NL8900050A - Inrichting voor het meten van een ruststroom van een geintegreerde monolitische digitale schakeling, geintegreerde monolitische digitale schakeling voorzien van een dergelijke inrichting en testapparaat voorzien van een dergelijke inrichting. - Google Patents

Description

N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Inrichting voor het meten van een ruststroom van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling, geïntegreerde monolitische digitale schakeling voorzien van een dergelijke inrichting en testapparaat voorzien van een dergelijke inrichting.

De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het meten van een ruststroom van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling, welke inrichting een stroomsensor bevat voor het meten van de ruststroom, die is voorzien van een eerste aansluitklem ter koppeling aan een voedingsklem van de geïntegreerde monolitische schakeling en van een tweede aansluitklem ter koppeling aan een voeding.

De uitvinding heeft verder betrekking op een geïntegreerde monolitische digitale schakeling voorzien van een dergelijke inrichting.

De uitvinding heeft voorts betrekking op een testapparaat voorzien van een dergelijke inrichting.

Een dergelijke inrichting voor het meten van een ruststroom van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling is bekend uit het artikel “Built-In Current Testing - Feasibility Study", W. Maly and P. Nigh, Proceedings ICCAD 1988, blz. 340-343, IEEE. Daarin wordt het testen van digitale VLSI schakelingen beschreven door middel van een in de geïntegreerde monolitische schakeling ingebouwde stroomsensor. Als stroomsensor wordt een sensor met een niet-lineaire karakteristiek beschreven, in het bijzonder een bipolaire transistor als stroomsensor welke een exponentiële I-ü karakteristiek heeft. De stroomsensor is tussen de monolitische schakeling en de voeding van de monolitische schakeling opgenomen en dient ervoor om abnormale ruststromen te meten, die bijvoorbeeld het gevolg zijn van kortsluitingen en/of zwevende stuurelektroden van bijvoorbeeld MOS-FETs in de VLSI-schakeling. Er wordt dynamisch gemeten, dat wil zeggen aan ingangen van de VLSI-schakeling worden testvectoren aangeboden en in rustperioden tussen schakelen wordt de ruststroom gemeten. Als de VLSI-schakeling goed funktioneert dan zal ten opzichte van niet goed funktioneren de ruststroom orden van grootte kleiner kunnen zijn. Een ruststroommeting kan derhalve uitsluitsel geven over goed of niet goed funktioneren van de VLSI-schakeling. De spanning over de stroomsensor wordt met een referentiespanning vergeleken in ruststroomperiodes. Is de spanning groter dan een voorafbepaalde waarde dan is er een sterk vermoeden dat de VLSI-schakeling defekt is. Vanwege de exponentiële karakteristiek van de transistor is het mogelijk om te discrimineren tussen relatief grote stromen tijdens schakelen van transistoren in de VLSI-schakeling en de relatief kleine ruststromen. In de inrichting wordt een bipolaire stroomsensor gebruikt in een MOS-omgeving, wat problemen kan veroorzaken bij integratie in dezelfde geïntegreerde monolitische digitale schakeling. Verder zal een goed funktionerende VLSI-schakeling waarin een stroomsensor is opgenomen trager zijn dan een VLSI-schakeling zonder stroomsensor.

Het is onder meer het doel van de uitvinding te voorzien in een inrichting van een in de aanhef vermelde soort waarmee een snelle ruststroommeting kan worden uitgevoerd met een hoge resolutie.

Een inrichting voor het meten van een ruststroom van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling volgens de uitvinding is erdoor gekenmerkt, dat de inrichting spanningsstabilisatiemiddelen voor het stabiliseren van een spanning op de eerste aansluitklem en met de spanningsstabilisatiemiddelen gekoppelde signaalverwerkingsmiddelen ter signaalverwerking van de ruststroom bevat. Tengevolge van het feit dat ook bij grote stroomvariaties de spanning over de stroomsensor nagenoeg gelijk blijft zal enerzijds een hoge resolutie bij het meten van de ruststroom bereikt worden en zal anderzijds de werking van de geïntegreerde monolitische schakeling bij piekstromen tijdens schakelen niet gestoord worden.

Een uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding is erdoor gekenmerkt, dat de spanningsstabilisatiemiddelen een verschilversterker bevatten, waarvan een eerste ingang met de eerste aansluitklem, een tweede ingang met de tweede aansluitklem of met een aansluitklem voor aansluiting op een referentiespanningsbron, en een uitgang met een stuurelektrode van de transistor is gekoppeld. In het geval dat de tweede ingang met de tweede aansluitklem is gekoppeld zal bij een voorafbepaalde offsetspanning (bijv. 100 mV) van de verschilversterker bereikt worden dat de spanningsval over de transistor klein is en vanwege de terugkoppellus zal de spanningsval ook bij relatief grote stroomvariaties relatief weinig variëren. In het geval dat de tweede ingang met een aansluitklem voor aansluiting op een referentiespanningsbron is gekoppeld zullen voor geïntegreerde monolitische schakelingen waaraan een hogere externe voedingsspanning wordt toegevoerd dan een interne voedingsspanning als werkspanning ("voltage down conversion") funkties van stroommeting, spanningsstabilisatie en omlaag transformeren van de externe voedingsspanning gecombineerd worden. Als de voorafbepaalde offsetspanning nagenoeg nul volt bedraagt dan zal de spanning op de eerste aansluitklem en daarmee de werkspanning van de geïntegreerde monolitische schakeling nagenoeg gelijk zijn aan de spanning van de referentiespanningsbron.

Een uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding is erdoor gekenmerkt, dat de uitgang van de verschilversterker met de stuurelektrode is gekoppeld via een mod.ificatieschakeling ter modificatie van de werking van de stroomsensor buiten een ruststroommeetperiode of buiten een ruststroommeting van de geïntegreerde monolitische schakeling. Hierdoor kan in normaal bedrijf een werking bereikt worden die nagenoeg gelijk is aan een werking zonder stroomsensor, in het geval de inrichting met de geïntegreerde monolitische schakeling is geïntegreerd.

Een uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding is erdoor gekenmerkt, dat de signaalverwerkingsmiddelen een eerste transistor bevatten, die met de stroomsensor een stroomspiegelconfiguratie vormt, die ervoor is ingericht om via een uitgangselektrode van de eerste transistor een stroom te leveren die een spiegeling is van de ruststroom. Hierdoor wordt een gemeten ruststroom verkregen waarop verdere bewerkingen kunnen worden gedaan zonder dat er noemenswaardig verstoring optreedt van de werking van de geïntegreerde monolitische schakeling, wat bijvoorbeeld het geval zou kunnen zijn als aan de eerste aansluitklem een ohmse belasting gekoppeld zou worden ter verkrijging van een uit de ruststroom afgeleide meetspanning.

Een verdere uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding is erdoor gekenmerkt, dat de signaalverwerkingsmiddelen een verschilversterker bevatten, die met een eerste ingang met de eerste aansluitklem, met een tweede ingang met de uitgangselektrode van de eerste transistor en met een uitgang met een stuurelektrode van een tweede transistor is gekoppeld, welke tweede transistor met een eerste uitgangselektrode aan de uitgangselektrode van de eerste transistor is gekoppeld en waarvan een tweede uitgangselektrode dient ter levering van een verder verwerkte ruststroom. De verschilversterker van de spanningsstabilisatiemiddelen wordt zodanig ingesteld, dat de spanningsval over de stroomsensor zeer klein is. De voedingsspanning van de geïntegreerde monolitische schakeling is dan zeer stabiel en nagenoeg gelijk aan de externe voedingsspanning. De verschilversterker van de signaalverwerkingsmiddelen en de tweede transistor zorgen ervoor dat de eerste transistor evenals de stroomsensortransistor in het lineaire gebied werken (triodegebied). Hierdoor wordt bereikt dat door de eerste transistor een gelijke (bij gelijke geometrische afmetingen van de stroomsensortransistor en de eerste transistor) of een evenredige (bij verschillende geometrische afmetingen) stroom vloeit als door de stroomsensortransistor. De tweede transistor levert een gemeten stroom voor verdere verwerking.

Een uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding is erdoor gekenmerkt, dat de signaalverwerkingsmiddelen verdere transistoren bevatten, die met de stroomsensor een stroomspiegelconfiguratie vormen, waarbij ter verkrijging van verschillende verwerkte ruststromen de transistoren van de signaalverwerkingsmiddelen verschillende geometrische afmetingen hebben. Hierdoor worden verschillende met de ruststroom proportionele stromen verkregen voor verdere verwerking.

Een geïntegreerde monolitische digitale schakeling volgens de uitvinding, die ten minste één deelschakeling bevat is erdoor gekenmerkt, dat de geïntegreerde monolitische schakeling ten minste één inrichting of althans een deel ervan volgens één der conclusies 1 t/m 10 bevat voor het meten van de ruststroom van deelschakelingen, van combinaties van deelschakelingen, of van alle deelschakelingen. Bevat de geïntegreerde monolitische schakeling de stroomsensor, de spanningsstabilisatiemiddelen en de signaalverwerkingsmiddelen dan kan de gemeten ruststroom naar een aansluitpen van de geïntegreerde monolitische schakeling gevoerd worden ter verdere verwerking op printed-circuit-board niveau of met een testapparaat voor geïntegreerde monolitische digitale schakelingen.

Worden ook de vergelijkingsmiddelen geïntegreerd op de geïntegreerde monolitische schakeling (alles "on-chip") dan kan vóór een volgende schakelpiek de gedigitaliseerde waarde van de verwerkte ruststroom bijvoorbeeld in een flipflop worden ingevoerd. Voor een meerdere deelschakelingen bevattende geïntegreerde raonolitische schakeling kunnen de verkregen gedigitaliseerde waarden van de ruststromen verder worden verwerkt in "on-chip" of "off-chip" testinrichtingen die bijvoorbeeld gebruik maken van technieken als "scan-test", "self-test" en "boundary-scan". Met betrekking tot laatstgenoemde technieken wordt verwezen naar desbetreffende vakliteratuur.

De uitvinding zal verder worden toegelicht aan de hand van een tekening, waarin fig. 1A een schematische weergave is van een inrichting volgens de uitvinding, fig. 1B een stroom door een geïntegreerde monolitische digitale schakeling toont als funktie van de tijd, bij aanbieding van een bepaalde testvector op ingangen ervan, fig. 2 een uitvoeringsvorm van signaalverwerkingsm.iddelen en vergelijkingsmiddelen in een inrichting volgens de uitvinding laat zien, fig. 3 een uitvoering van verveelvoudiging van een gemeten ruststroom toont, fig. 4A stroommeting volgens de uitvinding toont om een metastabiele toestand in een digitale schakeling te meten, fig. 4B een stroom van een dergelijke schakeling toont, fig. 4C een spanning op een uitgangsklem van een dergelijke digitale schakeling toont, fig. 5 stroommeting volgens de uitvinding toont om informatie omtrent stabiliteit van uitgangen van combinatorische digitale deelschakelingen te verkrijgen, en fig. 6 een testapparaat toont, dat is voorzien van een inrichting volgens de uitvinding.

In fig. 1A is schematisch een inrichting 1 volgens de uitvinding weergegeven, gekoppeld aan een geïntegreerde monolitische digitale schakeling 2, waarvan een ruststroom Ipp wordt gemeten. De inrichting 1 bevat een transistor Ts als stroomsensor voor het meten van de ruststroom. De transistor Ts is in serie opgenomen met de geïntegreerde monolitische schakeling 2 tussen een eerste voedingslijn VDD en een tweede voedingslijn Vss> Volgens de uitvinding wordt met spanningsstabilisatiemiddelen, in het getoonde voorbeeld door middel van een teruggekoppelde verschilversterker A1, de spanning op een eerste aansluitklem kl1 gestabiliseerd. De stroomsensor Ts is met een tweede aansluitklem kl2 met de voedingslijn VDD verbonden. De stroomsensor Ts en de verschilversterker A1 vormen een stroommeetschakeling CMS volgens de uitvinding. De verschilversterker A1 is met een eerste ingang 11 (+) aangesloten op de eerste aansluitklem kl1, met een tweede ingang 12 (-) aangesloten op de voedingslijn VDD of via een referentiebron Vre£ op de voedingslijn Vss, en met een uitgang 01 rechtstreeks of via een modificatieschakeling M op een stuurelektrode gs van de stroomsensor Ts. De modificatieschakeling M kan een versterker of filter zijn en kan extra ingangen hebben om de transistor Ts buiten het meten van de ruststroom volledig aan te zetten. Als de ingang 12 is aangesloten op de voedingslijn VQD dan zal bij een offset van de verschilversterker A1 van bijvoorbeeld 100 mV de spanningsval over de sensor Ts ongeveer 100 mV zijn. Door middel van de teruggekoppelde verschilversterker A1 wordt de spanning op de klem kl1 gestabiliseerd. Als de ingang 12 via de referentiespanningsbron Vref is aangesloten op de voedingslijn Vss dan zal bij een offset van nagenoeg nul volt de spanning op de klem kl1 gestabiliseerd worden op nagenoeg Vref' De stroommeetschakeling CMS kan met. de geïntegreerde monolitische schakeling geïntegreerd zijn, kan op een printed-circuit-board worden aangebracht met de geïntegreerde monolitische schakeling, kan in een testapparaat voor geïntegreerde monolitische schakelingen zijn ingebouwd, of kan zich in een interfacemodule bevinden ten behoeve van een dergelijk testapparaat. In verband met snelheid en met andere testmethoden "on-chip", zoals bijvoorbeeld "scan-test" is het voordelig om de stroommeetschakeling met de geïntegreerde monolitische schakeling te integreren. De inrichting 1 bevat verder signaalverwerkingsmiddelen SPC voor verwerking van de ruststroom IDD. De signaalverwerkingsmiddelen SPC bevatten een eerste transistor Tl die met de transistor Ts een stroomspiegelconfiguratie vormt, via een uitgangselektrode d1 wordt een stroom geleverd die een spiegeling is van de ruststroom IDD. Verder bevat de inrichting 1 vergelijkingsmiddelen COM ter vergelijking van de verwerkte ruststroom Iq met een referentiestroom Iref. Op een uitgang 02 van de vergelijkingsmiddelen COM verschijnt een indicatie of de referentiestroom is overschreden door de stroom I0. De indicatie kan digitaal zijn, een logische "1" kan dan bijvoorbeeld overschrijden aangeven.

In fig, 1B wordt een stroom IDp door een geïntegreerde monolitische digitale schakeling 2 getoond als funktie van de tijd t, bij aanbieding van een bepaalde testvector op ingangen In ervan. Met t1, t.2, t3 en t4 worden enige tijdstippen aangegeven. Op de tijdstippen t1 en t3 vindt schakelen plaats in de geïntegreerde monolitische schakeling 2. Tussen t1 en t2, en tussen t3 en t4 resulteert het schakelen in stroompieken p1 en p2. Tussen t2 en t3 en na t4 is de geïntegreerde monolitische digitale schakeling 2 in rust.

Bij een CMOS schakeling heeft bijvoorbeeld een stroompiek een waarde in grootteorde van 10 mA en een ruststroom in een situatie dat de CMOS-schakeling geen defekt vertoont in grootteorde van pA/nA. Is er een defekt zoals bijvoorbeeld een kortsluiting dan kan de ruststroom oplopen tot bijvoorbeeld een grootteorde van nA/mA. De gemeten stroom in rusttoestand is Iq. Als lQ>Iref dan kan dit duiden op een defekt in de CMOS-schakeling. De drempelwaarde lref is instelbaar.

Het zij opgemerkt dat de stroommeetschakeling nog vereenvoudigd zou kunnen worden door het weglaten van de verschilversterker A1, en dan de stuurelektrode gs met de klem kl1 te verbinden, echter ten gevolge van lage lusversterking wordt dan geen goede stabilisatie van de spanning op de klem kl1 bereikt. Het zij verder opgemerkt dat bij verschillende geometrische afmetingen van de transitoren Ts en T1 stroomversterking kan worden bereikt.

Fig. 2 laat een uitvoeringsvorm van signaalverwerkingsmiddelen SPC en vergelijkingsmiddelen COM in een inrichting volgens de uitvinding zien. Met fig. 1A overeenkomstige symbolen zijn op gelijke wijze aangegeven. De signaalverwerkingsmiddelen bevatten verder een verschilversterker A2, die met een eerste ingang 13 (+) met de eerste aansluitklem kl1, met een tweede ingang 14 (-) met de uitgangselektrode d1 van de eerste transistor T1 en met een uitgang 03 met eeri stuurelektrode g2 van een tweede transistor T2 is verbonden. De transistor T2 is door middel van een eerste uitgangselektrode s2 met de uitgangselektrode d1 van de eerste transistor T1 verbonden. Een tweede uitgangselektrode d2 dient ter levering van een stroom IQ aan de vergelijkingsmiddelen COM. De vergelijkingsmiddelen COM bevatten een door transistoren T3 en T4 gevormde stroomspiegelconfiguratie met een eerste ingang T5 voor toevoer van de verwerkte ruststroom Iq, met een tweede ingang 16 voor toevoer van een referentiestroom Iref, en met een digitale uitgang 04. Als de stroom Iq kleiner is dan Iref dan neemt de uitgang 04 een eerste waarde (“0") aan en als Ig>Iref dan neemt de uitgang 04 en tweede waarde (T) aan.

In fig. 3 wordt een verveelvoudiging van een gemeten ruststroom getoond. De signaalverwerkingsmiddelen SPC bevatten n transistoren T1,...,T1n, en leveren n uitgangsstromen Iq^,...,Iq .

De transistoren Tl,...,T1n kunnen toenemende chip-oppervlakten hebben waardoor in waarde oplopende stromen kunnen worden verkregen ter verdere verwerking. De stromen lQ^,...,lQn kunnen aan analoge of digitale vergelijkingsmiddelen worden toegevoerd. Voor IQ1 is een analoge situatie geschetst, Iq^ wordt met een weerstand R in een spanning U omgezet die wordt toegevoerd aan een analoge spanningsvergelijker (niet getoond), zoals bijvoorbeeld opgenomen in een testapparaat voor het testen van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling.

In fig. 4A wordt een stroommeting volgens de uitvinding getoond om een metastabiele toestand in een digitale schakeling te meten. Een metastabiele toestand, een ongedefinieerde uitgangswaarde tussen *0" en "1", kan bijvoorbeeld ten gevolge van timing-fouten optreden, en treedt bijvoorbeeld op bij flipflops. Getoond wordt een flipflop als geïntegreerde monolitische schakeling 1 en een inrichting 2 volgens de uitvinding. De flipflop 1 heeft een dataingang D, een klokingang C en een uitgang Q. De inrichting 1 heeft stuuringangen S en een uitgang 0. In een CMOS-flipflop kan een relatief hoge stroom (>1mA) gemeten worden die optreedt ten gevolge van een metastabiele toestand. Het uitgangsssignaal 0 kan gebruikt worden om met de flipflop aan te sturen circuits in werking te vertragen totdat de metastabiele toestand voorbij is.

In fig. 4B wordt IDD en in fig. 4C wordt Ug, de spanning op de uitgang Q, van de flipflop in metastabiele toestand getoond. Te zien is dat een relatief grote stroom IDD optreedt tijdens een metastabiele toestand m. Met "0* en ”1" zijn de gewone uitgangssituaties voor de flipflops aangegeven.

In fig. 5 wordt een stroommeting volgens de uitvinding getoond om informatie omtrent stabiliteit van uitgangen van combinatorische digitale deelschakelingen te verkrijgen. De inrichting 1 heeft extra in- en uitgangen in de vorm van "handshake"-signalen H. De geïntegreerde monolitische digitale schakeling 2 heeft ingangen 11,... ,Ιη en uitgangen 01,...,0n. Bij genoemde schakeling is het moeilijk te detekteren wanneer een stabiele toestand wordt bereikt. Met een inrichting volgens de uitvinding is een indicatie te krijgen of een operatie door de schakeling 2 is uitgevoerd. De ruststroominrichting 1 is dan geïntegreerd met een zogenaamd "handshake"-systeem, wat nodig is om een dergelijke schakeling 2 te koppelen met soortgelijke schakelingen. De inrichting 1 wordt bereid gezet als een "handshake"-signaal wordt ontvangen en wacht tot een piekstroom is afgenomen tot een ruststroom. Dan geeft de inrichting 1 een "handshake"-signaal af aan een soortgelijke schakeling om aan te geven dat data overgenomen kunnen worden. Delays zijn dan niet meer nodig tussen gecascadeerde schakelingen, waardoor in principe snellere schakelingen kunnen worden verkregen.

In fig. 6 wordt een testapparaat TD getoond voorzien van een inrichting 1 volgens de uitvinding. De inrichting 1 kan ook als interface voor het testapparaat TD zijn vervaardigd. Een voor testen van VLSI-schakelingen in de handel zijnd apparaat is bijvoorbeeld een "Sentry 50“ tester van Fairchild. De inrichting volgens de uitvinding kan hierin geheel of gedeeltelijk worden ingebouwd.

Het zij opgemerkt dat het aantal toepassingen niet is beperkt tot de beschreven toepassingen. Zo kan bij het opnemen van (gedeelten van) de inrichting (in veelvoud) op een printed-circuit-board de stroommeting worden gebruikt voor "connectivity checking", dat wil zeggen het detekteren van onderbroken printsporen of van kortsluitingen tussen printsporen. Ook kan de inrichting volgens de uitvinding worden opgenomen in een "boundary scan chain". Behalve in MOS-techniek kan de inrichting ook in een andere techniek worden uitgevoerd zoals bijvoorbeeld bipolaire techniek.

Claims (12)

1. Inrichting voor het meten van een ruststroom van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling, welke inrichting een transistor als stroomsensor bevat voor het meten van de ruststroom, die is voorzien van een eerste aansluitklem ter koppeling aan een voedingsklem van de geïntegreerde monolitische schakeling en van een tweede aansluitklem ter koppeling aan een voeding, met het kenmerk, dat de inrichting spanningsstabilisatiemiddelen voor het stabiliseren van een spanning op de eerste aansluitklem en met de spanningsstabilisatiemiddelen gekoppelde signaalverwerkingsmiddelen ter signaalverwerking van de ruststroom bevat.

2. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de spanningsstabilisatiemiddelen een verschilversterker bevatten, waarvan een eerste ingang met de eerste aansluitklem, een tweede ingang met de tweede aansluitklem of met een aansluitklem voor aansluiting op een referentiespanningsbron, en een uitgang met een stuurelektrode van de transistor is gekoppeld.

3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de uitgang van de verschilversterker met de stuurelektrode is gekoppeld via een modificatieschakeling ter modificatie van de werking van de stroomsensor buiten een ruststroommeetperiode of buiten een ruststroommeting van de geïntegreerde monolitische schakeling.

4. Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de modificatie een volledig aanzetten van de als transistor uitgevoerde stroomsensor inhoudt.

5. Inrichting volgens conclusie 1, 2, 3 of 4, met het kenmerk, dat de signaalverwerkingsmiddelen een eerste transistor bevatten, die met de stroomsensor die als transistor is uitgevoerd een strooraspiegelconfiguratie vormt, die ervoor is ingericht om via een uitgangselektrode van de eerste transistor een stroom te leveren die een spiegeling is van de ruststroom.

6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat de signaalverwerkingsmiddelen een verschilversterker bevatten, die met een eerste ingang met de eerste aansluitklem, met een tweede ingang met de uitgangselektrode van de eerste transistor en roet een uitgang met een stuurelektrode van een tweede transistor is gekoppeld, welke tweede transistor met een eerste uitgangselektrode aan de uitgangselektrode van de eerste transistor is gekoppeld en waarvan een tweede uitgangselektrode dient ter levering van een verder verwerkte ruststroom.

7. Inrichting volgens conclusie 5 of 6, met het kenmerk, dat de signaalverwerkingsmiddelen verdere transistoren bevatten, die met de stroomsensor een stroomspiegelconfiguratie vormen, waarbij ter verkrijging van verschillende verwerkte ruststromen de transistoren van de signaalverwerkingsmiddelen verschillende geometrische afmetingen hebben.

8. Inrichting volgens één der voorafgaande conclusies, met het kenmerk, dat de inrichting met de signaalverwerkingsmiddelen gekoppelde vergelijkingsmiddelen ter vergelijking van de verwerkte ruststroom met ten minste één referentiestroom of -spanning bevat, waarbij de vergelijkingsmiddelen ervoor zijn ingericht om overschrijding van de referentiestroom of -spanning aan te geven.

9. Inrichting volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat de vergelijkingsmiddelen ten minste één stroomspiegelconfiguratie bevatten met een eerste ingang voor toevoer van een verwerkte ruststroom, met een tweede ingang voor toevoer van een referentiestroom, en met een digitale uitgang, die in afhankelijkheid van de verwerkte ruststromen ten opzichte van de referentiestromen een eerste respectievelijk tweede waarde aanneemt.

10. Inrichting volgens conclusie 8, met het kenmerk, dat de vergelijkingsmiddelen gevormd worden door analoge spanningsvergelijkingsmiddelen.

11. Geïntegreerde monolitische digitale schakeling bevattende ten minste één deelschakeling, met het kenmerk, dat de geïntegreerde monolitische schakeling ten minste één inrichting of althans een deel ervan volgens één der voorafgaande conclusies bevat voor het meten van de ruststroom van deelschakelingen, van combinaties van deelschakelingen, of van alle deelschakelingen.

12. ‘ Testapparaat voor het meten van een ruststroom van een geïntegreerde monolitische digitale schakeling, met het kenmerk, dat het testapparaat althans een deel van de inrichting volgens één der conclusies 1 t/m 10 bevat.