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TWI872191B - 加工裝置 - Google Patents

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TWI872191B
TWI872191B TW110102583A TW110102583A TWI872191B TW I872191 B TWI872191 B TW I872191B TW 110102583 A TW110102583 A TW 110102583A TW 110102583 A TW110102583 A TW 110102583A TW I872191 B TWI872191 B TW I872191B
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TW
Taiwan
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image
front side
unit
back side
workpiece
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Application number
TW110102583A
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English (en)
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TW202130459A (zh
Inventor
小嶋芳昌
久保敦嗣
Original Assignee
日商迪思科股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by 日商迪思科股份有限公司 filed Critical 日商迪思科股份有限公司
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Abstract

[課題]提供一種加工裝置，其在將從工作夾台的下方拍攝被加工物的圖像顯示於顯示裝置，來讓作業人員一邊觀看所顯示之該圖像一邊進行作業的情況下，可減少作業人員的負擔。 [解決手段]提供一種加工裝置，前述加工裝置具備：工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件具有以透明材從一面形成到另一面的預定的區域；加工單元，對被加工物進行加工；第1拍攝單元，設置於工作夾台的上方，來取得背面側的正像；第2拍攝單元，設置於工作夾台的下方，來取得正面側的正像；顯示裝置，顯示以第1拍攝單元所拍攝到的背面側之圖像及以第2拍攝單元所拍攝到的正面側之圖像的至少任一個圖像；及控制部，使背面側的正像及正面側的正像的任一個以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於顯示裝置，以讓背面側的正像與正面側的正像的方向一致。

Description

加工裝置
本發明是有關於一種以保持正面側形成有預定的型樣之被加工物的該正面側的狀態來對被加工物的背面側進行加工的加工裝置。
利用於行動電話、個人電腦等電氣機器的半導體器件晶片，是藉由例如對以矽等的半導體材料所形成之圓盤狀的晶圓(被加工物)進行加工來製造。在被加工物的正面側設定有複數條分割預定線，且在以複數條分割預定線所區劃出的各區域中形成有IC(積體電路，Integrated Circuit)、LSI(大型積體電路，Large Scale Integration)、MEMS(微機電系統，Micro Electro Mechanical Systems)等的器件。
為了從被加工物製造器件晶片，可在例如藉由磨削被加工物的背面側而將被加工物薄化成預定的厚度後，藉由沿著各分割預定線切削被加工物，來將被加工物分割成器件單位而製造器件晶片。
在切削被加工物之切削步驟中，是使用切削裝置，前述切削裝置具備於主軸的一端裝設有切削刀片的切削單元、及吸引並保持被加工物之工作夾台。在通常的切削步驟中，首先是將被加工物的正面側設成向上，而以工作夾台吸引並保持被加工物的背面側。
在保持背面側後，可藉由以設置於工作夾台之上方的第1相機拍攝被加工物的正面側來進行校準。第1相機具有用於以可見光拍攝被攝體的CCD(電荷耦合器件，Charge-Coupled Device)影像感測器或CMOS(互補式金屬氧化物半導體，Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)影像感測器等之拍攝元件。
可依據以第1相機拍攝形成有校準標記等之被加工物的正面側的結果，來進行被加工物的位置補正等的校準。校準後，沿著各分割預定線以切削刀片切削被加工物。
但是，近年來，隨著器件的多樣化，有時會從被加工物的背面側切削被加工物(參照例如專利文獻1)。此時，由於將被加工物的正面側配置成向下且以工作夾台保持，因此即使以設置於工作夾台的上方的第1相機來拍攝被加工物的背面側，也無法拍攝校準標記等。
於是，已開發有一種切削裝置，前述切削裝置具備以對可見光透明的材料所形成的工作夾台、及配置於工作夾台的下方之可見光用之第2相機(參照例如專利文獻2)。
只要使用第2相機，即可以在以工作夾台保持被加工物的正面側的狀態下，從工作夾台的下方拍攝被加工物的正面側。因此，即使在將被加工物的背面側設成向上，並以工作夾台保持被加工物的正面側的情況下，也可以觀察正面側。 先前技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2006-140341號公報 專利文獻2：日本特開2010-87141號公報
發明欲解決之課題
但是，在將以第2相機所取得的正面側之圖像、及以第1相機所取得的背面側之圖像直接顯示在液晶顯示器等之顯示裝置的情況下，和背面側之圖像相比較，正面側之圖像會以在左右或上下翻轉的狀態來顯示。
其結果，會成為例如正面側之圖像中的左方向為與背面側之圖像中的右方向相對應之情形。因此，對作業人員而言，要掌握正面側與背面側的對應關係並不容易，此情形會成為作業人員的負擔。
本發明是有鑒於所述之問題點而作成的發明，其目的在於提供一種加工裝置，其在將從工作夾台的下方拍攝被加工物的圖像並顯示於顯示裝置，而讓作業人員一邊觀看所顯示之該圖像一邊進行作業的情況下，可減少作業人員的負擔。 用以解決課題之手段
根據本發明的一態樣，可提供一種加工裝置，前述加工裝置具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第1拍攝單元，具有第1拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的正像； 第2拍攝單元，具有第2拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第1拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的正像； 顯示裝置，顯示以該第1拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第2拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像；及 控制部，具有記憶裝置與處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像，且控制部使該背面側的正像及該正面側的正像的任一個以已進行圖像整理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的正像與該正面側的正像的方向一致。
根據本發明的其他的態樣，可提供一種加工裝置，前述加工裝置具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第1拍攝單元，具有第1拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的正像； 第3拍攝單元，具有第3拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第1拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的鏡像；及 顯示裝置，顯示以該第1拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第3拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像。
較佳的是，加工裝置更具備控制部，前述控制部具有記憶裝置及處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像，該控制部使該背面側的正像及該正面側的鏡像之雙方以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的正像與該正面側的鏡像的方向一致。
根據本發明的其他的態樣，可提供一種加工裝置，前述加工裝置具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第4拍攝單元，具有第4拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的鏡像； 第2拍攝單元，具有第2拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第4拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的正像；及 顯示裝置，顯示以該第4拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第2拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像。
較佳的是，加工裝置更具備控制部，前述控制部具有記憶裝置與處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像，該控制部使該背面側的鏡像及該正面側的正像之雙方以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的鏡像與該正面側的正像的方向一致。
根據本發明的其他的態樣，可提供一種加工裝置，前述加工裝置具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第4拍攝單元，具有第4拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的鏡像； 第3拍攝單元，具有第3拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第4拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的鏡像； 顯示裝置，顯示以該第4拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第3拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像；及 控制部，具有記憶裝置與處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像，且控制部使該背面側的鏡像及該正面側的鏡像的任一個以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的鏡像與該正面側的鏡像的方向一致。
較佳的是，在該顯示裝置中，是將該正面側之圖像和該背面側之圖像一起顯示。
又，較佳的是，該加工單元為切削單元或雷射照射單元，前述切削單元具有主軸，且在該主軸的一端裝設有切削刀片，前述雷射照射單元具有產生雷射光束的雷射振盪器、及使從該雷射振盪器所射出的該雷射光束聚光的聚光透鏡。 發明效果
本發明之一態樣的加工裝置的工作夾台，具有以透明材從一面形成到另一面的預定的區域。在工作夾台的上方設置有取得背面側的正像之第1拍攝單元。又，在工作夾台的下方設置有第2拍攝單元，前述第2拍攝單元在被加工物的厚度方向上之和以第1拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得正面側的正像。
加工裝置更具備顯示裝置與控制部。顯示裝置會顯示以第1拍攝單元所取得的背面側之圖像、及以第2拍攝單元所取得的正面側之圖像的至少任一個圖像。
控制部使背面側的正像及正面側的正像的任一個以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於顯示裝置，以讓背面側的正像與正面側的正像的方向一致。藉此，由於作業人員變得容易掌握正面側與背面側的對應關係，因此可減少作業人員的負擔。
用以實施發明之形態
參照附加圖式，說明本發明之一態樣的實施形態。圖1是第1實施形態之切削裝置2的立體圖。再者，在圖1中，是將構成要素的一部分以功能方塊圖來表示。又，在以下的說明中所使用之X軸方向(加工進給方向)、Y軸方向(分度進給方向)及Z軸方向(鉛直方向、切入進給方向)是互相垂直的。
切削裝置(加工裝置)2具備支撐各構成要素的基台4。於基台4的前方(+Y方向)的角部形成有開口4a，在此開口4a內設置有片匣升降機(未圖示)。在片匣升降機的上表面可載置用於容置複數個被加工物11(參照圖2)之片匣6。
被加工物11是例如以矽等的半導體材料所形成的圓盤狀的晶圓。但是，對被加工物11的材質、形狀、構造、大小等並無限制。也可以使用例如以其他的半導體、陶瓷、樹脂、金屬等的材料所形成之基板等作為被加工物11。
如圖2所示，被加工物11的正面11a側是藉由互相交叉的複數條分割預定線(切割道)13而區劃成複數個區域。在正面11a側的各區域中形成有IC(積體電路，Integrated Circuit)等的器件15、校準標記(圖7(A)的標記98)等。但是，對於器件15的種類、數量、形狀、構造、大小、配置等並無限制。在被加工物11上亦可未形成有器件15。
於被加工物11的正面11a側貼附有直徑比被加工物11更大的膠帶(切割膠帶)17。膠帶17是以可讓可見光穿透的透明材來形成。膠帶17具有例如基材層、及黏著層(糊層)之積層構造。
基材層是以例如聚烯烴(PO)等所形成。黏著層是以例如紫外線(UV)硬化型之丙烯酸樹脂等的黏著性樹脂所形成。可將此膠帶17的黏著層側貼附於被加工物11的正面11a側。
在膠帶17的外周部分，固定有以金屬所形成的環狀的框架19。像這樣，被加工物11是以透過膠帶17被框架19所支撐之被加工物單元21的狀態來容置到片匣6。圖2是被加工物單元21的立體圖。
如圖1所示，在開口4a的後方(-Y方向)形成有在X軸方向上較長的開口4b。在開口4b配置有圓盤狀的工作夾台10。再者，在工作夾台10之外周部，設置有沿圓周方向離散地形成有吸引口之圓環狀的框架吸引板(未圖示)。
在此，參照圖3至圖5，更詳細地說明工作夾台10等。圖3是工作夾台10等的立體圖，圖4是工作夾台10等的局部截面側視圖。但是，在圖4中，為了方便而省略剖面線。圖5是圖4之區域A的放大圖。在圖5中，是將構成要素的一部分以功能方塊圖來表示。
工作夾台10具有圓盤狀(板狀)的保持構件12。保持構件12包含大致平坦的一面12a、及與該一面12a位於相反側的另一面12b(參照圖5)。保持構件12是以鈉玻璃、硼矽酸玻璃、石英玻璃等之可見光可穿透的透明材所形成。
在保持構件12的內部形成有複數個流路。在本實施形態之保持構件12的內部，在從Z軸方向觀看保持構件12的情況下，以橫切圓盤的中心軸的形式而形成有直線狀的第1吸引路12c 1。又，以在XY平面方向上和第1吸引路12c 1正交的態樣而形成有直線狀的第2吸引路12c 2。
第1吸引路12c 1及第2吸引路12c 2是在位於圓盤的中心軸的交點12c 3上相交且互相連接。在一面12a的外周部，以於圓周方向上互相分開的方式形成有複數個開口部12d。各開口部12d是從一面12a形成到未到達另一面12b之預定的深度。
在第1吸引路12c 1的兩端部、與第2吸引路12c 2的兩端部各自形成有開口部12d。各開口部12d是藉由形成於保持構件12的外周部之預定的深度的外周吸引路12e，而在圓周方向上連接。
在開口部12d之外周側形成有朝徑方向延伸之吸引路12f，且於吸引路12f連接有噴射器等之吸引源14(參照圖5)。當使吸引源14動作而產生負壓時，在開口部12d會產生負壓。因此，一面12a是作為吸引並保持被加工物單元21(被加工物11)的保持面而發揮功能。
然而，入射之光的一部分會在第1吸引路12c 1、第2吸引路12c 2、開口部12d、外周吸引路12e、吸引路12f等之保持構件12的流路上散射或反射。因此，保持構件12的流路在從一面12a或另一面12b觀看的情況下，並非完全地對可見光透明，而是有具有透光性的情況或不透明的情況。
但是，將保持構件12之流路除外的預定區域則是從一面12a到另一面12b都是透明的。具體而言，從一面12a到另一面12b透明之區域為：被第1吸引路12c 1及第2吸引路12c 2分割成4個，且在保持構件12的徑方向上位於比外周吸引路12e更內側的區域。
在保持構件12的外周設有以不鏽鋼等金屬材料所形成之圓筒狀的框體16。在框體16的上部形成有開口部16a(參照圖5)，保持構件12是配置成將此開口部16a堵塞。
如圖3及圖4所示，框體16是受到X軸移動工作台18所支撐。X軸移動工作台18包含從Z軸方向所觀看到的形狀為長方形之底板18a。在底板18a之前方(+Y方向)的一端，連接有從Y軸方向所觀看到的形狀為長方形之側板18b的下端。
在側板18b的上端連接有從Z軸方向所觀看到的形狀為與底板18a相同的長方形之頂板18c的前方的一端。在底板18a與頂板18c之間形成有朝後方(-Y方向)的一端及X軸方向的兩端開放的空間18d。
在底板18a之下方(-Z方向)以可使底板18a滑動的態樣而設置有在X軸方向上大致平行的一對X軸導軌20。一對X軸導軌20是固定於靜止基台(未圖示)的上表面。
在相鄰於X軸導軌20的位置設置有可在檢測X軸移動工作台18之X軸方向的位置時使用的X軸線性標度尺20a。又，在X軸移動工作台18的下表面側設有讀取頭(未圖示)。
在X軸移動工作台18的移動時，可藉由以讀取頭來檢測X軸線性標度尺20a的刻度，而計算X軸移動工作台18之X軸方向的位置(座標)、或X軸方向的移動量。
在X軸移動工作台18的底板18a的下表面側設置有螺帽部(未圖示)，且在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有大致平行於X軸導軌20之X軸滾珠螺桿22。
在X軸滾珠螺桿22的一端部連結有X軸脈衝馬達24。只要以X軸脈衝馬達24使X軸滾珠螺桿22旋轉，X軸移動工作台18即可沿著X軸導軌20在X軸方向上移動。X軸導軌20、X軸滾珠螺桿22、X軸脈衝馬達24等是構成使X軸移動工作台18移動的X軸移動機構26。
在X軸移動工作台18的頂板18c的上表面側，是將框體16以可繞著與Z軸方向大致平行的旋轉軸的方式旋轉的態樣來支撐於頂板18c。框體16包含圓筒狀的側面即帶輪部16b。在框體16已被X軸移動工作台18所支撐的情況下，帶輪部16b位於比頂板18c更上方。
在X軸移動工作台18的側板18b設置有馬達等之旋轉驅動源30。在旋轉驅動源30的旋轉軸設置有帶輪30a。於帶輪30a及帶輪部16b上掛設有1個旋轉無端傳送帶(傳送帶28)。
若使旋轉驅動源30動作來使帶輪30a旋轉，框體16會藉由透過傳送帶28所傳達之力，而以繞著與Z軸方向大致平行的旋轉軸的方式來旋轉。藉由控制帶輪30a之旋轉，可以讓工作夾台10以繞著旋轉軸的方式旋轉相當於任意的角度。
在X軸移動機構26之X軸方向的延長線上設置有Y軸移動機構32。Y軸移動機構32具備有大致平行於Y軸方向的一對Y軸導軌34。一對Y軸導軌34是固定於靜止基台(未圖示)的上表面。
在Y軸導軌34上，可滑動地安裝有Y軸移動工作台36。在Y軸移動工作台36的下表面側設有螺帽部(未圖示)，在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有大致平行於Y軸導軌34之Y軸滾珠螺桿38。
在Y軸滾珠螺桿38的一端部連結有Y軸脈衝馬達40。只要以Y軸脈衝馬達40使Y軸滾珠螺桿38旋轉，Y軸移動工作台36即沿著Y軸導軌34在Y軸方向上移動。
在相鄰於Y軸導軌34的位置上設置有可在檢測Y軸移動工作台36之Y軸方向的位置時使用的Y軸線性標度尺(未圖示)。又，在Y軸移動工作台36的下表面側設有讀取頭(未圖示)。
在Y軸移動工作台36的移動時，可藉由以讀取頭來檢測Y軸線性標度尺的刻度，而計算Y軸移動工作台36的Y軸方向的位置(座標)、或Y軸方向的移動量。
在Y軸移動工作台36的上表面設置有Z軸移動機構42。圖6是Z軸移動機構42等的放大立體圖。Z軸移動機構42具有固定於Y軸移動工作台36的上表面之支撐構造42a。
在支撐構造42a的X軸移動工作台18側的側面，固定有大致平行於Z軸方向的一對Z軸導軌44。在Z軸導軌44上可滑動地安裝有Z軸移動板46。
在Z軸移動板46的背面側(側面的Z軸導軌44側)設置有螺帽部(未圖示)，且在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有大致平行於Z軸導軌44之Z軸滾珠螺桿48。
在Z軸滾珠螺桿48的一端部連結有Z軸脈衝馬達50。只要以Z軸脈衝馬達50使Z軸滾珠螺桿48旋轉，Z軸移動板46即沿著Z軸導軌44在Z軸方向上移動。
在相鄰於Z軸導軌44的位置上設置有Z軸線性標度尺(未圖示)，且在Z軸移動板46的Z軸導軌44側設置有讀取頭(未圖示)。在Z軸移動板46的移動時，可藉由以讀取頭來檢測Z軸線性標度尺的刻度，而計算Z軸移動板46的Z軸方向的位置(座標)等。
在Z軸移動板46上，透過在X軸方向上較長的支撐臂52而固定有下方拍攝單元(第2拍攝單元)54。本實施形態的下方拍攝單元54包含低倍率相機56與高倍率相機58。
低倍率相機56及高倍率相機58的每一個具有透鏡等之預定的光學系統、與CCD(電荷耦合器件，Charge-Coupled Device)影像感測器或CMOS(互補式金屬氧化物半導體，Complementary Metal-Oxide-Semiconductor)影像感測器等之拍攝元件(第2拍攝元件)。
下方拍攝單元54是配置在比工作夾台10更下方，並以各透鏡的光軸成為大致垂直於保持構件12的另一面12b的態樣，來相向於另一面12b而設置。
在低倍率相機56之側邊，設置有可對位於上方之被攝體(例如被加工物11)照射可見光之照明裝置56a。同樣地，在高倍率相機58之側邊也設置有照明裝置58a。
在以下方拍攝單元54拍攝被加工物11的情況下，是使X軸移動工作台18朝Y軸移動工作台36側移動，而將下方拍攝單元54配置到空間18d。並且，從下方拍攝配置在保持構件12的一面12a側的被加工物11。
如此進行，可以取得正面11a側的正像(亦即，實際直接觀看到的圖像)。再者，下方拍攝單元54亦可不一定具有低倍率相機56及高倍率相機58之2個相機。下方拍攝單元54亦可僅具有1個預定的倍率之相機。
在此，回到圖1，針對切削裝置2的其他構成要素進行說明。在比X軸移動工作台18的頂板18c更朝+X方向及-X方向，以覆蓋開口4b的態樣而安裝有伸縮自如之蛇腹狀的防塵防滴蓋。
在開口4b的上方，以跨越開口4b的方式設有門型的支撐構造4c。在支撐構造4c的側面當中位於朝開口4a側的一個側面上設置有2個加工單元移動機構(分度進給單元、切入進給單元)60。
各個加工單元移動機構60是固定於支撐構造4c的一個側面且共有大致平行於Y軸方向的一對Y軸導軌62。在Y軸導軌62上，以可互相獨立地滑動的態樣安裝有2個Y軸移動板64。
在Y軸移動板64的位於支撐構造4c側的一面，設置有螺帽部(未圖示)，且在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有大致平行於Y軸導軌62之Y軸滾珠螺桿66。再者，各Y軸移動板64之螺帽部是連結於不同的Y軸滾珠螺桿66。
在各Y軸滾珠螺桿66的一端部連結有Y軸脈衝馬達68。只要以Y軸脈衝馬達68使Y軸滾珠螺桿66旋轉，Y軸移動板64即沿著Y軸導軌62在Y軸方向上移動。
在各Y軸移動板64之位於與支撐構造4c為相反側的另一面上，分別設置有在大致平行於Z軸方向的一對Z軸導軌72。在Z軸導軌72上可滑動地安裝有Z軸移動板70。
在Z軸移動板70的位於支撐構造4c側的一面，設置有螺帽部(未圖示)，且在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有平行於Z軸導軌72之Z軸滾珠螺桿74。
在Z軸滾珠螺桿74的一端部連結有Z軸脈衝馬達76。只要以Z軸脈衝馬達76使Z軸滾珠螺桿74旋轉，Z軸移動板70即沿著Z軸導軌72在Z軸方向上移動。
在Z軸移動板70的下部設置有切削單元(加工單元)78。切削單元78具備有筒狀的主軸殼體80。在主軸殼體80內，以可旋轉的態樣容置有圓柱狀的主軸82a(參照圖9)的一部分。
在主軸82a的一端連結有使主軸82a旋轉之伺服馬達等的旋轉驅動機構(未圖示)。又，在主軸82a的另一端裝設有具有圓環狀的切刃的切削刀片82b。
在Z軸移動板70的下部，以相鄰於切削單元78的態樣連結有上方拍攝單元(第1拍攝單元)84。上方拍攝單元84具有透鏡等之預定的光學系統、及拍攝元件(第1拍攝元件)。
上方拍攝單元84位於工作夾台10的上方，且是以透鏡的光軸大致垂直於保持構件12的一面12a的態樣，來相向於一面12a而設置。上方拍攝單元84會拍攝正面11a側已被一面12a保持之被加工物11的背面11b。如此進行，可以取得背面11b側的正像。
在相對於開口4b而在與開口4a為相反側的位置上，設置有開口4d。在開口4d內設有用於將切削後的被加工物11等洗淨的洗淨單元86。洗淨單元86包含吸引保持被加工物11的洗淨工作台88，及將噴射口配置成相向於洗淨工作台88的噴嘴90。
在基台4上設置有未圖示之箱體，在箱體的前方的側面設置有兼作為輸入部與顯示部的觸控面板(顯示裝置)92。於觸控面板92可顯示以下方拍攝單元54及上方拍攝單元84的至少任一個所拍攝到的圖像、加工條件、GUI(圖形使用者介面，Graphical User Interface)等。
再者，亦可將輸入部與顯示部分離。在此情況下，可將視訊監視器(video monitor)、電腦螢幕(computer screen)等的顯示裝置、與成為使用者介面的鍵盤、滑鼠等之輸入裝置設置在例如箱體的前方的側面，來取代觸控面板92。
切削裝置2具備控制部94，前述控制部94會控制吸引源14、X軸移動機構26、旋轉驅動源30、Y軸移動機構32、Z軸移動機構42、下方拍攝單元54、加工單元移動機構60、上方拍攝單元84、切削單元78、觸控面板92等。
控制部94藉由電腦來構成，前述電腦包含例如以CPU(中央處理單元，Central Processing Unit)為代表之處理器等的處理裝置、DRAM(動態隨機存取記憶體，Dynamic Random Access Memory)、SRAM(靜態隨機存取記憶體，Static Random Access Memory)、ROM(唯讀記憶體，Read Only Memory)等之主記憶裝置、及快閃記憶體、硬碟驅動機、固態硬碟等之輔助記憶裝置。
在輔助記憶裝置中記憶有包含預定的程式之軟體。藉由依照此軟體來使處理裝置等動作，可實現控制部94的功能。再者，輔助記憶裝置的一部分是作為記憶裝置96而發揮功能，前述記憶裝置96記憶有使控制部94執行預定的圖像處理之程式。
在記憶裝置96記憶有程式，前述程式會進行使圖像在預定方向上翻轉的圖像處理。藉由圖像處理，正面11a側之圖像會例如朝X軸方向翻轉(左右翻轉)。簡單地說明使圖像在X軸方向上翻轉之演算法(algorithm)之一例。
考慮圖像的四個角落的座標為(x 1, y 1)、(x 1, y 2)、(x 2, y 1)、(x 2, y 2)的情況。在此情況下，相對於((x 1+x 2)/2, y 1)來將(x 1, y 1)的像素中的像素值與(x 2, y 1)的像素中的像素值對調。
對於通過(x 1+x 2)/2之平行於Y軸的直線，也對其他的座標的像素來進行同樣的作業，藉此可以將圖像在X軸方向上翻轉。再者，並不限定於此例，亦可採用使圖像在預定方向上翻轉的其他的演算法。
又，在記憶裝置96記憶有進行型樣匹配等的圖像處理的程式。該程式是已知的，且可利用該程式，從正面11a側之圖像來提取出已形成於於正面11a側之預定的型樣。
預定的型樣是例如分割預定線13、器件15、標記98、及電路100(參照圖7(A)等)的輪廓。再者，標記98有時也被稱為校準標記、主要型樣、目標型樣等。
圖7(A)是正面11a側之圖像之一例。在讓以下方拍攝單元54所取得的正面11a側的正像、及以上方拍攝單元84所取得的背面11b側的正像直接顯示在觸控面板92的情況下，圖7(A)所示之正面11a側的正像，和背面11b側的正像相比較，是在X軸方向上翻轉。
其結果，由於例如正面11a側之圖像中的左方向為與背面11b側之圖像中的右方向相對應，因此對作業人員而言，要掌握正面11a側與背面11b側的對應關係並不容易。這種情形會成為操作切削裝置2之作業人員的負擔。
在本實施形態中，是控制部94對正面11a側的正像進行圖像處理，而使該正像在已相對於X軸方向(預定方向)翻轉的狀態(亦即鏡像的狀態)下顯示於觸控面板92，以讓背面11b側的正像與正面11a側的正像的方向一致。
圖7(B)是已在預定方向上被翻轉成和背面11b側之圖像的方向一致的正面11a側之圖像之一例。圖7(B)是圖7(A)的鏡像。正面11a側的正像是如圖7(B)所示地以鏡像的狀態來顯示於觸控面板92。
藉此，作業人員能夠以從背面11b(上表面)穿透被加工物11來觀看正面11a(下表面)的方式觀看正面11a側。從而，變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係，而可減少作業人員的負擔。
亦可將正面11a側之圖像與背面11b側之圖像選擇性地顯示於觸控面板92，亦可將正面11a側之圖像與背面11b側之圖像一起顯示於觸控面板92。
例如，可將形成於背面11b側之包含切削溝(刀痕)的區域之圖像23b、與在被加工物11的厚度方向上和背面11b側的該區域相對應之正面11a側的區域之圖像23a同時顯示在觸控面板92(參照圖8(A))。
再者，上方拍攝單元84與下方拍攝單元54相對於工作夾台10的各個位置，可藉由控制部94來掌握。因此，可在被工作夾台10的一面12a所保持的被加工物11中，特定背面11b側的預定的區域、及與該區域相對應之正面11a側的區域。
圖8(A)是各自顯示在觸控面板92的正面11a側的鏡像之圖像23a與背面11b側的正像之圖像23b的顯示方法之一例。藉由將圖像23a及圖像23b一起顯示，相較於圖像23a與圖像23b擇一地顯示之情況，變得較容易進行刀痕檢查。
再者，圖像23a及圖像23b亦可不一定如圖8(A)地排列而顯示。圖8(B)是正面11a側之圖像23a與背面11b側之圖像23b的顯示方法之其他例。
如圖8(B)所示，亦可在正面11a側之圖像23a的一部分顯示背面11b側之圖像23b。當然，只要作業人員可以同時觀察圖像23a及圖像23b即可，亦可採用其他的顯示方法。
又，亦可將正面11a側的鏡像之圖像設為圖像23a，且將正面11a側的正像之圖像設為圖像23b，並將圖像23a及圖像23b如圖8(A)地顯示在觸控面板92。再者，亦可取代於此，而將正面11a側的正像之圖像設為圖像23a，並將正面11a側的鏡像之圖像設為圖像23b。
接著，使用圖9、圖10等，來說明被加工物11的加工方法。首先，將被加工物單元21以背面11b側朝上方露出之態樣載置於工作夾台10的一面12a(載置步驟(S10))。
在載置步驟(S10)後，使吸引源14動作，而以一面12a隔著膠帶17來保持被加工物11的正面11a側，並以框架吸引板(未圖示)保持框架19(保持步驟(S20))。保持步驟(S20)後，進行教導步驟(S30)。
在教導步驟(S30)中，是例如使用下方拍攝單元54來拍攝正面11a側的正像，並且以即時的方式使已將此正像轉換成鏡像之圖像顯示在觸控面板92，而在此狀態下讓作業人員搜尋正面11a側的標記98。
在發現到所期望的標記98後，以下方拍攝單元54取得包含該標記98的正面11a側之圖像。標記98的形狀、座標等可作為型樣匹配的模板而記憶於例如記憶裝置96。
又，可將標記98與分割預定線13的中心線之距離、及在Y軸方向上相鄰的2條分割預定線13的距離(切割道間距)記憶於記憶裝置96。再者，所記憶之各座標是以上述之交點12c 3為原點的XY座標。
在教導步驟(S30)後，進行被加工物11的校準(校準步驟(S40))。即使在校準步驟(S40)中，也是以即時方式讓以下方拍攝單元54所取得的正面11a側的正像已被轉換成鏡像之圖像顯示於觸控面板92，來讓作業人員在此狀態下進行作業。
在校準步驟(S40)中，首先是利用下方拍攝單元54(例如，低倍率相機56)在沿著X軸方向的1條分割預定線13上的相互分開的複數處取得正面11a側之圖像。
並且，在複數處所取得的正面11a側之圖像中，可藉由型樣匹配等之預定的處理，來檢測與已記憶為模板之標記98相同的型樣。依據與所檢測出的標記98相同的型樣，可特定出分割預定線13在繞保持構件12的中心軸的θ方向之偏移。
之後，藉由使旋轉驅動源30動作而使傳送帶28旋轉預定量，來補正分割預定線13的θ方向之偏移。藉此，將分割預定線13定位成與X軸方向大致平行。再者，在校準步驟(S40)中，亦可進行θ方向的補正以外之預定的處理、操作等。
校準步驟(S40)後，對被加工物11進行切削(加工)(切削步驟(S50))。圖9是顯示切削步驟(S50)的圖。在切削步驟(S50)中，首先是將以高速旋轉中的切削刀片82b定位在分割預定線13的延長線上。
此時，將切削刀片82b的下端定位在被加工物11的正面11a與背面11b之間。並且，以X軸移動機構26使工作夾台10與切削刀片82b沿著X軸方向相對地移動。
藉此，可藉由切削刀片82b在被加工物11的厚度方向上將被加工物11從背面11b側局部地切削(加工)至未到達正面11a之預定的深度(亦即，進行半切(half cut))，而沿著分割預定線13形成切削溝11c。
再者，在切削步驟(S50)中的切削並不限定於半切。在切削步驟(S50)中，亦可藉從背面11b至正面11a切斷的方式來對被加工物11進行切削(亦即，全切(full cut))。
藉由沿著平行於X軸方向的1條分割預定線13來切削被加工物11後將切削單元78分度進給，來將切削刀片82b定位到在Y軸方向上相鄰的分割預定線13的延長線上。然後，同樣地，沿著分割預定線13切削被加工物11。
如此進行，而沿著平行於第1方向的全部的分割預定線13對被加工物11進行切削後，使旋轉驅動源30動作，而使工作夾台10旋轉90度。然後，將與第1方向正交的第2方向定位成與X軸方向平行，並沿著平行於第2方向的所有分割預定線13切削被加工物11。
在切削步驟(S50)之後，進行刀痕檢查步驟(S60)。圖10是顯示刀痕檢查步驟(S60)的圖。在刀痕檢查步驟(S60)中，是拍攝包含切削溝11c之背面11b側的區域、與相對於該區域在被加工物11的厚度方向上互相對應的正面11a側的區域。
並且，將背面11b側的正像設為圖像23b，且將正面11a側的鏡像設為圖像23a來顯示於觸控面板92。藉此，由於變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係，因此刀痕檢查時的作業人員的負擔可減少。
然而，在本實施形態中，雖然是對正面11a側的正像進行圖像處理來製作出鏡像，但是亦可對背面11b側的正像進行圖像處理來製作出鏡像。在此情況下，可將正面11a側的正像設為圖像23a，並將背面11b側的鏡像設為圖像23b來顯示於觸控面板92。
接著，針對第1變形例進行說明。在第1變形例中，是上方拍攝單元84取得背面11b側的正像，下方拍攝單元54(第3拍攝單元)取得正面11a側的鏡像。
並且，控制部94在毋須對背面11b側及正面11a側之圖像施行翻轉處理的情形下，使兩者顯示於觸控面板92。圖11是顯示第1變形例之下方拍攝單元54等的圖。
再者，在圖11中，為了方便而省略了側板18b。在第1變形例之下方拍攝單元54中，在支撐臂52之長邊方向的兩端之間，配置有各自具有透鏡、拍攝元件(第3拍攝元件)等的低倍率相機56及高倍率相機58。
低倍率相機56及高倍率相機58的各自的透鏡之光軸是配置成大致平行於X軸方向。再者，在各相機設置有照明裝置56a、58a，但省略圖示。
於支撐臂52的前端部配置有鏡子單元54b，前述鏡子單元54b具有在XZ平面上相對於X軸傾斜45度之鏡面54a，並將來自正面11a側的反射光導向低倍率相機56及高倍率相機58。
藉由各相機拍攝已被鏡子單元54b映照到鏡子之正面11a側，下方拍攝單元54可以取得已在X軸方向上翻轉的正面11a側之圖像(亦即鏡像)。並且，可將正面11a側的鏡像與背面11b側的正像直接顯示在觸控面板92。
藉此，作業人員由於能夠以從背面11b穿透被加工物11來觀看正面11a的方式觀看正面11a側，因此變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係。因此，可降低作業人員的負擔。
再者，鏡子單元54b亦可在低倍率相機56及高倍率相機58的每一個相機中來設置於透鏡與拍攝元件之間。在此情況下，各透鏡是以透鏡的光軸沿著Z軸方向的方式來配置。
另外，在第1變形例中，也可以利用控制部94來執行圖像處理。例如控制部94對背面11b側的正像及正面11a側的鏡像之雙方以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於觸控面板92，以讓背面11b側的正像與正面11a側的鏡像的方向一致。
藉此，作業人員由於能夠以從正面11a穿透被加工物11來觀看背面11b的方式觀看背面11b側，因此變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係。因此，可降低作業人員的負擔。
接著，針對第2變形例進行說明。在第2變形例中，是上方拍攝單元84(第4拍攝單元)取得背面11b側的鏡像，且下方拍攝單元54(第2拍攝單元)取得正面11a側的正像。
並且，控制部94在毋須對背面11b側及正面11a側之圖像施行翻轉處理的情形下，使兩者顯示於觸控面板92。圖12是顯示第2變形例之上方拍攝單元84等的圖。再者，在圖12中，為了方便而省略了側板18b。
在第2變形例之上方拍攝單元84中，在支撐臂84a的長邊方向的兩端之間，配置有具有透鏡、拍攝元件(第4拍攝元件)等之相機84b。相機84b的透鏡的光軸是配置成大致平行於X軸方向。
於支撐臂84a的前端部具有在XZ平面上相對於X軸傾斜45度之鏡面84c，並配置有將來自背面11b側的反射光導向相機84b的鏡子單元84d。
藉由相機84b拍攝已被鏡子單元84d映照到鏡子之背面11b側，上方拍攝單元84可以取得已在X軸方向上翻轉的背面11b側之圖像(亦即鏡像)。
並且，可將背面11b側的鏡像與正面11a側的正像直接顯示在觸控面板92。作業人員由於能夠以從正面11a穿透被加工物11來觀看背面11b的方式觀看背面11b側，因此變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係。因此，可降低作業人員的負擔。
再者，鏡子單元84d亦可設置於相機84b的透鏡與拍攝元件之間。在此情況下，透鏡是以透鏡的光軸沿著Z軸方向的方式來配置。
在第2變形例中，亦可利用控制部94來執行圖像處理。例如控制部94對背面11b側的鏡像及正面11a側的正像之雙方以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於觸控面板92，以讓背面11b側的鏡像與正面11a側的正像之方向一致。
藉此，作業人員由於能夠以從背面11b穿透被加工物11來觀看正面11a的方式觀看正面11a側，因此變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係。因此，可降低作業人員的負擔。
接著，針對第3變形例進行說明。在第3變形例中，是上方拍攝單元84(第4拍攝單元)取得背面11b側的鏡像，下方拍攝單元54(第3拍攝單元)也是取得正面11a側的鏡像。
並且，控制部94在對背面11b側及正面11a側之圖像的任一個施行翻轉處理後，使兩者顯示於觸控面板92。圖13是顯示第3變形例之下方拍攝單元54、上方拍攝單元84等的圖。再者，在圖13中，為了方便而省略了側板18b。
第3變形例之下方拍攝單元54與第1變形例相同，且第3變形例之上方拍攝單元84與第2變形例相同。背面11b側的鏡像及正面11a側的鏡像的任一個是以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於觸控面板92。
例如，可在觸控面板92顯示例如正面11a側的鏡像與背面11b側的正像，前述正面11a側的鏡像是以下方拍攝單元54所取得之圖像，前述背面11b側的正像是藉由圖像處理讓以上方拍攝單元84所取得的背面11b側的鏡像在X軸方向上翻轉後之圖像。
又，可在觸控面板92顯示例如正面11a側的正像與背面11b側的鏡像，前述正面11a側的正像是藉由圖像處理讓以下方拍攝單元54所取得的正面11a側的鏡像在X軸方向上翻轉後之圖像，前述背面11b側的鏡像是以上方拍攝單元84所取得之圖像。
亦即，背面11b側之圖像與正面11a側之圖像是以方向一致的方式來顯示在觸控面板92。藉此，作業人員變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係。因此，可降低作業人員的負擔。
再者，與第1及第2變形例同樣地，鏡子單元54b、84d亦可設置於透鏡與拍攝元件之間。在此情況下，各透鏡是以透鏡的光軸沿著Z軸方向的方式來配置。
其次, 說明第2實施形態。在第2實施形態中，是使用雷射加工裝置(加工裝置)104取代切削裝置2來加工被加工物11。其中，從上述之載置步驟(S10)到校準步驟(S40)是與第1實施形態同樣地進行。
圖14是第2實施形態之雷射加工裝置104的立體圖。再者，對於與第1實施形態之切削裝置2相同的構成要素會附上相同的符號。以下，主要是說明與切削裝置2的差異。
在雷射加工裝置104中，是將下方拍攝單元54固定在靜止基台106。再者，下方拍攝單元54亦可藉可在X軸方向或Y軸方向上移動的態樣來設置。
在靜止基台106上配置有X軸移動工作台18。X軸移動工作台18是配置成可以讓下方拍攝單元54從與X軸移動工作台18之側板18b位於相反側的區域進入到空間18d內。
X軸移動工作台18是以可在1對X軸導軌20上滑動的態樣來設置。1對X軸導軌20是固定在Y軸移動工作台108上。
在X軸移動工作台18的底板18a的下表面側設置有螺帽部(未圖示)，且在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有大致平行於X軸導軌20之X軸滾珠螺桿22。
在X軸滾珠螺桿22的一端部連結有X軸脈衝馬達24。只要以X軸脈衝馬達24使X軸滾珠螺桿22旋轉，X軸移動工作台18即可沿著X軸導軌20在X軸方向上移動。
支撐X軸移動工作台18之Y軸移動工作台108可滑動地安裝在已固定於靜止基台106的上表面的一對Y軸導軌110上。在相鄰於Y軸導軌110的位置上設置有可在檢測Y軸移動工作台108的Y軸方向的位置時使用的Y軸標度尺110a。
在Y軸移動工作台108的下表面側設有螺帽部(未圖示)，在此螺帽部以可旋轉的態樣連結有大致平行於Y軸導軌110之Y軸滾珠螺桿112。在Y軸滾珠螺桿112的一端部連結有Y軸脈衝馬達114。
只要以Y軸脈衝馬達114使Y軸滾珠螺桿112旋轉，Y軸移動工作台108即沿著Y軸導軌110在Y軸方向上移動。Y軸導軌110、Y軸滾珠螺桿112、Y軸脈衝馬達114等是構成使Y軸移動工作台108移動的Y軸移動機構116。
在相鄰於下方拍攝單元54的位置上，以從靜止基台106的上表面朝上方突出的態樣設置有支柱118。於支柱118上設置有罩殼120，前述罩殼120具有大致平行於X軸方向的長邊部。
在罩殼120中設置有雷射照射單元122的至少一部分。雷射照射單元122具有產生可被被加工物11吸收之波長、或穿透被加工物11之波長的脈衝狀的雷射光束的雷射振盪器122a等。
在雷射照射單元122的X軸方向的前端部，設置有包含聚光透鏡124a的照射頭124。從雷射振盪器122a所射出的雷射光束可藉由聚光透鏡124a而聚光，並從照射頭124朝下方照射。
在圖14中，是以虛線箭頭表示從照射頭124朝下方照射的雷射光束L。又，在罩殼120的前端部，在相鄰於照射頭124的位置上設置有上方拍攝單元84。
第2實施形態的控制部94與第1實施形態同樣，可讓已使正面11a側的正像在X軸方向上翻轉後的鏡像、背面11b側的正像顯示於觸控面板92。藉此，由於變得容易掌握正面11a側與背面11b側的對應關係，因此可減少作業人員的負擔。
另外，上述實施形態之構造、方法等，只要在不脫離本發明之目的之範圍內，均可適當變更來實施。例如，在雷射加工裝置104中也可以適用第1至第3變形例。
然而，在上述之實施形態及變形例中，雖然說明了使正面11a側之圖像在X軸方向上翻轉的情況，但是依據包含在XZ平面上相對於X軸傾斜了45度之鏡面的加工裝置之構成，亦可使其在Y軸方向(預定方向)上翻轉。再者，鏡子單元54b、84d亦可具有和相機不同而另外設置且可生成鏡像的透鏡等的其他替代物，來取代鏡面54a、84c。
2:切削裝置 4:基台 4a,4b,4d:開口 4c:支撐構造 6:片匣 10:工作夾台 11:被加工物 11a:正面 11b:背面 11c:切削溝 12:保持構件 12a:一面 12b:另一面 12c 1:第1吸引路 12c 2:第2吸引路 12c 3:交點 12d:開口部 12e:外周吸引路 12f:吸引路 13:分割預定線 14:吸引源 15:器件 16:框體 16a:開口部 16b:帶輪部 17:膠帶 18:X軸移動工作台 18a:底板 18b:側板 18c:頂板 18d:空間 19:框架 20:X軸導軌 20a:X軸線性標度尺 21:被加工物單元 22:X軸滾珠螺桿 23a,23b:圖像 24:X軸脈衝馬達 26:X軸移動機構 28:傳送帶 30:旋轉驅動源 30a:帶輪 32,116:Y軸移動機構 34,62,110:Y軸導軌 36:Y軸移動工作台 38,66,112:Y軸滾珠螺桿 40,68,114:Y軸脈衝馬達 42:Z軸移動機構 42a:支撐構造 44,72:Z軸導軌 46,70:Z軸移動板 48,74:Z軸滾珠螺桿 50,76:Z軸脈衝馬達 52:支撐臂 54:下方拍攝單元 54a:鏡面 54b:鏡子單元 56:低倍率相機 56a:照明裝置 58:高倍率相機 58a:照明裝置 60:加工單元移動機構 64:Y軸移動板 78:切削單元 80:主軸殼體 82a:主軸 82b:切削刀片 84:上方拍攝單元 84a:支撐臂 84b:相機 84c:鏡面 84d:鏡子單元 86:洗淨單元 88:洗淨工作台 90:噴嘴 92:觸控面板 94:控制部 96:記憶裝置 98:標記 100:電路 104:雷射加工裝置 106:靜止基台 108:Y軸移動工作台 110a:Y軸標度尺 118:支柱 120:罩殼 122:雷射照射單元 122a:雷射振盪器 124:照射頭 124a:聚光透鏡 A:區域 L:雷射光束 +X,-X,+Y,-Y,+Z,-Z:方向
圖1是切削裝置的立體圖。 圖2是被加工物單元的立體圖。 圖3是工作夾台等的立體圖。 圖4是工作夾台等的局部截面側視圖。 圖5是圖4之區域A的放大圖。 圖6是Z軸移動機構等的放大立體圖。 圖7(A)是正面側之圖像之一例，圖7(B)是已在預定方向上翻轉的正面側之圖像之一例。 圖8(A)是正面側之圖像與背面側之圖像的顯示方法之一例，圖8(B)是正面側之圖像與背面側之圖像的顯示方法之其他例。 圖9是顯示切削步驟的圖。 圖10是顯示刀痕檢查步驟之圖。 圖11是顯示第1變形例之下方拍攝單元等的圖。 圖12是顯示第2變形例之上方拍攝單元等的圖。 圖13是顯示第3變形例之下方拍攝單元、上方拍攝單元等的圖。 圖14是雷射加工裝置的立體圖。
2:切削裝置 4:基台 4a,4b,4d:開口 4c:支撐構造 6:片匣 10:工作夾台 18:X軸移動工作台 60:加工單元移動機構 62:Y軸導軌 64:Y軸移動板 66:Y軸滾珠螺桿 68:Y軸脈衝馬達 70:Z軸移動板 72:Z軸導軌 74:Z軸滾珠螺桿 76:Z軸脈衝馬達 78:切削單元 80:主軸殼體 82b:切削刀片 84:上方拍攝單元 86:洗淨單元 88:洗淨工作台 90:噴嘴 92:觸控面板 94:控制部 96:記憶裝置 +X,-X,+Y,-Y,+Z,-Z:方向

Claims (9)

  1. 一種加工裝置，其特徵在於具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第1拍攝單元，具有第1拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的正像； 第2拍攝單元，具有第2拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第1拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的正像； 顯示裝置，顯示以該第1拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第2拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像；及 控制部，具有記憶裝置與處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像，且前述控制部使該背面側的正像及該正面側的正像的任一個以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的正像與該正面側的正像的方向一致， 在該顯示裝置中，是將該正面側之圖像與該背面側之圖像一起顯示。
  2. 一種加工裝置，其特徵在於具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第1拍攝單元，具有第1拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的正像； 第3拍攝單元，具有第3拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第1拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的鏡像；及 顯示裝置，顯示以該第1拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第3拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像。
  3. 如請求項2之加工裝置，其更具備控制部，前述控制部具有記憶裝置及處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像， 該控制部使該背面側的正像及該正面側的鏡像之雙方以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的正像與該正面側的鏡像的方向一致。
  4. 一種加工裝置，其特徵在於具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第4拍攝單元，具有第4拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的鏡像； 第2拍攝單元，具有第2拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第4拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的正像；及 顯示裝置，顯示以該第4拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第2拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像， 在該顯示裝置中，是將該正面側之圖像與該背面側之圖像一起顯示。
  5. 如請求項4之加工裝置，其更具備控制部，前述控制部具有記憶裝置與處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像， 該控制部使該背面側的鏡像及該正面側的正像之雙方以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的鏡像與該正面側的正像的方向一致。
  6. 一種加工裝置，其特徵在於具備： 工作夾台，包含板狀的保持構件，前述板狀的保持構件包含一面及和該一面位於相反側的另一面，且具有以透明材從該一面形成到該另一面的預定的區域； 加工單元，在已將於正面側具有預定的型樣之被加工物的該正面側以該工作夾台的該一面來保持，且該被加工物的背面側朝上方露出的狀態下，對該被加工物進行加工； 第4拍攝單元，具有第4拍攝元件，並設置於該工作夾台的上方，來取得該背面側的鏡像； 第3拍攝單元，具有第3拍攝元件，並設置於該工作夾台的下方，而在該被加工物的厚度方向上之和以該第4拍攝單元拍攝的區域相對應的區域中取得該正面側的鏡像； 顯示裝置，顯示以該第4拍攝單元所取得的該背面側之圖像、及以該第3拍攝單元所取得的該正面側之圖像的至少任一個圖像；及 控制部，具有記憶裝置與處理器，前述記憶裝置記憶有執行圖像處理的程式，前述處理器是依照該程式來處理圖像，且前述控制部使該背面側的鏡像及該正面側的鏡像的任一個以已進行圖像處理而在預定方向上翻轉的狀態顯示於該顯示裝置，以讓該背面側的鏡像與該正面側的鏡像的方向一致。
  7. 如請求項2、3或6之加工裝置，其中在該顯示裝置中，是將該正面側之圖像與該背面側之圖像一起顯示。
  8. 如請求項1至6中任一項之加工裝置，其中該加工單元為切削單元或雷射照射單元， 前述切削單元具有主軸，且在該主軸的一端裝設有切削刀片， 前述雷射照射單元具有產生雷射光束的雷射振盪器、及使從該雷射振盪器所射出的該雷射光束聚光的聚光透鏡。
  9. 如請求項7之加工裝置，其中該加工單元為切削單元或雷射照射單元， 前述切削單元具有主軸，且在該主軸的一端裝設有切削刀片， 前述雷射照射單元具有產生雷射光束的雷射振盪器、及使從該雷射振盪器所射出的該雷射光束聚光的聚光透鏡。
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