[go: up one dir, main page]

MA39558A1 - Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme - Google Patents

Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme

Info

Publication number
MA39558A1
MA39558A1 MA39558A MA39558A MA39558A1 MA 39558 A1 MA39558 A1 MA 39558A1 MA 39558 A MA39558 A MA 39558A MA 39558 A MA39558 A MA 39558A MA 39558 A1 MA39558 A1 MA 39558A1
Authority
MA
Morocco
Prior art keywords
vector
image
fourier spectrum
astigmatism
setting
Prior art date
Application number
MA39558A
Other languages
English (en)
Other versions
MA39558B1 (fr
Inventor
Ida-Maria Sintorn
Rickard Nordstrom
Gustaf Kylberg
Original Assignee
Intelligent Virus Imaging Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Intelligent Virus Imaging Inc filed Critical Intelligent Virus Imaging Inc
Publication of MA39558A1 publication Critical patent/MA39558A1/fr
Publication of MA39558B1 publication Critical patent/MA39558B1/fr

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/153—Electron-optical or ion-optical arrangements for the correction of image defects, e.g. stigmators
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/153—Correcting image defects, e.g. stigmators
    • H01J2237/1532—Astigmatism
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/22—Treatment of data
    • H01J2237/221—Image processing
    • H01J2237/223—Fourier techniques

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)
  • Image Analysis (AREA)
  • Optical Head (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)

Abstract

La présente invention porte sur un procédé qui permet de corriger automatiquement l'astigmatisme d'un système de lentille. Une première image (96) est utilisée, celle-ci n'étant pas au point au niveau d'un premier réglage par stigmateur d'un ensemble de lentilles. Un dispositif de calcul calcule une première image de spectre de fourier correspondante (312). Une distribution et une direction de pixels de l'image de spectre de fourier (128, 130, 312) sont déterminées par calcul d'un premier vecteur (132) et d'un deuxième vecteur (134). Le premier vecteur (132) est comparé au second vecteur (134). Le système de lentille est changé depuis un premier réglage par stigmateur à un second réglage de stigmateur pour fournir une seconde image (98). Une image de spectre de fourier (314) correspondante est calculée. La distribution et la direction de pixels de la seconde image de spectre de fourier (314) sont déterminées par le calcul d'un troisième vecteur et d'un quatrième vecteur. Le troisième vecteur est comparé au quatrième vecteur. L'image qui présente le rapport de vecteur le plus faible est sélectionnée.
MA39558A 2014-07-22 2015-06-17 Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme MA39558B1 (fr)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201462027505P 2014-07-22 2014-07-22
PCT/US2015/036117 WO2016014177A1 (fr) 2014-07-22 2015-06-17 Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme

Publications (2)

Publication Number Publication Date
MA39558A1 true MA39558A1 (fr) 2018-09-28
MA39558B1 MA39558B1 (fr) 2020-03-31

Family

ID=55163506

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
MA39558A MA39558B1 (fr) 2014-07-22 2015-06-17 Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme

Country Status (23)

Country Link
US (1) US9711323B2 (fr)
EP (1) EP3172757B1 (fr)
JP (1) JP6684717B2 (fr)
KR (1) KR102193285B1 (fr)
CN (1) CN106062917B (fr)
AP (1) AP2016009363A0 (fr)
AU (1) AU2015294547B2 (fr)
BR (1) BR112016026681B1 (fr)
CA (1) CA2934972C (fr)
CL (1) CL2016002175A1 (fr)
DK (1) DK3172757T3 (fr)
EA (1) EA035058B1 (fr)
ES (1) ES2776453T3 (fr)
HU (1) HUE048003T2 (fr)
IL (1) IL247695B (fr)
MA (1) MA39558B1 (fr)
MX (1) MX2017000334A (fr)
MY (1) MY181462A (fr)
PL (1) PL3172757T3 (fr)
PT (1) PT3172757T (fr)
SG (1) SG11201606864WA (fr)
UA (1) UA121864C2 (fr)
WO (1) WO2016014177A1 (fr)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US12073541B2 (en) 2019-08-09 2024-08-27 The Board Of Regents Of The University Of Texas System Methods for high-performance electron microscopy
CN111477529B (zh) * 2020-05-19 2024-05-14 桂林狮达技术股份有限公司 自动消像散电子枪及电子枪自动消像散方法
CN112924477B (zh) * 2021-01-23 2022-02-11 北京大学 电镜定量消除像散的方法
EP4531072A1 (fr) * 2023-09-28 2025-04-02 ASML Netherlands B.V. Procédé d'évaluation d'un faisceau de particules chargées et procédé d'évaluation d'une matrice de faisceaux
CN117612018B (zh) * 2024-01-23 2024-04-05 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 用于光学遥感载荷像散的智能判别方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4180738A (en) * 1977-07-30 1979-12-25 National Research Development Corporation Astigmatism in electron beam probe instruments
JPS5775473U (fr) * 1980-10-24 1982-05-10
US4695725A (en) 1984-12-10 1987-09-22 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of detecting a focus defect of an electron microscope image
JPH07220669A (ja) * 1994-01-31 1995-08-18 Jeol Ltd 非点・入射軸補正装置を備えた電子顕微鏡
JP3340327B2 (ja) * 1996-09-30 2002-11-05 株式会社東芝 非点収差補正方法及び非点収差補正装置
US20060060781A1 (en) * 1997-08-11 2006-03-23 Masahiro Watanabe Charged-particle beam apparatus and method for automatically correcting astigmatism and for height detection
JP4069545B2 (ja) * 1999-05-19 2008-04-02 株式会社日立製作所 電子顕微方法及びそれを用いた電子顕微鏡並び生体試料検査方法及び生体検査装置
US6552340B1 (en) * 2000-10-12 2003-04-22 Nion Co. Autoadjusting charged-particle probe-forming apparatus
JP3951590B2 (ja) * 2000-10-27 2007-08-01 株式会社日立製作所 荷電粒子線装置
JP3645198B2 (ja) * 2001-06-15 2005-05-11 独立行政法人理化学研究所 電子顕微鏡及びその焦点位置制御方法
WO2005053007A1 (fr) * 2003-11-28 2005-06-09 Nikon Corporation Procede d'exposition, procede de fabrication d'un dispositif, dispositif d'exposition, et programme
EP1839020B1 (fr) * 2005-01-19 2017-04-26 Optopo Inc. D/B/A Centice Corporation Codage d'ouverture en deux dimensions statique pour spectroscopie multiplexe multimodale
US7619220B2 (en) * 2005-11-30 2009-11-17 Jeol Ltd. Method of measuring aberrations and correcting aberrations using Ronchigram and electron microscope
JP4790567B2 (ja) * 2005-11-30 2011-10-12 日本電子株式会社 ロンチグラムを用いた収差測定方法及び収差補正方法及び電子顕微鏡
US10121243B2 (en) * 2006-09-22 2018-11-06 Koninklijke Philips N.V. Advanced computer-aided diagnosis of lung nodules
EP2511936B1 (fr) 2011-04-13 2013-10-02 Fei Company Correction d'astigmatisme sans distorsion d'un TEM
EP2584584A1 (fr) * 2011-10-19 2013-04-24 FEI Company Procédé d'ajustement d'un METB équipé d'un correcteur d'aberrations

Also Published As

Publication number Publication date
HUE048003T2 (hu) 2020-05-28
US20170018396A1 (en) 2017-01-19
CA2934972C (fr) 2022-03-22
US9711323B2 (en) 2017-07-18
IL247695A0 (en) 2016-11-30
SG11201606864WA (en) 2016-09-29
BR112016026681B1 (pt) 2023-01-17
AP2016009363A0 (en) 2016-08-31
MX2017000334A (es) 2017-07-10
UA121864C2 (uk) 2020-08-10
BR112016026681A2 (fr) 2017-08-15
IL247695B (en) 2020-06-30
CN106062917A (zh) 2016-10-26
JP6684717B2 (ja) 2020-04-22
EA201600651A1 (ru) 2017-07-31
JP2017526101A (ja) 2017-09-07
EP3172757B1 (fr) 2019-12-11
AU2015294547B2 (en) 2020-05-28
EP3172757A1 (fr) 2017-05-31
DK3172757T3 (da) 2020-03-16
EA035058B1 (ru) 2020-04-22
MY181462A (en) 2020-12-22
PT3172757T (pt) 2020-03-23
NZ721691A (en) 2020-09-25
WO2016014177A1 (fr) 2016-01-28
CA2934972A1 (fr) 2016-01-28
EP3172757A4 (fr) 2018-03-28
CN106062917B (zh) 2018-11-27
KR102193285B1 (ko) 2020-12-22
CL2016002175A1 (es) 2016-12-23
PL3172757T3 (pl) 2020-05-18
MA39558B1 (fr) 2020-03-31
KR20170033264A (ko) 2017-03-24
ES2776453T3 (es) 2020-07-30
HK1225856A1 (zh) 2017-09-15
AU2015294547A1 (en) 2016-07-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
MA39558A1 (fr) Procédé pour correction automatique de l'astigmatisme
WO2019147772A3 (fr) Réseau de pixels numériques avec lectures multi-niveaux
EP3264744A3 (fr) Dispositif électronique et procédé de capture d'image correspondant
EP3139600B1 (fr) Procédé de projection
MY200756A (en) Method for controlling camera and electronic device therefor
EP4663131A3 (fr) Procedes et appareil de selection d'images angiographiques
EP2980782A3 (fr) Appareil d'affichage d'images et procédé d'affichage d'images
MA46148A1 (fr) Systèmes et procédés de capture d'image dans une capsule de culture de ligne d'assemblage
EP3086551A3 (fr) Système de projection, appareil de traitement d'image et procédé d'étalonnage
EP3358386A3 (fr) Appareil de commande de focalisation, appareil de capture d'images et procédé de commande de focalisation
EP4254037A3 (fr) Balayage de mise au point automatique en temps réel
EP4235254A3 (fr) Mise au point en temps réel en imagerie à balayage linéaire
GB2512223A (en) Image processing apparatus, image processing method and program, and image pickup apparatus including image processing apparatus
EP2785047A3 (fr) Appareil de capture d'image, système de traitement d'image, système de capture d'image, procédé de traitement d'image, programme de traitement d'image et support de stockage
JP2019525180A5 (fr)
EP2533198A4 (fr) Dispositif et procédé d'imagerie, et procédé de traitement d'image pour dispositif d'imagerie
SG11201808036XA (en) Image processing apparatus, imaging apparatus, and control methods thereof
JP2015075526A5 (ja) 画像データ処理装置、距離算出装置、撮像装置および画像データ処理方法
FR2982678B1 (fr) Procede et systeme de capture de sequence d'images avec compensation des variations de grandissement
JP2020004266A5 (fr)
EP3361301A3 (fr) Objectif à focale variable et appareil de sélection d'images incluant ce même système
JP2017017445A5 (fr)
EP2919151A3 (fr) Appareil de traitement d'image, appareil d'authentification biométrique et appareil de traitement d'image
JP2017003677A5 (fr)
GB2572920A (en) Camera system including lens with magnification gradient