NL8300420A

NL8300420A - Roentgen analyse apparaat.

Info

Publication number: NL8300420A
Application number: NL8300420A
Authority: NL
Original assignee: Philips Nv
Priority date: 1983-02-04
Filing date: 1983-02-04
Publication date: 1984-09-03
Also published as: JPH0610659B2; US4726047A; DE3465518D1; JPS59153153A; EP0118932A1; EP0118932B1

Description

·* c PHN 10.567 1 N.v. Philips' Gloeilampenfabrieken te Eindhoven.

Röntgen analyse apparaat.

De uitvinding heeft betrekking op een röntgen analyse apparaat met een röntgenbron, een monochromator, een verplaatsbare preparaathorder en een detector.

Een dergelijk röntgen analyse apparaat is bekerd uit Journal 5 Appl. Crystallography 5, (1972), pp 338-342.In een aldaar beschreven Guinier röntgen diffractie camera wordt een preparaat tijdens een meetproces langs een rechte lijn die samenvalt met de hoofdstraal van de röntgenbundel bewogen. De detector bestaat uit een filmstrook die langs de focusseringscirkel is opgesteld. Voor een goede focussering van door 10 het preparaat gediffracteerde straling op de detectoringang moet in een dergelijk apparaat ook het preparaat steeds op de ontrek van de focusserings-cirkel liggen. De verplaatsing van het preparaat moet nauwkeurig uitgevoerd kunnen worden aangezien de positie en de oriëntatie van het preparaat in de bundel de meetnauwkeurigheid direct beïnvloeden. Met de bescbe-15 ven bewagingsmethode van het preparaat langs een lineaal met een aan een roteerbaar opgestelde arm verbonden detector, worden, bij bepaalde posities van het monster, moeilijkheden ondervonden.

De uitvinding beoogt hierin verbetering te brengen en daartoe heeft een röntgen analyse apparaat van de in de aanhef genoemde soort 20 volgens de uitvinding tot kenmerk, dat het preparaat bij verplaatsing ten opzichte van een analyserende röntgenbundel een vaste positie inneemt op een manteloppervlak van een focuscylinder, die afrolbaar is cm een vast om een bundelfocus van de analyserende röntgenbundel qpgestelde hulpcylinder terwijl de detector roteerbaar is langs het manteloppervlak 25 van de focuscylinder.

Doordat in een röntgen analyse apparaat volgens de uitvinding het preparaat steeds deel uit maakt van een afrollende cylinder, ontstaan bij de verplaatsing daarvan geen instabiele situaties maar is een continu doorlopende verplaatsing gegarandeerd. Doordat het preparaat voor elke 3Q meetpos it ie een vaste plaats op de ontrek van een met de focuscylinder samenvallende focusseringscirkel inneemt, is een uiterst hoekgetrouwe positionering van het preparaat ten opzichte van de stralingsbundel verzekerd. De methode van verplaatsen leent zich bovendien goed voor een 8300420 ,· * PHN 10.567 2 nauwkeurige onafhankelijke hoekmeting, daar door de automatisch juiste hoekorientatie van het preparaat en door de positionering van de detector op de focuscylinder, direct de hoek tussen de invallende burdel en de detector gemeten kan worden. Voor het neten van de hoek tussen de detector 5 en de stralenbundel is in een voorkeursuitvoering een encoder opgenomen.

In een voorkeursuitvoering maakt de hulpcylinder deel uit van een grondplaat en heeft een straal die gelijk is aan de diameter van de focusseringscirkel. De focusseringscirkel is aan een buitenmantel oppervlak voorzien van middelen waardoor deze niet slippend langs een binnen-10 mantel oppervlak van de hulpcylinder af rolbaar is. In het bijzonder zijn de focuscylinder aan de buitenzijde en de hulpcylinder aan de binnenzijde van slipvrij samenwerkende vertandingen voorzien.

in een verdere voorkeursuitvoering is de focuscylinder voorzien van een concentrisch opgestelde aandrijf cylinder met bijvoorbeeld een 15 straal gelijk aan de helft van de straal van de hulpcylinder en wordt de focuscylinder verplaatst met behulp van bijvoorbeeld een niet slippende handoverbrenging, bij voorbeeld een vertande riem, en een, cm de net het bundelfocus samenvallende as van de hulpcylinder draaibaar opgestelde draai-arm. De beweging kan door toevoeging van een extra tandwiel ook weer geheel 20 met tandwieloverbrenging worden gerealiseerd.

Door aangepaste keuze van de opbouw kan eventueel uitsluitend net standaard tandwielen worden gewarkt. In een voorkeursuitvoering daartoe is de focuscylinder voorzien van een eerste concentrisch ten opzichte van de focusseringsscirkel gemonteerde aandrijf cylinder en is een extra cy-25 linder met een cmtrek gelijk aan de ontrek van de eerste aandrijf cylinder van een tweede concentrisch ten opzichte van de extra cylinder gemonteerde aandrijf cylinder met een vier maal kleinere omtrek voorzien. De vast om het bundelfocus opgestelde hulpcylinder heeft daarbij een omtrek tussen de beide aandrijf cylinders in.

30 Een verdere uitvoeringsvorm bevat een om het bundelfocus gemon teerde cylinder, een concentrisch met de focusseringscirkel gemonteerde cylinder die bijvoorbeeld gedeeltelijk boven de eerste cylinder ligt en twee geleidercylinders die tegen de buitenmantel van de eerste cylinder aanliggen. Met een bandoverhrenging wordt vanuit de eerste cylinder via 35de geleidercylinders de tweede cylinder en daarmede de focusseringscirkel zodanig geroteerd en langs de eerste cylinder afgerold dat weer de gezochte beweging van het monster wordt verkregen. Een band van de handover breinging werkt daarbij niet slippend samen met elk van de cylinders en 8300420 PHN 10.567 3 f is met elk daarvan in een zodanig punt vast verbonden en ligt cm elke cylinder in een zodanige spoed dat bij de rotatie geen axiale krachten optreden. De band, waarvan de vorm en uitvoering verder vrij is, is met een, met de diameter van de cylinders omgekeerd evenredig aantal slagen g rond elk van de cylinders gewonden.

Aan de hand van de tekening zullen in het navolgende enkele voorkeursuitvoeringen volgens de uitvinding nader warden beschreven. In de tekening toont :

Figuur 1 een schetsmatige weergave van een röntgen analyse 10 apparaat volgens de stand van de techniek,

Figuur 2 een principe schets van een verplaats ingsmechanisme voor een röntgen analyse apparaat volgens de uitvinding,

Figuur 3 principe schetsen van verdere uitvoeringsvormen van 15 dergelijke verplaatsingsmechanismen,

Figuur 4 principe schetsen van een verplaats ingsmechanisme volgens de uitvinding met een handoverbrenging, en Figuur 5 een meer gedetailleerde schets van een röntgen analyse apparaat met een verplaatsingsmechanisme als aange-20 geven in figuur 2.

Figuur 1 toont ter verduidelij king, de stralengang in een type röntgen analyse apparaat waarop de uitvinding betrekking heeft. Van een dergelijke inrichting zijn een anodetrefplaat 1 van een röntgenhron, een monochromator kristal dan wel kristalhouder 3, een te analyseren of te 25 onderzoeken preparaat dan wel preparaathouder 5, een detectoringangsspleet 7 en een detector 9 weergegeven. Een röntgenbundel 10 uitgaande van een lijnfocus 11 op de anodetrefplaat wordt door het kristal 3 gefocusseerd in een focuslijn 13. Een in het preparaat gediffracteerde gedeelte 15 van de röntgenbundel 10 wordt gefocuseerd in een focuslijn 17 ter plaatse waarvan 30 de detectorspleet 7 is opgesteld. De focuslijnen 13 en 17 en een ceitraal in de röntgenbundel 10 gelegen lijn 19 van het preparaat vormen bij een juiste positionering allen mantellijnen van een hier materieel uitgevoerde gedachte focuscylinder 21. Evenzo vormen de focuslijn 13 en het lijnfocus 11 mantellijnen van een focuscylinder 23 waarvan het hier bijvoorbeeld cylindervormig 35gebogen monochromator kristal 3 een segment vormt. Een, door in het preparaat aanwezige kristalvlakken met onderling afwijkende kristalvlakafstanden gediffracteerde bundel 25 vormt op overeenkomstige wijze een focuslijn 26 op de focuscylinder 21. Door de detector met de detectorspleten langs de focuscylinder 21 te bewegen kan het preparaat voor elke positie daarvan worden 8300420 ·' t PHN 10.567 4 geanalyseerd of kan van een stilstaand preparaat een diffractogram worden opgenomen. Een andere mogelijkheid daartoe is om het relevante gedeelte van de focuscylinder van een filmstrook te voorzien. Voor een uitvoerige analyse van het preparaat is het gewenst, dat het preparaat in de bundel-5 baan 10 verschoven kan worden. Het preparaat moet daarbij, voor een goede bondelfocussering, steeds rakend aan of samenvallend met de focuscylinder opgesteld blijven.

Van een voorkeursuitvoering daartoe volgens de uitvinding zijn in figuur 2 het monochromator kristal 3, het preparaat 5, in vier ver-10 schillende posities, een doorsnede van de röntgeribundel 10 en de focuscylinder 21, de laatste ook weer in vier posities, weergegeven. Voor het verplaatsen van het preparaat wordt gebruik gemaakt van een vast cm het bundelfocus 13 opgestelde hulpcylinder 27 met een straal gelijk aan de middellijn van de focuscylinder. De buitenmantel van de focuscylinder 15 is voorzien van middelen waardoor deze, slipvrij kan af rollen langs een, eveneens daartoe strekkende middelen voorziene binnenmantel van de hulpcylinder 27. Als de focuscylinder 21 langs de binnenkant van de hulpcylinder 27 af rolt, beweegt het preparaat binnen de röntgenburdel 10 tussen twee uiterste posities 5-1 en 5-4. Bij deze beweging behoudt het door 20 de röntgenbundel 10 aangestraalde deel van het preparaat, door de aldus gerealiseerde hoekaanpassing, een gelijk oppervlak. Het is duidelijk dat, aangezien de detectorspleet ook steeds met de focuscylinder samenvalt, het traject tussen de positie 5-4 en het bundelfocus 13 geldt voor trans-missiemetingen, en het traject tussen het bundelfocus 13 en de positie 20 5-1 geldt voor reflectiemetingen. Het focus 13, dat dus samenvalt met de as van de hulpcylinder 27 blijft bij het afrollen een mantellijn van de focuscylinder. De ononderbroken continue verplaatsing van het preparaat omvat das zowel het transmissie traject als het reflectie traject. Bij de verplaatsing treden geen instabiele situaties op.

30 In figuur 3a is een voorkeursuitvoerings van een verplaatsings- mechanisme voor een preparaat veer gegeven. Het bevat hier een vast on het bundelfocus 13 opgestelde hulpcylinder 30. De hulpcylinder 30 is met een slipvrije handoverbrenging 32 gekoppeld met een cylinder 35 met een overbrenging 1 op 2. De hulpcylinder 30 is verder met de cylinder 35 ver-35 bonden via een om het bundelfocus 13 en om een as 37 van de cylinder 35 draaibare arm 34. Voor verplaatsing van een te meten object 5 binnen een bundelweg 36 van een röntgenbundel, roteert de focuscylinder 21 samen met de cylinder 35 waarbij de focuscylinder door het bundelfocus 13 schuift en- 83 0 0 4 2 0 « -* PHN 10.567 5 heide cylinders met de arm 34 om dit punt roteren.

De in figuur 3b geschetste uitvoering is in vezen gelijk aan die van figuur 3a net slechts het verschil dat in de plaats van een band-overbrenging gebruik is gemaakt van een extra tandwiel 38 tussen de nu 5 vertande cylinders 30 en 35. Het tandwiel 38 bevat bijvoorbeeld 20 tanden en de cylinders 35 bijvoorbeeld 45 tanden net 90 tanden voor de ook hier vast cm het bundelfocus 13 opgestelde cylinder 30. De cylinders zijn onderling gekoppeld met een verbindingsstuk 39.

Figuur 3c geeft een uitvoeringsvorm die geheel uit standaard tand-10 wielen kan worden opgebouwd. De geschetste uitvoering bevat een vast cm het tundelfocus 13 opgestelde tandwiel 40 met bijvoorbeeld 60 tanden dat mat een tandwieloverbrenging is gekoppeld met een tandwiel 42 met 30 tanden. Concentrisch om het tandwiel 42 en cp dezelfde as is een tandwiel 44 gemonteerd dat via een tandwieloverbrenging 45 is gekoppeld met een tand-15 wiel 66. De tandwielen 44 en 46 vertonen een 1 op 1 overbrenging en dragen in deze uitvoering elk 120 tanden. De concentrisch cm het laatste tandwiel en cp de as daarvan gemonteerde focuscylinder 21, waaraan het preparaat 5 veer vast is gemonteerd, schuift bij rotatie van de tandwielen door het bundelfocus 13 en een preperaat 5 wordt dan weer hoekgetrouw in de 20 röntgenturdelbaan 36 verplaatst. Een juk 45 waarmede de cylinders roteerbaar zijn verbonden zorgt voor een onderlinge verbinding van de cylinders.

In figuur 4 is een uitvoeringsvorm met een band- of kabelover-brengingsmechanisme geschetst. In de doorsnede schets 4a zijn daarvan een vast cm het bundelfocus 13 opgestelde cylinder 60 met bijvoorbeeld een 25 diameter van 200 itm een daarlangs bevegende cylinder 62 met een diameter van 100 mm en twee hulpcylinders 64 en 66 met elk een diameter van 50 mm weergegeven. Een band 68, die met elk van de cylinders in een punt 69 vast is verbonden, koppelt de genoemde cylinders slipvrij op een in figuur 4b gegeven wijze. Doordat de cylinders van schroeflijn vormige geleidingen 30voor de band zijn voorzien waarvan de spoed per cylinder omgekeerd evenredig is met de diameter daarvan, waarbij het teken van de spoed van de cylinders 64 en 66 tegengesteld is aan die van de cylinders 60 en 62, treedt bij rotatie aan elke cylinder een gelijke hoogte verschuiving van de band op en zullen er dus geen axiaal gerichte krachten optreden. Het 35geheel van de cylinder 62 en de hulpcylinders 64 en 66 wordt bij de bard-beweging geroteerd cm de vaste cylinders 60 waarbij de om de cylirder 62 gemonteerde focuscylinder 21 weer door het bundelfocus 13 van de röntgen-bundel schuift en het te onderzoeken object weer een linaire verplaatsing 8300420 PHN 10.567 6 w r binnen de stralingsbaan 36 van de röntgenbundel ondergaat. Een juk 61 verzorgt hier de onderlinge verbinding van de cylinders.

De maat van de rotatie, bijvoorbeeld uitgedrukt in de hoekbe-weging om het bundelfocus kan door aanpassing van de handbeweging worden 5 gekozen. Is slechts een rotatie van ruim 90° gewenst dan kan net een kort en relatief eenvoudig bandbewegingsmechanisme worden volstaan. Met een voldoend lange band kan evenwel ook een rotatie tot ruim 360° worden gerealiseerd.

Voor het op het monster gericht houden van de detector kan aan 10 elk van de toe te passen bewegingsmechanismen een detector rotatie inrichting worden toegevoegd. Deze inrichting zorgt ervoor dat de richting van de detector ten opzichte van de focusseringscirkel bij rotatie om een gegeven hoek over de helft van die hoek terugdraait waardoor de detector bij rotatie om het middelpunt van de focusseringscirkel toch steeds naar 15 het op de omtrek daarvan gelegen monster blijft gericht. Dit kan bijvoorbeeld met een door de aandrijf cylinder aangedreven bandoverbrenging of via een extra tandwiel worden gerealiseerd.

Aan de preparaathouder is in een voorkeursuitvoering een be-wegingsmechanisme toegeveegd dat het mogelijk maakt een in de houder aan-20 gebracht preparaat in het vlak daarvan over een bekende hoek te roteren.

Deze rotatie kan vooral ook bij textuuronderzoek van belang zijn omdat dan direct de daarmede samenhangende maximale intensiteit en daarmede de richting van de maximale textuur kan worden bepaald. De preparaathouder behoeft daartoe slechts van een aan te drijven as te worden voorzien. Voor 25 de aandrijving kan van een met de beweging van de preparaathouder meebewegende motor of van aandrijving via een elders, ontkoppelbare motor gebruik worden gemaakt. Ook kan aan de preparaathouder een bewegingsmecha-nisme zijn toegevoegd voor het realiseren van een kantelbeweging van een preparaat waarbij de dwars op het preparaat gerichte as uit het vlak van 30 de focuscirkel wordt bewogen.

Figuur 5 toont een mechanisch meer gedetailleerde schets van een apparaat volgens de uitvinding, bijvoorbeeld een apparaat voor röntgen-poeder diffractie, voor spanningsonderzoek, textuuronderzoek of ander, direct met de kristalstructuur gecorreleerd onderzoek.

35 Een gedeeltelijk epen gelaten schets van êen dergelijk apparaat, aangegeven in figuur 5a, toont een röntgenbuis 70 met een anodetref-plaat 71 waarop een elektronenstraal 72 een loodrecht op het vlak van tekening staande lijnvormige trefvlak 73 vormt, een monochromatorhuis 74 en een goniometerhuis 75. Het monochromatorhuis bevat een monochromator- 8300420 PEN 10.567 7 ♦ "'-w kristal 76 dat eventueel wegdraaibaar is opgesteld om te kunnen worden vervangen door een kristal 77 voor straling van een andere golflengte waartoe de röhtgenbuis uitwisselbaar is dan wel is uitgerust net twee onderscheiden trefplaatmaterialen. Zo kan de anode van de buis bijvoor-5 beeld, elk apart te bestralen een trefplaat uit keper voor bet opwekken van koper K<sC 1 straling net een golflengte van 0.154 nm en een trefplaat uit chroom voor het opwekken van chroom K co 1 straling net een golflengte van 0.299 nm bevatten.

In een bundelbaan van een uit een venster 70 tredende röntgen-10 tudnel 79 kunnen een verzwakkingsfilter 80, een sluiter 81, en een bundel-diafragma 82 zijn opgenomen. Het diafragma 82 heeft bijvoorbeeld een spleetvom met een lengterichting dwars op het vlak van tekening, maar het kan ook zo zijn uitgevoerd,dat in een andere richting een deel wordt af geschermd. Gn reflecties ook bij een dikker diafragma aan de diafragma-15 randen zo veel mogelijk te beperken kan het gunstig zijn het diafragma te vormen uit bijvoorbeeld een vlak, langs (111) kristalvlakken gesneden silicium eenkristal. De röntgenbundel 79 treft het monochromatorkristal 76 dat bijvoorbeeld een gebogen Si êênkristal is. In een voorkeursuitvoering bevat het apparaat een silicium eenkristal net een vorm zoals beschreven 20 in de gelijktijdig door Aanvraagster ingediende octrooiaanvrage PHN

10.566. Een door kristalvlakken van het kristal gechramatiseerde röntgenbundel 84 valt via een venster 86 het goniometerhuis binnen. Het gonio-metergedeelte waarvan f ig. 5b een dwarsdoorsnede toont, bevat een cylinder 88 die hierover de binnenmantel is voorzien van een vertarding 90. Deze 25 vertanding werkt slipvrij samen net een vertanding 92 die aan een buitenomtrek van een focuscylinder 94 is aangebracht. Voor verplaatsing van een te onderzoeken monster 96 dat weer vast aan de focuscylinder 44 is bevestigd, wordt de cylinder 94 langs de steekcirkel van de binnenvertanding van de vaste cylinder 88 gerold tussen voor het monster twee uiterste 30 standen 96-0 en 96-3. Het monster wordt daarbij in de bundelweg van de stralenbundel 84 voor transmissie onderzoek bewogen tussen de eerste uiterste stand 96-0 tegenover het ingangsvenster tegen de cylinder 88 via een tussenpositie 96-1 tot een bundelfocus 98 van de bundel en voor reflectie onderzoek continue verder tussen het bundelfocus 98 via een tussen-35 positie 96-2 naar de diametraal tegenover het ingangsvenster gelegen positie 96-3. Voor het aandrijven van de rolbeweging dient hier een extra tandwiel 100 dat wordt aangedreven door een op een montageplaat 99 gemonteerde niet weergegeven motoraandrij ving en dat daartoe eveneens samenwerkt met 8300420

ψ V

ΡΗΝ 10.567 8 de vertanding 92 van de focuscylinder 94. Een as 102 van het tandwiel 100 verplaatst zich daarbij ten opzichte van de vaste cylinder 88 tot weer langs een cirkel. Een as 110 van de focuscylinder beweegt zicht daarbij langs een. cirkel 104 om het bundelfocus 98. Een detector 106 is op de 5 cirkelomtrek van de focuscirkel 94 gemonteerd en is met een arm 108 roteerbaar gekoppeld met de as 110 van de focuscylinder 94. Voor elke stand van de focuscylinder kan de detector over de ontrek daarvan worden bewogen, waarvoor bijvoorbeeld gebruik gemaakt kan worden van een eveneens op de montageplaat 99 gemonteerde, niet weergegeven aandrijf motor.

10 Met deze motor wordt via de as 110 een detectordraagschijf 105 aangedreven. Deze beweging kan bij elke positie van het monster worden doorgevoerd.

Met een encoder 112 kan zeer nauwkeurig steeds bijvoorbeeld de hoek tussen de invallende bundel en de detector worden gemeten. In feite neet de decoder derhalve een hoek 4 9 , waarbij Θ de Bragg hoek voor een prepa-15 raat in een meetpositie voor stelt. Ook hier kan veer door toevoeging van een extra tandwiel of een ander daartoe geeigend koppel- of aandrijfmechanisme 107 de detector bij rotatie van het preparaat en de detector voortdurend bij gericht worden zodat de detector steeds optimaal op het preparaat gericht wordt georienteerd. Met een dekselgedeelte 114 kan 20 het gehele bevegingsmechanisme worden afgesloten waardoor de ruimte daarbinnen, eventueel met het huis voor het monochromatorkr istal, kan worden geconditioneerd. Door de grote vrijheid in de keuze van de positie van het monster kan dit nu ook zo worden gepositioneerd, dat in de röntgenbundel optredende dispersie aan het monochromatorkr istal of reeds daarvoor, door 25 dispersie aan het monster althans gedeeltelijk kan worden gecompenseerd dan wel worden versterkt.

30 35 83 0 0 4 2 0

Claims

1. Röntgen analyse apparaat met een röntgenbron (1), een monochromator (3), een verplaatsbare preparaathouder en een detector (4), met het kenmerk, dat het preparaat (5) bij verplaatsing ten opzichte van een röntgehbundel een vaste positie inneemt op een manteloppervlak van een 5 focuscylinder (21) die afrolbaar is om een vast cm een bundelfocus van de röntgenbundel opgestelde hulpcylinder (27, 30, 40, 69) terwijl de detector roteerbaar is langs het manteloppervlak van de focuscylinder.

2. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat dit is uitgerust met een encoder (112) voor hoekmetingen tussen de in- 10 vallende röntgenbundels en de detector.

3. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de hulpcylinder (27) een straal gelijk aan de diameter van de focuscylinder (21) heeft en de focuscylinder slipvrij langs een binnen-mantel oppervlak van de hulpcylinder afrolbaar is. 15

4. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 3, net let kenmerk, dat het binnenmanteloppervlak van de hulpcylinder en het buitenmantel-oppervlak van de focuscylinder van slipvrij samenwerkende vertandingen zijn voorzien.

5. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1 of 2, met het ken-20 merk, dat de focuscylinder (21) van een concentrisch opgestelde aandrijf- cylinder (35) is voorzien die met een slipvrije handoverbrenging (32) is gekoppeld met een vast cm het bundelfocus (13) opgestelde hulpcylinder (30) die een straal heeft gelijk aan de middellijn van de aandrijf cylinder.

6. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1 of 2, met het ken-25 merk, dat de focuscylinder (21) van een, uitwendig vertande concentrische opgestelde aardrijfcylinder (35) is voorzien die onder toevoeging van een tussentandwiel (38) is gekoppeld met een uitwendige vertarde, vast om het bundelfocus (13) opgestelde hulpcylinder (30) net een ten opzichte van de aandrijfcylinder twee maal zo groot aantal tanden. 30

7. Röntgen analyse apparaat volgens een van de conclusies 1 of 2, met het kenmerk, dat een vast om het bundelfocus (13) opgestelde hulpcylinder (40) met een overbrengingsverhouding 1 op 2 samenwerkt met een tussen-geleider (42) die via een daarmede concentrisch verbonden cylinder (44) samenwerkt met een concentrisch met de focuscylinder (21) gemonteerde cy-35linder (46) met een diameter gelijk aan de diameter van de cylinder (44).

8. Röntgen analyse apparaat volgens conclusie 1 of 2, met het ken merk, dat een cm het bundelfocus (13) cpgestelde hulpcylinder (60) via een handover brenging (68), een eerste tussencylinder 60 en twee tusseneylinders 8300420 EHN 10.567 10 V v~ (66) met de focuscylinder (21) is gekoppeld waarbij een band van de band-overbrenging met elk van de cylinders een vast gemeenschappelijk punt heeft en door een zodanige geleiding loopt, dat bij rotatie geen axiale kracht optreedt. 5

9. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat aan het bewegingsnechanisire voor de preparaathouder en de detector een mechanisme (107) is toegevoegd voor het tijdens een meetproces steeds gericht houden van de detector op het preparaat.

10. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, 10 met het kenmerk, dat dit is uitgerust met een dubbel focusserend monochromator kristal (76) dat is opgebouwd uit een dislocatie arm êênkristal.

11. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat aan het bewegingsmechanisme voor de preparaathouder een bevegingsinrichting is toegevoegd voor rotatie van het preparaat 15 om een dwars op een te stralen oppervlak van het kristal gerichte, in het vlak van de focusseringscirkel gelegen as.

12. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat aan de preparaathouder een inrichting is toegevoegd voor het realiseren van een kantelbewsging van een daarin opgenaten pre- 20 paraat ten opzichte van een dwars op een te bestralen oppervlak van het kristal gerichte, in het vlak van de focusseringscirkel gelegen as.

13. Röntgen analyse apparaat volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat een het preparaat te bestralen röntgenbundel diafrag-merend diafragma (82) met een langs (111) kristalvlakken gesneden plak 25dislocatie arm êênkristal materiaal is vervaardigd. 30 35 8300420