[go: up one dir, main page]

NL154867B - Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting, alsmede volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffect-transistor en planaire transistor. - Google Patents

Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting, alsmede volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffect-transistor en planaire transistor.

Info

Publication number
NL154867B
NL154867B NL656501818A NL6501818A NL154867B NL 154867 B NL154867 B NL 154867B NL 656501818 A NL656501818 A NL 656501818A NL 6501818 A NL6501818 A NL 6501818A NL 154867 B NL154867 B NL 154867B
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
procedure
manufacture
accordance
well
semiconductor device
Prior art date
Application number
NL656501818A
Other languages
English (en)
Other versions
NL6501818A (nl
Inventor
Minoru Ono
Toshimitsu Momoi
Youji Kawachi
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Publication of NL6501818A publication Critical patent/NL6501818A/xx
Publication of NL154867B publication Critical patent/NL154867B/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D62/00Semiconductor bodies, or regions thereof, of devices having potential barriers
    • H10D62/40Crystalline structures
    • H10D62/405Orientations of crystalline planes
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10DINORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
    • H10D99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • H10P14/6309
    • H10P14/6322
    • H10P95/00
    • H10P95/80
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/049Equivalence and options
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/053Field effect transistors fets
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S148/00Metal treatment
    • Y10S148/115Orientation
NL656501818A 1964-02-13 1965-02-12 Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting, alsmede volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffect-transistor en planaire transistor. NL154867B (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP738864 1964-02-13

Publications (2)

Publication Number Publication Date
NL6501818A NL6501818A (nl) 1965-08-16
NL154867B true NL154867B (nl) 1977-10-17

Family

ID=11664527

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL656501818A NL154867B (nl) 1964-02-13 1965-02-12 Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting, alsmede volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffect-transistor en planaire transistor.

Country Status (4)

Country Link
US (1) US3643137A (nl)
DE (1) DE1514082C3 (nl)
GB (1) GB1100124A (nl)
NL (1) NL154867B (nl)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3860948A (en) * 1964-02-13 1975-01-14 Hitachi Ltd Method for manufacturing semiconductor devices having oxide films and the semiconductor devices manufactured thereby
US3585464A (en) * 1967-10-19 1971-06-15 Ibm Semiconductor device fabrication utilizing {21 100{22 {0 oriented substrate material
US3651565A (en) * 1968-09-09 1972-03-28 Nat Semiconductor Corp Lateral transistor structure and method of making the same
NL171309C (nl) * 1970-03-02 1983-03-01 Hitachi Ltd Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderlichaam, waarbij een laag van siliciumdioxyde wordt gevormd op een oppervlak van een monokristallijn lichaam van silicium.
DE2828607C3 (de) * 1977-06-29 1982-08-12 Tokyo Shibaura Denki K.K., Kawasaki, Kanagawa Halbleitervorrichtung
US5171703A (en) * 1991-08-23 1992-12-15 Intel Corporation Device and substrate orientation for defect reduction and transistor length and width increase

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB805292A (en) * 1953-12-02 1958-12-03 Philco Corp Semiconductor devices
GB797687A (en) * 1956-05-28 1958-07-09 Marconi Wireless Telegraph Co Improvements in or relating to processes for the manufacture of semi-conductor rectifiers
DE1104074B (de) * 1957-07-30 1961-04-06 Telefunken Gmbh Verfahren zum Zerschneiden eines Halbleiter-Einkristalles, z. B. aus Germanium, fuer Halbleiter-anordnungen in duenne Scheiben, deren Schnittflaechen senkrecht zu einer gewuenschten Kristallachse liegen
GB852003A (en) * 1958-06-10 1960-10-19 Siemens Edison Swan Ltd Improvements relating to the production of wafers of semi-conductor material
DE1095952B (de) * 1958-08-04 1960-12-29 Philips Nv Verfahren zur Herstellung von gleich langen Halbleiterstreifen aus einem homogenen einkristallinen Halbleiterstab fuer mehrere Halbleiteranordnungen
US2986481A (en) * 1958-08-04 1961-05-30 Hughes Aircraft Co Method of making semiconductor devices
US2994811A (en) * 1959-05-04 1961-08-01 Bell Telephone Labor Inc Electrostatic field-effect transistor having insulated electrode controlling field in depletion region of reverse-biased junction
NL265382A (nl) * 1960-03-08
NL267831A (nl) * 1960-08-17
GB923153A (en) * 1960-08-18 1963-04-10 Fairchild Semiconductor Semiconductor strain gauge
US3045129A (en) * 1960-12-08 1962-07-17 Bell Telephone Labor Inc Semiconductor tunnel device
AT229371B (de) * 1961-04-14 1963-09-10 Siemens Ag Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
US3330030A (en) * 1961-09-29 1967-07-11 Texas Instruments Inc Method of making semiconductor devices
FR1308788A (fr) * 1961-10-16 1962-11-09 Merck & Co Inc Matière semi-conductrice et son procédé de fabrication
DE1867911U (de) * 1961-12-07 1963-02-28 Gerda Wilberger Buegelbrett mit standvorrichtung.
US3255005A (en) * 1962-06-29 1966-06-07 Tung Sol Electric Inc Masking process for semiconductor elements
US3384829A (en) * 1963-02-08 1968-05-21 Nippon Electric Co Semiconductor variable capacitance element
US3349475A (en) * 1963-02-21 1967-10-31 Ibm Planar injection laser structure
US3244566A (en) * 1963-03-20 1966-04-05 Trw Semiconductors Inc Semiconductor and method of forming by diffusion
GB1094068A (en) * 1963-12-26 1967-12-06 Rca Corp Semiconductive devices and methods of producing them
US3303059A (en) * 1964-06-29 1967-02-07 Ibm Methods of improving electrical characteristics of semiconductor devices and products so produced

Also Published As

Publication number Publication date
DE1514082A1 (de) 1969-09-18
US3643137A (en) 1972-02-15
GB1100124A (en) 1968-01-24
DE1514082C3 (de) 1984-08-30
NL6501818A (nl) 1965-08-16
DE1514082B2 (de) 1974-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL152114B (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een meerlaagshalfgeleiderinrichting en met deze werkwijze vervaardigde halfgeleiderinrichting.
NL170349C (nl) Halfgeleiderinrichting met complementaire veldeffecttransistoren.
NL145396B (nl) Werkwijze ter vervaardiging van een geintegreerde halfgeleiderinrichting en geintegreerde halfgeleiderinrichting, vervaardigd volgens de werkwijze.
NL148654B (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting met een schottky-overgang alsmede de aldus vervaardigde halfgeleiderinrichting.
NL152116B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een ingekapselde halfgeleiderinrichting en ingekapselde halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL143072B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL7510533A (nl) Werkwijze en inrichting voor de vervaardiging van een gipsplaat, evenals gipsplaat vervaardigd on- der toepassing van de werkwijze.
NL154062B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een geintegreerde halfgeleiderschakeling, alsmede geintegreerde halfgeleiderschakeling, vervaardigd met deze werkwijze.
NL139416B (nl) Transistor.
DK111366B (da) Feltvirknings-transistor.
NL149638B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting bevattende ten minste een veldeffecttransistor, en halfgeleiderinrichting, vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL155663B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van halfgeleiderinrichtingen, alsmede voorwerp vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL140101B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL155472B (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een houder, alsmede houder, vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL154866B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting alsmede halfgeleiderinrichting, vervaardigd volgens de werkwijze.
NL154867B (nl) Werkwijze voor de vervaardiging van een halfgeleiderinrichting, alsmede volgens deze werkwijze vervaardigde veldeffect-transistor en planaire transistor.
NL152458B (nl) Werkwijze voor het uitwisselen van ionen, alsmede inrichting daarvoor.
NL151584B (nl) Transistoroscillator.
NL142278B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bodem van een voor een halfgeleidende inrichting bestemde omhulling en bodem, vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL154871C (nl) Montageband voor halfgeleiderinrichting, alsmede onder toepassing van een dergelijke montageband vervaardigde halfgeleiderinrichting.
NL151558B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL141709B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting en halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens deze werkwijze.
NL144436B (nl) Halfgeleiderinrichting, in het bijzonder planaire transistor.
NL148444B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een halfgeleiderinrichting door het aanbrengen van gediffundeerde zones in een halfgeleiderlichaam en halfgeleiderinrichting vervaardigd volgens de werkwijze.
NL161621C (nl) Halfgeleiderinrichting met veldeffecttransistor.

Legal Events

Date Code Title Description
NL80 Information provided on patent owner name for an already discontinued patent

Owner name: HITACHI SEISA

V4 Discontinued because of reaching the maximum lifetime of a patent