CN104115004B

CN104115004B - 太阳能电池单体的检查装置以及太阳能电池单体的处理装置

Info

Publication number: CN104115004B
Application number: CN201280069425.7A
Authority: CN
Inventors: 高见芳夫
Original assignee: Shimadzu Corp
Current assignee: Shimadzu Corp
Priority date: 2012-02-10
Filing date: 2012-02-10
Publication date: 2016-07-13
Anticipated expiration: 2032-02-10
Also published as: WO2013118296A1; US20150160138A1; TWI500923B; US9322786B2; JPWO2013118296A1; TW201333454A; CN104115004A; JP5907180B2

Abstract

太阳能电池单体(100)的检查装置(1)具备：可见光源(11)，其照射可见光；CCD摄像机(15)，其对被太阳能电池单体(100)的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量；红外光源(13)，其对太阳能电池单体(100)照射红外光；以及CCD摄像机(16)，其对透过太阳能电池单体(100)而得到的透过图像进行测量。在该检查装置(1)中，将反射图像与透过图像进行比较，将在反射图像中成为亮点的区域中的在透过图像中成为暗点的区域判断为包括颗粒的区域，并且将在反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括颗粒的区域的区域以外的区域判断为包括针孔的区域。

Description

太阳能电池单体的检查装置以及太阳能电池单体的处理装置

技术领域

本发明涉及形成有防反射膜的太阳能电池单体的检查装置以及使用了该太阳能电池单体的检查装置的太阳能电池单体的处理装置。

背景技术

在太阳能电池单体的生产工序中，执行检查太阳能电池单体的裂纹、缺损、图案、成膜的缺陷等的外观检查和检查太阳能电池单体的内部产生的裂缝、空隙等的内部检查。

在专利文献1中公开了如下一种缺陷检查装置：利用激光光源对半导体晶片照射激光，并且利用摄像装置拍摄被半导体晶片的表面反射而得到的光学图像，利用缺陷检测部从所拍摄到的半导体晶片的图像数据中提取缺陷，由此检查半导体晶片的表面存在的缺陷。

另外，在专利文献2中公开了如下一种红外线检查装置：从红外线光源对半导体晶片照射红外线，并且利用红外线摄像机拍摄透过半导体晶片的红外线。在该红外线检查装置中，构成为利用红外线的透过状态在裂缝等异常部分和多晶硅基板部分存在差异来检测半导体晶片内部的微小裂缝。

专利文献1：日本特开2002-122552号公报

专利文献2：日本特开2006-351669号公报

发明内容

发明要解决的问题

在太阳能电池单体的制造工艺中，在防反射膜成膜之后执行成膜状态的检查。然后，对在检查中被判断为合格品的太阳能电池单体执行电极的印刷和烧结。在此，作为防反射膜，例如使用由利用了真空的等离子体CVD装置等成膜装置进行成膜而得到的SiN(氮化硅)膜。在该成膜装置中，当对多片太阳能电池单体执行成膜时，在装置的内部会累积颗粒。在成膜工序中，在真空腔室的内部反复执行真空排气、气体导入、成膜、排气之类的工序，因此在成膜前的太阳能电池单体或者成膜后的太阳能电池单体上堆积颗粒的概率增大。

在成膜前的太阳能电池单体上堆积有颗粒、并且以这样的状态执行了防反射膜的成膜的情况下，在太阳能电池单体的表面没有形成防反射膜的小区域形成为针孔。另一方面，在成膜后的太阳能电池单体上堆积有颗粒的情况下，形成载置于防反射膜的表面的异物、即所谓的上置颗粒。

以往，关于形成防反射膜后的太阳能电池单体，与上述专利文献1同样地，通过在外观检查装置中测量基于可见光的反射图像，来将上置颗粒、针孔检测为点缺陷。而且，在点缺陷的个数、总面积为预先设定的设定值以上的情况下，将该太阳能电池单体识别为缺陷产品，并从生产线去除。

上述点缺陷中的针孔是未成膜成分，因此难以修复，但关于上置颗粒，通过从防反射膜上去除颗粒本身能够将该太阳能电池单体作为正常的产品来使用。在将这种太阳能电池单体作为缺陷产品从生产线排除的情况下，产生生产效率降低这样的问题。

本发明是为了解决上述问题而完成的，其目的在于提供能够通过辨别异物和针孔来提高生产效率的太阳能电池单体的检查装置以及太阳能电池单体的处理装置。

用于解决问题的方案

第一发明是一种检查形成有防反射膜的太阳能电池单体的太阳能电池单体的检查装置，其特征在于，具备：可见光照射单元，其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜侧照射可见光；反射图像测量单元，其对从上述可见光照射单元照射并被上述太阳能电池单体的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量；红外光照射单元，其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜的相反侧照射红外光；透过图像测量单元，其对从上述红外光照射单元照射并透过上述太阳能电池单体而得到的透过图像进行测量；比较单元，其将由上述反射图像测量单元测量出的反射图像与由上述透过图像测量单元测量出的透过图像进行比较；以及判断单元，其将在上述反射图像中成为亮点的区域中的在上述透过图像中成为暗点的区域判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域，并且将在上述反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括上述异物的区域的区域以外的区域判断为包括形成于上述防反射膜的针孔的区域。

第二发明是，在第一发明中，上述可见光照射单元和上述红外光照射单元对太阳能电池单体的两个面同时照射可见光和红外光，并且太阳能电池单体的检查装置还具备分束器，该分束器接收被上述太阳能电池单体的防反射膜反射的可见光和透过上述太阳能电池单体的红外光，将被上述太阳能电池单体的防反射膜反射的可见光导向上述反射图像测量单元，并且将透过上述太阳能电池单体的红外光导向上述透过图像测量单元。

第三发明是一种对形成有防反射膜的太阳能电池单体进行处理的太阳能电池单体的处理装置，其特征在于，具备检查装置和异物去除装置，其中，该检查装置具有：可见光照射单元，其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜侧照射可见光；反射图像测量单元，其对从上述可见光照射单元照射并被上述太阳能电池单体的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量；红外光照射单元，其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜的相反侧照射红外光；透过图像测量单元，其对从上述红外光照射单元照射并透过上述太阳能电池单体而得到的透过图像进行测量；比较单元，其将由上述反射图像测量单元测量出的反射图像与由上述透过图像测量单元测量出的透过图像进行比较；以及判断单元，其将在上述反射图像中成为亮点的区域中的在上述透过图像中成为暗点的区域判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域，并且将在上述反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括上述异物的区域的区域以外的区域判断为包括形成于上述防反射膜的针孔的区域，该异物去除装置针对由上述检查装置的判断单元判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域的区域去除该区域的异物。

第四发明是，在第三发明中，上述异物去除装置还具备异物去除部，该异物去除部通过针对由上述检查装置中的判断单元判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域的区域喷出或者抽吸气体，来去除异物。

第五发明是，在第四发明中，上述异物去除装置还具备第二检查装置，该第二检查装置通过检查利用上述异物去除部去除异物后的太阳能电池单体，来检查该太阳能电池单体的防反射膜上是否存在异物。

第六发明是，在第五发明中，太阳能电池单体的处理装置还具备：主输送通路，其向包括上述检查装置的区域输送太阳能电池单体；以及输送机构，其在上述主输送通路与上述异物去除装置之间输送由上述检查装置中的判断单元判断为存在在上述防反射膜上包括异物的区域的太阳能电池单体。

第七发明是，在第六发明中，太阳能电池单体的处理装置还具备排出机构，该排出机构将由上述检查装置中的判断单元判断为存在包括形成于上述防反射膜的针孔的区域的太阳能电池单体从上述主输送通路排出。

发明的效果

根据第一发明，能够在太阳能电池单体的缺陷中辨别防反射膜上存在的异物和针孔。由此，能够识别通过去除异物而能够使用的太阳能电池单体，能够提高太阳能电池单体的生产率。

根据第二发明，具备将被太阳能电池单体的防反射膜反射的可见光导向反射图像测量单元并且将透过太阳能电池单体的红外光导向透过图像测量单元的分束器，因此能够同时用红外光和可见光进行照明，并在同一时间测量反射图像和透过图像。

根据第三发明，能够辨别防反射膜上存在的异物和针孔。由此，能够识别通过去除异物而能够使用的太阳能电池单体。而且，通过利用异物去除装置去除异物，能够提高太阳能电池单体的生产率。

根据第四发明，通过针对被判断为包括异物的区域的区域喷出或者抽吸气体，能够容易地去除异物。

根据第五发明，利用第二检查装置对由异物去除部执行了异物的去除作业后的太阳能电池单体进行重新检查，由此能够确认异物的去除状态。

根据第六发明，能够将被判断为存在在防反射膜上包括异物的区域的太阳能电池单体从主输送通路搬出到异物去除装置，在去除了异物后，再次搬入到主输送通路。

根据第七发明，能够将被判断为存在包括形成于防反射膜的针孔的区域的难以修复的太阳能电池单体从主输送通路排出到生产线的外部。

附图说明

图1是本发明所涉及的太阳能电池单体100的处理装置的立体图。

图2是在本发明所涉及的太阳能电池单体100的处理装置中去掉检查装置1和第二检查装置2后看到的俯视图。

图3是检查装置1的概要图。

图4是表示被支承部18支承的多个光源11的配置的俯视图。

图5是表示检查装置1的主要的控制系统的框图。

图6是第二检查装置2的概要图。

图7是表示太阳能电池单体100上存在颗粒104时的可见光的反射图像的峰P1的说明图。

图8是表示太阳能电池单体100上存在针孔103时的可见光的反射图像的峰P2的说明图。

图9是表示太阳能电池单体100上存在颗粒104时的红外光的透过图像的峰P3的说明图。

图10是表示太阳能电池单体100上存在针孔103时的红外光的透过图像的峰P4的说明图。

图11是另一实施方式所涉及的检查装置1的概要图。

图12是又一实施方式所涉及的检查装置1的概要图。

具体实施方式

下面，基于附图来说明本发明的实施方式。图1是本发明所涉及的太阳能电池单体100的处理装置的立体图。另外，图2是在本发明所涉及的太阳能电池单体100的处理装置中去掉检查装置1和第二检查装置2后看到的俯视图。

本发明所涉及的太阳能电池单体100的处理装置用于对在前级的成膜工序中在其上表面形成了防反射膜的太阳能电池单体100进行处理，该处理装置具备输送装置3，该输送装置3构成用于将太阳能电池单体100以使其防反射膜朝向上方的状态输送到包括检查装置1的区域的主输送通路。另外，本发明所涉及的太阳能电池单体100的处理装置具备：异物去除装置4，其用于从太阳能电池单体去除颗粒(异物)；第二检查装置2，其配设在该异物去除装置4的上方；排出机构5，其用于将在防反射膜形成有针孔的太阳能电池单体100从主输送通路排出；以及输送机构6，其用于将在防反射膜形成有颗粒的太阳能电池单体100从主输送通路搬出到异物去除装置4，另外将在异物去除装置4中去除颗粒后的太阳能电池单体100搬入到主输送通路。

上述输送装置3包括卷绕有一对输送带32的四个滑轮31和驱动该滑轮31进行旋转的未图示的电动机。另外，上述异物去除装置4具备异物去除部41，该异物去除部41通过针对太阳能电池单体100的防反射膜上的包括颗粒的区域喷出或者抽吸气体来去除颗粒。该异物去除部41以能够移动的方式被支承部材42支承，在与利用输送装置3输送太阳能电池单体100的输送方向正交的方向上进行往复移动。另外，支承部材42本身在与利用输送装置3输送太阳能电池单体100的输送方向平行的方向上进行往复移动。

图3是检查装置1的概要图。另外，图4是表示被支承部18支承的多个光源11的配置的俯视图。此外，在图4中，用实线示出了反射型扩散板12的开口部17。

该检查装置1具备可见光照射部，该可见光照射部由多个可见光源11和与支承部18相连结的圆顶型的反射型扩散板12构成，其中，多个可见光源11被支承部18支承并射出640nm左右的波长的可见光，该反射型扩散板12用于将从该可见光源11照射的可见光反射而照射到太阳能电池单体100的上表面。从可见光源11射出的可见光被反射型扩散板12反射，对于太阳能电池单体100从其防反射膜侧照射。在此，基于防反射膜的膜厚和折射率来决定该可见光的波长，以使得可见光在防反射膜处的反射率变小。

另外，该检查装置1具备红外光源13，该红外光源13作为射出940nm左右的波长的红外光的红外光照射部。从该红外光源13射出的红外光对于太阳能电池单体100从其防反射膜的相反侧照射。在此，基于太阳能电池单体100的材质等来决定该红外光的波长，以使得红外光能够容易地透过太阳能电池单体100。

并且，该检查装置1具备平板形状的分束器14、作为反射图像测量单元的CCD摄像机15以及作为透过图像测量单元的CCD摄像机16。分束器14配置在能够接收被太阳能电池单体100的防反射膜反射的可见光和透过太阳能电池单体100的红外光的位置。另外，该分束器14具有反射可见光并且使红外光透过的结构。从包括可见光源11的可见光照射部射出的可见光在被太阳能电池单体100的防反射膜反射之后，通过反射型扩散板12的矩形的开口部17，被分束器14再次反射，入射到CCD摄像机15。另一方面，从红外光源13射出的红外光在透过太阳能电池单体100之后，通过分束器14入射到CCD摄像机16。

图5是表示检查装置1的主要的控制系统的框图。

该检查装置1具备控制部7，该控制部7对检查装置1整体进行控制，并且具备执行逻辑运算的CPU、存储有控制装置所需的动作程序的ROM以及在控制时暂时存储数据等的RAM。该控制部7与上述可见光源11、红外光源13、CCD摄像机15以及CCD摄像机16相连接。另外，如后述那样，该控制部7具备比较部71和判断部72，其中，该比较部71将基于可见光的反射图像和基于红外光的透过图像进行比较，该判断部72用于判断颗粒和针孔。

图6是第二检查装置2的概要图。

与上述检查装置1同样地，该第二检查装置2具备可见光照射部，该可见光照射部由多个可见光源21和与支承部28相连结的圆顶型的反射型扩散板22构成，其中，多个可见光源21被支承部28支承并射出640nm左右的波长的可见光，该反射型扩散板22用于将从该可见光源21照射的可见光反射而照射到太阳能电池单体100的上表面。从可见光源21射出的可见光被反射型扩散板22反射，对于太阳能电池单体100从其防反射膜侧照射。

另外，该第二检查装置2具备作为反射图像测量单元的CCD摄像机26。从包括可见光源21的可见光照射部射出的可见光在被太阳能电池单体100的防反射膜反射之后，通过反射型扩散板22的矩形的开口部27，入射到CCD摄像机26。

在具有如上结构的太阳能电池单体100的处理装置中，利用构成主输送通路的输送装置3来输送在前级的成膜工序中形成了防反射膜的太阳能电池单体100。该太阳能电池单体100被输送到检查装置1的下方的位置，在该位置处利用检查装置1如后述那样检查其表面有无颗粒和针孔。

检查装置1进行检查的结果，被判断为不存在颗粒、针孔的太阳能电池单体100被输送装置3输送，就这样被送到后级的处理工序。另外，检查装置1进行检查的结果，被判断为形成了针孔的太阳能电池单体100被排出机构5从构成主输送通路的输送装置3排出。该排出机构5用于吸附保持太阳能电池单体100，并将该太阳能电池单体100从输送装置3排出到其外部的排出部。被排出到排出部的太阳能电池单体100被去除包括针孔的防反射膜而被重新利用。

另一方面，检查装置1进行检查的结果，被判断为存在颗粒的太阳能电池单体100被输送机构6从构成主输送通路的输送装置3搬出到异物去除装置4。该输送机构6用于吸附保持太阳能电池单体100，并将该太阳能电池单体100从输送装置3搬出到异物去除装置4或者从异物去除装置4搬入到输送装置3。在该异物去除装置4中，基于由检查装置1得到的判断结果使异物去除部41进行移动，针对太阳能电池单体100的防反射膜上的包括颗粒的区域喷出或者抽吸气体，由此去除颗粒。

如后述那样，利用第二检查装置2对利用异物去除装置4去除颗粒后的太阳能电池单体100重新检查有无颗粒。而且，利用输送机构6将由第二检查装置2判断为去除了颗粒的基板从异物去除装置4搬入到输送装置3。

接着，说明由上述检查装置1进行的检查工序。如图3所示，对于被输送装置3输送到检查装置1的太阳能电池单体100，将从包括可见光源11的可见光照射部射出的可见光照射到太阳能电池单体100的防反射膜。然后，该可见光在被防反射膜反射之后，被分束器14再次反射，入射到CCD摄像机15。由CCD摄像机15测量出的基于可见光的反射图像被送到图5所示的控制部7。另外，对于该太阳能电池单体100，同时将从红外光源13射出的红外光照射到太阳能电池单体100。然后，该红外光在透过太阳能电池单体100之后，通过分束器14而入射到CCD摄像机16。由CCD摄像机16测量出的透过图像被送到图5所示的控制部7。然后，控制部7中的比较部71将由CCD摄像机15测量出的反射图像与由CCD摄像机16测量出的透过图像进行比较。

图7是表示太阳能电池单体100上存在颗粒104时的可见光的反射图像的峰P1的说明图。图8是表示太阳能电池单体100上存在针孔103时的可见光的反射图像的峰P2的说明图。图9是表示太阳能电池单体100上存在颗粒104时的红外光的透过图像的峰P3的说明图。图10是表示太阳能电池单体100上存在针孔103时的红外光的透过图像的峰P4的说明图。此外，在这些图中，示意性地示出构成太阳能电池单体100的防反射膜101和多晶基板102。

如图7所示，在太阳能电池单体100上存在颗粒104的情况下，照射到太阳能电池单体100的可见光在防反射膜101上几乎不发生反射。与此相对地，照射到颗粒104的可见光被颗粒104的表面反射。因此，如图7所示，在由CCD摄像机15测量出的反射图像中，表示颗粒104的亮度高的峰P1被识别为亮点。

如图8所示，在太阳能电池单体100上存在针孔103的情况下，照射到太阳能电池单体100的可见光在防反射膜101上几乎不发生反射。与此相对地，照射到针孔103的可见光被多晶基板102的表面反射。因此，如图8所示，在由CCD摄像机15测量出的反射图像中，表示针孔103的亮度高的峰P2被识别为亮点。

如图9所示，在太阳能电池单体100上存在颗粒104的情况下，透过太阳能电池单体100的红外光的一部分被颗粒104遮挡。如图9所示，在由CCD摄像机16测量出的透过图像中，表示颗粒104的亮度低的峰P3被识别为暗点。

如图10所示，在太阳能电池单体100上存在针孔103的情况下，透过太阳能电池单体100的红外光在针孔103部分的透射率比在防反射膜101部分的透射率高，因此如图10所示，在由CCD摄像机16测量出的透过图像中，表示针孔103的亮度高的小型峰P4被识别为亮点。但是，在太阳能电池单体100中，与多晶基板102相比防反射膜101的厚度足够小的情况下，该峰P4极其小，还存在不能识别为亮点的情况。

因此，利用在比较部71中对由CCD摄像机15测量出的反射图像与由CCD摄像机16测量出的透过图像进行比较而得到的结果，能够识别太阳能电池单体100上存在的缺陷是针孔103还是颗粒104。即，能够将在由CCD摄像机15测量出的反射图像中成为亮点的区域识别为存在某些缺陷的区域。而且，能够将在由CCD摄像机15测量出的反射图像中成为亮点的区域中的、在由CCD摄像机16测量出的透过图像中成为暗点的区域判断为包括防反射膜101上存在的颗粒104的区域。另外，不论由CCD摄像机16测量出的透过图像中是否存在亮点，都能够将在由CCD摄像机15测量出的反射图像中成为亮点的区域中的、除被判断为包含颗粒的区域的区域以外的区域判断为包括形成于防反射膜101的针孔103的区域。利用图5所示的控制部7中的判断部72执行该判断。

如上所述，根据该检查装置1，能够对在太阳能电池单体100的缺陷中的防反射膜101上存在的针孔103和颗粒104进行识别。而且，利用排出机构5将被判断为形成有针孔103的太阳能电池单体100排出到排出部。另外，利用输送机构6将被判断为存在颗粒104的太阳能电池单体100搬出到异物去除装置4。由此，能够识别通过在异物去除装置4中去除颗粒而能够使用的太阳能电池单体100，能够提高太阳能电池单体100的生产率。

接着，说明由上述第二检查装置2进行的检查工序。如图6所示，对于被输送机构6输送到异物去除装置4的太阳能电池单体100，将从包括可见光源21的可见光照射部射出的可见光照射到太阳能电池单体100的防反射膜101。然后，该可见光在被防反射膜101反射之后，入射到CCD摄像机26。

太阳能电池单体100上存在颗粒104的情况下，照射到太阳能电池单体100的可见光在防反射膜101上几乎不发生反射。与此相对地，照射到颗粒104的可见光被颗粒104的表面反射。因此，与上述图7所示的情况同样地，在由CCD摄像机26测量出的反射图像中，表示颗粒104的亮度高的峰P1被识别为亮点。因此，能够根据该亮点的有无来判断有无颗粒104。

对被判断为存在颗粒104的太阳能电池单体100再次执行使用异物去除装置4去除颗粒104的动作。另一方面，被判断为不存在颗粒的太阳能电池单体100被输送机构6搬入到输送装置3。

此外，在防反射膜101形成有针孔103的太阳能电池单体100被排出机构5排出到排出部，因此在由CCD摄像机26测量出的反射图像中不会存在表示针孔103的亮点。在此，在该实施方式所涉及的第二检查装置2中，根据反射图像来检测颗粒104，但与图9所示的情况同样地，也可以利用透过图像来检测颗粒104。

接着，说明上述检查装置1的另一实施方式。图11是另一实施方式所涉及的检查装置1的概要图。此外，对与图3所示的实施方式相同的构件附加相同的附图标记并省略详细的说明。

在该实施方式中，设置一对被卷绕于滑轮34而进行移动的带35，在这些带35之间配设有纵长的红外光源19，该红外光源19向与利用带35输送的太阳能电池单体100的输送方向正交的方向延伸。在该实施方式中，一边利用一对带35输送太阳能电池单体100，一边利用一对带35之间的区域对太阳能电池单体100照射红外光，由此能够获得遍及太阳能电池单体100的整个区域的红外线透视图像。

接着，说明上述检查装置1的又一实施方式。图12是又一实施方式所涉及的检查装置1的概要图。此外，对与图3所示的实施方式相同的构件附加相同的附图标记并省略详细的说明。

在该实施方式中，具有以下结构：省略图3所示的第一实施方式中的分束器14和CCD摄像机15，利用一个CCD摄像机16获取基于可见光的反射图像和基于红外光的透过图像。在图3所示的第一实施方式中，能够在同一时间拍摄基于可见光的反射图像和基于红外线的透过图像，即使太阳能电池单体100上的颗粒随时间移动也不会将颗粒错误地判断为针孔。与此相对地，在图12所示的实施方式中，利用一个CCD摄像机16获取基于可见光的反射图像和基于红外光的透过图像，是装置的构成部件少的廉价的系统。在该实施方式中，能够通过使可见光和红外光的照射时间错开来分时地获取基于可见光的反射图像和基于红外光的透过图像，从而通过将这些图像进行比较来区分颗粒和针孔。

附图标记说明

1：检查装置；2：第二检查装置；3：输送装置；4：异物去除装置；5：排出机构；6：输送机构；7：控制部；11：可见光源；12：反射型扩散板；13：红外光源；14：分束器；15：CCD摄像机；16：CCD摄像机；17：开口部；18：支承部；21：可见光源；22：反射型扩散板；26：CCD摄像机；27：开口部；28：支承部；31：滑轮；32：带；34：滑轮；35：带；41：异物去除部；42：支承构件；71：比较部；72：判断部；100：太阳能电池单体；101：防反射膜；102：多晶基板；103：针孔；104：颗粒。

Claims

1.一种太阳能电池单体的检查装置，检查形成有防反射膜的太阳能电池单体，该太阳能电池单体的检查装置的特征在于，具备：

可见光照射单元，其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜侧照射可见光；

反射图像测量单元，其对从上述可见光照射单元照射并被上述太阳能电池单体的防反射膜反射而得到的反射图像进行测量；

红外光照射单元，其从上述太阳能电池单体的上述防反射膜的相反侧照射红外光；

透过图像测量单元，其对从上述红外光照射单元照射并透过上述太阳能电池单体而得到的透过图像进行测量；

比较单元，其将由上述反射图像测量单元测量出的反射图像与由上述透过图像测量单元测量出的透过图像进行比较；以及

判断单元，其根据上述比较单元的比较结果，将在上述反射图像中成为亮点的区域中的在上述透过图像中成为暗点的区域判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域，并且将在上述反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括上述异物的区域的区域以外的区域判断为包括形成于上述防反射膜的针孔的区域。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池单体的检查装置，其特征在于，

上述可见光照射单元和上述红外光照射单元对太阳能电池单体的两个面同时照射可见光和红外光，

并且上述太阳能电池单体的检查装置还具备分束器，该分束器接收被上述太阳能电池单体的防反射膜反射的可见光和透过上述太阳能电池单体的红外光，将被上述太阳能电池单体的防反射膜反射的可见光导向上述反射图像测量单元，并且将透过上述太阳能电池单体的红外光导向上述透过图像测量单元。

3.一种太阳能电池单体的处理装置，对形成有防反射膜的太阳能电池单体进行处理，该太阳能电池单体的处理装置的特征在于，具备检查装置和异物去除装置，

其中，该检查装置具有：

判断单元，其根据上述比较单元的比较结果，将在上述反射图像中成为亮点的区域中的在上述透过图像中成为暗点的区域判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域，并且将在上述反射图像中成为亮点的区域中的除被判断为包括上述异物的区域的区域以外的区域判断为包括形成于上述防反射膜的针孔的区域，

该异物去除装置针对由上述检查装置的判断单元判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域的区域去除该区域的异物。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池单体的处理装置，其特征在于，

上述异物去除装置具备异物去除部，该异物去除部通过针对由上述检查装置中的判断单元判断为包括上述防反射膜上存在的异物的区域的区域喷出或者抽吸气体，来去除异物。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池单体的处理装置，其特征在于，

上述异物去除装置还具备第二检查装置，该第二检查装置通过检查利用上述异物去除部去除异物后的太阳能电池单体，来检查该太阳能电池单体的防反射膜上是否存在异物。

6.根据权利要求5所述的太阳能电池单体的处理装置，其特征在于，还具备：

主输送通路，其向包括上述检查装置的区域输送太阳能电池单体；以及

输送机构，其在上述主输送通路与上述异物去除装置之间输送由上述检查装置中的判断单元判断为存在包括上述防反射膜上存在的异物的区域的太阳能电池单体。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池单体的处理装置，其特征在于，

还具备排出机构，该排出机构将由上述检查装置中的判断单元判断为存在包括形成于上述防反射膜的针孔的区域的太阳能电池单体从上述主输送通路排出。