About: 集束イオンビーム

集束イオンビーム（しゅうそくイオンビーム、FIB、Focused Ion Beam）は、イオンを電界で加速したビームを細く絞ったものである。集束イオンビームは、微細加工、蒸着、観察などの用途に用いられる。