NL8700445A

NL8700445A - Positioneertafel voor een samengestelde beweging.

Info

Publication number: NL8700445A
Application number: NL8700445A
Authority: NL
Original assignee: Nippon Seiko Kk
Priority date: 1986-02-28
Filing date: 1987-02-23
Publication date: 1987-09-16
Also published as: DE3706327C2; US4739545A; GB2188263A; GB8704829D0; DE3706327A1; GB2188263B

Description

1 ï G PEM/MSB ï Nippon Seiko 1 positioneertafel voor een samengestelde beweging

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een positioneertafel voor een samengestelde beweging, die ten minste beweegbaar is in een de Z-as omvattend vlak, en heeft in het bijzonder betrekking op een positioneertafel voor een 5 samengestelde beweging, die de parallelliteit en de positionering met een hoge nauwkeurigheid handhaaft, wanneer de tafel met grote snelheden wordt bewogen, en die het mogelijk maakt een op de tafel bevestigde klemplaat voor het vasthouden van een te belichten element gemakkelijk te verwisselen in afhan-10 kelijkheid van de afmeting van het te belichten element.

Bij het vervaardigingsproces van een geïntegreerde halfgeleider-schakeling wordt een op lithografie gelijkend proces toegepast voor het in overeenstemming met het patroon van een schakeling belichten van een met een laag voor licht 15 gevoelig, tegen etsen bestand materiaal bedekte drager en voor het ontwikkelen van het patroon van de schakeling. Het is als gevolg van de op lithografie gelijkende techniek noodzakelijk, de positionering uit te voeren met een grote nauwkeurigheid, en wel in de grootte-orde van 0,1 jim als gevolg van de trend 20 naar een dichtere mate van integratie van de geïntegreerde halfgeleider-schakeling.

Het is echter met de tot de stand van de techniek behorende positioneertafel-inrichtingen, waarbij een tafel slechts door een voedingsschroef wordt bewogen, moeilijk het 25 positioneren met een dergelijke grote nauwkeurigheid uit te voeren. Er is dan ook voorgesteld om een tafel te gebruiken, die voor de grove beweging door een schroef wordt bewogen, en een bed voor een fijne instelling te gebruiken, dat voor zeer kleine bewegingen beweegbaar bevestigd is op de tafel voor de 30 grove bewegingen. De absolute positie van het bed voor zeer kleine bewegingen wordt gemeten door een lasermeetinstrument, en een fout bij de beweging van de grove instellingstafel wordt gecorrigeerd door een zeer kleine verplaatsing van het bed voor kleine instellingen, waardoor een nauwkeurige positionering 35 wordt bereikt.

8700445 t ί - 2 -

En, voor wat betreft het toegepaste drukproces, wordt in het algemeen een projectiefoto-druktechniek toegepast. Deze projektiefoto-druktechniek behoort tot het zogenaamde stap-en-herhaal-type, waarbij het patroon van een 5 kleine geïntegreerde schakeling achter elkaar stuk voor stuk op een drager wordt ontwikkeld, waardoor het uiteraard noodzakelijk is de parallelliteit en de positionering van het licht-ontvangende vlak van de drager te handhaven met een grote nauwkeurigheid, zodat het noodzakelijk is de parallelling teit en de positionering van het bovenvlak van de tafel te handhaven om het mogelijk te maken de drager met een grote nauwkeurigheid daarop te bevestigen.

Het ter inzage gelegde Japanse Gebruiksmodel (Kokai), publikatienummer 58.196834 en het Amerikaanse 15 octrooischrift 4.561.815 beschrijven dergelijke positionerings-tafels.

In het Japanse Gebruiksmodel No. 58-196834 is in figuur 2 een tafel beschreven met een bovenliggende Z-as, waarbij de Z-as zich in de bovenste trap bevindt, en een 20 tafel met een onderliggende Z-as, waarbij de Z-as zich in de onderste trap bevindt. Beide soorten passen een schuin voedingssysteem toe, dat een schuin vlak gebruikt voor het in de richting van de Z-as bewegen van de tafel, en is tevens ontworpen om een beweging in de richting van de Z-as te ver-25 krijgen door een Z-schüif horizontaal te bewegen.

Bij de tafel van het genoemde, tot de stand van de techniek behorende type met een bovenliggende Z-as drukt het gewicht van de Z-schuif op de XY-schuif, waardoor het massa-traagheidsmoment van de XY-schuif bij het bedienen toeneemt, 30 en het niet mogelijk is de bedieningssnelheid te vergroten.

Omdat de op een steundeel van de XY-schuif uitgeoefende belasting groot is, is het noodzakelijk de sterkte van de XY-schuif te vergroten. Aldus wordt de XY-schuif groot en zwaar en bestaat het probleem, dat het niet mogelijk is de positionerings-35 tafel klein en licht te maken. Omdat de XY-schuif ontworpen is als een afzonderlijk orgaan en de steundelen onafhankelijk van elkaar zijn, is het noodzakelijk het XY-bewegingsvlak 870 0 44 5 * * - 3 - parallel te maken aan het bovenvlak van de Z-schuifEr kan in dit geval echter een fout in de Z-richting worden veroorzaakt door het bedienen van de XY-schuif, en aldus ontstaat het probleem dat het niet toegepast kan worden bij druktech-5 nieken en dergelijke, die nauwkeurige parallelliteit vereisen.

Bij de tafel met onderliggende Z-as kan de bediening van de XY-schuif en de bediening van de Z-schuif onafhankelijk van elkaar worden uitgevoerdf omdat de XY-schuif op de Z-schuif is bevestigd. Wanneer dan ook de X-, Y- en Z-schuiven bij 10 de druktechniek wórden toegepast, dient het gebruik van de Z-schuif voor het focuseren en verder ontstaat het voordeel dat zelfs, wanneer de XY-sChuif op de Z-schuif gemonteerd is, de invloed van het massa-traagheidsmoment kan worden geëlimineerd, omdat de bedieningsfrequentie in de Z-richting niet 15 zo groot is. Omdat het echter noodzakelijk is zowel de Z-schuif als de op de Z-schuif bevestigde XY-schuif met een tapse vorm te bewerken, blijft het probleem, dat het handhaven van de gewenste parallelliteit moeilijk is.

Verder worden zowel bij tafels met bovenliggende 20 Z-as als met onderliggende Z-as de beweging in de Z-as veroorzaakt door de Z-schuif in een horizontale richting te bewegen en omdat de* Z-schuif en de in de Z-richting beweegbaar op de Z-schuif bevestigde tafel met elkaar in kontakt zijn met hun schuine vlakken, ontstaat het probleem, dat naarmate de 25 nauwkeurigheid van de vlakken en de ruwheid van de vlakken worden verbeterd, de wrijvingsweerstand toeneemt, en er veel kracht voor nodig is voor het bewegen van de Z-schuif, waarbij tegelijkertijd de kleefgeleiding kan ontstaan, en een dergelijk nadeel wordt des te storender bij tafels met een onder-30 liggende Z-as, waarbij de XY-schuif op de Z-schuif is bevestigd.

Om deze problemen te overwinnen, kan overwogen worden een gereedschapswerktuig-instellingsinrichting toe te passen, zoals die beschreven is in het Amerikaanse octrooi-35 schrift 4.561.815 als het instellingsmechanisme voor de . - Z-richting, waarbij een kopschuif via kogellagers gesteund wordt door een wig, waarvan het bovenvlak gevormd is als een 87 0 0 4 4 5 - 4 - ? * horizontaal vlak en waarbij '.-.de wig horizontaal wordt bewogen door een van draad voorziene as, die wordt geroteerd door een aan de kopschuif bevestigde stappenmotor, waarbij de kop-schuif in de Z-richting naar boven of naar beneden wordt be-5 wogen. Bij een dergelijke struktuur worden door het aandrijven van de stappenmotor veroorzaakte trillingen direkt naar de koptafel, (Z-tafel) overgebracht omdat de stappenmotor direkt aan de kopschuif is bevestigd, en het is moeilijk de positionering met een grote nauwkeurigheid in de grootte-orde van 10 kleiner dan micrometers toe te passen, zoals noodzakelijk is bij druktechnieken.

Hiertoe wordt overwogen, zoals in figuur 2 van het reeds genoemde Amerikaanse octrooischrift No. 4.561.815 is getoond, de stappenmotor aan het frame van een gereedschaps-15 werktuig te bevestigen. Omdat het bovenvlak van de wig ( schuine schuif) een schuin vlak is, zal in dit geval, wanneer de op een dergelijke wig geplaatste XY-bewegingstafel wordt bewogen in de X- respektievelijk Y-richting, de XY-tafel tevens verplaatstyind<fe Z-richting, na de beweging in de X- en Y-20 richtingen. Aldus bestaat het probleem, dat de positie in de Z-richting afwijkt nadat de beweging in de X- en Y-richtingen heeft plaatsgevonden. Bovendien ontstaat een nieuw probleem, doordat de tussen de wig en de kopschuif geplaatste kogellagers tijdens gebruik naar beneden worden bewogen over het 2.5 schuine vlak, een vloeiende bediening van de wig niet kan worden verzekerd. Alhoewel de naar beneden gerichte kogellager-verschuiving, die veroorzaakt wordt door de beweging van de wig klein is, zal de mate van beweging groot zijn wanneer de inrichting gedurende een lange tijd wordt gebruikt, omdat een 30 dergelijke verschuiving accumuleert.

De druktechniek van de projektie-foto-soort gebruikt een stap-en-herhaal-techniek, waarbij een patroon van een geïntegreerde schakeling stuk voor stuk op een drager wordt ontwikkeld, en, wanneer bij een proces geen overlapping van 35 patronen dient plaats te vinden, zijn enige honderden positio- - neringshandelingen noodzakelijk voor één vel dragermateriaal.

Aldus is de totale tijdsduur, die noodzakelijk is voor het positio- 8700445 - 5 - *> ·* neren groot en om de efficiëntie van het belichtingsproces te verbeteren is het noodzakelijk, dat de positionering in een korte tijdsduur wordt uitgevoerd.

Een tot de stand van de techniek behorende inrich-5 ting, die aan deze eis voldoet, wordt door aanvraagster beschreven in het Japanse Gebruiksmodel, (Kokai), publikatie-nummer 58-105604. Bij dit tot de stand van de techniek behorende apparaat wordt een bed voor fijne instelling verend gedragen op een tafel voor grove instelling en tussen een 10 in het bed voor fijne instelling gevormd vibratiedempdeel en een op de tafel voor grove instelling gevormd ontvangst-vlak is een viskeuze vloeistof aangebracht voor het verschaffen van een dempeffekt voor trillingen.

Deze tot de stand van de techniek behorende inrich-15 ting heeft het voordeel, dat de in het bed voor fijne instelling veroorzaakte trillingen wanneer de tafel voor grove instelling met grote snelheden wordt bewogen, effektief gedempt worden door de vloeistof met een grote viskositeit, die aangebracht is tussen het dempvlak van het dempdeel en 20 het ontvangstvlak van de tafel voor grove instelling, zodat het mogelijk is met grote snelheden te positioneren. Omdat het trildempdeel echter is ondergedompeld in viskeuze vloeistof, waarbij de viskositeit van de viskeuze vloeistof toeneemt om het dempeffekt van de trillingen te vergroten, wordt 25 een bewegingsweerstand opgewekt als gevolg van het samendrukken van de viskeuze vloeistof door een zijwand van het trildempdeel, wanneer het bed voor fijne instelling enigszins wordt bewogen door een bewegingsmechanisme, zoals een elektromagneet of iets dergelijks, hetgeen niet gewenst is, omdat 30 de beweging van het bed voor fijne instelling wordt voorkomen.

Om dan ook de gemakkelijke beweging van het bed voor fijne instelling te verzekeren, moet de viskositeit van de viskeuze vloeistof in aanzienlijke mate worden verkleind, en wanneer dit wordt uitgevoerd, zal het dempeffekt op de trillingen 35 tevens afnemen. Er bestaat dan ook het nog niet opgeloste probleem, dat zowel de gemakkelijke beweging van het bed voor fijne instellingen en het dempeffekt voor de trillingen niet 8700445 -'6 - i ? tegelijkertijd kan worden bereikt.

Verder wordt de tot de stand van de techniek behorende projektie-foto-druktechniek toegepast bij de produktie-lijn van geïntegreerde halfgeleiderschakelingen, waarbij een 5 patroon van een schakeling belicht wordt en ontwikkeld wordt op een drager, en algemeen wordt een dergelijke druktechniek gebruikt als een éénmalige inrichting, die slechts voor een drager van een geschikte maat wordt gebruikt.

Bij een dergelijke inrichting is de afmeting van 10 een dragerhouddeel van een laadinrichting voor het op de klemplaat laden van de drager konstant, omdat de afmetingen van een op een klemplaat geplaatste drager konstant zijn, en het komt slechts zelden voor, dat de klemplaat wordt gewisseld voor het belichten van een drager met een andere afmeting.

15 Bij een dergelijke inrichting wordt de klemplaat bijvoorbeeld op een XY-tafel bevestigd door het aandraaien van een bout.

Bij tot de stand van de techniek behorende inrichtingen is de klemplaat voor het bevestigen van een te belichten element, zoals een drager of iets dergelijks, met de bout op 20 de bewegingstafel bevestigd, en er zal geen probleem ontstaan, wanneer de druktechniek toegepast wordt als een inrichting, die uitsluitend geschikt is voor een afmeting van een drager, die bepaald is voor· massapröduktie. Wanneer de inrichting echter gebruikt wordt als een meerdere doeleinden dienende 25 inrichting voor proefproduktie en voor experimenten, om het belichten van elementen, zoals dragers en dergelijke van diverse afmetingen (bijv. 5-15 cm) uit te voeren wordt, wanneer bijvoorbeeld een te belichten element met kleine afmetingen op de op de bewegingstafel bevestigde klemplaat wordt geplaatst, 30 natuurlijk een laadinrichting toegepast, die aangepast is aan de afmetingen van de drager. Wanneer de klemplaat niet verwisseld wordt met één, die overeenkomt met de afmetingen van de drager, zal het door de laadinrichting toevoeren van de drager onmogelijk zijn. Bij de tot de stand van de techniek 35 behorende druktechniek ontstaan er problemen omdat de wisseling van de klemplaat op zich moeilijk is, omdat de klemplaat op de bewegingstafel bevestigd is door het aandraaien van een 870 0 44 5 * ».

- 7 - bout, en verder kunnen slijtagepoeders ontstaan bij het bevestigen en verwijderen van de bout, en bestaat het gevaar, dat de parallelliteit van het bevestigingsvlak van de klemplaat voor het te bevestigen element wordt veranderd.

5 De onderhavige uitvinding poogt de problemen van de genoemde stand van de techniek te vermijden en een doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een bewegings-tafelinrichting voor een samengestelde beweging, waarbij, wanneer een rolelement met een vasthoudelement tussen een 10 bovenvlak van een in de Z-richting beweegbaar positie-instel-lingsmechanisme en een in de X- en Y-richting beweegbare Z-tafel is geplaatst, een afwijking van het vasthoudelement wordt voorkomen, waarbij de nauwkeurigheid van de parallelliteit en de positionering worden gehandhaafd met een zodanige 15 nauwkeurigheid, dat zelfs wanneer de tafel met grote snelheden wordt bewogen, de positionering in een korte tijdsduur en nauwkeurig kan worden uitgevoerd, waarbij zowel voldaan wordt aan de vloeiende beweging van de Z-tafel in de X- en de Y-richting en aan het dempeffekt voor trillingen.

20 Een ander doel van de onderhavige uitvinding is het verschaffen van een positioneringstafelinrichting voor een samengestelde beweging, waarbij een van de afmetingen van een bevestigd element afhankelijke klemplaat kan worden verwisseld en waarbij de parallelliteit van de klemplaat niet nadelig 25' wordt beïnvloed.

Bij een positioneringstafelinrichting voor een samengestelde beweging in overeenstemming met de onderhavige uitvinding wordt een op een basisbed op een basis bevestigd positieinstellingsmechanisme voor de Z-richting aangedreven 30 door een op het basisbed aangedreven motor, en wordt een op het in de X- en de Y-richting beweegbaar Z-richting-positie-instellingsmechanisme bevestigde Z-tafel in de verticale richting bewogen door het Z-richting-instellingsmechanisme, en worden tijdens de beweging van de Z-tafel in de X- en de Y-35 richtingen veroorzaakte trillingen gedempt door trillings- - dempingsmiddelen. Aldus worden de trillingen van het Z-rich-ting-positie-instellingsmechanisme tijdens rotatie van de motor 8700445 ι· 1 - 8 - niet direkt overgebracht naar de Z-tafel en is het mogelijk de afwijking van de parallelliteit van de Z-tafel te voorkomen en de positionering uit te voeren met een grote nauwkeurigheid.

Omdat verder de vibratiedempingsmiddelen tussen de 5 in de X- en de Y-richting beweegbare Z-tafel en het basisbed zijn aangebracht, kunnen de in de Z-tafel als gevolg van de beweging met grote snelheid van een tafel voor grove instelling optredende vibraties snel worden gedempt.

Verder is op de Z-tafel een klemplaathoudelement aan-10 gebracht voor het aanzuigen en vasthouden van een klemplaat, die op zijn beurt een te belichten element, zoals een drager of iets dergelijks, aanzuigt en vasthoudt, en is in de tegen elkaar liggende vlakken van de klemplaat en het klemhoudele-ment een uitsparing aangebracht en staat een gasaanzuigele-15 ment in verbinding met de uitsparing. Aldus kan de klemplaat met een uniforme zuigkracht worden bevestigd, en omdat inwendige spanning ten opzichte van de klemplaat uniform is, is vervorming van de klemplaat als gevolg van een uitwendige kracht uniform, en wordt tijdens het bevestigen van de klem-20 plaat geen vervorming, zoals een buiging en dergelijke, veroorzaakt.

Er bestaat dan ook het voordeel, dat de klemplaat gemakkelijk kan worden verwisseld in afhankelijkheid van de afmetingen van een door de klemplaat vast te houden element, 25 en omdat geen slijtagepoeder geproduceerd wordt bij het verwisselen, zoals bij de stand van de techniek het geval is, bestaat er geen gevaar voor het afwijken van de parallelliteit van het bevestigingsvlak van de klemplaat.

Vervolgens zal de onderhavige uitvinding worden toe-30 gelicht aan de hand van de bijgaande tekeningen, waarin voorstellen:

Figuur 1 een gedeeltelijk als een blokschema uitgevoerd schematisch aanzicht, dat een voorbeeld weergeeft van een inrichting voor fotoprojektiedruktechniek, waarbij de 35 onderhavige uitvinding van toepassing is;

Figuur 2 een schematisch perspektivisch aanzicht van een uitvoeringsvorm van de onderhavige uitvinding;

Figuur 3 een explosie-aanzicht van de struktuur van 8700445 * ^ - 9 - figuur 2;

Figuur 4 een bovenaanzicht van een trap;

Figuur 5 een doorsnede-aanzicht langs een lijn V-V in figuur 4;

5 Figuur 6 een doorsnede-aanzicht langs de lijn VI-VI

in figuur 4;

Figuur 7 een doorsnede-aanzicht langs een lijn VII-VII in figuur 5, en

Figuur 8 een bovenaanzicht van een malklemplaat, 10 waarbij de onderhavige uitvinding toepasbaar is,

In figuur 1 duidt referentienummer 100 een inrichting aan voor fotoprojektiedruk, die samengesteld is uit een op een basis 101 bevestigde XYZ-trap 103, waarop is bevestigd: een drager 102, een vast tegenover het bovenvlak van de XYZ-15 trap 103 aangebrachte reduktielens 104, een boven de reduktielens 104 bevestigde dradenkruishouder, die een dradenkruis 105 vasthoudt, en een boven de dradenkruishouder 106 bevestigd lichtbrondeel 107. Een van het lichtbrondeel 107 afkomstige lichtbundel verlicht via het dradenkruis 105 en de 20 reduktielens 104 de drager 102 op de XYZ-trap 103, die dienst doet als een positioneringstafelinrichting voor een samengestelde beweging, en een op het dradenkruis 105 gevormd schakel-patroon wordt verkleind en op de drager 102 geprojekteerd.

De XYZ-trap 103 is beweegbaar gekonstrueerd door een 25· aandrijfmechanisme 2, dat is voorzien van een XY-as aandrijfmechanisme 2a en een Z-as aandrijfmechanisme 2B voor de drie asrichtingen van respektievelijk de X-, Y- en Z-as, waarbij door het bewegen in de Z-richting wordt gefocuseerd.

Bij een ondereinddeel. .van een cilindrisch lichaam 108 30 dat tegenover de drager 102 de reduktielens 104 vasthoudt, is een doorgaand gat 109 gevormd \toor het overdragen van de belichtingslichtbundel, en aan de omtrek van het onder einddeel zijn met onderling gelijke tussenhoeken vier luchtblaas- spuitmonden 110 gevormd. Elk van de spuitmonden 110 is via 35 een smoorelement 112 verbonden met een gemeenschappelijke luchttoevoerbron 111 en is tevens verbonden met êën ingangs-zijde van een verschildrukopneemelement 113. De andere zijde 870 0 44 5 i *.

- 10 - * van de verschildrukopnemer 113 is via een smoorelement 114 verbonden met de gemeenschappelijke luchttoevoerbron 111 en staat tevens in verbinding met de omgeving. Deze spuitmonden 110, de luchttoevoerbron lil, smoororganen 112, 114 en de 5 verschildrukopnemer 113 vormen een luchtmicrometer 115.

Een detectiesignaal van de verschildrukopnemer 113 wordt naar een focuseringsregelinrichting 116 toegevoerd en het detectiesignaal wordt vergeleken met een in een doel-waardeinstellingsorgaan 116a van het focuseringsregelorgaan 10 116 ingestelde doelwaarde, en een een verschilwaarde representerend foutsignaal wordt toegevoerd aan een aandrijfschakeling 116b, die voorzien is van een versterker enz., en er wordt een bekrachtigingsstroom voor het bedienen van een bedienings-element, zoals een motor of iets dergelijks·, geproduceerd.

15 De bekrachtigingsstroom wordt toegevoerd aan het Z-as aandrijfmechanisme 2c van de XYZ-trap 103 om deze aan te drijven en een tussenruimte tussen de spuitmonden 110 en de drager 102 wordt op een juiste waarde ingesteld.

Een bepaald voorbeeld van de XYZ-trap 103 is 20 gekonstrueerd, zoals dit getoond is in de figuren 2-8.

In het bijzonder duidt in figuur 2 het referentienummer 1 een basisbed aan, dat bevestigd is op een tafel 3 voor grove instelling, die in een horizontaal vlak bewogen wordt in de: richting van de X-as, respektievelijk de Y-as door het op de basis 101 25 bevestigde X-as aandrijfmechanisme 2a respektievelijk het op de basis 101 bevestigde Y-as aandrijfmechanisme 2b.

Op het centrale deel van het basisbed 1 is een geleider 4 aangebracht, zoals getoond is in figuur 3, 4 en 5.

De geleider 4 is aan zijn bovenzijde voorzien van een brede 30 uitsparing 4a en de uitsparing 4a helt naar voren en naar beneden. De geleider 4 heeft een U-vormige doorsnede en is voorzien van schuine geleidegroeven 4b, 4c, die voorwaarts en benedenwaarts hellend gevormd zijn in tegenover elkaar liggende inwendige wandvlakken van de geleider 4 en aldus de uit-35 sparing 4a vormen. -

In de uitsparing 4a is langs de schuine geleidegroeven 4b, 4c geleidbaar een van een schuin vlak voorziene 8700445 j

•V

____________.31¾¾ - 11 - «· schuif 5 aangebracht. Het ondervlak 5a van de van een schuin vlak voorziene schuif 5 is een schuin vlak, dat parallel is met de uitsparing 4a en het bovenvlak 5b van de schuif 5 met een schuin vlak is een horizontaal vlak, zodat de lengte-5 doorsnede de vorm heeft van een trapezium. Verder is.de schuif 5 met een schuin vlak aan zijn zijvlakken voorzien van schuine geleide-groeven 6a, 6b, die daarin zijn aangebracht in tegenstelling met de schuine geleide-groeven 4b, 4c.

Bassen de schuine geleide-groeven 6a en 4b en tussen de 10 schuine geleidegroeven 6b en 4c zijn respektieve kruisrol-samenstellen 7, 7 aangebracht. Elk kruisrolsamenstel is zoals in een vergroot deel van figuur 5 is getoond, voorzien van een aantal door een houder 7b vastgehouden cilindrische rollen 6a, zodat de rolassen van de rollen 7a langs een 15 lengterichting van de houder 7b afwisselend verschoven zijn over 90°. Aldus zijn bij één kruisrolsamenstel 7 de cilindrische rollen 7 afwisselend in kontakt met verschillende, tegenover elkaar liggende vlakken van de schuine geleide-groeven 6a en 4b en op overeenkomstige wijze zijn bij het 20 andere kruisrolsamenstel de cilindrische rollen 7a afwisselend in kontakt met verschillende, tegenover elkaar liggende vlakken van de schuine geleidegroeven 6b en 4c. Deze kruis-rolsamenstellen zijn voorgeladen en als gevolg daarvan worden deze zelden verplaatst. Wanneer het echter noodzakelijk is 25 de verplaatsing van de houders 7b te beperken, kunnen (niet getoonde) verplaatsingsvoorkominrichtingen, die gebruik maken van een veerkracht of iets dergelijks, aan beide einden van elke houder 7b zijn aangebracht. Zelfs wanneer dergelijke inrichtingen voor het voorkomen van houderverplaatsing zijn 30 aangebracht, zal de wrijvingsweerstand tussen de geleider 4 en de van een schuin vlak voorziene geleider 5 nooit de beweging beïnvloeden van de glijder 5 met een schuin vlak. Met andere woorden, slechts wanneer het gewenst is dat een in hoofdzakelijk konstante wrijvingsweerstand tussen de geleider 35 4 en de van schuine vlakken voorziene schuif werkt, kan de ' wrijvingsweerstand geabsorbeerd worden door het uitgangsver-mogen van (een later te beschrijven) gelijkstroommotor 9 in 870 0 44 5 - 12 - te stellen in afhankelijkheid van de grootte van een absolute waarde van de glijweerstand. In dit geval vormen de schuine geleide-groeven 4b en 4c en 6a, 6b en de kruisrolsamenstellen 7, 7 een kruisrolgeleider CG.

5 Aan het achtereinde van de van een schuin vlak voor ziene glijder 5 is, zoals in figuur 6 is getoond, een moer 8 bevestigd, waarin een van een schroefdraad voorziene voedings-as 11 is ingedraaid. De voedingsschroefas 11 is met een as van de gelijkstroommotor 9 verbonden, zodat een aandrijfmecha- 10f nisme wordt gevormd en een codeerorgaan 10 voor het detecteren van een rotatiehoek is aan de motor 9 bevestigd, en de motor 9 wordt in overeenstemming met het detectiesignaal van het codeerorgaan 10 geregeld. Wanneer aldus de motor 9 voor rotatie wordt aangedreven, wordt het van een schuin vlak voorziene 15 glij orgaan 5 langs het bodemvlak van de uitsparing 4a van de geleider 4 bewogen. In dit geval vormen de geleider 4, de van een schuin vlak voorziene glijder 5, de moer 8 en de voedingsschroefas 11 een positieinstellingsmechanisme 12 voor de Z-richting.

20 Op een horizontaal bovenvlak 5b van het van een schuin vlak voorzien glijorgaan 5 is een Z-tafel 14 bevestigd, en wel door middel van stalen kogels 13a, die op onderlinge afstand rolbaar vastgehouden worden in een vasthoudorgaan 13b.

De Z-tafel 14 is in een horizontaal vlak in de X- en Y-rich- 25 tingen beweegbaar. Het vasthoudorgaan 13b houdt een aantal met een grote nauwkeurigheid afgewerkte stalen kogels 13a roteerbaar vast. Verder is een stoporgaan 13c aangebracht om te voorkomen dat het vasthoudorgaan 13b van zijn stand af wordt getrokken.

30 Daarentegen zijn zoals in figuur 3 getoond is, U-vormige steunorganen 16a, 16b bevestigd aan zowel de linker als de rechter zijde van het basisbed 1. Op bovenop de steunorganen 16a, 16b gevormde opvangvlakken 16c, 16d rust via een siliconen bevattende olie 16e ·(viskositeit ongeveer 10^ 35 centistokes) als een vloeistof met een grote viskositeit een positioneertafel 17 voor fijne instelling, die een in de . - X- en de Y-richting beweegbare positioneertafel vormt.

De positioneertafel 17 voor fijne instelling heeft, 870 0 4 4 5 - 13 - zoals in figuur 5 en 7 is getoond, een vierkant deel 17a en steundelen 17c, 17d, die zich zowel van de linker als de rechter zijde van het vierkante deel 17a naar buiten uitstrekken en trapdelen 17b omvatten voor het beperken van de 5 breedte van de steundelen 17c, 17d. Het vierkante deel 17a en de steundelen 17c, l7d zijn als één geheel gevormd. Een in hoofdzaak vierkant doorgaand gat 17e is aangebracht in het centrale deel van het vierkante deel 17a en respektieve rechthoekige doorgaande gaten 17f, 17g zijn aangebracht in 10 de steundelen 17c, 17d. Binnen de doorgaande gaten 17f, 17g zijn, zoals in figuur 5 is getoond, trillingsdempende delen 19,19 aangebracht, die voorzien zijn van tegenover de respektieve steunorganen 16a, 16b aangebrachte dempvlakken 18, 18, en de Z-tafel 14 strekt zich tot binnen het doorgaande gat 17e 15 uit. Zoals in figuur 7 is getoond, zijn bladveren 20 geplaatst tussen het bovenvlak van de tafel 17 voor fijne instelling in het bovenvlak van de Z-tafel. Elk van de bladveren 20 heeft hoofdzakelijk de vorm van een trapezium en aan beide zijden van een centrale lijn van het basisdeel van het trapezium 20 zijn symmetrische parallelle sleuven 20a aangebracht, zodat de bladveer 20 verdeeld is in twee zijdelen 20b en een centraal deel 20c, welk centrale deel 20c aan de Z-tafel 14 is bevestigd en waarbij beide zijdelen 20b door middel van schroeven aan de tafel 17 voor fijne instelling zijn bevestigd, 25 waardoor de Z-tafel 14 naar beneden wordt gedrongen, dat wil zeggen naar het positie-instellingsmechanisme voor de Z-richting.

Verder zijn zowel aan de voor- als achterdelen, (in de Y-richting) van het basisbed 1 U-vormige steunelementen 30 21a, 21b bevestigd, en elk van een paar in de X-richting beweegbare U-vormige blokken 23a, 23b is met pootdelen van het steunorgaan 21a, 21b verbonden via bladveren 22. Aan beide zijden van elk van de blokken 23a, 23b aangebrachte steundelen 24f, 24r strekken zich in de nabijheid van de trap-35 delen 17b van de tafel voor fijne instelling naar boven uit en een voorzijde van het steundeel 24f en een achterzijde van het steundeel 24r zijn respektievelijk door bladveren 25 8700445 - 14 - (figuur 2) verbonden met het vierkante deel 17a van de tafel 17' voor fijne instelling.

Zoals in figuur 2 is getoond, zijn elektromagneten 26a, 26b, die voorzien zijn van U-vormige kernen, waarop 5 bekrachtigingsspoelen zijn gewikkeld, respektievelijk bevestigd op de steunelementen 2la, 21b en beide einden van de elektromagneet 26a zijn met een vooraf bepaalde ruimte tegenover een aan de voorrand van de tafel 17 voor fijne instelling bevestigde magnetische plaat 27a aangebracht, en op gelijke 10 wijze zijn beide einden van de elektromagneet 26b binnen een vooraf bepaalde ruimte tegenover een aan de achterrand van de tafel 17 voor fijne instelling bevestigde magnetische plaat 27b geplaatst, en zoals in figuur 5 is getoond, zijn onder de steunelementen 16a, 16b van het basisbed 1 elektro-. *1 15 magneten 28a, 28b aangebracht, die zijn voorzien van U-vormige kernen, waarop bekrachtigingsspoelen zijn gewikkeld en beide einden van de elektromagneten 28a, 28b zijn binnen vooraf bepaalde ruimten tegenover magnetische platen 29a, 29b geplaatst, die respektievelijk bevestigd zijn op centrale delen 20 van de blokken 23a, 23b. Door het instellen van de grootte van de naar de bekrachtigingsspoelen van de elektromagneten 28a, 28b geleverde bekrachtigingsstromen .voor het doen toenemen van een magneetkracht van één van de tegenover elkaar geplaatste elektromagneten 28a, 28b, tot meer dan 25 een referentiewaarde en voor het doen afnemen van de magnetische krachten van de andere van de elektromagneten 28a, 28b zodat de magneetkracht gecompenseerd wordt met een veerkracht als gevolg van een verplaatsing van de bladveren 22, worden de blokken 23a, 23b tegen de veerkracht van de bladveer 22 30 in enigszins in de X-richting bewogen en aldus wordt de tafel 17 voor fijne instelling enigszins tegen de bladveren 25 in in de X-richting bewogen. Door verder de grootte van de van de aan de bekrachtigingsspoelen van de elektromagneten 26a, 26b geleverde bekrachtigingsstromen in te stellen voor het 35 doen vergroten van de magneetkracht op één van de elektromagneten 26a, 26b tot meer dan een referentiewaarde, en voor het doen afnemen van de krachten van de andere van de elektromag-nèten 26a, 26b, zodat de magneetkracht gecompenseerd wordt 1700445 - 15 - door een veerkracht als gevolg van een verplaatsing van de bladveren 25, wordt de tafel 17 voor fijne instelling in enige mate bewogen in de Y-richting tegen de bladveren 25.

Zoals verder in figuur 5 en 8 is getoond, is een 5 klemplaat-bevestigingsplaat 30, met een grote breedte aan het bovenvlak van de Z-tafel 14 bevestigd, en is een schijf-vormige klemplaat bevestigd aan de klemplaat-bevestigingsplaat 30. In het bovenvlak van de klemplaat 31 zijn met gelijke tussenruimten in de omtreksrichting 6 sectorvormige uitspa-10 ringen 32 aangebracht, waarbij tevens een positioneringspen 33 zich tot in de bevestigingsplaat 32 uitstrekt. Verder is een positioneringsringframe 34 aan de buitenrand van de klemplaat 31 bevestigd en is een zich van de linker eindrand § van de klemplaat 31 naar het centrum en zich verder van het 15 centrum naar het bovenvlak uitstrekkend doorgaand gat 35a aangebracht voor het vormen van een opening aan het bovenvlak en is een U-vormig doorgaand gat 35b aangebracht voor het omringen van het doorgaande gat 35a, waarbij het doorgaande gat 35b met elk van de uitsparingen 32 in verbinding staat.

20 De doorgaande gaten 35a, 35b zijn via respektieve drieweg-regelkleppen 36a, 36b verbonden met een gasaanzuiginrichting 36c, zoals een compressor of iets dergelijks, zoals dat in figuur 4 is getoond.

Op de klemplaat 31 is een dragerklemplaat 37 beves-25 tigd voor het bevestigen van een houder of dergelijke. Het ondervlak van de houderklem 37 heeft zodanige afmetingen in parallelliteit, dat de uitsparingen 32 van de klemplaat 31 worden gesloten, waardoor de dragerklemplaat 37 door de klemplaat 31 vacuum wordt gezogen. In het ondervlak van de drager-30 klemplaat 37 is een positioneringsgat 37a aangebracht, waarin de positioneringspen 33 van de klemplaat 31 is gestoken en, zoals in figuur 4 en 5 is getoond, is in de dragerklem 37 een doorgaand gat 38 aangebracht, dat zich van het centrum van het ondervlak van de dragerklem 37 naar boven, door de 35 zich van het centrum radiaal uitstrekkende doorgaande gaten 39 heen uitstrekt. Beide einden van de doorgaande gaten 39a zijn gesloten en smalle kanalen 39b zijn concentrisch in het 8700443 - 16 - bovenvlak van de dragerklem 37 aangebracht en de kanalen 39b en de doorgaande gaten 39a zijn met elkaar in verbinding door middel van kleine gaten 39c. Een grote verscheidenheid aan soorten klemmen, die voorzien zijn van bevestigingsvlakken, 5 die overeenkomen met de afmetingen van diverse te bevestigen elementen, kunnen worden gebruikt.

Verder is, zoals in figuur 4 is getoond, een reflec-tiespiegel 41 bevestigd aan de omtreksrand van de klembevesti-gingsplaat 30, waarbij de reflectiespiegel 41 voorzien is 10 van een zich parallel aan de Y-as uitstrekkend spiegeldeel 41a en een zich parallel met de X-as uitstrekkend spiegeldeel 41b is voorzien, zodat een L-vorm wordt gevormd. Tegenover het spiegeldeel 4la van de reflectiespiegel is een lasermeetinrich-ting 42a voor de X-as aangebracht en tegenover het spiegel-15 reflectiedeel 41b geplaatste lasermeetinrichting 42b voor de Y-as is respektievelijk bevestigd aan een hoofdlichaam van de inrichting. Deze lasermeetinrichtingen 42a, 42b geven positiedetectiesignalen af, die respektievelijk absolute posities aangeven van de tafel 17 voor fijne instelling in 20 de richting van de X-as, respektievelijk in de richting van de Z-as. Door middel van positie-detectiesignalen wordt de positie van de tafel 17 voor fijne instelling nauwkeurig gedetecteerd en wordt in overeenstemming met deze nauwkeurige stand de grootte van de aan de elektromagneten 26a, 26b, 28a, 25 28b geleverde stromen geregeld en wordt de positionering in de X- respektievelijk de Y-richtingen van de dragerklem 37 uitgevoerd.

In de figuren 4-6 geeft het referentienummer 43 een fotodetector aan voor het detecteren van niet-uniformiteit in 30 de hoeveelheid licht van een lichtbron voor belichting, en deze is bevestigd aan een L-vormig houdorgaan 44, dat beves- . .. tigd is aan het steundeel 17c van de tafel 17 voor fijne instelling. Door de hoeveelheid licht te meten bij een aantal posities, door het achtereenvolgens bewegen van de tafel 3 35 voor grove instelling, wordt een patroonherkenning uitgevoerd op basis van de meetpositie en op basis van de hoëveelheid-licht, voor het uitvoeren van de positionering van de licht- 87-6 0'.44 5' - -e - 17 - bron voor het belichten. Verder geeft in figuur 4 het refe-rentienummer 45 een temperatuurdetector aan voor het meten van een temperatuur op de positie van de dragerklem 37, en een (niet getoonde) luchtbeheersingstoestandinrichting wordt 5 geregeld voor het op basis van de gemeten waarde op een vooraf bepaalde waarde handhaven van de temperatuur op de positie van de wafelklem 47. Verder geeft in figuur 4 het referentienuramer 47 een detector aan, die magnetisme toepast voor het detecteren van drie punten, met inbegrip van 10 een regelbasis (neutrale positie), een bovenste grenspositie en een onderste grenspositie in de richting van de Z-as, en het magnetische lichaam 46a ervan is aan de klembevestigings-plaat 30 bevestigd en een detecteerdeel 46b is aan het steunelement 21a bevestigd. Door een door het detectiedeel 46 15 geleverd detectiesignaal toe te voeren aan een aandrijfschakeling 116b van de reeds genoemde focuserings-regelinrichting 116, wordt de oorsprong ingesteld.

Vervolgens zal de werking van de bovenbeschreven uitvoeringsvorm worden beschreven. Allereerst wordt, in een 20 toestand, waarbij de doorgaande gaten 35a, 35b van de klem-plaat 31 verbonden zijn met de omgeving door de drieweg-regelkleppen 36a, 36b,de in figuur 5 getoonde dragerklem 37 gekozen, afhankelijk van de afmetingen van de te belichten drager 102, en de positioneringspen 33 van de klemplaat 31 25 wordt tot in "de positioneringsopening 37a van de dragerklemplaat 37 gestoken en de dragerklemplaat 37 wordt geplaatst door het omtreksvlak van de dragerklemplaat 37 binnen het geleide-frame 34 te doen aangrijpen.

In deze toestand wordt de drieweg-regelklep 36b 30 omgezet vanaf de stand van figuur 3 en het doorgaande gat 35b van de klemplaat 31 komt in verbinding te staan met de gas-aanzuiginrichting 36c. Omdat de uitsparingen 32 zich dan bok in vacuum bevinden, wordt de dragerklem 37 aangetrokken en gefixeerd. Omdat het doorgaande gat 35a van de klemplaat 31.

35 en het in de opspanplaat 37 gevormde doorgaande gat 38 met ~ elkaar in verbinding staan, wanneer de drager 102 door een (niet getoonde) landinrichting op het bevestigingsvlak van de 870 0 44 3 k - 18 - opspanplaat 37 wordt geplaatst, kan de drager 102 door vacuum-zuiging vast worden gehouden door de drieweg-regelklep 36a om het doorgaande gat 35a van de opspanplaat 31 in verbinding te doen staan met de gaszuiginrichting 36c.

5 Bij deze vasthoudtoestand van de drager 102 wordt, wanneer de. positieinstelling van de drager 102 noodzakelijk is en wanneer een bewegingsrichting lang is, de tafel 3 voor grove instelling met een grote snelheid bewogen naar een stand in de nabijheid van de doelpositie, door de X- en ΥΙΟ aandrijfmechanismen 2a, 2b. Omdat de tafel 17 voor fijne instelling, waarmee de Z-tafel is verbonden door de blad-veren 20, gesteund wordt door bladveren 22, 25, zullen als gevolg van het traagheidsmoment van de tafel 17 voor fijne instelling trillingen veroorzaakt worden wanneer de beweging 15 van de tafel 3 voor grove instelling wordt beëindigd, die met een grote snelheid is bewogen. Omdat echter siliconenolie 16e met een grote viskositeit tussen de steunvlakken 16c, I6d van het basisbed 1 en het vibratiedempvlak 18 van de tafel 7 voor fijne instelling is geplaatst, worden de door 20 een beweging in twee dimensionale bewegingen van de tafel 17 voor fijne instelling uniform gedempt door een dempings-weerstand, als gevolg van de viskositeit van de siliconenolie 16e. Aldus worden de trillingen van de tafel 17 voor fijne instelling snel beëindigd. Omdat bovendien de trillings-25 dempingsdelen 19 aan beide einddelen van de tafel 17 voor fijne instelling zijn gevormd, worden de trillingen effektief gedempt, zelfs wanneer trillingen als gevolg van het moment, waarvan het centrum zich bevindt bij de centrale as van de tafel 17 voor fijne instelling veroorzaakt worden door de 30 beweging van de tafel 3 voor grove instelling.

Wanneer bij deze toestand, als de tafel 17 voor fijne instelling minutieus bewogen wordt in de X- respektie-velijk de Y-richting door het regelen van de grootte van de naar de bekrachtigingsspoelen van de elektromagneten 26a, 26b 35 en/of elektromagneten 28a, 28b voor de nauwkeurige instelling ~ van de positie van de drager 102, töegëvoèrd women cp basis van garieten waarden van de lasermeetinrichtingen 42a, 42b, is het moge- 870 0 44 5 - 19 - lijk een positionering te bereiken met een nauwkeurigheid, die kleiner is dan die van microns. Omdat de zijwanden van de trillingsdempende delen 19 nooit in kontakt zijn met de siliconenolie 16e, tijdens :de beweging van de tafel 17 voor 5 fijne instelling, neemt de weerstandswaarde niet toe als gevolg van de samendrukking van de siliconenolie 16e, zodat een vloeiende beweging van de tafel 17 voor fijne instelling kan worden verzekerd.

Vervolgens wordt de focusering van de lithografische 10. inrichting 100 uitgevoerd. Bij het focuseren wordt lucht onder druk toegevoerd via het sraoororgaan 112 aan de spuit-monden 110 afkomstig van de luchttoevoerhron lil, om de lucht-micrometer 115 in de werktoestand te brengen en onder deze toestand wordt de focuseringsregelinrichting 116 gebruikt.

15 Wanneer de focuserings-regelinrichting 116 zich in de werktoestand bevindt, wordt een een verschilwaarde tussen een door een doelwaardeinstelling 116a ingestelde focuseringsdoelwaarde en een door de verschildrukopnemer 113 afgegeven verschildrukdetectiesignaal representerend fout-20 signaal toegevoerd naar de aandrijfschakeling 116b en de door de aandrijfschakeling 116b afgegeven bekrachtigings-stroom wordt toegevoerd aan de gelijkstroommotor 9, die deel uitmaakt van het aandrijfmechanisme 2c voor de Z-as. Wanneer dan ook het verschildrukdetectiesignaal kleiner is dan de 25 doelwaarde, hetgeen betekent dat de tussenruimte tussen de spuitraonden 110 en de drager 102 groter is dan hun referentiewaarde, wordt bijvoorbeeld de rotatierichting van de gelijkstroommotor 9 omgedraaid. Wanneer de gelijkstroommotor 9 in de omgekeerde richting draait, wordt de rotatiekracht via de 30 moer 11 overgebracht naar het glij-element 5 met een schuin vlak en het glijelement 5 met een schuin vlak wordt geleid door de kruisgeleider CG teruggetrokken en het glijelement 5 met een schuin vlak beweegt zelf naar boven als gevolg van het terugtrekken. Omdat op dit moment het glijorgaan 5 met 35 een schuin vlak een beweging uitvoert, waarbij zijn bovenvlak 5b horizontaal wordt gehouden, verandert de positie van het rolelement met de op het bovenvlak 5b bevestigd vasthoud-element niet, en wordt een vloeiende terugtrekking van het 8700445 * * - 20 - glijelement met een schuin vlak verzekerd. Door bovendien in deze toestand de lineaire beweging te verzekeren van het glijorgaan 5 met een schuin vlak door middel van de kruis-rolgeleider CG, verandert de parallelliteit van het bovenvlak 5 van het glijorgaan met een schuin vlak niet. Omdat het verder mogelijk is de stalen kogels 13a met een grote nauwkeurigheid te vervaardigen en de parallelliteit van de boven- en ondervlakken van de klemplaat 31 en van de klemplaat 37 nauwkeurig kan worden bewerkt, onafhankelijk van de beweging van 10 het glijelement 5 met een schuin vlak, is het mogelijk te voorkomen dat de parallelliteit van het bovenvlak van de klemplaat 37, waarop de drager 102 bevestigd is, afwijkt.

Als gevolg van de bovenwaartse beweging van het bovenvlak 5b van het glijelement 5 met een schuin vlak, wordt de 15 op het glijelement 5 met een schuin vlak via het rolelement met vasthoudorgaan 13 bevestigde Z-tafel 14 naar boven bewogen. Hieruit vloeit voort, dat de klemplaat-bevestigingsplaat 30, de klemplaat 31 en de op de Z-tafel 14 bevestigde klemplaat 37 tevens naar boven worden bewogen, waardoor de tussen-20 ruimte tussen de drager 102 en de spuitmonden 110 klein wordt en op het tijdstip dat de tussenruimte overeenkomt met de referentiewaarde, de naar boven gerichte beweging wordt stopgezet voor het voltooien van de focusering. Wanneer daarentegen. de waarde van het versehildrukdetectiesignaal groter is 25 dan de doelwaarde, levert de regelinrichting 116 een bekrach-tigingsstroom voor het voorwaarts doen aandrijven van de gelijkstroommotor 9, en wanneer de gelijkstroommotor 9 in de voorwaartse richting wordt aangedreven, wordt het glijelement 5 met een schuin vlak naar voren bewogen en worden 30 de Z-tafel, de klemplaatbevestigingsplaat 30, de klemplaat 31 en de klem 37 naar beneden bewogen om de tussenruimte tussen de drager 102 en de spuitmonden 110 te vergroten. Wanneer de referentiestand is bereikt, wordt de benedenwaartse beweging stopgezet en is de focusering voltooid.

35 In deze toestand, waarbij de focusering voltooid is, wordt, voor het bereiken van de positie-instelling van de drager. 102 de tafel 3 voor grove instelling met een grote 870 0 4·': 3 - 21 - snelheid bewogen tot een positie in de nabijheid van de doelpositie/ wanneer de bewegingsafstand van de drager 102 groot is. Hierbij wordt de tafel 3 voor grove instelling aangedreven door het aandrijfmechanisme 2a voor de X-as en/of 5 het aandrijfmechanisme voor de Y-as, waarna de tafel 17 voor fijne instelling minutieus wordt bewogen in de X- en/of Y-richting door energie toe te voeren aan bekrachtigingsspoelen van de elektromagneten 26a/ 26b en/of elektromagneten 28a, 28b van de tafel 17 voor fijne instelling. Door het detecteren 10 van de absolute waarde van deze minutieuze beweging door de j lasermeetinrichting 42a en/of 42b, en door het regelen van de grootte van de aan de bekrachtigingsspoelen van de elektromagneten 26a, 26 en/of elektromagneten 28a, 28b toe te voeren stromen op basis van de gedetecteerde waarde, is het mogelijk 15 een positionering te bereiken met een nauwkeurigheid die kleiner is dan een micron. Zoals reeds is beschreven, worden, als gevolg van het toepassen van elektromagneten als aandrijfmechanismen voor het uitvoeren van de fijne instelling in de X- respektievelijk Y-richting, trillingen niet veroorzaakt, 20 in tegenstelling tot het geval, waarbij een motor wordt gebruikt en waardoor het mogelijk is geworden een afwijking te voorkomen van de positie van de Z-asrichting, wanneer de Z-tafel 14 en de tafel 17 voor een fijne instelling in de X- respektievelijk Y-richting bewegen. ' 25 Wanneer de drager 102 met een andere afmeting moet worden bevestigd, worden de driestanden-regelkleppen 36a, 36b teruggebracht naar de stand van figuur 3 en wordt de verbinding tussen de doorgaande gaten 35a, 35b van de klemplaat 31 en de gasaanzuiginrichting 36c onderbroken en 30 worden tevens de doorgaande gaten 35a, 35b verbonden met de omgeving. Dan wordt de dragerklem 37 verwijderd en wordt op de wijze, zoals deze reeds is beschreven, een andere dragerklem 37 vacuum gezogen op de klem 31.

Wanneer verder een kwiklamp of dergelijke van het 35 lichtbrondeel 107 wordt verwisseld, zodat de bevestigings- stand van de kwiklamp moet worden aangepast, wordt de kwik- ' lamp in een vooraf bepaalde stand bevestigd, en wordt de kwiklamp in deze stand ontstoken zodat de belichtingsbundel 8700445 V i - 22 .- het bovenvlak van de XYZ-trap 103 verlicht. Bij deze verlichte toestand van de belichtingsbundel wordt de tafel 3 voor grove instelling door het X-as-aandrijfraechanisme 2a en/of het Y-as-aandrijfmechanisme 2b bewogen en de lichthoeveelheid-5 detector 43 wordt naar een aantal posities bewogen binnen een illuminatiegebied van de belichtingsbundel. Het in elke positie geleverde, de hoeveelheid licht representerende detectie-uitgangssignaal van de lichthoeveelheiddetector 43 wordt naar een (niet getoonde) bewerkingsinrichting gevoerd voor het 10. detecteren van de verdeling van de hoeveelheid licht van de belichtingsbundel. Deze verdeling wordt bijvoorbeeld weergegeven op een weergeefinrichting met verschillende kleuren voor verschillende lichthoeveelheden, zodat door het instellen van de bevestigingsstand van de kwiklamp in overeenstemming met 15 deze weergave de nauwkeurigheid van de bevestigde stand van de kwiklamp kan worden verbeterd.

Bij de reeds beschreven uitvoeringsvormen is de onderhavige uitvinding niet beperkt tot deze struktuur, alhoewel het glijorgaan 5 met een schuin, oppervlak via de kruisrol-20 geleider CG op de geleider 4 van het basisbed 1 wordt geleid, welk basisbed bevestigd is op de tafel 3 voor grove instelling, zodat het vlak van de schuine uitsparing 4a van de geleider 4 in oppervlaktekontakt kan zijn met het ondervlak 5a van het glijorgaan 5 met een schuin vlak.

25 Verder is het aandrijfmechanisme voor het glijorgaan 5 met een schuin vlak niet beperkt tot de bovenbeschreven uitvoeringsvorm en kan een pulsmotor toegepast worden in plaats van de gelijkstroommotor en kan, wanneer dat noodzakelijk is, een vertragings-tandwielstelsel worden toegevoegd, terwijl 30 overigens diverse aandrijfmechanismen, met inbegrip van een voedingsschroefsoort, een nokaandrijfsoort^êuftnen worden toegepast.

Verder wordt bij de bovenbeschreven uitvoeringsvormen de op het glijorgaan 5 met een schuin vlak bevestigde 35 Z-taf el 14 in de X- en in de Y-richting bewogen. De onderhavige uitvinding is echter eveneens van toepassing op het geval waarbij de Z-tafel 14 slechts in de X-richting of in de Y-richting wordt bewogen en in een dergelijk geval zijn als rol-

8 Ί Λ i% t 3 K

/ tl U 4 4 ί) - 23 - element 13 niet alleen stalen kogels, maar tevens rollen toepasbaar.

Alhoewel in de bovenbeschreven uitvoeringsvormen de trillingsdempdelen 19 bij twee delen zijn aangebracht 5 van de tafel 17 voor fijne instelling, is de onderhavige uitvinding hiertoe niet beperkt en het aantal en het oppervlak van de trillingsdempingsdelen 19 kan willekeurig worden gekozen.

Bij de bovenbeschreven uitvoeringsvormen is verder 10 de siliconen-olie 16e gevoegd tussen de opneemvlakken 16c en 16d en de trillingsdempvlakken 18, zodat de siliconenolie 16e zich op afstand bevindt van de zijrand van het trillingsdemp-vlak 18 en wel naar binnen in de bewegingsrichting van de tafel 17 voor fijne instelling. De onderhavige uitvinding is 15 hier echter niet toe beperkt en de siliconenolie 16e kan zich over het gehele vlak van het trillingsdempingsvlak 18 heen uitstrekken. Het is echter essentieel, dat de siliconenolie zodanig wordt aangebracht, dat er geen overbodige weerstand wordt veroorzaakt tussen de zijwand en de siliconenolie, 20 wanneer de zijwand in kontakt is met de siliconenolie 16e tijdens de beweging van de tafel 17 voor fijne instelling.

Verder wordt in de bovenbeschreven uitvoeringsvormen de siliconenolie 16e gebruikt als de viskeuze vloeistof. De onderhavige uitvinding is hiertoe echter niet beperkt en elke 25:. viskeuze vloeistof met een grote viskositeit kan vanzelfsprekend worden gebruikt.

Alhoewel bij de bovenbeschreven uitvoeringsvormen het geleideframe 34 aan de omtreksdelen van het bovenvlak van de klemplaat 31 zijn aangebracht, is de onderhavige uitvinding 30 hiertoe niet beperkt en het geleideframe 34 kan achterwege worden gelaten door het aanbrengen van een aantal positio-neringspennen en positioneringsgaten 37a.

Alhoewel bij de bovenbeschreven uitvoeringsvormen de klemplaat 31 en de Z-tafel 14 als afzonderlijke elementen 35 het klemplaatvasthoudlichaam vormen, is de onderhavige uitvinding hiertoe niet beperkt en de klemplaat 31 kan op de Z-tafel 14, als één geheel, worden gevormd. De onderhavige 8700445 - 24 - uitvinding beperkt zich bovendien niet tot het geval, waarbij de uitsparingen slechts in het bovenvlak van de klemplaat 31 zijn aangebracht, zoals in de uitvoeringsvormen het geval is en de uitsparingen 32 van de klemplaat 31 kunnen achterwege 5 worden gelaten, en in plaats daarvan kunnen uitsparingen worden aangebracht in het ondervlak van de houderklem 37, en kan het doorgaande gat 35b geopend zijn aan het bovenvlak van de klemplaat 31. Als alternatief kunnen uitsparingen gevormd worden in zowel de klemplaat 31 als in de dragerklem 37. Van belang 1.Q: is dat de uitsparingen nauwkeurig worden omsloten door elkaar rakende vlakken van de klemplaat 31 en de dragerklem 37, waarbij deze uitsparingen in verbinding staan met de gasaanzuig-inrichting 36c, zodat de klemplaat 31 de dragerplaat 37 kan aanzuigen en vasthouden.

15 Bij de in het voorgaande beschreven uitvoeringsvor men is de onderhavige uitvinding toegepast bij een verkleinings-projektie-belichtingsinrichting. De onderhavige uitvinding is hier echter niet toe beperkt en zij is eveneens toepasbaar bij elke willekeurige XYZ-tafel, zoals een XYZ-tafel voor 20 andere machinewerktuigen, enz.

870 0 44 5

Claims

1. Pösitioneertafelinrichting voor een samengestelde beweging, welke in staat is om ten minste in de richting van een Z-as te bewegen, omvattende: een op een basis bevestigde tafel voor grove instel-5 ling, die aandrijfbaar is in ten minste één van de richtingen van de X-as en de Y-as; een op de tafel voor grove instelling bevestigd basisbed ; een zowel in de richting van de .Z-as, als in de rich-10 ting van de X-as en van de Y-as beweegbare Z-tafel, een aan het basisbed bevestigd instelmechanisme voor de Z-richting voor het instellen van een stand van de Z-tafel in de richting van de Z-as ten opzichte van het basisbed; en tussen de Z-tafel en het basisbed aangebrachte 15 trillingsdempingsmiddelen voor het dempen van trillingen, die veroorzaakt zijn bij de Z-tafel tijdens de bewegingen in de richting van de X-as of in de richting van de Y-as, waarbij het instelmechanisme voor de Z-richting een aandrijfmechanisme omvat voor het instellen van de stand van 20 de Z-tafel in de richting van de Z-as; en waarbij het aandrijfmechanisme voorzien is van een aan het basisbed bevestigde motor.

2- Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het instelmechanisme voor de Z-richting een op het basis-25 bed aangebracht schuin geleidedeel, een in zijn beweging door het schuine geleide-deel geleid schuin glijorgaan, dat is voorzien van een horizontaal bovenvlak, en een aandrijfmechanisme omvat voor het aandrijven van het schuine glijorgaan om dit langs het schuine glijdeel heen en weer te bewegen.

3. Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat het schuine geleidedeel een dwarsrolgeleider omvat, en dat het aandrijfmechanisme voorzien is van een schroefinrichting van het schroef-type, omvattende een schroefas, waarvan de as zich parallel uitstrekt aan het schuine geleidedeel, welke as in rotatie wordt aangedrevèn door een aandrij fmotor. 8700445 - 26 -

4. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de Z-tafel via een rolelement met een vasthoudorgaan bevestigd is op het instelmechanisme voor de Z-richting, zodat de Z-tafel horizontaal beweegbaar is.

5. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de Z-tafel veerkrachtig gekoppeld is met een XY-beweg.ngs-tafel en dat de trillingsdempingsmiddelen een trillingsdempings-deel omvatten, dat is voorzien van een zich parallel met een 10 op de XY-bewegingstafel gevormd bewegingsvlak uitstrekkend trildempvlak omvat, dat tevens is voorzien van een op het basisbed gevormd opneemvlak, dat in de nabijheid en tegenover het trildempdeel is aangebracht, en voorzien is van een tussen het opneemvlak en het trillingsdempingsvlak aange-15 brachte viskeuze vloeistof, waarbij deze viskeuze vloeistof een ruimte vult tussen het opneemvlak en het trillingsdempingsvlak, waarbij de hoogte van de viskeuze vloeistof gelijk is aan of kleiner is dan de tussenruimte, waardoor een demp-effekt wordt toegekend aan het trildempvlak.

6. Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat het trillingsdempvlak en het opneemvlak gevormd zijn bij elk van beide zijdelen van de XY-tafel.

7. Inrichting volgens conclusie 5 of conclusie 6, met het kenmerk, dat de viskeuze vloeistof een siliconen- 25 olie is met een grote viskositeit.

8. Inrichting volgens conclusie 5, waarbij tussen de Z-tafel en de XY-tafel een bladveer is aangebracht om de Z-tafel in de richting van de X-as naar het glijorgaan met een schuin vlak te dringen.

9. Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat op de Z-tafel een klemhoudelement is bevestigd, dat een klemplaat voor het aanzuigen en vasthouden van een belicht element van een belichtingsinrichting verwijderbaar vastgehouden wordt op het klemhoudelement, waarbij een een nauwe 35 afgesloten ruimte vormende uitsparing gevormd is bij een aan elkaar grenzend deel tussen de klemplaat en het klemhoudelement, en waarbij de uitsparing in verbinding staat met gasaanzuigmiddelen. §70 δ 44 5 ..... - - - - Λ