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TW201203830A - Micro electric generator, method of providing the same, and electric generating device - Google Patents

Micro electric generator, method of providing the same, and electric generating device Download PDF

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TW201203830A
TW201203830A TW099123096A TW99123096A TW201203830A TW 201203830 A TW201203830 A TW 201203830A TW 099123096 A TW099123096 A TW 099123096A TW 99123096 A TW99123096 A TW 99123096A TW 201203830 A TW201203830 A TW 201203830A
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Wen-Kuang Hsu
Hsin-Fu Kuo
Chia-Jung Hu
Yu-Hsien Lin
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Nat Univ Tsing Hua
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    • H10N30/30Piezoelectric or electrostrictive devices with mechanical input and electrical output, e.g. functioning as generators or sensors
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10N30/07Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
    • H10N30/074Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
    • H10N30/076Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by vapour phase deposition
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Description

201203830 六、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種微型發電器、其製備方法、以及一 種發電元件’尤指-種包含並利用壓電材料產生電能之微 型發電器、其製備方法、以及發電元件。 【先前技術】 壓電效應是材料中一種機械能與電能互換的現象,而 £電材料會有壓電效應是因為晶格内原子間特珠排列方 式,使得材料有應力場與電場耦合的效應。壓電材料之應 用範圍非常廣;乏,例如:生化醫療用途、風力或潮沙發電 裝置、無線感應益、個人化電子產品等。目前常見之壓電 材料包含有陶瓷類的鈦酸鋇(BaTi〇3, Βτ)、鈦酸鉛锆 (Pb(Zr〇 53Ti0.47)03, PZT)、單晶類的石英(Quartz)、電氣石、 羅德鹽、钽酸鹽、鈮酸鹽、氮化鋁(A1N)、氮化鎵(GaN)等, 或是氧化鋅(ZnO)。 微型發電器係利用壓電材料的性質,蒐集環境中的力 學能(如,震動、扭動、擠壓等等),並將此力學能轉換 成電能’而提供發電效果。 習知之微型發電器之結構通常為平面狀結構,例如, 上下二個平面電極之間爽置有一層層狀壓電材料層,而構 成一壓電性微型發電器。 例如,U S 3 9 7 6 8 9 8中揭露有一種壓電發電裝置,其係 包含有電極-壓電層-電極之三明治結構,藉由機械性的施力 而產生電能,來構成其壓電發電裝置。CN1〇l 575〇82A中揭 201203830 露有-種風致動發電機,其係包括有炎置於電極層之間之 s電層的多層結構,使風振動引起廢電層形變而產生電力。 ,如圖1所示,其m壓電發電裝置ίο之示意圖,該 [電發電裝置1G包括有電極層η以及夾置於電極層η之間 之塵電材料層12。當下壓施力13於該電極層12之表面時, 夾置於電極層11之間之壓電材料層12可將力學能轉換成電 能’而達到發電效果。 然而,此種「電極_層狀壓電材料電極」所構成之多 層結構之發電器通常發電效率不佳(電流密度低),且製作成 本-k问’商業利用性較低。因此,本領域亟需發展出一種 ,有極佳發電效率(具有高電流密度),且製作成本低廉,具 尚商業利用性之微型發電器。 【發明内容】 本發明提供了一種具有新穎結構之微型發電器,其利 用了壓電材料的性質,蒐集環境中的力學能(如,震動、 扭動擠壓等等),並將此力學能轉換成電能,而提供發 電效果》 本發明之微型發電器係包括:至少—導電纖維;以及 至少一壓電陶瓷層,係覆蓋於該至少一導電纖維之表面, 其中,.當施力於該表面覆有壓電陶瓷層之導電纖維並使其 產生形變時,係產生電能而達到發電效果。 本發明之微型發電器由於可使用便宜之導電纖維原料 進行製造,因此製作成本低,且由於本發明之微型發電器 之製備步驟簡單,因此容易大量生產。此外’本發明之微 201203830 可傳導較高的電流密度,是 極-層狀壓電材料·電極 電 法達成的。再者,太“成之夕層結構之發電器)所無 (gp , * * a之形狀為纖維狀之微型發電器 匕=壓電層之纖維),可應用範圍相較於習知層狀 進行織,例如’可將本發明之纖維狀微型發電器 »成為具有發電性質之織布或是視各種使用情形 ==,成為各種型態之發電裝置。因此,本發明之 “之應用範圍相較於習知層狀發電器更廣泛許 多0 、 本發明之微型發電器中,該導電纖維較佳係碳纖維、 導電聚酯纖維、或不鏽鋼纖維、銅線、銀線等一般金屬線, 更佳為碳纖維。碳纖維為容易取得之材料,因此可降低本 电月之微型發電器的生產成本。並且’由於碳纖維導電性 佳,相較於導電聚酯纖維可承受更高的電流密度,提升微 型發電器之發電效率。此外,碳纖維相較於金屬線更具韌 性佳之優點。 本發明之微型發電器中,所包含之導電纖維之數目較 佳係為1以上,且該每一導電纖維之表面較佳皆覆蓋有一壓 電陶瓷層。本發明之微型發電器中,導電纖維之數目越多, 微型發電器整體可輸出之電流越大。 本發明之微型發電器中,該導電纖維之直徑較佳可為 m至 1〇〇以 rn。 本發明之微型發電器中,該壓電陶瓷層之材料較佳可 選自由:鈦酸鋇(BaTi03, BT)、鈦酸鉛鍅(Pb(Zr〇.53TiQ,47)〇3, 201203830 ΡΖΤ)、石英(Quartz)、電氣石、羅德鹽、钽酸鹽、鈮酸鹽、 氮化鋁(A1N)、氮化鎵(GaN)、及氧化辞(Zn〇)所組成之群 組,更佳可為氧化鋅(Zn〇)。 本發明之微型發電器中’該壓電陶瓷層之厚度較佳可 為0.5A至1500A之間。 本發明更提供一種微型發電器之製備方法,包括步 驟.(A)提供至少—導電纖維;以及(B)形成—塵電陶究層於
該至少一導電纖維之表面,其中,當施力於該表面覆有壓 電陶究層之導電纖維並使其產生形變時,係'產生電能而達 到發電效果。 本發明之微型發電器之製備方法由於使用了便宜之導 電纖維原料進行製造’因此生產成本低。且由於步驟簡單, 大量生產。此外,利用本發明之方法所製得之微 的::可傳導較高的電流密度’是習知技術所無法達成 之方法所製得之微型發電器的形狀為纖 :大因此可應用範圍相較於習知層狀發 例如,可將本發明 η < 織造成Ait 1 /所衣仵之纖維狀微型發電器進行 織w成為具有發電性質之 行調整,成為各種型態之發電裝置^視各種使用情形而進 传碳:Γί:型發電器之製備方法中,該導電纖維較佳 -俨金屬魂纖維、或不鏽鋼纖維、銅線、銀線等 奴金屬線,更佳為砝祕 取冰寻 因此可降低本發明之汽型發雷碳纖維為容易取得之材料, 碳纖維導電性佳,相較生產成本。並且,由於 '電聚s曰纖維可承受更高的電流 201203830 饮度,提升微型發電器之電效率。此外,碳纖維相較於金 屬線更具韌性佳之優點。 本發明之微型發電器之製備方法中,該導電纖維之直 徑較佳可為0.5// m至lOOy m。 本發明之微型發電器之製備方法中,該步驟(B)中之壓 電陶瓷層較佳可經由使用原子層沉積法(at〇mic layer deposition)、溶膠凝膠法(Sd gei)、化學氣相沈積法(CVD) 形成於該至少一導電纖維之表面,更佳係使用原子層沉積 法。 本發明之微型發電器之製備方法中,該壓電陶曼層之 材料較佳可選自由:鈦酸鋇(BaTi〇3, Βτ)、鈦酸鉛锆 (Pb(Zr0 53Ti〇 47)〇3, PZT)、石英(Quartz)、電氣石、羅德鹽、 钽酸鹽、鈮酸鹽、氮化鋁(A1N)、氮化鎵(GaN)、及氧化鋅(Zn〇) 所組成之群組’更佳可為氧化鋅(Zn〇)。 本發明又提供一種發電元件,其包括:至少一導電纖 維;至少一壓電陶瓷層,係覆蓋於該至少一導電纖維之表 面;至少一電極,係連接至該覆有壓電陶瓷層之導電纖維 的兩端;以及一基板,係用以固定該電極以及該些表面覆 有壓電陶瓷層之導電纖維;其中,當施力於該發電元件^ 使其產生形變時,係產生電能而達到發電效果。 本發明之發電元件由於使用了便宜之導電纖維原料, 因此生產成本低。且由於本發明之發電元件之製備步驟趵 單,故有利於大量生產。此外,利用本發明之方法所製^ 201203830 ·: 之發電元件可傳導較高的電流密度,是習知技術所無法達 - 成的。 本發明之發電元件中,該壓電陶瓷層之材料較佳可選 自由.鈦酸鋇(BaTi03,BT)、鈦酸鉛锆(pb(Zr0.53Ti0 47)〇3, pzt)石英(Quartz)、電氣石羅德鹽、组酸鹽、銳酸鹽、 氮化鋁(A1N)、氮化鎵(GaN)、及氧化鋅(Zn〇)所組成之群 組’更佳可為氧化鋅(Zn〇)。 本發明之發電元件中,該導電纖維較佳可為碳纖維' 籲 導電聚酯纖維、或不鏽鋼纖維、銅線、銀線等一般金屬線, 更佳為碳纖維。碳纖維為容易取得之材料,因此可降低本 發明之微型發電器的生產成本。並且,由於碳纖維導電性 佳,相較於導電聚酯纖維可承受更高的電流密度,提升微 型發電器之發電效率。此外,碳纖維相較於金屬線更具韌 性佳之優點。 本發明之發電元件中,該導電纖維之直徑較佳可為〇 5 以 m 至 100 e m » • 本發明之發電元件中,該壓電陶瓷層之厚度較佳可為 0.5A 至 1500A之間。 【實施方式】 [實施例1 ] 如圖2A至2C所示,首先,(A)提供多數個碳纖維2丨(圖 2A)。接著,(B)使用原子層沉積法(at〇miciayerdep〇siti〇n) 於此些碳纖維21表面形成厚度約500A之氧化鋅(Zn〇)壓電 陶瓷層22,以得到本實施例之微型發電器2〇,即表面覆有 201203830 氧化鋅壓電陶瓷層22之碳纖維2丨(圖2B)。接著,於該表面 覆有氧化鋅壓電陶瓷層22之碳纖維21(即,微型發電器20) 之兩端形成金屬層23(可藉由塗佈銀膠或其他導電膠來形 成’或使用電鍍方法),以使其固定於一具可撓性之基板24 上。金屬層23同時也作為電極。最後,於該表面覆有氧化 鋅壓電陶瓷層22之碳纖維21上塗布一層膠水25(係以樹脂 為材料)’膠水25風乾後可做為保護層,阻絕外界灰塵、水 氣等干擾。注意,為達到保護功能,膠水25較佳需覆蓋金 屬層23與該表面覆有氧化鋅壓電陶瓷層22之碳纖維2丨之相 接處’但不可完全覆蓋金屬層23(也就是電極),否則無法與 外界電路結合。如此,則得到本實施例之發電元件2(圖 2D)。如圖2B所示’本實施例之微型發電器2〇包括有數個碳 纖維2丨(導電纖維)、以及覆於碳纖維21表面之氧化鋅(zn〇) 壓電陶瓷層22 ^其中,如圖2E所示,當施力於本實施例之 發電元件2,使該微型發電器2〇(表面覆有壓電陶瓷層22之 碳纖維2 1)產生形變時,係產生電能而達到發電效果。 [實施例2] 本實施例之發電元件係如實施例丨中所描述之相同步 驟進行製備,但其中,步驟(B)係以溶膠凝膠法(s〇1 #1)代 替原子層沉積法,並以導電聚酯纖維取代碳纖維來進行製 備0 [測試例1 ] 取實施例1所製得之微型發電元件2進行電流測試,其 結果如圖3所示。經由實驗測試電流結果可知,本發明所製 201203830 得之微型發電元件所得到的輸出電流約為2.丨3X丨〇·9安培β 其中碳纖維之直徑約為5x1 (T6公尺。以此換算出之電流密度 約為1.08xl07nA/cm2,係遠大於已知的氧化鋅微型發電元 件。在此,需知道的是,電流測試所得到之輸出電流係與 測試時施力之大小、快慢、方式有關。本測試例中係以手 動方式進行施壓’故輸出電流值之大小有少許差距。若以 機械穩定施壓’而進行電流測試,則可得到一穩定訊號。 [測試例2] 本實施例所示之製程,可輕易並聯更多壓電纖維,倍 數提尚輸出電流。如圖4所示,以與實施例丨相同製程但使 用更多數量之碳纖維所製得之另一微型發電元件(圖未示) 進行電流測试,所得到之最大輸出電流即可提高至3 1 〇·9 安培,。注意圖4中僅約4秒時產生之3〇ηΑ訊號為真實訊號, 其餘擾動#是不規則的背景訊號。圖3與圖4之電流雜訊值 有所差異,這是因為不同元件具有不同的本質電性(電阻、 包合等),因此對量測系統施加之背景交流訊號亦有不同反 應。 [比較例] 如圖5所不,將複數碳纖維21以金屬層23固定於一可撓 式基板24上以製造_ ^件3。本比較例中,複數碳纖維”之 表面亚π有塗布壓電陶究層因此元件3是單純由碳纖維 21(以及電極等)構成的元件。 將此元h 3進行電流測試,其結果如圖6所示。此元件 之雜讯值約與測試例2之元件相等,由結果可看出此元件3 201203830 並/又有壓電效果。這證明了本發明實施例I與實施例2之微 3L發電器20經測試得到的輸出電流確實來自壓電材料(壓 電陶瓷層),而並非是因待測物形變,或系統、環境因素等 而偵測到的錯誤訊號。 細上所述,本發明之微型發電器及/或微型發電元件由 於可使用便宜之導電纖維原料進行製造,因此製作成本 低,且由於本發明之微型發電器及/或微型發電元件之製備 v驟簡單,因此容易大量生產。此外經由本發明之電流 測试結果可知,本發明之微型發電器及/或微型發電元件可 傳導較尚的電流密度,是習知技術(例如,「電極-層狀壓電 材料-電極」所構成之多層結構之發電器)所無法達成的。再 者,本發明之形狀為纖維狀之微型發電器(即,表面覆有壓 電層之碳纖維),可應用範圍相較於習知層狀發電器更加廣 泛。例如,可將本發明之纖維狀微型發電器進行織造成為 -、有發電性質之織布,或是視各種使用情形而進行調整, 成為各種型態之發電裝置。因此,本發明之微型發電器之 應用範圍相較於習知層狀發電器更廣泛許多。 上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已,本發明所 主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準,而非僅限 於上述實施例。 【圖式簡單說明】 圖1係一習知壓電發電裝置之示意圖。 圖2 A至玨係本發明實施例i之製備流程圖。 圖3係本發明測試例之電流測試結果圖。 12 201203830 圖4係本發明測試例之電流測試結果圖。 圖5係本發明比較例之元件之示意圖。 圖6係本發明比較例之元件電流測試結果圖。 【主要元件符號說明】 1 0壓電發電裝置 21碳纖維 11電極層 22壓電陶瓷層 12電極層 23金屬層 13力 24基板 2 元件 25膠水 20微型發電器 3元件

Claims (1)

  1. 201203830 七、申请專利範圍: 1 · 一種微型發電器,其包括: 至少一導電纖維:以及 至乂 壓電陶兗層,係覆蓋於該至少一導電纖維之表 面, 其中’當施力於該表面覆有壓電陶瓷層之導電纖維並 使其產生形變時,係產生電能而達到發電效果。 2. 如申請專利範圍第1項所述之微型發電器,其中, 該導電纖維係一碳纖維。 3. 如申請專利範圍第〗項所述之微型發電器,其中, 該微型發電器所包含之該導電纖維之數目係為丨以上且該 每一導電纖維之表面皆覆蓋有一壓電陶瓷層。 4. 如申請專利範圍第1項所述之微型發電器,其中, 該導電纖維之直徑係為〇.5μιη至ΙΟΟμπι。 5. 如申請專利範圍第1項所述之微型發電器,其中, 該壓電陶瓷層之材料係為氧化鋅(Ζη〇)。 6. 如申請專利範圍第1項所述之微型發電器,其中, 該壓電陶瓷層之厚度係為0.5Α至ι50〇Α之間。 7. —種微型發電器之製備方法,包括步驟: (A) 提供至少一導電纖維;以及 (B) 形成一壓電陶瓷層於該至少一導電纖維之表面, 其中,當施力於該表面覆有壓電陶瓷層之導電纖維並 使其產生形變時,係產生電能而達到發電效果。 201203830 8. 如申請專利範圍第7項所述之微型發電器之製備方 法’其中,該導電纖維係一碳纖維。 9. 如申請專利範圍第7項所述之微型發電器之製備方 法,其中,該導電纖維之直徑係為05μηι至ΙΟΟμηι。 10. 如申請專利範圍第7項所述之微型發電器之製備方 法,其中’該步驟(Β)中之壓電陶瓷層係經由使用原子層沉 積法(atomic layer deposition)而形成於該至少一碳纖維之 表面。 1 1.如申請專利範圍第7項所述之微型發電器之製備方 法’其中’該壓電陶瓷層之材料係為氧化鋅(Zn〇)。 12. —種發電元件,其包括: 至少一導電纖維; 至少一壓電陶瓷層,係覆蓋於該至少一導電纖維之表 面; 至少一電極’係連接至該覆有壓電陶瓷層之導電纖維 的兩端;以及 一基板,係用以固定該電極以及該些表面覆有壓 瓷層之導電纖維; 其中,當施力於該發電元件並使其產生形變時,係產 生電能而達到發電效果。 13. 如申請專利範圍第12項所述之發電元件复 壓電陶瓷層之材料係為氧化鋅(ZnO)。 乂 丨4.如申請專利範圍第丨2項所述之發電元件,盆 導電纖維係一碳纖維。 ' 201203830 1 5.如申請專利範圍第12項所述之發電元件,其中,該 導電纖維之直徑係為0.5 μιπ至1 00μπι。 1 6.如申請專利範圍第1 2項所述之發電元件,其中,該 壓電陶瓷層之厚度係為0.5 Α至1500Α之間。
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