NL2035668B1 - Verstuiverinrichting - Google Patents

Abstract

-12- Verstuiverinrichting Een verstuiverinrichting omvat een verstuiverlichaam (30,32) met ten minste één doorgaande verstuiveropening (35) die zich uitstrekt tussen een inlaatzijde van het verstuiverlichaam en een vlakke afgiftezijde daarvan. De verstuiveropening (35) ontvangt een te vernevelen vloeistof en opent om van de vloeistof een nevel in de vorm van een nevelstraal van minuscule vloeistofdruppels af te geven. Conform de uitvinding wordt de verstuiveropening (35) stroomafwaarts, althans in een orthogonale projectie buiten een baan van een daardoor af te geven nevelstraal, geflankeerd door afvangmiddelen (40,50) waardoor de vloeistof initieel wordt ontvangen. Fig. 2

Description

Verstuiverinrichting

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een verstuiverinrichting, omvattende een verstuiverlichaam met ten minste één doorgaande verstuiveropening die zich uitstrekt tussen een inlaatzijde van het verstuiverlichaam en een vlakke afgiftezijde daarvan, waarbij de ten minste ene verstuiveropening bestemd en ingericht is om een te vernevelen vloeistof aan de inlaatzijde onder verhoogde druk te ontvangen, en waarbij de ten minste ene verstuiveropening aan de afgiftezijde opent om van de vloeistof een nevel in de vorm van één of meer nevelstralen van minuscule vloeistofdruppels af te geven, corresponderend met de ten minste ene verstuiveropening.

Een dergelijke verstuiverinrichting is bijvoorbeeld bekend uit EP3383548 en berust op zogenaamde Plateau-Rayleigh-instabiliteit van een vloeistofstroom die door een dun kanaal wordt geleid, ook wel aangeduid als Rayleigh opbreking. Dit kanaal wordt in de onderhavige inrichting geboden door een verstuiveropening van de ten minste ene verstuiveropening. Het gaat hierbij om een fenomeen in de vloeistofdynamica waarbij een cilindervormige vloeistofkolom onder bepaalde omstandigheden instabiel wordt en zich splitst in een reeks kleinere druppels. De drijvende kracht daarachter is de oppervlaktespanning van de vloeistof die ernaar streeft om de vloeistofkolom te minimaliseren en daarvan telkens druppels van circa gelijke grootte af te scheiden. Die grootte wordt op zijn beurt, gegeven de constante viscositeit van de vloeistof, voornamelijk bepaald door de fysieke dimensies van de verstuiveropening die in de constructie vastliggen. Aldus kan met een dergelijke inrichting een nagenoeg monodisperse nevel worden gerealiseerd die is samengesteld uit louter druppels van circa identieke grootte.

Voor tal van toepassingen is een hoogwaardige nevel gewenst die is samengesteld uit minuscule druppels van circa gelijke grootte. De hierboven beschreven inrichting leent zich daarvoor bij uitstek, maar vereist daarvoor relatief nauwe verstuiveropeningen en een relatief hoge vloeistofdruk om de weerstand daarvan te overbinlaatgen. Een veel voorkomend verschijnsel is daarbij dat tijdens een startfase de drukopbouw nog onvoldoende is om uit de vloeistof een fijne nevel te vormen. In plaats daarvan vormt zich aan het oppervlak van de verstuiver een macroscopische vloeistofdruppel die als zodanig van het oppervlak ontwijkt.

Een verkeerde en niet bedoelde initiële depositie van de vloeistof is hiervan het gevolg.

Het bezwaar hiervan kan variëren van ongemak, bijvoorbeeld in het oog van een oogspray, tot materiaalvlekken of verminderde werkzaamheid als gevolg van een depositie van een dergelijke startdruppel in plaats van een fijne spray. Ook is de startdruk van de inrichting hoger dan strikt genomen noodzakelijk, hetgeen vanwege uiteenlopende redenen onwenselijk is.

Met de onderhavige uitvinding wordt onder meer beoogd om een dergelijk weglekken van de initiële vloeistof, ook wel aangeduid als drooling, in een verstuiverinrichting tegen te gaan.

Om het beoogde doel te bereiken heeft een verstuiverinrichting van de in de aanhef beschreven soort volgens de uitvinding als kenmerk dat de ten minste ene verstuiveropening stroomafwaarts, althans in een orthogonale projectie buiten een baan van een daardoor af te geven nevelstraal van de vloeistof, wordt geflankeerd door afvangmiddelen waardoor de vloeistof initieel wordt ontvangen. Aldus voorziet de verstuiverinrichting in een afvang van de initiële vloeistof door het zuigende lichaamsdeel waarin of waarop de vloeistof kan worden verzameld in plaats van weg te lopen en uit de inrichting te lekken. Deze opvang bevindt zich buiten de baan van de te genereren nevelstraal zodat het normale bedrijf van de verstuiverinrichting daardoor niet zal worden beïnvloed.

Op zichzelf kan de initiële vloeistof op velerlei wijze worden opgevangen en verzameld om deze voor een verdere druppelvorming en weglekken te behoeden. In een bijzondere uitvoeringsvorm is de verstuiverinrichting in dat verband gekenmerkt doordat de afvangmiddelen een zuigend oppervlak van het verstuiverlichaam omvat. De afvangmiddelen worden aldus door het verstuiverlichaam zelf gevormd. Het zuigende oppervlak daarvan trekt de groeiende druppel aan die zich daarbij over het oppervlak verspreid, weg van de verstuiveropening. De initiële vloeistof verstopt de verstuiveropening aldus niet, maar wordt daarvan juist verdreven, zodat een minimale energie (druk) volstaat om een "droge" nevelstraal te genereren die opbreekt in opeenvolgende minuscule druppeltjes. De vloeistof die nog op het zuigende oppervlak ligt, zal uiteindelijk verdampen, waarna het oppervlak andermaal gereed is voor een volgende start van de inrichting.

Met het oog op de aanzuigende werking kan het betreffende lichaamsdeel volledig uit een daarop afgestemd materiaal zijn vervaardigd. Een verder bijzondere uitvoeringsvorm van de verstuiverinrichting heeft evenwel volgens de uitvinding als kenmerk dat het zuigende oppervlak uitgaat van een hydrofiele, hydrofobe of amphifiele coating die aan de afgiftezijde ten minste ter plaatse op het verstuiverlichaam is aangebracht en is afgestemd op de aard van de te vernevelen vloeistof. Aldus kan het oppervlak van het verstuiverlichaam terzijde van de verstuiveropening van de coating worden voorzien terwijl de opening zelf daarvan blijft gevrijwaard. Dit bevordert eveneens een droge en vrije doorgang van de te vormen nevelstraal.

Het zuigende oppervlak dat de initiële vloeistof wegneemt kan behalve van het verstuiverlichaam ook van een ander deel van de verstuiverinrichting uitgaan. In dat opzicht heeft een bijzondere uitvoeringsvorm van de verstuiverinrichting volgens de uitvinding als kenmerk dat de afvangmiddelen een verdieping omvatten in een houder waarin het verstuiverlichaam verdiept is aangebracht, dat een bodem van de verdieping het verstuiverlichaam omvat en een wanddeel van de verdieping het verstuiverlichaam zijdelings flankeert, in het bijzonder omringt, en dat het genoemde wanddeel een aantrekkend oppervlak voor de vloeistof verschaft.

Ook hierbij kan het materiaal van de houder volledig uit een materiaal zijn samengesteld dat een aanzuigende werking op de initiële vloeistof uitoefent of kan een coating al of niet lokaal daarop zijn aangebracht om daaraan de beoogde aanzuigende

A- werking te verschaffen, in het bijzonder een hydrofiele, hydrofobe of amfifiele coating, afgestemd op de te vernevelen vloeistof. Het verstuiverlichaam kan in beide gevallen als standaard bulk-product worden verschaft, terwijl de houder eenvoudigweg qua materiaal kan worden afgestemd op de aard van de te vervelen vloeistof met het oog op de aanzuigende werking die daarvan uit dient te gaan.

Om een verdrijving van de initiële vloeistof weg van de verstuiveropening te bevorderen wordt deze met voordeel asymmetrisch aangetrokken om aldus een onbalans te creëren die tot een meer richtingsgerichte verdrijving leidt. Met het oog daarop heeft een verdere bijzondere uitvoeringsvorm van de verstuiverinrichting als kenmerk dat de ten minste ene verstuiveropening excentrisch in de verdieping is aangebracht. Het verstuiverlichaam kan hierbij off-center in de houder zijn aangebracht, ofwel ligt de ten minste enen verstuiveropening niet gecentreerd in het verstuiverlichaam. In beide gevallen ligt de ten minste ene verstuiveropening dichter bij het wanddeel dan bij een overig deel van de wand van de verdieping, waardoor de initiële vloeistof daardoor effectiever zal worden aangetrokken. De initieel vloeistof bouwt zich op tot aan asymmetrische druppel. Zodra de energie van de vloeistof hoog genoeg is, wordt de druppel weggeschoten van het verstuiveroppervlak en laat een "droge" druppelstraal achter.

De druppel zal voor het wegschieten nog tijdelijk aan het verstuiveroppervlak blijven hangen, maar krijgt dankzij de asymmetrische ligging van de verstuiveropening een zijwaartse snelheidscomponent. Zodra de druppel wordt afgeschoten buigt de druppel daardoor af. Dit biedt een mogelijkheid om de druppel buiten het schootsveld van de "droge" druppelstraal op te vangen. Hiervoor leent zich een bijzondere uitvoeringsvorm van de verstuiverinrichting volgens de uitvinding, gekenmerkt doordat de afvangmiddelen ruimtelijk gescheiden van het verstuiverlichaam zijn voorzien. De initiële vloeistof blijft in de afvangmiddelen gevangen of verdampt daaruit langzamerhand.

in een eerste bijzondere uitvoeringsvorm heeft de verstuiverinrichting daartoe als kenmerk dat de afvangmiddelen een poreus lichaam omvatten dat binnen een initiële druppelgrootte vanaf het verstuiverlichaam is aangebracht, waarbij in een verdere uitvoeringsvorm het verstuiverlichaam is gekenmerkt doordat het poreuze lichaam is gevormd uit een aanzuigend materiaal, in het bijzonder een hydrofiel, hydrofoob of amfifiel materiaal, afgestemd op de te vernevelen vloeistof. Aldus bevindt een poreus lichaam zich in de nabijheid van de verstuiveropening dat een weg vrijlaat voor de "droge" nevelstraal.

Aanvankelijk bouwt zich druk op in de vloeistof, maar deze is nog niet hoog genoeg om de vloeistof tot een druppelstraal om te vormen. In plaats daarvan vormt zich een druppel aan het oppervlak. Deze druppel groeit totdat het poreuze materiaal wordt geraakt. De druppel wordt vervolgens door het poreuze materiaal opgezogen. De oppervlaktespanning van de vloeistof zorgt ervoor dat de druppel volledig door het poreuze materiaal wordt opgenomen. Zodra de druk toereikend is voor Rayleigh opbreking van de vloeistofstraal, vormt zich een droge jet die het poreuze materiaal ontwijkt. In het poreuze lichaam zit bijvoorbeeld een opening waardoorheen de jet kan ontwijken om de beoogde aerosol te vromen. De ingevangen druppel zal langzamerhand ongemerkt verdampen. in een tweede bijzonder uitvoeringsvorm heeft de verstuiverinrichting volgens de uitvinding als kenmerk dat de vloeistof afvangmiddelen een reservoir omvatten waarin een initiële vloeistofdruppel ontvangbaar is. Het reservoir wordt bijvoorbeeld gevormd door een kapje dat nabij de verstuiveropening is aangebracht, maar een doorgang laat voor de uiteindelijke "droge" nevelstraal. Een vloeistofdruppel die zich initieel onverhoopt aan het oppervlak heeft gevormd kan daarin worden afgevangen om vervolgens daarin gevangen te blijven of daaruit te verdampen.

De verstuiverinrichting kan met een uitermate hoge graad van precisie worden vervaardigd, waarbij met voordeel gebruik wordt gemaakt van hedendaagse fotolithografische halfgeleidertechnieken. Een verdere bijzondere uitvoeringsvorm van de verstuiverinrichting heeft daartoe als kenmerk dat het verstuiverlichaam een dragerlichaam omvat van een eerste materiaal, in het bijzonder een halfgeleidermateriaal zoals silicium, dat is bedekt met een relatief dunne laag van een tweede materiaal, in het bijzonder van siliciumnitride, waarbij de het dragerlichaam ten minste één doorgaande holte omvat die zich vanaf een rugzijde van het dragerlichaam tot de laag van het tweede materiaal uitstrekt, welke aldaar de ten minste en verstuiveropening omvat.

De uitvinding zal navolgend nader worden toegelicht aan de hand van een uitvoeringsvoorbeeld en een bijbehorende tekening. In de tekening toont:

Figuur 1 een uitvoeringsvoorbeeld van een eerste uitvoeringsvoorbeeld van de verstuiverinrichting volgens uitvinding;

Figuur 2 een uitvoeringsvoorbeeld van een tweede uitvoeringsvoorbeeld van de verstuiverinrichting volgens uitvinding in een eerste stadium;

Figuur 3 een uitvoeringsvoorbeeld van het tweede uitvoeringsvoorbeeld van de verstuiverinrichting volgens uitvinding in een tweede stadium; en

Figuur 4 een uitvoeringsvoorbeeld van een derde uitvoeringsvoorbeeld van de verstuiverinrichting volgens uitvinding.

Overigens zij daarbij opgemerkt dat de figuren zuiver schematisch en niet steeds op (eenzelfde) schaal zijn getekend. Met name kunnen terwille van de duidelijkheid sommige dimensies in meer of mindere mate overdreven zijn weergegeven.

Overeenkomstige delen zijn in de figuren met eenzelfde verwijzingscijfer aangeduid.

De in figuur 1 getoonde inrichting omvat een kunststof houder 10 waarin een verstuiverlichaam 30 verdiept is aangebracht. Het verstuiverlichaam 30 vormt aldus een bodem van een komvormige verdieping 15 in de houder 10. Aan een tegenoverliggende zijde biedt de houder 10 een aanvoerholte 12 voor een vloeistof onder verhoogde druk. in de aanvoerholte 12 kunnen desgewenst één of meer filter worden geplaatst om eventuele vaste deeltjes in de vloeistof, die ander het verstuiverlichaam zouden kunnen verstoppen of anderszins nadelig beïnvloeden, tegen te houden.

ys

De houder is in dit voorbeeld een spuitgietdeel dat uit een thermoplastische kunststof zoals polyethyleen of polypropyleen kan zijn vervaardigd. Het verstuiverlichaam 30 is daarin aan weerszijden door een zitting gefixeerd die onder toevoer van hitte en mechanische inwerking door een gesmolten en vervolgens gestold deel van de houderwand werd gevormd. Het verstuiverlichaam omvat in dit voorbeeld een dragerlichaam 30 van silicium waarin door middel van etsen onder maskering van een ets masker een doorgaande holte 31 is gevormd. Hiervoor kunnen uitermate nauwkeurige fotolithografische technieken worden toegepast zoals die in de hedendaagse halfgeleidertechnologie gangbaar zijn. Zowel de locatie als de grootte van de holte 31 is aldus nauwkeurig bepaald. Het dragerlichaam 30 werd door zagen, breken en/of (laser)snijden uit een gangbare silicium wafer bevrijd en heeft daarom typisch een dikte van enkele honderden micron.

Gebruikmakend van dezelfde technologie is op het oppervlak van het dragerlichaam 30 een relatief dunne membraanlaag 32 van siliciumnitride gedeponeerd, die eventueel door een niet nader getoonde dunne siliciumoxidelaag van het dragerlichaam 30 wordt gescheiden. In de membraanlaag 32 is een doorgaande verstuiveropening 35 geëtst waardoorheen de vloeistof kan ontwijken. De verstuiveropening 35 heeft typisch een diameter van de orden van een (deel van) een micron tot enkele micron. De nitridelaag 32 is typisch één tot enkele micron dik, hetgeen tevens een lengte van de verstuiveropening 35 bepaalt. De verstuiveropening 35 forceert de vloeistof in de vorm van een dunne cilinder die uiteindelijk als gevolg van Plateau-Rayleigh-instabiliteit in een serie opeenvolgende druppels 20 van nagenoeg gelijke grootte zal opbreken. Dit vormt een individuele nevelstraal van de met de verstuiverinrichting op te werpen spray. Het verstuiverlichaam 30 kan met één of meer van dergelijke verstuiveropeningen verspreid over een aantal holten 31 en/of per holte 31 zijn uitgevoerd om een nevel met een breder sproeibeeld en verhoogd vloeistofdebiet te bereiken.

De voor de Plateau-Rayleigh opbreking benodigde vloeistofdruk moet zich bij start van de inrichting nog opbouwen, waardoor de vloeistof aanvankelijk aan het oppervlak van het verstuiverlichaam zich slechts zal ophopen en zich daar een macroscopische druppel 25 van de vloeistof kan vormen. Om te vermijden dat deze druppel 25 in de opgeworpen spray wordt meegevoerd is de verstuiverinrichting voorzien van afvangmiddelen die een aanzuigende werking op de vloeistof hebben. In dit voorbeeld omvatten deze afvangmiddelen een coating 33 die terzijde van de verstuiveropening 35 rondom op het oppervlak is voorzien en die een aanzuigende werking op de vloeistof uitoefent. De initiële vloeistof wordt daardoor uit een baan van de nevelstraal 20 getrokken. Bij een waterige vloeistof zal hiertoe een hydrofiele coating 33 kunnen worden toegepast, terwijl voor olie-achtige en vergelijkbare vloeistoffen een hydrofobe coating 33 geschikt is. Desgewenst kan in beide gevallen ook worden uitgegaan van een amphifiele coating. De aldus buiten de baan van de nevelstraal 20 gebrachte initiële vloeistof zal uiteindelijk verdampen en van het oppervlak verdwijnen.

Een tweede uitvoeringsvorm van de verstuiverinrichting volgens de uitvinding wordt in figuur 2 en 3 weergegeven. Ook in dit geval is een verstuiverlichaam 30,32 verdiept aangebracht in een omringende houder 10. Het opbouw van de verstuiverinrichting is op hoofdlijnen gelijk aan de van het eerste uitvoeringsvoorbeeld. In plaats een aanzuigende coating 33 is hier evenwel een poreus lichaam 40 op afstand van de verstuiveropening 35 aangebracht. De initiële vloeistof zwelt in dit voorbeeld aanvankelijk aan tot een druppel 25 die uiteindelijk het poreuze lichaam 40 zal bereiken en daardoor zal worden opgezogen, zie figuur 2. Het poreuze lichaam 40 bevindt zich buiten een baan van de te leveren nevelstraal 20 die dan ook door de aanwezigheid van het poreuze lichaam niet zal worden beïnvloed, zie figuur 3. De opgezogen druppel 25 blijft in het poreuze lichaam 40 gevangen en zal daaruit door verdamping uiteindelijk verdwijnen. Voor een verbeterde opname en retentie van de geabsorbeerde vloeistof word voor het poreuze lichaam 40 bij voorkeur een hydrofoob of hydrofiel materiaal gekozen, al naar gelang de aard van de vloeistof 25 die dient te worden geabsorbeerd.

Een derde uitvoeringsvoorbeeld van een verstuiverinrichting volgens de uitvinding wordt getoond door figuur 4. Ook deze uitvoeringsvorm is qua opbouw grotendeels gelijk aan die van de voorgaande voorbeelden. In dit voorbeeld bevindt de verstuiveropening 35 zich echter excentrisch ten opzichte van de wand van de verdieping 15 in de houder 10. In dit geval is de verstuiveropening daartoe excentrisch in het verstuiverlichaam 32 geplaatst. Alternatief kan het verstuiverlichaam 30,32 ook excentrisch in de houder 10 worden opgenomen.

Door deze asymmetrie zal de initiële druppel 25 een netto aantrekking naar één van beide zijden ondervinden; in het getoonde voorbeeld naar rechts. Hieraan kan verder worden bijgedragen door het materiaal van de houder 10 en/of dat van het oppervlak van het verstuiverlichaam 30,32 af te stemmen op de aard van de te vernevelen vloeistof dan wel van een daarop afgestemde coating te voorzien. De initiele druppel 25 groeit daardoor asymmetrisch; in de tekening meer naar rechts, dan naar links. Als de energie van de vloeistof hoog genoeg is, wordt de druppel 25 weggeschoten van het verstuiverlichaam 30,32 en blijft er een "droge" nevelstraal 20 over.

De druppel 25 blijft tijdens het wegschieten, mede door interactie met de wand van de houder 10, nog enigszins aan het oppervlak 32 hangen en krijgt daardoor een zijwaartse snelheidscomponent. De druppel 25 buigt hierdoor af en wordt afgevangen in daartoe voorzienen afvangmiddelen in de vorm van een collector 50. De collector omvat daartoe een inlaat in de baan van de initiële druppel 25, maar buiten de baan van de nevelstraat 20 opdat deze laatste daardoor niet wordt beïnvloed. Inwendig omvat de collector 50 een reservoir 55 waarin de druppel 25 wordt opgevangen en blijft opgesloten totdat deze langzamerhand verdampt. Desgewenst kan het reservoir 55 een sponslichaam omvatten om de vloeistof 25 beter vast te houden en over een groter oppervlak te verspreiden ter bevordering van de verdamping daarvan.

Hoewel de uitvinding hiervoor aan de hand van louter een enkele uitvoeringsvoorbeeld nader werd toegelicht, moge het duidelijk zijn dat de uitvinding daartoe geenszins is beperkt. Integendeel zijn binnen het kader van de uitvinding voor een gemiddelde vakman nog vele variaties en verschijningsvormen mogelijk.

Claims (11)

Conclusies:

1. Verstuiverinrichting, omvattende een verstuiverlichaam met ten minste één doorgaande verstuiveropening die zich uitstrekt tussen een inlaatzijde van het verstuiverlichaam en een vlakke afgiftezijde daarvan, waarbij de ten minste ene verstuiveropening bestemd en ingericht is om een te vernevelen vloeistof aan de inlaatzijde onder verhoogde druk te ontvangen, en waarbij de ten minste ene verstuiveropening aan de afgiftezijde opent om van de vloeistof een nevel in de vorm van één of meer nevelstralen van minuscule vloeistofdruppels af te geven, corresponderend met de ten minste ene verstuiveropening, met het kenmerk dat de ten minste ene verstuiveropening stroomafwaarts, althans in een orthogonale projectie buiten een baan van een daardoor af te geven nevelstraal van de vloeistof, wordt geflankeerd door afvangmiddelen waardoor de vloeistof initieel wordt ontvangen.

2. Verstuiverinrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk dat de afvangmiddelen een zuigend oppervlak van het verstuiverlichaam omvat.

3. Verstuiverinrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk dat het zuigende oppervlak uitgaat van een hydrofiele, hydrofobe of amphifiele coating die aan de afgiftezijde ten minste ter plaatse op het verstuiverlichaam is aangebracht en is afgestemd op de aard van de te vernevelen vloeistof.

4. Verstuiverinrichting volgens conclusie 1, 2 of 3, met het kenmerk dat de afvangmiddelen een verdieping omvatten in een houder waarin het verstuiverlichaam verdiept is aangebracht, dat een bodem van de verdieping het verstuiverlichaam omvat en een wanddeel van de verdieping het verstuiverlichaam zijdelings flankeert, in het bijzonder omringt, en dat het genoemde wanddeel een aantrekkend oppervlak voor de vloeistof verschaft.

5. Verstuiverinrichting volgens conclusie 4, met het kenmerk dat het wanddeel is voorzien van een coating, in het bijzonder een hydrofiele, hydrofobe of amfifiele coating, afgestemd op de te vernevelen vloeistof.

6. Verstuiverlichaam volgens conclusie 4 of 5, met het kenmerk dat de ten minste ene verstuiveropening excentrisch in de verdieping is aangebracht.

7. Verstuiverinrichting volgens één of meer der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat de afvangmiddelen ruimtelijk gescheiden van het verstuiverlichaam zijn voorzien.

8. Verstuiverinrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk dat de vloeistof afvangmiddelen een poreus lichaam omvatten dat binnen een initiéle druppelgrootte vanaf het verstuiverlichaam is aangebracht.

9. Verstuiverinrichting volgens conclusie 8, met het kenmerk dat het poreuze lichaam is gevormd uit een aanzuigend materiaal, in het bijzonder een hydrofiel, hydrofoob of amfifiel materiaal, afgestemd op de te vernevelen vloeistof.

10. Verstuiverinrichting volgens conclusie 7, met het kenmerk dat de vloeistof afvangmiddelen een reservoir omvatten waarin een initiële vloeistofdruppel ontvangbaar is.

11. Verstuiverinrichting volgens één of meer der voorgaande conclusies, met het kenmerk dat het verstuiverlichaam een dragerlichaam omvat van een eerste materiaal, in het bijzonder een halfgeleidermateriaal zoals silicium, dat is bedekt met een relatief dunne laag van een tweede materiaal, in het bijzonder van siliciumnitride, waarbij de het dragerlichaam ten minste één doorgaande holte omvat die zich vanaf een rugzijde van het dragerlichaam tot de laag van het tweede materiaal uitstrekt, welke aldaar de ten minste en verstuiveropening omvat.