CN104009730B - 振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备 - Google Patents

Abstract

振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备。石英振动片具有：基部；前端施重部；振动臂部，其从所述基部沿第1方向延伸，该振动臂部的沿着与所述第1方向交叉的第2方向的宽度小于所述前端施重部的沿着所述第2方向的宽度，并且，在平面图中配置在所述前端施重部与所述基部之间；中间施重部，其在平面图中配置在所述前端施重部与所述振动臂部之间，该中间施重部的沿着所述第2方向的宽度小于所述前端施重部的沿着所述第2方向的宽度且大于所述振动臂部的沿着所述第2方向的宽度；以及第1扩宽部，其在平面图中配置在所述振动臂部与所述中间施重部之间，沿着所述第2方向的宽度从所述振动臂部向所述中间施重部扩大的比例与所述中间施重部不同。

Description

振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备

本申请是申请日为2011年3月16日、申请号为201110063782.X、发明名称为“振动片、振子、振荡器以及电子设备”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及振动片、具有振动片的振子和振荡器、以及具有振荡器的电子设备。

背景技术

以往公开了如下振动片：在振动片的振动臂部的前端部形成具有与振动臂部的臂宽相比急剧增大(粗)的臂宽的施重部，实现了振动臂部的振动以及振动片频率的稳定化(例如，参照专利文献1以及2)。另外，还公开了形成有具有从振动臂部的前端部起逐渐扩大的臂宽的施重部的振动片(例如，参照专利文献3)。

【专利文献1】日本特开2005-5896号公报(5页～7页，图1～5)

【专利文献2】日本特开2009-27711号公报(5页～6页，图1)

【专利文献3】日本特开2006-311090号公报(6页～7页，图3)

但是，在现有的振动片中，存在施重部难以跟随于振动臂部的振动(振幅)的情况，如果在振动臂部的前端部形成有急剧增大(粗)的施重部，则具有存在这样的问题：施重部不跟随于振动臂部的振动(振幅)，而是由于惯性进行与振动臂部的振动不同的振动，从而导致振动臂部的振动不稳定或者使振动臂部的振动频率变化。另外，在振动臂部形成有具有从振动臂部的前端部逐渐扩大的臂宽的施重部的情况下，虽然减少了振动臂部的振动不稳定的情况，但存在如下问题：在前端部形成施重部而起到的频率降低效果变小。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的。可通过以下方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例的振动片具有：基部；从所述基部延伸的多个振动臂部；沿着所述振动臂部的长度方向形成的长槽部；中间施重部，其具有比所述振动臂部的臂宽大的臂宽，并相对于所述振动臂部形成在前端侧；以及前端施重部，其具有比所述中间施重部的臂宽大的臂宽，并相对于所述中间施重部形成在前端侧。

由此，振动片具备具有比振动臂部的臂宽大(粗)且比前端施重部的臂宽小(细)的臂宽的中间施重部，从而使中间施重部跟随于振动臂部的振动(振幅)。此外，还具备具有比中间施重部的臂宽大(粗)的臂宽的前端施重部，从而使前端施重部跟随于振动臂部以及中间施重部的振动(振幅)，所以能够使振动臂部的振动以及振动片的振动频率稳定。另外，振动片可通过具备中间施重部来获得频率降低效果。

[应用例2]优选的是，在上述应用例的振动片中，在所述振动臂部与所述中间施重部之间具有第1扩宽部，在该第1扩宽部中，臂宽从所述振动臂部的臂宽逐渐扩大到所述中间施重部的臂宽。

由此，在振动片中，针对振动臂部的臂宽与中间施重部的臂宽之间的差异，使第1扩宽部的臂宽从振动臂部的臂宽逐渐扩大到中间施重部的臂宽，由此得到抑制例如振动片材料的各向异性等导致的蚀刻的非对称性的效果，所以能够使得在振动臂部与中间施重部之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，能够在多个振动臂部之间保持平衡，从而能够使振动片的振动特性稳定。

[应用例3]优选的是，在上述应用例的振动片中，在所述中间施重部与所述前端施重部之间具有第2扩宽部，在该第2扩宽部中，臂宽从所述中间施重部的臂宽逐渐扩大到所述前端施重部的臂宽。

由此，在振动片中，针对中间施重部的臂宽与前端施重部的臂宽之间的差异，使第2扩宽部的臂宽从中间施重部的臂宽逐渐扩大到前端施重部的臂宽，由此得到抑制例如振动片材料的各向异性等导致的蚀刻的非对称性的效果，所以能够使得在中间施重部与前端施重部之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，能够在多个振动臂部之间保持高精度的平衡，从而能够使振动片的振动特性更稳定。

[应用例4]本应用例的振子的特征在于具备上述应用例所述的振动片和收纳所述振动片的封装。

由此，振动片通过具有中间施重部，来使中间施重部跟随于振动臂部的振动(振幅)，还通过具有前端施重部，来使前端施重部跟随于振动臂部以及中间施重部的振动(振幅)。由此，振子的振动频率稳定，并且还具有频率降低效果。

[应用例5]本应用例的振荡器的特征在于具有：上述应用例所述的振动片；与所述振动片电连接的电路部和收纳所述振动片以及所述电路部的封装。

由此，通过具备具有稳定的振动频率以及频率降低效果的振动片、以及电路部，振荡器可具有良好的振荡特性。

[应用例6]本应用例的电子设备的特征在于具备：上述应用例所述的振动片、以及与所述振动片电连接的电路部。

由此，通过具备具有稳定的振动频率以及频率降低效果的振动片、以及电路部，电子设备可实现较高的可靠性。

附图说明

图1是示出第1实施方式的石英振动片的概略结构图。

图2是示出与第1实施方式的中间施重部以及前端施重部相关的变形例的概略平面图。

图3是示出第2实施方式的石英振子的概略结构图。

图4是示出第3实施方式的石英振荡器的概略剖面图。

图5是示出作为电子设备一例的便携电话机的概略的立体图。

图6是便携电话机的电路框图。

图7是示出作为电子设备一例的个人计算机的概略的立体图。

标号说明

1作为振动片的石英振动片；2基部；3振动臂部；4中间施重部；5前端施重部；6长槽部；7第1扩宽部；8第2扩宽部；11连接部；12支承部；13切口部；14a、14b激励电极；15基座基板；16、17、34层叠基板；18接合部；20作为振子的石英振子；21封装；22盖体；23基座；24突出部；25a、25b导通固定部；26外部连接端子；27收纳室；28导电性粘接剂；30作为振荡器的石英振荡器；31作为电路部的驱动电路；32焊线；33内部连接端子；P振动臂部的间隔；W振动臂部的臂宽；W1中间施重部的臂宽；W2前端施重部的臂宽；100作为电子设备的便携电话机；200作为电子设备的个人计算机。

具体实施方式

在以下的实施方式中，作为振动片例示使用了作为压电材料的石英的石英振动片为例进行说明。另外，对具有该石英振动片的石英振子(振子)和石英振荡器(振荡器)、以及具有石英振荡器的电子设备进行说明。

(第1实施方式)

下面，参照图1对第1实施方式进行说明。

图1(A)是示出第1实施方式的石英振动片的概略平面图。图1(B)是图1(A)的部分放大图。图1(C)是图1(A)的A-A剖面图。

如图1(A)所示，作为振动片的石英振动片1具有：基部2、2个振动臂部3、中间施重部4、前端施重部5、长槽部6、连接部11和支承部12。该石英振动片1具有作为石英柱的光轴的Z轴、作为与Z轴垂直的电气轴的X轴和作为与X轴垂直的机械轴的Y轴，该石英振动片1是从沿着如下平面的石英Z板中切出的，该平面是从X轴与Y轴的交点(坐标原点)观察、使X-Y平面绕X轴倾斜角度0度至5度而成的，如图1所示，基部2的宽度方向是X轴，振动臂部3的长度方向是Y’轴方向，石英振动片1的厚度方向是Z’轴方向。

石英振动片1的连接部11从基部2延伸而形成。支承部12从连接部11延伸而形成。连接部11在图示上下方向上的尺寸被形成为，小于基部2以及支承部12在图示上下方向上的尺寸。由此，在基部2与支承部12之间形成有切口部13。

2个振动臂部3从基部2起相互平行延伸而形成为臂宽W(图1(B))。此外，这里所述的相互平行是指振动臂部3的各个延伸方向平行的状态。振动臂部3形成为关于B-B所示的单点划线对称。2个振动臂部3以间隔P进行配置。

中间施重部4具有比振动臂部3的臂宽W大的臂宽W1，且相对于振动臂部3形成在前端侧。前端施重部5具有比中间施重部4的臂宽W1大的臂宽W2，且相对于中间施重部4形成在前端侧。中间施重部4以及前端施重部5形成为关于B-B所示的单点划线对称。

如图1(B)所示，在振动臂部3与中间施重部4之间形成有第1扩宽部7，在该第1扩宽部7中，臂宽从振动臂部3的臂宽W逐渐扩大到中间施重部4的臂宽W1。并且，在中间施重部4与前端施重部5之间形成有第2扩宽部8，在该第2扩宽部8中，臂宽从中间施重部4的臂宽W1逐渐扩大到前端施重部5的臂宽W2。

在本实施方式中，以如下方式进行了配置：臂宽W、臂宽W1以及臂宽W2各自的1/2位置排列在图1(B)中单点划线示出的直线上。换言之，振动臂部3、中间施重部4以及前端施重部5被形成为关于图1(B)所示的单点划线对称。并且，前端施重部5被形成为关于图1(A)中B-B所示的单点划线对称，所以前端施重部5的臂宽W2是小于振动臂部3的间隔P的值。

沿着振动臂部3的长度方向形成有长槽部6。如图1(C)所示，长槽部6分别形成在具有臂宽W的面上。并且，形成为关于图1(B)所示的单点划线对称。

如图1(C)所示，在振动臂部3以及长槽部6中形成有激励电极14a、14b。并且，在图示左侧以及右侧的振动臂部3以及长槽部6中，激励电极14a、14b的配置是相反的。即，在图示左侧的长槽部6中配置有激励电极14a，在图示右侧的长槽部6中配置有激励电极14b。并且，在图示左侧的振动臂部3中配置有激励电极14b，在图示右侧的振动臂部3中配置有激励电极14a。

通过使电流流过这些激励电极14a与激励电极14b之间来产生电场，如图1(A)中单点划线箭头以及虚线箭头所示那样，振动臂部3通过压电效应而进行振动，驱动石英振动片1。

根据本实施方式，石英振动片1具有中间施重部4，使中间施重部4跟随于振动臂部3的振动(振幅)，其中，中间施重部4具有比振动臂部3的臂宽W大(粗)、且比前端施重部5的臂宽W2小(细)的臂宽W1。此外，还具有前端施重部5，使前端施重部5跟随于振动臂部3以及中间施重部4的振动(振幅)，该前端施重部5具有比中间施重部4的臂宽W1大(粗)的臂宽W2。由此，能够使振动臂部3的振动以及石英振动片1的振动频率稳定。

并且，在石英振动片1中，针对振动臂部3的臂宽W与中间施重部4的臂宽W1之间的差异，使第1扩宽部7的臂宽从振动臂部3的臂宽W逐渐扩大到中间施重部4的臂宽W1，由此抑制作为压电材料的石英的各向异性导致的蚀刻的非对称性，所以能够使得在振动臂部3与中间施重部4之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，能够在2个振动臂部3之间保持平衡，从而能够使石英振动片1的振动特性稳定。

另外，在石英振动片1中，针对中间施重部4的臂宽W1与前端施重部5的臂宽W2的差异，使第2扩宽部8的臂宽从中间施重部4的臂宽W1逐渐扩大到前端施重部5的臂宽W2，由此抑制作为压电材料的石英的各向异性导致的蚀刻的非对称性，所以能够使得在中间施重部4与前端施重部5之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，能够在2个振动臂部3之间保持高精度的平衡，从而能够使石英振动片1的振动特性稳定。

下面，参照图2来说明与第1实施方式中的中间施重部4以及前端施重部5相关的变形例。

(变形例1)

图2(A)示出变形例1。如图2(A)所示，变形例1的中间施重部4未形成为关于单点划线对称，前端施重部5形成为关于单点划线对称。并且，中间施重部4的臂宽W1的一端与前端施重部5的臂宽W2的一端形成在一条直线上。

另外，在变形例1中，中间施重部4未形成为关于单点划线对称，但不限于此，也可以是中间施重部4形成为关于单点划线对称，前端施重部5未形成为关于单点划线对称。

(变形例2)

图2(B)示出变形例2。如图2(B)所示，与变形例1相同，变形例2的中间施重部4未形成为关于单点划线对称，前端施重部5形成为关于单点划线。

并且，与变形例1的不同之处在于，中间施重部4的臂宽W1的一端与振动臂部3的臂宽W的一端形成在一条直线上。

另外，变形例2中，中间施重部4的臂宽W1的一端与振动臂部3的臂宽W的一端形成在一条直线上，但不限于此，如图2(C)所示，也可以是中间施重部4的臂宽W1的一端还与前端施重部5的臂宽W2的一端形成在一条直线上。

(变形例3)

图2(D)示出变形例3。如图2(D)所示，变形例3的中间施重部4以及前端施重部5未形成为关于单点划线对称。中间施重部4的臂宽W1以及前端施重部5的臂宽W2的一端与振动臂部3的臂宽W的一端形成在一条直线上。

(变形例4)

图2(E)示出变形例4。如图2(E)所示，中间施重部4以及前端施重部5双方没有形成为关于单点划线对称。并且，与变形例1～3的不同之处在于，振动臂部3的臂宽W的一端以及另一端、中间施重部4的臂宽W1的一端以及另一端和前端施重部5的臂宽W2的一端以及另一端没有形成在一条直线上。

另外，变形例4中，中间施重部4以及前端施重部5双方未形成为关于单点划线对称，但不限于此，也可以是中间施重部4或前端施重部5的一方未形成为关于单点划线对称，另一方形成为关于单点划线对称。

(第2实施方式)

下面，参照图3来说明第2实施方式。

第2实施方式涉及使用了图1所示的第1实施方式的石英振动片1的石英振子，对与第1实施方式同样的结构标注同一标号，省略结构的说明。

图3(A)是示出第2实施方式的石英振子的概略平面图。图3(B)是图3(A)的C-C剖面图。

第2实施方式的石英振子20具有收纳第1实施方式的石英振动片1的封装21。

如图3所示，石英振子20具有石英振动片1和封装21，石英振动片1以气密的方式收纳在封装21内。封装21具有基座23和盖体22。

基座23具有基座基板15、层叠基板16、17、接合部18、导通固定部25a、25b、外部连接端子26和收纳室27。

基座23是在基座基板15上依次对层叠基板16、17进行层叠而形成的，在层叠基板17上形成有由金属、钎焊剂或玻璃等构成的接合部18。基座基板15以及层叠基板16、17例如由陶瓷片形成，该陶瓷片由作为绝缘材料的氧化铝材质构成。与收纳室27的形状对应地挖通层叠基板16、17，并与基座基板15层叠，然后进行烧结，由此形成收纳室27。

突出部24存在两个，并且基座基板15在收纳室27内延伸。在突出部24上形成有导通固定部25a、25b。导通固定部25a、25b例如是按照钨金属化(タングステンメタライズ)、镀镍以及镀金的顺序形成的。

外部连接端子26存在两个，形成在作为基座23外侧的基座基板15的下表面即与收纳室27相对的面上。外部连接端子26例如是通过按照钨金属化、镀镍以及镀金的顺序形成在基座基板15的下表面而得到的。

并且，外部连接端子26例如在基座基板15进行布线(省略图示)，与导通固定部25电连接。

安装电极(省略图示)分别形成在石英振动片1的支承部12上，分别与激励电极14a、14b连接。石英振动片1通过导电性粘接剂28固定在导通固定部25上，设置于形成在基座23上的收纳室27内。这样，激励电极14a、14b分别与导通固定部25a、25b电连接，并分别与外部连接端子26电连接。

导电性粘接剂28由硅类树脂、环氧类树脂或聚酰亚胺类树脂等构成，并混合了银(Ag)或铂(Pt)等导电性粉末。

基座23通过接合部18与盖体22接合。这样，由基座23和盖体22以气密的方式将石英振动片1密封在收纳室27内。

盖体22由铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)等金属、或混合这些金属而成的合金、或由氧化铝材质等构成的陶瓷、或者玻璃形成。

根据本实施方式，石英振子20所具有的石英振动片1具备中间施重部4，使中间施重部4跟随于振动臂部3的振动(振幅)，其中，该中间施重部4具有比振动臂部3的臂宽W大(粗)、且比前端施重部5的臂宽W2小(细)的臂宽W1。此外，还具有前端施重部5，使前端施重部5跟随于振动臂部3以及中间施重部4的振动(振幅)，其中，该前端施重部5具有比中间施重部4的臂宽W1大(粗)的臂宽W2。因此，能够得到使振动臂部3的振动以及石英振动片1的振动频率稳定的石英振子20。

并且，在石英振动片1中，针对振动臂部3的臂宽W与中间施重部4的臂宽W1之间的差异，使第1扩宽部7的臂宽从振动臂部3的臂宽W逐渐扩大到中间施重部4的臂宽W1，由此抑制作为压电材料的石英的各向异性导致的蚀刻的非对称性，所以能够使得在振动臂部3与中间施重部4之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，可得到能够在2个振动臂部3之间保持平衡、使石英振动片1的振动特性稳定的石英振子20。

另外，在石英振动片1中，针对中间施重部4的臂宽W1与前端施重部5的臂宽W2的差异，使第2扩宽部8的臂宽从中间施重部4的臂宽W1逐渐扩大到前端施重部5的臂宽W2，由此抑制作为压电材料的石英的各向异性导致的蚀刻的非对称性，所以能够使得在中间施重部4与前端施重部5之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，可得到能够在2个振动臂部3之间保持高精度的平衡、使石英振动片1的振动特性更稳定的石英振子20。

(第3实施方式)

下面，参照图4对第3实施方式进行说明。

第3实施方式涉及使用了图1所示的第1实施方式的石英振动片1的石英振荡器，对与第1实施方式相同的结构标注同一标号，省略结构的说明。

第3实施方式的石英振荡器与第2实施方式的石英振子20的不同之处在于，还具有驱动石英振子20的驱动电路(电路部)。

图4是示出第3实施方式的石英振荡器的概略剖面图。如图4所示，石英振荡器30具有：石英振动片1、封装21、以及与石英振动片1电连接的驱动电路(电路部)31。石英振动片1以及驱动电路31以气密的方式收纳在封装21内。封装21具有基座23和盖体22。

基座23具备层叠基板34。基座23是在基座基板15上依次对层叠基板34、16、17进行层叠而形成的，在层叠基板17上形成有由金属、钎焊剂或玻璃等构成的接合部18。

驱动电路31粘接在基座基板15上，通过焊线32与内部连接端子33连接。

导通固定部25形成在收纳室27内的基座基板15的突出部24上。内部连接端子33存在多个，并形成在作为基座23内侧的基座基板15的上表面即收纳室27内。内部连接端子33例如是通过按照钨金属化、镀镍以及镀金的顺序形成在基座基板15的上表面而得到的。

并且，内部连接端子33例如在基座基板15上进行布线(省略图示)，与导通固定部25以及外部连接端子26电连接。

根据本实施方式，石英振子20所具有的石英振动片1具备中间施重部4，使中间施重部4跟随于振动臂部3的振动(振幅)，其中，该中间施重部4具有比振动臂部3的臂宽W大(粗)、且比前端施重部5的臂宽W2小(细)的臂宽W1。此外，还具有前端施重部5，使前端施重部5跟随于振动臂部3以及中间施重部4的振动(振幅)，其中，该前端施重部5具有比中间施重部4的臂宽W1大(粗)的臂宽W2。由此，能够得到使振动臂部3的振动以及石英振动片1的振动频率稳定的石英振荡器30。

并且，在石英振动片1中，针对振动臂部3的臂宽W与中间施重部4的臂宽W1之间的差异，使第1扩宽部7的臂宽从振动臂部3的臂宽W逐渐扩大到中间施重部4的臂宽W1，由此抑制作为压电材料的石英的各向异性导致的蚀刻的非对称性，所以能够使得在振动臂部3与中间施重部4之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，可得到能够在2个振动臂部3之间保持平衡、使石英振动片1的振动特性稳定的石英振荡器30。

另外，在石英振动片1中，针对中间施重部4的臂宽W1与前端施重部5的臂宽W2的差异，使第2扩宽部8的臂宽从中间施重部4的臂宽W1逐渐扩大到前端施重部5的臂宽W2，由此抑制作为压电材料的石英的各向异性导致的蚀刻的非对称性，所以能够使得在中间施重部4与前端施重部5之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，可得到能够在2个振动臂部3之间保持高精度的平衡、使石英振动片1的振动特性更稳定的石英振荡器30。

[电子设备]

上述实施方式的石英振荡器30可应用于各种电子设备，这些电子设备的可靠性较高。作为本发明电子设备的一例，图5以及图6示出便携电话机。图5是示出便携电话机的外观概略的立体图，图6是说明便携电话机的电路结构的电路框图。在使用了石英振动片1(图1)的石英振荡器30的例子中说明该便携电话机100，对于石英振荡器30的结构和作用，使用同一标号等，省略其说明。

如图5所示，便携电话机100中设置有作为显示部的LCD(Liquid CrystalDisplay：液晶显示器)101、数字等作为输入部的按键102、麦克风103、扬声器111等。并且，如图6所示，在便携电话机100进行发送的情况下，用户当将自己的声音输入至麦克风103时，信号经过脉冲宽度调制/编码模块104和调制器/解调器模块105，经由发射机106、天线开关107从天线108发送。

另一方面，从对方电话机发送的信号由天线108接收，经过天线开关107、接收滤波器109，从接收机110输入至调制器/解调器模块105。然后，调制或解调后的信号经由脉冲宽度调制编码块104，作为声音输出到扬声器111。并且，为了控制天线开关107及调制器/解调器模块105等，设置有控制器112。

该控制器112除了上述之外还控制作为显示部的LCD101、作为数字等的输入部的按键102、以及RAM113或ROM114等，所以需要高精度。另外，还要求便携电话机100中的可靠性提高，作为能符合这种要求的部件，采用了具有振动频率稳定的石英振动片1的石英振荡器30。此外，作为其它结构模块，便携电话机100还具有温度补偿石英振荡器115、接收机用频率合成器116、发射机用频率合成器117等，这里省略说明。

另外，作为具有本发明的石英振荡器30的电子设备，还举出图7所示的个人计算机(移动型个人计算机)200。个人计算机200具备显示部201、输入按键部202等，作为其电气控制的基准时钟，使用了振动频率稳定的石英振荡器30。

这种用于便携电话机100或个人计算机200的石英振荡器30的石英振动片1在振动臂部3的前端具有第1扩宽部7、中间施重部4、第2扩宽部8、前端施重部5，由此能够保持稳定的振动频率。因此，便携电话机100以及个人计算机200能够实现较高的可靠性。

此外，作为具有本发明的石英振荡器30的电子设备，除了上述之外，例如还可以举出数字静态照相机、喷墨式吐出装置(例如喷墨打印机)、便携型个人计算机、电视、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子笔记本(还包含带通信功能的电子笔记本)、电子词典、计算器、电子游戏设备、文字处理器、工作站、电视电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、医疗设备(例如，电子体温计、血压计、血糖计、心电图测定装置、超声波诊断装置、电子内窥镜)、鱼群探测机、各种测定设备、计量仪器类(例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类)、飞行模拟器等。

以上，根据图示的实施方式说明了本发明的电子设备，但本发明不限于此，各部分的结构可置换为具有同样功能的任意结构。另外，本发明可附加其它任意的构成物。例如，在上述实施方式中，以石英振动片1具有一对振动臂部3作为振动部的情况为例进行了说明，但振动臂部3的数量也可以是3个以上。此外，还可以是仅由1个具有作为固定端的基部的振动臂构成的横梁型振动片等。

另外，除了电压控制石英振荡器(VCXO)、温度补偿石英振荡器(TCXO)、带有恒温槽的石英振荡器(OCXO)等振荡器之外，在上述实施方式中说明的石英振动片1还可应用于陀螺仪传感器等。

并且，在石英振动片1中，可解决上述课题的至少一部分的范围内的变形、改良等包含在上述实施方式中。

例如，虽然说明了石英振动片1具备第1扩宽部7以及第2扩宽部8的情况，但不限于此，在振动臂部3与中间施重部4之间可以不具有第1扩宽部7，在中间施重部4与前端施重部5之间也可以不具有第2扩宽部8，可适当进行选择。

并且，虽然说明了石英振动片1具备连接部11、支承部12和切口部13的情况，但不限于此，也可以是不具有支承部12的结构。在该情况下，在连接部11或基部2上形成安装电极，通过导电性粘接剂28固定在导通固定部25上进行电连接。或者，可以是不具备支承部12、连接部11和切口部13的结构。在该情况下，在基部2上形成安装电极，通过导电性粘接剂28固定在导通固定部25上进行电连接。

另外，在图3以及图4中，虽然以恒定的石英振动片1的厚度尺寸(图示的上下方向)进行了图示，但不限于此，构成石英振动片1的基部2、中间施重部4以及前端施重部5等的厚度可以不同于振动臂部3的厚度尺寸。但是，优选的是，构成由同一名称以及标号表示的石英振动片的振动臂部、中间施重部以及前端施重部等各自的厚度尺寸相同。

另外，虽然说明了石英振动片1具有2个施重部即中间施重部4以及前端施重部5的情况，但不限于此，可以在中间施重部4与前端施重部5之间具有如下第N施重部(N是3以上的整数)，该第N施重部的臂宽W(N)(N是3以上的整数)比中间施重部的臂宽W1大、且比前端施重部的臂宽W2小。即，第N施重部的臂宽W(N)(N是3以上的整数)、臂宽W1和臂宽W2之间的关系可以是W＜W1＜W(N)＜W(N+1)＜····＜W(N+M)＜W2(M是正整数)。

或者，可以在振动臂部3与中间施重部4之间具有如下第N施重部，该第N施重部的臂宽W(N)比振动臂部3的臂宽W大、且比中间施重部的臂宽W1小。即，第N施重部的臂宽W(N)(N是3以上的整数)、臂宽W1和臂宽W2之间的关系可以是W＜W(N)＜W(N+1)＜····＜W(N+M)＜W1＜W2。

此外，在前端施重部5的前端侧还可以具有如下第N施重部，该第N施重部的臂宽W(N)比前端施重部5的臂宽W2大。即，第N施重部的臂宽W(N)(N是3以上的整数)、臂宽W1和臂宽W2之间的关系可以是W＜W1＜W2＜W(N)＜W(N+1)＜····＜W(N+M)。

另外，收纳石英振动片1的封装21不限于上述实施方式，还可以是由铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)等金属、或混合这些金属而成的合金构成的所谓筒状类型。导电性粘接剂28可以是焊锡。

另外，作为振动片的材料，不限于石英，还可以是锆钛酸铅(PZT)、氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)、钽酸锂(タンタル酸リチウム)(LiTaO₃)、四硼酸锂(四ホウ酸リチウム)(Li₂B₄O₇)、铌酸锂(ニオブ酸リチウム)(LiNbO₃)等压电体、或作为非压电材料的硅等半导体。

Claims (10)

1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有：

基部；

前端施重部；

振动臂部，其从所述基部沿第1方向延伸，该振动臂部的沿着与所述第1方向交叉的第2方向的宽度小于所述前端施重部的沿着所述第2方向的宽度，并且，在平面图中配置在所述前端施重部与所述基部之间；

中间施重部，其在平面图中配置在所述前端施重部与所述振动臂部之间，该中间施重部的沿着所述第2方向的宽度小于所述前端施重部的沿着所述第2方向的宽度且大于所述振动臂部的沿着所述第2方向的宽度；以及

第1扩宽部，其在平面图中配置在所述振动臂部与所述中间施重部之间，沿着所述第2方向的宽度从所述振动臂部向所述中间施重部扩大的比例与所述中间施重部不同。

2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于，

该振动片还具有第2扩宽部，该第2扩宽部在平面图中配置在所述中间施重部与所述前端施重部之间，连接所述中间施重部与所述前端施重部，沿着所述第2方向的宽度从所述中间施重部向所述前端施重部逐渐扩大。

3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

在平面图中，所述振动臂部在主面上设有槽。

4.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

该振动片还具有：

支承部，其在平面图中设置在所述基部的与所述振动臂部相反的一侧；以及

连接部，其连接所述支承部与所述基部，该连接部的沿着所述第2方向的宽度小于所述基部的沿着所述第2方向的宽度。

5.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

沿着所述第2方向与所述连接部并排地配置有切口部，该切口部设置在所述基部与所述支承部之间。

6.根据权利要求4所述的振动片，其特征在于，

所述支承部沿所述第1方向延伸，沿所述第2方向与所述振动臂部并排。

7.一种振子，其特征在于，该振子具有：

权利要求1或2所述的振动片；以及

收纳所述振动片的封装。

8.一种振荡器，其特征在于，该振荡器具有：

权利要求1或2所述的振动片；以及

电路。

9.一种传感器，其特征在于，该传感器具有：

权利要求1或2所述的振动片。

10.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有：

权利要求1或2所述的振动片。