BE1003005A6 - Procede de fabrication d'une poudre de nitrure metallique et poudres de nitrures metalliques obtenues par ce procede. - Google Patents
Procede de fabrication d'une poudre de nitrure metallique et poudres de nitrures metalliques obtenues par ce procede. Download PDFInfo
- Publication number
- BE1003005A6 BE1003005A6 BE8900309A BE8900309A BE1003005A6 BE 1003005 A6 BE1003005 A6 BE 1003005A6 BE 8900309 A BE8900309 A BE 8900309A BE 8900309 A BE8900309 A BE 8900309A BE 1003005 A6 BE1003005 A6 BE 1003005A6
- Authority
- BE
- Belgium
- Prior art keywords
- metal
- process according
- metal nitride
- powder
- nitride
- Prior art date
Links
- 239000000843 powder Substances 0.000 title claims abstract description 44
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 38
- 239000002184 metal Substances 0.000 title claims abstract description 38
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 28
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 11
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 9
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 22
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 11
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 10
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 4
- XZMCDFZZKTWFGF-UHFFFAOYSA-N Cyanamide Chemical compound NC#N XZMCDFZZKTWFGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001912 cyanamides Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000012429 reaction media Substances 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 125000003158 alcohol group Chemical group 0.000 claims 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 abstract description 9
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 abstract 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 12
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 9
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- 229910000000 metal hydroxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 5
- MYWQGROTKMBNKN-UHFFFAOYSA-N tributoxyalumane Chemical compound [Al+3].CCCC[O-].CCCC[O-].CCCC[O-] MYWQGROTKMBNKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N O.O.O.[Al] Chemical compound O.O.O.[Al] MXRIRQGCELJRSN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 4
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 3
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 3
- -1 n-propyl isopropyl Chemical group 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 3
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 3
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 125000001183 hydrocarbyl group Chemical group 0.000 description 2
- 230000003301 hydrolyzing effect Effects 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 2
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003570 air Substances 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N azanylidyneniobium Chemical compound [Nb]#N CFJRGWXELQQLSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SKKMWRVAJNPLFY-UHFFFAOYSA-N azanylidynevanadium Chemical compound [V]#N SKKMWRVAJNPLFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 238000004320 controlled atmosphere Methods 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 239000008240 homogeneous mixture Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011819 refractory material Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N zirconium nitride Chemical compound [Zr]#N ZVWKZXLXHLZXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0726—Preparation by carboreductive nitridation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/064—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/068—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with silicon
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
Procédé de fabrication d'une poudre de nitrure métallique, selon lequel on chauffe, en atmosphère non oxydante, une poudre d'un précurseur comprenant un composé métallique et un composé carboazoté, que l'on obtient en hydrolysant un alcoolate métallique au moyen d'une solution aqueuse du composé carboazoté. Le procédé s'applique notamment à la fabrication de poudres contenant plus de 90 % en poids de nitrure d'aluminium.
Description
Procédé de fabrication d'une poudre de nitrure métallique et poudres de nitrures métalliques obtenues par ce procédé L'invention a pour objet un procédé pour la fabrication de poudres de nitrures métalliques. Les poudres formées de cristaux de nitrures métalliques trouvent des applications dans divers domaines de la technique, notamment dans la fabrication des matériaux réfractaires, dans l'industrie des céramiques ainsi que pour la fabrication de composants électroniques. En particulier, les remarquables propriétés électriques et thermiques du nitrure d'aluminium et du nitrure de bore destinent naturellement ces produits à la fabrication des circuits électriques miniaturisés. Ces applications industrielles des nitrures métalliques requièrent toutefois des produits de très grande pureté, afin d'éviter que leurs propriétés intrinsèques soient affectées par la présence d'impuretés. Elles requièrent par ailleurs des poudres finement divisées, formées de cristaux réguliers de dimensions inférieures au micron et se prêtant bien aux techniques de mise en forme et de frittage. Pour fabriquer des nitrures métalliques à l'état de poudres, on prépare généralement un produit précurseur incluant un composé métallique et un composé carboazoté et on soumet ensuite ce produit précurseur à un traitement thermique approprié pour faire réagir le composé métallique et le composé carboazoté au sein du précurseur. Ainsi, conformément au procédé décrit dans le document GB-A-874165, on mélange de l'acide borique et de la mélamine et on chauffe le mélange précurseur ainsi obtenu, sous une atmosphère exempte d'oxygène. Dans les procédés décrits dans les documents US-A-3141737 (NORTON COMPANY) et JP-A-49/45479 (DENKI KAKAGU KOGYO), on mélange de l'aluminium métallique et de la cyanamide ou un dérivé de la cyanamide et le précurseur résultant du mélange est ensuite chauffé sous une atmosphère d'azote ou d'ammoniac. Selon le document JP-A-61/31357 (BRIDGESTONE K.K.), on prépare un précurseur solide en dispersant un composé métallique dans une résine liquide que l'on polymérise ensuite et on soumet le précurseur à une calcination sous une atmosphère d'azote. Ces procédés connus permettent difficilement d'obtenir des nitrures métalliques de grande pureté. Cette difficulté paraît liée à la difficulté de réaliser un précurseur à l'état d'une poudre d'homogénéité suffisante. L'invention remédie à cet inconvénient des procédés connus, en fournissant un procédé nouveau, qui conduit aisément à l'obtention de poudres homogènes de nitrures métalliques de grande pureté. L'invention concerne dès lors un procédé de fabrication d'une poudre de nitrure métallique, selon lequel on chauffe, en atmosphère non oxydante, une poudre d'un précurseur comprenant un composé métallique et un composé carboazoté; selon l'invention, on met en oeuvre un précurseur obtenu en hydrolysant un alcoolate métallique au moyen d'une solution aqueuse du composé carboazoté. Dans le procédé selon l'invention, le composé carboazoté est par définition un composé associant du carbone et de l'azote, soluble dans l'eau et susceptible d'être décomposé par chauffage à haute température. On recommande les composés carboazotés qui ne contiennent pas d'atomes d'oxygène. Les composés carboazotés contenant exclusivement du carbone, de l'hydrogène et de l'azote sont préférés, tels que la cyanamide, la dicyandiamide et la tricyantriamide (ou mélamine). L'alcoolate métallique est tout composé dans lequel un métal est relié par l'intermédiaire d'un atome d'oxygène, à un groupement hydrocarboné tel qu'un groupement aromatique ou un groupement aliphatique linéaire ou cyclique, saturé ou insaturé, non substitué ou substitué partiellement ou totalement. Les alcoolates métalliques à groupements aliphatiques sont spécialement recommandés; ceux à groupements aliphatiques saturés, non substitués sont préférés, tels que, par exemple, les groupements méthyl, éthyl, n-propyl isopropyl, n-butyl et isobutyl. L'hydrolyse des alcoolates métalliques est une technique bien connue pour la production de poudres d'oxydes métalliques hydratés (Better Ceramics Through Chemistry - Materials Research Society Symposia Proceedings - Vol. 32 - 1984 - Elsevier Science Publishing Co., Inc. - BRUCE FEGLEY et al. : "Synthesis, characterization and processing of monosized ceramic powders", pages 187 à 197; brevet US-A-4543341). Dans le procédé selon l'invention, l'hydrolyse de l'alcoolate métallique a pour fonction de décomposer celui-ci en formant un oxyde ou hydroxyde métallique, généralement hydraté, qui précipite. Elle est réalisée en mélangeant l'alcoolate métallique avec la solution aqueuse du composé carboazoté de manière que, dans le précurseur, celui-ci soit intimement mélangé à l'oxyde ou hydroxyde métallique qui a précipité. La quantité d'eau mise en oeuvre avec la solution aqueuse du composé carboazoté doit être au moins égale à la quantité stoechiométrique correspondant à la formation théorique d'oxyde métallique selon l'équation : <EMI ID=1.1> dans laquelle M et R désignent respectivement un métal et un groupement hydrocarboné et n désigne la valence du métal M dans l'alcoolate M(OR)n' On préfère mettre en oeuvre une quantité d'eau pour laquelle le rapport molaire H20/M(OR)n est au moins égal et de préférence supérieur à la valence n du métal. Le choix de la concentration de la solution aqueuse en composé carboazoté est défini par la nécessité de réaliser dans le précurseur des teneurs relatives en oxyde métallique et en composé carboazoté, qui soient compatibles avec le nitrure métallique à fabriquer. Il va dès lors dépendre de divers paramètres tels que le nitrure métallique à fabriquer, le composé carboazoté sélectionné et sa solubilité dans l'eau, l'excès éventuel d'eau à la réaction d'hydrolyse. L'hydrolyse peut être effectuée dans l'air ambiant. Toutefois, pour éviter une décomposition incontrôlée de l'alcoolate métallique, il est souhaitable que l'hydrolyse soit exécutée sous une atmosphère gazeuse exempte d'humidité. L'air sec, déshydraté, l'azote et l'argon sont des exemples d'atmosphères utilisables dans le procédé selon l'invention. En principe, la température et la pression ne sont pas critiques. En général, dans la majorité des cas, on peut travailler à la température ambiante et la pression atmosphérique normale. Dans l'exécution du procédé selon l'invention, l'hydrolyse est réglée pour précipiter l'oxyde ou hydroxyde métallique hydraté à l'état d'une poudre, sans former de gel. Pour atteindre cet objectif, il est recommandé de mélanger l'alcoolate métallique et la solution aqueuse du composé carboazoté, de manière que le mélange résultant soit homogène le plus rapidement possible, avant que débute la nucléation. A cet effet, dans une forme d'exécution préférée du procédé selon l'invention, l'alcoolate métallique est mis en oeuvre à l'état d'une solution organique. Le cas échéant, il convient que le solvant organique de l'alcoolate soit exempt d'eau. Les alcools et leurs dérivés conviennent bien, notamment le méthanol, l'éthanol, le n-propanol, l'isopropanol, le n-butanol et l'isobutanol. Le taux de dilution optimum de l'alcoolate métallique dans le solvant organique dépend de divers facteurs, notamment de l'alcoolate mis en oeuvre et de la température de travail; il doit être déterminé dans chaque cas particulier par un travail de routine au laboratoire. Pour mélanger la solution organique de l'alcoolate métallique et la solution aqueuse du composé carboazoté, on peut opérer de la manière décrite dans la demande de brevet britannique GB-A-2168334. A l'issue de la réaction d'hydrolyse, on recueille une poudre de fines particules d'oxyde ou hydroxyde métallique hydraté amorphe et du composé carboazoté. La poudre contient généralement aussi des résidus organiques, dans le cas où l'alcoolate métallique a été mis en oeuvre à l'état d'une solution organique. La poudre recueillie à l'issue de l'hydrolyse constitue le précurseur du nitrure métallique à fabriquer. Elle est soumise à un traitement thermique approprié en atmosphère non oxydante, au cours duquel l'oxyde métallique réagit avec le composé carboazoté, en formant du nitrure métallique qui cristallise et que l'on recueille et un résidu gazeux qui est évacué. Les conditions du traitement thermique dépendent du nitrure métallique que l'on cherche à fabriquer et doivent être déterminées dans chaque cas particulier par un travail de routine au laboratoire. En pratique, il doit être réglé pour cristalliser le nitrure métallique, en évitant toutefois un frittage de la poudre. A titre d'exemple, dans le cas du nitrure d'aluminium, on peut l'exécuter à une température comprise entre 1000 et 1500[deg.]C. Le traitement thermique est de préférence réalisé sous une atmosphère d'azote ou d'ammoniac. Préalablement au traitement thermique, la poudre du précurseur peut éventuellement être soumise à un séchage, dans le but d'évacuer l'eau et le solvant organique qui l'imprègnent. Le cas échéant, le séchage doit être opéré en atmosphère contrôlée, exempte d'oxygène. En pratique, il est opéré sous atmosphère inerte (par exemple sous azote ou argon), à une température inférieure à 200[deg.]C, de préférence n'excédant pas 100[deg.]C. Dans une forme de réalisation particulière du procédé selon l'invention, l'alcoolate métallique est mis en oeuvre à l'état dissous dans un solvant organique et, à l'issue de l'hydrolyse, on soumet le milieu réactionnel à une évaporation pour évacuer le solvant organique, avant de recueillir la poudre. Cette forme de réalisation du procédé selon l'invention assure un rendement optimum en réactifs mis en oeuvre, en assurant une précipitation du composé carboazoté dissous dans le solvant organique à l'issue de l'hydrolyse. Dans une autre forme de réalisation, qui est préférée, l'alcoolate métallique est également mis en oeuvre à l'état dissous dans un solvant organique et on sélectionne celui-ci et le composé carboazoté pour que ce dernier soit insoluble dans le solvant organique. Cette forme de réalisation de l'invention réalise une coprécipitation de l'oxyde ou hydroxyde métallique hydraté et du composé carboazoté au cours de l'hydrolyse. Elle présente ainsi l'avantage d'améliorer l'homogénéité du précurseur et, par voie de conséquence, elle améliore la pureté du nitrure métallique et sa morphologie cristalline. Le procédé selon l'invention s'applique à la fabrication de tous les nitrures métalliques. Il est spécialement adapté à la production de poudres de nitrures métalliques, destinées à la mise en oeuvre de matériaux céramiques qui, par définition, sont des matériaux inorganiques non métalliques, dont la mise en oeuvre au départ d'une poudre requiert des traitements à haute température, tels que des traitements de fusion ou de frittage (P. William Lee - "Ceramics" - 1961 - Reinhold Publishing Corp. page 1; Kirk Othmer Encyclopedia of Chemical Technology - Third edition - Volume 5 - 1979, John Wiley & Sons, USA - pages 234 à 236 : "Ceramics, scope"). Le procédé selon l'invention s'applique par exemple à la production du nitrure de silicium, du nitrure de bore, du nitrure d'aluminium, du nitrure de vanadium, du nitrure de niobium, du nitrure de tantale, du nitrure de titane, du nitrure de zirconium. Il trouve un débouché intéressant pour la fabrication de nitrures métalliques de très grande pureté, destinés à l'industrie électronique tels que, par exemple, le nitrure d'aluminium, le nitrure de silicium et le nitrure de bore. L'invention concerne dès lors également des poudres de nitrures métalliques, en particulier des poudres de nitrure d'aluminium, de bore ou de silicium de très grande pureté, caractérisées par une teneur supérieure à 90 % en poids de nitrure métallique. Les exemples dont la description suit servent à illustrer l'invention. Première série d'essais (essais conformes à l'invention) Les exemples 1 à 3 dont la description suit ont trait à des essais conformes au procédé selon l'invention. Exemple 1 On a d'abord préparé séparément : - une solution de butylate d'aluminium dans du 2-méthoxyéthanol, contenant 1,9 mole de butylate d'aluminium par litre; - une solution aqueuse de dicyandiamide, contenant 1,5 mole de dicyandiamide par litre. Dans une chambre de réaction maintenue sous atmosphère d'azote, on a mélangé la solution de butylate d'aluminium et la solution aqueuse de dicyandiamide, dans des proportions réglées pour qu'il y corresponde un rapport molaire C2H4N4 : Al égal à 1,52. Le mélange a été réalisé de la manière exposée dans le document GB-A-2168334. A l'issue de la réaction d'hydrolyse, on a soumis le mélange réactionnel à une évaporation et on a recueilli la poudre formée d'un précipité amorphe d'oxyde d'aluminium hydraté et de dicyandiamide. On a placé la poudre dans un creuset en graphite et on l'a chauffée dans un four à 1400[deg.]C, sous atmosphère d'azote pendant six heures. La poudre recueillie à l'issue du chauffage s'est révélée contenir 91,1 Z en poids de nitrure d'aluminium, le solde (8,9 %) étant constitué par de l'alumine, du carbone et de l'oxynitrure d'aluminium. Exemple 2 On a répété l'essai de l'exemple 1, dans les conditions suivantes : - la solution de butylate d'aluminium et la solution aqueuse de dicyandiamide ont été mises en oeuvre dans des proportions réglées pour réaliser un rapport molaire C2H4N4 : Al égal à 3; - le traitement thermique a été effectué dans un creuset en graphite, à 1400[deg.]C, sous atmosphère d'azote, pendant 6 heures. La poudre recueillie à l'issue du traitement thermique s'est révélée contenir 99,7 Z en poids de nitrure d'aluminium. Exemple 3 On a répété l'essai de l'exemple 1, dans les conditions suivantes : - la solution de butylate d'aluminium et la solution aqueuse de dicyandiamide ont été mises en oeuvre dans des proportions réglées pour réaliser un rapport molaire C2H4N4 : Al égal à 3; - le traitement thermique a été effectué dans un creuset en alumine, à 1400[deg.]C, sous une atmosphère formée d'un mélange d'azote et d'ammoniac, pendant 2 heures. La poudre recueillie à l'issue du traitement thermique s'est révélée contenir 96,5 % en poids de nitrure d'aluminium. Seconde série d'essais (essais de référence) Les exemples 4 à 6 dont la description suit concernent des essais de référence ne mettant pas en oeuvre le procédé selon l'invention. Exemple 4 On a mélangé mécaniquement 1,9868 g d'une poudre d'hydroxyde d'aluminium et 6,0280 g d'une poudre de dicyandiamide, de manière à obtenir un mélange homogène. La poudre homogène résultant du mélange a été placée dans un creuset en graphite et chauffée à 1400[deg.]C pendant deux heures, sous atmosphère d'azote. A l'issue du chauffage, on a recueilli une poudre contenant à peine 37 X en poids de nitrure d'aluminium, le solde étant constitué d'oxy- <EMI ID=2.1> Exemple 5 On a dispersé une poudre d'hydroxyde d'aluminium dans une solution aqueuse de dicyandiamide et on a soumis la dispersion aqueuse résultante à un séchage pour recueillir une poudre mixte constituant le précurseur. La poudre du précurseur s'est révélé contenir 1,9645 g d'hydroxyde d'aluminium et 6,0211 g de dicyandiamide. On l'a placée dans un creuset en alumine et soumise à un chauffage à 1400[deg.]C pendant deux heures sous atmosphère d'azote. La poudre recueillie à l'issue du chauffage s'est révélé contenir 36,7 Z en poids de nitrure d'aluminium, le solde étant constitué d'oxynitrure d'aluminium (44,3 %) et d'alumine (19 %). Exemple 6 On a répété l'essai décrit à l'exemple 5, dans les conditions suivantes : - les proportions de la poudre d'hydroxyde d'aluminium et de la solution de dicyandiamide ont été réglées pour que la poudre du précurseur contienne 2,061 g d'hydroxyde d'aluminium et 5,911 g de dicyandiamide; - le chauffage a été effectué dans un creuset en graphite, à 1400[deg.]C, pendant deux heures, sous atmosphère d'azote. La poudre recueillie à l'issue du chauffage s'est révélé contenir 43 % en poids de nitrure d'aluminium, le solde étant constitué d'oxy- <EMI ID=3.1> Une comparaison des exemples 1, 2 et 3 (conformes à l'invention) avec les exemples 4, 5 et 6 (exemples de référence) font apparaître le progrès incontestable apporté par l'invention pour ce qui concerne la pureté des poudres de nitrure d'aluminium. REVENDICATIONS 1 - Procédé de fabrication d'une poudre de nitrure métallique, selon lequel on chauffe, en atmosphère non oxydante, une poudre d'un précurseur comprenant un composé métallique et un composé carboazoté, caractérisé en ce qu'on met en oeuvre un précurseur obtenu en hydrolysant un alcoolate métallique au moyen d'une solution aqueuse du composé carboazoté.
Claims (1)
- 2 - Procédé selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'on sélectionne le composé carboazoté parmi la cyanamide et les dérivés non oxygénés de la cyanamide.3 - Procédé selon la revendication 2, caractérisé en ce que le composé carboazoté est la dicyandiamide.4 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 3, caractérisé en ce que l'alcoolate métallique est mis en oeuvre à l'état dissous dans un solvant organique.5 - Procédé selon la revendication 4, caractérisé en ce que le solvant organique est un alcool.6 - Procédé selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce qu'on sélectionne un solvant organique dans lequel le composé carboazoté est insoluble.7 - Procédé selon la revendication 4 ou 5, caractérisé en ce qu'on soumet le milieu réactionnel résultant de l'hydrolyse à une évaporation pour précipiter le précurseur.8 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 7, caractérisé en ce qu'on chauffe le précurseur dans une atmosphère d'azote ou d'ammoniac.9 - Procédé selon l'une quelconque des revendications 1 à 8, caractérisé en ce que l'alcoolate métallique est un alcoolate d'aluminium, de bore ou de silicium. 10 - Poudres de nitrures métalliques obtenues au moyen duprocédé selon l'invention, présentant une teneur en nitrure métallique supérieure à 90 % en poids.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE8900309A BE1003005A6 (fr) | 1989-03-21 | 1989-03-21 | Procede de fabrication d'une poudre de nitrure metallique et poudres de nitrures metalliques obtenues par ce procede. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| BE8900309A BE1003005A6 (fr) | 1989-03-21 | 1989-03-21 | Procede de fabrication d'une poudre de nitrure metallique et poudres de nitrures metalliques obtenues par ce procede. |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| BE1003005A6 true BE1003005A6 (fr) | 1991-10-22 |
Family
ID=3884084
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| BE8900309A BE1003005A6 (fr) | 1989-03-21 | 1989-03-21 | Procede de fabrication d'une poudre de nitrure metallique et poudres de nitrures metalliques obtenues par ce procede. |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| BE (1) | BE1003005A6 (fr) |
-
1989
- 1989-03-21 BE BE8900309A patent/BE1003005A6/fr not_active IP Right Cessation
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0238103B1 (fr) | Procédé de fabrication d'une poudre d'oxyde métallique pour matériaux céramiques. | |
| US4562050A (en) | Process for producing boron nitride | |
| US8414855B2 (en) | Spherical boron nitride nanoparticles and synthetic method thereof | |
| JP7337804B2 (ja) | 六方晶窒化ホウ素粉末、及び六方晶窒化ホウ素粉末の製造方法 | |
| FR2617151A1 (fr) | Procede pour la fabrication d'une poudre d'oxydes metalliques mixtes, et poudres d'oxydes metalliques mixtes | |
| FR2578241A1 (fr) | Zircone stabilisee, son procede de preparation et son application dans des compositions ceramiques | |
| AU621375B2 (en) | Barium and/or strontium titanate crystal manufacture | |
| US4346068A (en) | Process for preparing high-purity α-type silicon nitride | |
| US20120063983A1 (en) | Method for Synthesis of Boron Nitride Nanopowder | |
| BE1003005A6 (fr) | Procede de fabrication d'une poudre de nitrure metallique et poudres de nitrures metalliques obtenues par ce procede. | |
| CN109534823B (zh) | 获取MgAlON透明陶瓷的方法 | |
| EP0263544A1 (fr) | Procédé de fabrication d'une poudre pour matériaux céramiques, contenant au moins un oxyde métallique, et poudre formée d'au moins un oxyde métallique obtenue par ce procédé | |
| Li et al. | Preparation of h-BN nano-film coated α-Si 3 N 4 composite particles by a chemical route | |
| JPS63274603A (ja) | 六方晶窒化硼素の高純度化方法 | |
| US5087592A (en) | Method of producing platelets of borides of refractory metals | |
| RU2354503C1 (ru) | Способ получения нанопорошков диборида титана | |
| EP0369979B1 (fr) | Procédé pour la fabrication d'une poudre comprenant au moins un oxyde métallique | |
| JPS6291409A (ja) | 易焼結性窒化硼素粉末の製造方法 | |
| EP0310480A1 (fr) | Procédé de préparation de zircone stabilisée à l'yttrium et produit ainsi obtenu | |
| BE1004293A3 (fr) | Procede de fabrication d'un composite d'oxydes metalliques, poudres composites d'oxydes metalliques et materiaux ceramiques. | |
| KR100341723B1 (ko) | 자전 고온반응 합성법을 이용한 육방정 질화붕소 분말의제조 방법 | |
| JP3385059B2 (ja) | 高純度窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
| RU2767270C1 (ru) | Способ получения карбида кремния | |
| DE68908681T2 (de) | Verfahren zur Herstellung von feinpulvrigem beta-Sialon. | |
| RU2659437C1 (ru) | Способ получения порошков алюмомагниевой шпинели |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RE | Patent lapsed |
Owner name: SOLVAY Effective date: 19920331 |