NL8302029A - A METHOD FOR STREAMLESS GOLD PLATING. - Google Patents
A METHOD FOR STREAMLESS GOLD PLATING. Download PDFInfo
- Publication number
- NL8302029A NL8302029A NL8302029A NL8302029A NL8302029A NL 8302029 A NL8302029 A NL 8302029A NL 8302029 A NL8302029 A NL 8302029A NL 8302029 A NL8302029 A NL 8302029A NL 8302029 A NL8302029 A NL 8302029A
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- gold
- alkali metal
- electroless
- gold plating
- potassium
- Prior art date
Links
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 title claims description 125
- 239000010931 gold Substances 0.000 title claims description 125
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 120
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims description 61
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 claims description 65
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 claims description 48
- -1 alkali metal gold (III) cyanides Chemical class 0.000 claims description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 23
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 21
- XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N Cyanide Chemical compound N#[C-] XFXPMWWXUTWYJX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 claims description 15
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical group [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 14
- 239000011591 potassium Substances 0.000 claims description 14
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 claims description 14
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 claims description 12
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 claims description 11
- KPQDSKZQRXHKHY-UHFFFAOYSA-N gold potassium Chemical compound [K].[Au] KPQDSKZQRXHKHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 8
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical group [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 5
- 229910000085 borane Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 150000001860 citric acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 3
- WDZVNNYQBQRJRX-UHFFFAOYSA-K gold(iii) hydroxide Chemical compound O[Au](O)O WDZVNNYQBQRJRX-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 3
- NRTDAKURTMLAFN-UHFFFAOYSA-N potassium;gold(3+);tetracyanide Chemical group [K+].[Au+3].N#[C-].N#[C-].N#[C-].N#[C-] NRTDAKURTMLAFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N trihydridoboron Substances B UORVGPXVDQYIDP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000318 alkali metal phosphate Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 150000001642 boronic acid derivatives Chemical class 0.000 claims description 2
- YPTUAQWMBNZZRN-UHFFFAOYSA-N dimethylaminoboron Chemical group [B]N(C)C YPTUAQWMBNZZRN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910021505 gold(III) hydroxide Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 claims description 2
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 claims description 2
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 claims description 2
- DHCDFWKWKRSZHF-UHFFFAOYSA-L thiosulfate(2-) Chemical compound [O-]S([S-])(=O)=O DHCDFWKWKRSZHF-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims 3
- 239000006172 buffering agent Substances 0.000 claims 2
- WOFVPNPAVMKHCX-UHFFFAOYSA-N N#C[Au](C#N)C#N Chemical compound N#C[Au](C#N)C#N WOFVPNPAVMKHCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 230000003113 alkalizing effect Effects 0.000 claims 1
- 150000008064 anhydrides Chemical class 0.000 claims 1
- 150000004679 hydroxides Chemical class 0.000 claims 1
- 235000015870 tripotassium citrate Nutrition 0.000 claims 1
- 229960003975 potassium Drugs 0.000 description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 6
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 6
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 6
- 239000000337 buffer salt Substances 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M hydroxide Chemical compound [OH-] XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 3
- 150000008044 alkali metal hydroxides Chemical class 0.000 description 3
- 239000002738 chelating agent Substances 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 150000002344 gold compounds Chemical class 0.000 description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BDDLHHRCDSJVKV-UHFFFAOYSA-N 7028-40-2 Chemical compound CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O.CC(O)=O BDDLHHRCDSJVKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000005979 Citrus limon Nutrition 0.000 description 2
- 244000131522 Citrus pyriformis Species 0.000 description 2
- 229910000881 Cu alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 2
- 239000003929 acidic solution Substances 0.000 description 2
- RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N boron;n-methylmethanamine Chemical compound [B].CNC RJTANRZEWTUVMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012928 buffer substance Substances 0.000 description 2
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 2
- 150000002343 gold Chemical class 0.000 description 2
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 2
- NDDAHWYSQHTHNT-UHFFFAOYSA-N indapamide Chemical compound CC1CC2=CC=CC=C2N1NC(=O)C1=CC=C(Cl)C(S(N)(=O)=O)=C1 NDDAHWYSQHTHNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N potassium cyanide Chemical compound [K+].N#[C-] NNFCIKHAZHQZJG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229940083542 sodium Drugs 0.000 description 2
- LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K tripotassium phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])([O-])=O LWIHDJKSTIGBAC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O Ammonium Chemical compound [NH4+] QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-O 0.000 description 1
- 241000132028 Bellis Species 0.000 description 1
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K Citrate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N Disodium Chemical compound [Na][Na] QXNVGIXVLWOKEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N EDTA Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O KCXVZYZYPLLWCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N N,N-bis{2-[bis(carboxymethyl)amino]ethyl}glycine Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CCN(CC(=O)O)CCN(CC(O)=O)CC(O)=O QPCDCPDFJACHGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101100409482 Neosartorya fumigata mcsA gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000990 Ni alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 244000269722 Thea sinensis Species 0.000 description 1
- 229910021626 Tin(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARHBWGMHXPPGCZ-UHFFFAOYSA-N [K].[Au](C#N)(C#N)C#N Chemical class [K].[Au](C#N)(C#N)C#N ARHBWGMHXPPGCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910002065 alloy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005275 alloying Methods 0.000 description 1
- TVJORGWKNPGCDW-UHFFFAOYSA-N aminoboron Chemical compound N[B] TVJORGWKNPGCDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003868 ammonium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- KKAXNAVSOBXHTE-UHFFFAOYSA-N boranamine Chemical class NB KKAXNAVSOBXHTE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZTQYEZDTWTZXPF-UHFFFAOYSA-N boron;propan-2-amine Chemical compound [B].CC(C)N ZTQYEZDTWTZXPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 1
- KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L chromic acid Substances O[Cr](O)(=O)=O KRVSOGSZCMJSLX-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 101150091051 cit-1 gene Proteins 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-b]pyrazine-5,7-dione Chemical compound C1=CN=C2C(=O)OC(=O)C2=N1 AWJWCTOOIBYHON-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- ZBKIUFWVEIBQRT-UHFFFAOYSA-N gold(1+) Chemical compound [Au+] ZBKIUFWVEIBQRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IZLAVFWQHMDDGK-UHFFFAOYSA-N gold(1+);cyanide Chemical compound [Au+].N#[C-] IZLAVFWQHMDDGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBMIPXHVOVTTTL-UHFFFAOYSA-N gold(3+) Chemical compound [Au+3] CBMIPXHVOVTTTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N nitrilotriacetic acid Chemical compound OC(=O)CN(CC(O)=O)CC(O)=O MGFYIUFZLHCRTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L palladium(II) chloride Chemical compound Cl[Pd]Cl PIBWKRNGBLPSSY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229960003330 pentetic acid Drugs 0.000 description 1
- AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L potassium L-tartrate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 229960002635 potassium citrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011082 potassium citrates Nutrition 0.000 description 1
- 229910000160 potassium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000011009 potassium phosphates Nutrition 0.000 description 1
- 159000000001 potassium salts Chemical class 0.000 description 1
- LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L potassium sodium L-tartrate Chemical compound [Na+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O LJCNRYVRMXRIQR-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 239000001472 potassium tartrate Substances 0.000 description 1
- 229940111695 potassium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011005 potassium tartrates Nutrition 0.000 description 1
- 239000010970 precious metal Substances 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 238000011112 process operation Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 235000015424 sodium Nutrition 0.000 description 1
- 239000001509 sodium citrate Substances 0.000 description 1
- MNWBNISUBARLIT-UHFFFAOYSA-N sodium cyanide Chemical class [Na+].N#[C-] MNWBNISUBARLIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001488 sodium phosphate Substances 0.000 description 1
- 229910000162 sodium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001476 sodium potassium tartrate Substances 0.000 description 1
- 235000011006 sodium potassium tartrate Nutrition 0.000 description 1
- 239000001433 sodium tartrate Substances 0.000 description 1
- 229960002167 sodium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011004 sodium tartrates Nutrition 0.000 description 1
- 235000011150 stannous chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 1
- 150000003892 tartrate salts Chemical class 0.000 description 1
- RYCLIXPGLDDLTM-UHFFFAOYSA-J tetrapotassium;phosphonato phosphate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[K+].[O-]P([O-])(=O)OP([O-])([O-])=O RYCLIXPGLDDLTM-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L tin(II) chloride (anhydrous) Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Sn+2] AXZWODMDQAVCJE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
- YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N triammonium citrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[NH4+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O YWYZEGXAUVWDED-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUUHFRRPHJEEKV-UHFFFAOYSA-N tripotassium borate Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]B([O-])[O-] WUUHFRRPHJEEKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOBHUZYZLFQYFK-UHFFFAOYSA-K trisodium;hydroxy-[[phosphonatomethyl(phosphonomethyl)amino]methyl]phosphinate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].OP(O)(=O)CN(CP(O)([O-])=O)CP([O-])([O-])=O SOBHUZYZLFQYFK-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 210000000689 upper leg Anatomy 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C18/00—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
- C23C18/16—Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
- C23C18/31—Coating with metals
- C23C18/42—Coating with noble metals
- C23C18/44—Coating with noble metals using reducing agents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
- Cosmetics (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
Description
» 4 70 W5o > *»4 70 W5o> *
Titel: Een werkwijze voor de stroomloze goud plattering.Title: A method for electroless gold plating.
De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een verbeterde werkwijze voor de stroomloze of autokatalytische afzetting van goud op substraten; en meer in het bijzonder op het gebruik van een nieuw stroomloos plat-teringsbad voor de afzetting van goud op metallische , en niet-metallische 5 substraten.The present invention relates to an improved method for the electroless or autocatalytic deposition of gold on substrates; and more particularly to the use of a new electroless plating bath for depositing gold on metallic and non-metallic substrates.
In de laatste jaren heeft zich een behoorlijke omvangrijke literatuur ontwikkeld met betrekking tot de stroomloze methode van goud plattering op oppervlakken. Amerikaanse octrooischriften van bijzonder belang voor zowel de stroomloze goud platteringsmethode en de met deze procedure 10 verbonden problemen omvatten 3,300,3^8 (Luce); 3,589,916 (McCormack); 3,389,916 (Gostir); 3,697,296 (Bellis); 3,700,1*69 (Okinaka); 3,798,056 (Ckinaka et al.); 3,917,885 (Baker); alsmede de daarin geciteerde oudere octrooien en artikelen. Relevante artikelen omvatten: Rich, D.W., Proc.In recent years, quite extensive literature has developed regarding the electroless method of gold plating on surfaces. US patents of particular interest to both the electroless gold plating method and the problems associated with this procedure include 3,300.3 ^ 8 (Luce); 3,589,916 (McCormack); 3,389,916 (Gostir); 3,697,296 (Bellis); 3,700.1 * 69 (Okinaka); 3,798,056 (Ckinaka et al.); 3,917,885 (Baker); as well as the older patents and articles cited therein. Relevant articles include: Rich, D.W., Proc.
American Electroplating Society, 58 (1971); Y. Okinaka, Plating 57, 91^ 15 (1970); en Y. Okinaka en C. Wblowodink, Plating, 58, 1080 (1971)· Deze hoeveelheid literatuur is in zoverre van toepassing op de onderhavige uitvinding, dat daarin alkali metaal cyaniden worden beschreven als bron voor het goud of verwante metalen in het stroomloze bad alsmede het gebruik-van alkali metaal borohydriden en amineboranen als reductiemiddeien wordt be-20 schreven. Zo werd bijvoorbeeld in het uit 1970 daterende artikel van Okinaka en in zijn Amerikaanse octrooischrift 3·700.1*69 een stroomloos goud platteringsbad beschreven met de volgende ingrediënten: (1) oplosbaar alkali metaal goud.complex; (2) . overmaat vrij cyanide zoals kalium cyanide; 25 (3). een basische stof zoals kalium hydroxyde; en (kj een borohydride of een aminehoraan.American Electroplating Society, 58 (1971); Y. Okinaka, Plating 57, 91-15 (1970); and Y. Okinaka and C. Wblowodink, Plating, 58, 1080 (1971) This amount of literature is applicable to the present invention to the extent that it describes alkali metal cyanides as a source of the gold or related metals in the electroless bath. as well as the use of alkali metal borohydrides and amine boranes as reducing agents are described. For example, the 1970 Okinaka article and U.S. Patent 3,700,1 * 69 described an electroless gold plating bath with the following ingredients: (1) soluble alkali metal gold complex; (2). excess free cyanide such as potassium cyanide; 25 (3). a basic substance such as potassium hydroxide; and (kj a borohydride or an aminehorane.
Het uit 1971 daterende artikel van Okinaka et al alsmede het Amerikaanse octrooischrift 3.917*885 van Baker beschrijven de problemen die verbonden zijn aan het gebruik van deze bijzondere platteringsbaden, in het 30 bijzonder wanneer de cyanideconcentraties stegen. Andere problemen werden ondervonden wanneer aanvulling van de baden werd uit gevoerd en de baden werden instabiel wanneer een platteringssnelheid van ongeveer 2,5 micron werd benaderd. De behoefte om ongewenste goud precipitatie uit de baden te vermijden, wordt eveneens vermeld.The 1971 article by Okinaka et al as well as Baker's U.S. Pat. No. 3,917,885 describe the problems associated with the use of these particular plating baths, especially when cyanide concentrations increased. Other problems were encountered when replenishment of the baths was performed and the baths became unstable when a plating rate of about 2.5 microns was approached. The need to avoid unwanted gold precipitation from the baths is also noted.
----„„ ^ 8302029---- „„ ^ 8302029
4\ V4 \ V
- 2 -- 2 -
In het Amerikaanse octrooischrift 3-9ΊΤ·885 werden deze problemen overwonnen door als bron voor bet goud of verwante metalen een alkali mev taal imide complex te gebruiken, dat uit bepaalde speciale imiden was gevormd. Ten einde de stroomloze goud plattering op de gewenste pH 11 tot 1U 5 te- houden, wordt in het octrooischriffc van Baker de toevoeging aan het bad voorgesteld van alkali metaal bufferzouten, zoals de citraten enzovoort.In U.S. Pat. No. 3,98885, these problems were overcome by using an alkali metal imide complex formed from certain special imides as the source of the gold or related metals. In order to maintain the electroless gold plating at the desired pH 11 to 1U 5, the Baker patent discloses the addition to the bath of alkali metal buffer salts such as the citrates and so on.
De behoefte om speciale imiden te gebruiken in de bereiding van het goud imidecomplex is een duidelijk commercieel nadeel.The need to use special imides in the preparation of the gold imide complex is a clear commercial drawback.
Ook is in een de Amerikaanse octrooiaanvrage nummer 2k6.Vf2 voorge-10 steld om de problemen van de stand der techniek te overwinnen door een driewaardig goud metaal complex of verbinding te gebruiken als bron voor het goud in het platteringsbad. Ongelukkigerwijze is onder groot schalige commerciële condities gevonden, dat de vervanging van de monovalente goud complexen of verbindingen door driewaardig goud de problemen met betrekking 15 tot onjuiste badstabiliteit, metaalafzetting en badaanvulling, niet geheel overwint.Also, in a U.S. patent application No. 2k6.Vf2, it has been proposed to overcome the problems of the prior art by using a trivalent gold metal complex or compound as a source of the gold in the plating bath. Unfortunately, under large-scale commercial conditions, it has been found that replacement of the monovalent gold complexes or compounds with trivalent gold does not completely overcome the problems of improper bath stability, metal deposition and bath replenishment.
Doel van de onderhavige uitvinding is om een verbeterd stroomloos of autokatalytisch goud platteringsbad te verschaffen dat de problemen en nadelen van de tot heden voorgestelde baden vermijd.The object of the present invention is to provide an improved electroless or autocatalytic gold plating bath that avoids the problems and disadvantages of the baths proposed to date.
20 Een ander doel van de onderhavige uitvinding is om een verbeterd stroomloos of autokatalytisch goud platteringsbad te verschaffen, waarmee gemakkelijk goud zal worden afgezet op goud, alsmede op verscheidene metallische en niet-metallische substraten met goede hechting.Another object of the present invention is to provide an improved electroless or autocatalytic gold plating bath that will easily deposit gold on gold as well as various metallic and non-metallic substrates with good adhesion.
Een ander doel van de onderhavige uitvinding is om een verbeterd 25 stroomloos of autokatalytisch. goud platteringsbad te verschaffen, waarmee gemakkelijk ductyl, citroengeel zuiver goud zal worden afgezet op substraten in zeer wenselijke commerciële snelheden en dikten.Another object of the present invention is to provide an improved electroless or autocatalytic. gold plating bath, which will easily deposit ductyl, lemon yellow pure gold on substrates at highly desirable commercial speeds and thicknesses.
Weer een ander doel van de onderhavige uitvinding is om een stroomloos. of autokatalytisch goud platteringsbad te verschaffen, dat een vergroe. 3Q te stabiliteit heeft en op doelmatige wijze kan worden aangevuld.Yet another object of the present invention is to make a currentless. or provide an autocatalytic gold plating bath, which fuses. 3Q has stability and can be supplemented efficiently.
Deze en andere doeleinden zullen gemakkelijk duidelijk worden uit de volgende beschrijving van de uitvinding.These and other objects will be readily apparent from the following description of the invention.
Volgens de onderhavige uitvinding is thans gevonden dat een verdere verbetering in een stroomloos of autokatalytisch. goud platteringsbad en 35 goud platteringsprocedure kan worden gerealiseerd door als bron voor het goud in het platteringsbad gebruik te maken van een mengsel van (a). een 8302029 J 4* - 3 - driewaardig goud metaalcomplex of verbinding zoals alkali metaal goud(HI) cyanide, alkali metaal auraten, of alkali metaal goud(lll) hydroxyden; en (¾) een ëênwaardig goud metaalcomplex of verbinding zoals alkali metaal goudÜl)cyanide. Meer in bet bijzonder beeft de onderhavige uitvinding be-5 trekking op autokatalytische baden en procedures, dat wil zeggen waarbij bet goud kan worden geplatteerd op goud alsmede op andere geschikt-behandelde metallische of niet-metallische substraten. Derhalve beoogd de hier gebruikte therm "stroomloos" autokatalytische plattering te omvatten.According to the present invention it has now been found that a further improvement in an electroless or autocatalytic. gold plating bath and gold plating procedure can be accomplished by using a mixture of (a) as the source of the gold in the plating bath. an 8302029 J 4 * - 3 - trivalent gold metal complex or compound such as alkali metal gold (HI) cyanide, alkali metal aurates, or alkali metal gold (III) hydroxides; and (¾) a monovalent gold metal complex or compound such as alkali metal gold (1) cyanide. More particularly, the present invention relates to autocatalytic baths and procedures, that is, gold can be plated on gold as well as other suitably-treated metallic or non-metallic substrates. Therefore, the therm used herein is "electroless" autocatalytic plating.
De stroomloze platteringsbaden volgens de uitvinding zullen tevens 10 een geschikt reductiemiddel bevatten zoals een amino boraan of een alkali metaal horohydride, cyaanborohydride, hydrazine of hypesulfiet. De baden., zullen een pH hebben van ongeveer 10 tot 13 en kunnen additionele ingrediënten bevatten ten èinde deze pH te bereiken en/of in stand te houden, met inbegrip van een basische stof zoals een alkali metaalhydroxyde en een 15 bufferstof zoals een alkali metaal citraat. Een alkali metaal cyanide is een verdere optionele ingrediënt om de stabiliteit van het bad te verbeteren.The electroless plating baths of the invention will also contain a suitable reducing agent such as an amino borane or an alkali metal horohydride, cyano borohydride, hydrazine or hypesulfite. The baths will have a pH of about 10 to 13 and may contain additional ingredients to achieve and / or maintain this pH, including a basic substance such as an alkali metal hydroxide and a buffer substance such as an alkali metal citrate. An alkali metal cyanide is a further optional ingredient to improve the stability of the bath.
In de meeste bewerkingen zal het stroomloze platteringsbad volgens de onderhavige uitvinding worden bedreven bij een platteringstemperatuur 20 van ongeveer 50°C tot aan een temperatuur waarbij het bad ontleed. De bedrijf stemperatur en zullen typerend liggen bij ongeveer 50>tot 95°C. en liever bij ongeveer 60 tot 85°C.In most operations, the electroless plating bath of the present invention will operate at a plating temperature of about 50 ° C up to a temperature at which the bath decomposes. The operating temperatures are typically about 50 to 95 ° C. and more preferably at about 60 to 85 ° C.
De volgens de onderhavige uitvinding te platteren substraten zijn bij voorkeur metalen zoals goud, koper enzovoort. Voor deze metaalsuhstra-25 tea zijn geen bijzondere voorbehandelingen nodig. Bovendien kunnen ook gemetalliseerde keramische en niet-metallische substraten worden geplatteerd. Dergelijke substraten zullen natuurlijk voor de plattering worden onderworpen aan geschikte voorbehandelingen, zoals die op zichzelf welbekend zijn.The substrates to be plated according to the present invention are preferably metals such as gold, copper, etc. No special pretreatments are required for this metal sustra-25 tea. In addition, metalized ceramic and non-metallic substrates can also be plated. Such substrates will, of course, be subjected to suitable pretreatment before plating, as are well known per se.
De uitvinding vóórziet tevens in een aanvulling van het stroomloze 3Q platteringsbad met driewaardig goud in de vorm van een alkali metaal au-raat of goud(IIlihydroxyde-oplossing teneinde de gewenste goud concentratie van het bad in stand te houden. Dit is een belangrijk kenmerk van de onderhavige uitvinding, waardoor het probleem van de stand der techniek van onjuiste metaal afzettingssnelheden verbonden aan het gebruik van eén-35 waardig goud cyanide wordt overwonnen. Extra basische stof en reductiemiddel kunnen eveneens tijdens aanvulling van het bad worden toegevoegd zon- _____ 8302029 % -1+- der dat men daardoor enig nadelig resultaat ervaart.The invention also provides an addition to the electroless 3Q plating bath with trivalent gold in the form of an alkali metal acid or gold (II hydroxide solution) to maintain the desired gold concentration of the bath. This is an important feature of the present invention, which overcomes the prior art problem of improper metal deposition rates associated with the use of monovalent gold cyanide Additional base and reducing agent may also be added during bath replenishment without _____ 8302029% - 1 + - that one thereby experiences some adverse result.
Zoals "bovenstaand "beschreven "bestaat het essentiële kenmerk van de onderhavige uitvinding uit het gebruik als goud bron in het stroomloze platteringsbad van een mengsel van driewaardige en êénvaardige in water 5 oplosbare goudcomplexen of verbindingen. Dit staat in tegenstelling tot de stand van de techniek, waarin het gebruik van complexen wordt geleerd waarin het goud hetzij in de ëënwaardige toestand verkeerde zoals bijvoorbeeld kalium goud(l) cyanide, hetzij in de driewaardige toestand verkeert, bijvoorbeeld kalium goud(lIl)cyanide. In de onderhavige uitvinding is het 10 driewaardige goudcomplex of de driewaardige goudverbinding een alkali metaal goud(III)cyanide, een alkali metaal auraat of een alkali metaal goud (IIIIhydroxyde, waarbij de alkali metaal goud(III)cyaniden en alkali metaal auraten worden geprefereerd; terwijl het ëënwaardige goudcomplex een alkali metaal goud(l)cyanide is. Voor de meeste doeleinden is het alkali metaal 15 -typerend kalium of natrium, en het gebruik van kalium als alkali metaal heeft_bijzondere voorkeur. Derhalve worden bij voorkeur kalium goud(III)-cyaniden, KAu(CH).^, of kalium auraat, en kalium goud(l)cyanide gebruikt voor het samenstellen van de stroomloze goud platteringsbaden volgens de onderhavige uitvinding. Men zal echter begrijpen, dat andere alkali metaal 20 en/of ammonium driewaardige goud en ëënwaardige goud verbindingen of complexen eveneens kunnen worden gebruikt en dat de hier toegepaste therm "alkali metaal" beoogd om ammonium verbindingen en complexen te omvatten.As "described" above ", the essential feature of the present invention is the use as a gold source in the electroless plating bath of a mixture of trivalent and monovalent water-soluble gold complexes or compounds. Contrary to the prior art, teaching the use of complexes in which the gold was either in the monovalent state such as, for example, potassium gold (1) cyanide, or is in the trivalent state, for example potassium gold (III) cyanide In the present invention, the trivalent gold complex or the trivalent gold compound is an alkali metal gold (III) cyanide, an alkali metal aurate or an alkali metal gold (IIII hydroxide, the alkali metal gold (III) cyanides and alkali metal aurates being preferred; while the monovalent gold complex is an alkali metal gold (l ) is cyanide For most purposes, the alkali metal is 15-typical potassium or sodium, and the use of Particular preference is given to potassium as an alkali metal. Therefore, preferably potassium gold (III) cyanides, KAu (CH) .4, or potassium aurate, and potassium gold (1) cyanide are used to formulate the electroless gold plating baths of the present invention. It will be appreciated, however, that other alkali metal and / or ammonium trivalent gold and monovalent gold compounds or complexes can also be used and that the therm "alkali metal" used herein is intended to include ammonium compounds and complexes.
De redenen dat het mengsel van driewaardig goud en ëënwaardig goud beter functioneert dan driewaardig goud of ëënwaardig goud alleen in deze 25 platteringsbaden en in het autokatalytische platteringsproces, worden op dit moment niet volledig begrepen. Mogelijke verklaringen kunnen zijn dat gebruik van het mengsel (11 tot betere afzetti’ngssnelheden leidt als gevolg van een gemakkelijkere reductie van de gemengde goud metalen, 30 (2i de stabiliteit van het bad vergroot, en (31 aanvulling van het bad onder toepassing van het driewaardige alkali metaal auraat of goud(IIIIhydroxyde vergemakkelijkt, waardoor de problemen van de stand der techniek, worden overwonnen die veroorzaakt worden door hoge concentraties van cyaniden ionen in het platteringsbad. Bovendien is 35 het bad uitzonderlijk stabiel ten opzichte van hoge concentraties aan re-ductiemiddelen, waardoor snellere hekledingssnelheden worden gerealiseerd 8302029 « Λ - 5 - dan tot op heden waren bereikt, terwijl de stabiliteit van het bad behouden blijft.The reasons that the trivalent gold and monovalent gold mixture functions better than trivalent gold or monovalent gold alone in these 25 plating baths and in the autocatalytic plating process are not fully understood at this time. Possible explanations may be that use of the mixture (11 leads to better deposition rates due to an easier reduction of the mixed gold metals, (2i increases the stability of the bath, and (31 replenishes the bath using the trivalent alkali metal aurate or gold (III hydroxide facilitates, overcoming the problems of the prior art caused by high concentrations of cyanide ions in the plating bath. In addition, the bath is exceptionally stable to high concentrations of reducing agents , achieving faster stern casing speeds 8302029 «5 - 5 - than previously achieved, while maintaining the stability of the bath.
Het zal duidelijk zijn dat de-in de praktijk van de uitvinding toegepaste alkali metaal goud>(eenwaardige en driewaardige) cyaniden in water 5 oplosbaar zijn. Echter kan een verscheidenheid van verbindingen die het goud bestanddeel in driewaardige en êénwaardige toestand.kunnen geven, wórden gebruikt in het samenstellen van de baden.It will be clear that the alkali metal gold (monovalent and trivalent) cyanides used in the practice of the invention are water soluble. However, a variety of compounds which can give the gold component in trivalent and univalent condition can be used in the composition of the baths.
De in het mengsel met het êênvaardige goud toegepaste hoeveelheid^ driewaardige goud zal ten minste voldoende zijn om aan het bad stabili-10 text te verschaffen en om een ophoping van cyaniden in het bad wanneer dit wordt aangevuld te verhinderen. In het algemeen zal de gewichtsverhouding van driewaardig goud tot êénwaardig goud in het bad ten minste ongeveer Q,2:l bedragen, terwijl verhoudingen van ongeveer 0,5*. 1 tot ongeveer k:l typerend zijn en verhoudingen van ongeveer 1:1 tot 3:1 de voorkeur hebben.The amount of trivalent gold used in the mixture with the discrepant gold will be at least sufficient to stabilize the bath and to prevent cyanides from accumulating in the bath when replenished. Generally, the weight ratio of trivalent gold to monovalent gold in the bath will be at least about Q2: 1, while ratios of about 0.5 *. 1 to about k: 1 are typical and ratios of about 1: 1 to 3: 1 are preferred.
15 De maximale hoeveelheden driewaardig goud zijn niet kritisch gebleken.15 The maximum amounts of trivalent gold have not been found to be critical.
Hoewel derhalve gewichtsverhoudingen tot ongeveer ft:1 typerend worden gebruikt, kunnen ook gewichtsverhoudingen van 10 — 15:1 en nog hoger worden gebruikt zonder dat daarvan nadelige invloeden in de werking van het process worden ondervonden.Therefore, while weight ratios of up to about ft: 1 are typically used, weight ratios of 10-15: 1 and higher can also be used without adversely affecting process operation.
20 De in verband met de onderhavige stroomloze platterings baden toe— gepaste reductiemiddelen omvatten een of meer van de borohydriden, cyaan-horohydriden of amino boranen die oplosbaar zijn en in waterige oplossing stabiel zijn. Aldus worden bijvoorbeeld alkali metaal borohydriden, bij voorkeur natrium en kalium borohydriden gebruikt, hoewel verscheidene ge-25 substitueerde borohydriden zoals natrium of kalium trimethoxyhorohydriden, (ïia(X]3(0CH^ook kunnen worden gebruikt. Ook gaat voorkeur uit naar de amine boranen zoals mono— en di-lage alkyl, bijvoorbeeld tot Cg- alkyl amine boranen, bij voorkeur isopropyl amine boraan en dimetbylamine boraan.The reducing agents used in connection with the present electroless plating baths include one or more of the borohydrides, cyano horohydrides or amino boranes that are soluble and stable in aqueous solution. Thus, for example, alkali metal borohydrides, preferably sodium and potassium borohydrides, are used, although various substituted borohydrides such as sodium or potassium trimethoxy horohydrides, (ia (X] 3 (0CH2) can also be used. Also preferred are the amine boranes such as mono and di-lower alkyl, for example up to C 6 -alkyl amine boranes, preferably isopropyl amine borane and dimetbylamine borane.
Andere reductiemiddelen zoals hydrazine en hyposulfiet kunnen eveneens vor-30 den gebruikt,Other reducing agents such as hydrazine and hyposulfite can also be used,
De stroomloze goud platteringsbaden met gemengde valentie volgens, de onderhavige uitvinding dienen op een pE tussen ongeveer 10 en 13 te worden gehouden teneinde de gewenste resultaten te realiseren. Het heeft derhalve voorkeur dat een alkali metaal hydroxyde zoals natrium of kalium hy-35 droxyde wordt gebruikt om de pH op dit niveau te houden. pH regeling is achter aanzienlijk gemakkelijker wanneer naast het alkali metaai. hydroxyde 8302029 - 6 - alkali metaal bufferzouten worden gebruikt. Geschikte alkali metaal buffer-zouten omvatten de alkali metaal fosfaten, citraten, tartraten, boraten, metaboraten enzovoort. In het bijzonder kunnen de alkali metaal bufferzou-ten natrium of kaliumfosfaat, kalium pyrofosfaat, natrium of kalium ciw . .o 5 traat, natrium kalium tartraat, natrium of kalium boraat, natrium of kalium metahoraat, enzovoort omvatten. De geprefereerde alkali metaal buffer-zouten zijn natrium of kalium citraat en natrium of kalium tartraat.The mixed valency electroless gold plating baths of the present invention should be maintained at a pE between about 10 and 13 to achieve the desired results. It is therefore preferred that an alkali metal hydroxide such as sodium or potassium hydroxide be used to maintain the pH at this level. pH control behind is considerably easier when next to the alkali metal. hydroxide 8302029-6-alkali metal buffer salts are used. Suitable alkali metal buffer salts include the alkali metal phosphates, citrates, tartrates, borates, metaborates and so on. In particular, the alkali metal buffer salts can be sodium or potassium phosphate, potassium pyrophosphate, sodium or potassium ciw. .o 5 trate, sodium potassium tartrate, sodium or potassium borate, sodium or potassium metahorate, and so on. The preferred alkali metal buffer salts are sodium or potassium citrate and sodium or potassium tartrate.
Om de stroomloze platteringsbaden volgens de uitvinding nog verder te verbeteren, is het in sommige gevallen gewenst, dat verder voorzien 10 wordt in een chelaat vormende capaciteit door de toevoeging van een organisch chelaat vormend middel,. zoals ethyleendyamidetetraazijnzuur, en de di-natrium, tri-natrium en tetra-natrium en kaliumzouten van ethyleendyamidetetraazijnzuur , di-ethyleentriéminepentaazijnzuur, nitrilotriazijnziinr.In order to further improve the electroless plating baths of the invention, it is desirable in some cases to further provide a chelating capacity by the addition of an organic chelating agent. such as ethylene damide tetraacetic acid, and the disodium, tri sodium and tetra sodium and potassium salts of ethylene damide tetraacetic acid, diethylene triamine pentaacetic acid, nitrilotriacetic acid.
Het ethylëendiaminetetraazijnzuur, en zijn di- tri-, en tetranatriumzouten 15 zijn de geprefereerde chelaat vormende middelen, waarbij de tri- en tetranatriumzouten bijzondere voorkeur hebben.The ethylenediamine tetraacetic acid, and its di-, and tetrasodium salts, are the preferred chelating agents, with the tri and tetrasodium salts being particularly preferred.
Haast de bovengenoemde ingrediënten, kunnen de stroomloze platteringsbaden volgens de uitvinding ook alkalimetaal cyaniden en meer~in~hetj. bijzonder de kalium of natrium cyaniden bevatten. Dergelijke ingrediënten 20 worden toegevoegd wanneer een grotere stabiliteit voor de autokatalytische werkwijze vereist is. Indien ze worden gebruikt, kan de hoeveelheid alkali-metaal cyaniden variëren van ongeveer 1 tot 20 gram per liter, hetgeen ver boven de ondergeschikte kritische hoeveelheden zoals gebruikt door McCormack is, die ten hoogste 50’Q milligram per liter gebruikt. ' 25 In de stroomloze platteringsbaden volgens de onderhavige uitvinding zullen de goudverbindingen of complexen aanwezig zijn in een hoeveelheid die ten minste voldoende is om goud af te zetten op het te platteren substraat, totaan hun maximale oplosbaarheid in het platteringshad. Het re-ductiemiddel is. aanwezig in een hoeveelheid die ten minste voldoende ia om 30. het goud te reduceren, opnieuw totaan de maximale oplosbaarheid in het bad.In addition to the above ingredients, the electroless plating baths of the invention may also contain alkali metal cyanides and more. especially contain the potassium or sodium cyanides. Such ingredients are added when greater stability for the autocatalytic process is required. When used, the amount of alkali metal cyanides can range from about 1 to 20 grams per liter, which is far above the minor critical amounts used by McCormack, which uses up to 50% milligrams per liter. In the electroless plating baths of the present invention, the gold compounds or complexes will be present in an amount at least sufficient to deposit gold on the substrate to be plated, up to their maximum plating solubility. The reducing agent is. present in an amount at least sufficient to reduce the gold, again to the maximum solubility in the bath.
De basische stof en de huffersxof zijn elk aanwezig in een hoeveelheid die voldoende is. om de gewenste pH' van het bad te verschaffen en te behouden.The basic substance and the huffersxof are each present in an amount sufficient. to provide and maintain the desired bath pH.
Meer in het bijzonder zullen de componenten van de stroomloze platteringsbaden volgens de uitvinding aanwezig zijn in hoeveelheden binnen de 35 volgende bereiken: _.χ·~ 8302029 - 7 - Ί.More particularly, the components of the electroless plating baths of the invention will be present in amounts within the following ranges: 8 ~ 8302029-7 Ί.
99
Hoeveelheden g/1Amounts g / 1
Componenten Normaal Voorkeur (1) Goud (III) als alkalimetaalauri- cyanide, auraat of aurihydroxide 0,5-^ 1-^ 5 (2) Goud (I) als alkalimetaalauro- cyanide 0,5-3 1-2 (3) Reductiemiddelen als amino horaan, alkalimetaal borohydri- de, cyanohorohydride, enzovoort. 1-15 2-10Components Normal Preferred (1) Gold (III) as alkali metal aureanide, aurate or auric hydroxide 0.5- ^ 1- ^ 5 (2) Gold (I) as an alkali metal aureocyanide 0.5-3 1-2 (3) Reducing agents like amino horane, alkali metal borohydride, cyanohorohydride, and so on. 1-15 2-10
10 (¼) Basische stof 10-50 2Q-kQ10 (¼) Basic fabric 10-50 2Q-kQ
(5) Bufferstof als alkalimetaalzout 10-1-0 2Q-30 (6} Alkalimetaalcyanide (indien aanwezig) 1-20 1-10 (7) Organisch chelaatvormend middel 15 (indien aanwezigI · 2-25 3-15 (8) Water tot 1 liter(5) Buffer substance as alkali metal salt 10-1-0 2Q-30 (6} Alkali metal cyanide (if present) 1-20 1-10 (7) Organic chelating agent 15 (if present I · 2-25 3-15 (8) Water to 1 litre
Zoals bovenstaand is vermeld wordt de pH van het had gehouden in een gebied van ongeveer 10 tot 13s en in sommige gevallen tussen ongeveer 11 en 13. De typische bedrijftemperatuur tijdens de plattering ligt tussen 20 ongeveer 50 en $?5°C, Dij voorkeur tussen '6Q en 85°C. Voor de meeste doeleinden zullen de platteringssnelheden tot 8 micron per uur bedragen, en -i hij voorkeur ten minste ongeveer 2 micron per uur zijn.As mentioned above, the pH of the had is kept in a range of about 10 to 13s and in some cases between about 11 and 13. The typical operating temperature during plating is between about 50 and $ 5 ° C, Thigh preferably between 6Q and 85 ° C. For most purposes, plating rates will be up to 8 microns per hour, and preferably be at least about 2 microns per hour.
Hoewel de uitvinding bovenstaand primair beschreven is in verhand met stroomloze goudhaden, dient men te begrijpen dat een of meerdere lege-25 ringsmetalen zoals koper, zink, indium, tin, enzovoorts aan de stroomloze baden kunnen worden toegevoegd. Wanneer deze worden gebruikt, worden ze aan het bad toegevoegd als een geschikt oplosbaar zout in hoeveelheden die voldoende zijn om tot ongeveer 2G. gewichts % van het legeringsmetaal of de legeringsmetalen in de goudafzetting te krijgen.Although the invention has been described above primarily in dealing with electroless gold hats, it is to be understood that one or more alloying metals such as copper, zinc, indium, tin, etc. may be added to the electroless baths. When used, they are added to the bath as a suitable soluble salt in amounts sufficient to about 2G. weight% of the alloy metal (s) in the gold deposit.
3Q Volgens de voorkeurskenmerken van de onderhavige uitvinding zijn de door de stroomloze goudhaden te platteren substraten metalen, zoals goud, koper, Soperlegering, stroomloos koper, nikkel, stroomloos· nikkel, nikkel-legeringen en dergelijke. Wanneer een metallisch substraat wordt gebruikt, omvatten de oppervlakken daarvan derhalve alle metalen die katalytisch 35 zijn voor de reductie van de in de beschreven baden opgeloste metaalkatlo— 8302029 - 8 - nen. In sommige gevallen heeft het de voorkeur dat het substraat verder gesensibliseerd wordt door aan deskundigen welbekende behandelingen. Bovendien is het mogelijk om nikkel, kobalt, ijzer, staal, palladium, platinum, koper, messing, mangaan, chroom, molybdeen, wolfraam, titaan, tin, zilver, 5 enzovoorts als metaalsuhstraten te gebruiken, waarop het goud moet worden geplatteerd.According to the preferred features of the present invention, the substrates to be plated by the electroless gold hats are metals such as gold, copper, Soper alloy, electroless copper, nickel, electroless nickel, nickel alloys and the like. Thus, when a metallic substrate is used, the surfaces thereof include all metals which are catalytic for the reduction of the metal compounds dissolved in the baths described. In some cases, it is preferred that the substrate be further sensitized by treatments well known to those skilled in the art. In addition, it is possible to use nickel, cobalt, iron, steel, palladium, platinum, copper, brass, manganese, chromium, molybdenum, tungsten, titanium, tin, silver, etc. as metal substrates on which the gold is to be plated.
Bij het gebruik van niet metallische substraten moeten deze oppervlakken echter katalytisch actief worden gemaakt door daarop een film van katalytische deeltjes te produceren. Dit kan worden gedaan met de werkwij-10 ze volgens het Amerikaans octrooischrift 3.509-916» op oppervlakken zoals van glas, keramische materialen, verscheidene kunststoffen enzovoorts. Wanneer een kunststof substraat volgens de onderhavige uitvinding moet worden geplatteerd, wordt het eerst geëtst, bij voorkeur in een oplossing van chroomzuur en zwavelzuur. Na het spoelen wordt het substraat onderge— 15 dompelt in een zure oplossing van tin(llJchloride, zoals tin(II]chloride en zoutzuur, gespoeld met water, .en daarna in contact gebracht met een zure oplossing van een edelmetaal zoals palladiumchloride in zoutzuur, Vervolgens- kan het nu katalytisch actieve niet-metallische substraat in contact worden gebracht met de stroomloze platteringsoplossingen volgens de 20 uitvinding.However, when using non-metallic substrates, these surfaces must be made catalytically active by producing a film of catalytic particles thereon. This can be done by the method of US Pat. No. 3,509-916 on surfaces such as glass, ceramics, various plastics and so on. When a plastic substrate according to the present invention is to be plated, it is etched first, preferably in a solution of chromic acid and sulfuric acid. After rinsing, the substrate is immersed in an acidic solution of tin (II chloride, such as tin (II) chloride and hydrochloric acid, rinsed with water, and then contacted with an acidic solution of a precious metal such as palladium chloride in hydrochloric acid, The now catalytically active non-metallic substrate can then be contacted with the electroless plating solutions of the invention.
De werkwijze voor het benutten van de onderhavige uitvinding omvat primair het onderdompelen van de metallische of niet-metallische substraten in de stroomloze platteringsbaden. Deze baden worden op de bovenstaand beschreven.pK. gehouden, terwijl de plattering wordt uitgevoerd bij de ho-25 yengenoemde temperaturen. Commercieel gewenste dikten van goudmetaalafzettingen zi'jn gerealiseerd zonder dat badinstabiliteits problemen en andere bekende problemen werden ondervonden. De- noodzakelijke hechtimgs eigen— s.chappen werden eveneens gemakkelijk in de praktijk van de onderhavige uitvinding gerealiseerd.The method of utilizing the present invention primarily involves immersing the metallic or non-metallic substrates in the electroless plating baths. These baths are described in the above. while plating is carried out at the above-mentioned temperatures. Commercially desirable thicknesses of gold metal deposits have been achieved without encountering bath instability problems and other known problems. Necessary adhesion properties were also readily realized in the practice of the present invention.
30 Een ander aspect van de onderhavige uitvinding is een mogelijkheid om hst bad zonder problemen te ondervinden aan te vullen. Bijvoorbeeld is gevonden dat afgezien van de toevoeging van extra basische stof zoals kali-umhydrozyde en reductiemiddel, een aanvulling van het goudgehalte kan worden gerealiseerd door een alkalimetaal goud( III Jhydroxyde of alkalimetaal 35 auraat aan het bad toe te voegen. Deze aanvulling van het bad met in water oplosbare componenten wordt uitgevoerd zonder nadelige invloed op de bad— 8302029 •i - 9 - platterings snelheid of de hadstabilitext.Another aspect of the present invention is an ability to supplement the bath without any problems. For example, it has been found that apart from the addition of additional basic substance such as potassium hydroxide and reducing agent, a replenishment of the gold content can be accomplished by adding an alkali metal gold (III hydroxide or alkali metal aurate) to the bath. This replenishment of the bath with water-soluble components is performed without adversely affecting the bath— 8302029 • i - 9 plating rate or the wash stabilitext.
De uitvinding zal thans vollediger worden toegelicht aan de hand van de volgende voorbeelden van voorkeursuitvoeringsvormen.The invention will now be explained more fully by means of the following examples of preferred embodiments.
Voorbeeld! .1 5 Men stelde een stroomloos platteringsbad samen uit de onderstaand vermelde ingrediënten:Example! .1 5 An electroless plating bath was formulated from the ingredients listed below:
Ingrediënten Hoeveelheid g/lIngredients Amount g / l
Goud als KA.u(CïTl^ 2Gold as KA.u (CIT1 ^ 2
Goud als KA.u(CNl2 2 10 Kaliumhydr0x7de 35Gold as KA.u (CNl2 2 10 Potassium hydr0x7de 35
ïrikaliumcitraat 3GCitric Citrate 3G
Dimethylaminoboraan 6Dimethylamino borane 6
De pH van het verkregen had was ongeveer 11 tot 32.The pH of the obtained had been about 11 to 32.
Het had werd gebruikt voor het platteren van goud op goud, koper en 15 koper legeringen (31 δ cm per liter I hij BQ C. De platteringssnelheid bedroeg 5 micron/uur. Afzettingen uit dit bad waren duetiel, citroengeel, porium vrij zuiver goud met een uitstekende hechting aan de substraten.It had been used for plating gold on gold, copper and 15 copper alloys (31 δ cm per liter I he BQ C. The plating rate was 5 microns / hour. Deposits from this bath were duetile, lemon yellow, porium free pure gold with excellent adhesion to the substrates.
Gedurende een aantal toepassingen kon het bad worden aangevuld door de toevoeging van goud als een goud( III Jcomplex met alkalimetaalhydroxyde 20 of auraat. Er werd geen ophoping van cyanide in het bad waargenomen en men behield een constante metaal afzettingssnelheid. Vergeleken met bekende baden werd hier een uitstekende stahititeit gerealiseerd,· zoals bewezen wordt door het verbruik van ongeveer 1G0# van het goud metaal gehalte in het bad, met 5 tot 6 aanvullingen, zonder dat onjuiste metaalafzettingen 25 of badirstabiliteit optraden.For a number of applications, the bath could be supplemented by the addition of gold as a gold (III J complex with alkali metal hydroxide or aurate. No accumulation of cyanide in the bath was observed and a constant metal deposition rate was maintained. Compared to known baths, excellent steadiness achieved, as evidenced by the consumption of approximately 1G0 # of the gold metal content in the bath, with 5 to 6 additions, without inaccurate metal deposits or bath resistance.
Voorbeeld IIExample II
Men stelde als volgt een stroomloos platteringsbad samen;An electroless plating bath was assembled as follows;
Ingrediënten Hoeveelheid g/l 3G Goud als KAu(CTl^ 3Ingredients Quantity g / l 3G Gold as KAu (CTl ^ 3
Goud als KAu(C3Tj0 1Gold as KAu (C3Tj0 1
ïrikaliumcitraat 3Qammonium citrate 3Q
Kaliumhydroxyde 35Potassium hydroxide 35
Dimethylamineboraan 15 35 Er werden afzettingen verkregen op koper en koperlegeringen met een 8302029 - 10- plat ter ings snelheid die 2 tot 8 micron per uur benaderde met het bad op _ een pH van 11-12 en een temperatuur van 80-85°C. De aanvullings procedure van. voorbeeld I werd toegepast met even goede resultaten.Dimethylamine borane. Deposits were obtained on copper and copper alloys at an 8302029-10 platinum rate approaching 2 to 8 microns per hour with the bath at a pH of 11-12 and a temperature of 80-85 ° C. The complement procedure of. Example I was used with equally good results.
Voorbeeld IIIExample III
5 Men stelde als volgt een ander stroomloos platteringsbad samen:5 Another electroless plating bath was assembled as follows:
Ingrediënten Hoeveelheid g/1 goud als KAu02 3 goud als KAu(CN)_2 1 ^ kaliumcyanide 10 kaliumhydroxyde 30 dimethylamineboraan hIngredients Quantity g / 1 gold as KAu02 3 gold as KAu (CN) _2 1 ^ potassium cyanide 10 potassium hydroxide 30 dimethylamine borane h
Men verkreeg afzettingen op goud met een snelheid van 3 micron per uur met het bad op 82°C en op een pEvan 12 tot 13. De aanvullings: proce-15 dure van voorbeeld I werd gevolgd, waarbij het goud(III]hydroxyde werd toegepast, waarbij een constante afzettingssnelheid werd bereikt en een ongewenste ophoping van cyanideionen werd vermeden.Deposits on gold were obtained at a rate of 3 microns per hour with the bath at 82 ° C and on a pE from 12 to 13. The additional procedure of Example I was followed using the gold (III) hydroxide , achieving a constant deposition rate and avoiding unwanted accumulation of cyanide ions.
De bovenstaande gegevens tonen dat het verbeterde stroomloze bad volgens de uitvinding tot superieur resultaten leidt en de problemen of de 20 commerciële nadelen, verbonden aan de tot op heden voorgestelde stroomloze goudmetaalbaden, vermijdt.The above data show that the improved electroless bath of the invention leads to superior results and avoids the problems or commercial disadvantages associated with the electroless gold metal baths hitherto proposed.
Het zal verder duidelijk zijn dat de bovenstaande voorbeelden slechts de toelichting dienen en dat variaties en wijzigingen kunnen worden aangebracht zonder dat daarmede de omvang van de uitvinding wordt ver-25 laten. Zo kan bijvoorbeeld het platteringsbad aanvankelijk worden samengesteld-met eênwaardig goud, dat wil zeggen een alkalimetaal goud (ijcyanide, en daarna worden aangevuld met een alkalimetaal auraat of goud(IIIIhydrox-yde, waardoor een bad wordt verkregen dat zowel êênwaardige als driewaardige goudhestanddelen bevat.It will further be apparent that the above examples are illustrative only and that variations and modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, the plating bath can initially be formulated with univalent gold, i.e., an alkali metal gold (cyanide, and then supplemented with an alkali metal aurate or gold (III-hydroxide) to yield a bath containing both univalent and trivalent gold components.
30 830202930 8302029
Claims (17)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US38561782A | 1982-06-07 | 1982-06-07 | |
| US38561782 | 1982-06-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL8302029A true NL8302029A (en) | 1984-01-02 |
Family
ID=23522165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL8302029A NL8302029A (en) | 1982-06-07 | 1983-06-07 | A METHOD FOR STREAMLESS GOLD PLATING. |
Country Status (14)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS591668A (en) |
| AT (1) | AT380902B (en) |
| AU (1) | AU541923B2 (en) |
| BE (1) | BE896977A (en) |
| CA (1) | CA1188458A (en) |
| CH (1) | CH655132A5 (en) |
| DE (1) | DE3320308C2 (en) |
| DK (1) | DK231783A (en) |
| ES (1) | ES8407520A1 (en) |
| FR (1) | FR2528073B1 (en) |
| GB (1) | GB2121444B (en) |
| IT (1) | IT1171818B (en) |
| NL (1) | NL8302029A (en) |
| SE (1) | SE8302798L (en) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4050719A (en) * | 1976-08-24 | 1977-09-27 | Cunningham Walter F | Color coded indexing system |
| WO1986001477A1 (en) * | 1984-08-27 | 1986-03-13 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Structure for supporting a steering column tube |
| JPS6299477A (en) * | 1985-10-25 | 1987-05-08 | C Uyemura & Co Ltd | Electroless gold plating solution |
| US4863766A (en) * | 1986-09-02 | 1989-09-05 | General Electric Company | Electroless gold plating composition and method for plating |
| DE3640028C1 (en) * | 1986-11-24 | 1987-10-01 | Heraeus Gmbh W C | Acid bath for the electroless deposition of gold layers |
| JPS6452082A (en) * | 1987-06-22 | 1989-02-28 | Gen Electric | Electroless gold plating composition and method |
| US5130168A (en) * | 1988-11-22 | 1992-07-14 | Technic, Inc. | Electroless gold plating bath and method of using same |
| US4979988A (en) * | 1989-12-01 | 1990-12-25 | General Electric Company | Autocatalytic electroless gold plating composition |
| JP2538461B2 (en) * | 1991-02-22 | 1996-09-25 | 奥野製薬工業株式会社 | Electroless gold plating method |
| DE10101375A1 (en) * | 2001-01-13 | 2002-07-18 | Forschungszentrum Juelich Gmbh | Point contacts for semiconductors and their manufacture |
| JP5526458B2 (en) * | 2006-12-06 | 2014-06-18 | 上村工業株式会社 | Electroless gold plating bath and electroless gold plating method |
| JP5526459B2 (en) * | 2006-12-06 | 2014-06-18 | 上村工業株式会社 | Electroless gold plating bath and electroless gold plating method |
| JP5526440B2 (en) * | 2007-01-17 | 2014-06-18 | 奥野製薬工業株式会社 | Printed wiring board formed using reduced deposition type electroless gold plating solution for palladium film |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52151637A (en) * | 1976-04-29 | 1977-12-16 | Trw Inc | Aqueous solution for gold plating and method of applying gold film onto nickel surface at room temperature |
| US4337091A (en) * | 1981-03-23 | 1982-06-29 | Hooker Chemicals & Plastics Corp. | Electroless gold plating |
-
1983
- 1983-05-18 SE SE8302798A patent/SE8302798L/en not_active Application Discontinuation
- 1983-05-19 AU AU14860/83A patent/AU541923B2/en not_active Ceased
- 1983-05-24 DK DK231783A patent/DK231783A/en not_active Application Discontinuation
- 1983-05-26 AT AT0193183A patent/AT380902B/en not_active IP Right Cessation
- 1983-05-30 CA CA000429183A patent/CA1188458A/en not_active Expired
- 1983-06-02 FR FR8309198A patent/FR2528073B1/en not_active Expired
- 1983-06-03 JP JP58099286A patent/JPS591668A/en active Pending
- 1983-06-03 IT IT48420/83A patent/IT1171818B/en active
- 1983-06-04 DE DE3320308A patent/DE3320308C2/en not_active Expired
- 1983-06-06 BE BE0/210948A patent/BE896977A/en not_active IP Right Cessation
- 1983-06-06 ES ES523032A patent/ES8407520A1/en not_active Expired
- 1983-06-07 NL NL8302029A patent/NL8302029A/en not_active Application Discontinuation
- 1983-06-07 CH CH3122/83A patent/CH655132A5/en not_active IP Right Cessation
- 1983-06-07 GB GB08315556A patent/GB2121444B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE8302798D0 (en) | 1983-05-18 |
| JPS591668A (en) | 1984-01-07 |
| SE8302798L (en) | 1983-12-08 |
| DK231783D0 (en) | 1983-05-24 |
| GB8315556D0 (en) | 1983-07-13 |
| IT1171818B (en) | 1987-06-10 |
| FR2528073B1 (en) | 1986-02-14 |
| ES523032A0 (en) | 1984-09-16 |
| CH655132A5 (en) | 1986-03-27 |
| DE3320308C2 (en) | 1985-05-15 |
| ATA193183A (en) | 1985-12-15 |
| AU541923B2 (en) | 1985-01-31 |
| AT380902B (en) | 1986-07-25 |
| DE3320308A1 (en) | 1983-12-08 |
| ES8407520A1 (en) | 1984-09-16 |
| FR2528073A1 (en) | 1983-12-09 |
| CA1188458A (en) | 1985-06-11 |
| BE896977A (en) | 1983-12-06 |
| AU1486083A (en) | 1983-12-15 |
| GB2121444A (en) | 1983-12-21 |
| IT8348420A0 (en) | 1983-06-03 |
| DK231783A (en) | 1983-12-08 |
| GB2121444B (en) | 1986-03-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4337091A (en) | Electroless gold plating | |
| US3917885A (en) | Electroless gold plating process | |
| US4269625A (en) | Bath for electroless depositing tin on substrates | |
| NL8302029A (en) | A METHOD FOR STREAMLESS GOLD PLATING. | |
| US3485597A (en) | Electroless deposition of nickel-phosphorus based alloys | |
| US5803957A (en) | Electroless gold plating bath | |
| US3915716A (en) | Chemical nickel plating bath | |
| JP2927142B2 (en) | Electroless gold plating bath and electroless gold plating method | |
| JP2664231B2 (en) | Method of manufacturing and using electroless nickel plating bath | |
| TW200416299A (en) | Electroless gold plating solution | |
| JP7352515B2 (en) | Electrolytic gold alloy plating bath and electrolytic gold alloy plating method | |
| US4913787A (en) | Gold plating bath and method | |
| US3418143A (en) | Bath for the electroless deposition of palladium | |
| US3274022A (en) | Palladium deposition | |
| NL8304104A (en) | BATH AND METHOD FOR DIRECT STREAMLESS deposition of GOLD ON METALLIZED CERAMICS. | |
| US3458542A (en) | Heavy metal-diamine-gold cyanide complexes | |
| JPH0214430B2 (en) | ||
| JP3139213B2 (en) | Replacement gold plating solution | |
| JPH0414189B2 (en) | ||
| JP3937373B2 (en) | Self-catalyzed electroless silver plating solution | |
| US3533923A (en) | Gold and gold alloy plating solutions | |
| FR2639654A1 (en) | AUTOCATALYTIC DORURE BATH AND METHOD OF USE | |
| EP0343816A1 (en) | Electroless deposition | |
| GB1219201A (en) | Stabilized chemical coppering liquids | |
| JP3146756B2 (en) | Replacement gold plating solution |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| BA | A request for search or an international-type search has been filed | ||
| A85 | Still pending on 85-01-01 | ||
| CNR | Transfer of rights (patent application after its laying open for public inspection) |
Free format text: OMI INTERNATIONAL CORPORATION |
|
| BB | A search report has been drawn up | ||
| BV | The patent application has lapsed |