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CN104203494A - 卡盘装置 - Google Patents

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CN104203494A
CN104203494A CN201280071628.XA CN201280071628A CN104203494A CN 104203494 A CN104203494 A CN 104203494A CN 201280071628 A CN201280071628 A CN 201280071628A CN 104203494 A CN104203494 A CN 104203494A
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CN
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clamping
chuck device
air
mounting head
cylinder
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CN201280071628.XA
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Fuji Corp
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Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
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Abstract

卡盘装置(10)，具备：夹紧元件(50)的一对夹紧爪(51)；将该元件(50)的销(52)压入到基板(53)的孔(54)中的推压部(55)；驱动夹紧爪(51)的夹紧用气缸部(57)；及驱动推压部(55)的推压用气缸部(58)。卡盘装置(10)构成为，以能够装卸的方式保持于设在元件安装机的移动机构(12)上的安装头(11)，并且通过该安装头(11)侧的空气供给路(26)对两个气缸部(57)、(58)供给空气压力。

Description

卡盘装置
技术领域
本发明是涉及把持(夹紧)元件并将该元件的朝下的突起部压入到对象物的孔中的卡盘装置的发明。
背景技术
作为这种卡盘装置的公知例，有专利文献1(日本特开昭63－236400号公报)、专利文献2(日本特开平8－8587号公报)中记载的方案。
在专利文献1记载的卡盘装置中，设置利用压缩空气进行开闭动作的一对夹紧爪，并且在利用弹力向下方对能够上下移动地设于一对夹紧爪之间的推压器(杆)进行施力，且由一对夹紧爪夹持元件进行夹紧时，使推压器的下端与元件的上表面抵接，使卡盘装置下降预定量，从而在抵抗弹力抬起推压器的状态下由一对夹紧爪夹紧元件后，使该卡盘装置移动到基板的上方，使元件的销与基板的孔对位，释放夹紧爪(夹紧解除)，从而通过利用弹力向下方进行施力的推压器将元件的销压入到基板的孔中。
另一方面，专利文献2记载的卡盘装置中，由弹性材料形成一对夹紧爪，从而利用一对夹紧爪自身的弹性变形来夹持元件进行夹紧，并且由促动器(气缸、液压缸、螺线管)驱动能够上下移动地设于一对夹紧爪之间的推压器，使由一对夹紧爪自身的弹力夹紧的元件的销与基板的孔对位，由促动器压下推压器，将元件的销压入到基板的孔中。
专利文献1：日本特开昭63－236400号公报
专利文献2：日本特开平8－8587号公报
发明内容
但是，由于安装在基板上的元件的尺寸大小不等，所以夹紧爪的尺寸也需要根据元件的尺寸进行变更。
但是，在上述专利文献1、2记载的卡盘装置中，由于无法自由地更换，所以无法应对安装在基板上的各种尺寸的元件。而且，由于采用夹紧爪和推压器中的任一方利用弹力进行动作的结构，所以也存在夹紧动作和压入动作中的利用弹力的一方的动作特性的设定自由度小的缺点。
因此，本发明要解决的课题在于能够更换卡盘装置并且能够比较自由地设定夹紧动作和压入动作两者的动作特性。
为了解决上述课题，本发明提供一种卡盘装置，把持元件并将该元件的朝下的突起部压入到对象物的孔中，该卡盘装置的特征在于，该卡盘装置具备：夹紧元件的夹紧部；将该元件的朝下的突起部压入到上述对象物的孔中的推压部；及分别驱动上述夹紧部和上述推压部的两个气缸部，该卡盘装置构成为，以能够装卸的方式保持于设在元件安装机、元件插入机、组装机等的移动机构上的安装头，并且通过该安装头的空气供给路对上述两个气缸部供给空气压力。
在该结构中，由于采用将卡盘装置以能够装卸的方式保持于设在移动机构上的安装头的结构，所以能够自由地更换为具备与所夹紧的元件的尺寸对应的夹紧部的卡盘装置。而且，由于采用分别由不同的气缸部来驱动夹紧部和推压部的结构，所以能够比较自由地设定夹紧动作和压入动作两者的动作特性，并且由于采用对两个气缸部通过安装头的空气供给路来供给空气压力的结构，所以也能够避免卡盘装置的结构的复杂化。
本发明也能够适用于元件安装机、元件插入机、组装机等中的任一个，但是在适用于元件安装机的情况下，可以将卡盘装置构成为，以能够更换成吸附元件的吸嘴的方式保持于元件安装机的安装头。由此，仅在需要卡盘装置的生产中，在元件安装机的安装头上保持并使用卡盘装置，而在不需要卡盘装置的生产中，能够从元件安装机的安装头拆除卡盘装置而更换成吸嘴使用，能够由卡盘装置和吸嘴效率良好地使用共用的安装头。而且，为了切换吸嘴的元件吸附动作和释放动作，能够利用设于元件安装机侧的空气压力的正压/负压切换功能，切换供给到卡盘装置的两个气缸部的空气压力，来驱动夹紧部和推压部两者，所以没必要在卡盘装置自身设置空气压力的正压/负压切换功能，还具有能够简化卡盘装置的结构的优点。
在这种情况下，可以构成为，在通过安装头的空气供给路对两个气缸部供给负压时，在推压部在压入解除位置待机的状态下将夹紧部向夹紧方向驱动，在供给正压时，将夹紧部向夹紧解除方向驱动并且将推压部向压入方向驱动。由此，与进行吸嘴的元件吸附动作/释放动作的情况相同，能够通过空气压力的切换来控制夹紧部的夹紧动作/解除动作及推压部的压入动作，卡盘装置的各动作的控制也容易。
但是，由于在由夹紧部夹紧元件的状态下，推压部处于从元件向上方离开而待机的状态，所以即使使推压部下降，在该推压部到达元件之前，也无法由该推压部将元件的突起部压入到对象物的孔中。因此，在由推压部压入元件的动作中产生延迟。夹紧解除后的元件由于该元件的突起部无法充分地嵌入到对象物的孔中，所以当推压部对夹紧解除的元件的压入动作的时刻延迟时，可能在推压部到达元件之前该元件倒塌。
作为其对策，可以构成为，在驱动夹紧部的气缸部将夹紧部向夹紧解除方向驱动时，在该气缸部的活塞的移动量超过预定量之后，将夹紧部向夹紧解除方向驱动。由此，当将夹紧部向夹紧解除方向驱动时，能够使夹紧部的夹紧解除动作开始时刻延迟至气缸部的活塞的移动量超过预定量，通过调整上述预定量，能够使实际的夹紧部的夹紧解除动作开始时刻与推压部开始压入元件的时刻大致一致，能够防止在推压部将元件的突起部压入到对象物的孔中之前该元件倒塌。
或者，也可以构成为，在驱动夹紧部的气缸部设置有通过该气缸部的活塞向夹紧解除方向的移动而推出空气的空气缓冲室，随着该活塞向夹紧解除方向的移动量增加，该空气缓冲室内的空气的推出流量增加。由此，能够将夹紧部的夹紧解除动作的速度特性设定为如下速度特性：初始速度设定得较慢，随着活塞向夹紧解除方向移动，夹紧解除动作的速度变快。由此，在进行元件的夹紧解除动作和压入动作时，在推压部到达元件而开始压入元件之前，能够减慢夹紧解除动作的速度，由夹紧部防止元件的倒塌，能够防止在推压部将元件的突起部压入到对象物的孔中之前该元件倒塌。
附图说明
图1是局部剖切地表示本发明的实施例1的元件安装机的安装头上保持卡盘装置的状态的图。
图2(a)是实施例1的夹紧爪打开时的卡盘装置的纵剖主视图，图2(b)是夹紧爪闭合时的卡盘装置的纵剖主视图。
图3(a)是实施例1的推压部待机时的卡盘装置的纵剖侧视图，图3(b)是推压部压入动作时的卡盘装置的纵剖侧视图。
图4(a)是实施例2的夹紧爪闭合时的卡盘装置的纵剖主视图，图4(b)是夹紧爪打开时的卡盘装置的纵剖主视图。
图5是实施例2的卡盘装置的侧视图。
图6是实施例2的夹紧爪闭合时的主要部分的放大纵剖主视图，图6(b)是夹紧爪打开时的主要部分的放大纵剖主视图。
具体实施方式
以下，说明将用于实施本发明的方式适用于元件安装机而具体化的两个实施例1、2。
实施例1
基于图1至图3说明本发明的实施例1。
首先，基于图1来说明以能够装卸的方式保持卡盘装置10的元件安装机的安装头11侧的结构。
支撑安装头11的移动机构12由在X方向(基板搬运方向)和Y方向(与基板搬运方向垂直的方向)上移动的XY方向移动机构13和在Z方向(上下方向)上移动的Z方向移动机构14构成。
XY方向移动机构13是在沿X方向移动的X滑动件(未图示)上设置有沿Y方向移动的Y滑动件15的结构，在Y滑动件15上经由支撑部件16将筒状旋转部件17支撑为能够绕Z轴部18(后述的空气供给管25的中心)旋转。中空的Z轴部18能够沿Z方向移动地花键嵌合在筒状旋转部件17内，在该Z轴部18的下端同心状地设置有安装头11。
Z轴部18从筒状旋转部件17向上方突出，该Z轴部18的上端部能够旋转地支撑在Z方向移动机构14的升降部件21上。Z方向移动机构14由通过Z轴马达(未图示)旋转驱动的滚珠丝杆22和通过该滚珠丝杠22的旋转沿Z方向移动的螺母部件23构成，在该螺母部件23上固定有升降部件21。
在中空的Z轴部18的内部同心状地设置有空气供给管25，该空气供给管25的内部空间作为正压/负压兼用的空气供给路26使用，形成在该空气供给管25的外周面与Z轴部18的内周面之间的圆环状的间隙作为负压专用的空气供给路27使用。空气供给管25的上端部能够旋转地支撑在Z方向移动机构14的升降部件21上，通过升降部件21的Z方向的移动，使空气供给管25和Z轴部18一体地在Z方向上移动。
在筒状旋转部件17的外周部设置头旋转装置28的齿轮29，通过马达(未图示)使该齿轮29旋转，从而筒状旋转部件17旋转，与其一体地、Z轴部18、空气供给管25和安装头11旋转。
在升降部件21上沿空气供给管25的外周面形成有圆环状的空气导入槽31，并且形成从该升降部件21的外周面向空气导入槽31延伸的空气导入口32，在该空气导入口32经由流路切换阀33选择性地连接正压源34和负压源35。在空气供给管25中的与圆环状的空气导入槽31相向的部分形成有在径方向上贯通的连通孔36，从正压源34或负压源35经由流路切换阀33导入到空气导入口32的正压或负压的空气从空气导入槽31通过连通孔36供给到空气供给管25内的正压/负压兼用的空气供给路26。另外，正压源34由鼓风机或压缩机等构成，负压源35由负压泵等构成。
另外，在升降装置21上沿Z轴部18的外周面形成有圆环状的空气导入槽39，并且形成从该升降部件21的外周面向空气导入槽39延伸的空气导入口40，在该空气导入口40经由电磁阀41连接有负压源35。在Z轴部18中的露出于圆环状的空气导入槽39的部分形成在径方向上贯通的连通孔42，从负压源35经由电磁阀41导入到空气导入口40的负压从空气导入槽39通过连通孔42供给到Z轴部18内的负压专用的空气供给路27。
经由连通路44与负压专用的空气供给路27连通的吸附用负压室45以在下表面侧开口的方式形成于支撑在Z轴部18的下端的安装头11上，通过供给到该吸附用负压室45的负压来吸附保持卡盘装置10的上端面(或者吸嘴的上端面)。
另一方面，空气供给管25内的正压/负压兼用的空气供给路26的下端在安装头11的下表面开口，从该空气供给路26的下端对卡盘装置10(或吸嘴)的上表面壁的空气供给口78(参照图3)供给正压/负压的空气。
接着，使用图2和图3说明卡盘装置10的结构。
卡盘装置10构成为具备：夹紧元件50的一对夹紧爪51(夹紧部)、将该元件50的销52(突起部)压入到基板53(对象物)的孔54中的推压部55、驱动夹紧爪51的夹紧用气缸部57及驱动推压部55的推压用气缸部58。
一对夹紧爪51被支撑为以轴60为支点在朝下的状态下能够开闭转动，在各夹紧爪51的上部一体地形成有彼此向对方侧突出的臂部61。由此，当使臂部61向下方转动时，夹紧爪51向打开方向(夹紧解除方向)转动。
各夹紧爪51的臂部61的前端部分别经由连杆部件62而使升降部件63上下移动。以仅夹紧用气缸部57的活塞67相对于升降部件63的杆部的上端部能够上下移动预定量H的方式连接。通过调整该预定量H，如后所述，使实际的夹紧爪51的夹紧解除动作开始时刻与推压部55开始压入元件50的时刻大致一致。
具体而言，在活塞67上以升降部件63的杆部的上端部能够上下移动预定量H的方式形成杆可动连接室68，在该杆可动连接室68内收容有该杆部的上端部。在杆部的上端面通过螺栓74固定垫片部件73，通过将该垫片部件73替换为厚度不同的垫片部件，来调整活塞67相对于杆部的上下移动量H，能够调整实际的夹紧爪51的夹紧解除动作开始时刻。
在夹紧用气缸部57的活塞67的上方形成压力室76，在该压力室76中收容有将该活塞67向下方(夹紧解除方向)施力的弹簧77。在夹紧用气缸部57的压力室76的顶棚壁上形成与安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26连通的空气供给口78(参照图3)，正压/负压的空气从安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26通过空气供给口78供给到压力室76。
如图3所示，一对夹紧爪51的爪尖部51a分别以弯曲成L字形的方式形成，并以推压部55位于由两个爪尖部51a夹紧的元件50的上方的方式配置。
接着，使用图3，说明驱动推压部55的推压用气缸部58的结构。
推压用气缸部58的活塞81通过配置在其下侧的弹簧28的弹力向上方(压入解除方向)被施力。杆83以向下方突出的方式一体地形成在活塞81的下部，在该杆83上固定有推压部55。
在推压用气缸部58的活塞81的上方形成有压力室84。设置使卡盘装置10的上端面的空气供给口78与压力室84的顶棚壁的空气导入口85之间连通的连通路87，通过安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26而供给的正压/负压的空气从空气供给口78通过连通路87供给到压力室84。卡盘装置10的上端面的空气供给口78构成对夹紧用气缸部57和推压用气缸部58两者的压力室76、84供给空气的共用的空气供给口。
在使如以上构成的卡盘装置10保持在安装头11上的情况下，通过元件安装机的移动机构12使安装头11移动到卡盘装置10的上方，并且打开负压源35的电磁阀41，从负压源35通过负压专用的空气供给路27对安装头11的吸附用负压室45供给负压，并同时使安装头11的下表面与卡盘装置10的上表面抵接。由此，处于卡盘装置10通过负压吸附保持在安装头11的下表面的状态。
之后，在进行由一对夹紧爪51夹紧元件50的夹紧动作的情况下，将流路切换阀33切换到负压源35侧，通过安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26从空气供给口78对夹紧用气缸部57的压力室76供给负压。由此，如图2(b)所示，活塞67抵抗弹簧77的弹力而被吸起，由活塞67下表面的防脱板69挂住升降部件63的杆部的上端部的突缘部72而拉起该杆部，与其一体地，升降部件63被拉起。通过该升降部件63的拉起动作，一对夹紧爪51的臂部61经由连杆部件62以轴60为支点被拉起，从而一对夹紧爪51以轴60为支点向闭合的方向(夹紧方向)转动。
在夹紧动作中，通过安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26供给的负压从空气供给口78通过连通路87也供给到推压用气缸部58的压力室84。由此，如图3(a)所示，推压用气缸部58的活塞81被吸起，推压部55上升到上升位置(压入解除位置)。该状态通过供给到压力室84的负压和弹簧82的弹力保持。
如以上那样，在由卡盘装置10的夹紧爪51夹紧元件50，并且使推压部55在压入解除位置上待机的状态下，通过元件安装机的移动机构12使该卡盘装置10与安装头11一起向基板53的上方移动，使由该卡盘装置10的夹紧爪51夹紧的元件50的销52与基板53的孔54对位，如图3(a)所示，将元件50的销52插入到基板53的孔54中。
之后，如以下所示进行夹紧解除动作和推压部55的压入动作。
将流路切换阀33切换到正压源34侧，将供给到安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26的空气压力从负压切换到正压。由此，从空气供给口78对夹紧用气缸部57和推压用气缸部58两者的压力室76、84供给正压的空气。
当对夹紧用气缸部57的压力室76供给正压的空气时，如图2(a)所示，通过供给到压力室76的正压和弹簧77的弹力压下活塞67。这时，最初如图2(b)所示，在升降部件63的杆部上端的垫片部件73和活塞67的杆可动连接室68的顶棚壁之间空有预定量H的间隙，所以在弹簧77对活塞67的压下量超过预定量H之前，升降部件63的杆部不移动，仅活塞67被压下，之后，在活塞67的压下量达到预定量H的时刻，处于杆可动连接室68的顶棚壁与升降部件63的杆部上端的垫片部件73接触的状态，之后，活塞67和杆部被一体地压下，升降部件63被压下。通过该升降部件63的压下动作，经由连杆部件62使一对夹紧爪51的臂部61以轴60为支点被压下，与其一体地、一对夹紧爪51与轴60为支点向打开方向(夹紧解除方向)转动。
如以上那样，夹紧解除动作的开始时刻从开始向夹紧用气缸部57的压力室76供给正压的空气(开始活塞67的压下动作)被推迟至活塞67的压下量超过预定量H。
从安装头11侧的正压/负压兼用的空气供给路26供给的正压的空气从空气供给口78同时供给到夹紧用气缸部57和推压用气缸部58两者的压力室76、84。当将正压的空气供给到推压用气缸部58的压力室84时，如图3(b)所示，推压用气缸部58的活塞81抵抗弹簧82的弹力而被压下，由此，推压部55下降，利用该推压部55将元件50的销52压入到基板53的孔54中。
在以上说明的本实施例1中，由于采用以能够装卸的方式将卡盘装置10保持于设在元件安装机的移动机构12上的安装头11的结构，所以能够自由地更换为具备与所夹紧的元件50的尺寸对应的夹紧爪51的卡盘装置10。而且，由于采用分别由不同的气缸部57、58来驱动夹紧爪51和推压部55的结构，所以能够比较自由地设定夹紧动作和压入动作两者的动作特性，并且由于采用对两个气缸部57、58通过安装头11的空气供给路26来供给空气压力的结构，所以也能够避免卡盘装置10的结构的复杂化。
而且，在本实施例1中，将卡盘装置10构成为，以能够更换成吸嘴的方式保持于元件安装机的安装头11，所以仅在需要卡盘装置10的生产中，在元件安装机的安装头11上保持并使用卡盘装置10，而在不需要卡盘装置10的生产中，则能够从元件安装机的安装头11拆除卡盘装置10而更换成吸嘴使用，能够由卡盘装置10和吸嘴效率良好地使用共用的安装头11。并且，为了切换吸嘴的元件吸附动作和释放动作，能够利用设于元件安装机的安装头11侧的空气压力的正压/负压切换功能(流路切换阀33和电磁阀41)，切换供给到卡盘装置10的两个气缸部57、58的空气压力，来驱动夹紧爪51和推压部55两者，所以没必要在卡盘装置10自身设置空气压力的正压/负压切换功能，还具有能够简化卡盘装置10的结构的优点。
另外，在本实施例1中，在通过安装头11的空气供给路26对两个气缸部57、58供给负压时，在推压部55在压入解除位置待机的状态下将夹紧爪51向夹紧方向驱动，在供给正压时，将夹紧爪51向夹紧解除方向驱动并且将推压部55向压入方向驱动，所以与进行吸嘴的元件吸附动作/释放动作的情况相同，能够通过空气压力的切换来执行夹紧爪51的夹紧动作/解除动作及推压部44的压入动作，卡盘装置10的各动作的控制也容易。
但是，如图3(a)所示，由于在由卡盘装置10的夹紧爪51夹紧元件50的状态下，推压部55处于从元件50向上方离开而待机的状态，所以即使使推压部55下降，在该推压部55到达元件50之前，也无法由该推压部55将元件50的销52压入到基板53的孔54中。因此，在由推压部55压入元件50的动作中产生延迟。夹紧解除后的元件50由于该元件50的销52无法充分地嵌入到基板53的孔54中，所以当推压部55对夹紧解除的元件50的压入动作的时刻延迟时，可能在推压部55到达元件50之前该元件50倒塌。
作为该对策，在本实施例1中，在夹紧用气缸部57将夹紧爪51向夹紧解除方向驱动时，在夹紧用气缸部57的活塞67的压下量超过预定量H之后，将夹紧爪51向夹紧解除方向驱动，所以当将夹紧爪51向夹紧解除方向驱动时，能够使夹紧爪51的夹紧解除动作开始时刻延迟至夹紧用气缸部57的活塞67的压下量超过预定量H。因此，通过调整上述预定量H，能够使实际的夹紧爪51的夹紧解除动作开始时刻与推压部55开始压入元件50的时刻大致一致，能够防止在推压部55将元件50的销52压入到基板53的孔54中之前该元件50倒塌。
实施例2
接着，使用图4至图6说明本发明的实施例2。其中，与上述实施例1实质上相同的功能部分标注相同的附图标记，省略或简化说明，主要对不同的部分进行说明。
在上述实施例1中，作为使实际的夹紧爪51的夹紧解除动作开始时刻与推压部55开始压入元件50的时刻接近的手段，采用在夹紧用气缸部57的活塞67的压下量超过预定量H之后将夹紧爪51向夹紧解除方向驱动的结构，但是在本实施例2中，在驱动夹紧爪51的夹紧用气缸部90的活塞91的下侧设置有通过该活塞91的下降(向夹紧解除方向的移动)而推出空气的空气缓冲室92，随着该活塞91的下降量增加，该空气缓冲室92内的空气的推出流量增加，活塞91的下降速度增加。
以下，具体说明该结构。
在夹紧用气缸部90的空气缓冲室92的侧壁部形成节流孔93，在活塞91下降时，使该空气缓冲室92内的空气从节流孔93减小流量而流出。
固定杆65的筒状套筒94以朝下突出的方式形成在活塞91上，在该筒状套筒94内插通固定有杆65。筒状套筒94上下移动自如地插通在形成于空气缓冲室92的底壁部92a的贯通孔95中。如图6所示，以随着活塞91的下降量增加，筒状套筒94的外周面与空气缓冲室92的贯通孔95的内周面之间的间隙(流路截面积)增加的方式，在筒状套筒94的外周面中的与贯通孔95的内周面相向的部分形成有直径朝向下侧变大的锥面96。
在该结构中，在将夹紧爪51向夹紧解除方向驱动时，随着活塞91的下降量增加，筒状套筒94的外周面与空气缓冲室92的贯通孔95的内周面之间的间隙(流路截面积)增加，容易推出空气缓冲室92内的空气，从空气缓冲室92的空气作用于活塞91的下表面的压力变小。由此，随着活塞91的下降量增加，活塞91的下降速度变快。
由此，能够将夹紧爪51的夹紧解除动作的速度特性设定为如下速度特性：初始速度设定得较慢，随着活塞91下降，夹紧解除动作的速度变快。由此，在进行元件50的夹紧解除动作和压入动作时，在推压部55到达元件50而开始压入元件50之前，能够减慢夹紧解除动作的速度，由夹紧爪51防止元件50的倒塌，能够防止在推压部55将元件50的销52压入到基板53的孔54中之前该元件50倒塌。
此外，在本实施例2中，也能够得到与上述实施例1相同的效果。
在本实施例2中，采用随着活塞91的下降量增加，从空气缓冲室92推出的空气的流路截面积连续地增加的结构，但是也可以采用随着活塞91的下降量增加，从空气缓冲室92推出的空气的流路截面积阶段性(两阶段以上)增加的结构。
另外，本发明的适用范围不限于元件安装机，也能够适用于元件插入机、组装机等。
此外，本发明不限于上述各实施例1、2，也能够在不脱离主旨的范围内进行各种变更来实施，例如也可以适当变更夹紧爪51的形状、推压部55的形状等，这是不言而喻的。
附图标记说明
10 卡盘装置
11 安装头
12 移动机构
13 XY方向移动机构
14 Z方向移动机构
18 Z轴部
26 正压/负压兼用的空气供给路
27 负压专用的空气供给路
28 头旋转装置
33 流路切换阀
34 正压源
35 负压源
41 电磁阀
45 吸附用负压室
50 元件
51 夹紧爪(夹紧部)
52 销(突起部)
53 基板(对象物)
54 孔
55 推压部
57 夹紧用气缸部
58 推压用气缸部
61 臂部
62 连杆部件
63 升降部件
67 活塞
68 杆可动连接室
73 垫片部件
76 压力室
77 弹簧
78 空气供给口
81 活塞
82 弹簧
83 杆
84 压力室
90 夹紧用气缸部
91 活塞
92 空气缓冲室
93 节流孔
94 筒状套筒
96 锥面

Claims (5)

1.一种卡盘装置，把持元件并将所述元件的朝下的突起部压入到对象物的孔中，所述卡盘装置的特征在于，
所述卡盘装置具备：夹紧元件的夹紧部；将所述元件的朝下的突起部压入到所述对象物的孔中的推压部；及分别驱动所述夹紧部和所述推压部的两个气缸部，
所述卡盘装置构成为，以能够装卸的方式保持于设在移动机构上的安装头，并且通过所述安装头的空气供给路对所述两个气缸部供给空气压力。
2.根据权利要求1所述的卡盘装置，其特征在于，构成为，
所述安装头是元件安装机的安装头，
所述卡盘装置构成为，以能够更换成吸附元件的吸嘴的方式保持于所述元件安装机的安装头。
3.根据权利要求1或2所述的卡盘装置，其特征在于，构成为，
在通过所述安装头的空气供给路对所述两个气缸部供给负压时，在所述推压部在压入解除位置待机的状态下将所述夹紧部向夹紧方向驱动，在供给正压时，将所述夹紧部向夹紧解除方向驱动并且将所述推压部向压入方向驱动。
4.根据权利要求3所述的卡盘装置，其特征在于，构成为，
在驱动所述夹紧部的气缸部将所述夹紧部向夹紧解除方向驱动时，在该气缸部的活塞的移动量超过预定量之后，将所述夹紧部向夹紧解除方向驱动。
5.根据权利要求3所述的卡盘装置，其特征在于，构成为，
在驱动所述夹紧部的气缸部设置有通过该气缸部的活塞向夹紧解除方向的移动而推出空气的空气缓冲室，随着该活塞向夹紧解除方向的移动量增加，所述空气缓冲室内的空气的推出流量增加。
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