MXPA00006385A - Recuperacion de pfc usando condensacion - Google Patents

Abstract

Esta invención estádirigida a un método, y a un sistema para el mismo, para recuperar PFC usando condensación al pasar una corriente de alimentación conteniendo PFC en un condensador, preferiblemente un condensador de reflujo, para efectuar la licuefacción en un condensado conteniendo PFC y una corriente gaseosa Portadora, y pasar el producto conteniendo PFC en una unidad de transferencia de masa para fraccionar el condensado conteniendo PFC en una corriente de PFC de alta volatilidad y un producto de PFC.

Description

RECUPERACIÓN DE PFC USANDO CONDENSACIÓN Campo de la invención Esta invención se refiere de manera general a la recuperación de perfluorocompuestos (PFCs). Específicamente, esta invención se refiere a un método y un sistema para la recuperación de PFCs usando condensación, de preferencia, condensación de reflujo.

Antecedentes de la invención Los PFCs se usan en muchos procesos de fabricación . En particular, son ampliamente usados en la fabricación de componentes de semiconductores. La naturaleza de muchos de estos procesos de fabricación resulta en la emisión atmosférica de PFCs. Siendo de alto valor y dañinos al ambiente, es ventajoso recuperar estos PFCs emitidos, de manera que puedan ser reusados. Ejemplos de PFCs son trifluoruro de nitrógeno (NF3), tetrafluorometano (CF4) , trifluorometano (CH F3), hexafluoroetano (C2F6) y hexafluoruro de azufre (SF6) . En general, los PFCs son compuestos completamente fluorinados de nitrógeno, carbono y azufre. CHF3 es un ejemplo que no está completamente fluorinado, pero debido a su naturaleza química similar y aplicación con otros PFCs saturados de flúor, se considera un PFC. La fabricación de com ponentes de semiconductores produce escapes que normalmente comprenden PFCs , gases no de PFC, materia particulada y un gas portador El flujo de una herram ienta de proceso puede ser tan La condensación de los PFCs se logra al enfriar la corriente de gas a temperaturas por debajo de los puntos de rocío de los PFCs constituyentes. Con el fin de lograr una alta eficiencia de recuperación de PFCs, es necesario enfriar la corriente de gas por debajo de los puntos de fusión de algunos de los PFCs de menor volatilidad. La congelación de PFCs en el condensador es indeseable debido a que esto reduciría la eficiencia del condensador y evitaría la operación continua. La presente invención contiene varias facetas, las cuales previenen la congelación de PFC . Uno, un condensador de reflujo es usado, de preferencia, para efectuar la condensación de PFCs. El condensado en un condensador de reflujo fluye a contra corriente al flujo de gas de donde viene, y por lo tanto, no necesita ser enfriado adicionalmente. Sin embargo, en general, un condensador convencional es aplicable en esta invención . Dos, este régimen de flujo significa que el condensado de PFC de alta volatilidad fluye sobre las reg iones donde se condensan los PFCs de baja volatilidad. Los PFCs de baja volatilidad con una tendencia a congelarse son solubles en estos PFCs de alta volatilidad y puede evitarse la congelación. Tres, en la modalidad preferida, la concentración de PFCs de alta volatilidad en la corriente de gas se eleva al reciclarlos en el sistema .

Esto se logra al separar los PFCs de alta volatilidad del producto de PFC recuperado, seg uido por la re-adición corriente arriba. La elevación de la concentración de PFCs de alta volatilidad en la corriente de gas dism inuye la concentración de PFCs de baja volatilidad en el condensado de PFC y previene que se congelen los PFCS. Se han sugerido varias soluciones para recuperar los PFCs de una fc corriente de gas portador, mitigando algunas el problema de congelación de PFC cuando se usan medios criogénicos para la recuperación. Sin embargo, nada en la técnica muestra o sugiere la presente invención. Un método anterior para la recuperación de PFCs del gas portador es la condensación/disolución como se muestra en la patente estadunidense no. 5,262,023. Se adiciona un solvente a la corriente de 10 gas, la cual es enfriada entonces para condensar los PFCs y cualquier solvente evaporado. Los PFCS de baja volatilidad con una tendencia a congelarse son solubles en el solvente aditivo. El solvente aditivo y PFCs son separados entonces por destilación y el solvente aditivo es reusado. El solvente debe ser removido completamente del producto de PFC para 15 prevenir la pérdida. La patente estadounidense no. 5, 540,057 proporciona la remoción de • los com puestos orgánicos volátiles (VOCs) de un gas portador por condensación de los VOCs en un condensador de reflujo. El gas portador cargado con VOCs pasa el lado de coraza de un intercambiador de calor de tubos y coraza, y entonces es enfriado a lo largo de un gradiente de temperatura continuo. Los VOCs se condensan a diferentes grados en diferentes niveles y se recolectan en deflectores especiales en el lado de la coraza , los cuales pueden dirigir una porción fuera del condensador y permitir que una porción gotee nuevamente hacia abajo del condensador como reflujo. El gas portador limpiador, frío, es mezclado entonces con refrigerante a la salida del lado de la coraza y pasa hacia abajo del lado de tubo para efectuar el enfriamiento del lado de coraza. La congelación de los VOCs, especialmente benceno, puede ser inhibida mediante la 'j adición de un solvente, específicamente tolueno, a la corriente de gas. 5 Las patentes estadounidenses nos. 5, 533,338 y 5,799, 509 son ejemplos de congelación por condensación para condensar PFCs contra un fluido criogénico. La congelación de PFCs de baja volatilidad ocurre debido a las bajas temperaturas requeridas para una condensación de alta eficiencia de los PFCs de alta volatilidad. Este método es desventajoso debido a que es necesario descongelar periódicamente los PFCs congelados por remoción. Esto resulta en bajas eficiencias de refrigeración y requiere equipo por duplicado con el fin de mantener una operación continua. La permeación de membrana recupera los PFC del gas portador a través de las diferencias en la permeabilidad de membrana. La corriente de gas se pone en contacto con el lado de alimentación de una membrana específica , lo cual perm ite q ue el gas portador se infiltre preferencialmente mientras que los PFCs son retenidos. Las altas eficiencias de separación requieren el uso de múltiples membranas. Los PFCs tienen diferentes características de permeación y varían en eficiencias de recuperación. La adsorción recupera PFCs del gas portador. La corriente gaseosa se pone en contacto con un adsorbente, el cual remueve los PFCs. Los PFCs son desadsorbidos y son removidos del lech o adsorbente con un gas de barrido . El gas de barrido resulta en un producto de PFC de baja concentración . Adiciona lmente, los procesos de adsorción no tienen la flexibilidad para ajustarse a grandes cambios en concentración de PFC y las velocidad de flujo del gas portador, las cuales son características de corrientes de efluentes gaseosos. Todavía otro método de reciclado de PFC es el proceso de incineración intensivo de energ ía. La corriente de gas es calentada a una alta temperatura, la cual previene la emisión de los PFCs. Los gases de descomposición , tales como, fluoruro de hidrógeno y óxidos de nitrógeno son removidos entonces del gas de humero. Es deseable que los sistemas de recuperación de PFC traten el escape de pequeños grupos de herram ientas de fabricación de semiconductores en lugar de instalaciones de fabricación completas. Si un sistema falla, solo una fracción de las herramientas de fabricación son afectadas. Por lo tanto, la presente invención es pretendida principalmente para tratar el escape de un pequeño número de herramientas. Sin embargo, puede ser escalado para tratar el escape de una instalación de fabricación de semiconductor completa. También es un objetivo de esta invención, mitigar el problema asociado con la congelación de PFC, mientras que se recuperan de una corriente de gas portador mediante condensación criogénica.

Breve descripción de la invención Esta invención se dirige a un sistema para recuperar PFCs usando condensación, de preferencia , condensación por reflujo. Un condensador proporciona intercambio de calor ind irecto de una corriente gaseosa conteniendo PFC para efectuar la l icuefacción en un condensado conteniendo PFC y una corriente de gas portador. Se usa una unidad de transferencia de masa para fraccionar el condensado conteniendo PFC en una' corr?ente de PFC de alta volatilidad y un producto de PFC. Esta invención también se dirige a un método para recuperar PFC usando condensación, de preferencia , condensación de reflujo. Una corriente de alimentación conteniendo PFC se pasa hacia un condensador para efectuar la licuefacción en un condensado conteniendo PFC y una corriente de gas portador. Además, el producto conteniendo PFC se pasa hacia una unidad de transferencia de masa para fraccionar el condensado conteniendo PFC en una corriente de PFC de alta volatilidad y un producto de PFC.

Descripción detallada de los dibujos Otros objetivos, características y ventajas se les ocurrirán a aquéllos expertos en la técnica a partir de la siguiente descripción de las modalidades preferidas y los dibujos acompañantes , en los cuales: La Fig . 1 es un diag rama esquemático de recuperación de PFCs en esta invención. La Fig . 2 es una gráfica que muestra la condensación de condensado en varias etapas en u n condensador de reflujo de esta invención.

Descripción detallada de la invención Como se usa en la presente, el término "PFCs de alta volatilidad" significa uno o más PFCs teniendo un punto de ebu llición atmosférico por debajo de 150 K. Ejemplos incluyen tetrafluorometano (CF4) y trifluoruro de nitrógeno (NF3). Como se usa en la presente, el término "PFCs de baja volatilidad" significa uno o más PFCs teniendo un punto de ebullición atmosférico por encima de 1 50 K. Ejemplos incluyen trifluorometano (C H F3), hexafluoroetano (C2F6) y hexafluoruro de azufre (SF6) . Como se usa en la presente, el términ o "intercambio de calor indirecto" significa que el transporte de dos corrientes de fluido en relación de intercambio de calor sin contacto físico o intermezclado de los fluidos de uno y otro. Como se usa en la presente, el término "condensador" describe un recipiente que proporciona transferencia de calor indirecta de un flujo gaseoso, con el fin de efectuar la licuefacción de una porción de ese flujo.

Como se usa en la presente, el término "condensado" describe un gas licuado. Como se usa en la presente, el término "condensador de reflujo" describe un condensador, en donde al menos una porción del condensado es forzado a contactar una superficie de transferencia de calor más caliente que aquélla que efectúa su condensación . Este re-calentamiento provoca que se re-evapore al menos una porción . Esto es efectuado fácilmente al enfriar una corriente de gas ascendente. Entonces el condensado desciende y se calienta . Se prefiere el condesador de reflujo y el uso general de un condensador es contemplado en esta invención . Com o se usa en la presente, el término "condensación de reflujo" describe una condensación realizada en un condensador de reflujo.

Como se usa en la presente, el término "columna de rectificación" describe una zona de destilación o fraccionamiento, en donde las fases de líquido y vapor se ponen en contacto a contra corriente para efectuar la separación de una mezcla de fluidos. Se prefiere una columna de rectificación, pero el uso general de una unidad de transferencia de masa, la cual puede realizar una función similar como la columna de rectificación se contempla en esta invención. Volviendo ahora a la Fig . 1 , la cual es un diagrama de flujo esquemático, de una modalidad preferida del sistema en esta invención. La corriente de alimentación gaseosa caliente 1 0 consiste de un gas portador, PFCs de alta volatilidad y PFCs de baja volatilidad, presurizado a aproximadamente 6.67 kg/cm2. Las impurezas particuladas y gases de no PFC, tales como, fluoruro de hidrógeno y flúor habrán sido removidos en una etapa de pre-purificación. La corriente 10 entra a presión elevada después de ser comprimida durante la etapa de pre-purificación . La adsorción de oscilación de presión , por ejemplo, requiere la presurización de la corriente de gas . Son aplicables otros procesos de adsorción , incluyendo la adsorción de oscilación térmica en el mayor nivel de presión. También se encuentra que la presurización ayuda a la separación de los PFCs del gas portador y reduce el tamaño del equipo de proceso. Los puntos de congelación de los PFCs individuales también serán disminuidos a presión elevada . La corriente 1 0 es enfriada mediante intercambio de calor indirecto con una corriente de refrigerante 34 en el ¡ntercam biador de calor 1 2. La corriente 1 0 es enfriada a u na temperatu ra por encima de la cual los PFCs se comienzan a condensar, ya sea en forma líquida o sólida. Es importante que los PFCs no se congelen en el intercambiador de calor 12 debido a que no hay un medio para remover los PFCs congelados. La corriente de alimentación gaseosa enfriada 14 sale entonces del ¡ntercam biador de calor 12 y entra en el condensador 1 8, preferiblemente un condensador de reflujo, donde se combina con una corriente de PFC de alta volatilidad 40. En la modalidad preferida, la corriente 40 es un líquido. También tendrá una temperatura significativamente menor que la corriente 14. Esto provoca que la corriente 40 se evapore instantáneamente, de manera que la corriente mezclada resultante 16 logra una temperatura menor que aquélla de la corriente 14. La temperatura de la corriente 16 debería ser aproximadamente aquélla a la cual los PFCs comienzan a condensarse. La adición de la corriente 40 a la corriente 14 resulta en una corriente mezclada 16 que tiene mayor concentración de PFC de alta volatilidad que la corriente 14. La corriente 16 es enfriada a contracorriente en el condensador 1 8 media nte intercambio de calor indirecto con la corriente de refrigerante frío 32. El enfriamiento provoca que los PFCs se condensen y fluyan hacia fuera a contra corriente a la corriente 16, formando una corriente de condensado de PFC 22. Los PFCs de baja volatilidad, tales como, hexafluoroetano y hexafluoruro de azufre se condensan hacia el extremo más caliente del condensador 1 8, y tienen una tendencia a condensarse como sólidos debido a que son enfriados por debajo de sus puntos de fusión . Los PFCs de alta volati lidad , tales como, tetrafluoru ro de carbono y trifluoruro de nitrógeno se condensan hacia el extremo más frío del condensador y no se condensarán como sólidos, ya que no se alcanzan sus puntos de fusión. Una característica de la operación del condensador 18 es que los PFCs de alta volatilidad se lavan sobre el extremo más caliente del condensador y actúan como solventes hacia los PFCs de baja volatilidad. En consecuencia, se inhibe la congelación de los PFCs de baja volatilidad. Una característica adicional de esta modalidad es que la corriente 40 es adicionada a la corriente 14 para incrementar la cantidad de PFCs de alta volatilidad con respecto a los PFCs de baja volatilidad. La adición de la corriente 40 también estabiliza la composición y concentración de PFC en el condensador 1 8. Esto permite que el condensador 18 opere bajo condiciones de temperatura, las cuales se aproximan más estrechamente a estado estable y ayudan al control del proceso. La corriente de gas portador frío 20 deja el condensador 18 habiendo sido tratada para remover los PFCs. La corriente de criógeno líquido 24 es adicionada a la corriente 20 vía la válvula de control 26 para producir la corriente 28. El gas portador será, más usualmente, gas nitrógeno y el criógeno líquido será, más usualmente, nitrógeno l íq uido. La velocidad de adición de la corriente 24 es determinada por los requerimientos de refrigeración en el intercambiador de calor 1 2 y el condensador 1 8. La corriente 20 estará cerca, más usualmente, del punto de rocío del gas portador, con el fin de condensar suficiente de los PFCs de alta volatilidad y como tal, la adición de la corriente 24 no provocará , usualmente, que la corrfente 24 se evapore com pletamente. Por lo tanto, la corriente 28 usualmente será de dos fases La corriente 28 pasa a través de una válvula de mariposa 30 para formar una corriente de refrigerante 32. La expansión provoca una caída en la temperatura, el grado requerido de la cual es determinado por la diferencia de temperaturas del extremo frío del condensador 1 8 y es controlado por la caída de presión a través de la válvula de mariposa 30. La corriente 32 pasa a través del condensador 18, se calienta contra la corriente mezclada 14 y sale en el fondo del condensador 18, como corriente 34. La corriente 34 pasa entonces al intercambiador de calor 12 para efectuar el enfriamiento de la corriente 1 0. La corriente de refrigerante caliente 36 sale del intercambiador de calor 1 2. Puede usarse una porción de la corriente 36 para regenerar los lechos de adsorción en la etapa de pre-purificación. También es ventajoso usar una porción como la adición al escape de herramienta de semiconductor para mantener constante la velocidad de flujo volumétrico en el sistema de recuperación de PFCs. La corriente 22 pasa a la unidad de transferencia de masa 38, de preferencia, una columna de rectificación , donde los PFCs de alta volatilidad y baja volatilidad se separan , de preferencia , mediante rectificación criogénica. En la parte superior de la unidad de transferencia de masa 38, se forma la corriente 40 y se recicla al adicionar a la corriente 14 en la entrada del condensador. La corriente 40 también contendrá gas portador que fue condensado en el condensador 1 8 durante la remoción de PFC. Por lo tanto, la unidad de transferencia de masa 38 también eleva la eficiencia de la concentración de PFC del sistema. En el fondo de la unidad de transferencia de masa 38, se forma el producto de PFC l íquido 42. Bajo condiciones de estado esta ble, con 1 00% de recuperación de PFC, la masa y proporción relativa de PFCs que entran el sistema en la corriente 10 igualarán la masa y proporción relativa de los PFCs que salen del sistema en la corriente 42. En otra modalidad , la adición de la corriente 40 puede tener lugar en puntos diferentes en la entrada del condensador, tal como, en la corriente en cualquier punto del condensador 1 8, en la corriente 16, de manera que fluye nuevamente como un líquido en el condensador 1 8, en la corriente 14, antes del condensador 1 8, directamente en el intercambiador de calor 12 y en cualquier lado antes del intercambiador de calor 12, incluyendo la etapa de pre-purificación . La corriente 40 también puede ser de dos fases o completamente gaseosa. Otra modalidad no requiere el uso de la corriente 40. En consecuencia, la corriente 22 es recolectada como producto. La unidad de transferencia de masa 38 no es necesaria. Esta modalidad es particularmente aplicable donde la corriente 1 0 comprende suficientes PFCs de alta volatilidad para asegurar que los PFCs de baja volatilidad no se congelen en el condensador 1 8. Otros tipos de condensadores pueden ser usados para realizar la condensación de los PFCs, donde se usa la corriente 40 para prevenir la congelación en el condensador. Pueden usarse ciertos tipos de PFCs como solventes. Por ejemplo, PFCs de baja volatilidad q ue no tienen una presión de vapor alta en su punto de congelación . Estos incluyen tpfl uorometano (CH F3) y octafluoropropano (C3F8) .

La unidad de transferencia de masa 38 es usada para separar el PFC de alta volatilidad del product de PFC. Pueden usarse varios dispositivos diferentes a la columna de rectificación, tal como, un deflegmador. También pueden usarse diferentes medios de adicionar refrigeración al intercambiador de calor 12 y/o condensador 18. Esto incluye: uno, transferencia de calor indirecta con un criógeno tal como nitrógeno líquido. Dos, refrigeración mecánica producida por un ciclo de compresión de vapor utilizando un fluido de trabajo, el cual es una mezcla de gases atmosféricos, hidrofluorocarbonos y/o PFCs. Tres, refrigeración mecánica producida por la turbo expansión de aire seco, nitrógeno, argón o mezclas de los mismos. Cuatro, refrigeración obtenida de un refrigerador de tubo de pulsación, preferiblemente proporcionando el trabajo de entrada al tubo de pulsación mediante un compresor de motor lineal. Además pueder se conveniente expandir la corriente de gas portador frío 20 a través de una válvula de mariposa 28, antes de adicionar la refrigeración. Donde el intercambiador de calor 12 y el condensador 18 son una unidad, es apropiado realizar una condensación en la manera convencional sin acción de reflujo. Pueden usarse múltiples condensadores, o un condensador con salidas de líquidos múltiples para producir productos condensados de PFCs múltiples. También se contempla operar el sistema a presiones por arriba y por debajo dé 6.67 kg/cm2. Para aplicaciones de adsorción de oscilación de presión, es deseable un rango de presión desde aproximadamente 5.62 kg/cm2 hasta aproximadamente 14.06 kg/cm2, preferiblemente desde 6.32 kg/cm2 hasta aproximadamente 8.78 kg/cm2, y muy preferiblemente a aproximadamente 6.67 kg/cm2. Para una aplicación de adsorción de oscilación térmica, se usa un rango de presión substancialmente mayor.

Ejemplo La corriente 10 comprende gas portador de nitrógeno con 1 ,000 ppm de CH4, 2,000 ppm C2F6, y 500 ppm de SF6, habiendo sido tratada para remover gases de no PFC, tales como, HF, F2, H2O y CO2. La corriente 1 0 tiene una presión de 6.60 kg/cm2 y una temperatura de 288 K. La corriente 1 0 es enfriada a 165 K en el intercambiador de calor 12 para formar la corriente 14, y entonces pasa hacia el condensador 18. La corriente 40, comprendiendo CF4 y una porción de gas portador de nitrógeno, es evaporada instantáneamente en la corriente 14 a la entrada al condensador, elevando la concentración de CF4 en la corriente resultante 16 a 18,200 ppm y disminuyendo la temperatura a 1 57K. La corriente 1 6 es enfriada en el condensador 1 8 de manera que los PFCs se condensan para formar la corriente 22 y el gas portador sale como la corriente 20. Para asegurar la alta eficiencia de remoción de los PFCs, tam bién se condensa una porción del gas portador de nitrógeno en el condensador de reflujo. A 6.53 kg/cm2, esto ocurre a 97.3 K. La corriente 20 comprende nitrógeno con 5 ppm de CF . La Fig. 2 muestra la composición del condensado l íqu ido en varias etapas en el condensador de reflujo. La etapa 1 corresponde a la parte superior del condensador y la etapa 5, al fondo, y esto es representado por el eje X. El eje Y representa la fracción mol para cada uno de los compuestos. En este ejemplo, la corriente 22 es bombeada hacia la columna de rectificación 38, donde se separa para formar la corriente 40 y la corriente 42. A 6.67 kg/cm2, la corriente 16 tiene una temperatura de 125K y comprende 87.9% mol de CF4 y 1 3. 1 % mol de nitrógeno. A 6.74 kg/cm2, la corriente 42 tiene una temperatura de 209K y comprende 28.6% mol de CF4, 57.1 % mol de C2F6 y 14.3% mol de SF6. Las eficiencias de recuperación de CF4, C2F6, y SF6 son 99.5%, 100% y 100% , respectivamente. El producto de PFC contiene 1 ppm de gas portador de nitrógeno. Un sistema de 56.64 m3/h consume aproximadamente 22.68 kg/h de refrigerante de nitrógeno líquido. Las características específicas de la invención se muestran en uno o más de los dibujos solamente por conveniencia, ya que cada característica puede ser combinada con otras características de acuerdo con la invención . Las modalidades alternativas serán reconocidas por aquéllos expertos en la técnica y pretenden estar incluidas dentro del alcance de las reivindicaciones.

Claims (9)

REIVI NDICACIONES

1 . Un sistema para recuperar PFCs usando condensación, que comprende a) un condensador para proporcionar transferencia de calor indirecta desde una corriente gaseosa conteniendo PFC para efectuar la licuefacción hacia un condensado conteniendo PFC y una corriente de gas portador; y b) una unidad de transferencia de masa para fraccionar dicho condensado conteniendo PFC en una corriente de PFCs de alta volatilidad y un producto de PFCs.

2. El sistema de la reivindicación 1 comprende además una unidad de intercambio de calor para enfriar dicha corriente de alimentación conteniendo PFC antes de pasar dicha corriente de alimentación hacia dicho condensador.

3. El sistema de la reivindicación 1 , en donde la refrigeración es adicionada a dicha corriente de gas portador para reciclar hacia dicho condensador.

4. El sistema de la reivindicación 1 , en donde dicha corriente de PFC de alta volatilidad es reciclada nuevamente a dicho condensador para combinarse con dicha corriente de gas portador y para combinarse con dicha corriente de alimentación conteniendo PFC.

5. El sistema de la reivindicación 1 , en donde d icho condensador es un condensador de reflujo.

6. Un método para recuperar PFCs usando condensación , que comprende a) pasar una corriente de alimentación conteniendo PFC a un condensador para efectuar la licuefacción hacia un condensado conteniendo PFCs y una corriente de gas portador; y b) pasar dicho condensado conteniendo PFCs hacia una unidad de transferencia de masa para fraccionar dicho condensado conteniendo PFCs en una corriente de PFCs de alta volatilidad y un producto de PFCs.

7. El método de la reivindicación 6 comprende además enfriar dicha corriente de alimentación conteniendo PFCs en una unidad de intercambio de calor antes de pasar dicha corriente de alimentación hacia dicho condensador.

8. El método de la reivindicación 6, el cual comprende adicionar refrigeración a dicha corriente de gas portador para reciclarse hacia dicho condensador.

9. El método de la reivindicación 6, el cual comprende reciclar dicha corriente de PFCs de alta volatilidad nuevamente a dicho condensador para combinarse con dicha corriente de gas portador y para combinarse con dicha corriente de alimentación conten iendo PFCs. 1 0. El método de la reivindicación 6, el cual comprende recuperar PFCs usando un condensador de reflujo.