NL1021600C2 - Meten van een optisch weglengteverschil. - Google Patents
Meten van een optisch weglengteverschil. Download PDFInfo
- Publication number
- NL1021600C2 NL1021600C2 NL1021600A NL1021600A NL1021600C2 NL 1021600 C2 NL1021600 C2 NL 1021600C2 NL 1021600 A NL1021600 A NL 1021600A NL 1021600 A NL1021600 A NL 1021600A NL 1021600 C2 NL1021600 C2 NL 1021600C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- light
- path
- path length
- combinations
- length difference
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 7
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 claims 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 abstract 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 17
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 9
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 9
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 9
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 235000000010 nanu Nutrition 0.000 description 1
- 244000082862 nanu Species 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02083—Interferometers characterised by particular signal processing and presentation
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
- G01B9/02—Interferometers
- G01B9/02055—Reduction or prevention of errors; Testing; Calibration
- G01B9/02062—Active error reduction, i.e. varying with time
- G01B9/02067—Active error reduction, i.e. varying with time by electronic control systems, i.e. using feedback acting on optics or light
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2821—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using lateral coupling between contiguous fibres to split or combine optical signals
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B2290/00—Aspects of interferometers not specifically covered by any group under G01B9/02
- G01B2290/45—Multiple detectors for detecting interferometer signals
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B2006/2865—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers couplers of the 3x3 type
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
, I
Titel: Meten van een optisch weglengteverschil.
De uitvinding heeft betrekking op een inrichting voor het meten van een optisch weglengteverschil, op een werkwijze voor het bepalen van een optisch weglengteverschil en op een computer programma product voor toepassing in een dergelijke werkwijze.
5 Optische interferentiemetingen maken het mogelijk met grote nauwkeurige weglengteverschillen tussen verschillende lichtpaden te meten. Hierbij combineert men lichtcomponenten die eerst door de verschillende paden geleid zijn. De intensiteit van het gecombineerde licht is afhankelijk van de relatieve fase van de componenten welke veroorzaakt 10 wordt door het weglengteverschil. Door deze intensiteit te meten verkrijgt men daarom informatie over het weglengteverschil.
Dergelijke metingen worden vaak gebruikt in regelsystemen waarin het weglengteverschil tussen de verschillende paden moet worden weggeregeld. Wanneer er geen weglengteverschil is dan is de intensiteit van 15 een combinatie van de componenten waarin één van de componenten voor het combineren de polariteit geïnverteerd wordt minimaal. Hiervan kan men gebruik maken om het weglengteverschil weg te regelen. Een methode om het minimum nauwkeurig te bepalen is het gebruiken van een meetsignaal dat "door nul heengaat" wanneer het weglengteverschil nul is 20 (dwz dat het meetsignaal negatief is bij een weglengteverschil met in één richting en positief is bij een weglengteverschil met in de tegenovergestelde richting). Een der gelijk meetsignaal wordt wel gemaakt door het weglengteverschil een klein beetje te moduleren en de in fase component van de resulterende modulatie in de intensiteit van het gecombineerde 25 signaal synchroon te meten. Deze in fase component gaat door nul heen op het minimum van de intensiteit, dat wil zeggen wanneer het weglengteverschil nul is.
ï I ' / f ?
In praktijk is een modulatie van het weglengteverschil echter vaak ongewenst. Daarom maakt men het meetsignaal dat door nul heengaat zonder modulatie ook wel door de intensiteit van twee combinaties van de componenten te meten, waarin de componenten respectievelijk rechtstreeks 5 gecombineerd worden en nadat één van de componenten 180 graden in fase gedraaid is. De verhouding tussen het verschil en de som van de zodoende gemeten intensiteiten gaat door nul heen wanneer het weglengteverschil is weggeregeld. Door deze verhouding uit te rekenen verkrijgt men een meetsignaal waarmee het weglengteverschil naar nul geregeld kan worden 10 zonder dat modulatie nodig is.
Het zo verkregen meetsignaal is o.a. evenredig met de amplitudeverhouding van de lichtcomponenten die gecombineerd worden. Deze amplitudeverhouding heeft geen effect op het weglengteverschil als dat weggeregeld wordt. De amplitudeverhouding speelt echter wel een rol 15 wanneer het weglengteverschil naar een vaste waarde geregeld moet worden die niet gelijk is aan nul. Ook kan de amplitudeverhouding invloed hebben op de versterking van een regellus waarmee het weglengteverschil wordt geregeld. Helaas is de amplitudeverhouding van de lichtcomponenten niet altijd constant. Daarom is het vaak nodig om de amplitudeverhouding 20 apart te meten om voor het effect ervan te compenseren, dit vraagt echter over het algemeen om gecompliceerde aanvullende metingen die de inrichting bovendien kwetsbaarder maken voor fluctuaties in de gevoeligheid.
Het is, onder meer, een doel van de uitvinding om te voorzien in 25 een inrichting voor het meten van een optisch weglengteverschil waarin het effect amplitudeverhouding van de lichtcomponenten op de meting van het weglengteverschil op eenvoudige wijze geëlimineerd wordt.
De uitvinding voorziet in een inrichting volgens conclusie 1. Door de uitvinding wordt het effect van de amplitudeverhouding op de fasemeting 3 met drie gelijksoortige intensiteitsmetingen geëlimineerd. Zodoende is de eliminatie robuust en eenvoudig te realiseren.
Bijvoorkeur wordt het licht uit het eerste en tweede pad gecombineerd tot drie combinaties met waarin de relatieve fasen onderling 5 nagenoeg honderdtwintig graden verschillen. Zodoende verkrijgt men een maximale gevoeligheid.
Als koppelaar wordt bijvoorkeur gebruik gemaakt van een golfgeleider (waveguide) koppelaar. Hiermee valt de koppelaar op eenvoudige wijze te realiseren.
10
Deze en andere doelstellingen en voordelige aspecten van de inrichting en werkwijze volgens de uitvinding zullen nader worden beschreven aan de hand van de volgende figuren.
15 Figuur 1 toont een inrichting voor het meten van een weglengteverschil
Figuur 2a,b tonen een drieweg koppelaar
Figuur 1 toont een inrichting voor het meten van een 20 weglengteverschil. De inrichting bevat een lichtbron 10, een koppelaar 14, detectoren 16a-c, een rekeneenheid 18 en een padlengte regelaar 19. Licht uit lichtbron 10 wordt via twee paden 12a,b naar een koppelaar 14 geleid. Lichtpaden 12a,b hebben elk een eigen weglengte, waarbij de weglengtes van de verschillende lichtpaden 12a,b kunnen verschillen. Padlengte 25 regelaar 19 is in staat de weglengte van één van de lichtpaden onder besturing aan te passen. Verdere details van lichtpaden 12a,b zijn niet nodig voor het begrijpen van de uitvinding en zijn daarom weggelaten. Koppelaar 14 heeft drie uitgangen die elk aan een respectievelijke detector 16a-c gekoppeld zijn. Detectoren 16a-c hebben uitgangen die aan rekeneenheid 18 gekoppeld zijn. Rekeneenheid 18 heeft een uitgang die aan padlengte regelaar 19 gekoppeld is.
Figuur 2a toont een voorbeeld van een driewegkoppelaar 14. Deze uitvoeringsvorm van driewegkoppelaar 14 bevat een drietal optische 5 golfgeleiders 20a,b, 21 (bijvoorbeeld glasfibers) en inkoppellenzen 22a,b.
Licht uit de paden 12a,b wordt door inkoppellenzen 22a,b op de ingang van twee van de optische golfgeleiders 20a,b afgebeeld. De drie optische golfgeleiders 20a,b, 21 wordt voor tenminste een deel van hun lengte op korte afstand van elkaar gebracht (dit deel wordt al een parallel lopende 10 deel getoond). Hoewel de drie golfgeleiders 20a,b, 21 in fig. 2a schematisch op rij getoond worden liggen golfgeleiders 20a,b, 21, paarsgewijs tegen elkaar aan zoals getoond in fig. 2b.
Door de korte afstand tussen de golfgeleiders 20a,b 21 treedt er paarsgewijs optische koppelingen op waardoor lichtgolven deels van de ene 15 golfgeleider naar de andere koppelen. Zodoende wordt licht dat op één golfgeleider 20a,b ingekoppeld wordt verdeeld over de golfgeleiders uitgekoppeld op uitgangen 15a-c van de golfgeleiders 20a,b, 21. Er zijn onderlinge faseverschillen tussen de fasen waarmee het licht van een bepaalde ingang op verschillende uitgangen 15a-c uitgekoppeld wordt, 20 afhankelijk of de betrokken uitgang 15a-c direct via de golfgeleider 20a-c aan de bepaalde ingang gekoppeld is, of via een koppeling tussen de golfgeleiders 20a,b.
Omdat licht op twee van de golfgeleiders 20a,b wordt ingekoppeld vormt het licht op uitgangen combinaties van de lichtgolven die op de 25 ingangen 20a,b ingekoppeld zijn, waarbij het licht in elke combinatie met verschillende toegevoegde fase verschillen gecombineerd wordt. Als bijvoorbeeld is de fasedraaiing Θ bij koppeling tussen elk paar golfgeleiders 20a,b, 21 hetzelfde (bijvoorkeur honderdtwintig graden). In dit voorbeeld zal het toegevoegde faseverschil tussen eerste licht uit eerste inkoppellens 22a 30 en tweede licht uit tweede inkoppellens 22b -Θ zijn op de uitgang 15a waar 1; ij 5 het eerste licht direct via een golfgeleider 20a en het tweede licht via een koppeling arriveert, terwijl het toegevoegde faseverschil Θ is op de uitgang 15c waar het eerste licht via een koppeling arriveert en het eerste licht direct via een golfgeleider 20b. Verder zal het toegevoegde fase verschil nul 5 zijn op de uitgang 15b van de golfgeleider 21 waarin zowel het eerste als het tweede licht via een koppeling arriveert.
Het spreekt vanzelf dat ook aan de uitgangen 15a-c lenzen enz. aangebracht kunnen worden om het uittredende licht naar detectoren 16a-c te koppelen, maar deze worden voor de overzichtelijkheid niet getoond.
10 In bedrijf wordt licht uit lichtbron 10 via twee verschillende lichtpaden 12a,b naar ingangen van driewegkoppelaar 14 geleid. Driewegkoppelaar combineert het licht uit beide lichtpaden 12a,b op drie verschillende manieren, waarbij het licht uit de verschillende lichtpaden 12a,b telkens met een andere relatieve fase gecombineerd wordt: 15 bijvoorbeeld op een eerste uitgang 15a in fase, op een tweede uitgang 15b met het licht uit het eerste lichtpad 12a bijvoorkeur honderdtwintig graden vooruitlopend op het licht uit het tweede lichtpad, en op een derde uitgang 15c met het licht uit het eerste lichtpad 12a bij voorkeur honderdtwintig graden achterlopend op het licht uit het tweede lichtpad. De intensiteit van 20 het gecombineerde licht dat uittreedt uit de verschillende uitgangen 15a-c wordt door detectoren 16a-c gedetecteerd. Detectoren 16a-c geven detectiesignalen door aan rekeneenheid 18. De detectiesignalen representeren de gedetecteerde intensiteiten van de verschillende combinaties, bijvoorbeeld in de vorm van analoge electrische signalen of in 25 de vorm van digitale representaties van de gemeten intensiteit.
Rekeneenheid 18 berekent het faseverschil tussen het licht uit de verschillende lichtpaden 12a,b uit de gemeten intensiteiten. In het voorbeeld waarin driewegkoppelaar 14 het licht uit lichtpaden 12a,b combineert met relatieve fases van nul en plus en min hondertwintig graden 30 geldt voor de intensiteiten van de verschillende combinaties:
D
10= A(l+V cos (360*D/X) 1+= A(l+V cos (120+360*D l\) 1-= A(l+V cos (-120+360*D/X)
Hierin zijn 10,1+ en I- de intensiteiten van de combinaties van licht 5 uit lichtpaden 12a,b die op uitgangen 15a-c uittreden, waarbij 10 de intensiteit van de combinatie met relatieve fase 0 voorstelt, en 1+ en I- de combinaties met 120 graden voor en achterlopende fase. D is het weglengteverschil tussen lichtpaden 12a,b, X is de golflengte van het gebruikte licht. A is een functie van de gemiddelde amplitude van het licht 10 uit beide lichtpaden 12a,b en V het contrast van de interferentie intensiteiten. In het contrast komt bijvoorbeeld het verschil tussen de amplitudes en of polarisatieverschillen van het licht uit beide lichtpaden 12a,b tot uitdrukking.
Rekeneenheid 18 berekent uit de signalen van detectoren het 15 weglengteverschil D tussen lichtpaden 12a,b, bijvoorbeeld volgens de relatie D= X arctg([V3]*P+-I-]/[2I0-I+-I-])/360 (De factor 360 gaat ervan uit dat arctg functie (inverse van de tangens 20 functie) zijn resultaat in graden geeft. In het geval dat radialen gebruikt worden wordt deze factor 2n).
Zodoende wordt het effect van de gemiddelde amplitude A en het verschil tussen de amplitudes V van het licht uit beide lichtwegen geëlimineerd. Rekeneenheid 18 bepaalt aan de hand van het zo berekende 25 weglengteverschil D een regelverschil met een gewenste weglengteverschil en levert een feedbacksignaal aan padlengte regelaar 19 evenredig met het regelverschil. Zodoende regelt de inrichting het weglengteverschil tussen beide lichtpaden 12a,b naar de gewenste waarde.
De berekening van het weglengte verschil D volgens bovenstaande 30 formule is niet éénduidig: dezelfde meting van 10,1+, I- kan ook ? ί n 7 overeenkomen met een weglengteverschil dat een heel aantal golflengtes λ/2 verschilt van de gegeven oplossing. In het voorgaande is ervan uitgegaan dat het weglengteverschil oorspronkelijk ligt tussen +/- een kwart van de golflengte λ van het gebruikte licht. Als hiervan niet kan worden uitgegaan 5 dan wordt op de bovenbeschreven wijze tevens een berekening gedaan aan metingen met licht van een tweede golflengte λ' die verschilt van λ. Door beide berekeningen te combineren is het mogelijk om te bepalen welk veelvoud van λ bij de berekende D moet worden opgeteld om voor beide golflengten tot nagenoeg dezelfde D te komen. Zodoende kan de waarde van 10 D binnen een groter bereik eenduidig bepaald worden dan bij meting op een enkele golflengte.
Hoewel de uitvinding beschreven is aan de hand van combinaties van het licht uit lichtpaden 12a,b waarbij de relatieve fase van het gecombineerde licht telkens honderdtwintig graden uit elkaar ligt kan 15 uiteraard ook gebruik gemaakt worden van andere combinaties van relatieve fases <pi, <p2, cp3. De door detectoren 16a-c gemeten intensiteiten II, 12,13 voldoen dat aan 10= A(l+V cos (<pi+360*D/X) 11= A(l+V cos (tp2+360*DIX) 20 I2=A(1+Vcos(cp3+360*D/X)
Voor gegeven φι, q>2, <P3 kan hieruit kan met elementaire algebraïsche technieken weer een formule voor het weglengteverschil D afgeleid worden als functie van 10, II, 12, waaruit het effect van A en V geëlimineerd is. Hiermee kan rekeneenheid wederom het weglengteverschil D uit de 25 gemeten intensiteiten 10, II, 12 berekenen. Zonder af te wijken van de uitvinding kan de berekening in plaats van met een expliciete uitdrukking voor D ook uitgevoerd worden door D numeriek uit bovenstaande vergelijkingen op te lossen, bijvoorbeeld door middel van het op zich bekende Newton-Raphson algorithme.
noewei ae unvinumg is uesunreven aau ue nanu van een inneming met een regelsysteem voor het instellen van het weglengteverschil D zal het duidelijk zijn dat de bepaling van het weglengteverschil D volgens de uitvinding ook in andere omstandigheden gebruikt kan worden, bijvoorbeeld 5 wanneer alleen een meting van het weglengteverschil D nodig is, bijvoorbeeld voor een latere correctie berekening van andere metingen die bij het weglengteverschil gedaan zijn.
Rekeneenheid 18 wordt bijvoorkeur uitgevoerd als een digitale computer voorzien van een programma om de gemeten intensiteiten uit te 10 lezen en D op de in het voorgaande omschreven wijze uit de metingen van de intensiteiten te berekenen. Zonder af te wijken van de uitvinding kan echter ook gebruik gemaakt worden van speciale hardware die de beschreven berekening uitvoert, hetzij met digitale of met analoge signalen.
. (
Claims (6)
1. Inrichting voor het meten van een optisch weglengteverschil, welke inrichting is voorzien van - optische elementen om licht uit een lichtbron door een eerste en een tweede pad te leiden; 5. een tenminste driewegs koppelaar om licht uit het eerste en het tweede pad in tenminste drie combinaties met tenminste drie onderling verschillende toegevoegde relatieve fasedraaiingen met elkaar te combineren, - een detector ingericht om interferentie intensiteiten te meten van de 10 tenminste drie combinaties; - een rekeneenheid ingericht om uit de intensiteiten een faseverschil tussen het licht uit het eerste en tweede pad te bepalen onder eliminatie van een effect van een contrast waarin tussen het licht uit het eerste en tweede pad.
2. Inrichting volgens conclusie 1, waarin de tenminste 15 driewegskoppelaar het licht uit het eerste en twee de pad met drie verschillende toegevoegde relatieve fasedraaiingen met elkaar combineert, die paarsgewijs nagenoeg honderdtwintig graden verschillen.
3. Inrichting volgens conclusie 1 of 2, waarin de tenminste driewegskoppelaar tenminste drie onderling gekoppelde golfgeleiders 20 omvat.
4. Inrichting volgens één der voorafgaande conclusies, voorzien van een padlengte regelaar, waarbij de rekeneenheid aan een stuuringang van de padlengte regelaar gekoppeld is om het berekende faseverschil in feedback te regelen naar een gewenst faseverschil.
5. Werkwijze voor het meten van een optisch weglengteverschil, welke werkwijze de stappen omvat van - licht uit een lichtbron door een eerste en een tweede pad te leiden; ! £ I O >> : - het combineren van licht uit het eerste en het tweede pad in tenminste drie combinaties met tenminste drie onderling verschillende toegevoegde relatieve fasedraaiing; - het meten van interferentie intensiteiten van de tenminste drie 5 combinaties; - het berekenen van een faseverschil tussen het licht uit het eerste en tweede pad te bepalen onder eliminatie van een effect van een contrast tussen het licht uit het eerste en tweede pad.
6. Computer programma product met instructies om een computer de 10 volgende stappen te doen uitvoeren; - het bemonsteren van interferentie intensiteiten van tenminste drie combinaties van licht uit een eerste en tweede lichtpad, waarbij het licht in de drie combinaties met tenminste drie onderling verschillende toegevoegde relatieve fasedraaiing gecombineerd is; 15. het berekenen van een faseverschil tussen het licht uit het eerste en tweede pad te bepalen onder eliminatie van een effect van een contrast tussen het licht uit het eerste en tweede pad.
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1021600A NL1021600C2 (nl) | 2002-10-08 | 2002-10-08 | Meten van een optisch weglengteverschil. |
| DE60313479T DE60313479T2 (de) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Vorrichtung zur messung einer optischen weglängenveränderung |
| AU2003272146A AU2003272146A1 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Device for measuring an optical path length difference |
| EP03754308A EP1549904B1 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Device for measuring an optical path length difference |
| PCT/NL2003/000683 WO2004033987A1 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Device for measuring an optical path length difference |
| AT03754308T ATE360798T1 (de) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Vorrichtung zur messung einer optischen weglängenveränderung |
| US10/530,916 US7369248B2 (en) | 2002-10-08 | 2003-10-08 | Device for measuring an optical path length difference |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| NL1021600A NL1021600C2 (nl) | 2002-10-08 | 2002-10-08 | Meten van een optisch weglengteverschil. |
| NL1021600 | 2002-10-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| NL1021600C2 true NL1021600C2 (nl) | 2004-04-13 |
Family
ID=32089840
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| NL1021600A NL1021600C2 (nl) | 2002-10-08 | 2002-10-08 | Meten van een optisch weglengteverschil. |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7369248B2 (nl) |
| EP (1) | EP1549904B1 (nl) |
| AT (1) | ATE360798T1 (nl) |
| AU (1) | AU2003272146A1 (nl) |
| DE (1) | DE60313479T2 (nl) |
| NL (1) | NL1021600C2 (nl) |
| WO (1) | WO2004033987A1 (nl) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7206069B2 (en) * | 2004-03-29 | 2007-04-17 | Lucent Technologies Inc. | Optical analyzers of polarization properties |
| EP2236978B8 (en) | 2009-04-01 | 2013-12-04 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Optical measuring device and method to determine the shape of an object and a machine to shape the object. |
| GB2474882B (en) * | 2009-10-29 | 2014-04-09 | Tgs Geophysical Company Uk Ltd | Signal processing |
| WO2011126372A1 (en) | 2010-04-09 | 2011-10-13 | Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno | Scanning wavelength system and method calibrating such a system |
| EP2469255A1 (en) | 2010-12-22 | 2012-06-27 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Optical measuring device |
| EP2792996A1 (en) | 2013-04-17 | 2014-10-22 | Nederlandse Organisatie voor toegepast -natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Interferometric distance sensing device and method |
| EP3614098A1 (en) | 2018-08-24 | 2020-02-26 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | Device and method for interferometric measurement of a two or three dimensional translation of an object |
| EP4067838A1 (en) * | 2021-03-31 | 2022-10-05 | Nederlandse Organisatie voor toegepast- natuurwetenschappelijk onderzoek TNO | A method and system for determining a phase shift between components of variably amplified light |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4818109A (en) * | 1985-06-28 | 1989-04-04 | Litton Systems, Inc. | Fiber optical combiner particularly for a ring laser gyro |
| US4923268A (en) * | 1987-09-14 | 1990-05-08 | Aster Corporation | Fiber optic coupler |
| WO1997021981A1 (en) * | 1995-12-08 | 1997-06-19 | Litton Systems, Inc. | Optimum configuration of a 3 x 3 coupler for a fiber optic gyroscope |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4728191A (en) * | 1986-10-22 | 1988-03-01 | Optical Technologies, Incorporated | Divided interferometer employing a single 3×3 coupler/splitter |
| US5777737A (en) * | 1994-07-22 | 1998-07-07 | Litton Systems, Inc. | Apparatus and method for processing signals output from fiber optic rate gyroscope having 3×3 coupler |
| US6886404B2 (en) * | 2003-02-05 | 2005-05-03 | Fibersonde Corporation | Fiber optic accelerometer |
-
2002
- 2002-10-08 NL NL1021600A patent/NL1021600C2/nl not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-10-08 EP EP03754308A patent/EP1549904B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-08 AU AU2003272146A patent/AU2003272146A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-08 US US10/530,916 patent/US7369248B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-08 AT AT03754308T patent/ATE360798T1/de not_active IP Right Cessation
- 2003-10-08 DE DE60313479T patent/DE60313479T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-08 WO PCT/NL2003/000683 patent/WO2004033987A1/en not_active Ceased
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4818109A (en) * | 1985-06-28 | 1989-04-04 | Litton Systems, Inc. | Fiber optical combiner particularly for a ring laser gyro |
| US4923268A (en) * | 1987-09-14 | 1990-05-08 | Aster Corporation | Fiber optic coupler |
| WO1997021981A1 (en) * | 1995-12-08 | 1997-06-19 | Litton Systems, Inc. | Optimum configuration of a 3 x 3 coupler for a fiber optic gyroscope |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| FUEST R: "INTEGRIERT OPTISCHES MICHELSON-INTERFEROMETER MIT QUADRATUR-DEMODULATION IN GLAS ZUR MESSUNG VON VERSCHIEBEWEGEN", TECHNISCHES MESSEN TM, R.OLDENBOURG VERLAG. MUNCHEN, DE, vol. 58, no. 4, 1 April 1991 (1991-04-01), pages 152 - 157, XP000227767, ISSN: 0171-8096 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE60313479T2 (de) | 2008-01-03 |
| EP1549904A1 (en) | 2005-07-06 |
| US7369248B2 (en) | 2008-05-06 |
| WO2004033987A1 (en) | 2004-04-22 |
| ATE360798T1 (de) | 2007-05-15 |
| EP1549904B1 (en) | 2007-04-25 |
| DE60313479D1 (de) | 2007-06-06 |
| US20050275846A1 (en) | 2005-12-15 |
| AU2003272146A1 (en) | 2004-05-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| NL1021600C2 (nl) | Meten van een optisch weglengteverschil. | |
| US20230062578A1 (en) | Coupling Devices and Methods, Wavelength Locking Systems and Methods, and Phase Unwrapping Systems and Methods | |
| US8040523B2 (en) | Measurement method of chromatic dispersion of optical beam waveguide using interference fringe measurement system | |
| US5293215A (en) | Device for interferometric detection of surface structures | |
| US4941744A (en) | Integrated-photocircuit interferometer | |
| CN101430190A (zh) | 干涉仪 | |
| BRPI0907573B1 (pt) | Método e dispositivo de medição de característica de fibra óptica | |
| CN110620651A (zh) | 基于萨格奈克干涉仪的时间相位编码装置及量子密钥分发系统 | |
| CN205912067U (zh) | 基于法拉第‑迈克尔逊干涉连续变量量子密钥分发系统 | |
| US12119881B2 (en) | Optical multiple-input-multiple-output (MIMO) receiver using stokes vector measurements | |
| US9791259B2 (en) | Interferometric distance sensing device and method with less dependency on environment disturbances on a fiber | |
| Song et al. | Optical ranging through underwater scattering using z-dependent angular rotation of a spatially structured beam | |
| US5333053A (en) | Apparatus for measuring straightness | |
| US8160458B2 (en) | Optical phase-modulation evaluating device | |
| CN112986186B (zh) | 一种利用漂移光束轨道角动量分数谱探测障碍物角向结构的装置 | |
| KR100594072B1 (ko) | 차등 위상 변조 및 주파수 변조된 광신호 수신기 | |
| JP4214367B2 (ja) | 波長モニタ及びモータ駆動制御装置 | |
| JPH08504034A (ja) | 干渉測定法およびこの方法を実行するのに適したレーザー干渉装置 | |
| US20030043862A1 (en) | Dispersion compensation using optical wavelength locking for optical fiber links that transmit optical signals generated by short wavelength transmitters | |
| CN102158286A (zh) | 反射式差分相移键控相干接收机 | |
| GB2581448A (en) | Laser detection system | |
| EP1866690B1 (en) | Apparatus and method for optically combining at least three light beams | |
| US7957646B2 (en) | Optical time division multiplexing transmitter | |
| RU2175753C1 (ru) | Способ определения отклонений от прямолинейности | |
| SU544863A1 (ru) | Способ контрол углового положени светоотражающей поверхности |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PD2B | A search report has been drawn up | ||
| VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20070501 |