[go: up one dir, main page]

MX2008000525A - Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico . - Google Patents

Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico .

Info

Publication number
MX2008000525A
MX2008000525A MX2008000525A MX2008000525A MX2008000525A MX 2008000525 A MX2008000525 A MX 2008000525A MX 2008000525 A MX2008000525 A MX 2008000525A MX 2008000525 A MX2008000525 A MX 2008000525A MX 2008000525 A MX2008000525 A MX 2008000525A
Authority
MX
Mexico
Prior art keywords
gating voltage
voltage control
actuating
actuator
gating
Prior art date
Application number
MX2008000525A
Other languages
English (en)
Inventor
Joshua Isaac Wright
William James Premerlani
John Norton Park
Edward Keith Howell
Kanakasabapathi Subramanian
Christopher Keimel
Long Que
Kuna Venkat Satya Rama Kishore
Abhijeet Dinkar Sathe
Xuefeng Wang
Original Assignee
Gen Electric
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gen Electric filed Critical Gen Electric
Publication of MX2008000525A publication Critical patent/MX2008000525A/es

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
    • H01H47/00—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the relay and designed to obtain desired operating characteristics or to provide energising current
    • H01H47/22—Circuit arrangements not adapted to a particular application of the relay and designed to obtain desired operating characteristics or to provide energising current for supplying energising current for relay coil

Landscapes

  • Micromachines (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Abstract

Se proporciona un sistema de control de voltaje de compuerta para activar en forma electrostática un dispositivo de sistemas micro-electromecánicos (MEMS), por ejemplo, un interruptor (14) MEMS. El dispositivo puede comprender un activador que responde en forma electrostática, que se puede mover a través de un hueco para activar el dispositivo a una condición de activación respectiva, correspondiente a una de la primera condición de activación (por ejemplo, una condición de conmutación cerrada) y una segunda condición de activación (por ejemplo, una condición de conmutación abierta). El sistema de control de voltaje de compuerta puede comprender un circuito (10) de activación acoplado en forma eléctrica con una terminal (16) de compuerta del dispositivo para aplicar un voltaje de compuerta. El sistema de control de voltaje de compuerta también puede comprender un controlador (12) acoplado en forma eléctrica con el circuito de activación para controlar el voltaje de compuerta aplicado a la terminal de compuerta de conformidad con una secuencia de control de voltaje de compuerta. La secuencia de control de voltaje de compuerta puede comprender un primer intervalo (T1) para ascender el voltaje de compuerta a un nivel de voltaje para producir una fuerza electrostática suficiente para acelerar el activador a través de una porción del hueco a ser atravesado por el activador para alcanzar una condición de activación respectiva. La secuencia de control del voltaje de compuerta también puede comprender un segundo intervalo (T2) para descender el voltaje de compuerta a un nivel suficiente para reducir la fuerza electrostática que actúa en el activador móvil. Esto permite reducir la cantidad de fuerza con la cual el activador se acopla con un contacto para establecer una primera condición de activación o evitar una posición de superación del activador, mientras alcanza una segunda condición de activación.
MX2008000525A 2007-01-12 2008-01-10 Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico . MX2008000525A (es)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/622,483 US7473859B2 (en) 2007-01-12 2007-01-12 Gating voltage control system and method for electrostatically actuating a micro-electromechanical device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
MX2008000525A true MX2008000525A (es) 2009-02-23

Family

ID=39271260

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MX2008000525A MX2008000525A (es) 2007-01-12 2008-01-10 Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico .

Country Status (6)

Country Link
US (1) US7473859B2 (es)
EP (1) EP1944785B1 (es)
JP (1) JP5172360B2 (es)
KR (1) KR101442250B1 (es)
CN (1) CN101231920B (es)
MX (1) MX2008000525A (es)

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5103951B2 (ja) * 2007-03-08 2012-12-19 ブラザー工業株式会社 駆動装置及び液滴吐出ヘッド
US8653699B1 (en) 2007-05-31 2014-02-18 Rf Micro Devices, Inc. Controlled closing of MEMS switches
US8093971B2 (en) * 2008-12-22 2012-01-10 General Electric Company Micro-electromechanical system switch
US8203319B2 (en) * 2009-07-09 2012-06-19 General Electric Company Transformer on-load tap changer using MEMS technology
US8436700B2 (en) * 2009-09-18 2013-05-07 Easic Corporation MEMS-based switching
US8916995B2 (en) * 2009-12-02 2014-12-23 General Electric Company Method and apparatus for switching electrical power
US8054589B2 (en) * 2009-12-16 2011-11-08 General Electric Company Switch structure and associated circuit
US9159516B2 (en) 2011-01-11 2015-10-13 RF Mirco Devices, Inc. Actuation signal for microactuator bounce and ring suppression
US8638093B2 (en) * 2011-03-31 2014-01-28 General Electric Company Systems and methods for enhancing reliability of MEMS devices
JP2013027183A (ja) * 2011-07-22 2013-02-04 Hitachi Ltd 蓄電回路
US9362074B2 (en) 2013-03-14 2016-06-07 Intel Corporation Nanowire-based mechanical switching device
CN105228945B (zh) * 2013-05-17 2017-05-24 卡文迪什动力有限公司 控制mems dvc控制波形以增加寿命的方法和技术
CN103482065B (zh) * 2013-10-15 2015-08-12 北京航空航天大学 一种基于静电自激驱动原理的微型扑翼飞行器
DE102015016992B4 (de) 2015-12-24 2017-09-28 Audi Ag Verfahren zum Reinigen elektrischer Kontakte einer elektrischen Schalteinrichtung und Kraftfahrzeug
CN108008152B (zh) * 2017-11-28 2020-04-03 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 获取mems加速度计的寄生失配电容的方法及装置
US12187599B2 (en) 2021-09-30 2025-01-07 Texas Instruments Incorporated Reduction of ringing and intermodulation distortion in a MEMS device
US20250253102A1 (en) * 2024-02-01 2025-08-07 Menlo Microsystems, Inc. MEMS dynamic behavior

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE0101182D0 (sv) * 2001-04-02 2001-04-02 Ericsson Telefon Ab L M Micro electromechanical switches
US6917268B2 (en) * 2001-12-31 2005-07-12 International Business Machines Corporation Lateral microelectromechanical system switch
AU2002368165A1 (en) * 2002-08-08 2004-02-25 Xcom Wireless, Inc. Microfabricated double-throw relay with multimorph actuator and electrostatic latch mechanism
US7106066B2 (en) * 2002-08-28 2006-09-12 Teravicta Technologies, Inc. Micro-electromechanical switch performance enhancement
US7233776B2 (en) * 2004-06-29 2007-06-19 Intel Corporation Low voltage microelectromechanical RF switch architecture
US7061660B1 (en) 2005-04-13 2006-06-13 Hewlett-Packard Development Company, L.P. MEMs device with feedback control

Also Published As

Publication number Publication date
KR101442250B1 (ko) 2014-09-23
CN101231920A (zh) 2008-07-30
KR20080066586A (ko) 2008-07-16
US20080169707A1 (en) 2008-07-17
EP1944785B1 (en) 2018-11-14
EP1944785A2 (en) 2008-07-16
JP5172360B2 (ja) 2013-03-27
JP2008218400A (ja) 2008-09-18
CN101231920B (zh) 2012-12-26
EP1944785A3 (en) 2010-05-26
US7473859B2 (en) 2009-01-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MX2008000525A (es) Sistema y metodo para el control de voltaje de compuerta para la activacion electrostatica de un dispositivo micro-electromagnetico .
MX2008013944A (es) Conmutacion con base en un sistema micro-electromecanico.
MX2008014542A (es) Controlador logico programable que tiene conmutacion con base en un sistema microelectromecanico.
US8350509B2 (en) Power switching system including a micro-electromechanical system (MEMS) array
WO2010067179A3 (en) Neutral draw-out automatic transfer switch assembly and associated method
UA112741C2 (uk) Спосіб керування електричним перемикачем і електричний перемикач
US10068733B2 (en) Micro-electromechanical system relay circuit
WO2019036644A3 (en) METHOD FOR DETECTING THE OPERATING STATUS OF A REMOTE DISCONNECT LOCK RELAY
EP2200063A3 (en) Micro-electromechanical system switch
CN108369873B (zh) 用于微机电系统开关的隔离的控制电路和驱动器
WO2011090665A3 (en) Elevator safety circuit shorting tool
EP2450927A3 (en) MEMS-based switching systems
EP2056325A3 (en) System and method for avoiding contact stiction in micro-electromechanical system based switch
CN108369880B (zh) 用于微机电系统继电器电路的辅助电路
WO2011110397A3 (de) Motorsteuergerät zum ansteuern eines stromkreises und verfahren
DE602008002499D1 (de) Elektrischer Schalter mit mehreren Schaltkanälen
ATE472812T1 (de) Einrichtung zur steuerung eines elektrischen geräts
CN101226845A (zh) 触头驱动装置
WO2008048550A3 (en) Solenoid control circuit
PL1843363T3 (pl) Elektryczna aparatura przełącznika z urządzeniem kompensującym zużycie styków
WO2007034995A3 (en) Sliding mode control apparatus and adjusting method
FR2895140B1 (fr) Dispositif de commande d'un appareillage electrique
NZ784188A (en) Hybrid circuit breaker with sequential operation
ATE410781T1 (de) Unterbrecherschalter-kontaktor mit piezoelektrisch gesteuerter verriegelung
CN104021956B (zh) 一种模拟开关及其实现方法

Legal Events

Date Code Title Description
FG Grant or registration