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CH524140A - Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels der Elektronenstrahl-Rastermikroskopie und der Elektronenstrahl-Mikroanalyse - Google Patents

Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels der Elektronenstrahl-Rastermikroskopie und der Elektronenstrahl-Mikroanalyse

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Publication number
CH524140A
CH524140A CH95671A CH95671A CH524140A CH 524140 A CH524140 A CH 524140A CH 95671 A CH95671 A CH 95671A CH 95671 A CH95671 A CH 95671A CH 524140 A CH524140 A CH 524140A
Authority
CH
Switzerland
Prior art keywords
electron beam
examining
sample
scanning microscopy
microanalysis
Prior art date
Application number
CH95671A
Other languages
English (en)
Inventor
Weber Ulrich Dr Dipl-Phys
Juergen Dipl Phys Gullasch
Original Assignee
Siemens Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens Ag filed Critical Siemens Ag
Publication of CH524140A publication Critical patent/CH524140A/de

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Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/252—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers
    • H01J37/256—Tubes for spot-analysing by electron or ion beams; Microanalysers using scanning beams
    • H—ELECTRICITY
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
    • H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams

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  • Analytical Chemistry (AREA)
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CH95671A 1970-02-07 1971-01-22 Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels der Elektronenstrahl-Rastermikroskopie und der Elektronenstrahl-Mikroanalyse CH524140A (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
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Publications (1)

Publication Number Publication Date
CH524140A true CH524140A (de) 1972-06-15

Family

ID=5761726

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Application Number Title Priority Date Filing Date
CH95671A CH524140A (de) 1970-02-07 1971-01-22 Verfahren zur Untersuchung einer Probe mittels der Elektronenstrahl-Rastermikroskopie und der Elektronenstrahl-Mikroanalyse

Country Status (5)

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US (1) US3736422A (de)
CH (1) CH524140A (de)
DE (1) DE2005682C3 (de)
FR (1) FR2078240A5 (de)
GB (1) GB1284708A (de)

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DE2005682B2 (de) 1973-10-18
US3736422A (en) 1973-05-29
GB1284708A (en) 1972-08-09
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