TWI308615B - Micro-pump and micro-pump system - Google Patents

Description

1308615 98-2-10 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於-種幫浦與幫浦系統，且特別是有關 於一種微幫浦與微幫浦系統。 【先前技術】 微液滴在冷卻、醫藥領域及表面處理上均有極大的應 用空間，由於微液滴具有相對較高的表面積/質量比值，因 此可以大幅提昇系統反應效率。 美國專利第6,205,999號揭露—種設備，可將乾焊肤 態的化學物質以溶液溶解後產生溶劑，再將適量的溶劑滴 至噴孔片上’並由壓電元件，鶴纽片而將溶劑喷出。然 而，此設備存在構件複雜且體積較大的問題。 美國專利第6，_，316號揭露-種聲微幫浦(acoustic miCr〇-pump) ’它是將電能轉換成聲能，再利用聲能所產生 的壓力梯度來帶動液體的輸送。然而，能量在經過層層轉 換後才用於帶動液體，其效率非常的差。 曰 有鑑於微液滴及微流體輸送在各領域的應用日增，如 何進行微流體輸送並在常壓、常溫環境下將液體微液滴 化，同時滿足低功耗且不破壞流體性質等要求，已成為亟 待解決的課題。 ‘ 【發明内容】 本發明的目的是在提供一種微幫浦，其適於進行微流 體輸送並將液體微液滴化，同時滿足低功耗且不破壞流體 性質等要求。 & 5 1308615 98-2-10 ^ 、本發明的再一目的是提供一種常壓、常溫環境操作之 微^浦系統’其躲進行微流體輸送並將液體微液滴化， 同時滿足低功耗且不破壞流體性質等要求。 本發明提出-種微幫浦，用以將液體微液滴化。此微 幫湳包括-主殼體…喷孔片以及至少—致動元件。主後 體具有:液體人口。喷孔片組裝至主殼體且具有至少—ς =孔。喷孔片與主般體之間構成—第—腔室，而喷孔與液 體入口連通第-腔室。致動元件配置於主殼體或嘴 上。致動元件驅動噴孔片以使液體由第一腔室自喷孔喷出。 ，發明再提出—種微幫浦，用以將液ιέ微液滴化。微 括-主殼體…喷孔片、至少—致動元件以及液體 輸运官。主殼體具有—液體人σ、—液體出口、—口 與一微液滴排出Π。喷孔片組裝至主殼體且具有至少^ 噴孔。噴孔片將主殼體之内部區隔為—第―腔室與一 腔室。喷孔與液體人Π連通第—腔室，.進氣口、液體出: ^微液滴排出π連通第二腔室。賴元件配置於主殼= 4孔片+上。致動元件驅動噴孔片，以使液體由第—腔室經 喷孔喷入第二腔室。液體輸送管連接液體入口與液體出口。 在上述兩種微幫浦的—實施例中，致動 間頻率驅動喷孔片。 干乂/、搌£ 在上述兩種微幫浦的—實施例中，主殼體更具有 向排氣結構’供氣體由第-腔室排出，使液體虚 室内。 π & 在上达兩種微幫潘的-實施例中，致動元件包括墨電 6 1308615 98-2-10 形成足夠高的動量將液 元件或電伸縮元件，以驅動嘴孔片 體喷出喷孔。 ' 在上述兩種微幫浦的 片狀、圓形片狀或環形片狀。 致動兀件疋呈矩形 在上述兩種微幫浦的—實施 + 、 液體僅能單一方向傳輪。、 ，贺孔為錐形孔，使 在上述兩種微幫浦的—實祐彳士 f物。喷孔層具有喷孔與二溝iL=:!;L 孔層，而溝渠位於喷孔層一 /、賀孔貝牙喷 喷孔相隔—距離。填充物填充於溝噴ί填 面的潤濕角不同於噴孔層之表面_濕2。 之表 在上述兩種微幫浦的一實施例中 個填充物。噴孔層具有嘴孔與多個 :噴孔層’而溝渠位於噴孔層之—表面並圍孔= ㈣。填絲分轉充於各溝渠^ ;接::溝;孔層可更具有至少一個連接溝渠，而連接溝 本毛明另提出―種微幫浦系統，包括多個微幫浦以及 個微液滴輸送管。微㈣用以將液體微液滴化，且 浦包括—主殼體、一喷孔片、至少—致動元件以及 ，體輪送管。主殼體財一液體人口、_液體出口、—進 =口與-微液滴排出σ。喷孔片組I至主殼體且具有至少 一個嗔孔。喷孔片將主殼體之内部區隔為—第—腔室與— 1308615 98-2-10 第二腔室。喷孔與液體人口連通第—腔室，進氣口 出口與微顏排出口連通第二腔室。致動元件配置於主^ 體或喷孔片上。致動凡件驅動喷孔片，以使液體由 叫 室經喷孔嗔人第=腔室。液體輸送管連接液體人口與^ 出口。微液滴輸达管之兩端分別連接微幫浦之一、 與另·*·**微幫浦的微液滴排出口。 Ί 在此微幫浦系統的-實施例中，致動元件以共振 頻率驅動喷孔片。 ^渭 在此微幫浦系統的一實施例中，主殼體更具有一單。 排氣結構，供氣體由第一腔室排出，使液體填入第—腔= 内。 '"至 在此微幫浦系統的—實施例中，致動元件包括壓電_ 件或電伸縮元件，以驅動噴孔片形成足夠高的動量將】^ 喷出喷孔。 艰

在此微幫浦系統的—實施例中，致動元件是呈矩形 狀、圓形片狀或環形片狀。 V 在此微幫浦系統的一實施例中，喷孔為錐形孔，使液 體僅能單一方向傳輸。 / 在此微幫浦系統的—實施例中，噴孔片包括—噴孔層 以及一填充物。喷孔層具有喷孔與一溝渠。喷孔貫穿喷子曰匕 層，而溝渠位於喷孔層之一表面並圍繞喷孔，且溝渠與喷 孔相隔一距離。填充物填充於溝渠之内，且填充物之表面 的潤濕角不同於喷孔層之表面的潤濕角。 在此微幫浦系統的一實施例中，噴孔片包括—噴孔層 1308615 98-2-10 二Τίΐί。噴孔層具有喷孔與多個溝渠。喷孔貫穿 刀別與噴孔相隔一距離。埴 、、且溝木 且埴充物之声柙、刀別八充於各溝渠之内， Μ Ϊ表角不同於飢層之表面的潤Μ 此外，喷孔層可更具有至少 二濕角。 通各溝渠。 運接溝木，而連接溝渠接 卜综上所述’本發明之微幫浦與微幫浦系統 微流體常壓、f溫輸送並將紐微 、低2 質 的優點，且不需施加高壓十於神品^有低功耗 〇魘间/皿於液體而可確保液體性 的疋。同日守，構件簡單且體積較小。 為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯 易f重’下文特舉較佳實施例，並配合所賴式，作詳細說 明如下。 【實施方式】 、圖1為本發明-實施例之微幫浦的刮面示意圖，圖2A 為圖1之微幫浦在微液滴化液體時的剖面示意圖，而圖2B 用為圖1之微幫浦在補充液體時的剖面示意圖。 5月參妝圖1，本實施例之微幫浦是用以將液體微 液滴化。此微幫浦100包括了一主殼體11〇、一嘴孔片12〇 以及至少一個致動元件130。主殼體110具有一液體入口 112以供液體由此進入。喷孔片120級裂至主殼體11〇，且 喷孔片120具有至少一個喷孔122。在此實施例中喷孔ία 之數量以一個為例，但喷孔片120也可具有多個喷孔122。 喷孔片120與主殼體11〇之間會構成一第一腔室Rio,而 9 1308615 98-2-10 噴孔122以及液體入口 Η]都與第一腔室連通。致動 兀件13〇配置於主殼體110或喷孔片120上。在本實施例 中，致動元件130是以配置於喷孔片120上為例。此外， 致動元件13〇可位於第一腔室R10内或第一腔室R10外， 而本貝施例中是以致動元件丨3〇位於第—腔室R1〇内為 例。 以下將參考圖2A與圖2B而說明本實施例之微幫浦 1〇〇的作動原理。首先，需將液體50充滿第一腔室Ri〇。 接著’使致動元件13〇開始運作。本實施例之致動元件13〇 例如疋壓電το件或電伸縮元件，當施加電訊號至致動元件 130後致動兀件13g就會產生振動，前述電減例如具有 共振區間頻率。藉由致動元件m的運作，即可以共振驅 動喷孔片12G。當喷孔片12〇因致動元件13()的驅動而快 速振動，產生足夠高的動量，當朝第—腔室㈣内的方向 振動t:形時，液體50會因為受到擠壓，足夠高的動量可以 克服毛細力而從噴孔122向外喷出微液滴。當喷孔片12〇 因致動兀件130的驅動而朝第一腔室R1〇外的方向振動變 形時胃’喷孔122會因液體5〇毛細力的作用而被封住，液體 50里減4，而使固^容積的第—腔室⑽内呈現負壓狀 態，而由液體入口 112將補充液體即時吸入第一腔室 rio。其中’噴孔m之孔徑例如未超過別微米 承上所述’本實施例之微幫浦100可用於微流體輸送 以及液體的微液滴化，沒有傳統幫浦的轉動元件，而能避 13 Ο 8 643务 twf.doc/e 免零件磨耗的問題，而且構件簡單、體積較小，且不需經 過多次的能量轉換即可運作，故具有低功耗的優點。而且， 不需額外使用高壓幫浦，不僅節省成本且縮小體積，更可 避免應用於醫藥領域時造成敏感藥品的性質變化。 圖3A與圖3B為本發明另二實施例之微幫浦的剖面示 意圖。請參照圖3A，本實施例之微幫浦3〇〇a與圖丨之微 幫浦100相似，其差異在於微幫浦3〇〇a之主殼體31〇更具 有一單向排氣結構314a。單向排氣結構314a用於供氣體 由第一腔室R30排出，但液體無法通過單向排氣結構 314a，以使第一腔室R30在填充液體時能將原本在第一腔 至R3 0内之氣體向外排出，並使液體填入第一腔室R3 0 内。此外，在圖3A之實施例中，致動元件33〇是以配置 於主殼體310上為例，且位於第一腔室R3〇外。但是，致 動元件330也可配置於主殼體310上，且位於第一腔室R3〇 内。請參照圖3B ’本實施例之微幫浦300b與圖3A之微 幫浦300a相似’其差異在於微幫浦3〇〇b之單向排氣結構 314b的位置有所改變’當然單向排氣結構314b的位置也 可視需要做其他適當更動。另外，微幫浦300b之噴孔片 320上具有多個噴孔322。 以下’參考圖式對本發明之微幫浦所使用的噴孔片做 進一步介紹’但並非用以限定本發明之微幫浦所使用的嘴 孔片。 、 圖4A為本發明一實施例之微幫浦的噴孔片的局部俯 視圖’而圖4B為圖4A中沿ΙΙ-Π線的剖面圖。請參考圖 11 130862½ twf.doc/e 4A及圖4B ’本實施例之喷孔片400包括一喷孔層410。 喷孔層410具有至少一個喷孔412,其貫穿喷孔層41〇。為 了讓殘留在喷孔層410之喷孔412附近的表面41〇a上的液 體不會任意流動至喷孔層410之表面41〇a的其他區域，喷 孔層410更具有一溝渠414’其位於噴孔層41〇之表面4i〇a 並圍繞喷孔412，且溝渠414與喷孔412相隔一距離。如 此則可避免液體聚集在噴孔412周圍，造成液體無法微液 滴化。

此外，喷孔片400可更包括一填充物42〇，其填充於 溝渠414之内，且填充物420之表面420a的潤濕角（wetting angle)設定為不同於喷孔層41〇之表面41〇a的潤濕角。 其中，當噴孔層410之材質為可潤濕性材質（例如 或含有皂基之材質）’且填充物420之材質係為相對於上 述可潤濕性材質之抗潤濕性材質（例如四氟化碳）時，填 充物420之表面420a的潤濕角會大於喷孔層41〇之表面 他的潤濕角。相反地，#纽豸41()之材f為抗潤渴性 材質（例如聚醯亞胺（polyimide))，且填充物42〇之 質為相對於上述抗職性材f之可潤祕材f (例如二 ^皂基之材質）時，填充物之表面4施的潤濕角1 J於育孔層410之表面41〇a的潤濕角。 9 無論是上述何猜質狀，這歸f設定都會在 纽412周圍的表面條形成一液體集中區场 =讓^在喷孔層之喷孔412附近的表面⑽上^ 液體不日任意流動至喷孔層之表面杨的其他區域 12 I3086i57twfd〇c/e 進而達到避免液滴聚集成長的目的。 值得注意的是，本實施例中圍繞單一喷孔412之溝渠 414的數量是以兩個為例’但圍繞單一噴孔412之溝渠414 的數量也可以是一個或更多。此外’噴孔412例如是錐形 孔或其他適當形式的開孔。其中，錐形的噴孔412使液體 僅能單一方向傳輸。 圖5為本發明另一實施例之微幫浦的喷孔片的局部俯 視圖。請參照圖5 ’本實施例之喷孔片5〇〇的喷孔層510 具有多個喷孔512、多個溝渠514以及至少一個連接溝渠 516 ’連接溝渠516之數量在此以多個為例。其中，多個噴 孔512為陣列排列，各溝渠514分別圍繞一個喷孔512， 而連接溝渠516則接通各溝渠514。 以下’參考圖式對本發明之微幫浦所使用的致動元件 的外型做進一步介紹’但並非用以限定本發明之微幫浦所 使用的致動元件。圖6A至6C為本發明三種實施例之微幫 浦所使用的致動元件的示意圖。本發明之微幫浦所使用的 致動元件的外型可為矩形片狀（如圖6A之600a)、圓形 片狀（如圖6B之600b )、環形片狀（如圖6C之600c ) 或其他適當外型。 圖7為本發明又一實施例之微幫浦的剖面示意圖，圖 8A為圖7之微幫浦在微液滴化液體時的剖面示意圖，而圖 8B用為圖7之微幫浦在補充液體時的剖面示意圖。 請參照圖7 ’本實施例之微幫浦7〇〇與圖1之微幫浦 100相似而包括了一主殼體710、一喷孔片720以及一致動 13 13 Ο 8 6i57twf doc/e 兀件730,且微幫浦700更包括—液體輸送管74〇。主殼體 710具有一液體入口 712a、一液體出口 712b、一單向排氣 結構714、一進氣口 716與一微液滴排出口 718。噴孔片 720將主设體710之内部區隔為—第一腔室R2〇與—第二 腔室R30,其+第-腔室R20之作用與圖i之第一腔室^ 相因。

接著請參照1UA，第二腔室R3Q是肋盛裝液體5〇, 且第二腔室R3G可區分為—液體區R32與—氣體區㈣， 液體50即盛裝於液體區R32。其中，主殼體71〇之進氣口 716與微液滴排出口 718是連通第二腔室⑽ ㈣’而主殼體71〇之液體入口 與液體出口⑽: 分別連通第-腔室R2〇與第二腔室R3〇之液體區腹。液 體輸运管74G是連接液體人σ他與液體出π概。

當本實施例之微幫浦運作時，若噴孔片72〇因致 兀件730的驅動而朝第一腔室R20内變形，液體50备 =為受到擠壓而從噴孔722向氣體區R34噴出，如圖 用不邻夜滴可由微液滴排出口718排出而做運 體區^ 排__會掉入液 处“ 幫浦具有可將液體50回收利用的功 ί室t外ΐ噴孔片72〇因致動元件730的驅動而朝第~ 被封住，^ Γ，因喷孔722受液體50毛細力的作用而 並因此將'ΐ:ί0:腔室R20之觸少而呈現舰態， 送管二=:=區：歸趙出，'液體輪 〜夜體人口 712a之路“吸人第—腔室RI〇，如 1308^l^twf.doc/e 圖8B所示。 此外，本實施例之微幫浦700也可運用於醫藥領域。 舉例而言，若液體50是某種成分的藥物，要利用液體50 均勻包裹另一種成分的固態藥物60，可將藥物60製成粉 末狀而從進氣口 716送入氣體區R34。同時，利用微幫浦 700將液體50微液滴化而噴入氣體區R34。藉此，使微液 滴化之液體50在氣體區R34包裹粉末狀的藥物60，並將 組合完成的藥物由微液滴排出口 718排出。由於本實施例 之微幫浦700並未施加高壓於液體50，因此即使液體50 為敏感的藥物，也不會使液體50的性質產生變化。而且， 還可將未與藥物60組合之液體50回收利用，進而大幅降 低製藥的成本。 圖9為本發明一實施例之微幫浦系統的剖面示意圖。 請參照圖9 ’本實施例之微幫浦系統900包括多個如圖7 之微幫浦700以及至少一個微液滴輸送管910。微液滴輸 送管910之兩端分別連接一個微幫浦7〇〇的進氣口 716與 另一個微幫浦700的微液滴排出口 718。在本實施例之微 幫浦系統900中’液體5〇被第一個微幫浦7〇〇微液滴化 後’可經由微液滴排出口 718、微液滴輸送管91〇與進氣 口 716之路徑而被送至下一個微幫浦7⑻，並在下一個微 幫浦700中與被微液滴化的液體7〇結合。依此概念，本實 施例之微幫浦系統9〇〇可結合更多個微幫浦7〇〇，而將更 多不同種類的液體微液滴化並結合。 同樣’本實施例之微幫浦系統900也可運用於醫藥領 15 1308615 twf.doc/e 域。舉例而言，粉末狀的藥物60與被微液滴化的液體5〇 結合後’可輸送至下個微幫浦並與被微液滴化的液體 7=合。如此’即可利用單一系統製出由多種成分組成的 樂物。 綜上所述，本發日狀㈣浦與微m統可驗在常 了微流體輸送’且^；需絲高壓即可將液體微液 二。這些微液滴不僅可用於冷卻卩大幅提昇散熱效 ::用於表面處理或覆膜等’更可用於醫藥領域以提升藥 成本。同時，本發明之微幫浦與微幫統 還具有低功耗、構件簡單且體積較小等優點。 =本發明已以較佳實關揭露如上，然其並非用以 心&技#者’在不獅本發明之精神 自可作些許之更動與潤飾’因此本發明之保1 耗圍虽視後社巾請專利顧所界定者鱗。 …蒦 【圖式簡單說明】 圖1為本發明—實施例之微幫浦的剖面示意圖。 圖 圖2Α為圖i之微幫浦在微液滴化液體時的剖面示音 意圖 f2B用為圖1之微幫浦在補充液體時的剖面示专鬧 :3 A與圖3B為本發明另二實施例之微幫浦的剖面示 視圖 圖4A為本發明一實施例之微幫浦的噴孔片的局呷俯 圖4B為圖4A中沿Π_π線的剖面圖。 16 1308615 twf.doc/e視圖 園：> 马本發明另 π呵啊俱孔片的局部俯 圖6Α至6C為本發明三種實施例之微幫 動元件的示意圖。 圖7為本發明又-實施例之微幫浦的剖面示意圖。 圖8Α為圖7之微幫浦在微液滴化液體刹面示意 g 〇

圖8B用為圖7之微幫浦在補充液體時的剖面示意圖。 圖9為本發明一實施例之微幫浦系統的剖面禾意圖。 【主要元件符號說明】 50、70 :液體 60 :固態藥物 100、300a、300b、700 :微幫浦 110、310、710 :主殼體 112、712a .液體入口 120、320、400、500、720 :噴孔片

浦所使用的致 122、.322、412、512 :喷孔 130、600a、600b、600c、730 :致動元件 314a、314b、714 :單向排氣結構 410、510 :喷孔層 410a :表面 414、514 :溝渠 420 :填充物 420a :表面 17 13086i)57twf.doc/e 516 :連接溝渠 712b :液體出口 716 :進氣口 718 :微液滴排出口 740 :液體輸送管 R10、R20 :第一腔室 R30 :第二腔室 R32 :液體區 • R34 :氣體區 900 :微幫浦系統 910 :微液滴輸送管

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Claims (1)

1308615 (1：·, C^r 98-2-10 十、申請專利範圍： 1. 一種微幫浦，用以將液體微液滴化，該微幫浦包括： 一主殼體，具有一液體入口； 一喷孔片，組裝至該主殼體，該喷孔片具有至少一喷 孔，該喷孔片與該主殼體之間構成一第一腔室，其中該喷 孔與該液體入口連通該第一腔室；以及 至少一致動元件，配置於該主殼體與該喷孔片其中之 一上，該致動元件驅動該喷孔片，以使液體由該第一腔室 自該喷孔喷出。 2. 如申請專利範圍第1項所述之微幫浦，其中該致動 元件以共振區間頻率驅動該贺孔片。 3. 如申請專利範圍第1項所述之微幫浦，其中該主殼 體更具有一單向排氣結構，供氣體由該第一腔室排出，使 液體填入該第一腔室内。 4. 如申請專利範圍第1項所述之微幫浦，其中該致動 元件包括壓電元件或電伸縮元件，以驅動該嘴孔片’形成 足夠高的動量，將液體喷出該喷孔。 5. 如申請專利範圍第1項所述之微幫浦，其中該致動 元件是呈矩形片狀。 6. 如申請專利範圍第 元件是呈圓形片狀。 7. 如申請專利範圍第 元件是呈環形片狀。 8. 如申請專利範圍第 項所述之微幫浦，其中該致動 項所述之微幫浦，其中該致動 項所述之微幫浦，其中該喷孔 19 1308615 98-2-10 為錐形孔，使液體僅能單一方向傳輸。 9_如申請專利範圍第i項所述之微幫浦，其中該噴孔 片包括： ' 一喷孔層，具有該噴孔與一溝渠，其中該喷孔貫穿該 喷孔層，而該溝渠後於該噴孔層之一表面並圍繞該噴孔， 且該溝渠與該嘴孔相隔一距離；以及 一填充物，填充於該溝渠之内，該填充物之表面的潤 濕角不同於該噴孔層之表面的潤濕角。 10·如申請專利範圍第1項所述之微幫浦，其中該喷孔 片包括： ' 一喷孔層，具有該噴孔與多個溝渠，其中該噴孔貫穿 該喷孔層，而該些溝渠位於該噴孔層之一表面並圍繞該噴 孔’且該些溝渠分別與該噴孔相隔一距離；以及 多個填充物，分別填充於該些溝渠之内，該些填充物 之表面的潤濕角不同於該噴孔層之表面的潤濕角。 11·如申請專利範圍第10項所述之微幫浦，其中該喷 孔層更具有至少一連接溝渠，該連接溝渠接通該些溝渠。 12. —種微幫浦’用以將液體微液滴化，該微幫浦包括： 一主殼體’具有一液體入口、一液體出口、一進氣口 與一微液滴排出口； 一喷孔片，組裝至該主殼體，該喷孔片具有至少一噴 孔’且該喷孔片將該主殼體之内部區隔為一第一腔室與一 第二腔室’該喷孔與該液體入口連通該第一腔室，該進氣 口、該液體出口與該微液滴排出口連通該第二腔室； 20 1308615 98-240 至少一致動元件，配置於該主殼體與該喷孔片其中之 一上，該致動元件驅動該喷孔片，以使液體由該第—腔室 經該喷孔喷入第二腔室；以及 一液體輸送管’連接該液體入口與該液體出口。 13·如申請專利範圍第12項所述之微幫浦，其中該致 動元件以共振區間頻率驅動該喷孔片。 ± 14.如申請專利範圍第12項所述之微幫浦，其中該主 设體更具有—單向排氣結構，供氣體由該第-腔室排出， 使液體填入該第一腔室内。 15.如申請專利範圍帛12項所述之微幫浦，其中該 ，元件包滅電元件或電侧元件，轉躺噴孔片1 成足夠尚的動量’將液體噴出該喷孔。 夕 其中該致 其中該致 其中該致 其中該噴 其中該嘴 —I6·如申請專利範圍第12項所述之微幫浦， 動元件是呈矩形片狀。 17. 如申請專利範圍第12項所述之微幫浦， 動几件是呈圓形片狀。 18. 如申請專利範圍第12項所述之微幫浦， 動兀件是呈環形片狀。 19. 如申請專利範圍第12項所述之微幫浦， 孔為錐形孔’使液體僅能單_方向傳輸。 2〇·如申請專利範圍第12項所述之 孔片包括： 1又·^有， 噴孔層噴:;溝;::=一渠噴孔貫穿該 貝扎層之表面並圍繞該喷孔， 21 1308615 98-2-10 且該溝渠與該喷孔相隔一距離；以及 一填充物，填充於該溝渠之内，該填充物之表面的潤 濕角不同於該喷孔層之表面的潤濕角。 21. 如申請專利範圍第12項所述之微幫浦，其中該噴 孔片包括： 一喷孔層，具有該喷孔與多個溝渠，其中該喷孔貫穿 該喷孔層，而該些溝渠位於該喷孔層之一表面並圍繞該喷 孔，且該些溝渠分別與該喷孔相隔一距離；以及 多個填充物，分別填充於該些溝渠之内，該些填充物 之表面的潤濕角不同於該喷孔層之表面的潤濕角。 22. 如申請專利範圍第21項所述之微幫浦，其中該喷 孔層更具有至少一連接溝渠，該連接溝渠接通該些溝渠。 23. —種微幫浦系統，包括： 多個微幫浦，用以將液體微液滴化，各該微幫浦包括： 一主殼體，具有一液體入口、一液體出口、一進 氣口與一微液滴排出口； 一喷孔片，組裝至該主殼體，該喷孔片具有至少 一喷孔，且該噴孔片將該主殼體之内部區隔為一第一 腔室與一第二腔室，該喷孔與該液體入口連通該第一 腔室，該進氣口、該液體出口與該微液滴排出口連通 該第二腔室； 至少一致動元件，配置於該主殼體與該喷孔片其 中之一上，該致動元件驅動該喷孔片，以使液體由該 第一腔室經該喷孔喷入第二腔室； 一液體輸送管，連接該液體入口與該液體出口； 22 1308615 98-2-10 以及 一的該進’其兩端分別連接該些微幫浦之 幫浦的該微液滴排出口。 在各範圍第23項所叙微幫浦线，其中 j各名微幫浦中，該主殼體更 體由該第-腔室排出 i早向排虱、、、口構供乳 使液體填入該第一腔室内。 該些致動]利關第23項所述之婦射、統，其中 心片=。括壓電兀件或電伸縮元件，以驅動該些喷 )’7t/㈣的動量，將液體噴出該些喷孔。 兮此專利範圍第23項所述之微幫«統，其中 忒些致動兀件是呈矩形片狀。 >此t申請專利範圍第23項所述之微幫浦系統，其中 5亥些致動元件是呈圓形片狀。 兮此申料利範11第23項所述之微m统，其中 該些致動元件是呈環形片狀。 3+0.如中料利範圍第23項所述之微m统，其中 該二贺孔為錐形孔，使液體僅能單—方向傳輸。 儿如申請專利範圍帛a項所述之微幫系中 各該喷孔片包括： 一喷孔層，具有該喷孔與一溝渠，其中該喷孔貫穿該 噴孔層，而該溝渠位於該喷孔層之—表面並圍繞該噴孔， 且該溝渠與該噴孔相隔一距離；以及、 -填充物，填充於該溝渠之内，該填絲之表面的潤 23 1308615 98-2-10 濕角不同於該喷孔層之表面的潤濕角。 32. 如申請專利範圍第23項所述之微幫浦系統，其中 各該喷孔片包括： 一喷孔層，具有該喷孔與多個溝渠，其中該喷孔貫穿 該喷孔層，而該些溝渠位於該喷孔層之一表面並圍繞該喷 孔，且該些溝渠分別與該喷孔相隔一距離；以及 多個填充物，分別填充於該些溝渠之内，該些填充物 之表面的潤濕角不同於該喷孔層之表面的潤濕角。 33. 如申請專利範圍第32項所述之微幫浦系統，其中 各該喷孔層更具有至少一連接溝渠，該連接溝渠接通該些 溝渠。 24 1308615 98-2-10 七、 指定代表圖： (一) 本案指定代表圖為：圖（1 )。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明： 100 :微幫浦 110 :主殼體 112 :液體入口 120 :喷孔片 122 :喷孔 130 :致動元件 R10 :第一腔室 八、 本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵 的化學式： 益 4