CN104066866A - 有机电致发光元件制造装置及有机电致发光元件的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供用于制造发光亮度更均匀的有机电致发光元件的装置。涉及有机电致发光元件制造装置，从多个蒸镀单元(1)通过蒸镀在所输送的被蒸镀体(10)上依次层叠薄膜层(6)，形成有机层(13)。各蒸镀单元(1)具有：蒸镀源(2)，放射用于形成薄膜层(6)的蒸镀材料；筒状体(3)，朝向被蒸镀体(10)放出从蒸镀源(2)放射的蒸镀材料。该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部。该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布。所述多个蒸镀单元(1)具有：凸型分布蒸镀单元(1a)，使通过放出量调整构造(50)被调整后的薄膜层(6)的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元(1b)，使通过放出量调整构造(50)被调整后的薄膜层(6)的膜厚分布成为凹形状。本发明能够使通过蒸镀而层叠的层叠体的厚度接近均匀，使发光亮度更均匀。

Description

有机电致发光元件制造装置及有机电致发光元件的制造方法

技术领域

本发明涉及制造有机电致发光元件的装置、以及使用该装置制造有机电致发光元件的方法。

背景技术

过去公知有这样的技术：在生产线上输送基板，将该基板作为被蒸镀体在表面上依次蒸镀薄膜并进行层叠，由此制造有机电致发光元件(以下也称为“有机EL元件”)。例如，在专利文献1中公开了这样的装置，该装置具有能够独立控制气氛及真空度的多个处理室、和向多个处理室连续输送基板的输送单元，在该多个处理室中进行规定的处理，由此制造有机电致发光元件。根据这种流水线式的制造装置，能够依次层叠有机薄膜，因而有机EL元件的制造效率提高。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005－285576号公报

发明概要

发明要解决的问题

在过去的输送型(流水线式)的有机EL元件制造装置中，蒸镀材料以在中央较大、在端部减小的量分布方式进行蒸镀，因而有可能成为截面形状成为凸型地成膜。

图16是利用过去的有机EL元件制造装置制造的有机EL元件A的一例。在该有机EL元件A中，在基板11的表面形成有成为阳极的第1电极12，在第1电极12的表面层叠形成有有机层13、和成为阴极的第2电极14。在该状态下，有机层13从基板11侧起按照空穴输送层13a、发光层13b、电子输送层13c、中间层13d、空穴输送层13e、发光层13f、电子输送层13g的顺序进行层叠，这些各层是通过蒸镀形成的。另外，第2电极14通过在电子输送层13g的表面蒸镀电极材料而形成。并且，在所蒸镀的各层中，在中央部分层叠的蒸镀材料比端部(两侧部)多，因而形成在中央部厚度变厚、并且随着朝向侧部厚度变薄的凸形状的厚度分布。因此，即使是在通过蒸镀而形成的有机层13整体中，也是在中央部厚度变厚、在两侧部厚度变薄，形成为凸形状的厚度分布。

这样，由层叠体构成的有机层13如果在中央部厚度变厚、在侧部厚度变薄，将产生基板中央部和基板端部的发光亮度不同的问题。即，光往往利用干涉而被取出到元件外部，当膜厚在中央部和侧部不同时，将导致干涉的程度不同，发光亮度容易产生偏差。尤其是在诸如以比较大的面积进行发光的发光面板等中，面内的发光的均匀性下降，有可能损害作为发光体的功能。

为了使层叠体的厚度一致，可以考虑控制成使构成有机层13的各层的蒸镀材料的放出量在侧部和中央部达到一定值的分布，通过蒸镀来层叠膜厚均匀的层。但是，相对于所输送的被蒸镀体，使蒸镀量在被蒸镀区域整体中一致为一定值来形成层是很困难的，而且对于多个层中的所有层都将厚度控制为一定值也是很困难的，反而有可能使制造效率变差。

发明内容

本发明正是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供用于制造发光亮度更均匀的有机电致发光元件的装置。并且，本发明的目的在于，提供用于制造发光亮度更均匀的有机电致发光元件的方法。

用于解决问题的手段

本发明的有机电致发光元件制造装置从多个蒸镀单元通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上依次层叠薄膜层来形成有机层，其特征在于，所述多个蒸镀单元中的各蒸镀单元具有：蒸镀源，放射用于形成所述薄膜层的蒸镀材料；以及筒状体，被加热成使所述蒸镀材料气化的温度，朝向被蒸镀体放出从所述蒸镀源放射的所述蒸镀材料，该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部，该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布，所述多个蒸镀单元具有：凸型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凹形状。

在本发明中优选的是，所述放出量调整构造具有放出量调整板，该放出量调整板被加热成使所述蒸镀材料气化的温度，用于部分地遮挡所述开口部以调整来自所述开口部的所述蒸镀材料的放出量分布。

在本发明中优选的是，所述凸型分布蒸镀单元的所述放出量调整板的遮挡面积和所述凹型分布蒸镀单元的所述放出量调整板的遮挡面积不同。

在优选的一个方式中，所述放出量调整板的外缘呈圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度长。

在优选的一个方式中，所述放出量调整板的外缘呈圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度短。

在优选的一个方式中，所述放出量调整板是切出圆形的一部分从而外缘成为圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的所述圆形的半径、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的所述圆形的半径小。

在优选的一个方式中，所述放出量调整板呈梯形状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度长。

在优选的一个方式中，所述放出量调整板呈梯形状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度短。

在优选的一个方式中，所述放出量调整板呈梯形状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，使所述凹型分布蒸镀单元的所述放出量调整板在所述开口部的中央部的遮挡比例、大于所述凸型分布蒸镀单元的所述放出量调整板在所述开口部的中央部的遮挡比例。

在本发明中优选的是，所述放出量调整构造由所述筒状部的侧壁形成，该侧壁通过使所述开口部的俯视形状变形，调整来自所述开口部的所述蒸镀材料的放出量分布。

在本发明中优选的是，所述侧壁通过沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，使所述开口部的俯视形状变形。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述多个蒸镀单元的所述放出量调整构造的形状具有可变性。

本发明的有机电致发光元件的制造方法的特征在于，使用上述的有机电致发光元件制造装置制造有机电致发光元件。

发明效果

根据本发明，能够使通过蒸镀而层叠的层叠体的厚度接近均匀，因而能够制造发光亮度更均匀的有机电致发光元件。

附图说明

图1是表示有机电致发光元件制造装置的实施方式的一例的立体图。

图2是表示蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图3A和图3B是表示蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图4是说明蒸镀单元的开口部的遮挡的俯视图。

图5是表示蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图6A和图6B是表示蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图7A和图7B是表示蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图8A、8B、8C及8D是表示薄膜层的一例的剖视图。

图9是表示有机电致发光元件的一例的剖视图。

图10是表示有机电致发光元件制造装置的其它实施方式的一例的立体图。

图11是表示其它蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图12A和图12B是表示其它蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图13是说明其它蒸镀单元的开口部的遮挡的俯视图。

图14是表示其它蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图15A和图15B是表示其它蒸镀单元的开口部的一例的俯视图。

图16是表示过去的有机电致发光元件的一例的剖视图。

具体实施方式

图1和图2表示有机电致发光元件制造装置(以下也称为“有机EL制造装置”)的一例。该有机EL制造装置从多个蒸镀单元1通过蒸镀依次在所输送的被蒸镀体(工件)10上层叠薄膜层6(参照图8、9)来形成有机层(13)，由此制造有机电致发光元件(有机EL元件)。在图1中图示了从被蒸镀体10的输送方向(白色箭头)X的上游朝向下游依次配置3个蒸镀单元1的情况，但蒸镀单元1也可以是4个以上。例如，能够采用与蒸镀形成的薄膜层6的数量相同数量的蒸镀单元1。另外，蒸镀单元1必须是两个以上。

多个蒸镀单元1中的各蒸镀单元1具有：蒸镀源2，放射用于形成薄膜层6的蒸镀材料；以及筒状体3，被加热成使蒸镀材料气化的温度，朝向被蒸镀体10放出从蒸镀源2放射的蒸镀材料。筒状体3形成为具有截面呈矩形状的空洞的纵置的筒形状，在下部与蒸镀源2连接，并且，在上部设有将气化的蒸镀材料放出到上方的开口部4。如果这样利用筒状体3朝向被蒸镀体10放出蒸镀材料，则能够在被蒸镀体10上层叠薄膜层6。并且，筒状体3被加热成蒸镀材料的气化温度以上的温度，由此能够使蒸镀材料不附着于筒状体3的内部而从开口部4放出。筒状体3能够是金属制。另外，蒸镀也可以是真空蒸镀。在图1中用黑色箭头表示蒸镀材料的放出。

筒状体3能够形成为四面具有侧壁30的方筒状。侧壁30由一对的第一侧壁30a和一对的第二侧壁30b构成。各第一侧壁30a是平板状。并且，一对的第一侧壁30a相面对的方向是与输送方向X平行的方向。各第二侧壁30b是平板状。并且，一对的第二侧壁30b相面对的方向是与输送方向X垂直的方向。筒状体3具有侧壁30被加热成蒸镀材料的气化温度以上的温度的热壁构造。

如图2所示，在本方式中，开口部4形成为短边被配置成与输送方向X平行、长边被配置成与垂直于输送方向X的方向平行的矩形形状。由此，能够在所输送的被蒸镀体10的表面以更均匀的膜厚形成薄膜层6。开口部4的短边形成在第二侧壁30b的上端缘部。开口部4的长边形成在第一侧壁30a的上端缘部。

另外，各蒸镀单元1具有调整来自筒状体3的蒸镀材料的放出量分布的放出量调整构造50。即，各蒸镀单元1具有放出量调整板5作为放出量调整构造50。该放出量调整板5将筒状体3的开口部4的一部分遮挡(堵塞)。即，放出量调整板5部分地遮挡筒状体3的开口部4，以调整来自筒状体3的蒸镀材料的放出量分布。该放出量调整板5被加热成使蒸镀材料气化的温度。通过将放出量调整板5加热成蒸镀材料的气化温度以上的温度，能够使蒸镀材料不附着于放出量调整板5而从开口部4放出。放出量调整板5的温度可以是与筒状体3相同的温度，也可以是不同的温度。并且，筒状体3和放出量调整板5具有热传导性而且被连接，如果通过将筒状体3加热而将放出量调整板5加热，则能够使加热机构变简单。放出量调整板5能够是金属制。

在该蒸镀单元1中，通过在筒状体3的第二侧壁30b的上端设置放出量调整板5，将俯视形状为矩形状的开口部4部分地遮挡。即，开口部4的基于放出量调整板5的遮挡区域S以外的区域形成为用于放出蒸镀材料的放出区域H。因此，筒状体3的放出区域H的俯视形状能够根据放出量调整板5的形状等而变形，由此能够调整来自放出区域H的蒸镀材料的放出分布。即，在该蒸镀单元1中，通过设置放出量调整板5，能够容易调整蒸镀材料的放出分布，并调整蒸镀量的分布。即，在采用没有设置放出量调整板5的、矩形状的开口部4整体开口的蒸镀单元1的情况下，在与输送方向X垂直的方向(宽度方向)的中央部分放出较多的蒸镀材料，并且，在宽度方向的侧部放出较少的蒸镀材料。由此，薄膜层6形成为膜厚分布极端凸出的凸形状，成为中央部大幅凸出的层。为了使中央部和侧部的蒸镀量更加接近，可以考虑改变筒状体3自身的开口的形状，但在这种情况下，装置结构有可能变复杂。但是，如果设置放出量调整板5，通过调整基于放出量调整板5的遮挡状态，能够容易调整膜厚的分布，能够使中央部和侧部的蒸镀量接近。

在本方式中，在各蒸镀单元1中，成为一对的两个放出量调整板5沿着与输送方向X平行的方向配置。即，在输送方向X的上游侧配置上游侧的放出量调整板5a，并且，在输送方向X的下游侧配置下游侧的放出量调整板5b。上游侧的放出量调整板5a从开口部4的上游侧缘部朝向下游侧凸出，并遮挡开口部4的上游侧的一部分。并且，下游侧的放出量调整板5b从开口部4的下游侧缘部朝向上游侧凸出，并遮挡开口部4的下游侧的一部分。另外，放出量调整板5对开口部4的部分遮挡的程度随着从宽度方向的侧部朝向中央部而增大。通过设置这种放出量调整板5，能够使对被蒸镀体10的蒸镀量在中央部和侧部接近于更接近的值。

有机EL制造装置具有输送被蒸镀体10的输送单元20。输送单元20由输送带等合适的输送机构构成，由此被蒸镀体10能够沿着生产线从输送方向X的上游侧到下游侧依次通过各蒸镀单元1的上方。输送单元20能够采用这样的结构：利用支撑部件支撑被蒸镀体10的宽度方向的端部，并以被蒸镀体10的下部表面露出于外部的方式与支撑部件一起输送。通过使被蒸镀体10的下部表面露出，能够在该表面蒸镀从筒状体3放出的蒸镀材料来形成薄膜层6。被蒸镀体10至少包括基板11，例如能够采用在表面形成有第1电极12的基板11。并且，也能够采用在表面形成有第1电极12和有机层13的一部分的层的基板11。另外，以第1电极12位于下方的方式将基板11设置在适当的支撑部件上，由此能够构成被蒸镀体10。另外，也可以是，利用在宽度方向的各端部配置的辊和传送带等输送带构成输送单元20，将基板1的宽度方向的端部放置在输送带上进行输送。在进行蒸镀时，也可以在被蒸镀体10的下部表面上叠放掩膜。由此，能够不蒸镀在被蒸镀体10的外周部，或者能够按照适当的图案层叠薄膜层6。

在有机EL制造装置中，利用在开口部4设有放出量调整板5的蒸镀单元1依次形成薄膜层6，但在利用放出量调整板5将开口部4的一部分遮挡时，对于单独的各薄膜层6，难以从宽度方向的中央部一直到侧部都以一定的厚度层叠蒸镀材料。使构成有机层3的所有薄膜层6的宽度方向的厚度一致为一定值尤其困难。因此，在本方式中，在多个蒸镀单元1中，改变放出量调整板5对开口部4的部分遮挡状态来调整放出量的分布，使层叠体整体的厚度更接近一定值。另外，即使是设置了放出量调整板5，在将开口部4遮挡的比例较小的情况下，通常薄膜层6形成为凸型的膜厚分布，因而制造出如图16所示的有机EL制造元件A。

在本方式中，多个蒸镀单元1具有：凸型分布蒸镀单元1a(以下简称为“单元1a”)，使通过放出量调整板5被调整后的薄膜层6的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元1b(以下简称为“单元1b”)，使通过放出量调整板5被调整后的薄膜层6的膜厚分布成为凹形状。即，多个蒸镀单元1中的一部分是单元1a，剩余中的全部或者一部分是单元1b。由此，层叠具有凸形状的膜厚分布的薄膜层6(凸型薄膜层6a)和具有凹形状的膜厚分布的薄膜层(凹型薄膜层6b)，因而能够使被蒸镀形成的层叠体整体的厚度的分布接近一定值。并且，如果作为层叠体的有机层13的中央部的厚度和侧部的厚度接近一定值，则中央部和侧部的发光亮度更接近相同的程度。即，光往往利用干涉而被取出到元件外部，如果在有机层13的中央部和侧部膜厚大致相同，则干涉的程度大致相同，发光亮度在表面整体上接近一定值。因此，能够制造面内的发光更均匀的有机EL元件。另外，在多个蒸镀单元1中，除单元1a和单元1b外，还可以包含膜厚分布平坦的平坦分布蒸镀单元。并且，高温蒸镀单元也可以配置在单元1a和单元1b排列的列之间。高温蒸镀单元是以比单元1a和单元1b那样基于热壁的蒸镀高的蒸镀温度进行蒸镀的单元。在金属等蒸镀温度是高温的情况下，将不能进行基于热壁的蒸镀，因而高温蒸镀单元比较适合。例如，阴极使用的Al等金属、和有机层13内的金属含有层(Mg、ITO、MoO₃、Li₂MoO₃等)的蒸镀能够使用高温蒸镀单元。利用高温蒸镀单元形成的薄膜层6可以是宽度方向的厚度分布均匀的层，或者也可以是凸型或者凹型的层。

图8表示薄膜层6的一例。图8A是利用单元1a形成的凸型薄膜层6a的一例。在凸型薄膜层6a中，随着从两侧部接近中央部，厚度逐渐变厚，中央部在厚度方向上凸出。这样，单元1a是当在平坦的表面形成薄膜层6时形成表示凸型的膜厚分布的层的单元。另外，图8B是利用单元1b形成的凹型薄膜层6b的一例。在凹型薄膜层6b中，随着从两侧部接近中央部，厚度逐渐变薄，中央部在厚度方向上凹陷。这样，单元1b是当在平坦的表面形成薄膜层6时形成表示凹型的膜厚分布的层的单元。

其中，单元1b只要是以如下的膜厚分布形成薄膜层6的单元即可，在该膜厚分布中具有厚度随着从侧部接近中央部而减小并凹陷的部分。在基于蒸镀单元1的蒸镀中，在开口部4的端缘部，蒸镀量有时减少，在这种情况下，如图8C所示，薄膜层6的厚度有时在侧端部变薄，但这种薄膜层6也在中央部具有凹部，因而成为凹型薄膜层6b。并且，在进行层叠的面积增大时，放出量调整板5对中央部分的遮挡效果减小，在这种情况下，如图8D所示，薄膜层6的厚度有时在中央部变厚，但这种薄膜层6也在中央部附近具有凹部，因而成为凹型薄膜层6b。但是，在图8D的情况下，优选在中央部凸出的部分的厚度比在侧部凸出的部分的厚度薄。

为了形成凸型薄膜层6a和凹型薄膜层6b，优选单元1a中的放出量调整板5的遮挡面积与单元1b中的放出量调整板5的遮挡面积不同。由此，能够容易使薄膜层6形成为凸型或者凹型。例如，使单元1b中的放出量调整板5的遮挡面积大于单元1a中的放出量调整板5的遮挡面积，相比侧部，使蒸镀材料在中央部的放出被遮挡，使蒸镀量减少。这样，能够按照凹型的膜厚分布来层叠蒸镀材料，并形成凹型薄膜层6b。

在图2的方式中，利用在筒状体3的开口部4配置的局部圆盘型的放出量调整板5，能够容易使薄膜层6的膜厚分布成为凸型或者凹型。在该方式中，多个蒸镀单元1中的放出量调整板5的外缘呈圆弧状，且沿着与输送方向X平行的方向凸出并遮挡开口部4。通过使进行遮挡的外缘成为圆弧状，能够使膜厚分布从侧部一直到中央部平滑地变化。在图2的遮挡构造中，呈圆弧状的放出量调整板5的外缘形成为通过在矩形状的开口部4的宽度方向配置的角部4a、4a而弯曲的曲线。该曲线可以是圆的一部分，也可以是椭圆的一部分。通过采用这种外缘呈圆弧状的放出量调整板5，能够容易按照每个蒸镀单元1改变放出量调整板5对开口部4的遮挡面积，能够控制蒸镀材料的放出量分布。

另外，在图2的方式中，通过使基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1及与输送方向X垂直的长度L2中至少一方在多个蒸镀单元1之间不同，能够改变开口部4的遮挡状态。当然，也可以使长度L1和L2双方不同。

根据图3说明基于放出量调整板5的遮挡状态的变化。如图2和图3A所示，例如通过使基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1在单元1a和单元1b之间不同，能够改变开口部4的遮挡状态。并且，在这种情况下，能够容易使遮挡面积不同。即，使单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1、比单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1长。此时，图2的方式表示单元1b的开口部4，图3A的方式表示单元1a的开口部4。在图3A的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向X上的开口长度比图2的方式长。并且，在开口部4的中央部，放出更多的蒸镀材料，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。另一方面，在图2的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向X上的开口长度比图3A的方式短，因而在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。这样，通过改变基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。

另外，如图2和图3B所示，通过使基于放出量调整板5的遮挡区域S的与输送方向X垂直的方向(宽度方向)的长度L2在单元1a和单元1b之间不同，能够改变开口部4的遮挡状态。并且，在这种情况下，能够容易使遮挡面积不同。即，使单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的宽度方向的长度L2、比单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的宽度方向的长度L2短。此时，图2的方式表示单元1a的开口部4，图3B的方式表示单元1b的开口部4。在图3B的方式中，在开口部4的宽度方向的侧部，开口面积大于图2的方式。并且，在开口部4的侧部，放出更多的蒸镀材料，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。另一方面，在图2的方式中，开口部4的宽度方向的侧部的开口面积小于图3B的方式，因而在开口部4的侧部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。这样，通过改变基于放出量调整板5的遮挡区域S的宽度方向的长度L2，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。另外，在图3B的方式中，遮挡区域S的圆弧的外缘与开口部4的缘部的交点被配置在角部4a的内侧。

另外，在图2的方式中也可以是，在放出量调整板5是切出圆形的一部分从而外缘成为圆弧状，并沿与输送方向X平行的方向凸出并遮挡开口部4的情况下，使图4所示的利用放出量调整板5描画出的圆形的半径R根据每个蒸镀单元1而不同。即，使单元1a中的基于放出量调整板5的圆形的半径R和单元1b中的基于放出量调整板5的圆形的半径不同。由此，能够改变开口部4的遮挡状态。并且，在这种情况下，能够容易使遮挡面积不同。例如，使单元1b中的基于放出量调整板5的圆形的半径R、比单元1a中的基于放出量调整板5的圆形的半径R小。这样，在单元1a中，圆的外缘与中心之间的距离变短，外缘描画出的曲率半径(R)进一步减小，形成为遮挡区域更凸出的形状，因而在开口部4的宽度方向的中央部，开口比例小于单元1a。并且，在单元1b中，在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。另一方面，在单元1a中，遮挡区域S的凸出较小，在开口部4的中央部，开口比例大于单元1b，因而在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量增多。因此，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。这样，通过改变放出量调整板5的半径R，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。另外，在改变半径R时，能够使基于各放出量调整板5的遮挡区域S的外缘通过开口部4的角部4a、4a。

另外，在基于放出量调整板5的遮挡区域S的外缘是切出椭圆形的一部分而形成的情况下，通过按照与上述圆的半径R的情况相同的要领改变椭圆的短轴的长度(短径)或者长轴的长度(长径)，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。并且，通过改变椭圆的长轴与短轴的长度比，也能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。

图5是放出量调整板5的另一例。在该方式中，放出量调整板5呈梯形状，且沿着与输送方向X平行的方向凸出并遮挡开口部4。通过使遮挡区域S成为梯形状，能够形成这样的薄膜层6：在侧部越接近中央部就越减少蒸镀材料的放出量，并且在中央部蒸镀材料的放出量不会变得过少。

另外，与图2的方式相同地，在各蒸镀单元1中，成为一对的两个放出量调整板5沿着与输送方向X平行的方向配置。即，在输送方向的上游侧配置上游侧的放出量调整板5a，并在输送方向X的下游侧配置下游侧的放出量调整板5b。上游侧的放出量调整板5a从开口部4的上游侧缘部朝向下游侧凸出，并遮挡开口部4的上游侧。并且，下游侧的放出量调整板5b从开口部4的下游侧缘部朝向上游侧凸出，并遮挡开口部4的下游侧。另外，放出量调整板5对开口部4的遮挡程度是在中央部大于宽度方向的侧部。通过设置这样的放出量调整板5，能够使对被蒸镀体10的蒸镀量在中央部和侧部接近于更接近的值。

在图5的遮挡构造中，通过放出量调整板5而形成的遮挡区域S的梯形的下边，与由矩形状的开口部4的宽度方向的角部4a、4a形成的线段相等。通过采用这种遮挡区域S为梯形状的放出量调整板5，能够容易按照每个蒸镀单元1改变放出量调整板5对开口部4的遮挡状态，能够控制蒸镀材料的放出量分布。

在图5的方式中，通过使单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的面积、与单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的面积不同，能够将薄膜层6的膜厚分布调整为凸型或者凹型。并且，即使是遮挡区域S的面积相同时，如果以使中央部的遮挡区域S的比例变化的方式改变梯形的形状，则也能够将薄膜层6的膜厚分布调整为凸型或者凹型。即，由于遮挡区域S是梯形状，因而如果增加基于该梯形的在中央部的遮挡比例，则能够容易减少中央部附近的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凹型。

具体地讲，通过使基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向的长度L1及与输送方向垂直的长度L2中至少一方根据多个蒸镀单元1而不同，能够改变开口部4的遮挡状态。当然，也可以使长度L1和L2双方不同。在本方式中，基于放出量调整板5的遮挡区域S是梯形状，因而长度L1成为梯形的高度，长度L2成为梯形的下边的长度。

根据图6说明基于放出量调整板5的遮挡状态的变化。如图5和图6A所示，例如通过使基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向的长度L1在单元1a和单元1b之间不同，能够改变开口部4的遮挡状态。并且，在这种情况下，能够容易使遮挡面积不同。即，使单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1、比单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1长。此时，图5的方式表示单元1b的开口部4，图6A的方式表示单元1a的开口部4。在图6A的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向X上的开口长度比图5的方式长。并且，在开口部4的中央部，放出更多的蒸镀材料，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。另一方面，在图5的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向上的开口长度比图6A的方式短，因而在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。这样，通过改变基于放出量调整板5的遮挡区域S的输送方向X的长度L1、即遮挡区域S中的梯形的高度，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。

另外，如图5和图6B所示，通过使基于放出量调整板5的遮挡区域S的与输送方向X垂直的方向(宽度方向)的长度L2在单元1a和单元1b之间不同，能够改变开口部4的遮挡状态。并且，在这种情况下，能够容易使遮挡面积不同。即，使单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的宽度方向的长度L2、比单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的宽度方向的长度L2短。此时，图5的方式表示单元1a的开口部4，图6B的方式表示单元1b的开口部4。在图6B的方式中，在开口部4的宽度方向的侧部，开口面积大于图5的方式。并且，在开口部4的侧部，放出更多的蒸镀材料，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。另一方面，在图5的方式中，开口部4的宽度方向的侧部的开口面积小于图6B的方式，因而在开口部4的侧部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。这样，通过改变基于放出量调整板5的遮挡区域S的宽度方向的长度L2、即遮挡区域S中的梯形的下边的长度，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。另外，在图6B的方式中，遮挡区域S的梯形的下边比开口部4的宽度方向的长度短，被配置在角部4a的内侧。

另外，在基于放出量调整板5的遮挡区域S是梯形状的情况下，通过按照与上述梯形的下边的情况相同的要领改变图6B所示的梯形的上边的长度L3，也能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。即，如果进一步延长上边的长度L3，则宽度方向的中央部的蒸镀材料的放出量减少，因而能够使薄膜层6的膜厚分布接近凹形。

另外，在图5的方式中，优选单元1b中的放出量调整板5对开口部4的中央部的遮挡比例、比单元1a中的放出量调整板5对开口部4的中央部的遮挡比例大。在该方式中，遮挡区域S是梯形状，因而如果增减基于该梯形的在中央部的遮挡比例，则能够容易控制中央部附近的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凸型或者凹型。

另外，在图5的方式中，优选单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的面积、比单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的面积大。在该方式中，遮挡区域S是梯形状，因而如果增加由该梯形形成的遮挡区域S的面积，则能够容易减少中央部附近的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凹型。例如，如果将遮挡区域S的梯形的下边固定为开口部4的宽度方向的角部4a、4a的线段，并提高梯形的高度(长度L1)，则能够增加梯形的面积、减少中央部附近的放出量，使膜厚分布成为凹型。

另外，在图5的方式中，优选单元1b中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的面积、比单元1a中的基于放出量调整板5的遮挡区域S的面积小。在该方式中，遮挡区域S是梯形状，因而如果减小由该梯形形成的遮挡区域S的面积，则能够容易增加侧部的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凹型。例如，如果将遮挡区域S的梯形的高度(长度L1)固定，并缩短梯形的下边(长度L2)，则能够减小梯形的面积、增加侧部的放出量，使膜厚分布成为凹型。

可是，在上述的各方式中示出了在各蒸镀单元1中，成为一对的两个放出量调整板5沿着与输送方向X平行的方向配置，并沿着与输送方向X平行的方向(与输送方向为同方向及反方向)凸出。但是，放出量调整板5的方式不限于此。图7表示在开口部4配置一个放出量调整板5时的方式的一例。

图7的方式是在开口部4的输送方向X的中央部、以跨越宽度方向的方式配置树叶状的放出量调整板5的示例。由此，在宽度方向的中央部开口比例减小的开口部4在输送方向的上游侧和下游侧形成为两个。图7A是采用表示两个圆弧状的外缘在开口部4的缘部相结合的遮挡区域的放出量调整板5的示例。另外，图7B是采用表示在上游侧和下游侧凸出的两个梯形在下边处相结合的遮挡区域S的放出量调整板5的示例。

并且，在图7的方式中，通过使输送方向X的长度L1变化，能够使薄膜层6的膜厚分布变化，使薄膜层6形成为凸型或者凹型。即，如果延长输送方向X的长度L1，则能够减少宽度方向的中央部分的蒸镀材料的放出量，能够使薄膜层6接近凹型。另外，在该方式中，放出量调整板5沿宽度方向跨越开口部4，因而难以调整宽度方向的长度L2，但是如果以在输送方向X上跨越的方式配置放出量调整板5，则也能够调整宽度方向的长度L2。

在上述的各方式中，优选开口部4的遮挡区域S在沿宽度方向将开口部4二等分的线上成为线对称。由此，从宽度方向的侧部一直到中央部的放出量分布在宽度方向上左右对称，容易进行层叠体整体的膜厚的调整。并且，优选开口部4的遮挡区域S在沿输送方向X将开口部4二等分的线上成为线对称。由此，能够抑制膜厚在输送方向X上产生偏差。为了得到线对称的遮挡区域S，例如在图2和图5的方式中，能够使被放出量调整板5遮挡的两个遮挡区域S成为相同形状。

另外，优选多个蒸镀单元1中的放出量调整板5的形状具有可变性。通过使放出量调整板5的形状具有可变性，能够容易增减遮挡区域的面积，并容易改变遮挡区域S的输送方向X的长度L1和宽度方向的长度L2，容易调节蒸镀材料的放出量分布。例如，放出量调整板5形成为能够装卸自如地插入开口部4。在这种情况下，能够采用形状不同的多个放出量调整板5改变遮挡区域S的形状。例如，在采用局部圆盘状的放出量调整板5的情况下，将半径R不同的放出量调整板5插入蒸镀单元1，能够调整放出量分布。另外，例如在采用梯形状的放出量调整板5的情况下，通过将梯形的高度不同或上边的长度不同的放出量调整板5插入蒸镀单元1，能够调整放出量分布。并且，在能够调整插入深度的情况下，也能够利用同一形状的放出量调整板5调整放出量分布。例如，如果将放出量调整板5更深地插入开口部4，则能够延长遮挡区域的输送方向的长度L1、增大遮挡区域S的面积，从而减少中央部的放出量。

图9是使用本发明的有机EL制造装置制造的有机EL元件A的一例。如图1所示，在输送包括基板11的被蒸镀体10的同时，从多个蒸镀单元1通过蒸镀依次在该被蒸镀体10的表面层叠薄膜层6，由此能够制造有机EL元件A。

在图9的有机EL元件A中，在基板11的表面形成有成为阳极的第1电极12，在第1电极12的表面层叠形成有有机层13、和成为阴极的第2电极14。在该状态下，有机层13从基板11侧起按照空穴输送层13a、发光层13b、电子输送层13c、中间层13d、空穴输送层13e、发光层13f、电子输送层13g的顺序进行层叠，这些各层是通过蒸镀形成的。另外，第2电极14是通过在电子输送层13g的表面蒸镀电极材料而形成的。因此，通过利用上述的有机EL制造装置，在形成于基板11的第1电极12的表面，将至少有机层13的各层以适当地成为凸形状或者凹形状的方式进行蒸镀并层叠而作为薄膜层6，由此能够制造有机EL元件A。并且，对于第2电极14，也可以将膜厚分布调整为凸形状或者凹形状。另外，在图9的方式中，发光层形成为二级结构，但也可以是一级或者三级以上。

在图9的方式中，有机层13中的空穴输送层13a、中间层13d、空穴输送层13e、发光层13f这4个层形成为凸型薄膜层6a。另外，发光层13b、电子输送层13c、电子输送层13g这3个层形成为凹型薄膜层6b。通过与构成有机层13的各层的薄膜层6的凸型及凹型对应地沿输送方向排列配置单元1a和单元1b，并依次蒸镀并层叠各薄膜层6，能够形成这样的有机层13。关于凸型薄膜层6a的层数和凹型薄膜层6b的层数，优选层数比较接近。如果凸型薄膜层6a的层数和凹型薄膜层6b的层数是相同层数、或者与相同层数相差一个或两个，则凸型的层的厚度的总值与凹型的层的厚度的总值接近，层叠体整体的膜厚分布的调整容易进行。但也可以是，如果能够调整整体的厚度，则凹型薄膜层6b是一个或者少数，或者相反，凸型薄膜层6a是一个或者少数。

可是，在有机EL元件A中，优选形成为凹型薄膜层6b的层在被层叠形成的有机层13的截面中也成为凹型的层。即，优选单元1b不仅在单独形成薄膜层6的情况下，而且在与其它层的层叠状态下，也将薄膜层6层叠为凹型的膜厚分布的层。在图9的方式中，形成为凹型薄膜层6b的发光层13b、电子输送层13c及电子输送层13g不仅在单独的层的截面(参照图8)中，而且在有机层13整体的截面中也成为凹型的膜厚分布。由此，能够使端部侧的膜厚更接近与中央部相同的厚度。另外，形成为凸型薄膜层6a的层在被层叠形成的有机层13的截面中，也可以成为凸型的层。即，也可以是，单元1a不仅在单独形成薄膜层6的情况下，而且在与其它层的层叠状态下，也将薄膜层6层叠为凸型的膜厚分布的层。

另外，在有机EL元件A中，至于构成有机层13的各个薄膜层6是凸型的还是凹型的，能够通过将该薄膜层6的侧部的厚度与中央部的厚度进行比较来判定。如图9所示，有机层13内部的薄膜层6是在截止到此被层叠形成的凸型或者凹型的面上形成的层，通常不会形成为如图8所示的平坦面。但是，薄膜层6是按照如图8所示的厚度分布而被层叠在凸型或者凹型的面上，因而通过在侧部和中央部将薄膜层6的厚度进行比较，能够判定是凸型或者凹型。即，在中央部的厚度比侧部厚的情况下，能够判定是凸型的层，相反，在中央部的厚度比侧部薄的情况下，能够判定是凹型的层。

在这样蒸镀形成的有机层13中，有机层13整体的膜厚的厚度在中央部和侧部更接近于相同的厚度。如图10所示，在过去的有机EL制造装置中，构成有机层13的各层形成为凸型的膜厚分布，因而即使是在有机层13整体中也形成为厚度在中央部变厚，并且厚度越朝向侧部就越变薄的凸形状的厚度分布。另外，在将基板中央和基板端部进行比较时，有可能产生数十纳米的膜厚差。但是，如图9所示，在利用上述的有机EL制造装置制造的有机EL元件中，适当使多个薄膜层6形成为凸型或者凹型，因而能够使有机层13的厚度在侧部和中央部更接近。因此，能够减小在将基板中央和基板端部进行比较时的膜厚差。并且，如果层叠体的厚度整体上接近均匀，则在中央部和端部的发光亮度更加接近，面内的发光也接近均匀。即，光往往利用干涉而被取出到元件外部，如果在基板中央部和基板端部膜厚接近，则干涉的程度接近，发光亮度更均匀。因此，上述的有机EL制造装置能够制造面内的发光的均匀性更高的有机EL元件。另外，在诸如以比较大的面积进行发光的发光面板等中，有机层13整体的厚度的均匀性对面内的发光的均匀性很重要，在具有面积较大的发光面的有机EL元件A中，能够提高面内的发光的均匀性。

在此，在有机EL元件A中，第2电极14也能够通过蒸镀来形成，但是有机层13的膜厚的均匀性比包括第2电极14在内的层叠体的厚度更重要。在第1电极12是透光性电极、第2电极4是反射性电极的情况下，在发光层中发出的光直接或者由第2电极14反射后，从透明的基板11被取出到外部。因此，为了使光干涉的程度接近，作为反射性电极的第2电极14与有机层13的界面、和作为透光性电极的第1电极12与有机层13的界面之间的距离成为一定距离更有利。因此，使有机层13的厚度在发光区域的面内一致很重要。但是，也可以是包括第2电极14在内的蒸镀材料整体的层叠体的厚度一致。并且，为了使距发光源的距离一致，发光层形成为更平坦的层(膜厚差较小的层)是有利的。即，如果发光层形成为极端的凸型或者凹型，则光的移动距离在基板中央部和基板端部容易大不相同，容易导致干涉的程度不同。但是，如果层的膜厚差比较小，则光的移动距离更接近，干涉性也接近，因而发光成为更均匀的发光。因此，在形成薄膜层6时，更优选调整凸型或者凹型使发光层形成为更平坦的层。

图10和图11表示有机电致发光元件制造装置(以下也称为“有机EL制造装置”)的其它实施方式的一例。该有机EL制造装置从多个蒸镀单元1通过蒸镀依次在所输送的被蒸镀体(工件)10上层叠薄膜层6(参照图8、9)来形成有机层13，由此制造有机电致发光元件(有机EL元件)。在图10中图示了从被蒸镀体10的输送方向(白色箭头)X的上游朝向下游依次配置3个蒸镀单元1的情况，但蒸镀单元1也可以是4个以上。例如，能够使用与蒸镀形成的薄膜层6的数量相同数量的蒸镀单元1。另外，蒸镀单元1需要是两个以上。

多个蒸镀单元1中的各蒸镀单元1具有：蒸镀源2，放射用于形成薄膜层6的蒸镀材料；以及筒状体3，被加热成使蒸镀材料气化的温度，朝向被蒸镀体10放出从蒸镀源2放射的蒸镀材料。筒状体3形成为具有截面呈矩形状的空洞的纵向型的筒形状，在下部与蒸镀源2连接，并且，在上部设有将气化的蒸镀材料放出到上方的开口部4。如果利用这种筒状体3朝向被蒸镀体10放出蒸镀材料，则能够在被蒸镀体10上层叠薄膜层6。并且，筒状体3被加热成蒸镀材料的气化温度以上的温度，由此能够使蒸镀材料不附着于筒状体3的内部而从开口部4放出。筒状体3能够是金属制。另外，蒸镀也可以是真空蒸镀。在图10中用黑色箭头表示蒸镀材料的放出。

筒状体3能够形成为四面具有侧壁30的大致方筒状。侧壁30由一对的第一侧壁30a和一对的第二侧壁30b构成。一对的第一侧壁30a相面对的方向是与被蒸镀体10的输送方向X平行的方向。一对的第二侧壁30b相面对的方向是与被蒸镀体10的输送方向X垂直的方向。筒状体3具有侧壁30被加热成蒸镀材料的气化温度以上的温度的热壁构造。在各第一侧壁30a形成有弯曲部31。图11所示的第一侧壁30a整体形成为弯曲部31。因此，第一侧壁30a形成为弯曲板状。第二侧壁30b形成为平板状。

如图11所示，在本方式中，开口部4形成为短边被配置成与被蒸镀体10的输送方向X平行、较长的长边被配置在与被蒸镀体10的输送方向X大致垂直的方向的形状。由此，能够在所输送的被蒸镀体10的表面以更均匀的膜厚形成薄膜层6。开口部4的短边形成在第二侧壁30b的上端缘部。开口部4的长边形成在第一侧壁30a的上端缘部。在本方式中，开口部4整体形成为用于放出蒸镀材料的放出区域H。本方式的放出区域H是与图2所示的实施方式的放出区域H相同的形状。开口部4的一对长边相面对的中央部之间的尺寸形成为比开口部4的短边的尺寸短。

另外，各蒸镀单元1具有调整来自筒状体3的蒸镀材料的放出量分布的放出量调整构造50。即，各蒸镀单元1具有上述第一侧壁30a作为放出量调整构造50。该第一侧壁30a通过使筒状体3的开口部4的俯视形状从矩形状变形，来调整来自筒状体3的蒸镀材料的放出量分布。

在该蒸镀单元1中，通过使筒状体3的开口部4的长边弯曲，使开口部4的一对长边相面对的中央部之间的尺寸形成为比开口部4的短边的尺寸短。因此，筒状体3的放出区域H的俯视形状能够根据第一侧壁30a的形状等进行变形，由此能够调整来自放出区域H的蒸镀材料的放出量分布。即，在蒸镀单元1中，第一侧壁30a通过弯曲部31而弯曲，由此能够容易调整蒸镀材料的放出分布，并调整蒸镀量的分布。即，在采用矩形状的开口部4整体开口的蒸镀单元1的情况下，在与被蒸镀体10的输送方向垂直的方向(宽度方向)的中央部分放出较多的蒸镀材料，在宽度方向的侧部放出较少的蒸镀材料。由此，薄膜层6形成为膜厚分布极端凸出的凸形状，成为薄膜层6的中央部大幅凸出的层。因此，为了使薄膜层6的中央部与侧部的蒸镀量更加接近，通过改变开口部4的俯视形状，能够容易调整薄膜层6的膜厚的分布，能够使薄膜层6的中央部与侧部的蒸镀量接近。

在本方式中，在各蒸镀单元1中，成为一对的两个第一侧壁30a沿着与被蒸镀体10的输送方向X平行的方向配置。即，在被蒸镀体10的输送方向X的上游侧配置上游侧的第一侧壁30a，在被蒸镀体10的输送方向X的下游侧配置下游侧的第一侧壁30a。在上游侧的第一侧壁30a形成有从输送方向X的上游侧朝向下游侧凸出弯曲的弯曲部31。即，上游侧的第一侧壁30a以使其宽度方向(与输送方向X垂直的方向)的中央部相比宽度方向的端部从输送方向X的上游侧朝向下游侧凸出的方式弯曲。并且，在下游侧的第一侧壁30a形成有从输送方向X的下游侧朝向上游侧凸出弯曲的弯曲部31。即，下游侧的第一侧壁30a以使其宽度方向(与输送方向X垂直的方向)的中央部相比宽度方向的端部从输送方向X的下游侧朝向上游侧凸出的方式弯曲。通过设置这样的开口部4，能够使对被蒸镀体10的蒸镀量在中央部和侧部接近于更接近的值。

有机EL制造装置具有输送被蒸镀体10的输送单元20。输送单元20由输送带等合适的输送机构构成，由此被蒸镀体10能够沿着生产线从输送方向X的上游侧到下游侧依次通过各蒸镀单元1的上方。输送单元20能够采用这样的结构：利用支撑部件支撑被蒸镀体10的宽度方向的端部，并以被蒸镀体10的下部表面露出于外部的方式与支撑部件一起输送。通过使被蒸镀体10的下部表面露出，能够在该表面蒸镀从筒状体3放出的蒸镀材料来形成薄膜层6。被蒸镀体10至少包括基板11，例如能够采用在表面形成有第1电极12的基板11。并且，也能够采用在表面形成有第1电极12和有机层13的一部分的层的基板11。另外，以第1电极12位于下方的方式将基板11设置在适当的支撑部件上，由此能够构成被蒸镀体10。另外，也可以是，利用在宽度方向的各端部配置的辊和传送带等输送带构成输送单元20，将基板11的宽度方向的端部放置在输送带上进行输送。在进行蒸镀时，也可以在被蒸镀体10的下部表面上叠放掩膜。由此，能够不蒸镀在被蒸镀体10的外周部，或者能够按照适当的图案层叠薄膜层6。

在有机EL制造装置中，利用调整了来自开口部4的蒸镀材料的放出量分布的蒸镀单元1依次形成薄膜层6，但即使是调整了来自开口部4的蒸镀材料的放出量分布，对于单独的各薄膜层6，难以从宽度方向的中央部一直到侧部以固定的厚度层叠蒸镀材料。使构成有机层3的所有薄膜层6的宽度方向的厚度一致为一定值尤其困难。因此，在本方式中，在多个蒸镀单元1中，改变来自开口部4的蒸镀材料的放出量分布来调整放出量的分布，使层叠体整体的厚度更加接近一定值。另外，在开口部4的俯视形状相对于矩形形状而变形的比例较小的情况下，通常薄膜层6形成为凸型的膜厚分布，因而制造出如图16所示的有机EL制造元件A。

在本方式中，多个蒸镀单元1具有：凸型分布蒸镀单元1a(以下简称为“单元1a”)，通过调整来自开口部4的蒸镀材料的放出量分布，使薄膜层6的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元1b(以下简称为“单元1b”)，通过调整来自开口部4的蒸镀材料的放出量分布，使薄膜层6的膜厚分布成为凹形状。即，多个蒸镀单元1中的一部分是单元1a，剩余中的全部或者一部分是单元1b。由此，层叠具有凸形状的膜厚分布的薄膜层6(凸型薄膜层6a)和具有凹形状的膜厚分布的薄膜层(凹型薄膜层6b)，因而能够使被蒸镀形成的层叠体整体的厚度的分布接近一定值。并且，如果作为层叠体的有机层13的中央部的厚度和侧部的厚度接近一定值，则中央部和侧部的发光亮度更接近大致相同的亮度。即，光往往利用干涉而被取出到元件外部，如果在有机层13的中央部和侧部膜厚大致相同，则干涉的程度大致相同，发光亮度在表面整体上接近一定值。因此，能够制造面内的发光更均匀的有机EL元件。另外，在多个蒸镀单元1中，除单元1a和单元1b外，还可以包含膜厚分布平坦的平坦分布蒸镀单元。并且，高温蒸镀单元也可以配置在单元1a和单元1b排列的列之间。高温蒸镀单元是以比单元1a和单元1b那样基于热壁的蒸镀高的蒸镀温度进行蒸镀的单元。在金属等蒸镀温度是高温的情况下，将不能实现热壁的蒸镀，因而高温蒸镀单元比较适合。例如，阴极使用的Al等金属、和有机层13内的金属含有层(Mg、ITO、MoO₃、Li₂MoO₃等)的蒸镀能够使用高温蒸镀单元。利用高温蒸镀单元形成的薄膜层6可以是宽度方向的厚度分布均匀的层，或者也可以是凸型或者凹型的层。

图8表示薄膜层6的一例。图8A是利用单元1a形成的凸型薄膜层6a的一例。在凸型薄膜层6a中，随着从两侧部接近中央部，厚度逐渐变厚，中央部在厚度方向上凸出。这样，单元1a是当在平坦的表面形成薄膜层6时形成表示凸型的膜厚分布的层的单元。另外，图8B是利用单元1b形成的凹型薄膜层6b的一例。在凹型薄膜层6b中，随着从两侧部接近中央部，厚度逐渐变薄，中央部在厚度方向上凹陷。这样，单元1b是当在平坦的表面形成薄膜层6时形成表示凹型的膜厚分布的层的单元。

其中，单元1b只要是以如下的膜厚分布形成薄膜层6的装置即可，在该膜厚分布中具有厚度随着从侧部接近中央部而减小并凹陷的部分。在基于蒸镀单元1的蒸镀中，在开口部4的端缘部，蒸镀量有时减少，在这种情况下，如图8C所示，薄膜层6的厚度有时在侧端部变薄，但这种薄膜层6也在中央部具有凹部，因而成为凹型薄膜层6b。并且，在进行层叠的面积增大时，通过利用开口部4的形状调整放出量分布而得到的在中央部分的遮挡效果减小，在这种情况下，如图8D所示，薄膜层6的厚度有时在中央部变厚，但这种薄膜层6也在中央部附近具有凹部，因而成为凹型薄膜层6b。但是，在图8D的情况下，优选在中央部凸出的部分的厚度比在侧部的凸出的部分的厚度薄。

为了形成凸型薄膜层6a和凹型薄膜层6b，优选单元1a中的开口部4的形状与单元1b中的开口部4的形状不同。由此，能够容易使薄膜层6形成为凸型或者凹型。例如，使单元1b中的开口部4的面积小于单元1a中的开口部4的开口面积，在开口部4的中央部中，蒸镀材料的放出相比侧部，蒸镀量减少。这样，能够按照凹型的膜厚分布来层叠蒸镀材料，并形成凹型薄膜层6b。

在图11的方式中，利用筒状体3的开口部4的俯视形状，能够容易使薄膜层6的膜厚分布成为凸型或者凹型。在该方式中，多个蒸镀单元1中的筒状体3的第一侧壁30a通过弯曲部31，使构成开口部4的开口缘部的长边成为圆弧状，并沿着与输送方向平行的方向凸出。通过使构成开口部4的开口缘部的第一侧壁30a的长边形成为圆弧状，能够使膜厚分布从薄膜层6的侧部一直到中央部平滑地变化。在图11的开口部4的俯视形状中，形成为圆弧状的第一侧壁30a的长边成为在被配置于开口部4的宽度方向上的角部4a、4a通过且弯曲的曲线。该曲线可以是圆的一部分，也可以是椭圆的一部分。通过采用这种长边为圆弧状的第一侧壁30a，能够容易按照每个蒸镀单元1改变来自开口部4的蒸镀材料的放出分布，能够控制蒸镀材料的放出量分布。

另外，在图11的方式中，通过使在输送方向上相面对的第一侧壁30a、30a之间的最短部位的长度(面对的弯曲部31、31的中央部之间的长度)L4、以及各第一侧壁30a中的与输送方向垂直的方向的长度(弯曲部31的基部之间的长度)L2中至少一方根据多个蒸镀单元1而不同，能够改变开口部4的俯视形状。当然，也可以使长度L4和L2双方不同。另外，在第一侧壁30a整体弯曲的情况下，长度L2是角部4a、4a之间的尺寸。

根据图12说明基于开口部4的俯视形状的放出量分布的变化。如图11和图12A所示，例如通过使在输送方向上相面对的第一侧壁30a、30a之间的最短部位的长度L4在单元1a和单元1b之间不同，能够改变开口部4的俯视形状。另外，在这种情况下，能够容易使开口部4的放出量分布和放出量面积不同。即，使单元1b中的长度L4比单元1a中的长度L4短。此时，图13的方式表示单元1b的开口部4，图12A的方式表示单元1a的开口部4。在图12A的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向的开口长度比图11的方式长。并且，在开口部4的中央部放出更多的蒸镀材料，并形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。另一方面，在图11的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向的开口长度比图12A的方式短，因而在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。这样，通过改变开口部4的输送方向的长度L4，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。

另外，如图11和图12B所示，通过使第一侧壁30a的弯曲部31的与输送方向垂直的方向(宽度方向)的长度(弯曲部31的基部之间的长度)L2在单元1a和单元1b之间不同，也能够改变开口部4的俯视形状。并且，在这种情况下，能够容易使开口部4的放出量分布和放出量面积不同。即，使单元1b中的长度L2比单元1a中的长度L2短。此时，图11的方式表示单元1a的开口部4，图12B的方式表示单元1b的开口部4。在图12B的方式中，在开口部4的宽度方向的侧部，开口面积大于图11的方式。并且，在开口部4的侧部放出更多的蒸镀材料，并形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8(b)等所示的凹形状的膜厚分布。另一方面，在图11的方式中，开口部4的宽度方向的侧部的开口面积小于图12B的方式，因而在开口部4的侧部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。这样，通过改变第一侧壁30a的弯曲部31的宽度方向的长度L2，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。另外，在图12B的方式中，第一侧壁30a的弯曲部31的基部配置在角部4a的内侧。

另外，在图11的方式中，第一侧壁30a的弯曲部31形成为其长边是切出圆形的一部分而形成的圆弧状，并沿着与输送方向平行的方向凸出，从而形成开口部4的开口缘部。在这种情况下，也可以使图13所示的由弯曲部31描画出的圆形的半径R根据每个蒸镀单元1而不同。即，使单元1a中的基于弯曲部31的圆形的半径R与单元1b中的基于弯曲部31的圆形的半径不同。由此，能够改变开口部4的俯视形状。并且，在这种情况下，能够容易使开口部4的放出量分布和放出面积不同。例如，使单元1b中的基于弯曲部31的圆形的半径R小于单元1a中的基于弯曲部31的圆形的半径R。这样，在单元1a中，圆的外缘与中心之间的距离变短，外缘所描画出的曲率半径(R)进一步减小，形成为弯曲部31更凸出的形状，因而在开口部4的宽度方向的中央部，开口比例小于单元1a。并且，在凹型分布蒸镀单元1b中，在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。另一方面，在单元1a中，遮挡区域的凸出较小，因此在开口部4的中央部，开口比例大于单元1b的开口比例，因而在开口部4的中央部蒸镀材料的放出量增多。因此，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。这样，通过改变第一侧壁30a的弯曲部31的半径R，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。另外，在改变半径R时，例如能够使上述圆形通过开口部4的角部4a、4a。

另外，在第一侧壁30a的长边(弯曲部31的缘部)是切出椭圆形的一部分而形成的边的情况下，通过按照与上述圆的半径R的情况相同的要领改变椭圆的短轴的长度(短径)或者长轴的长度(长径)，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。并且，通过改变椭圆的长轴与短轴的长度比，也能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。

图14是第一侧壁30a的另一例。在该方式中，第一侧壁30a形成为其中央部相比两侧部(角部4a)沿与输送方向X平行的方向凸出。即，假定第一侧壁30a与连接其两端的角部4a、4a彼此的假想直线的俯视形状为梯形状。通过使开口部4的俯视形状形成为在输送方向X的中央部的长度(尺寸)L4比侧部的长度狭窄，能够形成这样的薄膜层6：在侧部越接近中央部就越减少蒸镀材料的放出量，并且在中央部蒸镀材料的放出量不会变得过少。图14所示的第一侧壁30a整体形成为凸出部32。凸出部32形成为具有其中央的平面部32a和平面部32a的两侧端部的倾斜部32b。

另外，与图11的方式相同地，在各蒸镀单元1中，成为一对的两个第一侧壁30a沿着与被蒸镀体10的输送方向X平行的方向配置。即，在被蒸镀体10的输送方向X的上游侧配置上游侧的第一侧壁30a，在被蒸镀体10的输送方向X的下游侧配置下游侧的第一侧壁30a。上游侧的第一侧壁30a形成为其凸出部32从输送方向X的上游侧朝向下游侧凸出。即，上游侧的第一侧壁30a形成为其宽度方向(与输送方向X垂直的方向)的中央部相比宽度方向的端部从输送方向X的上游侧朝向下游侧凸出。并且，下游侧的第一侧壁30a形成为其凸出部32从输送方向X的下游侧朝向上游侧凸出。即，下游侧的第一侧壁30a形成为其宽度方向(与输送方向X垂直的方向)的中央部相比宽度方向的端部从输送方向X的下游侧朝向上游侧凸出。通过设置这样的开口部4，能够使对被蒸镀体10的蒸镀量在中央部和侧部接近于更接近的值。

在图14的开口部4的俯视形状中，开口部4的宽度方向的两端部与角部4a、4a的位置相同。通过采用这样的开口部4，能够容易按照每个蒸镀单元1改变开口部4的放出量分布和放出面积，能够控制蒸镀材料的放出量分布。

在图14的方式中，通过使单元1a中的开口部4的面积、与单元1b中的开口部4的面积不同，能够将薄膜层6的膜厚分布调整为凸型或者凹型。并且，即使是开口部4的面积相同，如果以使中央部的放出量分布的比例变化的方式改变开口部4的形状，则也能够将薄膜层6的膜厚分布调整为凸型或者凹型。即，在开口部4的中央部，如果使相面对的第一侧壁30a、30a的间隔的长度(相面对的凸出部32、32的平面部32a、32a之间的长度)L4变窄，则能够容易减少中央部附近的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凹型。

具体地讲，通过使在输送方向上相面对的第一侧壁30a、30a之间最短的部位的长度L4、以及各第一侧壁30a的凸出部32的基部之间(倾斜部32b、32b的端部之间)在与输送方向垂直的方向上的长度L2中至少一方根据多个蒸镀单元1而不同，能够改变开口部4的俯视形状。当然，也可以使长度L4和L2双方不同。

根据图15说明基于放出量调整构造50的放出量分布的变化。如图14和图15A所示，例如通过使输送方向X的开口部4的中央部的长度L4在单元1a和单元1b之间不同，能够改变开口部4的俯视形状。并且，在这种情况下，能够容易使来自开口部4的放出量分布和放出面积不同。即，使单元1b中的开口部4的中央部的长度L4、比单元1a中的开口部4的中央部的长度L4短。此时，图14的方式表示单元1b的开口部4，图15A的方式表示单元1a的开口部4。在图15A的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向上的长度L4比图14的方式长。并且，在开口部4的中央部，放出更多的蒸镀材料，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。另一方面，在图14的方式中，开口部4的宽度方向的中央部在输送方向上的长度L4比图15A的方式短，因而在开口部4的中央部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。这样，通过改变开口部4的输送方向的长度L4，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。

另外，如图14和图15B所示，通过使开口部4的与输送方向垂直的方向(宽度方向)的长度L2在单元1a和单元1b之间不同，也能够改变开口部4的俯视形状。并且，在这种情况下，能够容易使来自开口部4的放出量分布和放出面积不同。即，使单元1b中的第一侧壁30a的凸出部分的基部侧的宽度方向的长度L2、比单元1a中的第一侧壁30a的凸出部分的基部侧的宽度方向的长度L2短。此时，图14的方式表示单元1a的开口部4，图15B的方式表示单元1b的开口部4。在图15B的方式中，在开口部4的宽度方向的侧部，开口面积大于图14的方式。并且，在开口部4的侧部，放出更多的蒸镀材料，形成较厚的薄膜层6，能够形成如图8B等所示的凹形状的膜厚分布。另一方面，在图14的方式中，开口部4的宽度方向的侧部的开口面积比图15B的方式小，因而在开口部4的侧部，蒸镀材料的放出量减少，形成较薄的薄膜层6，能够形成如图8A所示的凸形状的膜厚分布。这样，通过改变第一侧壁30a的凸出部分的宽度方向的长度L2，能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。另外，在图15B的方式中，第一侧壁30a的凸出部32的基部之间的长度L2比开口部4的宽度方向的长度短，被配置在角部4a的内侧。

另外，通过按照与上述的基部侧的长度L2的情况相同的要领改变图15B所示的第一侧壁30a的凸出部32的平面部32a的宽度方向的长度L3，也能够将薄膜层6的膜厚分布分开形成为凸形状和凹形状。即，如果进一步延长长度L3，则宽度方向的中央部的蒸镀材料的放出量减少，因而能够使薄膜层6的膜厚分布接近凹形。

另外，在图14的方式中，优选单元1b中的在开口部4的中央部的放出比例、比单元1a中的在开口部4的中央部的放出比例小。在该方式中，如果增减在开口部4的中央部的放出比例，则能够容易控制中央部附近的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凸型或者凹型。

另外，在图14的方式中，优选单元1b中的开口部4的放出区域H的面积、比单元1a中的开口部4的放出区域H的面积小。在该方式中，如果减小开口部4的放出区域H的面积，则能够容易减少中央部附近的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凹型。例如，如果将开口部4的宽度方向的角部4a、4a的线段固定，并减小相面对的第一侧壁30a、30a的凸出部32、32之间的长度L4，则能够减小放出区域H，减少中央部附近的放出量，使膜厚分布成为凹型。

另外，在图14的方式中，优选单元1b中的开口部4的放出区域H的面积、比单元1a中的开口部4的放出区域H的面积大。在该方式中，如果增加开口部4的放出区域H的面积，则能够容易增加侧部的蒸镀材料的放出量，能够使膜厚分布成为凹型。例如，如果将相面对的第一侧壁30a、30a之间的长度L4固定，并缩短开口部4的宽度方向的长度L2，则能够增加开口部4的放出区域H的面积，增加侧部的放出量，使膜厚分布成为凹型。

在上述的各方式中，优选开口部4的放出区域H在沿宽度方向将开口部4二等分的线上成为线对称。由此，从宽度方向的侧部一直到中央部的放出量分布在宽度方向上左右对称，容易进行层叠体整体的膜厚的调整。并且，优选开口部4的放出区域H在沿输送方向X将开口部4二等分的线上成为线对称。由此，能够抑制膜厚在输送方向上产生偏差。为了得到线对称的放出区域H，例如在图11和图14的方式中，能够使第一侧壁30a成为相同形状。

另外，优选多个蒸镀单元1中的第一侧壁30a的形状具有可变性。通过使第一侧壁30a的形状具有可变性，能够容易增减开口部4的面积，并容易改变开口部4的输送方向的长度L4和宽度方向的长度L2，使容易调节蒸镀材料的放出量分布。

图9是使用图10～15所示的本发明的有机EL制造装置制造的有机EL元件A的一例。与上述的情况相同地，如图10所示，在输送包括基板11的被蒸镀体10的同时，从多个蒸镀单元1通过蒸镀依次在该被蒸镀体10的表面层叠薄膜层6，由此能够制造有机EL元件A。

图10～15所示的实施方式的有机电致发光元件制造装置是具有以下特征的装置。

有机电致发光元件制造装置从多个蒸镀单元通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上依次层叠薄膜层来形成有机层。并且，所述多个蒸镀单元中的各蒸镀单元具有：蒸镀源，放射用于形成所述薄膜层的蒸镀材料；以及筒状体，被加热成使所述蒸镀材料气化的温度，朝向被蒸镀体放出从所述蒸镀源放射的所述蒸镀材料。并且，该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部，该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布。并且，所述多个蒸镀单元具有：凸型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凹形状。并且，所述放出量调整构造由所述筒状体的侧壁形成，该侧壁通过使所述开口部的俯视形状变形，调整来自所述开口部的所述蒸镀材料的放出量分布。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述凸型分布蒸镀单元的所述开口部的放出区域的面积和所述凹型分布蒸镀单元的所述开口部的放出区域的面积不同。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，由此使所述开口部的俯视形状变形。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁呈圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而形成所述开口部的开口缘部。并且，优选所述凹型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的所述输送方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的所述输送方向的长度短。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁呈圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而形成所述开口部的开口缘部。并且，优选所述凹型分布蒸镀单元中的开口部的放出区域的与所述输送方向垂直的方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的与所述输送方向垂直的方向的长度长。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁是切出圆形的一部分而成为圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而形成所述开口部的开口缘部。并且，优选所述凹型分布蒸镀单元中的所述侧壁的所述圆形的半径、比所述凸型分布蒸镀单元中的所述侧壁的所述圆形的半径小。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁具有凸出部，凸出部沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而形成所述开口部的开口缘部。并且，优选所述凹型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的所述输送方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的所述输送方向的长度短。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁具有凸出部，凸出部沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而形成所述开口部的开口缘部。并且，优选所述凹型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的与输送方向垂直的方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的与所述输送方向垂直的方向的长度长。

在上述的有机电致发光元件制造装置中，优选所述侧壁具有凸出部，凸出部沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而形成所述开口部的开口缘部。并且，优选所述凹型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的放出比例、比所述凸型分布蒸镀单元中的所述开口部的放出区域的放出比例小。

实施例

(实施例1)

使用如图1所示的具有多个蒸镀单元1的有机EL制造装置，在生产线中层叠有机层13，制造了有机EL元件A。关于各蒸镀单元1中的放出量调整板5，采用如图2所示的局部圆盘状的放出量调整板，该放出量调整板的外缘呈圆弧状，并沿着与输送方向平行的方向凸出，由此从输送方向的上游及下游这两侧遮挡开口部4。开口部4的输送方向的长度约为100mm、宽度方向的长度为300mm。

首先，在透明基板11的表面形成ITO作为第1电极12(阳极)。以第1电极12在下侧的方式配置该透明基板11，并作为被蒸镀体10通过输送装置20进行输送。

然后，在第1电极12的表面上，从各蒸镀单元1向上方放出蒸镀材料，由此将构成有机层13的各层依次层叠而形成了有机层13。在本实施例中，有机层13是由第1空穴注入层、第1空穴输送层、第1发光层、第2发光层、第1电子输送层、电子注入层、第1中间层、第2中间层、第2空穴注入层、第2空穴输送层、第3发光层、及第2电子输送层构成的层(各薄膜层6)。

在此，使用4,4’-双[N-(萘基)-N-苯基-氨基]联苯(α-NPD)和氧化钼(MoO₃)的共蒸镀体，成膜了30nm厚的第1空穴注入层。使用α-NPD成膜了40nm厚的第1空穴输送层。使用在Alq₃中共蒸镀了7质量％的红荧烯(rubrene)得到的层，成膜了20nm厚的第1发光层。使用在4,4’-双(2,2’-二苯基-乙烯-1-基)-二苯基(BPVBI)中共蒸镀了10质量％的双[(4,6-二氟苯基)-吡啶-N,C2’]吡啶甲酰合铱(III)(Flrpic)得到的层，成膜了20nm厚的第2发光层。

另外，利用单元1a形成了第1空穴注入层、空穴输送层、第1发光层、第2发光层的各个层。

另外，使用Alq₃成膜了30nm厚的第1电子输送层。并且，第1电子输送层是利用单元1b形成的。

另外，成膜了3nm厚的Li₂MoO₄作为电子注入层。并且，电子注入层是利用高温蒸镀单元进行蒸镀形成的。

另外，使用Mg成膜了1nm厚的第1中间层。使用ITO成膜了3nm厚的第2中间层。使用作为空穴注入性的金属氧化物的MoO₃，成膜了1nm厚的第2空穴注入层。并且，使用高温蒸镀单元进行蒸镀形成了第1中间层、第2中间层、第2空穴注入层的各个层。

另外，使用α-NPD成膜了40nm厚的第2空穴输送层。并且，第2空穴输送层是利用单元1a形成的。

另外，在BPVBI中共蒸镀3质量％的4-(二氰亚甲基)-2-甲基-6-(久洛尼定-4-基-乙烯基)-四氢吡喃(DCM2)(4-(Dicyanomethylene)-2-methyl-6-(julolidin-4-yl-vinyl)-4H-pyran(DCM2))，将得到的层成膜20nm厚作为第3发光层。使用Alq₃成膜了30nm厚的第2电子输送层。

另外，第3发光层、第2电子输送层是利用单元1b形成的。

在本实施例中，单元1a是使用切出了半径900mm(直径1800mm)的圆形后的形状的两个放出量调整板5，利用各放出量调整板5以宽度方向的长度300mm、输送方向的长度约12.59mm来遮挡开口部4。

另外，单元1b是使用切出了半径750mm(直径1500mm)的圆形后的形状的两个放出量调整板5，利用各放出量调整板5以宽度方向的长度300mm、输送方向的长度约15.15mm来遮挡开口部4。

另外，使用铝成膜了100nm厚的第2电极14(阴极)。阴极的形成是采用了高温蒸镀单元。在本实施例中使用的高温蒸镀单元是以比单元1a及单元1b高的温度进行蒸镀的蒸镀单元。

另外，关于空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层、中间层、阴极的材料，即使是利用其它的材料形成时，也能够制造同样的有机EL元件。并且，也可以不层叠中间层。

通过以上步骤能够得到有机EL元件A。在该有机EL元件A中，在有机层13的截面中，至少第1电子输送层、第3发光层及第2电子输送层的膜厚分布形成为凹型。

在这样得到的有机EL元件A中，有机层13的面内膜厚分布平均达到±3％以下。即，相对于平均膜厚，膜厚的误差为3％以下，设平均膜厚为100％时的膜厚能够收敛在最小值97％以上、最大值103％以下的范围内。在此，在利用过去的方法制造的有机EL元件A中，有机层13的面内膜厚分布约为±5％～±10％。即，相对于平均膜厚，膜厚的误差达到5％以上，且难以小于该值，膜厚误差有时达到10％左右。但是，在本实施例的有机EL元件A中，有机层13的面内膜厚分布被平均化，膜厚误差减小。因此，能够得到面内的膜厚的均匀性良好、面内的发光更均匀的有机EL元件A。

并且，本实施例的有机EL元件A是面内的发光的均匀性良好的元件，因而能够用作自发光型显示装置或照明装置，尤其能够用作面发光的照明面板。

(实施例2)

使用如图10所示的具有多个蒸镀单元1的有机EL制造装置，在生产线中层叠有机层13，制造了有机EL元件A。在各蒸镀单元1中，如图11所示，从输送方向的上游及下游这两侧，第一侧壁30a呈圆弧状并沿着与输送方向平行的方向凸出，由此形成了开口部4。开口部4的输送方向的长度约为100mm、宽度方向的长度约为300mm。

首先，在透明基板11的表面形成ITO作为第1电极12(阳极)。以第1电极12在下侧的方式配置该透明基板11，并作为被蒸镀体10通过输送装置20进行输送。

然后，在第1电极12的表面上，从各蒸镀单元1向上方放出蒸镀材料，由此将构成有机层13的各层依次层叠而形成了有机层13。在本实施例中，有机层13是由第1空穴注入层、第1空穴输送层、第1发光层、第2发光层、第1电子输送层、电子注入层、第1中间层、第2中间层、第2空穴注入层、第2空穴输送层、第3发光层、及第2电子输送层构成的层(各薄膜层6)。

在此，使用4,4’-双[N-(萘基)-N-苯基-氨基]联苯(α-NPD)和氧化钼(MoO₃)的共蒸镀体，成膜了30nm厚的第1空穴注入层。使用α-NPD成膜了40nm厚的第1空穴输送层。使用在Alq₃中共蒸镀了7质量％的红荧烯(rubrene)得到的层，成膜了20nm厚的第1发光层。使用在4,4’-双(2,2’-二苯基-乙烯-1-基)-二苯基(BPVBI)中共蒸镀了10质量％的双[(4,6-二氟苯基)-吡啶-N,C2’]吡啶甲酰合铱(III)(Flrpic)得到的层，成膜了20nm厚的第2发光层。

另外，利用凸型分布蒸镀单元1a形成了第1空穴注入层、空穴输送层、第1发光层、第2发光层的各个层。

另外，使用Alq₃成膜了30nm厚的第1电子输送层。并且，第1电子输送层是利用凹型分布蒸镀单元1b形成的。

另外，成膜了3nm厚的Li₂MoO₄作为电子注入层。并且，电子注入层是利用高温蒸镀单元进行蒸镀形成的。

另外，使用Mg成膜了1nm厚的第1中间层。使用ITO成膜了3nm厚的第2中间层。使用作为空穴注入性的金属氧化物的MoO₃，成膜了1nm厚的第2空穴注入层。并且，利用高温蒸镀单元进行蒸镀形成了第1中间层、第2中间层、第2空穴注入层的各个层。

另外，使用α-NPD成膜了40nm厚的第2空穴输送层。并且，第2空穴输送层是利用凸型分布蒸镀单元1a形成的。

另外，在BPVBI中共蒸镀3质量％的4-(二氰亚甲基)-2-甲基-6-(久洛尼定-4-基-乙烯基)-四氢吡喃(DCM2)(4-(Dicyanomethylene)-2-methyl-6-(julolidin-4-yl-vinyl)-4H-pyran(DCM2))，将得到的层成膜20nm厚作为第3发光层。使用Alq₃成膜了30nm厚的第2电子输送层。

另外，第3发光层、第2电子输送层是利用凹型分布蒸镀单元1b形成的。

在本实施例中，单元1a是使用切出了半径900mm(直径1800mm)的圆形的圆弧后的形状的两个第一侧壁30a，以宽度方向的长度L2为300mm、输送方向的长度L4约为87.41mm形成了开口部4的放出区域H。

另外，单元1b是使用切出了半径750mm(直径1500mm)的圆形的圆弧后的形状的两个第一侧壁30a，以宽度方向的长度300mm、输送方向的长度约84.85mm形成了开口部4的放出区域H。

另外，使用铝成膜了100nm厚的第2电极14(阴极)。阴极的形成是采用了高温蒸镀单元。在本实施例中使用的高温蒸镀单元是以比单元1a及单元1b高的温度进行蒸镀的蒸镀单元。

另外，关于空穴注入层、空穴输送层、发光层、电子输送层、电子注入层、中间层、阴极的材料，即使是利用其它的材料形成，也能够制造同样的有机EL元件。并且，也可以不层叠中间层。

通过以上步骤能够得到有机EL元件A。在该有机EL元件A中，在有机层13的截面中，至少第1电子输送层、第3发光层及第2电子输送层的膜厚分布形成为凹型。

在这样得到的有机EL元件A中，有机层13的面内膜厚分布平均达到±3％以下。即，相对于平均膜厚，膜厚的误差为3％以下，设平均膜厚为100％时的膜厚能够收敛在最小值97％以上、最大值103％以下的范围内。在此，在利用过去的方法制造的有机EL元件A中，有机层13的面内膜厚分布约为±5％～±10％。即，相对于平均膜厚，膜厚的误差达到5％以上，且难以小于该值，膜厚误差有时达到10％左右。但是，在本实施例的有机EL元件A中，有机层13的面内膜厚分布被平均化，膜厚误差减小。因此，能够得到面内的膜厚的均匀性良好、面内的发光更均匀的有机EL元件A。

并且，本实施例的有机EL元件A是面内的发光的均匀性良好的元件，因而能够用作自发光型显示装置或照明装置，尤其能够用作面发光的照明面板。

标号说明

A有机电致发光元件；1蒸镀单元；1a凸型分布蒸镀单元；1b凹型分布蒸镀单元；2蒸镀源；3筒状体；4开口部；5放出量调整板；6薄膜层；6a凸型薄膜层；6b凹型薄膜层；10被蒸镀体；11基板；12第1电极；13有机层；14第2电极；30侧壁。

Claims (13)

1.一种有机电致发光元件制造装置，从多个蒸镀单元通过蒸镀在所输送的被蒸镀体上依次层叠薄膜层来形成有机层，其特征在于，

所述多个蒸镀单元中的各蒸镀单元具有：蒸镀源，放射用于形成所述薄膜层的蒸镀材料；以及筒状体，被加热成使所述蒸镀材料气化的温度，朝向被蒸镀体放出从所述蒸镀源放射的所述蒸镀材料，该筒状体具有放出所述蒸镀材料的开口部，该开口部形成为能够根据放出量调整构造来调整所述蒸镀材料的放出量分布，

所述多个蒸镀单元具有：凸型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凸形状；凹型分布蒸镀单元，使通过所述放出量调整构造被调整后的所述薄膜层的膜厚分布成为凹形状。

2.根据权利要求1所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整构造具有放出量调整板，该放出量调整板被加热成使所述蒸镀材料气化的温度，用于部分地遮挡所述开口部以调整来自所述开口部的所述蒸镀材料的放出量分布。

3.根据权利要求2所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述凸型分布蒸镀单元的所述放出量调整板的遮挡面积和所述凹型分布蒸镀单元的所述放出量调整板的遮挡面积不同。

4.根据权利要求2或3所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整板的外缘呈圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，

使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度长。

5.根据权利要求2～4中任意一项所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整板的外缘呈圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，

使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度短。

6.根据权利要求2～5中任意一项所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整板是切出圆形的一部分从而外缘成为圆弧状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，

使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的所述圆形的半径、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的所述圆形的半径小。

7.根据权利要求2或3所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整板呈梯形状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，

使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的所述输送方向的长度长。

8.根据权利要求2、3、7中任意一项所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整板呈梯形状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，

使所述凹型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度、比所述凸型分布蒸镀单元的基于所述放出量调整板的遮挡区域的与所述输送方向垂直的方向的长度短。

9.根据权利要求2、3、7、8中任意一项所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整板呈梯形状，并沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，从而部分地遮挡所述开口部，

使所述凹型分布蒸镀单元的所述放出量调整板在所述开口部的中央部的遮挡比例、大于所述凸型分布蒸镀单元的所述放出量调整板在所述开口部的中央部的遮挡比例。

10.根据权利要求1所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述放出量调整构造由所述筒状部的侧壁形成，该侧壁通过使所述开口部的俯视形状变形，调整来自所述开口部的所述蒸镀材料的放出量分布。

11.根据权利要求10所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述侧壁通过沿着与所述被蒸镀体的输送方向平行的方向凸出，使所述开口部的俯视形状变形。

12.根据权利要求1～11中任意一项所述的有机电致发光元件制造装置，其特征在于，

所述多个蒸镀单元的所述放出量调整构造的形状具有可变性。

13.一种有机电致发光元件的制造方法，其特征在于，

使用权利要求1～12中任意一项所述的有机电致发光元件制造装置制造有机电致发光元件。