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CH270301A - Process for depositing silicon dioxide films. - Google Patents

Process for depositing silicon dioxide films.

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Publication number
CH270301A
CH270301A CH270301DA CH270301A CH 270301 A CH270301 A CH 270301A CH 270301D A CH270301D A CH 270301DA CH 270301 A CH270301 A CH 270301A
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CH
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silicon dioxide
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saturated
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Application number
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German (de)
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America Radio Corporation Of
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Rca Corp
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Publication date
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Description

       

  Verfahren zum Niederschlagen von     Siliciumdioxydfilmen.       Die vorliegende Erfindung betrifft ein       ZD     Verfahren zum     Niedersehlagen    von     Silieiiiiii-          (lioxydfilmen    auf einer Oberfläche.  



  Es hat sieh erwiesen,     dass    dünne Filme  aus     Silieiumdioxyd    sowohl für die Erzeugung  von reflexionsvermindernden Oberflächen an  optischen Elementen aus     (flas        als    auch zum  Schützen von eher chemisch aktiven Sub  stanzen gegen die     Korrosionswirkung    der     At-          inosphiire        und    anderer umgebender Medien  wertvoll sind. Es sind bis jetzt zahlreiche Ver  fahren zur     Abscheidunu    solcher     Silicium-          (lioxy(Ifiline    vorgeschlagen worden.

   Eines die  ser Verfahren ist dem bekannten     Dampf-          abscheidungsverfahren        angepasst,    gemäss     wel-          ehem    Quarz auf eine Temperatur erhitzt wird,  die genügend hoch ist,     dass    das     Silicium-          dioxyd    verdampft. Infolge der äusserst hohen  Temperatur, bei welcher     Siliciumdioxyd    ver  dampft, ist dieses Verfahren kostspielig und  schwer anzuwenden.

   Es ist auch vorgeschla  gen worden, das     Siliciumdioxyd    aus     organi-          Silikaten,        Alkalisilikaten    und aus dem  Dampf     zersetAicher        Siliciumverbindungen,     wie z.

   B.     Silieiunitetraehlorid,        abzuseheiden.          Obsehon    diese Verfahren mit mehr oder we  niger     Ei-folg    handelsmässig, für gewisse  Zwecke angewendet worden sind, hat es sieh  gezeigt,     dass    es schwer ist, mittels eines dieser  älteren Verfahren einen ebenen Film aus       Silieiumdioxyd    von genau festgesetzter Dicke  niederzuschlagen.  



       C,       Das     erfindungsgemässe    Verfahren     zum     .Niederschlagen eines     Silieiuindioxydfilms        auf     einer Oberfläche, vorzugsweise auf einer  Oberfläche glasartiger,     keramiseher    oder harz  artiger Struktur, wie z.

   B. auf Glas, einem       Harnstofformaldehyd   <B>-</B> Kondensationsprodukt  oder dergleichen, ist dadurch gekennzeichnet,       dass    der zu überziehende Gegenstand in eine       Siliciumdioxyd    enthaltende Lösung von       Fluorkieselsäure,    die bezüglich des     Silieiuni-          dioxyds    im Bereich von 2 bis<B>16</B>     Millimol          Siliciumdioxyd    pro Liter der Lösung übersät  tigt ist,     eingetauelit    wird, und     dass        man    den  Gegenstand in der genannten Lösung     lässt,

      bis  sieh ein     überzug,-    der gewünschten Dicke ge  bildet, hat.  



  Wird nach diesem Verfahren gearbeitet, so  können sehr dünne     Siliciumdioxydfilme    von  genau kontrollierter Dicke, z. B. auf Glas,  erzeugt werden; die Erfindung soll     jedoeh    in  keiner Weise     auf    das Niederschlagen solcher  Filme auf     Glasfliiehen    beschränkt sein.  



  Im folgenden werden an Hand der beilie  genden     Zeiehnung    verschiedene beispielsweise       Ausführungsformen    des erfindungsgemässen  Verfahrens beschrieben.  



       Fig.   <B>1</B> ist eine graphische Darstellung der       Abselleidungsgesehwindigkeit    eines aus einem  <B>In</B>     zn     beim Verfahren gemäss der vorliegenden Er  findung- verwendbaren Behandlungsbad     abge-          sehiedenen        Silieiulndioxydfilms.    Die Dicke     des     Films,     atis--edrfiekt    in Bruchteilen der     Wellpr--          C         länge<B>5200 Ä</B> von Licht, ist als Funktion der  Behandlungsdauer (in Stunden) dargestellt.  



       Fig.    2 ist eine graphische Darstellung, in  welcher die für die     Abscheidung    eines Films  der Dicke     1/4-Wellenlänge    aus     Fluorkiesel-          säurelösungen,    die hinsichtlich des     Silicium-          dioxyds        auf    verschiedene Grade der Über  sättigung eingestellt sind, benötigte Zeit  angegeben ist.

   Die für die     Abscheidung    eines  Films von     1/#-Wellerilänge    Dicke (bezogen  auf grünes Licht mit der Wellenlänge<B>5200 Ä)</B>  benötigte Zeit in Minuten ist als Funktion der       en2    4     1/o        iger        Borsäure/Liter    der Säure dar  gestellt.  



       Fig.   <B>3</B> ist eine graphische Darstellung, in  welcher die Veränderung der     Silicitundioxyd-          überschuss-Löslichkeit    in Abhängigkeit von  der     I-I,SiF,"K-onzentration    dargestellt ist,  wobei die Konzentration einer     1,25molaren          I-I.ssiF,-Lösung    als Nullpunkt angenommen  ist. Die Mole des     Siliei-Limdioxyds    sind als  Funktion der     H.iSiF"-I#Conzentration    in     Mol     pro Liter aufgezeichnet..  



  Es hat sich gezeigt,     dass        auf    einem Gegen  stand, der in einer gerade mit der richtigen       ,#,l'enge        Siliciumdioxyd    übersättigten     Fluor-          kieselsäurelösung    eingetaucht ist, ein sehr dün  ner, harter, durchsichtiger Film aus     Silicium-          dioxyd    abgeschieden wird.

   Dies steht im     Ge-          Clensatz    zu der Erscheinung,     dass    eine     Fluor-          kieselsäurelösung,    die mit     Silicitundioxyd    ent  weder gerade gesättigt ist, oder eine     Silicitun-          dioxy,dkonzentration    aufweist, die unter dein       Sättigangspunkt    liegt, die meisten Glassorten  angreift, statt.

   auf diesen     Siliciumdioxyd    abzu  scheiden, und     dass    natürlich auf der Ober  fläche von in diese Lösung     eintaitehenden     Gegenständen keine     Siliciumdioxydabschei-          diang.stattfindet.    Das erfindungsgemässe Ver  fahren unterscheidet sich auch von dem Ver  fahren, gemäss welchem die Oberfläche eines  Glasgegenstandes zwecks Erzeugung eines die  Reflexion vermindernden Films     aufgerauht     wird.

   In diesem letztgenannten Verfahren  wird ebenfalls eine hinsichtlich des     Silicium-          dioxyds    übersättigte Lösung von     Fluorkiesel-          säure    verwendet, der Bereich der     übersätti-          gung    ist in den beiden Fällen jedoch etwas    verschieden.

   Aus der weitgehenden Ähnlich  keit, die zwischen den beiden Arten von Lö  sungen besteht, ist jedoch     e#sichtlieh,    welch  leine     Lenk-ung    der Bedingungen nötig ist, um       erlindungsgemässe    Filme zu erhalten und die  unerwarteten     Resziltate    des     erlindungsgemä-          ssen    Verfahrens zu erzielen.  



  Ein bekanntes Verfahren zur chemischen       Abscheidung    einer Substanz besteht darin,       dass    eine Lösung hinsichtlich dieser Substanz  übersättigt wird, und     dass    hierauf Bedin  gungen geschaffen werden, welche eine Aus  fällung der überschüssigen Substanz aus der  Lösung verursachen. Es ist bekannt,     dass     dieses Verfahren ebenfalls verwendet werden  kann, um eine     Abscheidung    von     Siliciam-          dioxyd    zu erhalten. Die gewöhnlich ent  stehende Ablagerung von     Siliciumdioxyd    ist  jedoch, wie dies ebenfalls bekannt ist, eine  gelatineartige Masse von trübem oder durch  scheinendem Aussehen.

   Durch Anwendung  des erfindungsgemässen Verfahrens kann ein  optisch dünner Film, der hart und durch  sichtig ist, erzeugt werden. Die Bildung dieses  Films kann mit solcher Genauigkeit ge  steuert werden,     dass    er eine Dicke von     LI,     einer Wellenlänge irgendeiner gewünschten  Komponente des weissen Lichtes aufweist oder       dass    er viel dicker wird,     1,un    als     Sehutzbelag     wirksamer zu sein. Falls der Film verwendet  werden soll, um die Reflexion zu vermindern,  so kann ein Film hergestellt werden, dessen  Dicke ein kleines, ungerades Mehrfaches von  <B>1/1</B> Wellenlänge ist.  



  Der     Silicitimdioxydüberseh-Liss    liegt bei der  bevorzugten Aasführung des vorliegenden  Verfahrens im Bereich von etwa<B>8</B> bis etwa  <B>1.5</B>     Millimol,    und die bevorzugte     übersehuss-          menge    dieses Bereiches beträgt etwa<B>10</B>     Milli-          mol    pro Liter. Die     Fluorkieselsäure    scheint  als Katalysator bei der     Abscheidung,des        Sili-          eiumdioxyds    zu wirken.  



  Die Herstellung der Behandlungslösungen  kann     auf    verschiedene Arten erfolgen. Es       muss    vorerst betont werden,     dass    der     Fluor-          kieselsäLire    in der Literatur zwar allgemein  die ideale Formel     ILSW,    zugeschrieben wird,       dass    jedoch     Fluorkieselsäure    des Handels, wie      sieh     unerwarteterweise    herausgestellt hat,

   eine  beträchtliche     Men--e        übersehüssi--es        Silieium-          I   <B>C</B>       dioxyd    zu lösen vermag, so     dass    die erhaltene,  endgültige, stabile Lösung ein Verhältnis von  <B>M</B> Zn  Fluor     Yu        Silieiumdioxvd    aufweist,     welehes,     bezogen auf eine     Gurammäquivalentbasis,    näher  bei<B>5</B> zu<B>1</B> als bei dem der theoretischen     For-          inel    entsprechenden Wert von<B>6</B>     züi   <B>1</B> liegt.

    Diese     #,-esätti"te        Lösun"    wird so erhalten,     dass     <B>Z,</B>     LI     in     Fluorkieselsäure    des Handels so viel     Sili-          eiuiiitliox-        y-d        aufgelöst        m        wird,        als        bei        250        C        auf-          genoinmen    wird.

   Praktisch wird die     Fluor-          kieselsäure    während einer oder zwei Stunden  mit fester     Reagenskieselsäure    in Berührung  <B>C</B> n  gebracht, so     dass    die zusätzliche Menge     Sili-          eiuiiidiox#-d    aufgenommen -wird.

   Diese     gesät-          C          tigte    Lösung wird hierauf im gewünschten  n  Mass     übersättiut.    Uni dies     züi    erreichen, kann  n  die     liösung    einfach mit Wasser verdünnt oder  <B>Z,</B>  mit     Borsiiure    versetzt werden, so     dass    die     Lös-          lielikeit    des     Siliehundioxvds    herabgesetzt wird,  oder die     Lösun-,

      kann zwecks Einführung des  <B>M</B>       Silieiaindioxydsübersehusses    mit     -Natriumsili-          kat    versetzt werden.  



  Die relativen, bezüglich     der    von der     For-          nie]    geforderten Menge     übersehüs-          sigen    und     untersehüssig    n     Silieiuiiidioxyd-          e          niengen,    die in gesättigten Lösungen     versehie-          dener    Konzentrationen an     Fluorkieselsätire    in       .#lol        pro    Litern enthalten sind, sind in     Fig.   <B>3</B>  aufgezeichnet.

   Diese Figur ist eine graphische  <B>C</B>  Darstellung der experimentellen Resultate,  die bei Verwendung einer<B>1,25</B>     Mol        11.,siF,          pro    Liter     entlialtenden    Lösung erhalten     wer-          den,        wobei        diese        Konzentration   <B>7</B>     von        1,25        Mol          pro    Liter     als    Bezugs- oder Nullpunkt fest  gesetzt ist.

   Aus dieser -graphischen Darstel  lung ist ersichtlich,     dass    bei steigender Kon  zentration an     Fitioi-kieselsäure    in     -Mol    pro  Liter zunehmende     ',,ilieiiimdioxvdmeii(ren    pro       31ol        11.SiF"    gelöst werden.

   So<U>zeigt</U> diese     gra-          1)Iiiselie    Darstellung- beispielsweise,     dass    eine       '2,5itiol,ii-e    Lösung von     H.,SiF"    beinahe  <B>2</B>  12     Milliniol    mehr     Siliei-tundioxyd    pro     Mol     löst als eine     1.,25molare    Lösung<B>der</B>  Säure.  



  In den folgenden Beispielen ist die Her  stellung     der    Behandlungslösung -beschrieben:    <I>Beispiel<B>1:</B></I>  Ein Liter einer     2,5molareil    Lösung von.       Fluorkieselsäure    wird bei<B>251) C</B> mit Kiesel  säure gesättigt. Diese Lösung wird hierauf  mit dem     gleiehen    Volumen Wasser verdünnt,  so     dass    2 Liter einer     1,25molaren    Lösung ent  stehen.

   Die erhaltene     Lösun--    ist null mit       Silieiumdioxyd    übersättigt, und zwar im Aus  mass von etwa 12     Millim.olen.    pro     Mol.        1-I,SiF,;     oder<B>15</B>     Millimolen.    pro Liter<U>Lösung.</U> Aus  dieser Lösung wird     Silieiumdioxyd    glatt lind  gleichmässig abgeschieden.  



  Die Kurve der     Fig.   <B>1</B> stellt die     Gesehwin-          digkeit    der beim Eintauchen einer Glasplatte  in diese Lösung eintretenden     Silieiumdioxyd-          abseheidun--    auf einer Glasoberfläche dar.  Aus der Figur ist ersichtlich,     dass    in etwa 14  Stunden ein Film einer Dicke von     1#-Wellen-          länge    des grünen Lichtes von<B>5200 A</B> abge  schieden wird, während in etwa<B>30</B> Stunden       ein    Film einer ]Dicke von     "'2'-,Wellenlän,-,e    ab  geschieden wird.

   Die Geschwindigkeit der     Ab-          seheidung    nimmt mit zunehmender Dauer  etwas ab. Die Dicke der Ablagerung wird  visuell aus der     Interferenziarbe    bestimmt.  



  Uni die Resultate zu vergleichen, die sieh  beim Verdünnen einer mit     Siliciumdioxyd    ge  sättigten     2,5molaren    Lösung von     Fluorkiesel-          säure    mit verschiedenen Mengen Wasser  erzielen lassen, werden Proben der Grund  lösung von Beispiel<B>1</B> mit Wasser derart ver  dünnt,     dass    Lösungen entstehen, die<B>10</B> bis  <B>90</B>     1/o    der     Meno-e    von<B>2,5</B>     Mol    Säure enthalten.

    Bei den meisten dieser Verdünnungsgrade ent  stehen Filme, die im Gegensatz zu jenen Fil  men, die bei einer Verdünnung     auf    etwa<B>50</B>     1/o     der     2,5molaren    Säurekonzentration entstehen,  nicht befriedigend sind, da in der Lösung  entweder ein zu grosser oder zu kleiner     Sili-          eiumdioxvdübersehuss        -ebildet    wird.

   Aus den       Lösuncen,    die wesentlich     arössere        Men--en     Wasser enthalten und bezüglich des     Silicium-          dioxyds    (oder der Kieselsäure) zu stark über  sättigt sind, wird ein schwerer, weisser     -Nie-          (-lersehla"    abgeschieden, während aus Lösun  gen, die beträchtlich weniger Wasser     ent.-          m-        #   <B>C</B>  halten, zwar sehr     ]an-sam    ein     Siliciuni-          dio-#,v(-Ifiliii    abgeschieden wird, wobei jedoch      ,

  die     Abscheidungsgesehwindigkeit    unverhält  nismässig gering ist.  



  <I>Beispiel 2:</I>  Einer     1,4molaren        Fluorkieselsätirelösung,     die bei<B>250 0</B> mit     Siliciumdioxyd    gesättigt  worden ist, wird Borsäure in verschiedenen  Mengen zugesetzt, und zwar in Mengen von  20 bis 40 ein' 4     1/o        iger    Borsäure pro Liter der       Fluorkieselsäurelösung,    und der zu über  ziehende Gegenstand in diese Lösung ein  getaucht.

   Die den Mengen dieses Bereiches  entsprechende, für die     Abscheidung    eines  Films einer Dicke von     1/1-Wellenlänge    des grü  nen Lichtes von<B>5200 Ä</B> bei<B>55"</B>     C    erforder  liche Zeit ist in     Fig.    2 aufgezeichnet. Durch  Zusatz von 20 ein' der 4     1/o        igen    Borsäure pro  Liter der     Fluorkieselsäurelösung    entsteht  eine     Lös-ang,    die bezüglich des     Siliciuin-          dioxyds    mit einer Menge von<B>8</B>     Millimol    über  sättigt ist.

   Bei Zusatz von 40 ein' entsteht  eine Übersättigung von<B>16</B>     Millimol.    Wenn       Borsäuremengen    verwendet werden, die ge  nügen, -um einen     Siliciumdioxydüberschuss     von     meÜr    als etwa<B>16</B>     Millimol    pro Liter zu  erzeugen, so entsteht eine trübe, weisse<B>Ab-</B>  lagerung statt eines harten, durchsichtigen  Films.

   Mengen, die wesentlich kleiner als  20     ei &     sind, bewirken,     dass    die     Abscheidung     des Films sich über eine sehr lange Zeit  periode erstreckt, und bei Anwendung einer  Menge, die einer Verminderung des     Silicium-          dioxydüberschusses    auf weniger als etwa  2     Millimol    pro Liter entspricht, tritt über  haupt keine Filmbildung ein.  



  In den obigen Beispielen sind nur zwei  Methoden zum übersättigen einer mit     Sili-          eiumdioxyd    gesättigten     Fluorkieselsäurelösung     beschrieben. Es können jedoch andere     gleich,-          wertige    Reagenzien verwendet werden. Die  Konzentration der     Fluorkieselsäure    ist inner  halb gewisser Grenzen überhaupt nicht kri  tisch.

   Es ist klar,     dass    eine übermässig ver  dünnte Lösung unpraktisch ist, insofern als es  schwer oder sogar unmöglich ist, die     Über-          >#äftigung    bezüglich des     Siliciumdioxyds        auf     das richtige Mass einzustellen, während eine    Konzentration von über<B>2,5</B>     Mol    handelsmässig  bis jetzt nicht erhalten werden kann.  



  Die     Geseliwindigkeit    der     Siliciumdioxyd-          abscheidung    hängt auch von der Temperatur  der Lösung ab, und zwar ist sie bei höheren  Temperaturen grösser. Wenn die Temperatur       zu    hoch ist, wird die Ablagerung milchig. Die  zum übersättigen der     Fluorkieselsä-Lirelösung     nötige     Silieiiimdiox.ydmenge    ändert sich     na-          turlich    mit der Temperatur. Es wurde jedoch  gefunden,     dass    die Änderung für verschiedene       molare    Konzentrationen an     Flaorkieselsäure     sehr unregelmässig und verschieden ist.

   Es  wurde beispielsweise gefunden,     dass        ini    Fall  einer     1,25molaren    Lösung die für eine Lösung  bei<B>250</B>     C    und eine solche bei 451<B>C</B> benö  tigten Mengen gleich sind.

   Bei andern Konzen  trationen jedoch verändert sieh diese Menge,  und für die meisten Konzentrationen über  <B>1,25</B>     Mol    ist die Menge bei 450<B>C</B> wesentlich  geringer als bei     2511   <B>C.</B> Abgesehen von der spe  zifischen Konzentration der     Fluorkieselsäure     innerhalb brauchbarer Grenzen oder     voii     den gewöhnlichen     Abseheidungsteinperatureii,     bleibt jedoch die für die Erzeugung von     g-LI-          ten    Filmen innert vernünftiger Zeiten benö  tigte     Übersättig-Lmg    bezüglich des     Silicium-          dioxyds    (oder der Kieselsäure)

   innerhalb der  gleichen Grenzen. Es hat sieh erwiesen,     dass     der zwecks richtiger     Abscheidung    einzuhal  tende optimale     Temperaturbereieh        zwisehun     etwa     25(1        C    und etwa<B>591 C</B> liegt. Tempera  turen von mindestens<B>700 C</B> können bei     ver-          hiltnismässig    geringen Konzentrationen an       Fluorkieselsäure    angewendet werden, wäh  rend Temperaturen von weniger als<B>250 C</B>  besonders dann angewendet werden können,  wenn die Konzentrationen an     Fluorkieselsäure     verhältnismässig hoch sind.

   Es ist jedoch nicht  zweckmässig, Konzentrationen der höheren       Beriielie    anzuwenden, wenn gleichzeitig  höhere Temperaturen verwendet werden, da  die Lösungen leicht trübe werden und sieh  für die     Abscheidung    von Filmen nicht mehr  eignen.  



  Die durch     Abscheidung    von     Silieium-          dioxyd    nach dein beschriebenen Verfahren  erzeugten Filme sind hart und glatt. Ihr Bre-           (-Iiiiii#,-siiidex        1)eträ",t    1,46 und entspricht     dein-          jenigen    von     festein        Silieiumdioxyd.    Es       "#heint,        daB)    sieh diese Filme auf beliebigen       Arteii    von Glas oder andern keramischen  Oberflächen leicht bilden.

   Ein auf Glas vom       Breehungsindex   <B>1,52</B> erzeugter Film der  e  Dicke einer     l-Wellenlänge    des     cyrünen        Lieh-          4   <B>kn</B>       tes    von<B>5200 A</B> weist eine blaue     Interferenz-          farbe        auf    Lind besitzt ein     Reilexionsvermögen,     welches<B>59</B>     II/o    des Reflexionsvermögens von       sauberein    Glas, auf welchem sieh kein Film  befindet, beträgt.

   Diese Verminderung des     Re-          flexionsvermögens    ist zwar infolge des     ver-          liältiii";iiiäl,3i,##    hohen     Brechun--sindex    des  Films nicht so gross wie diejenige, welche mit  tels gewisser anderer Verfahren erzielt wird,  dafür ist dieser Film äusserst dauerhaft und  verhältnismässig billig herzustellen.  



       zn     Die Filme können auch auf Oberflächen,  die nicht     kerainiselier    Natur sind, nieder  <B>,</B>     etila#"en    werden. Sie bilden sieh     beispiels-          (ye.4        r#     weise     auf    plastischen Stoffen, wovon die aus       Hariistofformaldehyd    und     Phenolen    herge  stellten plastischen Stoffe besonders gute     Re-          -ultate    -eben.

       All-emein    kann     -esagt    werden,       I        el          dass    Filme unterschiedlich gut auf allen Sub  stanzen, die von     Fluorkieselsäure    nicht     an-          l"el-i-iffen    werden, niedergeschlagen werden       lAinen.    Diese Filme eignen sieh<B>für</B> die     Her-          stellun-    eines     Sehutzbelages        auf    Gegen  <B>,</B>     änden,

      welche dadurch gegen die     Einwir-          -Ü          kun-    von vielen korrodierenden Flüssigkeiten  <I>n</I>  und     o#e#,-eii    die atmosphärischen Einflüsse     ver-          I        #          liältnisinässi,)-        beständl--    werden.

         I    n  Die     -emäss    dieser Erfindung,     nieder-          l"-eselila#,eneil    Filme können derart dünn     her-          n          ,-estellt    werden,     dass    sie das     Reilexions-          vermögen    einer     Glasoberfläehe    vermindern  oder sie können in einer Dicke hergestellt  werden,     dass    sie als     Sehutzbeläge    auf     ver-          sehiedenartigen    Oberflächen dienen können.



  Process for depositing silicon dioxide films. The present invention relates to a ZD method for depositing silicon dioxide films on a surface.



  It has been shown that thin films of silicon dioxide are valuable both for the production of anti-reflective surfaces on optical elements made of (flas) and for protecting more chemically active substances against the corrosive effects of the atmosphere and other surrounding media Numerous methods for separating such silicon (lioxy (Ifiline have now been proposed.

   One of these processes is adapted to the known vapor deposition process, according to which quartz is heated to a temperature which is high enough for the silicon dioxide to evaporate. Due to the extremely high temperature at which silicon dioxide evaporates, this process is expensive and difficult to use.

   It has also been proposed that the silicon dioxide from organic silicates, alkali silicates and silicon compounds decomposed from the steam, such as.

   B. Silieiunitetraehlorid to deposit. Although these methods have been used commercially for certain purposes with more or less success, it has been shown that it is difficult to deposit a flat film of silicon dioxide of precisely defined thickness by means of one of these older methods.



       C, The inventive method for .Niederschlag a Silieiuindioxydfilms on a surface, preferably on a surface of vitreous, ceramic or resin-like structure, such as.

   B. on glass, a urea formaldehyde <B> - </B> condensation product or the like, is characterized in that the object to be coated in a silicon dioxide-containing solution of fluorosilicic acid, which with respect to the Silieiuni- dioxyds in the range of 2 to <B> 16 millimoles of silicon dioxide per liter of the solution is saturated, is immersed, and that the object is left in the solution mentioned,

      until you see a coating - the desired thickness forms.



  Using this process, very thin silicon dioxide films of precisely controlled thickness, e.g. B. on glass; however, the invention is in no way intended to be limited to the deposition of such films on glass fleece.



  In the following, various exemplary embodiments of the method according to the invention are described with reference to the accompanying drawings.



       FIG. 1 is a graphic representation of the rate of deposition of a silicon dioxide film deposited from a treatment bath which can be used in the method according to the present invention. The thickness of the film, atis - expressed in fractions of the corrugation length <B> 5200 Å </B> of light, is shown as a function of the treatment time (in hours).



       Figure 2 is a graph showing the time required to deposit a 1/4 wavelength film from fluosilicic acid solutions adjusted to various degrees of supersaturation with respect to silicon dioxide.

   The time in minutes required for the deposition of a film with a thickness of 1 / # - wavelength (based on green light with the wavelength <B> 5200 Å) </B> is a function of the en2 41 / o boric acid / liter of the acid represented.



       FIG. 3 is a graphic representation in which the change in the excess silicon dioxide solubility as a function of the II, SiF, "K concentration is shown, the concentration of a 1.25 molar II.ssiF , Solution is assumed to be zero. The moles of the silicon dioxide are recorded as a function of the H.iSiF "-I # concentration in moles per liter.



  It has been shown that a very thin, hard, transparent film of silicon dioxide is deposited on an object which has been immersed in a fluorosilicic acid solution that is just supersaturated with the correct amount of silicon dioxide.

   This is in contrast to the phenomenon that a fluosilicic acid solution which is either just saturated with silicic acid or which has a silicon dioxide concentration that is below the saturation point attacks most types of glass.

   on this silicon dioxide, and that of course no silicon dioxide deposition takes place on the surface of objects immersed in this solution. The method according to the invention also differs from the method according to which the surface of a glass object is roughened for the purpose of producing a reflection-reducing film.

   In this last-mentioned process, a solution of fluorosilicic acid that is supersaturated with respect to the silicon dioxide is also used, but the range of supersaturation is somewhat different in the two cases.

   From the extensive similarity that exists between the two types of solutions, however, it is clear what kind of control of the conditions is necessary in order to obtain films according to the invention and to achieve the unexpected results of the method according to the invention.



  A known method for the chemical deposition of a substance is that a solution is supersaturated with regard to this substance, and that conditions are then created which cause the excess substance to precipitate out of the solution. It is known that this method can also be used to obtain a deposition of silica. However, as is also known, the sedimentation of silicon dioxide that usually occurs is a gelatinous mass of cloudy or translucent appearance.

   By using the method according to the invention, an optically thin film which is hard and transparent can be produced. The formation of this film can be controlled with such precision that it has a thickness of LI, a wavelength of any desired component of white light, or that it becomes much thicker, 1, and is more effective as a protective covering. If the film is to be used to reduce reflection, a film can be made whose thickness is a small, odd multiple of <B> 1/1 </B> wavelength.



  In the preferred implementation of the present method, the silicon dioxide oversight is in the range from about 8 to about 1.5 millimoles, and the preferred excess amount in this range is about 10 </B> Millimoles per liter. The fluorosilicic acid seems to act as a catalyst in the deposition of the silicon dioxide.



  The treatment solutions can be prepared in various ways. It must first be emphasized that the literature generally ascribes the ideal formula ILSW to fluorosilicic acid, but that, as it has unexpectedly shown, commercially available fluorosilicic acid

   a considerable amount of excess silicon dioxide is able to dissolve, so that the final, stable solution obtained has a ratio of <B> M </B> Zn fluorine and silicon dioxide which, based on a guram equivalent basis, is closer to <B> 5 </B> to <B> 1 </B> than to the value of <B> 6 </B> züi <B. corresponding to the theoretical formula > 1 </B> lies.

    This #, - esaturated solution is obtained in such a way that as much silicon dioxide as is absorbed at 250 ° C. is dissolved in commercially available fluorosilicic acid.

   In practice, the fluorosilicic acid is brought into contact with solid reagent silica for one or two hours, so that the additional amount of silicon dioxide is absorbed.

   This saturated solution is then supersaturated to the desired extent. To achieve this, the solution can simply be diluted with water or boric acid can be added, so that the solubility of the silicon dioxide is reduced, or the solution,

      can be mixed with sodium silicate for the purpose of introducing the <B> M </B> silicon dioxide excess.



  The relative amounts of excess and insufficient amounts of silicon dioxide in relation to the amount required by the mold, which are contained in saturated solutions of various concentrations of fluorosilicate sate in .lol per liter, are shown in FIG 3 recorded.

   This figure is a graphic <B> C </B> representation of the experimental results obtained when using a <B> 1.25 </B> mole 11., siF, per liter of bleeding solution, this concentration <B> 7 </B> of 1.25 mol per liter is fixed as a reference or zero point.

   From this graphic representation it can be seen that as the concentration of fused silica in mol per liter increases, increasing amounts of silicic acid are dissolved per 31ol of 11 SiF.

   So <U> </U> shows </U> this gra- 1) Iiiselie representation- for example, that a '2,5itiol, ii-e solution of H., SiF "almost <B> 2 </B> 12 milliniols more silicon- tundioxyd per mol dissolves as a 1., 25 molar solution of the acid.



  The preparation of the treatment solution is described in the following examples: <I> Example<B>1:</B> </I> One liter of a 2.5 molar solution of. Fluorosilicic acid is saturated with silicic acid at <B> 251) C </B>. This solution is then diluted with the same volume of water, so that 2 liters of a 1.25 molar solution are created.

   The solution obtained is zero supersaturated with silicon dioxide, to the extent of about 12 millimoles. per mole. 1-I, SiF ,; or <B> 15 </B> millimoles. per liter of <U> solution. </U> Silicon dioxide is deposited smoothly and evenly from this solution.



  The curve in FIG. 1 shows the speed of the silicon dioxide separating on a glass surface when a glass plate is immersed in this solution. The figure shows that a film can be produced in about 14 hours a thickness of 1 # wavelength of green light of <B> 5200 A </B> is deposited, while in about <B> 30 </B> hours a film of a] thickness of "'2", Wave length -, e is divorced.

   The speed of separation decreases somewhat with increasing duration. The thickness of the deposit is determined visually from the interference pattern.



  To compare the results obtained by diluting a 2.5 molar solution of fluorosilicic acid saturated with silicon dioxide with various amounts of water, samples of the basic solution from Example 1 are diluted with water in this way that solutions are formed which contain <B> 10 </B> to <B> 90 </B> 1 / o of the menos of <B> 2.5 </B> mol of acid.

    At most of these degrees of dilution, films result which, in contrast to those films which are formed when diluting to about <B> 50 </B> 1 / o of the 2.5 molar acid concentration, are unsatisfactory, since either in the solution too large or too small an excess of silicon dioxide is formed.

   From the solutions, which contain much larger quantities of water and which are too strongly over-saturated with regard to the silicon dioxide (or the silicic acid), a heavy, white -Nie- (-lersehla ") is deposited, while from solutions which contain considerably less water, although very] a silicon unidio- #, v (-Ifiliii is deposited, however,

  the rate of deposition is disproportionately low.



  <I> Example 2: </I> Boric acid is added in various amounts to a 1.4 molar fluorosilicate solution which has been saturated with silicon dioxide at <B> 250 0 </B>, namely in amounts from 20 to 40 a ' 4 1 / o iger boric acid per liter of the fluorosilicic acid solution, and the object to be drawn over is immersed in this solution.

   The time required for the deposition of a film with a thickness of 1/1 wavelength of green light of <B> 5200 Å </B> at <B> 55 "C is in accordance with the quantities of this range 2. The addition of 20% of the 4 1 / o strength boric acid per liter of the fluorosilicic acid solution produces a solution which is over-saturated with respect to the silicon dioxide with an amount of 8 millimoles .

   Adding 40 a 'results in a supersaturation of <B> 16 </B> millimoles. If boric acid quantities are used that are sufficient to produce a silicon dioxide excess of more than about 16 millimoles per liter, a cloudy, white deposit results instead of a hard one transparent film.

   Amounts that are significantly less than 20% mean that the deposition of the film extends over a very long period of time, and when an amount is used which corresponds to a reduction of the silicon dioxide excess to less than about 2 millimoles per liter, there is no film formation at all.



  In the above examples only two methods for supersaturating a fluorosilicic acid solution saturated with silicon dioxide are described. However, other reagents of the same value can be used. The concentration of fluorosilicic acid is not at all critical within certain limits.

   It is clear that an overly dilute solution is impractical in that it is difficult or even impossible to adjust the overuse on the silica to the correct level, while a concentration above 2.5 B> Mol cannot be obtained commercially until now.



  The speed of the silicon dioxide deposition also depends on the temperature of the solution, and it is greater at higher temperatures. If the temperature is too high, the deposit will turn milky. The amount of silicon dioxide necessary to supersaturate the fluorosilica solution changes naturally with temperature. It has been found, however, that the change for different molar concentrations of flaosilicic acid is very irregular and different.

   It has been found, for example, that in the case of a 1.25 molar solution, the quantities required for a solution at <B> 250 </B> C and one at 451 <B> C </B> are the same.

   At other concentrations, however, this amount changes, and for most concentrations above <B> 1.25 </B> moles the amount at 450 <B> C </B> is significantly less than at 2511 <B> C. Apart from the specific concentration of the fluorosilicic acid within usable limits or from the usual separation stone temperatures, the supersaturation level with respect to the silicon dioxide (or the silicon dioxide, which is required within a reasonable time for the production of g-LI-th films) remains Silica)

   within the same limits. It has been shown that the optimum temperature range to be maintained for correct separation is between about 25 (1 C and about <B> 591 C </B>. Temperatures of at least <B> 700 C </B> can be Relatively low concentrations of fluorosilicic acid can be used, while temperatures of less than <B> 250 C </B> can be used, especially when the concentrations of fluorosilicic acid are relatively high.

   However, it is not advisable to use concentrations of the higher range if higher temperatures are used at the same time, since the solutions become slightly cloudy and are no longer suitable for the deposition of films.



  The films produced by the deposition of silicon dioxide using the process described are hard and smooth. Their bre- (-Iiiiii #, - siiidex 1) eträ ", t 1.46 and corresponds to those of solid silicon dioxide. It is possible that these films form easily on any kind of glass or other ceramic surfaces.

   A film produced on glass with a refraction index <B> 1.52 </B> and having a thickness of one l-wavelength of the cyrreen light of <B> 5200 A </B> has a Blue interference color on Lind has a reflectivity which is <B> 59 </B> II / o of the reflectivity of clean glass on which there is no film.

   This reduction in reflectivity is not as great as that which is achieved by certain other processes, but this film is extremely durable and is due to the loss of the film, iiiäl, 3i, ## high refraction relatively cheap to manufacture.



       zn The films can also be deposited <B>, </B> etila # "on surfaces that are not kerainiselier nature. They form, for example, (ye.4 r # on plastic materials, of which those made of hariistofformaldehyde and Phenols made plastic substances particularly good results.

       All-in-all, it can be said that films are deposited to varying degrees on all substances that are not deposited by fluorosilicic acid. These films are suitable for <B> for </B> the production of a protective covering on objects <B>, </B>

      which as a result are resistant to the effects of many corrosive liquids and o # e #, - eii the atmospheric influences.

         In the - according to this invention, low-l "-eselila #, one film can be made so thin that they reduce the reflection capacity of a glass surface or they can be made in a thickness that they as Protective coverings can serve on various types of surfaces.


    

Claims (1)

<B>PATENTANSPRUCH:</B> Verfahren zum Niederschlagen eines Sili- eiiimdioxvdfilnis auf einer Oberfläche, vor- zu-sweise auf einer Oberfläche glasartiger, <B>M</B> keramiselier oder liarzartiger Struktur, wie z. <B> PATENT CLAIM: </B> Method for depositing a silicon dioxide film on a surface, preferably on a surface of a glass-like, <B> M </B> ceramic or resin-like structure, such as B. auf Glas, einem Harnstofformaldehyd- Kon-densationsprodukt oder dergleichen, da durch -gekennzeichnet, dass der zu überzie hende Gegenstand in eine Silieiumdioxyd ent haltende Lösung von Fluorkieselsäure, die bezüglich des Silieiumdioxvds im Bereich von <B>21</B> bis<B>16</B> Millimol Silieiumdioxyd pro Liter der Lösung übersättigt ist, eingetauelit wird, Lind dass man den Gegenstand in der genannten Lösung- lässt, B. on glass, a urea-formaldehyde condensation product or the like, as indicated by the fact that the object to be coated in a silicon dioxide ent containing solution of fluorosilicic acid, the silicon dioxide in the range of <B> 21 </B> to <B> 16 </B> millimoles of silicon dioxide per liter of the solution is supersaturated, is immersed, and that the object is left in the solution mentioned, bis sieh ein Vberzug der ge wünschten Dicke gebildet hat. UNTERANSPRüCHE: <B>1.</B> Verfahren nach Patentansprueh, da durch -ekennzeichnet, dass der genannte Sili- ZD <B>C</B> ei-Limdioxydfilm ein die Reflexion vermin dernder überzug ist, dessen Dicke mindestens l# einer Wellenlänge einer bestimmten Kom ponente des weissen Lichtes beträgt. 2. until a coating of the desired thickness has formed. SUBClaims: <B> 1. </B> Method according to patent claim, because it indicates that the said silicon dioxide film is a reflection-reducing coating, the thickness of which is at least l # a wavelength of a certain component of white light is. 2. Verfahren nach Patentanspruch und Unteransprueb, <B>1,</B> dadurch gekennzeichnet, dass der genannte Siliciumdioxydlilm ein die Reflexion vermindernder Überzug ist, dessen Dicke ein kleines, ungerades Vielfaches von lZ einer Wellenlänge einer bestimmten Kom ponente des weissen Lichtes beträgt. <B>3.</B> Verfahren nach Patentansprueh, da durch gekennzeichnet, dass zuerst eine mit Siliei-Linidiox#-d gesättigte Lösung hergestellt wird, die dann in eine mit Siliciumdioxyd übersättigte Lösung übergeführt wird. 4. Method according to patent claim and sub-claim, <B> 1, </B> characterized in that said silicon dioxide film is a reflection-reducing coating, the thickness of which is a small, odd multiple of 1Z of a wavelength of a certain component of white light. <B> 3. </B> Method according to patent claim, characterized in that a solution saturated with silicon-linidiox # -d is first prepared, which is then converted into a solution supersaturated with silicon dioxide. 4th Verfahren nach Patentanspruch und Unteransprueh <B>3,</B> dadurch gekennzeichnet, dass die genannte gesättigte Lösung durch Zusatz einer kleinen Menge Borsäure mit Silieiumdioxyd übersättigt wird. <B>5.</B> Verfahren nach Patentansprueh und Unteransprueh <B>3,</B> dadurch gekennzeichnet, dass die Herstellung der übersättigten Lösung durch Verdünnen der gesättigten Lösung mit Wasser erfolgt. Method according to patent claim 3, characterized in that the said saturated solution is supersaturated with silicon dioxide by adding a small amount of boric acid. <B> 5. </B> Method according to patent claim and sub-claim 3, characterized in that the supersaturated solution is produced by diluting the saturated solution with water. <B>6.</B> Verfahren nach Patentansprueh und Unteransprueh <B>3,</B> dadurch gekennzeichnet, dass die Herstellung der übersättigten Lösung durch Zuuabe eines Reagens, welches die für die Abscheidung verfügbare Menge an Sili- ei-Liindioxyd erhöht, zur genannten gesät tigten Lösung erfolgt. <B> 6. </B> Method according to patent claim and sub-claim 3, characterized in that the production of the supersaturated solution is carried out by adding a reagent which contains the amount of silicon dioxide available for the deposition increased, takes place to said saturated solution. <B>7.</B> Verfahren nach Patentansprueh, da durch gekennzeichnet, dass die übersättigung an Siliciumdioxyd <B>10</B> Millimol pro Liter der Lösung beträgt, <B>8.</B> Verfahren nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass die Übersättigung an Siliciumdioxyd <B>15</B> Millimol pro Liter der Lösung beträgt. <B> 7. </B> Method according to patent claim, characterized in that the supersaturation of silicon dioxide is <B> 10 </B> millimoles per liter of the solution, <B> 8. </B> method according to claim, characterized in that the supersaturation of silicon dioxide is 15 millimoles per liter of the solution. <B>9.</B> Verfahren nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass ein keramischer Gegenstand in eine praktisch 1,25molare Fluorkieselsäurelösung, die bezüglich des Sili- ei-Limdioxyds im Bereich von 2 bis<B>16</B> Milliniol Siliciumdiö.xYd Pro Liter der Lösung über sättigt ist, eingetaueht wird. <B> 9. </B> Method according to patent claim, characterized in that a ceramic object is in a practically 1.25 molar fluorosilicic acid solution, which is in the range from 2 to <B> 16 </B> with regard to the silicon dioxide Milliniol Siliciumdiö.xYd Per liter of the solution is over saturated, is thawed. <B>10.</B> Verfahren nach Patentanspruch, da durch gekennzeichnet, dass ein zu überzie hender Glasgegenstand in eine Fluorkiesel- säurelösung eingetaucht wird, die eine molare Konzentration von<B>1,25</B> bis<B>2,5</B> und eine Tem peratur aufweist, die<B>700 C</B> nicht übersteigt, und dass die genannte Lösung bezüglich des Siliciumdioxyds im Bereich von<B>8</B> bis<B>16</B> Milli- mol Siliciumdioxyd pro Liter Lösung Übersät tigt ist. <B> 10. </B> Method according to patent claim, characterized in that a glass object to be coated is immersed in a fluorosilicic acid solution which has a molar concentration of <B> 1.25 </B> to <B> 2.5 </B> and a temperature which does not exceed <B> 700 C </B>, and that said solution with regard to the silicon dioxide is in the range from <B> 8 </B> to <B> 16 </B> Millimoles of silicon dioxide per liter of solution is oversaturated.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0038281A3 (en) * 1980-04-16 1982-01-06 Firma Carl Zeiss Process for modifying reflexion properties of surfaces

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