TWI221119B - Devices and methods for forming a film, manufacturing a color filter and manufacturing a display device - Google Patents

Description

1221119 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關成膜方法，成膜裝置，液滴噴出裝置， 彩色濾光片的製造方法，具備彩色濾光片的顯示裝置，顯 示裝置的製造方法，顯示裝置，及電子機器，特別是有關 使液狀材料噴出來成膜的技術。 【先前技術】 一般，利用液晶顯示裝置或電激發光裝置（以下，簡 稱爲EL裝置）等的光電裝置來作爲顯示手段的各種顯示裝 置，或具有該等顯示裝置的行動電話或攜帶型資訊終端機 等的電子機器爲人所知。在如此的顯示裝置中，隨著近年 來的彩色顯示的普及，有時會使用彩色濾光片，亦即在由 玻璃或塑膠等所構成的基板表面上，以條紋配列、三角配 列、瑪賽克配列等的規定配列圖案來配列R(紅）· G (綠）· B(藍）的點狀濾光元件。 此外，在可彩色顯示的EL裝置中，於玻璃或塑膠等 所構成的基板表面上，以條紋配列、三角配列、瑪賽克配 列等的規定配列圖案來配列R(紅）· G(綠）· B(藍）的點狀 EL發光層，形成以一對的電極來夾持該等EL發光層的顯 示點。又，可藉由對每個顯示點控制施加於該等電極的電 壓來以規定的顏色及灰階使各顯示點發光。 在製造上述各種的顯示裝置時，一般是利用光蝕刻法 來對上述彩色濾光片的各色濾光元件或EL裝置的各色發 (2) (2)1221119 光層進行圖案形成。但，由於利用此光蝕刻法的圖案形成 過程中必須經過材料的塗佈、曝光、顯像等複雜的過程且 費時，甚至各色材料及光阻劑等消耗量大，因此會有成本 增加的問題。 爲了解決此問題，例如有利用噴墨法來噴出濾光元件 材料或EL發光材料（加上溶媒等的液狀材料）的液滴， 而使噴著於基板表面上，藉此來配列形成點狀配列的濾光 元件或發光層之方法被提案。在此，將說明有關利用此噴 墨法，如圖61 (a)所示，在玻璃或塑膠等所構成的大面積 的基板上，亦即在主基板301的表面上所被設定的複數個 單位領域3 02的内部，形成圖61(b)所示之點狀配列的濾 光元件 3 03的情況。 此情況，例如圖61(c)所示，使具有配列複數個噴嘴 304而成的噴嘴列3 05的液滴噴出頭，亦即噴墨頭3 06如 圖61(b)的箭頭A1及箭頭A2所示，一方面對1個單位領 域 3 02直線掃描複數次（就圖61而言爲2次），另一方 面在各掃描期間由複數個噴嘴304來選擇性地噴出墨水亦 即濾光材料，而於希望位置形成濾光元件303。 該濾光元件3 03，如上述，是以所謂條紋配列、三角 配列、瑪賽克配列等適宜的配列圖案來配列R G B等 各色而成。因此，通常是依每個顏色來準備R G B各 色的噴墨頭306，依次使用各色的噴墨頭306，而使能夠 在一個主機板301上形成規定的色配列之彩色濾光片。 但，就噴墨頭306而言，一般構成噴嘴列305的複數 (3) (3)1221119 個噴嘴3 04的墨水噴出量會不均一。例如圖62 (a)所示， 具有墨水噴出特性Q，亦即位在對應於噴嘴列3 05兩端部 的噴嘴3 04的噴出量最多，位於中央位置的噴嘴3 04的噴 出量次多，位於其中間位置的噴嘴的噴出量最少。 因此，如圖61(b)所示，在藉由噴墨頭3 06來形成濾 光元件3 03時，如圖62(b)所示，在對應於噴墨頭3 06端 部的位置P1或中央位置P2，或者P1及P2的雙方會形成 濃度較濃的條紋，亦即條紋狀的顏色不均。因此，彩色濾 光片之平面的光透過特性會有不均一的問題點發生。 因應於此，其解決方式例如有藉由複數個液滴的噴出 來形成各濾光元件 3 03，一邊慢慢地將上述液滴供給頭 306的位置移動於傳送方向（圖61(b)的左右方向），一邊 依次進行掃描，而來降低液滴噴出量的不均一所造成的成 膜不均（以下，簡稱爲「誤差分散法」）（例如，參照以下 的專利文献1)。 但，在利用上述誤差分散法時，即使爲同樣的製造對 象，還是會比以往的掃描次數還要大幅度地増加，會有製 造時間増大，生産効率降低的問題點發生。在此，爲了解 決此問題點，例如有提案在共通的拖架上搭載可調整姿勢 的複數個噴頭，藉由擴大在一次掃描進行處理的範圍來有 効率地進行製造的裝置（例如，參照以下的特許文献2)。 [專利文献1] 特開2002-22 1 6 1 6號公報 [專利文献2] -8-

1221119 特開2002-273 868號公報 【發明內容】 [發明所欲解決之課題] 藉由上述各種的方法，雖可減少成膜不均，或抑止製 造効率降地，但實際上難以充分地減少延伸於液滴噴出頭 的掃描方向上的條紋狀成膜不均，特別是在提高掃描速度 來提升生産性時，即使是採用上述公報中所記載的方法， 還是會有難以降低條紋狀顏色不均的問題點發生。 另一方面，在主機板301上形成複數個單位領域302 時，爲了對應顯示裝置的畫面大小或畫面形狀，會在單位 領域3 02中設定有不同的色配列圖案（條紋配列、三角配 列、瑪賽克配列等），或在主機板3 01内增加單位領域 302的數量，因此沿著主機板301的某方向的同一色的顯 示點的配列數及配列間隔會依各機種而有所不同。因此， 若以同樣方式來使噴膜頭對如此的主機板301進行掃描， 則會有處理効率變差的問題點發生。此情況，雖可藉由準 備構造不同的噴墨頭（依照各機種）來提高處理効率，但 因必須準備多數個的噴墨頭，所以成本會增加。 因此，本發明的課題是在於解決上述問題點，亦即提 供一種藉由液滴噴出手段來進行液滴的噴出之成膜方法及 成膜裝置，比以往還要能夠降低成膜不均的技術。並且， 提供一種在利用噴墨頭之類的液滴噴出頭來使液狀材料噴 出而成膜時，可降低因液狀材料的噴出量不均一而造成的 -9 - 1221119

顏色不均之裝置及方法。而且，提供一種在利用液狀材料 的噴出來成膜的技術中，即使針對各種的被噴出物，還是 能夠一方面抑止成本的增加，一方面提高處理効率之裝置 及方法。 [用以解決課題之手段] 爲了解決上述課題，本發明的成膜方法是屬於一種藉 由液滴噴出手段來對對象物的表面噴出液狀材料的液滴而 成膜之成膜方法； 其特徵爲具有： 一邊使上述液滴噴出手段沿著上述表面的第1方向來 對上述對象物進行掃描，一邊依次噴出複數個上述液滴之 第1噴出階段；及 一邊使上述液滴噴出手段沿著與上述第1方向不同的 上述表面的第2方向來對上述對象物進行掃描，一邊依次 噴出複數個上述液滴之第2噴出階段。 若利用此發明，則可在第1掃描階段及第2掃描階段 使液滴噴出手段之對象物的掃描方向形成彼此不同的第1 方向及第2方向，藉此來一邊掃描於不同的方向兩個方 向，一邊使複數個液滴依次噴出而成模，因此可減少掃描 方向上所引起的成膜不均。特別是即使根據各別的掃描而 產生延伸於掃描方向的條紋狀成膜不均，還是可以使延伸 於不同方向的條紋狀成膜不均彼此抵消，全體取得均一性 高的成膜狀態。 -10· (6) (6)1221119 又，本發明中，最好在上述第1掃描階段與上述第2 掃描階段中，藉由使上述對象物旋轉而彼此呈不同的姿勢 來將上述第1方向與上述第2方向設定於彼此交叉的方 向。由於可藉由旋轉對象物來改變其姿勢，而不必改變液 滴噴出手段的掃描方向，因此不須使用大型的機構，可利 用簡易的構成來進行成膜。 又，本發明的成膜裝置是屬於一種具有：對對象物的 表面噴出液狀材料的液滴之液滴噴出手段，及沿著上述表 面來使上述對象物與上述液滴噴出手段相對的移動之移動 手段； 其特徵爲具有： 使上述液滴噴出手段能夠對上述對象物相對移動於沿 著上述表面的彼此不同的至少兩個方向，且於上述兩個方 向的任一移動中皆可依次噴出複數個上述液滴。 若利用此發明，則可對應於應該形成於對象物的成膜 圖案等來一邊掃描於至少2個方向的其中之一方向，一邊 選擇是否使液滴噴出。並且，藉由一邊針對對象物來掃描 於2個方向，一邊依次使液滴噴出，將可減少掃描方向上 所引起的成膜不均。 又，本發明中，最好具有：藉由使上述對象物旋轉來 將上述對象物設定成至少兩個的姿勢之姿勢定位手段。 藉此，可利用姿勢定位手段來使對象物旋轉而設定姿 勢，因此不會令裝置大型化，且可形成只使移動手段掃描 於一方向的簡易構造，進而能夠謀求全體裝置的小型化及 -11 - (7) (7)1221119 低成本化。 又，本發明的液滴噴出裝置是屬於一種供以對被噴出 物噴出液狀材料之液滴噴出裝置，其特徵爲具有： 供以噴出上述液狀材料之液滴噴出頭；及 在使該液滴噴出頭與被噴出物對向的狀態下，使相對 移動於沿著上述被噴出物的表面的方向之移動手段；及 供以定位上述被噴出物的平面姿勢之姿勢定位手段； 並且，上述姿勢定位手段可以不同的兩個以上的平面 姿勢來定位上述被噴出物。 若利用此發明，則使被噴出物的平面姿勢定位的姿勢 定位手段可將被噴出物定位成不同的兩個以上的平面姿 勢，藉此可對應於應該使被噴出物的液滴噴著的領域的配 列形態，來從兩個以上的方向中選擇對被噴出物之液滴噴 出頭的相對掃描方向，因此可提高處理効率。並且，可藉 由改變被噴出物的平面姿勢來使移動手段之液滴噴出頭的 掃描方向改變成不同的兩個以上的方向（對被噴出物而 言），因此對一個被噴出物而言，可使液滴噴出頭掃描於 不同的兩個方向，而來噴出液滴進行成膜，藉此可減少液 滴噴出時在掃描方向上所引起的條紋狀材料不均。 又，本發明中，最好上述姿勢定位手段具有觀察上述 被噴出物的不同部位之複數個觀測手段，可於上述不同的 兩個以上的平面姿勢中使用彼此不同的上述觀測手段。 若利用此發明，則當被噴出物爲不同的平面姿勢時會 使用彼此不同的觀測手段，藉此即使不擴大觀測範圍，或 •12- (8) (8)1221119 使觀測手段移動，照樣能夠進行觀測，因此不僅可價格便 宜地來構成裝置，而且還能夠提高觀測精度。 又，本發明中，最好上述觀測手段可以觀測上述被噴 出物的複數個部份。 若利用此發明，則複數個觀測手段可分別觀測被噴出 物的複數個部位，因此可高精度地檢測出被噴出物的平面 姿勢。就如此能夠觀測複數個部位的觀測手段而言，例如 可使用兩個攝影裝置者。 又，本發明中，最好上述觀測手段的觀測位置是被固 定於裝置中。 若利用此發明，則由於觀測手段的觀測位置是被固定 於裝置中，而不需要移動觀測手段的移動機構，因此可提 高觀測精度。 又，本發明中，最好上述不同的兩個以上的平面姿勢 爲可使約呈90度旋轉於上述被噴出物的表面的法線周圍 的兩個平面姿勢。 若利用此發明，則對被噴出物而言，可使液滴噴出頭 掃描於彼此正交的兩個方向，因此最能有效地減少對被噴 出物之液滴噴出頭的掃描方向上所引起的條紋狀料不均。 又，本發明的另一液滴噴出裝置是屬於一種供以對被 噴出物噴出液狀材料之液滴噴出裝置，其特徵爲具有： 供以噴出上述液狀材料之液滴噴出頭；及 在使該液滴噴出頭與被噴出物對向的狀態下，使相對 移動於沿著上述被噴出物的表面的方向之移動手段；及 •13- (9) (9)1221119 供以定位上述被噴出物的平面姿勢之姿勢定位手段； 並且，可將掃描方向（上述液滴噴出頭一邊對上述被 噴出物噴出上述液滴材料的液滴一邊移動的掃描方向）與 藉由上述姿勢定位手段而定位的上述被噴出物的平面姿勢 設定成不同的兩個以上的位置關係。 若利用此發明，則可將掃描方向（液滴噴出頭對被噴 出物一邊噴出液狀材料的液滴一邊移動的掃描方向）及平 面姿勢（藉由姿勢定位手段而定位之被噴出物的平面姿 勢）設定成不同的兩個以上的位置關係，藉此來對應於應 該使被噴出物的液滴噴著的領域的配列形態，可由兩個以 上的方向中選擇對被噴出物之液滴噴出頭的相對掃描方 向，因此可提高處理効率。又，由於可使液滴噴出頭的掃 描方向變更於對被噴出物而言不同的兩個以上的方向，因 此可使液滴噴出頭掃描於對一個被噴出物而言不同的兩個 方向，而噴出液滴來進行成膜，藉此可減少液滴噴出時在 掃描方向上所引起的條紋狀材料不均。 又，本發明中，最好上述姿勢定位手段具有觀察上述 被噴出物的不同部位之複數個觀測手段，可於上述不同的 兩個以上的位置關係中使用彼此不同的上述觀測手段。 若利用此發明，則當被噴出物爲不同的平面姿勢時， 可利用彼此不同的觀測手段，藉此即使不擴大觀測範圍或 不移動觀測手段，照樣可以進行觀測，因此不僅可價格便 宜地來構成裝置，而且還能夠提高觀測精度。 又，本發明中，最好上述觀測手段可以觀測上述被噴 -14- (10) (10)1221119 出物的複數個部份。 若利用此發明，則複數個觀測手段可分別觀測被噴出 物的複數個部位，藉此而能夠高精度地檢測出被噴出物的 平面姿勢。就如此能夠觀測複數個部位的觀測手段而言， 例如可使用兩個攝影裝置者。 又，本發明中，最好上述觀測手段的觀測位置是被固 定於裝置中。 若利用此發明，則由於觀測手段的觀測位置是被固定 於裝置中，而不需要移動觀測手段的移動機構，因此可提 高觀測精度。 又，本發明中，最好上述不同的兩個以上的位置關係 是對上述掃描方向而言，可使上述平面姿勢約呈90度旋 轉於上述被噴出物的表面的法線周圍的兩個位置關係。 若利用此發明，則對被噴出物而言，可使液滴噴出頭 掃描於彼此正交的兩個方向，因此最能有效地減少對被噴 出物之液滴噴出頭的掃描方向上所引起的條紋狀料不均。 又，本發明的另一液滴噴出裝置是屬於一種供以對被 噴出物噴出液狀材料而成膜之液滴噴出裝置，其特徵爲具 有： 供以噴出上述液狀材料之液滴噴出頭；及 在使該液滴噴出頭與被噴出物對向的狀態下，使相對 移動於沿著上述被噴出物的表面的方向之移動手段；及 供以定位上述被噴出物的平面姿勢之姿勢定位手段； 並且，可將掃描方向（上述液滴噴出頭一邊對上述被 -15- (11) (11)1221119 噴出物噴出上述液滴材料的液滴一邊移動的掃描方向）變 更於對上述被噴出物（在處理途中藉由上述姿勢定位手段 而定位的上述被噴出物）而言不同的方向。 若利用此發明，則可於處理途中使液滴噴出頭的掃描 方向對被噴出物而言變更於不同的方向，因此可使液滴噴 出頭掃描於對一個被噴出物而言不同的兩個方向，而噴出 液滴來進行成膜，藉此可減少液滴噴出時在掃描方向上所 引起的條紋狀材料不均。 又，本發明中，最好上述姿勢定位手段具有觀察上述 被噴出物的不同部位之複數個觀測手段，可於上述掃描方 向的變更前後使用彼此不同的上述觀測手段。 若利用此發明，則可在對被噴出物的掃描方向變更前 後使用彼此不同的觀測手段，藉此即使不擴大觀測範圍或 不移動觀測手段，照樣可以進行觀測，因此不僅可價格便 宜地來構成裝置，而且還能夠提高觀測精度。 又，本發明中，最好上述觀測手段可以觀測上述被噴 出物的複數個部份。 若利用此發明，則複數個觀測手段可分別觀測被噴出 物的複數個部位，藉此而能夠高精度地檢測出被噴出物的 平面姿勢。就如此能夠觀測複數個部位的觀測手段而言， 例如可使用兩個攝影裝置者。 又，本發明中，最好上述觀測手段的觀測位置是被固 定於裝置中。 若利用此發明，則由於觀測手段的觀測位置是被固定 -16- (12) (12)1221119 於裝置中，而不需要移動觀測手段的移動機構，因此可提 高觀測精度。 又，本發明中，最好上述掃描方向的變更角度是在上 述被噴出物的表面的法線周圍約呈90度。 若利用此發明，則對被噴出物而言，可使液滴噴出頭 掃描於彼此正交的兩個方向，因此最能有效地減少對被噴 出物之液滴噴出頭的掃描方向上所引起的條紋狀料不均。 在本發明中，就上述液狀材料而言，例如有：在上述 被噴出物上形成濾光元件的液狀濾光材料，以及在上述被 噴出物上形成EL發光層的液狀發光材料。藉此，可在構 成顯示裝置的彩色濾光片或EL元件中，使該等彩色顯示 的形態形成高品質化。 又，本發明的彩色濾光片的製造方法是屬於一種具有 對被噴出物噴出液狀材料而形成濾光元件的噴出成膜過程 之彩色濾光片的製造方法； 其特徵爲具有： 沿著第1掃描方向來連續噴出上述液狀材料的液滴於 上述被噴出物上之第1噴出階段；及 沿著與上述第1掃描方向不同的第2掃描方向來連續 噴出上述液狀材料的液滴於上述被噴出物上之第2噴出階 若利用此發明，則藉由液狀材料的液滴噴出來形成彩 色濾光片的濾光元件時，可掃描於第1掃描方向及第2掃 描方向的兩個掃描方向，藉此而能夠減少在掃描方向上所 -17- (13) 1221119 引起的條紋狀顏色不均。 又，本發明中，最好在上述第1噴出階段中，形成有 對上述被噴出物的第1領域呈現第1色相之第1上述濾光 元件； 在上述第2噴出階段中，形成有對與上述被噴出物的 上述第1領域不同的第2領域呈現與第1色相不同的第2 色相之第2上述濾光元件。

若利用此發明，則可以不同的掃描方向來形成不同色 相的濾光元件，藉此可互相改變色相間顏色不均的發生形 態，進而能夠減少全體的顏色不均。 又，本發明中，最好形成呈現3色的色相之上述濾光 元件，在不同的噴出階段形成：呈現因上述液狀材料的液 滴的掃描方向而產生最大顏色不均勻的色相之上述濾光元 件，及呈現其他的2顏色的色相之上述濾光元件。

若利用此發明，則由於呈現最大顏色不均的色相之上 述濾光元件及呈現其他兩色的色相之上述濾光元件會以彼 此不同的掃描方向來形成，因此掃描方向的不同所產生的 顏色不均會彼此低消，進而能夠更爲減少全體的顏色不 均。 又，本發明中，最好上述濾光元件是藉由在上述第1 噴出階段所噴出的液滴及在上述第2噴出階段所噴出的液 滴來形成。 若利用此發明，則由於濾光元件是由不同掃描方向噴 出的複數個液滴所形成，因此可減少在掃描方向上所引起 -18- (14) (14)1221119 的濾光元件材料量的不均一，進而能夠減少在掃描方向上 所引起的條紋狀顏色不均。 又，本發明中，最好上述第1掃描方向與上述第2掃 描方向是在上述被噴出物的表面的法線周圍具有約呈90 度的角度的兩個方向。 若利用此發明，則對被噴出物而言，可使液滴噴出頭 掃描於彼此正交的兩個方向，因此最能有效地減少對被噴 出物之液滴噴出頭的掃描方向上所引起的條紋狀料不均。 又，本發明之具備彩色濾光片的顯示裝置是屬於一種 具備具有對被噴出物噴出液狀材料而成膜的濾光元件的彩 色濾光片之顯示裝置； 其特徵爲： 上述彩色濾光片是藉由沿著不同的複數個掃描方向而 連續噴出的上述液狀材料的液滴來構成。 若利用本發明，則由於所具備的彩色濾光片是由：沿 著不同的複數個掃描方向連續噴出的上述液狀材料的液 滴，亦即沿著某掃描方向來連續噴出的液滴與沿著其他的 掃描方向來連續噴出的液滴而混合成，因此可減少液滴噴 出時的掃描方向所產生的條紋狀顏色不均，進而能夠顯示 更高品質的影像。 又，本發明中，最好上述彩色濾光片具有··藉由沿著 彼此不同的掃描方向而連續噴出的上述液狀材料的液滴來 構成之呈現不同色相的複數種類的濾光元件。 若利用此發明，則會因爲呈現不同色相的複數種類的 -19 - (15) (15)1221119 濾光元件是由沿著不同掃描方向來連續噴出的液狀材料的 液滴而構成，所以可減少在連續噴出的液滴的掃描方向上 所引起的條紋狀顏色不均。 又，本發明中，最好具有呈現3色的色相之上述濾光 元件，且呈現因上述液狀材料的液滴的掃描方向而產生最 大顏色不均勻的色相之上述濾光元件，及呈現其他的2顏 色的色相之上述濾光元件會沿著不同的掃描方向而連續形 成。 若利用此發明，則某色相的最大顏色不均會與其他兩 個色相的顏色不均混合，藉此更能夠減少全體的顏色不 均。 又，本發明中，最好具有藉由沿著不同的上述掃描方 向而連續噴出的上述液狀材料的液滴的混合來形成的上述 濾光元件。 若利用此發明，則由於濾光元件是由不同掃描方向噴 出的複數個液滴來形成，因此可減少在掃描方向上所引起 的濾光元件材料量的不均一，進而能夠更爲減少在掃描方 向上所引起的條紋狀顏色不均。 又，本發明中，最好不同的上述掃描方向是在上述彩 色濾光片的表面的法線周圍具有約呈90度的角度的兩個 方向。 若利用此發明，則由於是一邊掃描於彼此正交的兩個 方向，一邊使液滴噴出而形成彩色濾光片，因此最能有效 地減少在液滴的掃描方向上所引起的條紋狀材料不均。 (16) (16)1221119 就本發明的顯示裝置而言，例如有利用光電物質來使 能夠顯示的光電裝置。就此光電裝置而言，例如具有與上 述彩色濾光片平面重疊的液晶面板，或具有與上述彩色濾 光片平面重疊的EL發光層。 又，本發明的電子機器是具有具備以上所記載的彩色 濾光片之顯示裝置。就本發明的電子機器而言，並沒有特 別加以限定，例如可爲行動電話等的攜帶型資訊終端機、 攜帶型電腦、電子手錶等的攜帶型電子機器。 又，本發明之顯示裝置的製造方法是屬於一種具有對 基材噴出液狀材料而成膜的噴出成膜過程之顯示裝置的製 造方法； 其特徵爲具有： 沿著第1掃描方向而連續噴出上述液狀材料的液滴於 上述基材上之第1噴出階段；及 沿著與第1掃描方向不同的第2掃描方向而連續噴出 上述液狀材料的液滴於上述基材上之第2噴出階段。 若利用此發明，則由於對基材而言，是一邊掃描於不 同的兩個掃描方向，一邊噴出液滴來進行成膜，因此可減 少在液滴噴出時的掃描方向上所引起的條紋狀材料不均。 特別是作爲光電裝置的製造方法非常有效。 又，本發明中，最好是藉由上述液狀材料的液滴來形 成顯示點。 若利用此發明，則由於可減少在掃描方向上所引起的 顯示點的材料不均，因此可降低顯示不均，進行高品質的 -21 - (17) (17)1221119 顯示。 又’本發明中，最好上述顯示點是藉由複數個液滴而 形成’在上述第1噴出階段中，上述複數個液滴的其中一 部份會被噴出，在上述第2噴出階段中，上述複數個液滴 的其中剩餘部份會被噴出。 若利用此發明，則由於顯示點是由不同掃描方向噴出 的複數個液滴來形成，因此更可減少材料不均，進而能夠 更爲提高顯示品質。 在本發明中，上述顯示點可能爲具有EL發光層。此 情況，最好是藉由上述液滴來形成EL發光層。又，顯示 點可能是由EL發光層、電洞輸送層、及夾持該等的一對 電極來構成。此情況，最好EL發光層、電洞輸送層及一 對電極中的至少一方是由上述液滴所形成。 在本發明中，最好上述第1掃描方向與上述第2掃描 方向，最好是在上述基材表面的法線周圍具有約90度的 角度的兩個方向。 若利用此發明，則可沿著彼此正交的兩個掃描方向來 一邊掃描，一邊噴出液滴，藉此可有效地減少全體的材料 不均。 又，本發明的顯示裝置是屬於一種具備對被噴出物噴 出液狀材料而成膜的顯示點之顯示裝置； 其特徵爲： 上述顯示點是藉由沿著不同的複數個掃描方向而連續 噴出的上述液狀材料的液滴而構成。 (18) (18)1221119 若利用此發明，則由於對基材而言，是一邊掃描於不 同的兩個掃描方向，一邊噴出液滴來進行成膜，而形成顯 示點，因此可減少在液滴噴出時的掃描方向上所引起的條 紋狀材料不均，進而可以提高顯示品質。特別是在液晶裝 置或EL裝置等的光電裝置時非常有效。 又，本發明中，最好具有藉由沿著不同的上述掃描方 向而連續噴出的上述液狀材料的液滴的混合而形成的上述 顯示點。 若利用此發明，則由於顯示點是由不同掃描方向噴出 的複數個液滴來形成，因此可減少在掃描方向上所引起的 材料量不均一，進而能夠更爲減少在掃描方向上所引起的 條紋狀顯示不均。 在本發明中，上述顯示點可能爲具有EL發光層。此 情況，最好是藉由上述液滴來形成EL發光層。又，顯示 點可能是由EL發光層、電洞輸送層、及夾持該等的一對 電極來構成。此情況，最好EL發光層、電洞輸送層及一 對電極中的至少一方是由上述液滴所形成。 在本發明中，不同的上述掃描方向最好是在上述彩色 濾光片表面的法線周圍具有約90度的角度的兩個方向。 若利用此發明，則一邊掃描於彼此正交的兩個掃描方 向，一邊噴出液滴來形成顯示點，因此最能有效地減少在 液滴的掃描方向上所引起的條紋狀材料不均。 又，本發明的電子機器爲具有以上所記載的顯示裝 置。就本發明的電子機器而言，並沒有特別加以限定，例 -23- (19) (19)1221119 如可爲行動電話等的攜帶型資訊終端機、攜帶型電腦、電 子手錶等的攜帶型電子機器。 【實施方式】 其次，參照圖面來詳細說明本發明之成膜方法、成膜 裝置、液滴噴出裝置、彩色濾光片的製造方法、具備彩色 濾光片的 顯示裝置、顯示裝置的製造方法、顯示裝置、 及電子機器的實施形態。 [液滴噴出裝置] 首先，說明有關本發明之成膜裝置及液滴噴出裝置的 實施形態。 如圖8所示，此實施形態的液滴噴出裝置！ 6具有： 噴頭單元26;該噴頭單元26具備由噴墨頭（例如使 用於印表機等的噴墨頭）所構成的液滴噴出手段，亦即液 滴噴出頭22 ;及 噴頭位置控制裝置1 7 ;該噴頭位置控制裝置1 7是在 於控制液滴噴出頭22的位置（控制噴頭位置）·，及 基板位置控制裝置1 8 ;該基板位置控制裝置1 8是在 於控制主基板1 2的位置；及 掃描驅動裝置19;該掃描驅動裝置19爲掃描驅動手 段，是供以使液滴噴出頭22對主基板12掃描移動於掃描 方向X ;及 傳送驅動裝置21;該傳送驅動裝置21是供以使液滴 -24· (20) (20)1221119 噴出頭22對主基板12傳送至與掃描方向交叉（正交）的 傳送方向Y ;及 基板供給裝置23 ;該基板供給裝置23是供以使主基 板1 2供給至液滴噴出裝置1 6内的規定作業位置；及 控制裝置24 ;該控制裝置24是在於執行該液滴噴出 裝置1 6的全盤控制。 又，上述噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置 18、掃描驅動裝置19、傳送驅動裝置21的各裝置是設置 於基座9的上面。並且，因應所需，該等的各裝置會藉由 罩蓋4來予以覆蓋。在此，噴頭位置控制裝置17、掃描 驅動裝置19及傳送驅動裝置21是構成移動手段。 液滴噴出頭22，例如圖1 0所示，具有配列複數個噴 嘴27而成的噴嘴列28。噴嘴27的數量，例如爲180 個，噴嘴2 7的孔徑，例如2 8 // m，噴嘴2 7的間距t ，例 如爲圖10的短邊方向Μ是表示液滴噴出頭22 的標準掃描方向，配列方向Τ是表示噴嘴列28的噴嘴27 的配列方向。 液滴噴出頭22，例如圖12(a)及（b)所示，具有：由不 鏽鋼等所構成的噴嘴板29，及與該噴嘴板29呈對向的振 動板31，以及彼此接合噴嘴板29與振動板31的複數個 隔板構件32。並且，在噴嘴板29與振動板31之間，藉 由隔板構件32來形成有複數個墨水室33及蓄液池34。 該等墨水室33與蓄液池34會經由通路38來予以彼此連 通。 -25- (21) 1221119 在振動板31的適當處形成有墨水供給孔3 6。在此墨 水供給孔3 6連接墨水供給裝置3 7。墨水供給裝置3 7會 將R，G，B的其中一色，例如R色的濾光元件材料μ供 應給墨水供給孔3 6。如此被供給的濾光元件材料Μ會充 滿於蓄液池3 4中，且經由通路3 8來充滿於墨水室3 3。

在噴嘴板29中設有供以從墨水室33來將濾光元件材 料Μ噴成噴射狀的噴嘴27。並且，在面對振動板31的墨 水室33的一面的背面，對應於該墨水室33而安裝有墨水 加壓體39。此墨水加壓體39，如圖12(b)所示，具有：壓 電元件41及予以夾持的一對電極42a及42b。壓電元件 41是藉由往電極42a及42b的通電來彎曲變形成箭頭C 所示之往外側突出狀，藉此，墨水室33的容積會増大。 如此一來，相當於増大後的容積部份的濾光元件材料μ 會從蓄液池34經由通路38來流入墨水室33。

之後’若解除往壓電元件41的通電，則此壓電元件 41與振動板31會一起回復到原來的形狀，藉此，由於墨 水室33也會回到原來的容積，因此位於墨水室33内部的 滤光元件材料Μ的壓力會上昇，濾光元件材料Μ會自噴 嘴27形成液滴8而噴出。並且，在噴嘴27的周邊部，爲 了防止液滴8的飛行彎曲或噴嘴27的孔阻塞等，而設有 撥墨層43 (例如由Ni -四氟合乙烯共析電鍍層所構 成）。 其次’參照圖9來說明配置於上述液滴噴出頭22的 周圍之噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、掃 -26- (22) (22)1221119 描驅動裝置19、傳送驅動裝置21，及其他的手段。 噴頭位置控制裝置1 7具有： 使安裝於噴頭單元26的液滴噴出頭22旋轉於平面 (水平面）内的α馬達44 ;及 使液滴噴出頭22搖動旋轉於與傳送方向Υ平行的軸 線周圍的/3馬達46;及 使液滴噴出頭22搖動旋轉於與掃描方向X平行的軸 線周圍的7馬達4 7 ;及 使液滴噴出頭22平行移動至上下方向的Ζ馬達48。 又，基板位置控制裝置18具有：承載主基板12的載 物台49，及使該載物台49旋轉於平面（水平面）内的0 馬達51 ^又，掃描驅動裝置19具有：往掃描方向X延伸 的X導軌5 2，及例如內藏脈衝驅動的線性馬達的X滑塊 53。此X滑塊53是藉由内蔵的線性馬達的作動，沿著X 導軌52來平行移動於掃描方向X。 又，傳送驅動裝置19具有：往傳送方向Υ延伸的Υ 導軌54，及例如內藏脈衝驅動的線性馬達的Υ滑塊56。 Υ滑塊56是藉由内蔵的線性馬達的作動，沿著Υ導軌54 來平行移動於傳送方向Υ。 在X滑塊53或Υ滑塊56内被脈衝驅動的線性馬 達，可根據供應給該馬達的脈衝訊號來精密地進行輸出軸 的旋轉角度控制。因此，可高精度地控制被支持於X滑 塊53之液滴噴出頭22的掃描方向X上的位置或載物台 49的傳送方向Υ上的位置等。並且，液滴噴出頭22或載 -27· (23) (23)1221119 物台49的位置控制並非只限於使用脈衝馬達的位置控 制，亦可藉由使用伺服馬達的反餽控制或其他的任意方法 來實現。 在上述載物台49中設有供以規制主基板1 2的平面位 置的定位銷50a，50b。主基板12是在藉由後述的基板供 給裝置23來使掃描方向X側及傳送方向Y側的端面抵接 於定位銷50a，5 0b的狀態下保持定位。並且，最好在載 物台49上設置一供以在如此的定位狀態下固定所被保持 的主基板12者，例如空氣吸引（真空吸著）等的習知固定 手段。 在本實施形態的液滴噴出裝置1 6中，如圖9所示， 於載物台49的上方配置有複數組（圖示例爲2組）的攝影 裝置91R，91L及92R，92L。在此，攝影裝置91R，91L 及92R，92L在圖9中僅顯示出鏡筒，其他部份及其支持 構造則省略。就該等觀察手段的攝影裝置而言，可使用 CCD攝影機等。並且，在圖8中省略該等攝影裝置的圖 示。 在此，更詳細說明本實施形態之上述攝影裝置91R， 91L及92R，92L的構成。圖22(a)及（b)是表示將主基板 12定位保持於載物台49上的狀態平面圖。在載物台49 上，如圖22(a)所示，可使主基板12保持於其長度方向L 一致於裝置的掃描方向X之平面姿勢’且如圖22(b)所 示，可使主基板12保持於其長度方向L 一致於傳送方向 Y之平面姿勢。在此，就圖示例而言’定位銷50a可按照 -28- (24) 1221119 主基板12的平面姿勢來移動於圖示左右，定位銷50b是 固定於載物台49。但，就定位銷50a，50b而言，亦可爲 定位銷50b固定於載物台49，定位銷50a爲移動可能。

在主基板12的周緣部事先形成有2組合計4個的對 準標記 12ar，12al及 12br，12bl。在此，對準標記 12ar，12al是分別形成於主基板12的長度方向L的兩 端。又，對準標記12br，12bl是分別形成於主基板12的 短邊延伸方向，亦即短邊方向Μ的兩端。如圖22(a)所 示，主基板12會在其長度方向L對準掃描方向X的狀態 下保持於載物台49上，在此狀態下，使上述攝影裝置 91R，91L能夠分別攝取對準標記12ar，12al。又，如圖 22(b)所示，主基板12會在其長度方向L對準傳送方向Y 的狀態下保持於載物台49上，在此狀態下，使上述攝影 裝置92R，92L能夠分別攝取對準標記12br，12bl。

上述攝影裝置91R，91L及92R，92L皆是直接或間 接固定於液滴噴出裝置1 6的固定部份（例如基座9)。並 且，利用該等固定的攝影裝置來觀察主基板12，藉此來 正確地檢測出載物台49上的主基板1 2的位置。 再度回到圖8來繼續説明。圖8所示的基板供給裝置 23具有：收容主基板12的基板収容部57，及搬送主基板 12的機械手臂等的基板移載機構58。又，基板移載機構 58具有：基台59，及對基台59進行昇降移動的昇降軸 61，及以昇降軸61爲中心來旋轉的第1手臂62，及對第 1手臂62旋轉的第2手臂63，以及設置於第2手臂63的 -29- (25) 1221119 前端下面的吸著墊64。此吸著墊64可利用空氣吸引（真 空吸著）等來吸著保持主基板12。 又，如圖8所示，在上述液滴噴出頭22的掃描軌跡 下，亦即在傳送驅動裝置21的一方旁邊配設有罩蓋裝置 76及洗淨裝置77。並且，在傳送驅動裝置21的另一方旁 邊配置有電子天秤78。在此，罩蓋裝置76是在液滴噴出 頭22處於待機狀態時供以防止噴嘴27(圖10參照）乾燥的 裝置。洗淨裝置77是供以洗淨液滴噴出頭22的裝置。電 子天秤78是供以對每個噴嘴測定自液滴噴出頭22内的各 個噴嘴27噴出的墨水液滴8的重量者。而且，在液滴噴 出頭22的近傍安裝有與液滴噴出頭22 —體移動的噴頭用 攝影機81。 圖8所示的控制裝置24具有：收容處理器的電腦本 體部66，鍵盤等的輸入裝置67，及CRT等的顯示裝置 68。電腦本體部66具備：圖14所示的CPU(中央處理單 元）69 ’及記憶各種資訊的記憶體，亦即資訊記録媒體 7卜 上述噴頭位置控制裝置1 7、基板位置控制裝置1 8、 掃描驅動裝置19、傳送驅動裝置21、及驅動液滴噴出頭 22内的壓電元件41 (參照圖12(b)的噴頭驅動電路72之各 機器’是如圖14所示，經由輸出入介面73及匯流排74 來連接於CPU69。並且，基板供給裝置23、輸入裝置 67、顯示裝置68、罩蓋裝置76、洗淨裝置77及電子天秤 78亦與上述同樣的，是經由輸出入介面73及匯流排74 •30- (26) (26)1221119 來連接於CPU69。 作爲資訊記録媒體71的記憶體是大槪包含RAM(隨 機存取記憶體）、ROM(唯讀記億體）等所謂的半導體記憶 體，或硬碟、CD-ROM讀取裝置、碟片型記録媒體等所謂 的外部記憶裝置，在機能上，設定有：用以記億記述液滴 噴出裝置1 6的動作控制程序的程式軟體之記憶領域，用 以記憶以液滴噴出頭22的墨水在主基板1 2内的噴出位置 作爲座標資料之記憶領域，用以記憶往圖9的傳送方向Y 的主基板12的傳送移動量之記億領域，及作爲CPU69用 的工作區域或暫時檔案等機能之領域，以及其他各種的記 憶領域。 CPU09是按照記憶於資訊記億媒體71的記憶體内的 程式軟體，在主基板12的表面規定位置進行供以噴出墨 水的控制。就具體的機能實現部而言，如圖_ 1 4所示，是 具有：進行供以實現洗淨處理的運算之洗淨運算部，及供 以實現罩蓋處理的罩蓋運算部，及供以實現電子天秤78 的重量測定的運算之重量測定運算部，及供以藉由液滴噴 出來使墨水噴著於主基板12的表面上，而以規定的圖案 來描繪之描繪運算部。 上述描繪運算部具有各種的機能運算部，亦即具有： 描繪開始位置運算部；該描繪開始位置運算部是用以 將液滴噴出頭22配置至描繪用的初期位置；及 掃描控制運算部；該掃描控制運算部是用以運算使液 滴噴出頭22以規定的速度來掃描移動至掃描方向X的控 -31 - (27) (27) 1221119 制；及 傳送控制運算部；該傳送控制運算部是用以運算使主 基板12只以規定的傳送移動量來移至傳送方向 Y的控 制；及 噴嘴噴出控制運算部；該噴嘴噴出控制運算部是用以 運算使液滴噴出頭22内的複數個噴嘴27的其中之一作 動，而噴出墨水的控制。 又，上述實施形態中，雖是藉由使用CPU69的程式 軟體來實現上述各機能，但亦可藉由不使用CPU的電子 電路來實現上述各機能。 其次’根據圖1 5所示的流程圖來説明上述構成的液 滴噴出裝置16的動作。若藉由操作員的電源切入來使液 滴噴出裝置1 6作動的話，則最初會在步驟s 1中執行初期 設定。具體而言，噴頭單元26，基板供給裝置23及控制 裝置24等會被設定成事先設定的初期狀態。 其次，若重量測定時序來到（步驟S2)，則會藉由掃 描驅動裝置19來使圖9的噴頭單元26移動至圖8的電子 天秤78處（步驟S3)。然後，利用電子天秤78來測定自噴 嘴27噴出的墨水量（步驟S4)。並且，配合如此被測定之 噴嘴27的墨水噴出特性來調節施加於各噴嘴27的壓電元 件41的電壓（步驟S5)。 然後，若洗淨時序來到（步驟S6)，則會藉由掃描驅 動裝置19來使噴頭單元26移動至洗淨裝置77處（步驟 S7)，利用該洗淨裝置77來洗淨液滴噴出頭22(步驟 (28) 1221119 S8) °

當重量測定時序及洗淨時序來到時，或者重量測定及 洗淨終了時，會在步驟9中使圖8的基板供給裝置23作 動，而將主基板12供應給載物台49。具體而言，會藉由 吸著墊64來吸著保持基板収容部57内的主基板12，並 使昇降軸61、第1手臂62及第2手臂63移動，而來將 主基板12搬送至載物台49，且於載物台49的適當處推 壓到事先設置的定位銷50a，5 Ob(參照圖9)。並且，爲了 防止載物台49上的主基板12產生位置偏移，最好是利用 空氣吸引（真空吸著）等的手段來將主基板12固定於載物 台49 〇

其次，利用圖9的攝影裝置91R，91L來一邊觀察主 基板12，一邊以微小角度單位來使馬達51的輸出軸旋 轉，藉此使載物台 49旋轉於平面（水平面）内，將主基 板12定位（步驟S10)。更具體而言，利用圖9的一對攝影 裝置91R，91L或92R，92L來分別攝取各形成於主基板 12的左右兩端的對準標記12ar，12al，12bi·，12bl，根據 該等對準標記的攝影位置來運算求取主基板12的平面姿 勢，且按照此平面姿勢來使載物台49旋轉，而調整角度 Θ ° 之後，利用圖8的噴頭用攝影機81來一邊觀察主基 板12，一邊藉由運算來決定開始描繪（藉由液滴噴出頭 22)的位置（步驟S11)。然後，使掃描驅動裝置19及傳送 驅動裝置21適當地作動，而令液滴噴出頭22移動至描繪 -33- (29) 1221119 開始位置（步驟S12)。

此刻，液滴噴出頭22亦可形成：圖10的基準方向S 一致於掃描方向X的姿勢，或者基準方向S如圖1及圖2 所示，對掃描方向傾斜角度0 1，0 2。此角度0丨，0 2 大多是在噴嘴27的間距與應使墨水噴著於主基板12的表 面上的位置的間距不同時，供以使液滴噴出頭22移動至 掃描方向X時，配列於配列方向T的噴嘴27的間距的傳 送方向Y的尺寸大小與主基板12的傳送方向Y的噴著位 置的間距形成幾何學相等。 在圖15的步驟S12中，若液滴噴出頭22位於描繪開 始位置，則於步驟S13中，液滴噴出頭22會以一定的速 度直線掃描移動至掃描方向X。在此掃描中，墨水的液滴 會從液滴噴出頭22的噴嘴27來連續地噴出至主基板12 的表面上。

又，此刻的墨水液滴的噴出量，可根據一次的掃描來 設定液滴噴出頭22所能涉及之噴出範圍的全量噴出，但 亦可如圖3及圖4所不，根據一次的掃描來設定原本應噴 出量的數分之一（例如4分之1)的墨水噴出量，在使液 滴噴出頭22進行複數次掃描時，其掃描範圍會在傳送方 向Y上彼此部份重疊，於全體的領域中進行數次（例如4 次）的墨水噴出。 若液滴噴出頭22完成對主基板12的1線分掃描（步 驟S14)，則會反轉移動，而恢復到初期位置（步驟S15), 於傳送方向Y上移動規定量（所被設定的傳送移動量）（步 -34- (30) (30)1221119 驟SI 6)。此刻，會在步驟S13中，再度掃描，噴出墨水 之後重複進行上述的動作，進行複數條線掃描。在此，參 照圖2，若1線分的掃描終了，則可於傳送方向γ上移動 規定量’反轉後’以能夠掃描於相反方向的方式來使掃描 方向交互反轉而驅動。 在此，若針對主基板12内形成有複數個彩色濾光片 的情況時來加以説明，則當主基板1 2内的彩色濾光片領 域一列分完成所有的墨水噴出（步驟S 17)，液滴噴出頭22 會移動於規定量傳送方向Y，再度與上述同樣的重複進行 步驟S13〜S16的動作。然後，若最後對主基板12上的全 列彩色濾光片領域完成墨水噴出的話（步驟S1 8)，則會於步 驟S20中，藉由基板供給裝置23或其他搬出機構來將處 理後的主基板12排出至外部。之後，只要操作員不下達 作業終了指示，可重複進行上述主基板1 2的供給及墨水 噴出作業。 若操作員下達作業終了指示（步驟S21)，則CPU69會 在圖8中使液滴噴出頭22搬送至罩蓋裝置76，藉由該罩 蓋裝置76來對液滴噴出頭22進行罩蓋處理（步驟S 22)。 在上述構成的液滴噴出裝置16中，一邊使液滴噴出 頭22掃描於掃描方向X，一邊連續噴出墨水的液滴，經 由往傳送方向 Y的移動來重複進行該掃描，藉此來使墨 水能夠噴著於主基板12的全表面上。在本實施形態中， 若圖22(a)所示，是將主基板12配置於載物台49上，然 後可利用攝影裝置91R，91L之對準標記12ar，12al的撮 (31)1221119 影來進行主基板12的定位，且亦可如圖22(b)所示，以不 同的平面姿勢（在基板表面的法線周圍使90度旋轉的姿 勢）來將主基板12配置於載物台49上，利用攝影裝置 92R，92L之對準標記12br，12bl的撮影來進行主基板12 的定位，因此可將對主基板12的掃描方向X設定於不同 的兩個方向（彼此正交的兩個方向）來進行處理。

一般，應被噴著墨水的位置的配列形態不同的主基板 1 2會被供給至液滴噴出裝置1 6。例如圖22所示，在主基 板1 2上配列有複數個單位領域1 1時，會存在有依製品的 機種而有所不同的單位領域1 1大小或點配列圖案，且爲 了取更多的單位領域I 1來提高生産性，而單位領域1 1 的配列形態也會有所不同。因此，如圖22所示，在配列 有單位領域1 1的主基板12時，如圖22 (a)所示，可使主 基板12的長度方向L與液滴噴出頭22的掃描方向X-致，而來有効率地進行處理，又，如圖23所示，在配列 有其他的單位領域11’的主基板12’時，或者在主基板上 配列有與圖22不同姿勢的單位領域11時，如圖23(a)所 示，可使主基板12的長度方向L與傳送方向Y —致，而 來有効率地進行處理。 因此，若利用本實施形態的液滴噴出裝置1 6，則如 圖22及圖23所示，即使使主基板12形成不同的2個方 向（就圖示例而言爲正交的2個方向）的平面姿勢，照樣 可以進行處理，因此可在合適於墨水應噴著位置的配列形 態的平面姿勢下使主基板12設置於載物台49上，其結 -36- (32) (32)1221119 果，可按照被噴出物的主基板1 2的形態來有効率地進行 處理。 又，由於上述實施形態爲了在載物台49上配置主基 板12而使用基板供給裝置23，因此如圖22及圖23所 示，爲了將載物台49上的主基板12的平面姿勢設定於不 同的2個方向之一，可藉由基板供給裝置23來改變供給 姿勢予以對應。但，亦可利用載物台49的旋轉機構來使 載物台49旋轉（例如旋轉90度），在載物台49上供給 主基板1 2後，使載物台49旋轉，而來選擇是否改變主基 板12的平面姿勢。 但，形成液滴噴出頭22的噴嘴列28的複數個噴嘴 27的墨水噴出量的分佈會有可能形成不均一，例如在噴 嘴列28的兩端部所存在的數個（例如10個）噴嘴27的墨 水噴出量會特別多，如圖5 6的相關説明所述。如此，在 使用墨水噴出量比其他噴嘴27還要多的噴嘴27時，會影 響到利用墨水的噴出來成膜時的膜厚均一性。因此，例如 圖13所示，最好是在形成噴嘴列28的複數個噴嘴27 中，事先將存在於噴嘴列28的兩端部E的數個（例如10 個）設定成不噴出墨水，而利用存在於其餘部份F的噴嘴 27 〇 此外，並非是以液滴噴出頭22噴出的一液滴來於規 定領域浸形成膜，而是由複數的液滴來進行成膜’藉此而 能夠減少所形成之膜厚的不均一。亦即，在複數個領域中 進行成膜時，即使各個液滴量存在某種程度的不均一’還 -37· (33) 1221119 是可藉由複數的液滴來進行1個領域的成膜，藉此來減少 形成於各領域的膜厚不均一。

就液滴噴出頭22的構造而言，並非只限於上述者， 亦可使用各種的構造。例如，圖1 1所示的液滴噴出頭 22A具備配置於基準方向5的2列噴嘴列28,28。在該等 噴嘴列28中，與上述同樣的亦包含複數個噴嘴27。並 且，圖16所示的液滴噴出頭2 2B具備配列於基準方向S 的3列噴嘴列28R，28G，28B。該等液滴噴出頭22A， 22B中，自各噴嘴列28的噴嘴27噴出的液滴材料可爲相 同者，或彼此不同者。例如，圖11所示的液滴噴出頭 22A是由2個噴嘴列28的其中一列的噴嘴27來噴出相同 的墨水，圖16所示的液滴噴出頭 22B是由各噴嘴列 28R，28G，28B的噴嘴27來噴出彼此不同的墨水，例如 使用後述的濾光元件材料13R，13G，13B。 [彩色濾光片及其製造方法] 其次，說明有關本發明之彩色濾光片的製造方法的實 施形態。就此實施形態而言，雖是說明有關利用上述液滴 噴出裝置16來製造彩色濾光片的例子，但本發明之彩色 濾光片的製造方法並非只限於此裝置構造。 圖5(a)是表示彩色濾光片的1個實施形態的平面構造 模式圖。並且’圖6(d)是表示沿著圖5(a)的VI· VI線的剖 面構造。 本實施形態的彩色濾光片1是在藉由玻璃或塑膠等所 -38- (34) 1221119 形成的方形基板（基材）2的表面上，將複數個濾光元件3 形成點圖案狀，圖示例爲形成點矩陣狀。並且，如圖6(d) 所示，彩色濾光片1是在濾光元件3上層疊有保護膜4。 圖5 (a)是表示去除保護膜4的狀態之彩色濾光片1的平面 圖。

在基板2的表面上，藉由無透光性的樹脂材料來形成 格子狀圖案的隔壁6，且以色材來塡滿藉此隔壁6而區劃 的方形領域，而形成濾光元件3。並且，該等濾光元件3 是分別利用R(紅）、G(綠）、B (藍）中的任一顏色的色材來 形成，該等各顏色的濾光元件3會排列成規定的配列。就 此配列而言，例如有圖7(a)所示的條紋配列（矩陣的縱列 爲全體形成同色的配列）、圖7(b)所示的瑪賽克配列（排列 成縱橫直線狀的任意三個濾光元件爲形成R，G，B三色 的配列）、圖7(c)所示的三角配列（使濾光元件3的配置 形成各段不同，任意隣接的三個濾光元件3爲形成R，

G，B的配列）。並且，本發明的「隔壁」亦包含「觸排」 之意，且並非只限於具有幾乎垂直於基板的角度之側面 者，亦包含具有某程度的傾斜角之側面者，亦即由基板來 看形成凸出的部份。 又，彩色濾光片1的大小，例如約爲4.57cm (1.8英 吋）。又，1個濾光兀件3的大小’例如爲30//mxl00// m。又，隣接的濾光元件3的間隔，亦即元件間的間距， 例如爲7 5 // m。 以本實施形態的彩色濾光片1來作爲彩色顯示（全彩 -39 - (35) (35)1221119 顯示）用的光學要件時，會以R，G，B三個的濾光元件3 來作爲1個單元而構成畫素，選擇性地使光透過1畫素内 的R，G，B的其中之一或該等的組合，藉此來進行彩色 顯示。此刻，使用無透光性的樹脂材料來形成的隔壁6可 作爲黑色光罩用。 上述彩色濾光片1是例如由圖5(b)所示的基板’亦即 大面積的主基板12切出。具體而言，首先是在設定於主 基板12内的複數個彩色濾光片形成領域（單位領域）11 的各表面形成彩色濾光片1的1個份量的圖案。然後’在 該等彩色濾光片形成領域1 1的周圍形成分斷用的溝’沿 著該等的溝來施加應力，以此方法來切斷主基板12，藉 此來形成圖5(a)所示之各個的彩色濾光片1。 其次，針對上述彩色濾光片1的製造方法來具體説 明。圖6是表示彩色濾光片1之製造方法的過程順序模式 圖。首先，在主基板12的表面，藉由無透光性的樹脂材 料來將隔壁6形成格子狀的圖案（由箭頭B方向來看）。 格子狀圖案的格子孔部份7是形成有濾光元件3的領域， 亦即濾光元件形成領域。藉此隔壁6而區劃成的各個濾光 元件形成領域7之由箭頭B方向來看時的平面寸法，例如 爲 30//mxl00/zm 程度。 隔壁6具有：阻止供應至濾光元件形成領域7的液狀 體，亦即濾光元件材料1 3的流動之機能，及黑色光罩的 機能。並且’隔壁6是藉由任意的圖案形成手法，例如光 蝕刻法來形成，且因應所需，利用加熱器來加熱燒成。 (36) 隔壁6形成後，如圖6(b)所示，將濾光元件材料j 3 的液滴8供應給各濾光元件形成領域7，藉此來以濾光元 件材料1 3塡埋各濾光元件形成領域7。例如，由上述液 滴噴出裝置16的液滴噴出頭22來使墨水（濾光元件材料 1 3)的液滴8噴出，而使噴著於濾光元件形成領域7内。 在圖6(b)中，元件符號13R是表示具有R(紅）色的濾光元 件材料，元件符號13G是表示具有G(綠）色的濾光元件材 料’元件符號13B是表示具有B(綠）色的濾光元件材料。 若於各濾光元件形成領域7中充塡規定量的濾光元件 材料1 3，則會利用加熱器來將主基板1 2加熱至例如70。^ 的程度，而使濾光元件材料1 3的溶媒蒸發。藉此蒸發， 圖6(c)所示濾光元件材料13的體積會減少，而形成平坦 化。當體積的減少顯著時，會至彩色濾光片1取得充分的 膜厚爲止，重複執行濾光元件材料1 3的液滴8供給及該 液滴8的加熱。藉由以上的處理，最後只有濾光元件材料 13的固形部份會残留而膜化，藉此來形成所希望的各色 濾光元件3。 如上述，在濾光元件3形成後，爲了使各濾光元件3 完全乾燥，而以規定的温度來執行規定時間的加熱處理。 然後，利用旋轉塗佈法，滾筒塗佈法、浸泡法、或噴墨法 等適當的手法來形成保護膜4。此保護膜4是供以爲了保 護濾光元件3及使彩色濾光片1的表面平坦化而形成者。 並且，在本實施形態中，隔壁6的樹脂爲非透光性者，以 具有遮光機能者（黑色矩陣）來構成，但亦可使用透光性 -41 - (37) (37)1221119 者，而於該樹脂的下層形成比該樹脂的面積還要大，由 Cr等金屬所構成的遮光層。 在本實施形態中，如圖6(b)所示，濾光元件材料13 爲墨水，藉由上述液滴噴出裝置16來是該墨水的液滴8 噴著於各濾光元件形成領域7，藉此來形成濾光元件3。 此情況，若一邊使液滴噴出頭22掃描於全體掃描方向X (對主基板12而言爲相同的掃描方向X) —邊來噴出供 以形成3色的濾光元件3的3種濾光元件材料13R， 13 G，13B，則如上述，會有可能在液滴噴出頭22的各噴 嘴27間產生噴出量不均一，或者隨著液滴噴出頭22的噴 嘴27的墨水噴出量的時效變化等，而於掃描方向X上產 生條紋狀的顏色不均。 在此，就本實施形態而言，是一邊使液滴噴出頭22 掃描於與其他顏色材料不同的掃描方向，一邊噴出上述3 色的濾光元件材料13R，13G，13B的其中之一顏色的材 料。例如圖22 (a)所示，在使液滴噴出頭22的掃描方向 X與主基板12的長度方向L形成一致的狀態下噴出上述 3色的材料中的2色材料（例如13R及13G)，又，如圖 22(b)所示，在使液滴噴出頭22的掃描方向X與主基板 12的長度方向L呈正交的狀態（亦即，傳送方向Y與主 基板12的長度方向L形成一致的狀態）下噴出剩下1色的 材料（例如13B)。又，亦可相反的，如圖23(a)所示，在 使液滴噴出頭22的掃描方向X與主基板12的長度方向L 呈正交的狀態（亦即，傳送方向Y與主基板12的長度方 -42· (38) (38)1221119 向L形成一致的狀態）下噴出上述3色材料中的其中2色 材料（例如13R及13G)，又，如圖23(b)所示，在使液滴 噴出頭2 2的掃描方向X與主基板ι2的長度方向l形成 一致的狀態下噴出剩下1色的材料（例如13B)。 如此一來，由於3色的濾光元件材料13R，nG，ία 的其中之一的材料噴出時的掃描方向與剩下材料的噴出時 的掃描方向對主基板12而言是形成彼此不同（正交），因 此一個材料所引起的條紋狀顏色不均與剩下材料所引起的 條紋狀顏色不均會產生於不同的方向，所以不易顯現出彩 色濾光片1全體的顏色不均，實質上可減少顏色不均。 圖1〜圖4是表不由液滴噴出頭22的噴嘴27來對主 基板12噴出上述攄光元件材料13R，13G，13B時的程序 説明圖。並且’圖24是表不以上述程序來進行處理時之 製造裝置的裝置構成槪略構成圖。 (處理形態1 ) 如圖24所示，供以形成彩色濾光片的製造裝置具 有：藉由分別與上述者幾乎同樣的液滴噴出裝置16來構 成的第1段部16R、第2段部16G及第3段部16B。但， 只在第1段部16R配置有基板収容部57，而未配置於第2 段部16G及第3段部16B。並且，在第1段部16R與第2 段部16G之間、第2段部16G與第3段部16B之間、及 第3段部16B的後段配置具有熱板的暫時乾燥裝置96, 該暫時乾燥裝置96是供以分別使各段的液滴噴出裝置中 (39) (39)1221119 噴出附著於主基板12上的墨水（濾光元件材料）暫時乾 燥。而且，用以對各段部供給主基板12的基板移載機構 58’及由前段的液滴噴出裝置來取出主基板12後移載至 暫時乾燥裝置9 6的基板移載機構9 5會分別對應於各段來 設置。又，亦設有：由配置於第3段部16B的後段的暫時 乾燥裝置96來取出主基板，而移載至基板収容部98的基 板排出機構97。 在此製造裝置中，於第1段部16R中，R(紅）的濾光 元件材料13R會被噴出至主基板12上，然後在暫時乾燥 裝置9 6暫時乾燥濾光元件材料1 3 R。之後，於第2段部 16G中，G(綠）的濾光元件材料13G會被噴出至主基板12 上’在暫時乾燥裝置96暫時乾燥。又，於第3段部16B 中，B(藍）的濾光元件材料13B會被噴出至主基板12上， 在暫時乾燥裝置96暫時乾燥。最後在R，G，B的所有顏 色的濾光元件3R，3G，3B形成後，儲存於基板収容部 98 〇 (處理形態1的詳細說明） 圖1是表示藉由上述製造裝置來對主基板12所實施 之各段部16R，16G，16B的處理形態的具體例。並且，在 圖1中，基於圖示的方便起見，會使移動於傳送方向時的 液滴噴出頭22的位置錯開於掃描方向，但這並非意味各 掃描的掃描開始位置一定會有所不同。 在主基板12的各彩色濾光片形成領域（單位領域）11 -44- (40) (40)1221119 中，配列有點矩陣狀的濾光元件形成領域7。主基板1 2 的長度方向L及短邊方向Μ會被設定成如圖所示。又， 有關上述濾光元件材料13R，13G，13Β的其中1色或2色 (例如13 R，或13R及13 G)是由主基板12的一端（圖示 左端）的外側位置（初期位置）沿著長度方向L來使液滴 噴出頭22 —邊掃描一邊連續噴出材料墨水，且使該液滴 附著於沿著長度方向L而配列的濾光元件形成領域7。然 後，若液滴噴出頭22到達主基板12之未圖示的另一端 (圖示右端側），則會在主基板12的短邊方向Μ上只移動 規定的傳送移動量，再度移動至主基板12的一端外側位 置。然後，液滴噴出頭22會再度沿著長度方向L來進行 掃描，而噴出液滴。 此情況’有關濾光元件材料13R，13G，13Β的3色中 的2色或1色（例如13G及13Β、或13Β)的材料，與上 述相反的，是以液滴噴出頭22的初期位置作爲主基板1 2 的短邊方向Μ的一端的外側位置，由該位置來使液滴噴 出頭22 —邊掃描於短邊方向μ，一邊使上述材料的液滴 噴出至主基板12上。此情況，在液滴噴出頭22的掃描終 了後’會使液滴噴出頭22在長度方向L僅移動規定的傳 送移動量，然後沿著短邊方向Μ來移動於與掃描時相反 的方向，再度使復原至主基板12的短邊方向Μ的一端的 外側位置，重複進行如此的動作。藉此，3色的濾光元件 材料13R，13G，13Β中的至少1色會被噴出於與其他顏色 的材料不同（正交）的噴頭掃描方向。 (41) (41)1221119 (處理形態1的詳細變形例） 圖2是表示與上述不同形態的各段部16R, 16G，16B 之處理形態1的其他例。此情況與上述同樣的，有關濾光 元件材料13R，13G，13B的3色中的1色或2色的材料， 是以液滴噴出頭22的掃描方向與上述長度方向L 一致的 形態來進行處理，剩下顏色的材料則是以液滴噴出頭2 2 的掃描方向與上述短邊方向Μ —致的形態來進行處理。 此情況與圖1所示方法不同的地方是在於液滴噴出頭 22從主基板1 2的一端的外側位置往另一端沿著長度方向 L或短邊方向Μ掃描終了，於主基板12的另一端的外側 位置進行傳送動作後，會原封不動地從主基板1 2的另一 端的外側位置使掃描方向（長度方向L或短邊方向Μ)與 前回次呈反向，而使液滴噴出頭22進行掃描來噴出液 滴。藉由重複進行如此的動作，液滴噴出頭22會在主基 板12上交互掃描於相反方向，因此不需要液滴噴出頭22 的復原動作，而能夠更有效率地進行處理。 在上述圖1及圖2所示的詳細處理形態中，主基板 1 2的濾光元件形成領域（單位領域）1 1的形成間距，一般 是長度方向L與短邊方向Μ有所不同。此情況，利用相 同的液滴噴出頭22來往長度方向L進行掃描時及往短邊 方向Μ進行掃描時，如圖1及圖2所示，只要互相變更 液滴噴出頭22的基準方向S與掃描方向X (就圖示例而 言，長度方向L或短邊方向Μ —致）之間的角度0 1，0 -46 - (42) (42)1221119 2即可。 (處理形態1的其他變形例的詳細說明） 圖3是表示與上述不同的液滴噴出頭2 2的掃描形態 説明圖。並且，在圖3中，基於圖示的方便起見，會使移 動於傳送方向時的液滴噴出頭22的位置錯開於掃描方 向，但這並非意味各掃描的掃描開始位置一定會有所不 同。在此例中，是事先設定自液滴噴出頭22噴出的液滴 8量及濾光元件3的體積，而使能夠將N滴（就圖示例而 言爲4滴）的墨水（濾光元件材料）的液滴8 (自液滴噴出 頭22噴出）噴著於1個濾光元件形成領域7，而來形成 濾、光元件3。 此情況，當液滴噴出頭22的掃描方向X爲短邊方向 Μ時，對液滴噴出頭22的噴嘴列28的寬度W1而言，各 掃描期間所進行的傳送動作的傳送移動量爲八 S1=W1/N(就圖示例而言爲W1/4)。又，當液滴噴出頭22 的掃描方向X爲長邊方向L時，對液滴噴出頭22的噴嘴 列28的寬度Wm而言，各掃描期間所進行的傳送動作的 傳送移動量爲△ Sm = Wm/N(就圖示例而言爲 Wm/4)。藉 此，根據各掃描而噴出至濾光元件形成領域7内的濾光元 件材料的量雖爲全量的1/N(就圖示例而言爲1/4)，但由於 各濾光元件形成領域7會被噴N次（就圖示例而言爲4 次）的液滴8，因此在各濾光元件形成領域7中會被充塡 全量的濾光元件材料。 (43) (43)1221119 又’此例中’與圖2所示的例子同樣的，亦可使液滴 噴出頭22對主基板12往復，在掃描於彼此相反的方向時 噴出液滴8。 (處理形態2 ) 就上述處理形態1而言，如圖24所示，是使分別對 應於複數種類的濾光元件材料13R，13G，13B的液滴噴出 裝置16R，16G，16B設置成複數段，例如藉由改變主基 板12的供給姿勢，至少一段的液滴噴出頭（噴墨頭）22的 掃描方向可與其他段有所不同。但，本發明並非只限於如 此的方法，例如在1個液滴噴出裝置中，亦可使複數種類 的濾光元件材料依次噴出。亦即，在相同的液滴噴出裝置 中，於途中變更主基板12與液滴噴出頭的掃描方向之間 的相對方向關係。就此情況的方法而言，例如可於途中藉 由變更液滴噴出頭的掃描方向來改變相對的方向關係。此 情況，例如液滴噴出頭（噴墨頭）22並非只是掃描於圖9所 示的掃描方向X，亦可掃描於傳送方向Y。另一方面，亦 可在途中藉由改變主基板 12的平面姿勢來變更相對的方 向關係。在本發明中，無論是採用哪一種方法皆可，有關 後者的方法會在以下參照圖25來具體説明。 圖25是表示在圖8及圖9所示的液滴噴出裝置16的 載物台49上載置主基板12的狀態。就此實施形態的情況 而言，可藉由旋轉載物台49來切換成：使主基板12的長 度方向L與掃描方向X —致的狀態（圖25(a)及（b)所示的 (44) (44)1221119 狀態），及使主基板12的短邊方向Μ與掃描方向X 一致 的狀態（圖25(c)所示的狀態）。藉此，可使液滴噴出頭22 的掃描方向X對主基板12而言，相對的旋轉90度。 例如，首先藉由如圖8所示的基板供給裝置2 3來將: 主基板12供應至載物台49上。此刻，如圖25 (a)所示， 會以保持於載物台49上的主基板12的長度方向L能夠與 液滴噴出裝置16的液滴噴出頭22的掃描方向X形成— 致之方式來供給主基板12。而且，一邊使液滴噴出頭22 掃描於掃描方向X，一邊從噴嘴27噴出濾光元件材料 13R的液滴。然後，與上述同樣的，重複進行掃描動作及 傳送動作，藉此來對所需之全體的濾光元件形成領域7充 塡材料，而分別形成濾光元件3R。 其次，使用與上述同樣的方法，如圖25(b)所示，在 同樣的的狀態中，從液滴噴出頭22噴出濾光元件材料 13G。此刻，與上述同樣的，重複進行掃描動作及傳送動 作，藉此來對所需之全體的濾光元件形成領域7充塡材 料，而分別形成濾光元件3G。 然後，如圖25(c)所示，載物台49會被旋轉90度。 藉此，載物台49上的主基板12會被保持於其短邊方向M 與液滴噴出頭22的掃描方向X形成一致的平面姿勢。然 後，在此狀態下，與上述同樣的，濾光元件材料1 3 B會從 液滴噴出頭22噴出，且與上述同樣的，重複進行掃描動 作及傳送動作，藉此來對所需之全體的濾光元件形成領域 7充塡材料，而分別形成濾光元件3B。 •49- (45) (45)1221119 此刻’如上述液滴噴出頭22那樣，在使用可噴出單 一濾、光元件材料的液滴噴出頭時，是準備有可分別噴出3 種濾光元件材料13R，13G，13B的3個噴墨頭，可依次利 用該等液滴噴出頭來進行上述圖2 5 (a)〜（c)的3階段處 理。又’就圖16所示的液滴噴出頭22B而言，是由3個 墨水供給裝置37R，37G，37B來供給濾光元件材料 13R’13G，13B，該等3種的材料是由隸屬3列噴嘴列 28R’28G，28B的噴嘴27來噴出。因此，就此液滴噴出 頭22B的情況而言，即使是〗個，照樣可以實施上述3階 段的處理。 又’有關此處理形態2的詳細說明，可同樣地適用上 述處理形態1中參照圖1〜圖3來説明的各方法。 (處理形態3 ) 就參照上述圖3來進行説明的方法而言，雖是針對在 1個濾光元件形成領域7内噴出複數個液滴的方法來進行 説明，但此情況在噴出上述濾光元件材料13R，13 G，13 B 的其中至少1個時，可於噴出至1個濾光元件形成領域7 的複數個液滴中，針對噴出部份液滴時的主基板12及噴 出剩下液滴時的主基板12來改變掃描方向。如此一來， 除了可以降低在1個濾光元件形成領域7内充塡複數個液 滴時所產生的墨水量不均一以外’而且還能夠減少掃描方 向上所產生的顏色不均。 圖26是表示在1個濾光元件形成領域7内噴出以複 -50- (46) (46)1221119 數的同一材料來構成的液滴時的過程例。例如圖26(a)所 示，有關噴出至濾光元件形成領域7的N個（就圖示例 而言爲4個）液滴8中的一部份（就圖示例而言爲2個）的 液滴，是以主基板12的長度方向L能夠與掃描方向X形 成一致之方式，在保持主基板12的平面姿勢的狀態下， 一邊掃描噴墨頭一邊予以噴出。另一方面，如圖26(b)所 示，有關剩下（就圖示例而言爲2個）的液滴8，是以主基 板12的短邊方向Μ能夠與掃描方向X形成一致之方式， 在保持主基板12的平面姿勢的狀態下，一邊掃描噴墨頭 一邊予以噴出。 如此一來，由於收容於各濾光元件形成領域7的液滴 8的一部份是對其餘的部份而言，以不同的掃描方向來一 邊進行噴頭掃描一邊予以噴出，因此可減少在掃描方向上 所引起的材料不均一，且可減少形成於該處之濾光元件3 的條紋狀顏色不均。 (處理形態3的詳細說明） 參照圖4來詳細說明上述處理形態的更具體方法。並 且’在圖4中，基於圖示的方便起見，會使移動於傳送方 向時的液滴噴出頭22的位置錯開於掃描方向，但這並非 意味各掃描的掃描開始位置一定會有所不同。就此例而 言’是在圖26(a)所示的處理階段中，對液滴噴出頭22的 短邊方向 Μ的寬度成份 Wm，以傳送移動量爲八 Sm = Wm/I(就圖示例而言爲Wm/2)來重複進行與上述同樣 (47) (47)1221119 往掃描方向X(=長度方向L)的掃描動作及往傳送方向Y(= 短邊方向Μ)的傳送動作，然後噴出液滴8。並且，在圖 26(b)所示的處理階段中，對液滴噴出頭22的長度方向L 的寬度成份分W1，以傳送移動量爲△ S1 = W1/KC就圖示例 而言爲W1/2)來重複進行與上述同樣往掃描方向X (=短邊 方向M)的掃描動作及往傳送方向Y(=長度方向L)的傳送 動作，然後噴出液滴8。在此，應噴出至1個濾光元件形 成領域7的液滴8數爲Ν個（就圖示例而言爲4個）， Ν = Ι + Κ 〇 在以上所述的彩色濾光片的製造方法中’最好是在構 成彩色濾光片的複數個色相中，只使在掃描方向上所引起 的條紋狀顏色不均最顯著的色相與其他色相不同的方向上 一邊進行掃描一邊形成。藉此，可減少與其他色相的顏色 不均混合而造成全體呈條紋紋狀的顏色不均。例如，就上 述R，G，B三色的情況而言，由於在Β (藍）的濾光元件 3B中掃描方向上所引起的條紋狀顏色不均最爲顯著，因 此最好是將B(藍）的濾光元件3B形成時之液滴噴出頭的 掃描方向設定成於其他R(紅）及G(綠）的濾光元件3R，3G 形成時之液滴噴出頭的掃描方向有所不同的方向（正交的 方向）。 此外，上述各處理形態並非只限於彩色濾光片的製 造，亦可適用於後述之EL裝置的製造，且可作爲後述之 各種的成膜方法及成膜裝置的構成用。並且，在上述各處 理形態中，雖是一邊傳送液滴噴出頭22(只傳送其噴出 -52- (48) (48)1221119 寬度量）一邊重複掃描，但亦可採用所謂的誤差分散方 式，亦即爲了減少因設置於液滴噴出頭22的複數個噴嘴 間的噴出量不均所引起的成膜不均，而以比上述噴出寬度 還要小的間隔來一邊進行傳送一邊重複掃描。此情況，更 能夠降低成膜不均。 [具備彩色濾光片的顯示裝置（光電裝置）及其製造方法] 圖17是表示本發明之顯示裝置（光電裝置）的製造方 法例，亦即液晶裝置之製造方法的實施形態。並且，圖 18是表示利用該製造方法來製造的顯示裝置（光電裝置） 的一例，亦即液晶裝置的實施形態。而且，圖1 9是表示 沿著圖18之IX-IX線的液晶裝置的剖面構造。首先，參 照圖1 8及圖1 9來說明液晶裝置例的構造。此液晶裝置例 是以單純矩陣方式來進行全彩顯示的半透過反射型液晶裝 置。 如圖18所示，液晶裝置101會在液晶面板102上安 裝有由半導體晶片等所構成的液晶驅動用IC103a及液晶 驅動用IC103b，且將配線連接要件的FPC(可撓性印刷電 路）1 0 4連接於液晶面板1 0 2。並且，液晶裝置1 0 1會在液 晶面板1 02的背面側設置照明裝置1 06來當作背光。 又，液晶面板102會利用密封材10 8來使第1基板 107a及第2基板107b貼合形成。又，密封材108是例如 藉由網版印刷等來使環氧系樹脂環狀地（繞著周圍）附著 於第1基板l〇7a或第2基板10 7b的内側表面。並且，在 (49) 1221119 密封材108的内部，如圖19所示，含有分散狀態的導通 材1 09 (利用導電性材料而形成球狀或圓筒狀的導通材 109)。 如圖19所示，第1基板107a是具有由透明的玻璃或 透明的塑膠等所形成的板狀基材Ilia。在此基材111a的 内側表面（圖1 9的上側表面）形成有反射膜1 1 2。在其上 面層疊有絕緣膜113，且於上面形成有第1電極114a (由 箭頭D方向來看形成條紋狀）（參照圖18)。並且，在其 上面形成有配向膜116a。而且，在基材111a的外側表面 (圖19的下側表面）藉由貼著等方式來安裝有偏光板 1 1 7a ° 在圖18中，爲了容易理解第1電極114a的配列，而 比實際還要大幅地擴大描繪該等的間隔。因此，實際上比 圖面上所描繪的第1電極114a的數量還要更多的第1電 極1 14a形成於基材1 1 1上。 如圖1 9所示，第2基板1 07b具有利用透明的玻璃或 透明的塑膠等來形成的板狀基材111b。在此基材111b的 内側表面（圖19的下側表面）形成有彩色濾光片1 18，且 在其上面，第2電極114會往形成於與上述第1電極 114a正交的方向（由箭頭D來看形成條紋狀）（參照圖 18)。並且’在其上面形成有配向膜116b。而且，在基材 111b的外側表面（圖19的上側表面）藉由貼著等方式來 安裝有偏光板117b。 在圖18中，爲了容易理解第2電極114b的配列，而 -54- (50) 1221119 與第1電極的情況同樣的，比實際還要大幅地擴大描繪該 等的間隔。因此，實際上比圖面上所描繪的第2電極 114b的數量還要更多的第2電極114b形成於基材111 上。

如圖19所示，在由第1基板107a、第2基板l〇7b 及密封材1 〇 8所圍繞的間隙，亦即所謂的單元間隙内封 入有液晶L，例如S TN (超扭轉向列）液晶。在第1基板 107a或第2基板107b的内側表面上分散有多數微小的球 形間隔件1 1 9，藉由該等間隔件1 1 9存在於單元間隙内， 可使其單元間隙維持均一。

第1電極114a與第2電極114b是配設成能夠延伸於 彼此正交的方向。該等平面交叉的部份，由圖19的箭頭 D方向來看是配列成點矩陣狀。又，該點矩陣狀的各交叉 點是構成1個顯示點。彩色濾光片1 1 8是以規定的圖案 (由箭頭D方向來看），例如以條紋配列、三角配列、 瑪賽克配列等的圖案來配列R(紅）G (綠）B(藍）的各色 要件（濾光元件）。上述1個的顯示點是分別一個一個地 對應於R，G，B。然後，藉由R，G，B三顏色的顯示點 來構成一個畫素 （Pixel)。 藉由選擇性地使配列成矩陣狀的顯示點形成ON狀 態，可在液晶面板102的第2基板107b的外側顯示出文 字、數字等的影像。如此一來，顯示影像的領域爲有効顯 示領域，在圖18及圖19中爲箭頭V所示者。 如圖19所示，反射膜112是由APC合金、鋁等的光 •55- (51) 1221119 反射性材料來形成。並且，在此反射膜1 1 2中，在對應於 第1電極114a與第2電極114b的交點（亦即各各顯示 點）的位置形成有開口 121。因此，由圖19的箭頭D來 看，開口 12 1是與顯示點同樣的配列成矩陣狀。

第1電極114a及第2電極114b是例如由透明導電材 的ITO(銦錫氧化物）來形成。並且，配向膜116a，116b是 藉由使聚醯亞胺系樹脂附著成一樣厚度的膜狀來形成。該 等配向膜116a，116b會藉由面磨處理來決定第1基板 107a及第2基板10 7b的表面上之液晶分子的初期配向。 如圖18所示，第1基板107a形成比第2基板107b 還要廣的面積，當藉由密封材108來貼合該等基板時，第 1基板l〇7a具有往第2基板107b的外側突出的基板突出 部 107c 。 而且，以規定的圖案在此基板突出部l〇7c形成有： 自第1電極1 14a延伸出的拉出配線114c ;及

經由密封材108内部所存在的導通材109(參照圖19) 來導通第2基板107b上的第2電極114b之拉出配線 114d ;及 連接至液晶驅動用1C 103 a的輸入用凸塊，亦即輸入 用端子的金屬配線114e ;及 連接至液晶驅動用IC103b的輸入用凸塊之金屬配線 114f等的各種配線。 此刻，自第1電極U4a延伸的拉出配線1 14c及通電 至第2電極114b的拉出配線114d是利用與該等電極相同 -56- (52) (52)1221119 的材料（ITO )來形成。並且，液晶驅動用IC 103a，103b 的輸入側配線，亦即金屬配線1 1 4 e，1 1 4 f是利用電阻値 低的金屬材料，例如APC合金來形成。此APC合金主要 含Ag，然後再添加Pd及Cu，例如具有 Ag:98wt%、 Pd:lwt%、Cu:lwt%的組成之合金。 液晶驅動用IC 1 0 3 a，1 0 3 b是利用 A C F (向異性導電 膜）122來接著於基板突出部i〇7c的表面。亦即，就本實 施形態而言，是在基板上直接安裝半導體晶片的構造，亦 即所謂COG(Chip On Class)方式的液晶面板。在此COG 方式的安裝構造中是藉由ACF122的内部所含的導電粒子 來導電連接液晶驅動用IC103a，103b的輸入側凸塊與金 屬配線114e，114f，以及液晶驅動用IC103a，103b的輸 出側凸塊與拉出配線114c，114d。 在圖18中，FPC104是具有：可撓性的樹脂薄膜 123，及含晶片零件124的電路126，以及金屬配線端子 127。電路126是藉由錫焊及其他導電連接手法來直接搭 載於樹脂薄膜123的表面。並且，金屬配線端子127是利 用APC合金、Cr，Cu及其他導電材料來形成。在FPC104 中形成有金屬配線端子127的部份是藉由ACF122來連接 於第1基板l〇7a中形成有金屬配線114e，114f的部份。 又，基板側的金屬配線U4e，114f與FPC側的金屬配線 端子127會藉由ACF122的内部所含的導電粒子來導通。 在FPC104的相反側的邊端部形成有外部連接端子 131，此外部連接端子131會被連接至未圖示的外部電 •57- (53) (53)1221119 路。又，液晶驅動用IC 103a，103b會根據自此外部電路 所傳送來的訊號而驅動，在第1電極114a及第2電極 114b的一方供給掃描訊號，在另一方供給資料訊號。藉 此，配列於有効顯示領域V内的顯示點會分別被電壓控 制，其結果，液晶L的配向會分別被控制。 如圖1 9所示，圖1 8的照明裝置1 06具有： 由丙烯樹脂等所構成的導光體132;及 設置於該導光體132的光射出面132b的擴散板 133 ;及 設置於導光體132的光射出面132b的相反側的反射 板1 3 4 ;及 作爲發光源的LED (發光二極體）1 36。 LED136是被支持於LED基板137，該LED基板137 是例如安裝於與導光體132形成一體的支持部（未圖 示）《LED基板137會被安裝於支持部的規定位置，而使 LED136能夠位在對向於導光體132的側邊端面（光取入 面132a)的位置。在此，元件符號138是表示供以緩衝 施加於液晶面板1 02的衝撃之緩衝構件。 若LEDI36發光，則該光會自光取入面132a取入， 然後被引導至導光體132的内部，且在反射板134或導光 體132的壁面邊反射邊傳播的期間，從光射出面132b經 由擴散板133來以平面光射出至外部。 就以上所述的液晶裝置101而言，當太陽光、室内光 等所謂的外部光爲充分明亮時，在圖19中，外部光會從 -58- (54) 1221119 第2基板107b側取入至液晶面板102的内部，該光會在 通過液晶L後，於反射膜1 1 2反射，然後再度供應給液晶 L。液晶L會藉所夾持的電極1 14a，1 14b來配向控制於 R，G，B的各顯示點。因此，供應至液晶L的光會被調 變於每個顯示點，藉由該調變，利用通過偏光板117b的 光及無法通過的光來將文字、數字等的影像顯示於液晶面 板102的外部，進行反射型的顯示。

另一方面，當外部光的光量未充分取得時，LED136 會發光，由導光體132的光射出面13 2b來射出平面光， 該光會經由形成於反射膜1 1 2的開口 1 2 1來供應給液晶 L。此刻，與反射型的顯示同樣的，所被供給的光會藉由 配向控制的液晶L來調變於每個顯示點。藉此，影像會被 顯示至外部，進行透過型的顯示。

上述構成的液晶裝置1 01是例如藉由圖1 7所示的製 造方法來製造。在此製造方法中，過程P1〜P6的一連串 過程爲形成第1基板107a的過程，過程PI 1〜過程P14 的一連串過程爲形成第2基板107b的過程。第1基板形 成過程與第2基板形成過程，通常是分別獨自進行。 首先，在第1基板形成過程中，在由透光性玻璃、透 光性塑膠等所形成之大面積的主原基板的表面上，利用光 蝕刻法等來形成液晶面板102的複數份的反射膜112。並 且，在其上面利用習知的成膜法來形成絕緣膜113(過程 P1)。其次，利用光蝕刻法等來形成第1電極114a、拉出 配線114c，114d及金屬配線114e，114f (過程P2)。 -59· (55) (55)1221119 之後，在第1電極1 14a上，藉由塗佈、印刷等來形 成配向膜116a(過程P3)，且對該配向膜116a施以面磨處 理，而來決定液晶的初期配向（過程P4)。其次，例如使用 網版印刷等來使密封材108形成環狀（過程P5)，且在其上 面分散球狀的間隔件119(過程P6)。藉此來形成液晶面板 102的第1基板10 7a上之具有複數份的面板圖案之大面 積的主第1基板。 上述第1基板形成過程以外，另實施第2基板形成過 程（圖17的過程P11〜過程P14)。首先，準備：由透光 性玻璃、透光性塑膠等所形成的大面積主原基材，且在其 表面形成液晶面板102之複數份的彩色濾光片118(過程 ΡΠ)。此彩色濾光片Π8的形成過程是藉由圖6所示的製 造方法來進行，該製造方法中之R、 G、B的各色濾光元 件的形成是利用圖8的液滴噴出裝置16，根據圖1〜圖4 等所示的液滴噴出頭22的控制方法來執行。由於該等彩 色濾光片的製造方法及液滴噴出頭22的控制方法與前述 内容相同，因此省略説明。 又，如圖6(d)所示，若在主基板12，亦即在主原料 基材上形成彩色濾光片1，亦即彩色濾光片1 1 8，則其次 會利用光蝕刻法來形成第2電極114b(過程P12)。並且， 利用塗佈、印刷等來形成配向膜116b(過程P1 3)。其次， 對該配向膜1 1 6b施以面磨處理，而來決定液晶的初期配 向（過程P14)。藉此，液晶面板102的第2基板107b上之 具有複數份的面板圖案之大面積的主第2基板會被形成。 (56) (56)1221119 如此一來，在形成大面積的主第1基板及主第2基板 後，使該等主基板間夾著密封材1 08，在對準亦即對位下 彼此貼合（過程P2 1)。藉此，形成包含液晶面板複數個份 的面板部份尙未封入液晶的狀態之空面板構造體。 其次，在完成的空面板構造體的規定位置形成畫線溝， 亦即分斷用溝，且以該畫線溝爲基準，對面板構造體施加 應 或熱，或藉由光照射等的方法來切斷基板（過程P22)。 藉此，會形成各液晶面板部份的密封材1 08的液晶注入用 開口 110(參照）露出至外部的狀態之所謂長方形狀的空面 板構造體。 之後，經由露出的液晶注入用開口 1 1 〇來將液晶L注 入各液晶面板部份的内部，且藉由樹脂等來密封各液晶注 入用開口 110(過程P23)。通常的液晶注入處理是對液晶 面板部份的内部進行減壓，而利用内外壓力差來注入液 晶。例如，在儲存容器中儲存液晶，將儲存該液晶的儲存 容器與長方形狀的空面板放入處理室，使該處理室形成真 空狀態後，在該處理室的内部，將長方形狀的空面板浸漬 於液晶中。然後，若將處理室開放於大氣壓，則由於空面 板的内部爲真空狀態，因此藉大氣壓而加壓的液晶會經由 液晶注入用開口來導入面板的内部。之後，因爲液晶會被 附著於液晶注入後的液晶面板構造體的周圍，所以液晶注 入處理後的長方形狀面板會在過程P24中接受洗浄處理。 之後，對液晶注入及洗浄終了後的長方形狀面板，再 度於規定的位置形成畫線溝。並且，以該畫線溝爲基準， -61 - (57) (57)1221119 分斷長方形狀面板。藉此，複數個液晶面板1 02會分別被 切出（過程P25)。而且，針對如此被製作的各個液晶面板 102，如圖18所示，安裝液晶驅動用IC 103a，103b，以 及當作背光的照明裝置106，且連接FP Cl 04，藉此來完成 目標的液晶裝置101 (過程P26)。 以上所述的液晶裝置及其製造方法是特別在製造彩色 濾光片的階段中，藉由上述彩色濾光片及其製造方法中所 記述的複數個方法的其中之一來實施。因此，與圖5 (a)所 示的彩色濾光片1同樣的，在製造圖19的彩色濾光片 118時，濾光元件材料的液滴的掃描方向會在彼此不同的 複數個（在實施例中爲2個）方向上進行處理，其結果，各 個的濾光元件會被形成。因此，與上述同樣的，可減少掃 描方向上所引起的條紋狀顏色不均，進而能夠提高液晶裝 置的顯不品質。 又，以上述圖3及圖4所示的方法來製造彩色濾光片 時，各個濾光元件3並非是根據液滴噴出頭22的1次掃 描來形成，而是根據複數次的掃描來受理N次（例如4 次）的墨水噴出，而形成規定的膜厚。因此，即使在複數 個噴嘴27間存在墨水噴出量不均，還是能夠防止複數個 顯示點間產生膜厚不均，甚至上述條紋狀的顏色不均也會 減少，因此可使彩色濾光片的光透過特性平面性均一。 又，由於本實施形態的液晶裝置及其製造方法是利用 圖8所示的液滴噴出裝置16，藉由液滴噴出頭22的墨水 噴出來形成濾光元件3，因此不必經過使用光蝕刻法等之 -62- (58) (58)1221119 類的複雜過程，且不會浪費材料。 又，上述實施形態中，雖是針對顯示裝置，亦即具備 液晶面板的液晶裝置來進行説明，但就具備與上述同樣彩 色濾光片的顯示裝置而言，除了液晶裝置以外，其他光電 裝置例如還有在EL元件、電漿顯示器面板等設置彩色濾 光片者。亦即’例如EL元件的情況，是使具備對應於具 有EL發光機能的複數個顯示點的濾光元件之彩色濾光片 平面重疊，而使能夠取得與上述實施形態同樣的効果。 [利用EL元件的顯示裝置（光電裝置）及其製造方法] 圖20是表示本發明之顯示裝置（光電裝置）及其製造 方法的一例，亦即EL裝置及其製造方法的實施形態。 又，圖21是表示該製造方法的主要過程及最終取得的EL 裝置的主要剖面構造。如圖21(d)所示，EL裝置201是在 透明基板204上形成畫素電極202，在各畫素電極202間 形成格子狀的觸排205(由箭頭G方向來看）。並且在該 等格子狀凹部中形成電洞注入層220,而且在各格子狀凹 部中以能夠形成規定的配列（由箭頭G方向來看形成條 紋配列等）之方式來形成R色發光層2 03R、G色發光層 203G及B色發光層2 03B。又，於該等發光層上面形成對 向電極213，而來構成EL裝置201。 當藉由TFD(薄膜二極體）元件等2端子型的主動元件 來驅動上述畫素電極2 02時，上述對向電極213是形成條 紋狀（由箭頭G方向來看）。並且，當藉由TFT(薄膜電 (59) 1221119 晶體）等3端子型的主動元件來驅動畫素電極 述對向電極213爲形成單一的面電極。 藉由各畫素電極202與各對向電極213所 會形成1個顯示點，且R、G、B三色的顯示 個單元，而形成1個畫素。藉由控制流動於各 流，可選擇性地使複數個顯示點中所希望者發 於箭頭Η方向上顯示所希望的全彩像。 上述EL裝置201是例如藉由圖20所示 來製造。亦即，如過程Ρ51及圖21(a)所示， 204的表面上形成TFD元件或TFT元件等的 且形成畫素電極202。就形成方法而言，例如 刻法、真空蒸鍍法、濺鍍法等。又，就畫素電 料而言，例如可使用I τ 0、氧化錫、氧化銦與 合氧化物等。 其次，如過程P52及圖21(a)所示，利用 形成手法、例如光蝕刻法來形成隔壁，亦即觸 此觸排205來充塡各透明畫素電極202間。藉 對比，防止發光材料混色，及防止自畫素與畫 漏。就觸排205的材料而言，只要是對EL發 媒具有耐久性者即可，並無特別加以限定，但 氟碳氣體電漿處理來型橫四氟合乙烯化者， 脂、環氧樹脂、感光性聚醯亞胺等的有機材料 其次，在塗佈機能性液狀體的電洞注入 前，在透明基板2 04上進行氧氣與氟碳氣體電 202時，上 夾持的領域 點會成爲1 顯不點的電 光’藉此可 的製造方法 在透明基板 主動元件， 可使用光蝕 極202的材 氧化鋅的複 習知的圖案 排205 ，藉 此，可提高 素間產生光 光材料的溶 最好可藉由 例如丙烯樹 〇 層用墨水之 漿的連續電 (60) 1221119 漿處理（過程P53)。藉此，聚醯亞胺表面會被撥水化， ITO表面會被親水化，可控制使液滴形成微細圖案時之基 板側的浸潤性。就產生電漿的裝置而言，可使用真空中產 生電漿的裝置，或在大氣中產生電漿的裝置。

其次，如過程P54及圖21(a)所示，由圖8的液滴噴 出裝置16的液滴噴出頭22來噴出電洞注入層用墨水，在 各畫素電極202的上面進行圖案形成塗佈。就具體的液滴 噴出頭22的控制方法而言，是採用圖1、圖2、圖3及圖 4所示方法的其中之一方法。塗佈後，在真空 （1 torr) 中，以室温，20分鐘的條件來去除溶媒（過程P55)。然 後，在大氣中，藉由20 °C (在熱板上），10分鐘的熱處理 來形成不與發光層用墨水相溶的電洞注入層220(過程 P56)。在上述條件中，膜厚爲40nm。

其次，如過程P57及圖21(b)所示，在各濾光元件形 成領域7内的電洞注入層220上面利用液滴噴出手法來塗 佈機能性液狀體的EL發光材料之R發光層用墨水及機能 性液狀體的EL發光材料之G發光層用墨水。在此，同樣 的各發光層用墨水是從圖8的液滴噴出裝置16的液滴噴 出頭22來噴出。液滴噴出頭22的控制方法是在圖1〜圖 4的方法中，取代上述彩色濾光片的各色相，而採取適用 EL發光材料的發光色之方法。若利用噴墨方式，則可簡 便且以短時間來進行微細的圖案形成。並且，可藉由改變 墨水組成物的固形分濃度及噴出量來改變膜厚。 發光層用墨水的塗佈後，在真空 （1 torr)中，以室 -65- (61) 1221119 温，20分鐘等的條件來去除溶媒（過程P5 8)。接著 氣的環境中，藉由150t，4小時的熱處理來使共 而形成R色發光層203R及G色發光層203G(過程 在上述條件的形成下，膜厚會形成50nm。藉由熱 共軛化的發光層不溶於溶媒中。 又，亦可在形成發光層前，在電洞注入層220 氣與氟碳氣體電漿的連續電漿處理。藉此，可提供 電洞注入層220上形成氟化物層，離子化電位會變 此，電洞注入効率會増加，且發光効率高的有機 置。 其次，如過程P60及圖21(c)所示，將機能性 的EL發光材料的B色發光層2 03 B重疊形成於各 内的R色發光層203R、G色發光層203G及電洞 220的上面。藉此，不僅會形成R、G、B的3原 且可塡平R色發光層203R及G色發光層203G 205的段差，使平坦化。藉此，將可確實地防止上 間的短路。並且，在B色發光層203B的膜厚調塞 色發光層203B會在R色發光層203R及G色發光f 的層疊構造中，作爲電子注入輸送層用，在B色中 光。 就以上所述的B色發光層2 03B的形成方法而 如可採用溼式法，亦即一般的旋轉塗佈法，或者採 色發光層203R及G色發光層203G的形成法同樣 ，在氮 軛化， P59卜 處理而 進行氧 一種在 高，藉 EL裝 液狀體 顯示點 注入層 色，而 與觸排 下電極 !下，B f 203 G 不會發 言，例 用與R 的噴墨 (62) (62)1221119 之後，如過程P61及圖21(d)所示，形成對向電極 213，藉此來製造目標的EL裝置201。當對向電極213爲 面電極時，例如可以Mg、Ag、Al、Li等爲材料，使用蒸 鍍法、濺鍍法等的成膜法來形成。又，當對向電極213爲 條紋狀電極時，可利用光飽刻法等的圖案形成手法來形成 所被成膜的電極層。 若利用以上所述的EL裝置201及其製造方法，則由 於是採用噴墨頭的控制方法，亦即圖1〜圖4所示的控制 方法，因此與上述同樣的可減少掃描方向上所引起的條紋 狀的顏色不均。並且，圖21之各顯示點内的電洞注入層 220及R、G、B各色發光層203R， 203G，203B，並非 是1個顯示點内的電洞注入層及/或各色發光層是根據噴 墨頭（參照圖1)的1次掃描來形成，而是根據複數次的掃 描來受理N次（例如4次）的墨水噴出，而形成規定的膜 厚。因此，即使在複數個噴嘴27間存在墨水噴出量不 均，還是能夠防止複數個顯示點間產生膜厚不均，甚至上 述條紋狀的顏色不均也會減少，因此可使EL裝置201的 發光面的發光分佈特性形成平面性均一。 又，由於本實施形態的EL裝置及其製造方法是利用 圖8所示的液滴噴出裝置16，藉由液滴噴出頭22的墨水 噴出來形成R、G、B的各顯示點，因此不必經過使用光 蝕刻法等之類的複雜過程，且不會浪費材料。 [彩色濾光片的製造方法及製造裝置] •67- (63) (63)1221119 其次，參照圖面來說明本發明之彩色濾光片的製造方 法及製造裝置的實施形態。首先，在說明此彩色濾光片的 製造裝置前，先說明所被製造的彩色濾光片。圖38是表 示彩色濾光片的部份擴大圖，圖38(A)爲平面圖，圖38(B) 爲圖38(A)的X-X線剖面圖。並且，在此圖38所示的彩 色濾光片中，與圖5所示實施形態的彩色濾光片1相同的 構成賦予同樣的元件符號。 (彩色濾光片的構成） 在圖38(A)中，彩色濾光片1具備排列成矩陣狀的複 數個濾光元件3。該等濾光元件3的境界是藉由隔壁6來 予以區隔。在每個濾光元件3中導入有紅 （R)、綠 （G) 或藍 （B)的墨水之液狀體的彩色濾光片材料，亦即濾光元 件材料1 3。該圖3 8所示的彩色濾光片，雖形成瑪賽克配 列（紅、綠、藍的配置），但如上述，亦可爲條紋配列或 三角配列等的配置。 如圖38(B)所示，彩色濾光片1具備透光性的基板2 及透光性的隔壁6。未形成有此隔壁6的部份，亦即被去 除的部份是構成配置有上述濾光元件3的濾光元件形成領 域7。並且，在隔壁6及濾光元件3的上面形成有保護層 的保護膜4及電極層5。 (彩色濾光片的製造裝置的構成） 其次，參照圖面來說明製造上述彩色濾光片的製造裝 -68 - (64) (64)1221119 置的構成。圖27是表示構成本發明之彩色濾光片的製造 裝置的液滴噴出裝置的部份立體圖。彩色濾光片的製造裝 置是在於製造構成光電裝置的彩色液晶面板的彩色濾光片 1。基本上此彩色濾光片的製造裝置是具備與上述液滴噴 出裝置16同樣的基本機能之液滴噴出裝置。 (液滴噴出裝置的構成） 此製造裝置具有圖27所示的3台液滴噴出裝置 405R、405G、405B。該等液滴噴出裝置 405R、405G、 405B是使液狀體的墨水，亦即彩色濾光片材料的R、G、 B的濾光元件材料13對應於分別噴出至主基板12的R、 G、B三色《並且，該等液滴噴出裝置 405R、405G、 405 B是配置成略直列狀來構成製造裝置。而且，在各液 滴噴出裝置405R、405G、405B中，一體設有用以控制各 構成構件的動作之未圖示的控制裝置。 又，分別於各液滴噴出裝置405R、405G、405B連接 有供以一片一片地將主基板12搬入及搬出該等液滴噴出 裝置405R、405G、405B的搬送機械手臂（未圖示）。並 且，在各液滴噴出裝置405R、405G、405B連接有可收容 主基板12 (例如6片），對主基板12進行熱處理，例如 使加熱120 °C，5分鐘後噴出的濾光元件材料13乾燥的多 段烘烤爐（未圖示）。 又，各液滴噴出裝置4 05R，40 5G，405B，如圖 27 所示，具有中空箱狀的本體箱體，亦即加熱無塵處理室 -69- (65) (65)1221119 422。在此加熱無麈處理室422内，例如將内部調整成20 °C ± 〇 · 5 °C，且使塵埃不會從外部入侵，而使能夠取得利 用噴墨方式之安定的良好描繪。並且，在此加熱無塵處理 室422内配設有液滴噴出處理本體423。 又，液滴噴出處理本體423，如圖27所示，具有X 軸空氣滑動台424。在此X軸空氣滑動台4 24中配設有掃 描驅動裝置425，該掃描驅動裝置425配設有未圖示的線 性馬達。此掃描驅動裝置425具有：例如藉由吸引來安裝 固定主基板12的台座部（未圖示），使該台座部對主基 板12移動於掃描方向X。 又，於液滴噴出處理本體423中，如圖27所示，配 設有位於X軸空氣滑動台42 4的上方，作爲Y軸台的傳 送驅動裝置427。此傳送驅動裝置427是使濾光元件材料 13沿著例如上下方向噴出的噴頭單元420對Y軸方向的 主基板12移動於傳送方向。並且，在圖27中，爲了使位 置關係明確化，噴頭單元420是在浮於空中的狀態下以實 線來顯示之。 又，於液滴噴出處理本體423中，爲了控制噴墨頭 421的位置或主基板12的位置，而配設有供以辨識位置 的觀察手段，亦即未圖示的各種攝影機等攝影裝置。又， 噴頭單元420或台座部的位置控制，除了利用脈衝馬達的 位置控制以外，可使用伺服馬達的反餽控制或其他任意的 控制方法來實現。含上述攝影裝置的各種構成是與上述圖 8及圖9所示的液滴噴出裝置基本上同構成。 -70- (66) (66)1221119 又，於液滴噴出處理本體423中，如圖27所示，設 有用以擦拭噴出噴頭單元420的濾光元件材料13的面之 擦拭單元481。此擦拭單元481是例如由布構件及橡膠板 一體層疊的擦拭構件（未圖示）所構成，適當地捲取擦拭 構件的一端面來依次以新的面擦拭噴出濾光元件材料13 的面。藉此，可去除附著於噴出面的濾光元件材料13, 而不使後述的噴嘴466阻塞。 又，於液滴噴出處理本體423中，如圖27所示，設 有墨水系統482。此墨水系統482具有：儲存濾光元件材 料13的墨水槽483，及可流通濾光元件材料13的供給管 478，以及從墨水槽4 83經由供給管478來將濾光元件材 料13供應給噴頭單元420的泵（未圖示）。並且，在圖 27中，供給管478的配管是從墨水槽483以不影響噴頭 單元42 0的移動之方式來配線於傳送驅動裝置427，使能 夠從掃描噴頭單元420的傳送驅動裝置427的上方來供應 濾光元件材料13給噴頭單元420。 又’於液滴噴出處理本體423中設有檢測出自噴頭單 元420噴出的濾光元件材料1 3的噴出量之重量測定單元 485 〇 又’於液滴噴出處理本體42 3中配設有一對的缺點檢 出單元487，該缺點檢出單元487是例如具有未圖示的光 感應器’供以檢測出來自噴頭單元42〇的濾光元件材料 13的噴出狀態。此缺點檢出單元487是配設於與自噴頭 單元420噴出液滴的方向呈交叉的方向，例如沿著X軸 (67) 1221119 方向’未圖示的光感應器的光源及受光部會夾著自 元42 0噴出的液滴8所通過的空間，而以能夠呈對 式來配設。並且，此缺點檢出單元487會被配置於 元420的搬送方向，亦即γ軸方向側，檢測出爲 濾光元件材料13，而使噴頭單元4 2 0傳送移動時 噴出狀態，供以檢測出缺點。 又’於噴頭單元420中配置有兩列供以噴出濾 材料13的噴頭裝置43 3 (詳細情況會在往後敘述 此’缺點檢出單元48 7爲了檢測出各噴頭裝置的各 狀態，而設置一對。 (噴頭單元的構成） 其次，說明有關噴頭單元42 0的構成。圖28 設置於液滴噴出裝置的噴頭單元的平面圖。圖 29 噴頭單元的側面圖。圖30是表示噴頭單元的正面 31是表示噴頭單元的剖面圖。 如圖28〜圖31所示，噴頭單元420具有··噴 部43 0，及墨水供給部431。又，噴頭本體部430 平板狀的拖架42 6，及複數安裝於此拖架42 6之實 同一形狀的噴頭裝置43 3。 圖32是表示配設於噴頭單元的噴頭裝置之分 圖。又，噴頭裝置433如圖32所示，具有長方形 刷基板43 5。在此印刷基板43 5中設有安裝各種電 43 6的電氣配線。並且，在印刷基板435中，窗部 噴頭單 向之方 噴頭單 了噴出 的各個 光元件 )。因 列噴出 是表不 是表不 圖。圖 頭本體 具有： 質上約 解立體 狀的印 氣零件 43 7是 (68) (68)1221119 位於長度方向的一端側（圖3 2中右側）而貫通形成。而 且’在印刷基板435中，可流通墨水（濾光元件材料 13)的流通路438會位於窗部437的兩側。 又，在此印刷基板4 3 5的一面側（圖3 2中下面側）， 藉由安裝構件440來一體安裝有位於長度方向的一端側 (圖32中右側）的噴墨頭42 1。此噴墨頭421是形成長方形 狀’以長度方向爲沿著印刷基板43 5的長度方向的狀態下 來予以安裝。又，各噴頭裝置433的各噴墨頭是實質上形 成同一形狀，亦即例如只要是規定的規格製品，規定的品 質者即可。具體而言，該等噴墨頭421具有相同個數的噴 嘴，且噴嘴的形成位置爲彼此相同，但最理想是對拖架安 裝噴墨頭時能夠効率高且組裝精度高。又，若使用同一製 造 組裝過程的製品，則可不必製作特別的製品，進而能 夠降低成本。 又，在印刷基板43 5的另一面側（圖32中上面側）， 一體安裝有位於長度方向的他端側（圖32中左側）電性連 接至噴墨頭42 1的連接器44 1。在該等連接器441，如圖 27所示，以不影響噴頭單元42 0的移動之方式來連接有 配線至傳送驅動裝置427的電氣配線（包含電源配線、訊 號配線）442。並且，此電氣配線442會連接未圖示的控制 裝置及噴頭單元420。亦即，該等電氣配線442，如圖28 及圖31中兩點虛線的箭頭所示，從傳送驅動裝置42 7來 配線至噴頭單元420的2列噴頭裝置43 3的配列方向的兩 側，亦即噴頭單元420的外周側，然後連接至連接器 (69) (69)1221119 441，而使不會產生電氣雜訊。 此外，在印刷基板43 5的他面側（圖32中上面側）， 於長度方向的一端側（圖3 2中右側），對應於噴墨頭4 2 1 而安裝有墨水導入部 443。此墨水導入部443具有：設 置於安裝構件440，嵌合貫通印刷基板43 5的定位銷部 444之約呈圓筒狀的定位筒部445，及卡止於印刷基板 435的卡止爪部446。 另外，在墨水導入部443架設有一對前端較細的圓筒 狀連結部448。該等連結部448在印刷基板43 5側的基端 部具有可液密地連通至印刷基板43 5的流通路38之開口 (未圖示），以及在前端部具有可流通濾光元件材料13 的孔（未圖示）。 再者，該等連結部448，如圖29〜圖3 1所示，分別 連接有位於前端側的密封連結部4 5 0。該等密封連結部 4 5 0是形成可在内周側液密地嵌著連結部4 4 8的圓筒狀， 且於前端部設有密封構件449。 圖33是表示噴墨頭的分解立體圖。圖34是使噴墨頭 噴出濾光元件材料的動作對應於噴墨頭的剖面來進行説明 的模式圖。圖34(A)是表示噴出濾光元件材料前的狀態。 圖34(B)是使壓電振動子収縮而噴出濾光元件材料的狀 態。圖34(C)是表示噴出濾光元件材料後的狀態。圖35 是用以說明噴墨頭之濾光兀件材料的噴出量的説明圖。圖 3 6是用以說明噴墨頭的配置狀態槪略模式圖。圖3 7是表 示圖36的部份擴大圖。 •74- (70) (70)1221119 如圖33所示，噴墨頭42 1具有約矩形狀的夾具 451。在此夾具451中沿著長度方向而設有2列例如180 個壓電元件等的壓電振動子452。並且，在夾具451中， 在連通於印刷基板43 5的流通路43 8且長度方向的兩側約 中央分別設有流通墨水（濾光元件材料1 3 )的貫通孔 453 〇 此外，在夾具451的壓電振動子452所位置的一面 上，如圖33所示，一體設置有以合成樹脂來形成板狀的 彈性板45 5。在此彈性板45 5中分別設有連續於貫通孔 453的連通孔456。又，在彈性板455中設有卡合於定位 爪部457 (突設於夾具451的上面大致四個角落）的卡合 孔458，且定位於夾具451的上面，而一體安裝。 另外，在彈性板45 5的上面設有平板狀的流路形成板 460 〇 在此流路形成板460中設有： 在夾具45 1的寬度方向以長方形狀來對應於壓電振動 子452，而於夾具451的長度方向設置2列180個的直列 狀噴嘴溝461 ;及 在噴嘴溝46 1的一側，以長方形狀設置於夾具的長度 方向之開口部462 ;及 連續於彈性板455的連通孔456之流通孔463。 再者，於彈性板455中設有設有卡合於定位爪部457 (突設於夾具451的上面大致四個角落）的卡合孔458， 且與彈性板455 —起定位於夾具451的上面，而一體安 (71) 1221119 裝。

又，在流路形成板460的上面設有約呈平板狀的噴嘴 板465。並且，在此噴嘴板465中，對應於流路形成板 460的噴嘴溝461，約呈圓形的噴嘴466會在夾具451的 長度方向上，以1 80個2列（直列狀）設置於254mm(l inch)的長度範圍內。而且，在噴嘴板465中設有卡合於 定位爪部457(突設於夾具451的上面大致四個角落）的 卡合孔4 5 8，且與彈性板4 5 5及流路形成板4 6 0 —起定位 於夾具451的上面，而一體安裝。

又，藉由層疊的彈性板455、流路形成板460及噴嘴 板465，如圖34的模式圖所示，在流路形成板460的開 口部462區劃形成液體容器467，且此液體容器467是經 由液體供給路468來連續於各噴嘴溝461。藉此，噴墨頭 421可根據壓電振動子452的動作來增大噴嘴溝461内的 壓力，以2〜13pl的液滴量（例如約l〇pl的液滴量）， 7m/s it 2m/s的流速來從噴嘴噴出濾光元件材料 13。亦 即，如圖34所示，對壓電振動子452施加規定的施加電 壓Vh (脈衝狀），如圖34(A)，（B)，（C)的順序所示，使 壓電振動子45 2適當地伸縮於箭頭Q的方向，對墨水 (濾光元件材料13)施加壓力，而以規定量的液滴8來 從噴嘴466噴出。 又，此噴墨頭421如上述實施形態所述，若圖35所 示配列方向的兩端部側的噴出量變多，則會有可能發生噴 出量不均一。因應於此，例如可控制成不由噴出量不均一 •76- (72) (72)1221119 爲5 %以内範圍的噴嘴466，亦即不由兩端部各10個噴嘴 466來噴出濾光元件材料13。 又，構成噴頭單元420的噴頭本體部430，如圖27〜 圖31所示，具有噴墨頭421的噴頭裝置433會複數個彼 此排列配置而成。此噴頭裝置433的拖架426的配置，如 圖36所示，會偏置比傳送方向（γ軸方向）還要傾斜於 與Y軸方向正交的掃描方向（X軸方向側）的方向。亦 即，例如6個排列配置於比傳送方向（Y軸方向）還要若 干傾斜的方向，此列爲複數列，例如配置2列。這是因爲 噴頭裝置433的短邊方向的寬度要比噴墨頭421來得寬， 無法縮小互相隣接的噴墨頭421彼此的配置間隔，噴嘴 466的列必須連續配置於Y軸方向所致。 又，噴頭本體部430是在噴頭裝置43 3傾斜於噴墨頭 42 1的長度方向與X軸方向交叉的方向之狀態下，且連接 器44 1爲位於與相對向方向呈相反的一側之狀態下，配設 成點對稱。此噴頭裝置43 3的傾斜配置狀態，是例如噴墨 頭421的長度方向的噴嘴466的配設方向爲57.1度傾斜 於X軸方向。 又，噴頭裝置43 3是配置成鋸齒狀，亦即對配列方向 而言，以不形成並列狀態的方式來配置。亦即，如圖28 〜圖31及圖36所示，12個噴墨頭的噴嘴466會連續配 列於Y軸方向，噴墨頭421會被配列成2列，且往Y軸 方向的配列順序會彼此不同的交錯配置。 具體情況是根據圖36及圖37來詳細説明。在此，噴 -77- (73) (73)1221119 墨頭421是長度方向的噴嘴466的配列方向對X軸方向 而言爲傾斜。因此，在設置於噴墨頭421的2列噴嘴466 的第一列中，在噴出濾光元件材料13的第11個噴嘴466 所配置的X軸方向的直線上，第2列的噴嘴466的另一 方具有形成不噴出的10個以内的位置的領域A(圖37中 的A)。亦即，就1個噴墨頭421而言，是在X軸方向的 直線上產生不存在2個噴嘴466的領域A。 因此，如圖36及圖37所示，在1個噴墨頭421中2 個噴嘴466位於X軸方向的直線上的領域B(圖37中的B) 中，成列的噴頭裝置43 3不會在X軸方向上配置成並列 狀態。並且，在一方成列的噴頭裝置433的X軸方向的 直線上只配置1個的領域A與在另一方成列的噴頭裝置 43 3的X軸方向的直線上只配置1個的領域A是在X軸 方向彼此配置成並列狀態，一方列的噴墨頭42 1與另一方 列的噴墨頭421在X軸方向的直線上合計配置2個噴嘴 4 66。亦即，在配置有噴墨頭421的領域中，無論是在哪 個位置，皆會在X軸方向的直線上配置合計2個的噴嘴 466，而使能夠配置成鋸齒狀。並且，不噴出濾光元件材 料13的噴嘴466的領域X是不以該X軸方向的直線上的 2個噴嘴466的數量來計算。如此，對所被掃描的X軸方 向噴出墨水的噴嘴4 66是2個配置於直線上，如後述，會 從該2個的噴嘴466來將墨水噴出至1處。若只由1個噴 嘴4 66的噴出來構成1個元件，則噴嘴466間的噴出量不 均會導致元件的特性不均或良率降低，因此若藉由來自各 -78- (74) 1221119 別的噴嘴466的噴出而形成1個元件，則可分散噴嘴466 間的噴出不均，而使能夠謀求元件間的特性均一化及量品 率的提高。

如圖2 8〜圖3 1所示，墨水供給部4 3 1具有：分別對 應於2列的噴頭本體部43 0而設置的一對平板狀的安裝板 471，及複數安裝於該等安裝板471的供給本體部472。 又，供給本體部472具有略細長圓筒狀的進退部4 74。此 進退部474是以安裝夾具473在貫通安裝板471的狀態下 沿著軸方向來可移動安裝。並且，供給本體部472的進退 部474是例如藉由線圈彈簧475等來彈壓安裝於從安裝板 4 71往噴頭裝置433進出的方向。而且，在圖28中，基 於説明上的方便起見，墨水供給部43 1僅針對2列的噴頭 裝置43 3中的一方列圖示，而省略其他的圖示。

在對向於此進退部474的噴頭裝置43 3的一側的端部 設有凸緣部4 76。此凸緣部476是突出於進退部4 74的外 周緣，端面會藉由線圈彈簧475來液密地抵接於噴頭裝置 433的墨水導入部443的密封構件449。並且，在與設有 進退部474的凸緣部476的一側呈相反側的端部設有接合 部477。如圖27所示，此接合部477會連接流通濾光元 件材料13的供給管478的一端。 此供給管478，如上述，圖27的模式圖所示，以能 夠不影響噴頭單元42 0的移動之方式來配線至傳送驅動裝 置427，如圖28及圖30中虛線箭頭所不，由傳送驅動裝 置427開始配管至高於噴頭單元420上方兩2列的墨水供 -79· (75) (75)1221119 給部431之間的大致中央，且配管成放射狀，前端連接至 墨水供給部431的接合部477。 又，墨水供給部43 1是經由供給管來將流通的濾光元 件材料13供應給噴頭裝置43 3的墨水導入部443。又， 供應至墨水導入部443的濾光元件材料13會被供應給噴 墨頭421，由電氣控制的噴墨頭421的各噴嘴466來噴出 適當的液滴8狀。 (彩色濾光片製造時的動作） 其次，參照圖面來說明利用上述實施形態的彩色濾光 片製造裝置來形成彩色濾光片1時的裝置動作。圖39是 用以說明利用上述彩色濾光片的製造裝置來製造彩色濾光 片1的程序之製造過程剖面圖。 首先，以洗浄液（在熱濃硫酸中添加1質量％的過氧 化氫水）來洗浄主基板12 (例如膜厚尺寸爲〇.7mm、縱 尺寸爲38 cm、橫尺寸爲30cm的無鹼玻璃的透明基板）的 表面。洗浄後，以純水來洗滌，且予以空氣乾燥，而取得 淸浄表面。在此主基板1 2的表面上，例如利用濺鍍法來 形成平均〇.2/zm膜厚的鉻膜，取得金屬層6a(圖39中程 序S1卜 在熱板上，以80 °C，5分鐘的條件來使該主基板12 乾燥後，在金屬層6a的表面上，例如藉由旋轉塗佈來形 成未圖示的光阻劑層。在此主基板12的表面上，使描繪 所要的矩陣圖案形狀的光罩薄膜（未圖示）密著，且以紫 -80- (76) (76)1221119 外線來進行曝光。其次，將此曝光後的主基板12浸泡於 鹼性顯像液（例如以8質量％的比例含有氫氧化鉀），去 除未曝光部份的光阻劑，形成光阻劑層圖案。接著，以蝕 刻液（例如以鹽酸爲主成分）來蝕刻去除露出的金屬層 6a。如此一來，可取得具有規定的矩陣圖案之黑色矩陣的 遮光層6b(圖39中程序S2)。並且，遮光層6b的膜厚約 爲0.2/zm，遮光層6b的寬度大小約爲22/zm。 並且，在設有該遮光層6b的主基板12上，例如以旋 轉塗佈法來塗佈形成負型的透明鹼系的感光性樹脂組成物 6c(圖39中程序S3)。以lOOt：，20分鐘的條件來預烘烤 設置該感光性樹脂組成物6c的主基板12後，使用描繪有 規定的矩陣圖案形狀的光罩薄膜（未圖示）來進行紫外線 曝光。又，以例如上述鹼性的顯像液來使未曝光部份的樹 脂顯像，以純水洗滌後旋轉乾燥。例如以200 °C，30分鐘 的條件來實施最終乾燥的後烘烤，使樹脂部份充分硬化， 而形成觸排層6d。此觸排層6d的膜厚平均約爲2·7/ζ m， 寬度大小約爲14// m。在此觸排層6d與遮光層6b形成有 隔壁6(圖39中程序S4)。 爲了改善上述取得的遮光層6b及觸排層6d所區劃的 著色層形成領域，亦即濾光元件形成領域7(特別是主基 板1 2的露出面）的墨水浸潤性，而進行乾蝕刻，亦即電漿 處理。具體而言，在混合氣體（例如氦中添加20%的氧） 中施加高電壓，以電漿處理來形成蝕刻點，在使通過形成 主基板12的蝕刻點下進行蝕刻，實施主基板12的前處理 •81 · (77) (77)1221119 過程。 其次，在以實施上述前處理的主基板12的隔壁6所 被區劃形成的濾光元件形成領域7内，利用噴墨方式來導 入（噴出）紅（R)、綠（G)、藍（B)的各濾光元件材料（圖 39中的程序S5)。 在此噴墨方式之濾光元件材料的噴出時，事先組裝形 成噴頭單元42 0。並且，在液滴噴出裝置的各液滴噴出裝 置405R、405G、405B中，自各噴墨頭421的1個噴嘴 466所噴出的濾光元件材料13的噴出量會調整成規定 量，例如調整成1 Op 1程度。另一方面，在主基板12的一 面，事先將隔壁6形成格子狀圖案。 又’如上述’利用搬送機械手臂（未圖示）來將前處 理後的主基板12首先搬入R色用的液滴噴出裝置405R 内，且載置於液滴噴出裝置405 R内的台座部上。載置於 台座部上的主基板12，例如會藉由吸引來定位固定。 又，保持主基板12的台座部會以各種攝影機的攝影裝置 來確認主基板1 2的位置，以能夠形成適當的規定位置之 方式來控制掃描驅動裝置425而移動。又，以傳送驅動裝 置427來使噴頭單元42 0適當地移動，辨識該位置。然 後，使噴頭單元42 0移動於傳送方向，利用缺點檢出單元 4 87來檢測出噴嘴466的噴出狀態，若無噴出不良，則使 移動至初期位置。 然後，藉由掃描驅動裝置425，在X方向掃描保持於 台座部的主基板12，一方面使噴頭單元420對主基板12 •82- (78) (78) 1221119 進行相對性的移動，另一方面由適當的噴墨頭421的規定 噴嘴466來使適當的濃光元件材料13噴出，充塡於以主 基板12的隔壁6所區劃的凹部內。此噴嘴466的噴出是 利用未圖不的控制裝置來控制成不由位於圖3 7所示噴嘴 466的配設方向的兩端部的規定領域X，例如兩端各1〇 個的噴嘴466來噴出濾光元件材料13，而由位於中間部 份之噴出量較能形成一樣的160個噴嘴來噴出。 又’由於自噴嘴466的噴出是在掃描方向的直線上， 亦即在掃描線上配置有2個噴嘴466，因此在移動中可於 1個凹部自1噴嘴466來噴出2點，更詳而言之，可由1 噴嘴466來噴出2液滴8份當作1點，因此可噴出合計8 液滴8份。並且，在每一掃描移動中，可藉由缺點檢出單 元4 8 7來檢測出噴出狀態，確認是否有產生缺點。 當無缺點時，會以規定量來使噴頭單元420移動於傳 送方向’一方面再度使保持主基板12的台座部移動於掃 描方向’另一方面重複進行使濾光元件材料13噴出的動 作’而於規定的彩色濾光片形成領域11之規定的濾光元 件形成領域7中形成濾光元件3。 又’噴出R色濾光元件材料13的主基板12是藉由未 圖示的搬送機械手臂來從液滴噴出裝置405R取出，在未 圖示的多段烘烤爐中，例如以1 2 0 °C，5分鐘的條件來使 減光元件材料13乾燥。在此乾燥後，藉由搬送機械手臂 來從多段烘烤爐取出主基板12，一邊冷却一邊搬送。然 後’從液滴噴出裝置405 R來依次搬送至G色用的液滴噴 (79) 1221119 出裝置405G及B色用的液滴噴出裝置4〇5B，j 的开成時同樣的，在規定的濾光元件形成領域7 出G色及B色的濾光元件材料13。又，此情況 樣的’例如以改變主基板1 2的供給姿勢等的方 色的濾光元件材料的其中一色的材料與其他2色 同的掃描方向上掃描時噴出。然後，回收各3色 件材料13被噴出後乾燥的主基板12,藉由熱處 對濾光元件材料1 3加熱來使固化定著（圖3 9中程 然後，在形成有爐光元件3的主基板12的 上形成保護膜4。並且，在此保護膜4的上面 來形成所要圖案的電極層5。之後，在每個彩色 成領域Π中切出複數個彩色濾光片1(圖39中程 形成有該彩色濾光片1的基板12，如先前實施 述，是當作圖1 8所示液晶裝置的一對基板的-用。 (彩色濾光片之製造裝置的功效） 若利用圖2 7〜圖3 9所示的實施形態，則除 述各實施形態的作用効果以外，還可發揮以下所 効果。 亦即，在設有噴墨頭42 1的噴嘴4 66的一面 定的間隙來對向於被噴出物（主基板12)的表 下，使複數個噴墨頭42 1沿著主基板12的表面 移動，從複數個噴墨頭421的各噴嘴466來將同 1與R色 中依次噴 與上述同 法，在3 的材料不 的濾光元 理，亦即 序 S6)。 大致全面 ，以 ITO 濾光片形 序 S7)。 形態中所 一方來使 了先前所 示的作用 會隔著規 面的狀態 而相對地 一濾光兀 (80) (80)1221119 件材料13噴出至主基板12的表面上。上述複數個噴墨頭 42 1是以具有流動性的液狀體，例如墨水的濾光元件材料 13作爲液滴8而噴出的噴嘴466會複數個設置於一面， 彼此排列配置而成。因此，例如可使用實質上同一規格品 的噴墨頭42 1來使濾光元件材料13噴出於主基板12的較 廣範圍，可不必使用長度特別的噴墨頭，亦即可使用以往 的規格品，因次可降低成本。由於尺寸長的噴墨頭製造良 率極低，因此會導致成品價格高，相對的，短尺寸的噴墨 頭421製造量品率佳，因此在本發明中是使用複數個短尺 寸的噴墨頭來因應，所以可大幅度地降低成本。 又，藉由適當設定排列噴墨頭421的配置方向或數 量，或者噴出用的噴嘴466的數量或間隔（可使用1個或 數個噴嘴466來調節畫素的間距），即使是針對尺寸或畫 素間距或者配列不同的彩色濾光片1，照樣能夠對應於噴 出濾光元件材料13的領域，可提高泛用。 又，藉由使用實質上同一形狀的複數個噴墨頭421， 即使是1種類的噴墨頭421，還是能夠在適當的配列下對 應於噴出液狀體的領域，可使構成簡單化，提高製造性， 降低成本。 又，藉由使用噴嘴466爲大致等間隔配射於直線上的 噴墨頭421，將可容易描繪例如具有條紋型、瑪賽克型、 三角型等規則性的構成。 又，由於是以能夠沿著噴嘴466之約直線上的配設方 向與沿著主基板12的表面而相對移動的掃描方向交叉傾 -85- (81) (81)1221119 斜狀態的方向之方式，使複數個噴墨頭42 1沿著主基板 12的表面而相對移動，因此複數個噴墨頭421的噴嘴466 的配列方向會形成傾斜於掃描方向（沿著主基板1 2的表 面而移動的方向）的狀態。因此，濾光元件材料1 3的噴 出間隔，亦即間距會比噴嘴間的間距來得狹窄，例如在將 被噴著濾光元件材料1 3的主基板1 2利用於液晶面板等的 光電裝置，亦即顯示裝置等時，可取得更詳細的顯示形 態，進而能夠取得良好的顯示裝置。又，可防止隣接的噴 墨頭42 1產生干擾，可容易謀求小型化。又，藉由適當設 定該傾斜角，可適宜地設定描繪的點間距，提高泛用性。 此外，在以等間隔來將噴嘴466配設於直線上的噴墨 頭421的構成中，由於是在長方形狀的噴墨頭421中沿著 長度方向以等間隔來將噴嘴46設置於直線上，因此噴墨 頭421會形成小型化，且可防止隣接的噴墨頭421彼此或 與其他部位產生干擾，可容易形成小型化。 另外，因爲是在噴嘴46 6的配設方向分別形成平行的 狀態下，將複數個噴墨頭42 1配設於拖架426，而構成噴 頭單元420，因此不必使用特別長的噴墨頭，便可容易在 1個領域中形成同樣液狀體的複數個噴出領域。並且，可 在1處由不同的噴墨頭421來重疊噴出濾光元件材料 13，可容易使噴出領域的噴出量平均化，進而能夠取得安 定良好的描繪。 又，以複數個噴墨頭42 1能夠分別傾斜於與掃描方向 X交叉的方向，且所有噴嘴466的配置方向能夠互相形成 • 86 - (82) 1221119

平行之方式來將複數個噴墨頭421排列配置於與噴墨頭 421的長度方向不同的方向，因此不必製造具有長尺寸的 特別噴墨頭，即可容易擴大噴出領域。又，藉由使噴嘴 4 66的配列方向傾斜於與掃描方向交叉的方向，如上述， 可相隣的噴墨頭421不會干擾，且濾光元件材料13的噴 出間隔，亦即間距會比噴嘴466間的間距來得狹窄，例如 在將被噴著濾光元件材料1 3的主基板1 2利用於顯示裝置 時，可取得更詳細的顯示形態。又，藉由適當設定該傾斜 角，可適宜地設定描繪的點間距，提高泛用性。 又，由於是以複數列，例如2列來將複數個噴墨頭 42 1配設成鋸齒狀，因此不必使用特別長的噴墨頭42 1， 即使是使用現有的噴墨頭421，照樣能夠不使相隣的噴墨 頭42 1產生干擾，不會在噴墨頭42 1間產生不噴出濾光元 件材料1 3的領域，可連續噴出濾光元件材料1 3，亦即可 連續描繪。

又，在設有噴墨頭421的噴嘴466的一面會隔著規定 的間隙來對向於被噴出物（主基板12 )的表面的狀態 下，使複數個噴墨頭421沿著主基板12的表面而相對地 移動，從位於此相對移動方向的直線上的複數個（例如2 個）噴嘴466來使濾光元件材料13噴出。上述複數個噴 墨頭421是在一面設有複數個供以噴出濾光元件材料13 (具有流動性的液狀體，例如墨水）的噴嘴466。因此， 可取得由不同的2個噴嘴466重疊噴出濾光元件材料13 的構成，即使在複數個噴嘴466間存在噴出量不均，還是 -87- (83) (83)1221119 能夠使噴出的濾光元件材料13的噴出量平均化，而來防 止產生不均一，可取得平面性均一的噴出，進而能夠取得 平面性品質均一良好特性的光電裝置。 又，在設有噴墨頭421的噴嘴466的一面會隔著規定 的間隙來對向於被噴出物（主基板12 )的表面的狀態 下’使複數個噴墨頭421 (在一面設有複數個供以噴出濾 光元件材料13的噴嘴466)沿著主基板12的表面而相對 地移動，不會從噴墨頭421的各噴嘴466中位於該等噴嘴 466的配設方向的兩端部的規定領域X的兩側1〇個的噴 嘴4 66來噴出濾光元件材料13，而是從位於規定領域X 以外的中間部份的噴嘴466來將濾光元件材料13噴至主 基板12的表面上《藉此構成，由於不會從位於噴出量特 別多的噴嘴46 6的配設方向的兩端部的規定領域的兩端各 10個噴嘴466來噴出濾光元件材料，而是使用噴出量較 爲一様的中間部份的噴嘴466來噴出濾光元件材料13, 因此可平面性均一地噴出於主基板12的表面上，可取得 平面性品質均一的彩色濾光片1，進而能夠藉由使用此彩 色濾光片1的光電裝置（顯示裝置）來取得良好的顯示。 又’由於不從比濾光元件材料13的噴出量的平均値 還要多1成以上的噴出量的噴嘴466來噴出，因此特別是 使用彩色濾光片1的濾光元件材料13或EL發光材料、 或者含有荷電粒子的電泳裝置用等的機能性液狀體時，不 會產生特性不均一’可確實地取得良好特性的液晶裝置或 EL裝置等的光電裝置。 -88- (84) (84)1221119 又’由於是在±10 %以內（對來自各噴嘴466的噴出 量的平均値而言）噴出濾光元件材料13，因此噴出量會 較能形成相同’均一地噴出於主基板12的表面上，取得 較佳特性的光電裝置。 又’由於設置缺點檢出單元487，檢測出來自噴嘴 466的濾光元件材料13的噴出，因此能夠防止濾光元件 材料13的噴出不均，可以取得確實且良好的液狀體噴出 之描繪。 又’由於在缺點檢出單元487設置光感應器，以此光 感應器來檢測出交叉於濾光元件材料13的噴出方向的方 向上的濾光元件材料13的通過，因此即使是在噴出濾光 元件材料13的過程中，照樣可以簡單的構成來確實地辨 識濾光元件材料1 3的噴出狀態，進而能夠防止濾光元件 材料13的噴出不均，可以取得確實且良好的液狀體噴出 之描繪。 又，由於從噴嘴466來將濾光元件材料13噴出至主 基板1 2的過程前後，會利用缺點檢出單元4 8 7來檢測出 濾光元件材料1 3的噴出狀態，因此可檢測出濾光元件材 料13的噴出前及噴出後的噴出狀態，可確實地辨識濾光 元件材料1 3的噴出狀態，確實地防止缺點，取得良好的 描繪。又，亦可只在噴出構成的前或後的其中一方的時間 點進行即可。 又，由於在噴頭單元42 0的掃描方向側配置缺點檢出 單元487，因此可使供以檢測出濾光元件材料13的噴出 (85) (85)1221119 狀態的噴頭單元42 0的移動距離短，且可保持原狀繼續往 噴出用的掃描方向移動，可使缺點的檢出更有効率且構成 簡單。 又，由於是以2列點對稱方式來配設噴墨頭421，因 此可使供給濾光元件材料13的噴出的供給管478整合至 噴頭單元42 0的近傍，可容易組裝裝置及容易保管。又， 由於用以控制噴墨頭421的電氣配線442是從噴頭單元 420的兩側來配線，因此可防止配線所造成的電氣雜訊的 影響，可取得良好且安定的描繪。 又，由於是在長方形狀的印刷基板43 5的一端側配設 複數個噴墨頭421，在另一端側設置連接器441，因此即 使在複數條直線上配設，照樣不會受到連接器441干擾， 可形成小型化，且不會在掃描方向行形成不存在噴嘴466 的位置，亦即可取得連續的噴嘴466配列，而不必使用長 尺寸的特別噴墨頭。 又，由於是以連接器44 1能夠位於相反側的方式來以 點對稱的方式配置，因此可防止在連接器441部份的電氣 雜訊的影響，可取得良好且安定的描繪。 又，該等實施形態的作用効果，只要在上述各實施形 態中具有同樣的構成，便可發揮所對應的相同作用効果^ [利用EL元件的顯示裝置（光電裝置）及其製造方法] 其次，參照圖面來說明本發明的顯示裝置（光電裝置） 及其製造方法。並且，在本實施形態中，針對各種顯示裝 -90- (86) (86)1221119 置的光電裝置’亦即利用EL顯示元件的主動矩陣型顯示 裝置來加以説明。而且’在說明此顯示裝置的製造方法 前，先針對所被製造的顯示裝置的構成來加以説明。 (顯示裝置的構成） 圖40是表示本發明的光電裝置的製造裝置之有機EL 裝置的部份等效電路圖。圖41是表示顯示裝置的顯示點 (畫素領域）的平面構造之擴大平面圖。此顯示裝置，如圖 40所示，爲使用EL裝置的EL顯示元件的主動矩陣型的 顯示裝置501。此顯示裝置501是在基板（透明的顯示基 板5 02 )上分別配線有：複數條掃描線5 03，及延伸於與 該等掃描線503交叉的方向的複數條訊號線5 04,以及與 該等訊號線504並列延伸的複數條共通給電線5 05。並 且，在掃描線5 03與訊號線504的各交點設有畫素領域 (顯示點）5〇1Α。 又，針對訊號線504設有具備位移暫存器、位準位移 器、視頻線、類比開關的資料側驅動電路5 0 7。又，針對 掃描線5 03設有具備位移暫存器及位準位移器的掃描側驅 動電路508。 又，於畫素領域501A中分別設有： 開關薄膜電晶體509 ;該開關薄膜電晶體509是經由 掃描線 503來供應掃描訊號給閘極電極；及 儲存容量cap ;該儲存容量cap是用以儲存保持經由 該開關薄膜電晶體509來從訊號線504供給的畫像訊號； (87) (87)1221119 及 電流薄膜電晶體5 1 Ο ;該電流薄膜電晶體5 1 0是將該 儲存容量cap所保持的畫像訊號供應給閘極電極；及 畫素電極5 11 ;該畫素電極5 1 1是經由該電流薄膜電 晶體510來電性連接於共通給電線505時，驅動電流會從 共通給電線505流入；及 發光元件513;該發光元件513是夾在該畫素電極 5 1 1與反射電極5 1 2間。 φ 藉此構成，若掃描線5 03被驅動，而開啓開關薄膜電 晶體5 09的話，則此刻的訊號線504的電位會被保持於 儲存容量cap。 按照此儲存容量cap的狀態來決定電流 薄膜電晶體510的ON OFF狀態。然後，電流會經由電 流薄膜電晶體510的通道來從共通給電線505流動至畫素 電極5 1 1，且電流會經由發光元件5 1 3來流動至反射電極 5 1 2。如此一來，發光元件5 1 3會按照此流動的電流量來 發光。 _ 在此，畫素領域501A，如去除反射電極512及發光 元件513的狀態的擴大平面圖，亦即圖41所示，平面狀 態爲長方形的畫素電極511的四邊會由訊號線5 04、共通 給電線505、掃描線5 03及未圖示的其他畫素電極511用 的掃描線5 03所圍繞。 其次，針對顯示裝置（使用上述EL顯示元件的主動 矩陣型）的製造過程的程序來加以說明。圖42〜圖44是 表示使用EL顯示元件的主動矩陣型的顯示裝置的製造過 -92 - (88) 1221119 程的程序之製造過程剖面圖。

首先，因應所需，如圖42(A)所示，利用電漿CVD法 (以四乙烷基氧矽酸鹽（TEOS)及氧氣等爲原料氣體）來對 透明的顯示基板502形成厚度大小約爲2000〜5000埃的 氧化矽膜，亦即未圖示的下層保護膜。其次，將顯示基板 502的温度設定成約3 50°C，在下層保護膜的表面上，利 用電漿CVD法來形成厚度大小約爲300〜700埃的非晶質 矽膜，亦即半導體膜520a。然後，對半導體膜520a實施 雷射退火或固相成長法等的結晶化過程，使半導體膜 5 2 0a結晶化成多晶矽膜。在此，就雷射退火法而言，是 例如使用準分子雷射，光束的長度約爲400nm的線光 束，輸出強度約爲200mJ/cm2。有關線光束是以相當於其 短方向的雷射強度的峰値之約90%的部份能夠重疊於每個 領域的方式來掃描線光束。

又，如圖42(B)所示，對半導體膜520a進行圖案形成 處理，而形成島狀的半導體膜520b。並且，在設有此半 導體膜520b的顯示基板502的表面上，藉由電漿CVD (以TEOS及氧氣等爲原料氣體）來形成厚度約600〜 1 500埃的氧化矽膜或氮化膜的閘極絕緣膜521a。而且， 雖半導體膜520b爲形成電流薄膜電晶體510的通道領域 及源極 汲極領域者，但於不同的剖面位置，也會形成開 關薄膜電晶體509的通道領域及源極 汲極領域的半導體 膜（未圖示）。亦即，在圖42〜圖44的製造過程中，兩 種類的開關薄膜電晶體509及電流薄膜電晶體510會同時 -93- (89) (89)1221119 形成，但由於是以同樣的程序來形成，因此在以下的説明 中，僅針對電流薄膜電晶體5 1 0來加以説明，而省略開關 薄膜電晶體509的説明。 然後，如圖42(C)所示，藉由濺鍍法來形成鋁，鉅， 鉬，鈦，鎢等的金屬膜（導電膜）之後，進行圖案形成處 理，形成圖41所示的閘極電極510A。在此狀態下，植入 高温度的磷離子，在半導體膜52 0b中對閘極電極51 0A 自我整合地形成源極 汲極領域510a，510b。並且，未 導入雜質的部份會形成通道領域510c。 其次，如圖42(D)所示，在形成層間絕緣膜522後， 形成接觸孔523，524，且於該等接觸孔523,5 24内埋入中 繼電極526，527。 又，如圖42(E)所示，在層間絕緣膜522上形成訊號 線504、共通給電線505及掃描線503(在圖42中未圖 示）。此刻，訊號線504、共通給電線5 05及掃描線503 的各配線會形成充分的尺寸。具體而言，各配線會形成1 〜2/zm程度的厚度大小。在此，中繼電極527與各配線 亦可於同一過程形成。此刻，中繼電極526是藉由後述的 ITO膜來形成。 又，以能夠覆蓋各配線上面的方式來形成層間絕緣膜 530，且在對應於中繼電極526的位置形成接觸孔532。 又，以能夠塡埋該接觸孔 532内的方式來形成ITO膜， 且對此ITO膜進行圖案形成處理，而於訊號線5 04、共通 給電線505及掃描線503所圍繞的規定位置形成電性連接 -94- (90) (90)1221119 至源極 汲極領域510a的畫素電極51 1。 在此’於圖42(E)中，訊號線5 04及共通給電線505 所夾持的部份是相當於選擇性配置光學材料的規定位置。 並且，在該規定位置及其周圍之間，藉訊號線504及共通 給電線5 05而形成有段差535。具體而言，規定位置的_ 方要比其周圍來得低，形成凹型的段差5 3 5。 其次，在被施以上述前處理的顯示基板502上，利用 噴墨方式來噴出機能性液狀體的EL發光材料。亦即，如 圖43(A)所不，在使施以前處理的顯示基板502的上面朝 上的狀態下，利用噴墨方式，亦即使用上述各實施形態的 裝置來噴出機能性液狀體（供以形成發光元件丨40的T層 部份的電洞注入層513Α者），亦即溶於溶媒中的溶液狀 的先驅物之光學材料540Α，選擇性地塗佈於段差5 3 5所 圍繞之規定位置的領域内。 就用以形成此噴出的電洞注入層51 3Α的光學材料 540Α而言，例如有··聚合物先驅物爲聚四氫硫苯基苯之 聚苯乙烯、1 ，1 一雙一（4 一 N，N —二甲苯基胺基苯 基）環乙烷、三（8 —羥基喹啉酚）鋁等。 並且，在噴出時，具有流動性液狀體的光學材料 540A與在上述各實施形態的隔壁噴出濾光元件材料13的 情況同樣的，由於流動性高，因此會往平面方向擴散，但 因爲形成有段差5 3 5 (可圍繞所被塗佈的位置），所以只 要光學材料54 0A的1次噴出量不是極端的大量，便可防 止光學材料540A越過段差5 3 5而擴散至規定位置的外 (91) (91)1221119 側。 又’如圖43(B)所示，藉由加熱或光照射等來使液狀 的光學材料540A的溶媒蒸發，在畫素電極511上形成固 形的薄電洞注入層513A。並且，針對該圖43(A)，（B)重 複進行必要次數’如圖43(C)所示，形成充分厚度大小的 電洞注入層51 3A。而且，在使複數的液滴噴出形成電洞 注入層時’可使噴出時的噴頭掃描方向和上述一樣形成兩 個以上不同的方向（例如正交的兩個方向），藉此來降低 材料不均。 其次’如圖44(A)所示，在使顯示基板502的上面朝 上的狀態下，利用噴墨方式，亦即使用上述各實施形態的 裝置來噴出供以在發光元件513的上層部份形成有機半導 體膜51 3B的機能性液狀體的溶媒中所被溶解的溶液狀有 機螢光材料之光學材料5 4 0B，且予以選擇性地塗佈於段 差53 5所圍繞的規定位置之領域内。而且，此光學材料 540B與上述光學材料540A的噴出同樣的，可防止越過段 差5 3 5而擴散至規定位置的外側。 就供以形成該噴出之有機半導體膜513B的光學材料 540B而言，例如可使用： 氰基聚伸苯乙烯、聚伸苯乙烯、聚烷基伸苯、2，3 , 6，7-四氫-11-氧-111 · 5H ·11Η(1)苯並吡喃基[6, 7，8-ij]·曈啉-10-羧酸、1，1·雙-(4，-Ν，Ν-二甲苯基胺 苯基）環己烷、2-13· 4，-二羥苯基）-3，5，7·三羥基-K 苯並吡喃鎰過氯酸酯）、三（8 -羥基曈啉酚）鋁、2，3· -96- (92) (92)1221119 6·7-四氫·9-甲基-11-氧-1Η ·5Η ·1Η(1)苯並吡喃基 [6，7，8-ij]-喧啉、芳族二胺衍生物（TDP )、噁二唑二 聚物（OXD)、噁二唑之衍生物（PBD)、二苯乙烯基伸 芳基衍生物（DSA)、喹啉酚系屬錯合物、吡喃鎗苯並喹 啉酚錯合物（Bebq)、三苯基胺衍生物（MTDATA)、二 苯乙烯基衍生物、吡唑啉二聚物、紅熒烯曈吖酮、三唑衍 生物、聚伸苯、聚烷基芴聚烷基噻吩、甲亞胺鋅錯合物、 鋅錯合物、苯並噁唑鋅錯合物、菲繞啉錯合物銪等。 其次，如圖44(B)所示，藉由加熱或光照射等來使光 學材料540B的溶媒蒸發，在電洞注入層513A上形成固 形的有機半導體膜513B。重複對圖44(A)，（B)進行所需 次數，而如圖44(C)所示，形成充分厚度大小的有機半導 體膜513B。並且，在使複數個液滴噴出而形成有機半導 體膜的EL發光層時，如上述那樣會使噴出時的噴頭掃描 方向形成兩個以上的不同方向（例如正交的兩個方向）， 而藉此來減少材料不均。 藉由上述電洞注入層513A及有機半導體膜513B來 構成發光元件513。最後，如圖44(D)所示，形成顯示基 板5 02的表面全體，或形成條紋狀的反射電極512，製造 顯示裝置501。在此，以彼此不同掃描方向所噴出的液滴 來形成電洞注入層及有機半導體膜（EL發光層），藉此可 減少因材料不均所引起的顯示不均。 同樣的，在圖40〜圖44的實施形態中，可藉由與上 述各實施形態相同的噴墨方式的實施來發揮同樣的作用効 97· (93) 1221119 果。並且，在選擇性地塗佈機能性液狀體時，可防 至周圍，進而能夠高精度地形成圖案。 此外，在此圖40〜圖44的實施形態中，雖是 色顯示的顯示裝置來進行說明，亦即針對使用EL 件的主動矩陣型顯示裝置來進行説明，但並非只限 例如圖45所示，亦可將圖40〜圖44所示的構成 單色顯示的顯示裝置。 亦即，有機半導體膜513B可同樣地形成於顯 5 02的全面。此情況，爲了防止交互干擾，電洞 5 1 3 A必須選擇性地配置於各規定位置，因此利 111的塗佈極爲有効。在此，於圖45中，與圖4(L· 的實施形態相同的構成將賦予同樣的元件符號。 又，就使用EL顯示元件的顯示裝置而言，並 於主動矩陣型，例如圖46所示，亦可爲被動矩陣 示裝置。圖46是表示本發明的光電裝置的製造裝§ 裝置。圖46 (A)是表示複數條第1匯流排配線550 條第2匯流排配線560 (配設於與第1匯流排配線 交的方向）的配置關係的平面圖。圖46(B)是表示E 的B—B線剖面圖。在此圖46中，與圖40〜圖44 形態相同的構成將賦予同樣的元件符號，並省略其 明。又，由於細部的製造過程亦與圖40〜圖44的 態相同，因此省略其圖示及説明。 此圖4 6所示實施形態的顯示裝置是以能夠圍 發光元件513的規定位置之方式來配設Si02等的 止流出 針對彩 顯示元 於此， 適用於 示基板 注入層 用段差 、圖44 非只限 型的顯 I之EL 與複數 5 5 0正 劃 46(A) 的實施 重複説 實施形 繞配置 絕緣膜 (94) (94)1221119 5 70，藉此於規定位置及其周圍之間形成段差535。因 此，在選擇性塗佈機能性液狀體時，可防止流出至周圍， 進而能夠高精度地形成圖案。 又，就主動矩陣型的顯示裝置而言，並非只限於圖 40〜圖44所示實施形態的構成。例如，亦可爲圖47所示 的構成、圖48所示的構成、圖49所示的構成、圖50所 示的構成、圖51所示的構成、及圖52所示的構成。 圖47所示的顯示裝置是利用畫素電極5 1 1來形成段 差5 3 5，而使能夠高精度地形成圖案。圖47是表示在製 造顯示裝置的製造過程途中的階段之剖面圖。由於其前後 階段是與上述圖40〜圖44所示實施形態大致相同，因此 省略其圖示及説明。 在此圖47所示的顯示裝置中，是使畫素電極511形 成比通常還要厚，藉此在與其周圍之間形成段差535。亦 即，在此圖47所示的顯示裝置中，形成有畫素電極511 (之後會被塗佈光學材料）比其周圍還要高的凸型段差。 並且，與上述圖40〜圖44所示的實施形態同樣的，利用 噴墨方式來噴出供以形成發光元件513的下層部份的電洞 注入層513A的先驅物之光學材料54 0A，塗佈於畫素電極 51 1的上面。 但，與上述圖40〜圖44所示實施形態不同的地方是 在於使顯示基板502上下顛倒的狀態下，亦即使塗佈光學 材料54 0A的畫素電極511的上面朝下方的狀態下，噴出 光學材料540A後進行噴出。藉此，光學材料54〇a會利 (95) (95)1221119 用重力及表面張力來停滯於畫素電極511的上面（在圖 47中的下面），而不會擴散至周圍。因此，只要藉由加熱 或光照射等來進行固化，便可形成與圖43(B)同樣薄的電 洞注入層513A，且只要予以重複進行，便可形成電洞注 入層513A。同樣的，亦可使用相同的手法來形成有機半 導體膜51 3B。因此，可利用凸型的段差來高精度地形成 圖案。此外，並非只限於重力及表面張力，亦可利用遠心 力等的慣性力來調整光學材料540 A，540B的量。 圖48所示的顯示裝置亦爲主動矩陣型的顯示裝置。 圖48是表示在製造顯示裝置的製造過程的途中階段的剖 面圖。由於此前後的階段與圖40〜圖44的實施形態相 同，因此省略其圖示及説明。 就此圖48的顯示裝置而言，首先是在顯示基板502 上形成反射電極512，且在此反射電極512上，以能夠圍 繞配置有發光元件513的規定位置之方式來形成絕緣膜 570，藉此來形成規定位置比其周圍還要低的凹型段差 53 5 〇 又，與上述圖40〜圖44的實施形態同樣的，在段差 53 5所圍繞的領域内，藉由噴墨方式來選擇性地噴出機能 性液狀體（光學材料54 0A，540B)而進行塗佈，藉此來 形成發光元件5 1 3。 另一方面，在剝離用基板580上，隔著剝離層581來 形成掃描線5 03、訊號線504、畫素電極511、開關薄膜 電晶體509、電流薄膜電晶體51〇及層間絕緣膜530。最 (96) (96)1221119 後在顯示基板502上複製自剝離用基板5 80上的剝離層 5 8 1所被剝離的構造。 就此圖48的實施形態而言，是在於減少掃描線 503、訊號線504、畫素電極511、開關薄膜電晶體5 09、 電流薄膜電晶體5 1 0及層間絕緣膜5 3 0之光學材料 540A，540B的塗佈形成時所造成的損傷。並且，亦可適 用於被動矩陣型的顯示元件。 圖49所示的顯示裝置亦爲主動矩陣型的顯示裝置。 圖49是表示在製造顯示裝置的製造過程的途中階段的剖 面圖。由於此前後的階段與圖40〜圖44的實施形態相 同，因此省略其圖示及説明。 就此圖49所示的顯示裝置而言，是利用層間絕緣膜 5 3 0來形成凹型的段差5 3 5。因此，不必特別增加新的過 程，便可利用層間絕緣膜5 3 0，防止製造過程大幅度地複 雜化。並且，亦可以Si02來形成層間絕緣膜5 3 0的同 時，在其表面照射紫外線或02、CF3、Ar等的電漿，然後 使畫素電極511的表面露出，而選擇性地噴出液狀的光學 材料540A，540B來進行塗佈。藉此，可沿著層問絕緣膜 530的表面來形成撥液性強的分佈，而使得光學材料 5 4 0 A，5 4 0 B能夠利用段差5 3 5與層問絕緣膜5 3 0的撥液 性的雙方作用來容易滯留於規定位置。 圖50所示的顯示裝置是使塗佈有液狀體的光學材料 540A，540B的規定位置的親水性相對地比其周圍的親水 性還要強，藉此來使所被塗佈的光學材料540A，540B不 -101 - (97) 1221119 會擴散至周圍。圖50是表示在製造顯示裝置的製造過 的途中階段的剖面圖。由於此前後的階段與圖40〜圖 的實施形態相同，因此省略其圖示及説明。 就此圖5 0所示的顯示裝置而言，是在形成層間絕 膜530之後，在其上面形成非晶質矽層590。因非晶質 層5 90的撥水性是比形成畫素電極511的ITO還要相對 強，所以在此會形成畫素電極5 1 1表面的親水性比其周 的親水性還要相對強的掩撥水性 親水性的分佈。並且 與上述圖40〜圖44的實施形態同樣的，朝畫素電極5 的上面，藉由噴墨方式來選擇性地噴出液狀的光學材 5 40 A，54 0B而進行塗佈，藉此來形成發光元件513, 後形成反射電極5 1 2。 又，同樣的該圖50所示的實施形態亦可適用於被 矩陣型的顯示元件。又，如圖48所示的實施形態，亦 包含將在剝離用基板580上隔著剝離層581而形成的構 予以複製於顯示基板502的過程。 又，撥水性 親水性的份佈，亦可利用金屬、陽極 化膜、聚醯亞胺或氧化矽等的絕緣膜、或者其他的材料 形成。又，若爲被動矩陣型的顯示元件，則亦可利用第 匯流排配線550來形成，若爲主動矩陣型的顯示元件， 亦可利用掃描線503、訊號線504、畫素電極511、絕 膜530或遮光層6b來形成。 圖5 1所示的顯示裝置並非是利用段差5 3 5或撥 性 親液性的分佈等來提高圖案形成精度，而是利用電 程 44 緣 矽 的 圍 11 料 最 動 可 造 氧 來 1 則 緣 液 位 -102- (98) (98) 1221119 所產生的引力或排斥力等來提高圖案形成精度。圖51是 表示在製造顯示裝置的製造過程的途中階段的剖面圖。由 於此前後的階段與圖40〜圖44的實施形態相同，因此省 略其圖示及説明。 就此圖51所示的顯示裝置而言，是在驅動訊號線 5〇4或共通給電線505的同時，適當地使電晶體（未圖 示）開啓•關閉，藉此來使畫素電極511形成負電位，且 層問絕緣膜5 3 0會形成正電位的電位分佈。又，利用噴墨 方式來選擇性地使帶正電的液狀光學材料540A噴出至規 定位置。藉此，由於是使光學材料5 40A帯電，因此不僅 會自動分極，而且還可利用帯電電荷，更爲提高圖案形成 的精度。 又’同樣的該圖5 1所示的實施形態亦可適用於被動 矩陣型的顯示元件。又，如圖4 8所示的實施形態，亦可 包含將在剝離用基板580上隔著剝離層581而形成的構造 予以複製於顯示基板502的過程。 此外’雖是賦予電位給畫素電極51〗及其周圍的層問 絕緣膜530雙方，但並非只限於此，例如圖52所示，亦 可不賦予電位給畫素電極5丨i，而僅賦予正電位給層間絕 緣膜5 3 0 ’然後使液狀的光學材料540A帶正電後再進行 塗佈。若利用圖5 2所示的構成，則即使是在塗佈後，液 狀的光學材料540A照樣能夠確實地維持帶正電的狀態， 因此可利用與周圍的層間絕緣膜53〇之間的排斥力來更爲 確實地防止液狀的光學材料54〇a流出至周圍。 •103· (99) (99)1221119 [液滴噴出手段的構成例] 其次，說明有關上述各實施形態中亦可適用的液滴噴 出手段的其他構成例。以下所述的構成例皆是使用以規定 的配列圖案來固定配列複數個的液滴噴出頭22，而一體 使用的液滴噴出單元。藉由使用如此的液滴噴出單元，將 不會使液滴噴出頭22的構造大型化，且可對應於各種的 對象物來有効率地進行處理。以下，參照圖面來依次說明 複數個的構成例。 (構成例1 ) 圖55是表示本發明之液滴噴出單元的構成例丨的構 造槪略平面圖。在此構成例1中，與上述各實施形態中所 述者相同的複數個液滴噴出頭22會沿著噴嘴列28(圖中 28A，28B所示者）的配列方向來配列成一列。並且，複數 個的液滴噴出頭22會分別安裝於副拖架25。而且，複數 個的液滴噴出頭22是隔著規定的間隔來配列於噴嘴列2 8 的延長方向，藉此可在具有各液滴噴出頭22的噴出寬度t 的噴嘴列28之間設置不存在噴嘴27的間隔s。在此，最 好間隔s是與液滴噴出頭22的噴出寬度t同寬。 此液滴噴出單元25U會在副拖架25設定旋轉中心 25a，副拖架25可以此旋轉中心25a爲中心來旋轉。例 如，副拖架25是被安裝於上述實施形態的噴頭單元26， 可藉由馬達等的驅動機構來以該旋轉中心25a爲中心而旋 -104- (100) (100)1221119 轉，藉此，液滴噴出單元全體可以傾斜角度0的傾斜姿勢 來定位於與掃描方向X正交的方向（傳送方向Y)。上述 旋轉中心25a最好是如圖示例那樣設定於副拖架25的中 心部。 又，搭載於副拖架25的各液滴噴出頭22是以設置於 副拖架25的對準原點25〇爲基準，分別在精密定位的狀 態下來予以定位。又，最好對準原點25〇是如圖示那樣， 設置於副拖架25的噴嘴列28的延長方向兩端部。又，對 準原點25〇是例如形成微細的印刷圖案等的標記。 圖56是表示使用上述液滴噴出單元25U來對基板12 進行處理的情況。在基板（主基板）1 2上，縱橫配列有與 上述同樣的圖案形成領域（單位領域）11。液滴噴出單元 25U是與上述各實施形態同樣的，對基板12進行掃描， 在其過程中，由各液滴噴出頭22的噴嘴來噴出液滴。此 刻，在一次的掃描步驟中，會在重疊於液滴噴出頭22的 噴出寬度t的領域中噴出液滴，但在重疊於間隔s的領域 中不會噴出液滴。因此，必須在別的掃描中處理無法以一 次掃描處理的領域。例如，在由圖示上部的液滴噴出單元 25U的位置進行掃描步驟ST1後，如圖示下部的液滴噴出 單元25U那樣，僅以5y來偏移於傳送方向Y，然後再度 進行掃描步驟ST2。在此，最好爲上述噴出寬度t或 間隔s。特別是在噴出寬度t = s時，若δ y = t = s，則可解決 無法藉由2次的掃描步驟ST1，ST2來噴出液滴的領域。 此情況，如圖57A及圖57B所示，亦可按照基板12的短 (101) (101)1221119 邊方向Μ與長度方向L的圖案配列周期的差來將液滴噴 出單元25U的傾斜角度0a(在基板12的短邊方向Μ進 行掃描時）與液滴噴出單元25U的傾斜角度0b(在長度 方向L進行掃描時）設定成彼此不同的角度。 在本實施形態中，使用液滴噴出單元25U時與上述 各實施形態同樣的，會進行沿著基板1 2的短邊方向Μ而 掃描的步驟，及沿著長度方向L而掃描的步驟，藉此可減 少成膜不均。又，亦可於基板12的短邊方向Μ與長度方 φ 向L的其中之一進行掃描，較能有効率進行處理，更理想 是選則其中一方的掃描方向，而僅對該方向進行掃描。 又，此構成例中，與上述實施形態同樣的，可使用誤 差分散法的掃描形態。此情況，如上述實施形態，可於傳 送方向 Υ上僅以規定量來一邊傳送一邊重複進行掃描步 驟，但就該形態而言，亦能以依次進行上述步驟ST1與 ST2的製程爲1組，而使該組慢慢地移動於傳送方向γ， 或者例如僅使掃描步驟ST1慢慢地移動於傳送方向γ後， 使掃描步驟ST2慢慢地地移動於傳送方向Υ。 (構成例2) 其次，參照圖58來說明液滴噴出單元的構成例2。 此液滴噴出單元25 V與上述構成例1同樣的，複數個液 滴噴出頭22會以規定間隔來配列，各液滴噴出頭22的構 造以及在副拖架25設有對準原點25〇的方面是與上述構 成例1相同，因此省略說明同樣的部份。此液滴噴出單元 •106- (102) (102)1221119 25V與構成例1不同的地方是在於各液滴噴出頭22可分 別對副拖架25進行旋轉。並且，複數個液滴噴出頭22可 變更彼此間隔。 在副拖架25中設有延伸於該長度方向的引導路徑 25c，安裝構件25d可沿著此引導路徑25c而移動。又， 對安裝構件25d而言，液滴噴出頭22可以旋轉中心22a 爲中心而旋轉。更具體而言，引導路徑25c是由凹溝及凸 條等來構成，安裝構件25d可嵌合於此引導路徑25c，滑 動於引導路徑25c的延伸方向。安裝構件25d可在利用測 微器等調整手段的調整之下予以固定於引導路徑25 c的適 當位置。液滴噴出頭22可旋轉安裝於安裝構件25d，可 利用測微器等調整手段來調整成適當的傾斜角度0而固 定。 在此構成例2中，各液滴噴出頭22的噴出寬度t會 隔著間隔s來配列的這一點是與構成例1相同樣。但，在 上述構成例1中，各液滴噴出頭22會被固定於副拖架 25，而藉由副拖架25的全體旋轉來設定規定的傾斜角度 0，因此液滴噴出頭22可藉由傾斜來分散配置於掃描方 向的廣範圍，特別是離開旋轉中心25a的液滴噴出頭22 會在掃描步驟的開始後或終了前產生較長的空送距離。相 對的，在構成例2中，各液滴噴出頭22會分別對副拖架 25旋轉而取得規定的傾斜角度，因此幾乎無上述的空送 距離。因此，可藉由減少空送距離來減少動作行程。 在此構成例2中，由於可藉由搭載於副拖架25的各 -107- (103) (103) 1221119 個液滴噴出頭22旋轉來設定傾斜角度0 ,因此例如若將 液滴噴出頭22的噴出寬度t與間隔§的比率保持於一 定，則必須按照傾斜角度0的變化來修正各個液滴噴出頭 22的間隔。例如，右想要將液滴噴出頭22的實質噴出寬 度與間隔s設定成相同，則當傾斜角度0爲〇時，t = S即 可’相反的’當傾斜角度0不爲0時，必須使間隔S與實 質的噴出寬度t· COS0 一致。因此，在配合應形成的圖案 的構造週期來設定傾斜角度0時，會配合此傾斜角度0, 沿著引導路徑25c來使各液滴噴出頭22移動，如上述將 彼此的隔修正成s = t· COS0。 (構成例3 ) 其次’參照圖59來說明構成例3之液滴噴出單元 25 W的構造。此液滴噴出單元25w與上述構成例1及構 成例2同樣的，雖是配列複數個液滴噴出頭22，但其配 列形態有所不同。在此構成例3中，液滴噴出頭2 2也是 被安裝於副拖架25。但，就此構成例3而言，是具有朝 噴嘴28(2 8A及28 B)的配列方向而偏離與此配列方向正交 的方向（亦即上述基準方向S)的2列液滴噴出頭22。 又，各液滴噴出頭22會彼此相異地配列，藉此液滴噴出 單元25W全體會形成連續的一體噴嘴列。亦即，以一方 列中所含的液滴噴出頭22的噴出寬度t與他方列中所含 的液滴噴出頭22的噴出寬度t能夠隣接且連續的方式來 配置。 -108· (104) (104)1221119 在此構成例3中，由液滴噴出單元25W全體來看 時，可與連續於一體的液滴噴出頭的單一噴嘴列構成時同 樣使用。因此，不須形成噴嘴數不同的新液滴噴出頭，只 要使用複數個既存的液滴噴出頭22，便可增大噴嘴數。 又，如上述構成例1及2那樣，由於間隔S不存在，因此 不必設置用以處理對應於間隔s的未處理領域之多餘的掃 描步驟。 又，同樣的，在此構成例3中，如構成例1所示，以 規定的旋轉中心爲中心來使液滴噴出單元2 5 W全體能夠 旋轉，可藉此旋轉來設定所要傾斜角度0。又，如構成例 2所示，可將液滴噴出頭22安裝成能夠分別對副拖架25 旋轉且並進，藉此而使能夠設定規定的傾斜角度0及對應 於該傾斜角度0之液滴噴出頭22的間隔。 [對象物的成膜圖案例] 其次，說明有關在上述各實施形態或各構成例中對象 物（主基板12)的成膜圖案例。圖60是表示主基板12 的成膜圖案的部份擴大平面圖。在此主基板12中縱橫形 成有與上述同樣的圖案形成領域（單位領域）11，在此圖 案形成領域11内，複數個領域7會以規定的配列圖案來 設置。在此，當藉由圖案形成領域11的分離來形成彩色 濾光片基板時，上述領域7會形成濾光元件領域，例如， R(紅）、G(綠）、B (藍）等適當的濾光元件會以條紋配列、 三角配列、傾斜瑪賽克配列等適宜的配列圖案來配列。 •109- (105) (105)1221119 又，藉由圖案形成領域11的分離來形成EL裝置或電漿 顯示器面板等的顯示裝置時，上述領域7會形成顯示點’ 發光層或螢光體會以適宜的配列圖案來配列。 在上述主基板12中，圖案形成領域11間的X方向 (例如上述短邊方向M)上所見的間隔DX會形成各圖案形 成領域11内的上述領域7的X方向上所見的配列周期dx 的自然數倍。並且，圖案形成領域Η間的Y方向（例如上 述長度方向L)上所見的間隔Dy會形成各圖案形成領域1 1 内的上述領域7的Y方向上所見的配列周期dy的自然數 倍。藉由如此的構成，可利用一定間隔配列的噴嘴27列 來橫跨複數個圖案形成領域1 1，一次使液滴噴出於各領 域7，因此可有効率地進行製造。 (其他的實施形態） 以上雖是舉較佳的實施形態來說明本發明，但本發明 並非只限於上述各實施形態，亦包含以下所示的變形例， 亦即在可達成本發明的目的範圍內，可設定成其他各種的 具體構造及形狀。 亦即，例如圖8及圖9所示之彩色濾光片的製造裝置 (液滴噴出裝置），使液滴噴出頭22移動至掃描方向X來 掃描主基板12，藉由傳送驅動裝置21來使主基板12移 動，藉此來對液滴噴出頭22的主基板12進行傳送動作， 但亦可相反的，藉由主基板12的移動來實現掃描，利用 液滴噴出頭22的移動來執行傳送動作。又，亦可不使液 -110- (106) (106)1221119 滴噴出頭22移動，而使主基板12移動，或使雙方相對地 移動於相反方向，亦即只要至少使其中一方相對地移動， 液滴噴出頭22便可沿著主基板12的表面來相對地移動。 又，上述實施形態中，雖是利用壓電元件的彎曲變形 來噴出墨水的構造，亦即使用液滴噴出手段（噴墨 頭）42 1，但亦可利用其他任意構造的噴墨頭，例如藉由加 熱來產生的氣泡而噴出墨水的方式之噴墨頭。 又，於圖27〜圖37所示的實施形態中，噴墨頭421 雖是以約等間隔來兩列設置於約直線上，但並非只限於兩 列，亦可爲複數列。又，亦可爲非等間隔，非成列配設於 直線上。 又，液滴噴出裝置16,401並非只限於製造彩色濾光 片1，液晶裝置101、EL裝置201，亦可利用在FED(Field Emission Display)等的電子放出裝置、PDP(Plasma Display Panel:電漿顯示器面板）、電泳裝置，亦即將含有 荷電粒子的機能性液狀體（墨水）噴出至各畫素的隔壁間 的凹部，在以各畫素能夠夾持於上下之方式而配設的電極 間施加電壓，使荷電粒子倚靠一方的電極側，藉此來進行 各畫素的顯示之裝置、薄型的映像管、CRT(Cathode-Ray Tube:陰極射線管）顯示器等、具有基板（基材），具有在 其上方的領域形成預定層的過程之各種的顯示裝置（光電 裝置）。 本發明的裝置及方法爲包含彩色濾光片及顯示裝置 (光電裝置）之具有基板（基材）的裝置，可使用於各種裝 -111 - (107) (107)1221119 置的製造過程（可利用在該基板（基材）上噴出液滴8的 過程）。例如，爲了形成印刷電路基板的電氣配線，而以 噴墨方式來噴出液狀金屬、導電性材料或含有金屬的塗料 等而形成金屬配線之構成，以及將形成於基板上的微透鏡 以噴墨方式來形成光學構件之構成，及以噴墨方式來將塗 佈於基板上的光阻劑只塗佈於必要的部份之構成，及以噴 墨方式來形成使光散亂於塑膠等透光性基板的凸部或微小 白圖案等，而形成光散亂板之構成，以及在 DNA(deoxyribonucleic acid:脫氧核糖核酸）晶片上矩陣配 列的尖峰點以噴墨方式噴出 RNA(「ribonucleic acid:核 糖核酸」而來製作螢光標識檢驗器，在DNA晶片上進行 核酸雜交反應等，在被區劃於基材上的點狀位置以噴墨方 式噴出試料或抗體、DNA(deoxyribonucleic acid :脫氧 核糖核酸）等而形成生物晶片之構成。 又，就液晶裝置1〇1而言，是在畫素中具備TFT等 的電晶體或TFD的主動元件之主動矩陣液晶面板等，形 成圍繞畫素電極的隔壁6,在以此隔壁6而形成的凹部中 以噴墨方式噴出墨水而形成彩色濾光片1之構成，但亦可 在畫素電極上以噴墨方式噴出墨水（混和色材及導電材 者），以形成於畫素電極上的彩色濾光片1來作爲導電性 彩色濾光片之構成，或以噴墨方式來噴出供以保持基板間 的間隙的間隔件粒子之構成等，皆可適用於構成液晶裝置 101的光電系統的其中一部份。 又，並非只限於彩色濾光片1，亦可適用於EL裝置 -112- (108) (108)1221119 201等其他任何的光電裝置，且EL裝置201亦可爲對應 於R、G、B三色的EL爲形成帯狀的條紋型，或如上述， 具有對每個畫素控制流入發光層的電晶體之主動矩陣型的 顯示裝置，或者適用於被動矩陣型等的構成。 又，對於安裝有上述各實施形態的光電裝置的電子機 器而言，並非只限於圖53所示的個人電腦490，例如亦 可適用於圖 54所示的行動電話 491或 PHS(PerS〇nal Handy phone System)等的攜帶型電話機、電子記事本、呼 叫器、P0S(Point Of Sales)終端機、1C卡、MD撥放器、 液晶投影機、EWS(Engineering Work Station )、文書處理 器、電視、取景器型或監視器直視型的攝影機、電子計算 機、汽車衛星導航裝置、具備觸控板的裝置、時鐘、遊戲 機等各種的電子機器。 又，本發明在實施時的具體構造及程序，只要能夠達 成本發明的目的，亦可爲其他的構造及程序。例如，在圖 28、圖36及圖37所述的實施形態中，噴墨頭421雖是全 部朝同一方向傾斜配置，但2列中的一方亦可配置於由另 一方列的傾斜角度旋轉9(Γ的方向，2列的噴墨頭列爲呈 「八」字狀，互相具有9(Γ的角度，或者在各個噴墨頭列 中彼此隣接的噴頭會互相具有90·的角度，而配置成 「八」字狀。亦即，只要不脫離本發明的主旨範圍，亦可 實施其他各種的實施形態。 本發明的成膜方法及成膜裝置可廣泛使用於在任意的 對象物的表面上形成任意的膜時。例如，在對象物的表面 -113- (109) (109)1221119 上形成均一的膜時，可沿著至少不同的2個掃描方向來依 次噴出複數個液滴，而使能夠減少在掃描方向上所引起的 成膜不均。就如此的膜而言，例如有感光性光阻劑膜及保 護塗層膜等。又，並非只限於膜，亦可適用於在對象物的 表面上形成各種的構造時。例如，在基板的表面上分散形 成柱狀間隔件時。就使用具備如此柱狀間隔件的基板而 言，例如有液晶顯示裝置、輸入板裝置等。 若利用本發明，則可將相對的掃描方向（對噴出液狀 材料的液滴時的被噴出物而言）設定成不同的2個以上的 方向，藉此而能夠有效率地使材料附著於各種的被噴出 物。並且，藉由將上述掃描方向（對被噴出物而言）設定 於不同的2個以上的方向，可降低掃描方向所引起的條紋 狀材料不均。 【圖式簡單說明】 圖1是表示本發明之彩色濾光片的製造方法的實施形 態的主要過程模式平面圖。 圖2是表示本發明之彩色濾光片的製造方法的其他實 施形態的主要過程模式平面圖。 圖3是表示本發明之彩色濾光片的製造方法的其他實 施形態的主要過程模式平面圖。 圖4是表示本發明之彩色濾光片的製造方法的其他實 施形態的主要過程模式平面圖。 圖5是表示本發明之彩色濾光片的一實施形態及其基 -114- (110) (110)1221119 礎的主基板的實施形態平面圖。 圖6是表示根據圖5(a)之VI — VI線的剖面部份之彩 色濾光片的製造過程模式圖。 圖7是表示彩色濾光片之R、G、B三色的顯示點的 配列例圖。 圖8是表示本發明之液滴噴出裝置或彩色濾光片的製 造裝置，本發明之液晶裝置的製造裝置及本發明之EL裝 置的製造裝置之各製造裝置的主要部份的液滴噴出裝置的 一實施形態立體圖。 圖9是表示擴大圖8之裝置的主要部份的立體圖。 圖1〇是表示擴大圖9之裝置的主要部份的噴墨頭的 立體圖。 圖11是表示噴墨頭的變形例的立體圖。 圖12是表示噴墨頭的内部構造圖，圖（a)是表示部份 立體圖，圖（b)是表示圖（a)之J 一 J線的剖面構造。 圖13是表示噴墨頭的其他變形例的平面圖。 圖14是表示使用於圖8的噴墨頭裝置之電氣控制系 的方塊圖。 圖1 5是表示藉由圖1 4的控制系來執行的控制流程 圖。 圖16是表示噴墨頭的其他變形例的立體圖。 圖17是表示本發明之液晶裝置的製造方法的一實施 形態的過程圖。 圖18是表示利用本發明之液晶裝置的製造方法而製 -115- (111) (111)1221119 造的液晶裝置的一例的分解狀態立體圖。 圖19是表示圖18之IX — IX線的液晶裝置的剖面構 造的剖面圖。 圖20是表示本發明之EL裝置的製造方法的實施形 態的過程圖。 圖21是表示對應於圖20的過程圖之EL裝置的剖面 圖。 圖22(a)、（b)是表示本發明之實施形態的液滴噴出裝 置的載物台上的主基板的姿勢平面圖。 圖23(a)、（b)是表示液滴噴出裝置的載物台上的其他 主基板的姿勢平面圖。 圖24是表示包含複數個液滴噴出裝置的製造裝置的 構成例的槪略構成圖。 圖25(a)〜（c)是表示在液滴噴出裝置的處理途中之主 基板的姿勢變更的方法的槪略平面圖。 圖26(a)、（b)是表示在液滴噴出裝置的處理途中之主 基板的姿勢變更的其他方法的槪略平面圖。 圖27是表示本發明之彩色濾光片的製造裝置的液滴 噴出裝置的部份立體圖。 圖28是表示同上液滴噴出裝置的噴頭單元的平面 圖。 圖29是表示同上側面圖。 圖30是表不同上正面圖。 圖31是表示同上剖面圖。 -116- (112) (112)1221119 圖32是表示同上噴頭裝置的分解立體圖。 圖33是表示同上噴墨頭的分解立體圖。 圖34是表示同上噴墨頭噴出濾光元件材料乍説 明圖。 圖35是表示同上噴墨頭的濾光元件材料的噴出量的 説明圖。 圖36是表示同上噴墨頭的配置狀態的槪略匱I。 圖37是表示同上噴墨頭的配置狀態的部份擴大槪略 圖。 圖38是表示同上彩色濾光片的製造裝置所製造的彩 色濾光片的模式圖’圖（A)爲彩色濾光片的平面圖，圖（B) 爲圖（A)的X- X線剖面圖。 圖39是用以說明同上彩色濾光片的製造程序之製造 過程剖面圖。 圖40是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的部份電路圖。 圖41是表示同上顯示裝置的畫素領域的平面構造的 擴大平面圖。 圖42是表示同上顯示裝置的製造過程的前處理的程 序的製造過程剖面圖。 圖43是表示同上顯示裝置的製造過程的EL發光材 料的噴出程序的製造過程剖面圖。 圖44是表示同上顯示裝置的製造過程的EL發光材 料的噴出程序的製造過程剖面圖。 •117· (113) (113)1221119 圖45是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的畫素領域的平面構造擴大剖面圖。 圖46是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的畫素領域的構造擴大圖，圖（A)爲平面構 造，圖（B)爲圖（A)的B-B線剖面圖。 圖47是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的製造過程的製造過程剖面圖。 圖48是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的製造過程的製造過程剖面圖。 圖49是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的製造過程的製造過程剖面圖。 圖50是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的製造過程的製造過程剖面圖。 圖51是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的製造過程的製造過程剖面圖。 圖52是表示使用本發明之光電裝置的EL顯示元件 的顯示裝置的製造過程的製造過程剖面圖。 圖53是表不具備同上光電裝置的電器，亦即個人電 腦的立體圖。 圖54是表示具備同上光電裝置的電器，亦即攜帶電 話的立體圖。 圖55是表示配列複數個液滴噴出頭的液滴噴出單元 的平面圖。 圖56是表示使用液滴噴出單元的處理方法的説明 -118- (114) (114)1221119 圖。 圖57A是表示液滴噴出單元對基板12的姿勢説明 圖5 7B是表示液滴噴出單元對基板12的姿勢説明 圖。 圖58是表示配列複數個液滴噴出頭的液滴噴出單元 的平面圖。 圖59是表示配列複數個液滴噴出頭的液滴噴出單元 的平面圖。 圖60是表示主基板的圖案形成領域的配列形態説明 圖。 圖6 1是表示以往的彩色濾光片的製造方法的一例 圖。 圖62是表示以往的彩色濾光片的特性説明圖。 [元件符號說明] 1、 1 1 8 :彩色濾光片 2、 107a ' 107b :被噴出物之基板 3 :濾光元件 1 2 :主基板 1 3 :作爲液狀材料之濾光元件材料 16 ·‘液滴噴出裝置（彩色濾光片的製造裝置） 19、42 5:構成移動手段（噴頭掃描手段）的掃描驅動 裝置 -119- (115) (115)1221119 21、42 7:構成移動手段（噴頭傳送手段）的傳送驅動 裝置 2 5^液滴噴出頭的保持手段之拖架 27、466 :噴嘴 49 :被噴出物的保持手段之載物台 1 〇 1 :光電裝置之液晶裝置 102 :光電裝置之液晶面板 111a、111b:被噴出物之基材 114a、 114b：電極 201:光電裝置之EL裝置 202 :畫素電極 204 :透明基板 213 :對向電極 40 5R(4 05G、40 5B):作爲液滴噴出裝置之彩色濾光 片的製造裝置 421 :液滴噴出頭之噴墨頭 426 :作爲保持手段之拖架 501 :光電裝置之顯示裝置 5 02:作爲被噴出物之基板的顯示基板 54〇A、54〇B :作爲機能性液狀體之光學材料 L :液晶 Μ :濾光元件材料 -120-

Claims (1)

1. 修正 補充 _丨丨· __ I22rH4^—^ ^烟日 拾、申請專利範圍 第921 0201 6號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國93年5月11 曰修正 1 一種成膜方法，是屬於一種藉由液滴噴出手段來 對對象物的表面噴出液狀材料的液滴而成膜之成膜方法； 其特徵爲具有： 一邊使上述液滴噴出手段沿著上述表面的第1方向來 對上述對象物進行掃描，一邊依次噴出複數個上述液滴之 第1噴出階段；及 一邊使上述液滴噴出手段沿著與上述第1方向不同的 上述表面的第2方向來對上述對象物進行掃描，一邊依次 噴出複數個上述液滴之第2噴出階段。 2 ·如申請專利範圍第1項之成膜方法，其中在上述 第】掃描階段與上述第2掃描階段中，藉由使上述對象物 旋轉而彼此呈不同的姿勢來將上述第1方向與上述第2方 向設定於彼此交叉的方向。 3. 一種成膜裝置，是屬於一種具有：對對象物的表 面噴出液狀材料的液滴之液滴噴出手段，及沿著上述表面 來使上述對象物與上述液滴噴出手段相對的移動之移動手 段； 其特徵爲具有： 使上述液滴噴出手段能夠對上述對象物相對移動於沿 著上述表面的彼此不同的至少兩個方向，且於上述兩個方 1221119 向的任一移動中皆可依次噴出複數個上述液滴。 4 ·如申請專利範圍第3項之成膜裝置，其中具有： 藉由使上述對象物旋轉來將上述對象物設定成至少兩個的 姿勢之姿勢定位手段。 5 · —種液滴噴出裝置，是屬於一種供以對被噴出物 噴出液狀材料之液滴噴出裝置，其特徵爲具有： 供以噴出上述液狀材料之液滴噴出頭；及 在使該液滴噴出頭與被噴出物對向的狀態下，使相對 移動於沿著上述被噴出物的表面的方向之移動手段；及 供以定位上述被噴出物的平面姿勢之姿勢定位手段； 並且，上述姿勢定位手段可以不同的兩個以上的平面 姿勢來定位上述被噴出物。 6 .如申請專利範圍第5項之液滴噴出裝置，其中上 述姿勢定位手段具有觀察上述被噴出物的不同部位之複數 個觀測手段，可於上述不同的兩個以上的平面姿勢中使用 彼此不同的上述觀測手段。 7. 一種液滴噴出裝置，是屬於一種供以對被噴出物 噴出液狀材料之液滴噴出裝置，其特徵爲具有： 供以噴出上述液狀材料之液滴噴出頭；及 在使該液滴噴出頭與被噴出物對向的狀態下，使相對 移動於沿著上述被噴出物的表面的方向之移動手段；及 供以定位上述被噴出物的平面姿勢之姿勢定位手段； 並且，可將掃描方向（上述液滴噴出頭一邊對上述被 噴出物噴出上述液滴材料的液滴一邊移動的掃描方向）與 - 2- 1221119 藉由上述姿勢定位手段而定位的上述被噴出物的平面姿勢 設定成不同的兩個以上的位置關係。 8. 如申請專利範圍第7項之液滴噴出裝置，其中上 述姿勢定位手段具有觀察上述被噴出物的不同部位之複數 個觀測手段，可於上述不同的兩個以上的位置關係中使用 彼此不同的上述觀測手段。 9. 一種液滴噴出裝置，是屬於一種供以對被噴出物 噴出液狀材料而成膜之液滴噴出裝置，其特徵爲具有： 供以噴出上述液狀材料之液滴噴出頭；及 在使該液滴噴出頭與被噴出物對向的狀態下，使相對 移動於沿著上述被噴出物的表面的方向之移動手段；及 供以定位上述被噴出物的平面姿勢之姿勢定位手段； 並且，可將掃描方向（上述液滴噴出頭一邊對上述被 噴出物噴出上述液滴材料的液滴一邊移動的掃描方向）變 更於對上述被噴出物（在處理途中藉由上述姿勢定位手段 而定位的上述被噴出物）而言不同的方向。 1 0·如申請專利範圍第9項之液滴噴出裝置，其中上 述姿勢定位手段具有觀察上述被噴出物的不同部位之複數 個觀測手段，可於上述掃描方向的變更前後使用彼此不同 的上述觀測手段。 11·如申請專利範圍第1 〇項之液滴噴出裝置，其中 上述觀測手段可以觀測上述被噴出物的複數個部份。 12. 一種彩色濾光片的製造方法，是屬於一種具有對 被噴出物噴出液狀材料而形成濾光元件的噴出成膜過程之 1221119 彩色濾光片的製造方法； 其特徵爲具有： 沿著第1掃描方向來連續噴出上述液狀材料的液滴於 上述被噴出物上之第1噴出階段；及 沿著與上述第1掃描方向不同的第2掃描方向來連續 噴出上述液狀材料的液滴於上述被噴出物上之第2噴出階 段。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項之彩色濾光片的製造方 法，其中在上述第1噴出階段中，形成有對上述被噴出物 的第1領域呈現第1色相之第1上述濾光元件； 在上述第2噴出階段中，形成有對與上述被噴出物的 上述第1領域不同的第2領域呈現與第1色相不同的第2 色相之第2上述濾光元件。 1 4.如申請專利範圍第1 3項之彩色濾光片的製造方 法，其中形成呈現3色的色相之上述濾光元件，在不同的 噴出階段形成：呈現因上述液狀材料的液滴的掃描方向而 產生最大顏色不均勻的色相之上述濾光元件，及呈現其他 的2顏色的色相之上述濾光元件。 1 5 ·如申請專利範圍第1 2，1 3或1 4項之彩色濾光片 的製造方法，其中上述濾光元件是藉由複數個液滴而形 成，在上述第1噴出階段中，上述複數個液滴中的一部份 會被噴出，在上述第2噴出階段中，上述複數個液滴中的 剩餘部份會被噴出。 16. 一種具備彩色濾光片的顯示裝置，是屬於一種具 -4- 1221119 備具有對被噴出物噴出液狀材料而成膜的濾光元件的彩色 濾光片之顯示裝置； 其特徵爲： 上述彩色濾光片是藉由沿著不同的複數個掃描方向而 連續噴出的上述液狀材料的液滴來構成。 1 7 .如申請專利範圍第1 6項之具備彩色濾光片的顯 示裝置，其中上述彩色濾光片具有：藉由沿著彼此不同的 掃描方向而連續噴出的上述液狀材料的液滴來構成之呈現 不同色相的複數種類的濾光元件。 ]8 .如申請專利範圍第1 7項之具備彩色濾光片的顯 示裝置，其中具有呈現3色的色相之上述濾光元件，且呈 現因上述液狀材料的液滴的掃描方向而產生最大顏色不均 勻的色相之上述濾光元件，及呈現其他的2顏色的色相之 上述濾光元件會沿著不同的掃描方向而連續形成。 1 9.如申請專利範圍第1 6，] 7或1 8項之具備彩色濾 光片的顯示裝置，其中具有藉由沿著不同的上述掃描方向 而連續噴出的上述液狀材料的液滴的混合來形成的上述濾 光元件。 2 0 ·如申請專利範圍第1 6，1 7或1 8項之具備彩色濾 光片的顯示裝置，其中具有與上述彩色濾光片平面重疊的 液晶面板。 2 1 .如申請專利範圍第1 6，1 7或1 8項之具備彩色濾 光片的顯示裝置，其中具有與上述彩色濾光片平面重疊的 EL發光層。 -5- 1221119 22. 一種電子機器，其特徵是具有具備申請專利範圍 第1 6〜2 1項的其中任一項所記載的具備彩色濾光片之顯 示裝置。 2 3. —種顯示裝置的製造方法，是屬於一種具有對基 材噴出液狀材料而成膜的噴出成膜過程之顯示裝置的製造 方法； 其特徵爲具有： 沿著第1掃描方向而連續噴出上述液狀材料的液滴於 上述基材上之第1噴出階段；及 沿著與第1掃描方向不同的第2掃描方向而連續噴出 上述液狀材料的液滴於上述基材上之第2噴出階段。 24. 如申請專利範圍第23項之顯示裝置的製造方 法，其中藉由上述液狀材料的液滴而形成顯示點。 25. 如申請專利範圍第 24項之顯示裝置的製造方 法，其中上述顯示點是藉由複數個液滴而形成，在上述第 1噴出階段中，上述複數個液滴的其中一部份會被噴出， 在上述第2噴出階段中，上述複數個液滴的其中剩餘部份 會被噴出。 26. 一種顯示裝置，是屬於一種具備對被噴出物噴出 液狀材料而成膜的顯示點之顯示裝置； 其特徵爲： 上述顯示點是藉由沿著不同的複數個掃描方向而連續 噴出的上述液狀材料的液滴而構成。 27. 如申請專利範圍第26項之顯示裝置，其中具有 -6- 1221119 藉由沿著不同的上述掃描方向而連續噴出的上述液狀材料 的液滴的混合而形成的上述顯示點。 2 8 . —種電子機器，其特徵是具有申請專利範圍第2 6 或2 7項所記載的顯示裝置。