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WO2012028166A1 - Vorrichtung und verfahren zur verringerung eines keilfehlers - Google Patents

Vorrichtung und verfahren zur verringerung eines keilfehlers Download PDF

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WO2012028166A1
WO2012028166A1 PCT/EP2010/005423 EP2010005423W WO2012028166A1 WO 2012028166 A1 WO2012028166 A1 WO 2012028166A1 EP 2010005423 W EP2010005423 W EP 2010005423W WO 2012028166 A1 WO2012028166 A1 WO 2012028166A1
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WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
receiving
wedge error
reducing
approach
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/EP2010/005423
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Michael Kast
Christian GRÜNSEIS
Alois Malzer
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
EV Group E Thallner GmbH
Original Assignee
EV Group E Thallner GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by EV Group E Thallner GmbH filed Critical EV Group E Thallner GmbH
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Priority to KR1020137004380A priority patent/KR101583894B1/ko
Priority to CN201710464995.0A priority patent/CN107255485B/zh
Priority to JP2013526318A priority patent/JP5650328B2/ja
Priority to SG2013015193A priority patent/SG188343A1/en
Priority to PCT/EP2010/005423 priority patent/WO2012028166A1/de
Priority to EP10757721.5A priority patent/EP2612109B1/de
Priority to US13/820,166 priority patent/US9194700B2/en
Priority to TW100131808A priority patent/TWI546886B/zh
Publication of WO2012028166A1 publication Critical patent/WO2012028166A1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G—PHYSICS
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    • G01B21/22—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
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    • G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0002—Lithographic processes using patterning methods other than those involving the exposure to radiation, e.g. by stamping

Definitions

  • the present invention relates to a device for opposing alignment of a first surface of a first substrate with a second surface of a second substrate spaced between the first and the second surface according to claim 1 and a corresponding method according to claim 9.
  • the surfaces of the substrates in a final position that is, for example, when embossing a microlens or when creating a mask in the lithographic process exactly paral lel be aligned with each other.
  • the optical axis of the microlens has no alignment errors caused, in particular, by wedge errors.
  • Microlenses are often stacked on top of each other so that the wedge errors increase accordingly and image quality suffers accordingly.
  • the aforementioned wedge error is caused by a malposition of the
  • a reduction of the wedge error has hitherto been achieved by the most accurate possible parallel alignment of the receiving devices before an approach of the receiving devices by the distance between the surfaces of the substrates before the actual embossing process, in which the substrates are moved toward each other in the translation direction, are aligned in parallel.
  • Object of the present invention is to provide a device and a
  • the invention is based on the idea, alignment error between two substrates not even before the approach of the substrates in the
  • the introduction of a measuring device between the substrates to be aligned can therefore be dispensed with according to the invention.
  • the distances or the angular position of the first to the second substrate or the first recording device and the second recording device during the approach of the substrates are inventively measured from outside the working space formed between the first and second surface, so that an in-situ measurement during the approach of Substrates is allowed, until the completion of the product to be manufactured with the device,
  • microlens field in particular a microlens field or a mask.
  • the wedge error is reduced shortly before or when the end position is reached, since errors can thus be virtually ruled out by further movement of the first and / or second substrate.
  • the means for reducing the wedge error can be used continuously, in particular continuously, during the approach, in particular until reaching the end position.
  • the embodiment of the invention in conjunction with Nanoimprint compiler as far as on the first surface and / or the second surface embossed structures are provided for embossing an embossing material between the first and the second surface.
  • the first substrate and / or the second substrate or the first receiving device and / or the second receiving device can be moved by the means to reduce the
  • the measuring means a plurality, in particular at least three, in particular in the first and / or second receiving device respectively below the first and / or second
  • the means for reducing the wedge error drive means for changing the angular position of the first substrate to the second substrate, in particular the first surface to the second surface comprise, wherein the drive means are arranged on the first and / or second receiving means.
  • drive means in particular motors for each receiving device in question, for at least one of
  • Recording devices at least two, in particular three
  • the means for reducing the wedge error an active control device for controlling the reduction of the wedge error, in particular for detecting measured values of the measuring means and for
  • the active control device provides on the basis of the measured values of the measuring means, ie the distances between the sensors and the individual, according to the invention relevant surfaces (surfaces / bearing surfaces) for an automatic
  • Figure 1 shows a cross-sectional view of the device according to the invention for reducing a wedge error.
  • FIG. 1 shows a first receiving device of a device for
  • an embossed structure 3 which serves for embossing an embossing material 4 applied to the surface 5 o.
  • Embossing material 4 is, for example, a polymer which assumes the contour of embossed structure 3 during embossing, specifically in an end position in which embossed structure 3 dips into embossing material 4 in order to produce a multiplicity of precisely dimensioned products, in this case microlenses, corresponding to the contour of embossed structure 3 to produce.
  • a microlens field is embossed from the embossing material and cured so that a large number of microlenses can later be produced from the microlens field.
  • the first substrate 2 is first aligned and aligned parallel to the second substrate 5, wherein a - in the figure 1 exaggerated - wedge error, represented by the
  • the key error may result from an imbalance of the first receiving device 1 or the second
  • the first receiving device 1 is by a not shown
  • Recording device 6 movable toward, also as a means of approach to
  • the translation drive for example, a not shown
  • the second receiving device 6 may be formed fixed in the device as a chuck. A reversal of the movement of both receiving devices is conceivable according to the invention.
  • Embossed structure 3 to the second substrate 5 and the embossing material 4 are provided as a means for reducing the wedge error, among others, a plurality of sensors 8 in sensor chambers 7 of the second receiving device 6 distributed.
  • the sensors 8 are designed as spectroscopic sensors such that each sensor 8 emits a light beam whose reflections and the spectroscopy of the reflected light enable the distances between the first surface 2o arranged in the light beam and the second surface 5o to the sensor 8 to be measured.
  • the sensors 8 operate in particular with white light spectroscopy and, accordingly, the second substrate 5 is at least in the region of Sensor chambers 7 transparent to light and / or UV radiation.
  • the distance between the sensor 8 and a support surface 2a of the first substrate on the receiving side 1a can also be measured by the sensors.
  • Receiving side 6a measurable, so that the thicknesses of the substrates 2, 5 are measurable in the areas in which the beam paths of the sensors 8 extend.
  • Recording device 1 in the translation direction T and a faulty initial orientation and errors of the thicknesses of the first substrate 2 or the second substrate 5 or unevenness of the receiving surfaces l a, 6a are compensated, while the approach of the first surface 2o to the second surface 5o.
  • the embossed structure 3 and the embossing material 4 are arranged outside the beam path of the sensors 8.
  • spurious evaluations of the spectroscopy are avoided and the accuracy of determining the distances is increased by the spectroscopy of the sensors.
  • Path system consisting of a plurality of transmitter-receiver modules, namely the sensors 8, solved, with which the distance of the formed as an embossing die first substrate 2 to the surface 5o of the carrier wafer formed as a second substrate 5 actively measured and simultaneously during the approach of the embossed structure 3 by tilting or rotating the first Recording device 1 is readjusted so that the surface 2o is aligned parallel to the surface 5o, in the ideal case without
  • the advantages of the invention lie in a higher yield of microlenses within the microlens field, since a consistent quality of the lenses along the entire carrier wafer can be ensured. Due to the higher yield of lenses with negligible error in the optical axis of the lenses clearly results in economic and technical advantages, especially when coupling several microlenses on top of each other. In addition to the economic benefits of falling unit price by higher yield also results in the technical advantage of a higher image quality.

Landscapes

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  • Clamps And Clips (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
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Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur gegenüberliegenden Ausrichtung einer ersten Oberfläche (2o) eines ersten Substrats (2) mit einer zweiten Oberfläche (5o) eines zweiten Substrats (5) mit Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche (2o, 5o) mit folgenden Merkmalen: - eine erste Aufnahmeeinrichtung (1) zur Aufnahme des ersten Substrats (2) auf einer ersten Aufnahmefläche (1a), - eine zweite Aufnahme-einrichtung (6) zur Aufnahme des zweiten Substrats (5) auf einer zweiten Aufnahmefläche (6a), - Annäherungsmittel zur Annäherung der ersten Oberfläche (2a) zur zweiten Oberfläche (5a) in einer Translationsrichtung (T) bis in eine Endposition, dadurch gekennzeichnet, dass Mittel zur Verringerung eines Keilfehlers zwischen der ersten und zweiten Oberfläche (2o, 5o) während der Annäherung der ersten Oberfläche (2o) zur zweiten Oberfläche (5o) vorgesehen sind. Weiterhin betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zur gegenüberliegenden Ausrichtung einer ersten Oberfläche eines ersten Substrats mit einer zweiten Oberfläche eines zweiten Substrats mit Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Keilfehler zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche während der Annäherung der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche verringert wird.

Description

Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung eines Keilfehlers
B e s c h r e i b u n g
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur gegenüberliegenden Ausrichtung einer ersten Oberfläche eines ersten Substrats mit einer zweiten Oberfläche eines zweiten Substrats mit Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche gemäß Patentanspruch 1 sowie ein korrespondierendes Verfahren gemäß Patentanspruch 9.
In der Halbleiterindustrie gibt es eine Vielzahl von Vorrichtungen und Verfahren, bei welchen eine Kalibrierung zweier Oberflächen zueinander von großer Bedeutung ist. Bei den Oberflächen handelt es sich meist um
strukturierte Oberflächen, deren Strukturen zueinander ausgerichtet werden müssen. Bei allen Verfahren, die solche Kalibrierungen vornehmen, wäre es wünschenswert, dass Fehler bei der Ausrichtung, insbesondere Kei lfehler, also Abweichungen in der Winkellage der beiden gegenüberliegend
auszurichtenden Oberflächen minimiert beziehungsweise weitgehend ausgeschlossen werden . Idealerweise sollen die Oberflächen der Substrate in einer Endposition, also beispielsweise beim Prägen einer Mikrolinse oder beim Erzeugen einer Maske im Lithografieverfahren genau paral lel zueinander ausgerichtet sein. Am Beispiel der Mikrosystemtechnik,
insbesondere der Herstellung von Mikrolinsen, die als optische Li nsen und auf Grund des Miniaturisierungsdrucks in der Halbleiterindustrie gleichzeitig kleiner und immer genauer werden müssen, wirken sich die obengenannten Fehler besonders drastisch aus.
Mithin ist es besonders wichtig, dass die optische Achse der Mikrolinse keine Ausrichtungsfehler aufweist, die insbesondere durch Keilfehler verursacht werden. Mikrolinsen werden häufig übereinander gestapelt, so dass sich die Keilfehler entsprechend potenzieren und die Bildqualität entsprechend leidet.
Weiterhin gehen die Bemühungen dahin, den Ausschuss bei der
Massenproduktion von Mikrolinsen zu minimieren.
Der obengenannte Keilfehler entsteht durch eine Fehlstellung der
Prägesubstrate zueinander beziehungsweise der die Prägesubstrate
aufnehmenden Aufnahmeeinrichtungen zueinander i n der für die Herstellung der zu prägenden Bautei le, insbesondere Mikrolinsen, entscheidenden
Endposition, in der das Prägematerial ausgehärtet wird.
Eine Reduzierung des Keilfehlers erfolgt bisher durch möglichst genaue parallele Ausrichtung der Aufnahmeeinrichtungen vor einer Annäherung der Aufnahmeeinrichtungen, indem der Abstand zwischen den Oberflächen der Substrate vor dem eigentl ichen Prägevorgang, bei dem die Substrate in Translationsrichtung aufeinander zu bewegt werden, parallel ausgerichtet werden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein
Verfahren anzugeben, mit welchem Ausrichtungsfehler bei der Ausrichtung zweier beabstandeter Substrate minimiert werden können, wodurch die Qualität der zu erzeugenden Produkte steigt und die Herstellungskosten drastisch reduziert werden. Diese Aufgabe wird mit den Merkmalen der Ansprüche 1 und 9 gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche
Kombinationen aus zumindest zwei von in der Beschreibung, den Ansprüchen und/oder der Figur 1 angegebenen Merkmalen. Bei angegebenen
Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart und in beliebiger Kombination beanspruchbar sein.
Der Erfindung liegt der Gedanke zugrunde, Ausrichtungsfehler zwischen zwei Substraten nicht schon vor der Annäherung der Substrate in die
Endposition, sondern während der Annäherung und bis zum Erreichen der Endposition eine Verringerung von Ausrichtungsfehlern, insbesondere eines Keilfehlers, vorzunehmen. Auf die Einführung einer Messeinrichtung zwischen die auszurichtenden Substrate kann demnach erfindungsgemäß verzichtet werden. Die Abstände beziehungsweise die Winkellage des ersten zum zweiten Substrat beziehungsweise der ersten Aufnahmeeinrichtung und der zweiten Aufnahmeeinrichtung während der Annäherung der Substrate werden erfindungsgemäß von außerhalb des zwischen der ersten und zweiten Oberfläche gebildeten Arbeitsraumes gemessen, so dass eine in-situ-Messung während der Annäherung der Substrate ermöglicht wird, und zwar bis zur Fertigstellung des mit der Vorrichtung herzustellenden Produktes,
insbesondere eines Mikrolinsenfeldes oder einer Maske.
Soweit ein durch das erste und zweite Substrat zu prägendes Prägematerial in den Zwischenraum eingebracht wird, erfolgt die Ausrichtung
erfindungsgemäß nach Einbringung des Prägematerials in den Zwischenraum beziehungsweise Einbringung des Prägematerials auf das als Trägersubstrat ausgebildete erste oder zweite Substrat. Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Verringerung des Keilfehlers kurz vor oder bei Erreichen der Endposition erfolgt, da somit Fehler durch eine weitere Bewegung des ersten und/oder zweiten Substrats praktisch ausgeschlossen werden können. Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehlers kontinuierlich, insbesondere ununterbrochen, während der Annäherung, insbesondere bis zum Erreichen der Endposition, einsetzbar sind. Besonders vorteilhaft ist die Ausführung der Erfindung in Verbindung mit Nanoimprintverfahren, soweit auf der ersten Oberfläche und/oder der zweiten Oberfläche Prägestrukturen zum Prägen eines Prägematerials zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche vorgesehen sind.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehlers, insbesondere spektroskopisch arbeitende, Messmittel zur Messung der Winkellage zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat während der
Annäherung der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche umfassen. Durch Messung der Winkellage der ersten und zweiten Oberflächen zueinander während der Annäherung der ersten Oberfläche an die zweite Oberfläche oder umgekehrt bis zu der Endposition kann auf das erste Substrat und/oder das zweite Substrat beziehungsweise die erste Aufnahmeeinrichtung und/oder die zweite Aufnahmeeinrichtung durch die Mittel zur Verringerung des
Keilfehlers entsprechend eingewirkt werden, um die erste und zweite
Oberfläche parallel auszurichten, so dass im Idealfall kein Keilfehler mehr vorliegt, insbesondere bei Erreichen der Endposition.
Dabei ist es insbesondere von Vorteil, wenn die Messmittel mehrere, insbesondere mindestens drei, insbesondere in der ersten und/oder zweiten Aufnahmeeinrichtung jeweils unterhalb der ersten und/oder zweiten
Aufnahmefläche verbaute, Sensoren zur Messung der Abstände der ersten Oberfläche und der zweiten Oberfläche zu dem jeweiligen Sensor in
Translationsrichtung, sowie insbesondere der Abstände einer der ersten Oberfläche abgewandten ersten Auflagefläche des ersten Substrats und einer der zweiten Oberfläche abgewandten zweiten Auflagefläche des zweiten Substrats, aufweisen. Durch Integration der Sensoren ist eine besonders platzsparende und sichere Erfassung der Winkellage der Aufnahmeflächen beziehungsweise der Oberflächen in-situ möglich.
Mit Vorteil ist in einer Ausführungsform der Erfindung weiterhin
vorgesehen, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehl Antriebsmittel zur Änderung der Winkellage des ersten Substrats zum zweiten Substrat, insbesondere der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche, umfassen, wobei die Antriebsmittel an der ersten und/oder zweiten Aufnahmeeinrichtung angeordnet sind. Als Antriebsmittel kommen insbesondere Motoren für jede Aufnahmeeinrichtung in Frage, die für mindestens eine der
Aufnahmeeinrichtungen mindestens zwei, insbesondere drei
Rotationsfreiheitsgrade zur Verfügung stellen, deren Rotationsachsen normal zueinander stehen und welche die Aufnahmeeinrichtung beliebig zu der Translationsrichtung kippen können.
Gemäß einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehlers eine aktive Steuerungseinrichtung zur Steuerung der Verringerung des Keilfehlers, insbesondere zur Erfassung von Messwerten der Messmittel und zur
korrespondierenden Ansteuerung der Antriebsmittel, aufweisen. Die aktive Steuerungseinrichtung sorgt auf Basis der Messwerte der Messmittel, also der Abstände zwischen den Sensoren und der einzelnen, erfindungsgemäß relevanten Flächen (Oberflächen/Auflageflächen) für eine selbsttätige
Nachregelung der entsprechenden Antriebsmittel, damit zu jedem Zeitpunkt eine parallele Ausrichtung der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche gewährleistet ist.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist gemäß einer Ausführungsform
gekennzeichnet durch folgende Schritte, insbesondere in der nachfolgend aufgeführten Reihenfolge: - Fixieren des ersten Substrats mit seiner Aufnahmefläche auf der ersten Aufnahmeeinrichtung und Fixieren des zweiten Substrats mit seiner Aufnahmefläche auf der zweiten Aufnahmeeinrichtung,
- Ausrichtung des ersten Substrats zum zweiten Substrat quer zur
Translationsrichtung,
- Aufbringen einer Prägestruktur auf die erste Oberfläche des ersten
Substrats und Aufbringen eines Trägematerials auf die zweite
Oberfläche des zweiten Substrats,
- Annäherung des ersten Substrats an das zweite Substrat durch
translatorische Bewegung der der ersten Aufnahmeeinrichtung in
Richtung der zweiten Aufnahmeeinrichtung und
- Messung der Abstände zwischen dem ersten und zweiten Substrat und jedem Sensor der zweiten Aufnahmeeinrichtung während der
Annäherung des ersten Substrats an das zweite Substrat und sobald das erste Substrat im Erfassungsbereich der Sensoren ist;
- Auswertung der Messwerte und Berechnung der Winkellage des ersten Substrats zum zweiten Substrats durch die Steuereinrichtung und Steuerung von Antriebsmitteln zur Verringerung des Keilfehlers zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat, indem die Antriebsmittel entsprechend angesteuert werden und das erste Substrat beziehungsweise die erste Aufnahmeeinrichtung gegenüber dem zweiten Substrat beziehungsweise der zweiten Aufnahmeeinrichtung
entsprechend rotiert werden.
Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus nachfolgender Figurenbeschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Figur 1 zeigt eine Querschnittsansicht der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Verringerung eines Keilfehlers.
In Figur 1 ist eine erste Aufnahmeeinrichtung einer Vorrichtung zur
gegenüberliegenden Ausrichtung einer ersten Oberfläche 2o eines ersten Substrats 2 mit einer zweiten Oberfläche 5o eines zweiten Substrats 5 mit Abstand zwischen der ersten Oberfläche 2o und der zweiten Oberfläche 5o dargestellt, wobei das zweite Substrat 5 auf einer zweiten Aufnahmefläche 6o einer zweiten Aufnahmeeinrichtung 6 fixiert ist. Die Fixierung des ersten Substrats 2 auf der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 sowie die Fixierung des zweiten Substrats 5 auf der zweiten Aufnahmeeinrichtung 6 erfolgt
beispielsweise durch Anlegen eines Unterdrucks an einer Aufnahmefläche l a der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 beziehungsweise Aufnahmefläche 6a der zweiten Aufnahmeeinrichtung 6.
An der Oberfläche 2o ist eine Prägestruktur 3 angebracht, di e zum Prägen eines auf der Oberfläche 5 o aufgebrachten Prägematerials 4 dient. Das
Prägematerial 4 ist beispielsweise ein Polymer, das beim Prägen die Kontur der Prägestruktur 3 annimmt, und zwar in einer Endposition, in der die Prägestruktur 3 in das Prägematerial 4 eintaucht, um entsprechend der Kontur der Prägestruktur 3 eine Vielzahl von exakt dimensionierten Produkten, hier Mikrolinsen herzustel len. Durch die gezeigte Anordnung wird ein Mikro- linsenfeld aus dem Prägematerial geprägt und ausgehärtet, so dass aus dem Mikrolinsenfeld später eine viele Mikrolinsen hergestellt werden können.
Zum Prägen wird das erste Substrat 2 zunächst gegenüberliegend zu dem zweiten Substrat 5 fluchtend und parallel ausgerichtet, wobei ein - in der Figur 1 übertrieben dargestellter - Keilfehler, dargestellt durch die
Winkellage des ersten Substrats 2 und des zweiten Substrats 5
repräsentierende Strichlinien, vorherrscht. Der Kei l fehler kann aus einer Schieflage der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 oder der zweiten
Aufnahmeeinrichtung 6 relativ zueinander und/oder gegenüber einer Translationsrichtung T sowie uneinheitlicher Dicke des ersten Substrats 2 und/oder des zweiten Substrats 5 beziehungsweise einer Summe der
vorgenannten Ursachen resultieren.
Die erste Aufnahmeeinrichtung 1 ist durch einen nicht dargestellten
Translationsantrieb in Translationsrichtung T auf die zweite
Aufnahmeeinrichtung 6 hin bewegbar, auch als Annäherungsmittel zur
Annäherung der ersten Oberfläche 2o zur zweiten Oberfläche 5o bezeichnet. Der Translationsantrieb kann beispielsweise ein nicht dargestellter
Roboterarm sein, der die erste Aufnahmeeinrichtung 1 greift. Die zweite Aufnahmeeinrichtung 6 kann al s Chuck in der Vorrichtung fixiert ausgebildet sein. Eine Umkehrung der Bewegung beider Aufnahmeeinrichtungen ist erfindungsgemäß denkbar.
Während der Annäherung des ersten Substrats 2 beziehungsweise der
Prägestruktur 3 an das zweite Substrat 5 beziehungsweise das Prägematerial 4 sind als Mittel zur Verringerung des Keilfehlers unter anderem mehrere Sensoren 8 in Sensorkammern 7 der zweiten Aufnahmeeinrichtung 6 verteilt vorgesehen. Die Sensoren 8 sind als spektroskopische Sensoren derart ausgebildet, dass j eder Sensor 8 einen Lichtstrahl aussendet, über dessen Reflektionen und der Spektroskopie des reflektierten Lichts die Abstände der im Lichtstrahl angeordneten ersten Oberfläche 2o sowie zweiten Oberfläche 5o zu dem Sensor 8 messbar sind. Durch Differenzbildung der Abstände kann - im Erfassungsbereich des jeweil igen Sensors 8 - zu jedem Zeitpunkt der Annäherung des ersten Substrats 2 in Richtung des zweiten Substrats 5 der Abstand an verschiedenen Stel len gemessen werden, so dass durch
entsprechende Steuerung der Antriebsmittel eine entsprechende Rotation der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 und damit des ersten Substrats 2
beziehungsweise ein Kippen der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 bewirkt wird.
Die Sensoren 8 arbeiten insbesondere mit Weißlichtspektroskopie und entsprechend i st das zweite Substrat 5 zumindest im Bereich der Sensorkammern 7 transparent für Licht- und/oder UV-Strahlung. Soweit auch das erste Substrat 2 transparent für Licht- und/oder UV-Strahlung ist, kann durch die Sensoren auch der Abstand des Sensors 8 zu einer Auflagefläche 2a des ersten Substrats auf der Aufnahmeseite l a gemessen werden. Ebenso ist der Abstand einer Auflagefläche 5a des zweiten Substrats 5 auf der
Aufnahmeseite 6a messbar, so dass auch die Dicken der Substrate 2, 5 in den Bereichen messbar sind, in welchen die Strahlengänge der Sensoren 8 verlaufen.
Somit können sowohl ein Fehler in der Bewegung der ersten
Aufnahmeeinrichtung 1 in Translationsrichtung T als auch eine fehlerhafte anfängliche Ausrichtung sowie Fehler der Dicken des ersten Substrats 2 oder des zweiten Substrats 5 oder Unebenheiten der Aufnahmeflächen l a, 6a kompensiert werden, während die Annäherung der ersten Oberfläche 2o an die zweite Oberfläche 5o erfolgt.
Zur weiteren Optimierung der spektroskopischen Messung und Erhöhung der Genauigkeit der Messung ist in einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung vorgesehen, dass die Prägestruktur 3 und das Prägematerial 4 außerhalb des Strahlengangs der Sensoren 8 angeordnet sind. Somit werden Fehlbewertungen der Spektroskopie vermieden und die Genauigkeit der Ermittlung der Abstände durch die Spektroskopie der Sensoren erhöht.
Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung wird damit das Problem der inhomogenen Prägung eines Mikrolinsenfeldes auf Grund von Keilfehlern zwischen den Prägeflächen beziehungsweise Flächen des ersten Substrats 2 und des zweiten Substrats 5 durch die Verwendung eines optischen
Wegesystems bestehend aus mehreren Sender-Empfängermodulen, nämlich den Sensoren 8, gelöst, mit welchen der Abstand des als Prägestempel ausgebildeten ersten Substrats 2 zur Oberfläche 5o des als Trägerwafer ausgebildeten zweiten Substrats 5 aktiv gemessen und gleichzeitig während der Annäherung der Prägestruktur 3 durch Kippen oder rotieren der ersten Aufnahmeeinrichtung 1 so nachgestellt wird, dass die Oberfläche 2o zur Oberfläche 5o parallel ausgerichtet ist, und zwar im Idealfall ohne
Keilfehler.
Die Vorteile der Erfindung liegen in einer höheren Ausbeute an Mikrolinsen innerhalb des Mikrolinsenfeldes, da eine gleich bleibende Qualität der Linsen entlang des gesamten Trägerwafers gewährleistet werden kann. Durch die höhere Ausbeute an Linsen mit vernachlässigbarem Fehler in der optischen Achse der Linsen ergeben sich eindeutig wirtschaftliche und technische Vorteile, insbesondere bei Kopplung mehrerer Mikrolinsen übereinander. Neben den wirtschaftlichen Vorteilen des sinkenden Stückpreises durch höhere Ausbeute ergibt sich außerdem der technische Vorteil einer höheren Bildqualität.
Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung eines Keilfehlers
B e zu g s z e i ch e n l i s t e
1 erste Aufnahmeeinrichtung
la Aufnahmefläche
2 erstes Substrat
2a Auflagefläche
2o Oberfläche
3 Prägestruktur
4 Prägematerial
5 zweites Substrat
5a Auflagefläche
5o Oberfläche
6 zweite Aufnahmeeinrichtung
6a Aufnahmefläche
7 Sensorkammer
8 Sensor
T Translationsrichtung

Claims

Vorrichtung und Verfahren zur Verringerung eines Keilfehlers P a t e n t a n s p rü c h e
1. Vorrichtung zur gegenüberliegenden Ausrichtung einer ersten
Oberfläche (2o) eines ersten Substrats (2) mit einer zweiten
Oberfläche (5o) eines zweiten Substrats (5) mit Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche (2o, 5o) mit folgenden Merkmalen:
- eine erste Aufnahmeeinrichtung (1) zur Aufnahme des ersten
Substrats (2) auf einer ersten Aufnahmefläche (la),
- eine zweite Aufnahmeeinrichtung (6) zur Aufnahme des zweiten Substrats (5) auf einer zweiten Aufnahmefläche (6a),
- Annäherungsmittel zur Annäherung der ersten Oberfläche (2a) zur zweiten Oberfläche (5a) in einer Translationsrichtung (T) bis in eine Endposition, dadurch gekennzeichnet, dass
Mittel zur Verringerung eines Keilfehlers zwischen der ersten und zweiten Oberfläche (2o, 5o) während der Annäherung der ersten Oberfläche (2o) zur zweiten Oberfläche (5o) vorgesehen sind. Vorrichtung nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehlers kontinuierlich, insbesondere
ununterbrochen, während der Annäherung, insbesondere bis zum
Erreichen der Endposition einsetzbar sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass auf der ersten Oberfläche (2o) und/oder der zweiten Oberfläche (5o) Prägestrukturen (3) zum Prägen eines
Prägematerials (4) zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche (2o, 5o) vorgesehen sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Annäherung einer
Translationsbewegung der ersten und zweiten Aufnahmeeinrichtung ( 1 , 6) in der Translationsrichtung (T) quer zu den Aufnahmeflächen ( l a, 6a) bewirkend ausgebildet sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehlers, insbesondere spektroskopisch arbeitende, Messmittel zur Messung der Winkellage in dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat während der Annäherung der ersten Oberfläche (2o) zur zweiten Oberfläche (5o) umfassen.
Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die
Messmittel mehrere, insbesondere mindestens drei, insbesondere in der ersten und/oder zweiten Aufnahmeeinrichtung ( 1 , 6) jeweils unterhalb der ersten und/oder zweiten Aufnahmefläche ( l a, 6a) verbaute,
Sensoren (8) zur Messung der Abstände der ersten Oberfläche (2o) und der zweiten Oberfläche (5o) zu dem jeweiligen Sensor (8) in
Translationsrichtung (T) sowie insbesondere der Abstände einer der ersten Oberfläche (2o) abgewandten ersten Auflagefläche (2a) des ersten Substrats (2) und einer der zweiten Oberfläche (5o)
abgewandten zweiten Auflagefläche (5a) des zweiten Substrats (5) aufweisen.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Verringerung des
Keilfehlersantriebsmittel zur Änderung der Winkellage des ersten Substrats (2) zum zweiten Substrat (5), insbesondere ersten Oberfläche (2o) zur zweiten Oberfläche (5o), umfassen, wobei die Antriebsmittel an der ersten und/oder der zweiten Aufnahmeeinrichtung (1 , 6) angeordnet sind.
Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel zur Verringerung des Keilfehlers eine aktive Steuerungseinrichtung zur Steuerung der Verringerung des Keilfehlers, insbesondere zur Erfassung der Messwerte der Messmittel und zur korrespondierenden Ansteuerung der Antriebsmittel umfassen.
Verfahren zur gegenüberliegenden Ausrichtung einer ersten Oberfläche eines ersten Substrats mit einer zweiten Oberfläche eines zweiten Substrats mit Abstand zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche, dadurch gekennzeichnet, dass ein Keilfehler zwischen der ersten und der zweiten Oberfläche während der Annäherung der ersten Oberfläche zur zweiten Oberfläche verringert wird.
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