TW201511837A - 流延裝置、溶液製膜設備及方法 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種抑制高速製造15μm以上且80μm以下的薄膜時的厚度不均故障的產生的流延裝置、溶液製膜設備及溶液製膜方法。從模具25中將濃液30流延到架設在一對轉筒21、轉筒22上的帶23，在與帶23之間形成液珠31。液珠31在帶23上流延而成為流延膜32。相對於模具25而在帶行進方向上游側設置遮風塊41。遮風塊41面向帶23而具有伴生風導引面42。使伴生風導引面42的出口位於模具25的側面。藉由將因帶23的高速行進所產生的伴生風43的一部分劃分至模具25側，可以相應地減少使液珠31產生振動或空氣捲入的伴生風43，可以消除流延膜32的厚度不均。

Description

流延裝置、溶液製膜設備及方法

本發明是有關於一種流延裝置、溶液製膜設備及方法。

聚合物膜(polymer film，以下稱為膜)由於具有優異的光透射性或柔軟性及能實現輕量薄膜化等特長，因此被多方面用作光學功能性膜。其中，使用醯化纖維素(cellulose acylate)等的纖維素酯(cellulose ester)系膜由於具有強韌性或低雙折射率，因此被用於以照相感光用膜為代表、作為近年來市場不斷擴大的液晶顯示裝置的構成元件的偏光板的保護膜或光學補償膜等。

主要的膜製造方法有溶液製膜方法及熔融擠出方法。溶液製膜方法中，將含有聚合物及溶劑的聚合物溶液(以下稱為濃液)以液珠(bead)的方式流動到支撐體上。液珠在支撐體上成為流延膜。流延膜變得具有自支撐性後，將其從支撐體上剝下而製成濕潤膜。然後，使該濕潤膜乾燥而製成膜。與利用擠出機將經熔融的聚合物擠出而製成膜的熔融擠出方法相比較，溶液製膜方法可以獲得光學各向同性或厚度均勻性更優異、且含有異物更 少的膜，因此光學功能性膜主要是藉由溶液製膜方法來製造。

關於溶液製膜方法的生產速度，一般認為由濃液來形成流延膜的流延步驟中限速。因此，為了提高溶液製膜的生產性，流延步驟的高速化成為課題。為了高速地進行流延步驟，例如提高支撐體的行進速度。但是，在行進的支撐體的表面附近，會產生伴隨著支撐體的行進而與支撐體一起朝行進方向流動的風(以下稱為伴生風)。若該伴生風觸碰液珠，則液珠振動。該液珠的振動會產生膜寬度方向上的膜的厚度不均故障。此種由伴生風所引起的厚度不均故障因支撐體的行進速度變高而變明顯。因此，如專利文獻1中所公開，相對於液珠而在支撐體行進方向上游側接近液珠配置遮風物，防止伴生風進入液珠。

另外，如專利文獻2中所公開，相對於液珠而在支撐體行進方向上游側接近液珠配置減壓室，藉由負壓來抽吸伴生風，抑制由伴生風所致的液珠的振動。

[現有技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2004-114328號公報

[專利文獻2]日本專利特開2010-158834號公報

此外，近年來伴隨著平板顯示器(flat panel display)的 大型化或輕量化，所製造的膜也正在朝薄化推進。為了高效地製造薄膜，除了在製膜後的延伸步驟中藉由延伸來使膜形成得薄的方法以外，可列舉在液珠階段中使厚度變薄的方法，關於液珠的薄化也正在進行改良。

但是，在流延階段中使液珠變薄而進行流延的情況，在迄今為止的液珠厚度不成問題的情況下，若液珠變薄，則也容易相應地受到伴生風的影響。關於使該液珠變薄的方法，有以下情況：不像習知那樣改變模具(die)的噴出口的液珠厚度，而是提高支撐體的移動速度，由此使液珠即將接觸支撐體之前的厚度變薄的情況；或使模具的噴出口的液珠厚度比習知更薄的情況。

例如，在如專利文獻1般接近支撐體配置遮風物並利用遮風物來阻斷伴隨著支撐體的移動的伴生風的情況下，若使液珠變薄來進行流延，則在寬度方向上長距離地出現厚度不均。該厚度不均在支撐體進給方向上變化，成為在進給方向上以波形變化的表面性狀故障而呈現，因此要求改善。

另外，在如專利文獻2般使用減壓室的情況下，伴隨著液珠的薄化，該液珠容易因由負壓所產生的空氣壓振動而振動。由此表現出在進給方向上以波形變化的表面性狀故障，因此要求改善。另外，因液珠的振動而容易產生空氣捲入。若於支撐體與液珠之間捲入空氣，則空氣進入在支撐體上流延液珠而形成的流延膜與支撐體之間。該空氣捲入有時也會發展成流延膜的破裂。該情況下要停止流延，在開始流延之前需要極大的時間與勞力。 因此，有也欲抑制空氣捲入的要求。

本發明的目的在於提供一種流延裝置、溶液製膜設備及方法，在對薄膜進行溶液製膜時，能進行高速流延而提高生產性，而且可以抑制表面性狀劣化或由空氣捲入所致的流延停止等的發生。

為了達成所述目的，本發明具有模具、遮風元件及伴生風導引面。模具從噴出口中向行進的支撐體噴出濃液，在與支撐體之間形成液珠。液珠在支撐體的表面上成為流延膜。遮風元件是在較液珠更靠支撐體的行進方向上游側設置在流延膜的寬度方向上。該遮風元件是以與支撐體的表面接近的方式配置，遮蔽針對液珠的由支撐體所致的伴生風。伴生風導引面是形成在與支撐體的表面接近的部分，將伴生風引向模具。

此外，伴生風導引面較佳的是將伴生風從接近表面的位置引向模具的向下凸出的彎曲面。彎曲面較佳的是具有表面平滑的多孔質層，從多孔質層中抽吸伴生風。另外，彎曲面較佳的是具有在流延膜的寬度方向上延伸的槽，從槽中抽吸伴生風。

較佳的是伴生風導引面的支撐體行進方向下流側連接於距噴出口2mm以上的模具，且沿著伴生風導引面被送來的伴生風是藉由抽吸通道而被抽吸。另外，較佳的是遮風元件與支撐體表面的距離為0.1mm以上、3mm以下，且伴生風導引面的行進方向的長度為10mm以上、40mm以下。

本發明的溶液製膜設備具備所述流延裝置、從支撐體上剝下流延膜的剝取元件、及將剝下的流延膜加以乾燥的乾燥裝置。另外，本發明的溶液製膜方法包括使用所述流延裝置在支撐體上形成流延膜的步驟、及從支撐體上剝下流延膜並加以乾燥的步驟。

根據本發明，可以抑制厚度不均故障的產生並且高效地製造薄膜。

10‧‧‧溶液製膜設備

11‧‧‧流延裝置

12‧‧‧第1拉幅機

13‧‧‧乾燥裝置

14‧‧‧第2拉幅機

15‧‧‧縱切機

16‧‧‧卷取裝置

21、22‧‧‧轉筒

23、101‧‧‧帶

24‧‧‧導輥

25‧‧‧模具

25A‧‧‧噴出口

25B‧‧‧側面

26A、26B、26C‧‧‧管道(膜乾燥機)

28‧‧‧剝取輥

30‧‧‧濃液

31、105‧‧‧液珠

32、106‧‧‧流延膜

33‧‧‧膜

33A‧‧‧卷狀膜

34、35‧‧‧夾具

36、37‧‧‧管道

38‧‧‧輥

41、53、62、72、102‧‧‧遮風塊

41A‧‧‧上側斜面

42、55、60、73‧‧‧伴生風導引面

42A‧‧‧入口端

42B‧‧‧出口端

43、104‧‧‧伴生風

43A、104A‧‧‧下層部分

43B‧‧‧上層部分

45‧‧‧間隔件

46、52‧‧‧抽吸通道

51‧‧‧多孔質層

54‧‧‧負壓源

61‧‧‧抽吸槽

61A‧‧‧抽吸口

71‧‧‧入口導引部

74‧‧‧上層伴生風導引面

75‧‧‧抽吸通道面

103、G、G1、G2‧‧‧間隙

107‧‧‧旋渦

A、B‧‧‧箭頭

L1‧‧‧長度

L2‧‧‧距離

圖1為表示本實施形態的溶液製膜設備的概要的側面圖。

圖2為表示流延裝置的概要的立體圖。

圖3為表示第1實施形態的模具與遮風塊與帶(band)之間的伴生風的流動的截面圖。

圖4為表示第2實施形態的遮風塊的多孔質層及抽吸通道的截面圖。

圖5為表示多孔質層中的伴生風的流動的截面圖。

圖6為表示多孔質層的遮風塊的背面圖。

圖7為表示第3實施形態的遮風塊的抽吸槽的截面圖。

圖8為表示第3實施形態的遮風塊的抽吸槽的背面圖。

圖9為表示具有入口導引部的第4實施形態的遮風塊的截面 圖。

圖10為表示習知的遮風塊中的伴生風的流動的截面圖。

如圖1所示，溶液製膜設備10具備流延裝置11、第1拉幅機12、乾燥裝置13、第2拉幅機14、縱切機(slitter)15及卷取裝置16，這些元件是從上游側起依次串列連接。

流延裝置11具備轉筒21、轉筒22、架設在這些轉筒21及轉筒22上的環形(endless)的帶(支撐體)23、導輥24、模具25、管道(膜乾燥機)26A、管道(膜乾燥機)26B、管道(膜乾燥機)26C及剝取輥28。帶23作為形成為環狀的金屬制流延支撐體而發揮功能，架設在第1轉筒21及第2轉筒22的周面上。第1轉筒21是由馬達(省略圖示)旋轉驅動，由此帶23在箭頭A所示的第1方向上行進。導輥24從背面側支撐上側的帶23。

如圖2所示，在第1轉筒21的上方配置有模具25。模具25將濃液30製成液珠31並從噴出口25A(參照圖3)中連續地流到正在行進的帶23的表面上。由此，在帶23上形成流延膜32。在模具25中，形成有以越朝向行進方向上游側越遠離帶23的方式傾斜的側面25B。側面25B是形成在較噴出口25A更靠行進方向上游側。濃液30例如是將醯化纖維素溶解在溶劑中而成，由未圖示的濃液製造線(line)所製造，供給於模具25。

如圖1所示，為了提高製造速度，朝向剝取輥28的流延 膜32是由第2轉筒22及帶23加熱。另外，在流延位置處，利用第1轉筒21將帶23冷卻以使帶23不過度升溫。因此，各轉筒21、轉筒22具有未圖示的溫度調節裝置。

管道26A、管道26B、管道26C是沿著帶23的行進路線而排列配置有多個，吹出乾燥風。溫風控制器獨立地控制乾燥風的溫度、濕度及流量。藉由乾燥風的溫度及流量的控制以及轉筒21、轉筒22自身的溫度調節裝置的溫度控制，來調節流延膜32的溫度，溶劑從流延膜32中蒸發，從而進行流延膜32的乾燥。而且，將流延膜32固化到可以在第1拉幅機12中進行搬送的程度為止。

相對於模具25而在行進方向上游側，在第1轉筒21的周面附近配置有剝取輥28。剝取輥28在將含有溶劑的狀態的且進行了乾燥的流延膜32從帶23上剝下時，支撐流延膜32。經剝取的流延膜32作為膜33而被引導到第1拉幅機12中。在本實施形態中，剝取輥28作為從帶23上剝下流延膜32的剝取元件而發揮功能。

在第1拉幅機12中，利用夾具(clip)34來握持膜33的兩側邊緣部，從管道36中送出乾燥風，由此一面搬送膜33，一面對膜33在寬度方向上賦予張力，擴大膜33的寬度。

在乾燥裝置13中，將膜33繞掛在多個輥38上並加以搬送。關於乾燥裝置13內部的環境，藉由未圖示的調溫機來調節溫度或濕度等，在搬送膜33的期間中，溶劑從膜33中蒸發。

第2拉幅機14具有夾具35及管道37，且是與第1拉幅機12同樣地構成。第2拉幅機14利用夾具35來保持膜33並加以延伸。藉由該延伸而成為具有所需光學特性的膜33。此外，根據膜33的光學特性，也可省略第2拉幅機14。

縱切機15將膜33的側部切除。具體來說，縱切機15將包含第1拉幅機12或第2拉幅機14的各夾具34、夾具35握持的痕跡的側部切除。利用卷取裝置16將側部經切除的膜33卷取成卷狀。如此而獲得的卷狀膜33A尤其可以用於相位差膜或偏光板保護膜。

相對於來自模具25的液珠31，在帶23的行進方向的上游配置有遮風塊(遮風元件)41。如圖2所示，遮風塊41是以接近液珠31並在流延膜32的寬度方向上延伸的方式配置。所謂「接近」表示以下狀態：以不對動作造成實用上的障礙的程度相互靠近，並且形成空氣在彼此間通過的程度的間隙。本實施形態中，在較噴出口25A更靠行進方向上游側，將遮風塊41設置在模具25上。在較噴出口25A更靠行進方向上游側，將遮風塊41配置在模具25附近。遮風塊41是隔著間隔件(spacer)45而安裝在模具25上。更具體來說，遮風塊41是以該遮風塊41的上側斜面41A與模具25的側面25B平行的方式配置，隔著配置在所述上側斜面41A及側面25B之間的間隔件45而連接於模具25。遮風塊41在箭頭B所示的帶23的寬度方向上的長度為與模具25相同的長度，與模具25在寬度方向上相對向。另外，遮風塊41具有與 帶23相對向的伴生風導引面42。伴生風導引面42是以與帶23的表面接近的方式配置。以下，有時將箭頭B所示的方向稱為「B方向」。

在模具25與遮風塊41之間，在B方向上遠離而設置有間隔件45，在模具25的側面25B與遮風塊41的上側斜面41A之間形成抽吸通道46。帶23高速行進，因此伴同空氣而產生伴生風43。遮風塊41遮擋朝向液珠31的伴生風43。具體來說，遮風塊41在液珠31的上游側遮擋伴生風43，以使該伴生風43不接觸液珠3l。

以遮風塊41不接觸行進的帶23的方式在兩者之間設置有間隙G。因此，未經遮風塊41完全遮擋的伴生風43的下層部分43A通過該間隙G。

如圖10所示，在習知的帶101的行進速度為30m/min左右的情況下，在遮風塊102與帶101的表面之間的間隙103中通過的伴生風104對液珠105的影響少，不會發展成流延膜106的厚度不均等表面性狀故障。伴隨著薄膜化的要求，若將帶101的行進速度設定為如50m/min以上、100m/min以下的高速，則伴隨著該高速化而液珠105也變薄，容易受到伴生風104的影響。另外，習知雖然利用遮風塊102來遮擋伴生風104，但通過間隙103的伴生風104的下層部分104A在通過遮風塊102後捲成旋渦107。本發明者已藉由實驗確認到該旋渦107的產生或由該旋渦107對液珠105賦予的振動等。

因此，如圖3所示，在第1實施形態中，以使遮風塊41的伴生風導引面42隨著朝向液珠31而逐漸遠離帶23的方式，逐漸增大伴生風導引面42與帶23的表面的間隙G。另外，將伴生風導引面42設定為向下凸出的彎曲面(朝向帶23側凸起的彎曲面)，以使伴生風43沿著伴生風導引面42而順暢地流動。伴生風導引面42具有朝向帶23側突出的彎曲面。進而，使伴生風導引面42的出口端42B位於模具25的側面25B。具體來說，對於伴生風導引面42，在沿著該伴生風導引面42的彎曲面朝向模具25將面延長的情況下，以該面與模具25的側面25B相交的方式構成。因此，使伴生風43的下層部分43A沿著伴生風導引面42移動，並引向模具25的側面25B，由此可以相應地減少朝向液珠31的伴生風43，液珠31變穩定，不產生空氣捲入。雖然將伴生風導引面42設定為向下凸出的彎曲面，但其也可為平坦面。此外，在圖3中，為了避免圖式複雜而省略了模具25與遮風塊41的影線(hatching)。

在遮風塊41的入口端42A，藉由遮風塊41來遮擋伴生風43的上層部分43B。另外，沿著伴生風導引面42流動的伴生風的下層部分43A的一部分不接觸液珠31而接觸模具25的側面25B。藉由抽吸通道46將接觸模具25的側面25B的伴生風43送到模具25的上部。另外，對於不沿著伴生風導引面42而與帶23一起流動的伴生風43來說，在伴生風導引面42上流動的伴生風43相應地變少，從而可以抑制液珠31的振動或空氣捲入。

對於伴生風導引面42來說，與帶23的入口側(帶23的行進方向上游側)的間隙G1(入口端42A與帶23的距離)為0.1mm以上、3mm以下，較佳為0.5mm以上、2mm以下。0.1mm以上的情況下，即便存在溫度變化或帶23上的異物等的影響，伴生風導引面42也不易與帶23接觸，因而較佳。另外，若為3mm以下，則容易阻斷伴生風43，容易獲得遮風的效果。另外，出口側(帶23的行進方向下流側)的間隙G2(出口端42B與帶23的距離)為3mm以上、20mm以下，較佳為5mm以上、10mm以下。3mm以上的情況下，經引導的伴生風43容易遠離液珠31，容易獲得表面性狀改良效果。另外，20mm以下的情況下，容易抑制被引導的伴生風43中途散亂的情況，容易獲得表面性狀改良效果。

伴生風導引面42的A方向上的長度L1為10mm以上、40mm以下，較佳為20mm以上、30mm以下。10mm以上的情況下，經引導的伴生風43容易遠離液珠31，容易獲得表面性狀改良效果。另外，若為40mm以下，則容易抑制經引導的伴生風43中途散亂的情況，容易引導伴生風43，容易獲得表面性狀改良效果。另外，伴生風導引面42的出口端42B距模具25的噴出口25A的距離L2為2mm以上，較佳為3mm以上，更佳為5mm以上。2mm以上的情況下，經引導的伴生風43不易接觸液珠31，容易獲得表面性狀改良效果。

如圖4~圖6所示，在第2實施形態中，對第1實施形態 的遮風塊41在其伴生風導引面55上設置多孔質層51及抽吸通道52，形成遮風塊53。此外，關於與第1實施形態相同的組件，標註相同符號而省略重複說明。如圖6所示，多孔質層51是在B方向上較長地形成。該多孔質層51的表面是平滑地形成。這裏所謂平滑，是指算術表面粗糙度Ra為30μm以下。藉由將Ra設定為30μm以下，可以將伴生風引向模具25而不將其擾亂。

抽吸通道52是形成在多孔質層51的背面(內面)上。抽吸通道52連接於設置在遮風塊53外的負壓源54。因此，伴生風43在通過多孔質層51時被抽吸。由此，伴生風43的大部分被引導至伴生風導引面55側，所以可以相應地減少接觸液珠31的伴生風43。

如圖7及圖8所示，在第3實施形態中，在伴生風導引面60上沿著B方向形成抽吸槽61來代替多孔質層51，構成遮風塊62。抽吸槽61的截面為圓形，且在下端具有抽吸口61A。該抽吸槽61是在A方向上排列多個、例如3個。抽吸槽61的B方向的兩端連接於負壓源54。因此，利用抽吸槽61來抽吸通過間隙G的伴生風43，並從遮風塊62的兩側排出。

如圖9所示，在第4實施形態中，在第1實施形態的遮風塊41的入口側設置入口導引部71，構成遮風塊72，基本構成與第1實施形態的遮風塊41相同。遮風塊72成為朝向行進方向上游側突出的形狀，在相對於帶23的行進方向的最上游側形成有入口導引部71。為了將伴生風43高效地分離成下層部分43A與 上層部分43B，入口導引部71成為銳角。該入口導引部71具有從傾斜上方起與下層伴生風導引面73以銳角接觸的上層伴生風導引面74。因此，遮風塊72在縱截面中，因下層伴生風導引面73、上層伴生風導引面74及抽吸通道面75而呈大致三角形狀。此外，在下層伴生風導引面73上，也可形成如第2實施形態般的多孔質層51或如第3實施形態般的抽吸槽61。

在所述各實施形態中，抽吸通道46、抽吸通道52、抽吸槽61的抽吸壓力BP為-0.5Pa以上、-100Pa以下，較佳為-1Pa以上、-50Pa以下。-0.5Pa以上的情況下，容易充分引導伴生風。另外，-100Pa以下的情況下，不易產生由負壓的影響所致的液珠自身的變形，因此表面性狀變良好。

所述各實施形態中，相對於模具25而在行進方向上游側設置有遮風塊41、遮風塊53、遮風塊62、遮風塊72，也可以在這些遮風塊41、遮風塊53、遮風塊62、遮風塊72的上游側進一步設置減壓室。減壓室抽吸液珠31的上游側區域的空氣而將該區域內減壓，使液珠31的振動減少。

在第2實施形態中，在伴生風導引面42的入口端側形成有多孔質層51，也可以遍及伴生風導引面42的整個面而形成多孔質層51。

在溶液製膜設備10中，作為產品的膜33的寬度較佳為600mm以上，更佳為1400mm以上、2500mm以下。此外，膜33的寬度大於2500mm的情況下也有效。另外，膜33的膜厚較 佳為15μm以上、80μm以下，特佳為15μm以上、60μm以下，進而較佳為15μm以上、40μm以下。成為膜33的原料的聚合物並無特別限定，例如有醯化纖維素或環狀聚烯烴等。

本發明的醯化纖維素中所用的醯基可僅為一種，或者也可以使用兩種以上的醯基。在使用兩種以上的醯基時，較佳的是其中之一為乙醯基。較佳的是以羧酸將纖維素的羥基酯化的比例、即醯基的取代度滿足下述式(I)~式(III)全部。此外，以下的式(I)~式(III)中，A及B表示醯基的取代度，A表示乙醯基的取代度，另外B表示碳原子數3~22的醯基的取代度。另外，較佳的是三乙醯基纖維素(Triacetyl cellulose，TAC)的90重量%以上為0.1mm~4mm的粒子。

(I)2.0≦A+B≦3.0

(II)1.0≦A≦3.0

(III)0≦B≦2.9

醯基的總取代度A+B較佳為2.20以上、2.90以下，特佳為2.40以上、2.88以下。另外，碳原子數3~22的醯基的取代度B更佳為0.30以上，特佳為0.5以上。

關於醯化纖維素的詳細情況，是記載於日本專利特開2005-104148號的[0140]段落~[0195]段落中。這些記載也可以應用到本發明中。另外，關於溶劑及塑化劑、防劣化劑、紫外線吸收劑(UV劑)、光學各向異性控制劑、延遲控制劑、染料、消光劑、剝離劑、剝離促進劑等添加劑，也同樣詳細記載在日本專利 特開2005-104148號的[0196]段落~[0516]段落中。

[實施例]

為了確認各遮風塊41、遮風塊53、遮風塊62、遮風塊72的效果，進行實驗。實施例1中，如圖3所示，使用具有伴生風導引面42的遮風塊41來實現液珠31的穩定，利用圖1所示的溶液製膜設備10在帶23上形成流延膜32後，將該流延膜32剝下而製成膜33，經過第1拉幅機12、乾燥裝置13、第2拉幅機14，製造膜33，將膜33卷取成卷狀。實施例2中，如圖4~圖6所示，使用在伴生風導引面42上具有多孔質層51的遮風塊53，除此以外，在與實施例1相同的條件下製造膜33。實施例3中，如圖7、圖8所示，使用在伴生風導引面60上具有抽吸槽61的遮風塊62，除此以外，在與實施例1相同的條件下製造膜33。實施例4中，如圖9所示，使用具有入口導引部71的遮風塊72，除此以外，在與實施例1相同的條件下製造膜33。

比較例1中除了使用圖10所示的習知的遮風塊102以外，在與實施例1相同的條件下製造膜33。比較例2中除了從實施例1中去掉遮風塊以外，在與實施例1相同的條件下製造膜33。

實施例1~實施例4中，厚度不均為0.2μm，可流延極限速度為80m/min。相對於此，比較例1中厚度不均為0.4μm，可流延極限速度為40m/min。另外，比較例2中厚度不均為0.8μm，可流延極限速度為40m/min。根據以上結果得知，厚度不均得到改善，且可流延極限速度變高。

此外，厚度不均是設定為乾燥狀態的膜的流延方向厚度變動的最大值與最小值之差，使用接觸式或非接觸式的膜厚計來測定厚度變動，根據厚度變動求出厚度不均。可流延極限是根據是否產生空氣捲入來決定。空氣捲入的發生是藉由以下方式來判斷：目測確認液珠的著落點附近，在著落點處是否有氣泡進入液珠與帶之間。

23‧‧‧帶

25‧‧‧模具

25A‧‧‧噴出口

25B‧‧‧側面

30‧‧‧濃液

31‧‧‧液珠

32‧‧‧流延膜

41‧‧‧遮風塊

41A‧‧‧上側斜面

42‧‧‧伴生風導引面

42A‧‧‧入口端

42B‧‧‧出口端

43‧‧‧伴生風

43A‧‧‧下層部分

45‧‧‧間隔件

46‧‧‧抽吸通道

A‧‧‧箭頭

G、G1、G2‧‧‧間隙

L1‧‧‧長度

L2‧‧‧距離

Claims (8)

1. 一種流延裝置，包括：模具，從噴出口向行進的支撐體噴出濃液，一面在所述模具與所述支撐體之間形成液珠，一面在所述支撐體的表面上形成流延膜；遮風元件，在較所述液珠更靠所述支撐體的行進方向上游側設置在所述流延膜的寬度方向上，且以與所述支撐體的表面接近的方式配置，遮擋由所述支撐體所致的對所述液珠的伴生風；以及伴生風導引面，形成在與所述遮風元件的與所述支撐體的表面接近的部分，將所述伴生風引向所述模具。
2. 如申請專利範圍第1項所述的流延裝置，其中所述伴生風導引面為從與所述支撐體的接近表面的位置向所述模具引導所述伴生風、且朝向所述支撐體凸出的彎曲面。
3. 如申請專利範圍第2項所述的流延裝置，其中所述彎曲面具有表面平滑的多孔質層，從所述多孔質層中抽吸所述伴生風。
4. 如申請專利範圍第2項所述的流延裝置，其中所述彎曲面具有在所述流延膜的寬度方向上延伸的槽，從所述槽中抽吸所述伴生風。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的流延裝置，其中所述伴生風導引面的所述支撐體行進方向下流側連接於距所述噴出口2mm以上的所述模具，且沿著所述伴生風導引面而 送來的所述伴生風是由在所述模具與所述遮風元件之間形成的抽吸通道所抽吸。
6. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的流延裝置，其中所述遮風元件與所述支撐體的表面的距離為0.1mm以上、3mm以下，所述伴生風導引面的所述行進方向上的長度為10mm以上、40mm以下。
7. 一種溶液製膜設備，包括：如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的流延裝置；將所述流延膜從所述支撐體上剝下的剝取元件；以及將從所述支撐體上剝下的所述流延膜乾燥的乾燥裝置。
8. 一種溶液製膜方法，包括以下步驟：使用如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的流延裝置，在所述支撐體上形成所述流延膜的步驟；將所述流延膜從所述支撐體上剝下的步驟；以及將從所述支撐體上剝下的所述流延膜乾燥的步驟。