[go: up one dir, main page]

BR9904435A - Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular - Google Patents

Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular

Info

Publication number
BR9904435A
BR9904435A BR9904435-8A BR9904435A BR9904435A BR 9904435 A BR9904435 A BR 9904435A BR 9904435 A BR9904435 A BR 9904435A BR 9904435 A BR9904435 A BR 9904435A
Authority
BR
Brazil
Prior art keywords
manufacturing
angular
sensor
ratio
proportion
Prior art date
Application number
BR9904435-8A
Other languages
English (en)
Inventor
Terje Kvisteroey
Henrick Jakobsen
Original Assignee
Sensonor Asa
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sensonor Asa filed Critical Sensonor Asa
Publication of BR9904435A publication Critical patent/BR9904435A/pt

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
    • G01C19/5642—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams
    • G01C19/5656—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating bars or beams the devices involving a micromechanical structure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Pressure Sensors (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

Patente de Invenção: "MéTODO PARA A FABRICAçãO DE UM SENSOR DE TAXA OU PROPORçãO ANGULAR" Trata-se de um método de fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular por meio da fabricação de componentes do sensor de proporção angular sobre um substrato de silício, os componentes do sensor de proporção angular incluindo uma ou mais massas, uma viga de suporte e condutores enterrados. São providos dispositivos de detecção e os componentes são vedados ou selados em uma cavidade entre uma primeira placa de vidro e uma segunda placa de vidro por meio de ligação anódica. Isto permite que sensores de taxa ou proporção angular sejam fabricados usando-se pastilhas de silício de baixo custo.
BR9904435-8A 1998-10-12 1999-10-08 Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular BR9904435A (pt)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP98308263A EP0994330B1 (en) 1998-10-12 1998-10-12 Method for manufacturing an angular rate sensor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
BR9904435A true BR9904435A (pt) 2000-10-24

Family

ID=8235097

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
BR9904435-8A BR9904435A (pt) 1998-10-12 1999-10-08 Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6319729B1 (pt)
EP (1) EP0994330B1 (pt)
JP (1) JP2000155030A (pt)
KR (1) KR20000028948A (pt)
CN (1) CN1143121C (pt)
BR (1) BR9904435A (pt)
DE (1) DE69836813T2 (pt)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10055081A1 (de) 2000-11-07 2002-05-16 Bosch Gmbh Robert Mikrostrukturbauelement
US7145704B1 (en) 2003-11-25 2006-12-05 Cheetah Omni, Llc Optical logic gate based optical router
US6673697B2 (en) 2002-04-03 2004-01-06 Intel Corporation Packaging microelectromechanical structures
EP1522521B1 (en) 2003-10-10 2015-12-09 Infineon Technologies AG Capacitive sensor
CN1333257C (zh) * 2004-07-16 2007-08-22 北京大学 射流角速度传感器及其制备方法
EP1783095A1 (en) * 2005-11-04 2007-05-09 Infineon Technologies SensoNor AS Excitation in micromechanical devices
EP1783094A1 (en) * 2005-11-04 2007-05-09 Infineon Technologies SensoNor AS Excitation in micromechanical devices
DE602007012995D1 (de) * 2007-01-31 2011-04-21 Infineon Technologies Ag Mikromechanischer Drucksensor
FI119895B (fi) * 2007-10-05 2009-04-30 Vti Technologies Oy Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi
US20120146452A1 (en) * 2010-12-10 2012-06-14 Miradia, Inc. Microelectromechanical system device and semi-manufacture and manufacturing method thereof
DE102010063857A1 (de) * 2010-12-22 2012-06-28 Robert Bosch Gmbh Mikromechanischer Sensor zur Messung von Drehraten sowie entsprechendes Verfahren
CN102607545A (zh) * 2012-04-12 2012-07-25 厦门大学 基于碳纳米管阵列场发射的微机械陀螺仪
CN109856425B (zh) * 2018-04-20 2024-08-13 黑龙江大学 一种单片集成三轴加速度传感器及其制作工艺

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4022495A1 (de) * 1990-07-14 1992-01-23 Bosch Gmbh Robert Mikromechanischer drehratensensor
DE4102249A1 (de) 1991-01-23 1992-07-30 Univ Chemnitz Tech Verfahren zur erzeugung einer elektrisch leitenden randzone bei werkstuecken aus gesinterter siliziumkarbidkeramik
US5635639A (en) * 1991-09-11 1997-06-03 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Micromechanical tuning fork angular rate sensor
JP2533272B2 (ja) * 1992-11-17 1996-09-11 住友電気工業株式会社 半導体デバイスの製造方法
JP3114570B2 (ja) * 1995-05-26 2000-12-04 オムロン株式会社 静電容量型圧力センサ
JPH09196682A (ja) * 1996-01-19 1997-07-31 Matsushita Electric Ind Co Ltd 角速度センサと加速度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
KR20000028948A (ko) 2000-05-25
CN1143121C (zh) 2004-03-24
EP0994330B1 (en) 2007-01-03
CN1250871A (zh) 2000-04-19
DE69836813T2 (de) 2007-10-11
JP2000155030A (ja) 2000-06-06
EP0994330A1 (en) 2000-04-19
DE69836813D1 (de) 2007-02-15
US6319729B1 (en) 2001-11-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
BR9904435A (pt) Método para a fabricação de um sensor de taxa ou proporção angular
NO20040112L (no) Gulvpanel med tetningsinnretning
WO2000068640A3 (en) Micro-machined angle-measuring gyroscope
BR9712847A (pt) Dispositivo de segurança incorporado a células de dinheiro
BR9810825A (pt) Processo para determinar uma posição de um terminal móvel comunicando dentro de um sistema de radiocomunicação, e, sistema de telecomunicações
BR0102876A (pt) Sensor e método para a detecção de uma direção de rotação de um corpo
BR0300955A (pt) Sensor de pressão do tipo capacitivo e sistema sensor de pressão
BR0008133A (pt) Meio para sustentação de um dispositivo de proteção em um estrutura de armação
AU5929296A (en) Single crystal silicon sensor with high aspect ratio and cur vilinear structures and associated method
BRPI0503910A (pt) sistema e método para dispositivo de display com substáncia de reforço
BRPI0511880A (pt) método para fabricar um sensor de imagem, e, sensor de imagem
WO2001093310A3 (fr) Dispositif semiconducteur a injection electronique verticale et son procede de fabrication
BR0101521A (pt) Ip de suporte em interface abis
BR0004579A (pt) Dispositivo micromecânico e método para a sua fabricação
ATE378281T1 (de) Einstellbares, selbst-korrigierendes bahnfaltungssystem
PE20001326A1 (es) Composicion farmaceutica que comprende cefuroxima-axetil, polimero y/o adsorbente
IT1299420B1 (it) Dispositivo automatico per la riduzione degli effetti della forza centrifuga su autoveicoli in curva
ATE234868T1 (de) Stabilisator für arzneimittel
PT1341471E (pt) Dispositivo de retencao para um modelo de protese dentaria ou de armacao basica
ATE299294T1 (de) Vorrichtung zur aufnahme von substraten
DK1060025T3 (da) System til at udføre analyser på en svævende dråbe
ES2103778T3 (es) Metodo para la fabricacion de un dispositivo de memoria semiconductor, que tiene un condensador.
ATE301232T1 (de) Glasflügel
BR0104407A (pt) Sistema para acionar um fechamento de veìculo e método para identificar a posição de um fechamento móvel
DK1115545T3 (da) Indretning og fremgangsmåde til overførsel af mikrostrukturer

Legal Events

Date Code Title Description
B08F Application dismissed because of non-payment of annual fees [chapter 8.6 patent gazette]

Free format text: REFERENTE A 6A,7A E 8A ANUIDADES.

B08K Patent lapsed as no evidence of payment of the annual fee has been furnished to inpi [chapter 8.11 patent gazette]

Free format text: REFERENTE AO DESPACHO 8.6 PUBLICADO NA RPI 1928 DE 18/12/2007.