2024-12-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於光微影之結構、方法與系統
KR20220011092A (ko) 2020-07-20 2022-01-27 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 전이 금속층을 포함하는 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
TWI878570B (zh) 2020-07-20 2025-04-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於沉積鉬層之方法及系統
TW202219303A (zh) 2020-07-27 2022-05-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 薄膜沉積製程
TWI900627B (zh) 2020-08-11 2025-10-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沉積碳化鋁鈦膜結構於基板上之方法、閘極電極、及半導體沉積設備
TWI893183B (zh) 2020-08-14 2025-08-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基材處理方法
US12040177B2 (en) 2020-08-18 2024-07-16 Asm Ip Holding B.V. Methods for forming a laminate film by cyclical plasma-enhanced deposition processes
KR20220026500A (ko) 2020-08-25 2022-03-04 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 표면을 세정하는 방법
KR102855073B1 (ko) 2020-08-26 2025-09-03 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 금속 실리콘 산화물 및 금속 실리콘 산질화물 층을 형성하기 위한 방법 및 시스템
KR20220027772A (ko) 2020-08-27 2022-03-08 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 다중 패터닝 공정을 사용하여 패터닝된 구조체를 형성하기 위한 방법 및 시스템
USD990534S1 (en) 2020-09-11 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
KR20220036866A (ko) 2020-09-16 2022-03-23 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 산화물 증착 방법
USD1012873S1 (en) 2020-09-24 2024-01-30 Asm Ip Holding B.V. Electrode for semiconductor processing apparatus
TWI889903B (zh) 2020-09-25 2025-07-11 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 基板處理方法
US12009224B2 (en) 2020-09-29 2024-06-11 Asm Ip Holding B.V. Apparatus and method for etching metal nitrides
KR20220045900A (ko) 2020-10-06 2022-04-13 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 실리콘 함유 재료를 증착하기 위한 증착 방법 및 장치
CN114293174A (zh) 2020-10-07 2022-04-08 Asm Ip私人控股有限公司 气体供应单元和包括气体供应单元的衬底处理设备
TW202229613A (zh) 2020-10-14 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 於階梯式結構上沉積材料的方法
KR102873665B1 (ko) 2020-10-15 2025-10-17 에이에스엠 아이피 홀딩 비.브이. 반도체 소자의 제조 방법, 및 ether-cat을 사용하는 기판 처리 장치
TW202217037A (zh) 2020-10-22 2022-05-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 沉積釩金屬的方法、結構、裝置及沉積總成
TW202223136A (zh) 2020-10-28 2022-06-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 用於在基板上形成層之方法、及半導體處理系統
CN112304832A (zh) * 2020-11-05 2021-02-02 安徽亿星电子科技有限公司 一种车载空气颗粒物检测装置
TW202229620A (zh) 2020-11-12 2022-08-01 特文特大學 沉積系統、用於控制反應條件之方法、沉積方法
TW202229795A (zh) 2020-11-23 2022-08-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 具注入器之基板處理設備
TW202235649A (zh) 2020-11-24 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 填充間隙之方法與相關之系統及裝置
TW202235675A (zh) 2020-11-30 2022-09-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 注入器、及基板處理設備
US12255053B2 (en) 2020-12-10 2025-03-18 Asm Ip Holding B.V. Methods and systems for depositing a layer
TW202233884A (zh) 2020-12-14 2022-09-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 形成臨限電壓控制用之結構的方法
US11946137B2 (en) 2020-12-16 2024-04-02 Asm Ip Holding B.V. Runout and wobble measurement fixtures
TW202232639A (zh) 2020-12-18 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 具有可旋轉台的晶圓處理設備
TW202226899A (zh) 2020-12-22 2022-07-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 具匹配器的電漿處理裝置
TW202231903A (zh) 2020-12-22 2022-08-16 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 過渡金屬沉積方法、過渡金屬層、用於沉積過渡金屬於基板上的沉積總成
TW202242184A (zh) 2020-12-22 2022-11-01 荷蘭商Asm Ip私人控股有限公司 前驅物膠囊、前驅物容器、氣相沉積總成、及將固態前驅物裝載至前驅物容器中之方法
CN113030396A (zh) * 2021-03-26 2021-06-25 河南师范大学 一种具有空气净化机构的空气检测装置
USD980814S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas distributor for substrate processing apparatus
USD981973S1 (en) 2021-05-11 2023-03-28 Asm Ip Holding B.V. Reactor wall for substrate processing apparatus
USD980813S1 (en) 2021-05-11 2023-03-14 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate for substrate processing apparatus
USD1023959S1 (en) 2021-05-11 2024-04-23 Asm Ip Holding B.V. Electrode for substrate processing apparatus
USD990441S1 (en) 2021-09-07 2023-06-27 Asm Ip Holding B.V. Gas flow control plate
USD1099184S1 (en) 2021-11-29 2025-10-21 Asm Ip Holding B.V. Weighted lift pin
USD1060598S1 (en) 2021-12-03 2025-02-04 Asm Ip Holding B.V. Split showerhead cover

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3440319A1 (de) * 1984-11-05 1986-05-15 Lawrence E. 2359 Henstedt-Ulzburg Stiers Frischluftfilter fuer geschlossene innenraeume, insbesondere von kraftfahrzeugen
CN2669860Y (zh) * 2003-09-27 2005-01-12 海尔集团公司 空气清新机
CN1784258A (zh) * 2004-03-02 2006-06-07 康耐特工业有限公司 空气净化器
JP2008142478A (ja) * 2006-12-13 2008-06-26 Fukusuke Kogyo Co Ltd 空気清浄装置
CN102748817A (zh) * 2012-07-04 2012-10-24 同济大学 一种高效多功能模块化室内空气净化装置
CN203052859U (zh) * 2012-11-28 2013-07-10 西安晶捷电子技术有限公司 一种空气净化器的风循环通路结构
CN203210668U (zh) * 2013-03-18 2013-09-25 中山博锐斯塑胶新材料有限公司 一种高低温tpu薄膜生产模具
CN203385149U (zh) * 2013-05-13 2014-01-08 苏州贝昂科技有限公司 一种网络空气净化器

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN203240668U (zh) * 2013-03-01 2013-10-16 巫国谊 空气净化器

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3440319A1 (de) * 1984-11-05 1986-05-15 Lawrence E. 2359 Henstedt-Ulzburg Stiers Frischluftfilter fuer geschlossene innenraeume, insbesondere von kraftfahrzeugen
CN2669860Y (zh) * 2003-09-27 2005-01-12 海尔集团公司 空气清新机
CN1784258A (zh) * 2004-03-02 2006-06-07 康耐特工业有限公司 空气净化器
JP2008142478A (ja) * 2006-12-13 2008-06-26 Fukusuke Kogyo Co Ltd 空気清浄装置
CN102748817A (zh) * 2012-07-04 2012-10-24 同济大学 一种高效多功能模块化室内空气净化装置
CN203052859U (zh) * 2012-11-28 2013-07-10 西安晶捷电子技术有限公司 一种空气净化器的风循环通路结构
CN203210668U (zh) * 2013-03-18 2013-09-25 中山博锐斯塑胶新材料有限公司 一种高低温tpu薄膜生产模具
CN203385149U (zh) * 2013-05-13 2014-01-08 苏州贝昂科技有限公司 一种网络空气净化器

Cited By (45)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10639576B2 (en) 2016-02-26 2020-05-05 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10495104B2 (en) 2016-02-26 2019-12-03 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11666846B2 (en) 2016-02-26 2023-06-06 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11090598B2 (en) 2016-02-26 2021-08-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11982288B2 (en) 2016-02-26 2024-05-14 Lg Electronics Inc. Air cleaner
EP3211347A1 (en) * 2016-02-26 2017-08-30 LG Electronics Inc. Air cleaner
US9821259B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9821262B2 (en) 2016-02-26 2017-11-21 Lg Electronics Inc. Air cleaner and method for controlling an air cleaner
US9827523B2 (en) 2016-02-26 2017-11-28 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9914082B2 (en) 2016-02-26 2018-03-13 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9943794B2 (en) 2016-02-26 2018-04-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US9950289B2 (en) 2016-02-26 2018-04-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10844871B2 (en) 2016-02-26 2020-11-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10675577B2 (en) 2016-02-26 2020-06-09 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10406470B2 (en) 2016-02-26 2019-09-10 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10646808B2 (en) 2016-02-26 2020-05-12 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10436469B2 (en) 2016-02-26 2019-10-08 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11452961B2 (en) 2016-02-26 2022-09-27 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10508658B2 (en) 2016-02-26 2019-12-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10518205B2 (en) 2016-02-26 2019-12-31 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11938433B2 (en) 2016-02-26 2024-03-26 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10563667B2 (en) 2016-02-26 2020-02-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10845078B2 (en) 2016-02-26 2020-11-24 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10413857B2 (en) 2016-02-26 2019-09-17 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10323855B2 (en) 2016-02-26 2019-06-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11905967B2 (en) 2016-02-26 2024-02-20 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US11761455B2 (en) 2016-02-26 2023-09-19 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10746193B2 (en) 2016-02-26 2020-08-18 Lg Electronics Inc. Air cleaner
US10697665B2 (en) 2016-02-26 2020-06-30 Lg Electronics Inc. Air cleaner
CN106338106A (zh) * 2016-06-23 2017-01-18 倪静 一种去尘设备
CN106091325A (zh) * 2016-08-11 2016-11-09 科比环保科技(天津自贸试验区)有限公司 模块化空气净化用风机装置
CN106091324A (zh) * 2016-08-11 2016-11-09 科比环保科技(天津自贸试验区)有限公司 空气净化用风机组件
CN106123144A (zh) * 2016-08-11 2016-11-16 科比环保科技(天津自贸试验区)有限公司 空气净化器
CN113864958B (zh) * 2016-12-06 2023-09-19 斐乐公司 具有智能传感器和气流的空气净化器
CN113864958A (zh) * 2016-12-06 2021-12-31 斐乐公司 具有智能传感器和气流的空气净化器
CN108279285A (zh) * 2017-01-06 2018-07-13 阿兹穆特监控股份公司 检测和分析单元,包括该单元的控制设备,相关控制方法
CN106949538A (zh) * 2017-02-22 2017-07-14 四川万康节能环保科技有限公司 一种多功能高效空气净化器
CN111344522B (zh) * 2017-11-27 2022-04-12 阿斯莫Ip控股公司 包括洁净迷你环境的装置
CN111344522A (zh) * 2017-11-27 2020-06-26 阿斯莫Ip控股公司 包括洁净迷你环境的装置
CN110748992A (zh) * 2019-10-24 2020-02-04 广州市中潭空气净化科技有限公司 一种用于公共厕所的除臭效率高的空气净化设备
CN111336607A (zh) * 2020-03-07 2020-06-26 唐山核聚安全系统工程有限公司 一种隔离病房或方舱医院专用的负压防护系统
CN111336608A (zh) * 2020-03-07 2020-06-26 唐山核聚安全系统工程有限公司 一种带定向吸风功能的移动负压防护系统
CN114111893A (zh) * 2021-11-11 2022-03-01 山东省食品药品检验研究院 实验室质量管理用室内检测装置
CN117722620A (zh) * 2024-02-18 2024-03-19 深圳市雷摩电子有限公司 多功能的太阳能路灯
CN117722620B (zh) * 2024-02-18 2024-04-16 深圳市雷摩电子有限公司 多功能的太阳能路灯

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Publication number Publication date
WO2015127614A1 (zh) 2015-09-03

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