TW201130803A - Volatile imidazoles and group 2 imidazole based metal precursors - Google Patents

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201130803 六、發明說明： 相關申請案之相互參照 本專利申請案請求02/05/2010申請的先前美國臨時專 利申請案序號第61/301，824號及7/30/2010申請的第 61/369,448號的益處。 【發明所屬之技術領域】 本發明揭示空間位阻咪唑配位子，及其合成，當其錯 合於第2族金屬時，形成特別有用於作為cvd及等 薄膜沉積方法之極具揮發性及安定性的錯合物。 【先前技術】 半導體製造業不斷尋找用於氣相沉積方法的揮發性含 金屬的前驅物，該氣相沉積方法包括化學氣相沉積法(CM 及原子層沉積法（ALD)，以供使用這些含金屬的前驅物將保 形的含金屬的膜安裝於下列基材上’例如：石夕、金屬氮化 物、金屬氧化物及其他含金屬層。 尤其是要找尋用於沉積含下列薄氧化鋇錄的薄膜之含 網及錄的前驅物，.例如：用於先進記憶裝置製造的鈦酸錦 (STO)及氧化鈦酸⑽（BST)。錄前驅物也可用於非揮發性 記憶體用的類型SrBi2Ta2〇9的鐵電材料之薄_積，“ 此類型Bl2s我·lCUn(Wl)D的薄膜高溫（η)超導體的製 造，及用於電致發光顯不器的SrS:Ce及s^:Cu燐光 製造。儘管有的氣化鎖前驅物具有優良揮發性，但是實際 201130803 上卻排除其用於BST製造的用途，因為氟離子會形成於該 氧化物膜中並且扮作電荷載子，使該氧化物膜的介電常數 降低。現在有許多用於氧化鋰及鈦酸鳃的鳃來源但是卻 無一具有此揭示内容的前驅物的ALD性能。 因此，非常需要具有高ALD性能的未經氟化的鋇與鳃 刖驅物化合物，但是此類化合物稀少，有關鋇尤其如此。 运疋因為鋇+2離子及锶+2離子的大離子半徑需要可提供足 以提供化合物的配位環境的離子配位子，該等化合物在鳃 或鋇中為單體或二聚體。若不符合此必備條件，該等錄化 合物傾向於形成有限揮發性的高度相關或聚合結構❶然 而，即使是能達到單體或二聚體結構，其可能尚未具有倖 免於其汽化所需的高昇華或蒸餾溫度及在A L D時以單層形 式吸附時保持其熱安定性所$纟的熱安定性。&於所有這 些原因，未經氟化的鋇前驅物，其係單體或二聚體、熱定 性、易揮發而且非常適於藉由ALD或CVD進行bst& st〇 製&者，非常稀少，但是以後非常企盼。又更想要在ALD 時具有南沉積速率的第2族揮發性前驅物。 先刖技藝試圖提供用於如下文所說明的這些應用的前 驅物然而，先前技藝中無一金屬錯合物能分享本發明所 揭示的錯合物出眾的特徵。文中所揭示的化合物特別之處 在於其於蒸氣條件之下的揮發性及熱安定性。&外彼等 二有異常尚的ALD沉積速率使其能於每個ald循環生長1 :二的金屬氧化物。這使得彼等能非常有效地用作ST〇及 ST膜生長及任何其他需要揮發性鋇來源的鋇、錯、鎂、 201130803 鐳或約前驅物。 文獻中有描述鋇及其他鹼土金屬二酮亞胺鹽。關於p 二酮酸鹽類曾記载過此化合物[Ba(THD)2]4 (其中為 3,3,5,5-四甲基庚二酮酸。儘管其係安定的揮發性化合物， 但是其>2000的分子量使其於ALD或CVD方法中的功效面 臨挑戰，尤其是與較小，更具揮發性的化合物，例如二茂 鋇（bar〇cene)類，相比時及尤其是與本發明的新穎化合物2 比時，該等化合物與二茂鋇相比時揮發的更徹底並且具有 較高ALD沉積速率及降低的熔點。 熱安定的揮發性三（吡唑基）硼酸鹼土金屬錯合物，包 括鋇的錯合物都曾記載過。然而，這些化合物遭遇到含二 元素硼的問題，其於CVD或ALD方法的氧化條件之下， 將氧化硼沉積於該金屬氧化物中。 以帶取代於核心二亞胺氮上的驗2基團的二明亞胺 基配位子為基礎的揮發性鋇及勰錯合物曾被記載過。但是 此系統的鋇分子昇華得到僅79%昇華回收率而留下Μ重$ %不揮發性殘餘物。此昇華係於〇〇5托耳時進行。若於大 氣壓力下進行此昇華，其不揮發性殘餘物將具有明顯更高 的運發性。這些結果指示此分子作為CVD或ald方法： 的前驅物具有有限的合適性。 一系列9種不同環戊二烯基鋇，也被稱作‘二茂鋇類，， 的合成及熱性質曾被記載。€自這些二茂鋇類的物種，特 別是雙(三第三丁基環戊二烯基)頷，為‘目前最佳技術的， 前驅物’纟具有吸引人的熱安定性及揮發性組合。然而， 5 201130803 本發明的新穎分子在這兩個關鍵性質的方面比彼等優異。 此外’此揭示内容的新穎前驅物，由於其獨具的分子特徵， 也具有異常高的ALD沉積速率使其從裝置.製造來看更具吸 引力。 其他感興趣的參考資料包括： WO 2009/086263 〇 J. Norman, G. Pez, J. Chem. Soc. Chem. Commun., 971, (1991)。

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Timo Hatanpaa, Marko Vehkamaki，Ilpo Mutikainen, Jarno Kansikas and Mikko Ritala “Synthesis and characterization of 環 pentadienyl 錯合物 es of barium: precursors for atomic layer deposition of BaTi03” Dalton 201130803

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其中R1及R3係個別巨型基團，其具有充分的三維度 形式以賦予一性質給該咪唑基以依十卜η_2、η_3、η 4或十5 鍵方式與金屬鍵結；及R2可為巨型基團或不是巨型基團的 基團。 較佳地，該咪唑基的R1及R3係個別選自由第三丁基， 異丙基'第三戊基、新戊基、金剛烷基、己基、環己基、 丙基、丁基、異丁基、戊基、異戊基、新戍基、降获基' 雙環[2.2.1]庚基、二曱基丙基、二曱基丁基、二甲基戍基、 二甲基己基、乙基曱基丙基、異己基、異戊基所組成的群 201130803 較佳地，該咪唑基的R2為巨型基團。 較佳地’該咪唑基包含2,4,5_叁_第三丁基咪唑基。 在另-形態中，本發明教導包含一或更多配位於金屬 之經多取代的味嗤基陰離子的化合物，該金屬係選自由 領、錯、鎮、飼或鐘或其混合物所組成的群組。也可考慮 這些新穎的咪唆基金屬錯合物與其他金屬錯合物結合的混 合物，其中該附帶金屬錯合物可為咪唑基鈦錯合物或非咪 唑基錯合物’其中將該等錯合物溶於溶劑中並且依DLI模 式使用所㈣配方。特別㈣的組合可能包括㈣基錄與 鈦錯合物依簡I混合物結纟或共溶於適合溶劑# DLI配方 中以供STO ALD或CVD之用者。類似地，咪唑基鋇錯合 物可與適合的鈦錯合物結合以供BST膜生長之用。 或者，一咪唑基陰離子可以一第二非咪唑基陰離子加 以取代。此外，該咪唑基陰離子也帶有一取代基，該取代 基也被去質子化以產生二價陰離子物種（二價陰離子物 種），而且將此二價陰離子配位於金屬，例如鋇、锶、鎂、 妈或錯或其混合物。 較佳地’該第二非咪唑基陰離子係選自由下列所組成 的群組·經多取代的D米唾基陰離子、多烧基化„比σ各陰離子、 β-二酮酸根類、醋酸根類、酮亞胺基類、二亞胺類、烷氧 化物、醯胺類、氫化物類、β-酮酯類、脒基類、胍基、環 戊一烯基、氰化物、異氰化物、曱酸根+、草酸根、丙二酸 根、苯氧化物、硫經酸根、硫化物、硝，酸根、烧基、甲石夕 烷基烷基、氟烷基、芳基、咪唑基、氫化物及其混合物。 201130803 也考慮該等新穎化合物的合成及其形& bst膜的用 途 最佳地，該咪唑基為： 2,4,5·三第三丁基咪唑基 2-第三丁基·4’5·二（1，1_二甲基丙基）咪唑基 2-(1，1-二甲基丁基）-4,5-二第三丁基咪唑基 2-(1，1-·一 曱基丁 基）-4,5 -二-田甘 ^ (，1 - 一曱基丙基）β米嗤基； 及其鋇、魏、鎂及舞鹽類。 本發明的㈣基的具體實施例包含㈣基錄與揮發怡 鈦來源的混合物。更佳地’此具體實施例包括以咪唑基為 基礎的欽前驅物作為該揮發性欽。 或者，在該咪啥中’ R、r、r3係連接在一起以布 成環狀結構。 或者，該咪唑具有R1、R2另p3 丹令κ R及R之至少二者接合在一 起以便將二或更多咪唑配位子接合在一起。 較佳的金屬咪唑鹽類包括：四（2 4 5_夫 V，，叁-第二丁基咪# 基）二鋇；四（2-第三丁基_4,5_二（1 — VT基丙基）咪唑基 二鋇；四(2-。“·二甲基丁基)_4,5-二第三丁基咪 二 鎖丨及’四㈣山二甲基丁基”，、：…“〒“：: 吐基）二鋇；四（2,4,5-卷-第三丁基咪嗅基）二錯；四 丁基-4,5-二（1，1·二甲基丙基）咪唑基）二鳃；四（^(1 1 一 基丁基）-4,5-二第三丁基咪唑基）二锶； 曱 θ 、义-(1，1·二甲 基丁基）-4,5-二（1，1·二甲基丙基）咪唑基）二鳃。 較佳地，將本發明的金屬咪唑鹽類入— +銹鋼容器 201130803 彳&將該不銹鋼容器的内部加以電拋光。最佳地 為該不鱗鋼容器裝備高純度、低靜滯操作用的入口及出 【實施方式】 現在’ ALD纟半導體業的主要用途為生長金屬氧化 J如氧化釔、氧化鋇及齊鈦礦氧化物：鈦酸錄（ST〇) 及鈦酸鋇（BST)。這些方法經常必需將保形膜完美長成深空 圓柱體（通孔）或超圓柱結構（柱狀物），其中必需沒有熱分 解或會降低保形的C v D組件。 前驅物熱降解之一主要歷程為係當金屬所配位的陰離 子配位子開始勿解的時候。因此，非常想要製造配位於熱 穩健的陰離子的金屬前驅物。本揭示内容的新穎咪唑基配 位子陰離子據證明具有高熱安定性。另外，很重要的是在 汽化相中該陰離子配位子不會配位於多重金屬中心以形成 具有低揮發性或為不揮發性的多核性化合物，例如：四聚 物或聚合物。所以，總而言之，該等陰離子配位子必須配 位相對少數的金屬中心，例如；丨、2或三個並且對抗降解 極具熱回復力。 然而’儘管需要高熱安定性，但是該等前驅物也需要 在ALD條件之下的化學高反應性。達成這樣的高安定性陰 離子配位子也意指其形式負電荷必須藉由該配位子的結構 加以安定化。此揭示内容的新穎咪唑基陰離子藉由含有二 氮原子的五員環芳烴陰離子使其負電荷安定化。後二原子 f 201130803 的電負性也會提高該形式負電荷的安定性。還有其他五員 芳環陰離子，例如；環戊二烯基及吡咯基，但是這此並 像此揭示内容的咪唑基陰離子那麼安定。該環戊二稀武产 僅含有五個碳原子並且該吡咯基環含有四個碳原子及—個 氮原子。另外，該等配位子環戊二烯、吡咯及咪唑的相對 酸度分別為16.0、16.45及14.5，顯示咪唑為三者當中最酸 者，這指示其共軛鹼，亦即，該咪唑基陰離子，為=者各 令最安定者。另外’預期用於取代大的巨型基團的實際: 間限制，例如；第三丁基鍵結於環戊二烯基、吡咯基:: 唑基陰離子，為三個。這意指這樣的經取代之環戊二烯基 衣將會有一 ί衣奴仍然只被氫取代，而且π比洛基將會有一環 碳仍然只被氫取代。然而’類似的經三取代之咪唑基環沒 =這樣僅帶有氫的環碳，因為其全部三環碳已被該三^ 三丁基型取代基所取代。 々儘管不欲受理論束、缚，但是咸信㈣基陰離子的環上 沒有氫取代基使其比經同等取代的環戊二烯基或料基陰 離子更具熱安定性。也很重要的是該陰離子配位子的形狀 及體積，因為若其結構帶有大的巨型基團，例如；第三丁 基’這些可確保所得金屬錯合物的核性係低的，因為隸 該配位子的鍵結將限於3或更少個金屬中心、。據示此揭示 内容的新穎㈣配位子能輕易以此等巨型基團予以官能化 並且據證明能鍵結3或更少個金屬中心以製造揮發性且極 適宜作為前驅物的金屬錯合物1 了這些特徵之外，吾人 所欲亦為該有機配位子的合成可有效地且以高產率完成， 201130803 並且可製造沒有副反應的純產物。 吾人所欲為該配位子的合成能精確控制不同有機基團 引進其結構’並且這能以此揭示内容的味嗤配位子輕易地 達成。因此’若目標為明蜂經三取代的咪唑配位子，其可 以純態輕易地製備’同時避免該等不同取代基分佈的更雜 亂的副產物的形成。關於環戊二烯及吡咯配位子更常見到 後面的案例，其導致異構物的混合物，必須詳盡分離成其 多種組分。 據顯示當利用不同巨型基團，例如；第三丁基，不對 稱取代時，此揭示内容的新穎咪唑配位子可以僅一種異構 物的高產率及純度合成。關於製造非常想要的降低熔點的 純金屬錯合物或液體這特別重要，因為液態前驅物比固態 前驅物更容易汽化並且經常更易溶於溶劑中以製造直接液 體注射（DLI)遞送用的溶液。 合成运樣的前驅物經常伴隨建置利用空間保護基團予 以不對稱官能化的配位子，因為這將造成不對稱金屬錯合 物，由於不對稱降低該金屬前驅物的晶格填充能，其接著 造成降低的炼點。因此’較佳為該配位子，必要的話，可 以控制及有效率的方式予以有效率不對稱地官能化。 迫可可於此揭示内容的新穎咪唑基配位子合成時藉 下列方式輕易達成’先合成以巨型烷基取代的α·二酮， 等巨型院基最終佔據該咪唾環的4及5環位置，接著在 酸錄存在之下以利用巨型燒基取代的裕來環化此α•二閑 巨型烷基最終佔據該咪唑環的2位置。依此方式能輕易 201130803 制包括不對稱烷基化的咪唑的最終取代型式。 在圖6及8的比較中見到不對稱烷基化的實例，該等 圖分別顯示該等經三取代的咪唑的鳃錯合物：2,4,5_三第 三丁基味唾及2-第三丁基·4,5•二（1，丨_二甲基丙基户米嗅。前 面的味唾係以三個第三丁基予以不對稱取代，而後面的口米 唑係以-個位於該2位置的第三丁基及2個位於該位置4 及5的第三戊基取代並且因此變成不對稱。 圖7及9分別顯不關於圖6及8的結構的熱重量分析 (TGA)結果，其中圖6的錯合物據顯示係於148。匸熔融，而 圖8結構的熔點僅為1〇3〇c。 此一顯示於圖4及1〇中的咪唑的鋇錯合物分別顯示熔 點從151。(：（圖5中所示）更急遽降至65〇c (圖u中所示）。 因此，在咪唑上的不對稱三取代的效應產生降低熔點 的金屬錯合物。另外預期當該三取代基各自為獨一無二 時可達成又更低的熔點。此外，較大的不對稱烷基也可 用以降低最終前驅物熔點。 本發明的新穎化合物包含經陰離子官能化的咪唑基配 位子，除了那些具有特別的熱安定性及徹底汽化的特徵化 5物的中性配位子加成物以外，其可配位於鋇或總或鎂' 録或鈣離子以產生單體或二聚化合物。 據證實這些新穎的錯合物能利用每個循環> 2埃的金 屬氧化物生長速率遞送特別的ALD性能以允許每個ald 猶環單層金屬氧化物的生長。此外，自這些新賴的前驅物 斤生長的ALD金屬氣化物沉積時為結晶性。典型地ald ： 13 201130803 屬氧化物臈/儿積時為非結晶性且因而無法顯現其完全的 電合率值目ΓΪίΐ丨必須於t匕進行結晶化&沉積溫度更高的 皿度下熱退火。這需要額外加工時間並且對上面生長該膜 的裝置進行過度加熱，其將會潛在使其性能變差。因此， ’儿積時旎遞送結晶性氧化物膜代表明顯的製造優點。實驗 上我們發現經過約丨0至i 6秒的前驅物脈衝，遞送充分的 锶以達成氧化之後的單層Sr0。因此，如圖19所示，可迅 速達成使初始吸附層有效飽和的良好控制。因此，當對照 於對等的環戊二烯基或8比咯基金屬前驅物時，此揭示内容 的咪唑基金屬錯合物於特別高的ALD沉積速率下生長金屬 氧化物的此力係獨具的。如圖2〇所示，於375。匸下使用四 (2-第二丁基_4,5_二（1，丨二甲基丙基）二锶及臭氧試劑生長 的ALD SrO膜的TEM分析清楚表示以每6.6 nm 24個晶粒 =66/24 = 2.75埃間隔的金屬氧化物原子規則陣列，該規則 陣列與純（001)氧化锶的單元晶胞尺寸精確一致。此外，若 將此陣列下方的非晶形層退火成結晶相，應該產生約23層 以得到總共24 + 23 = 47層的SrO。在實驗上，使用50個 ALD循環，那麼這就可確認約1單層Sr〇/循環的有效沉積。 該等咪唑基環也可經不對稱取代以產生適於直接液體 注射（DLI)的高溶解度的較低熔點化合物。圖1中顯示該配 位子2,5·二第三丁基咪唑，根據此揭示内容，實施例1，所 創造的咪唑配位子，的結構。 本發明為，在一具體實施例中，下式所示之以巨型基 團’ R，於至於該2,5-位置作取代的咪唑： 201130803 Η

其中R1及R3係個別大型基團，其具有充分的三維度 形式以賦予一性質給該咪唑基以致於在該咪唑經去質子化 以得到咪唑基陰離子之後該咪唑基陰離子可以U鍵、 ^^、^或^鍵與金屬鍵結：及⑴可為大型基團或 不是大型基團的基團，R、r、r3也可為含有不飽和度的 巨型基團例如碳·碳雙鍵或碳_碳叁鍵。 較佳地，該咪坐為： 2.4.5- 三第三丁基咪唑 2-第三丁基-4,5-二(1小二甲基丙基)咪唑 2-第三丁基-4,5·二二曱基丁基）味唑 2_第三丁基-4’5-二（U·二甲基戊基）咪唾. 2-第三丁基-4,5-二(1山二甲基己基)咪唑 二甲基丙基)-4,5-二第三丁基咪唑 2，4,5 -二（1,1-一.甲基丙基）咪唾 2-(1，1-二曱基丙基）_4,5_二（ ,一〒基丁基）咪唑 2-(1，1-二曱基丙基）·4,5_二 ^ j _ _ 、’1 — Τ基戊基）咪唑 2-(1，1-二曱基丙基）-4,5- - η 1 » 丙基） —(1，1-二甲基己基）咪唑 基丁基）-4,5_二第三丁基啼唾 2-(1，1-二曱基丁基）_4,5_二二甲 2.4.5- 三（1，1-二曱基丁基）咪唾 15 201130803 2-( 1,1-二甲基丁基）-4,5-二（1,1-二甲基戊基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4,5-二（1，卜二甲基己基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4,5-二（1，卜二甲基丙基）1咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4,5-二（1,卜二甲基丁基）1咪唑 2.4.5- 三（1,1-二甲基戊基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-4,5-二（1，1-二曱基己基）1咪唑 2-(1，1-二曱基己基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4,5-二（1，卜二甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4,5-二（1，1-二甲基丁基）咪唑 2·(1，1-二曱基己基）-4,5-二（1,1-二甲基戊基）咪唑 2.4.5- 三（1，1-二曱基己基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-( 1,1-二甲基丙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1，1-二曱基丙基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1，1-二甲基丁基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-( 1,1-二甲基戊基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1，1-二甲基戊基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-( 1,1-二曱基己基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1，1-二甲基己基）咪唑 2-第三丁基-4-(l，l-二甲基丙基）-5-(1，1-二甲基丁基） 味嗤 2-第三丁基-4-(1，1-二曱基丁基）-5-(1,1-二甲基丙基） 咪。坐

16 S 201130803 2-第三丁基-4-(l，l-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊基） 咪唑 2-第三丁基-4-(l，l-二曱基戊基）-5-(1,1-二甲基丙基） 味。坐 2-第三丁基-4-( 1,1-二曱基丙基）-5-( 1,1-二甲基己基） B 米。坐 2-第三丁基-4-( 1,1-二曱基己基）-5-( 1,1-二甲基丙基） 味。坐 2-第三丁基-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-(1,1-二甲基丁基） 。米峻 2-第三丁基-4-(1,1-二曱基丁基）-5-( 1,1-二甲基戊基） 味α坐 2-第三丁基-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-(1,1-二甲基己基） p 米。坐 2-第三丁基-4-(l，l-二曱基己基）-5-(1,卜二甲基戊基） 咪唑 2-(1，1-二曱基丙基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二甲基丙基） 咪唾 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-第三丁基- ϋ米。坐 2-(1,1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二甲基丁基） 味。坐 2-(1，1-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-第三丁基-口米0坐 5 17 201130803 2-( 1,1-二曱基丙基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二曱基戊基） 0米。坐 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-第三丁基-2-(1,1-二曱基丙基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基己基） °米。坐 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-第三丁基- 咪唾 2.4- 二（1，1-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱基丁基）咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基丁基）咪唑 2.4- 二（1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊基）咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基戊基）咪唑 2.4- 二（1，1-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱基己基）咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基丙基）-4-(1，1-二曱基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1,1-二曱 基丁基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-4-( 1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二甲 基戊基）咪唾 2-(1，1-二曱基丙基）-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-( 1,1-二曱 基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1，1-二甲基己基）-5-( 1，1-二曱 基戊基）β米D坐 2-(1,1-二曱基丁基）-4-第三丁基-5-(l，l-二曱基丁基） 咪β坐

S 18 201130803 2-(1,1-二曱基丁基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-第三丁基- σ米。坐 2.4- 二（1,1-二甲基丁基）-5-第三丁基-咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基丁基）-4-第三丁基-咪唑 2-(1，1-二曱基丁基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基戊基） 口米。坐 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-第三丁基 口米0坐 2-(1,1-二曱基丁基）-4-第三丁基-5-(1，1-二甲基己基） 。米。坐 2-(1,1-二甲基丁基）_4-(1，1-二甲基己基）_5_第三丁基 0 米。坐 2.4- 二（1,1-二曱基丁基）-5-( 1,1-二甲基丙基咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基丁基）-4-( 1,1-二甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1,1-二曱 基戊基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 基丙基）σ米嗤 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-( 1，1-二曱 基丙基）咪唑 2.4- (1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.5- ( 1,1-二曱基丁基）-4-( Μ -二甲基丁基）咪唑 201130803 2-( 1,1-二甲基丁基）-4-( 1,1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 基己基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1,1-二甲 基戊基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基丙基） 咪唾 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基 味。坐 2-(1,1-二曱基戊基）-4-第三丁基-5-(1，1-二甲基丁基） 哺ΰ坐 2-(1,1-二曱基戍基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5 -第_二丁基 σ东峻 2-(1,1-二甲基戊基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二曱基戊基） 口东峻 2-(1,1-二甲基戊基）-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-第三丁基 味。坐 2-(1,1-二曱基戊基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基己基） 口米0坐 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-第三丁基 口米唾 2-(1,1-二曱基戊基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-( 1，1-二曱 基丁基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-(1，1-二曱 基丙基）咪唑

20 S 201130803 2.4- 二（1，1·二甲基戊基）-5-(1,1-二甲基丙基）咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基戊基）-4-( 1,1-二甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1,1-二曱 基己基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-( 1,1-二曱 基丙基）咪唑 * 2.4- (1，1-二曱基戊基）-5-(1,1-二曱基丁基）咪唑 2.5- (1,1-二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基丁基）咪唑 2.4- (1,1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲基己基）咪唑 2.5- (1，1-二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基己基）咪唑 2-(1，1-二曱基己基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二曱基丙基） 味°坐 2-(1，1-二曱基己基）-4-( 1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基 口米0坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-( 1，1-二曱基丁基） 咪嗤 2-(1,1-二甲基己基）-4-( 1,1-二曱基丁基）-5-第三丁基 «米《坐 2-(1,1-二曱基己基）-4-第三丁基-5-( 1，1-二曱基戊基） u米tr坐 2-(1,1-二曱基己基）-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-第三丁基 咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(1，1-二甲基己基）

S 21 201130803 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-第三丁基 咪唾 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-( 1,1-二曱 基丙基）_ α坐 2-(1,1-二甲基己基）·4_(1，1·二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基戊基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1，1-二曱基戊基）-5-(1,1-二甲 基丙基）咪唑 2.4- 二（1,1-二甲基己基）-5-( 1,1-二曱基丙基)咪唑 2,5·二（1，1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基)-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二曱 基戊基）咪唑 2.4- 二（1,1-二曱基己基）-5-( 1,1-二曱基戊基）咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基己基）-4-( 1,1-二曱基戊基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1-甲基乙基）-4,5-二（1，1·二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4,5-二（1，1-二甲基丁基）咪唑 2-(1-甲基乙基）·4,5-二（1,1-二曱基戊基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4,5-二（1,1-二甲基己基）咪唑 2.4.5- 三（1-甲基乙基）咪唑

22 S 201130803 2-(1-甲基乙基）-4-第二丁基-5-(1,1-二曱基丙基）。米°坐 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基咪峻 2-(1-甲基乙基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-第三丁基咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-第三丁基咪唑-5-(1,1-二甲基丁基） 咪唾 2-(1-曱基乙基）-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-第三丁基咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-第三丁基咪唑-5-(1,1-二甲基戊基） 咪吐 2-(1-曱基乙基）-4-( 1,1-二甲基己基）-5-第三丁基咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-第三丁基咪唑-5-( 1,1-二甲基己基） 咪峻 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-第三丁基咪唑 2-(1-甲基乙基）_4-(1，1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基丁 基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-( 1，1_二甲基丁基）-5-(1,1-二曱基丙 基）-咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊 基）咪°坐 2-(1-曱基乙基）·4·(1，1-二曱基戊基）-5-(1,1-二曱基丙 基）-咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-( 1,1-二甲基己 基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二曱基丙 基）-咪唑

S 23 201130803 2-(1-甲基乙基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(l，l-二甲基丁 基）-咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二甲基戊 基）-咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-( 1,1-二甲基戊基）-5-(1，1-二甲基己 基）-咪峻 2-(1-甲基乙基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-(1，1-二曱基戊 基）-咪峻 2.4- 二第三丁基-5-(1-甲基乙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1-甲基乙基）咪唑 2-第三丁基-4-( 1，1-二曱基丙基）-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-第三丁基-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-第三丁基-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二曱基戊基）咪唑 2-第三丁基-4-(l，l-二甲基戊基）-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-第三丁基-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二曱基己基）咪唑 2-第三丁基-4-(l，l-二曱基己基）-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基乙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1-曱基乙基）-5-第三丁基咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-曱基乙基）咪唑 2.4- 二（1，1-二曱基丙基）-5-(1-甲基乙基）-咪唑 2.5- 二（1，1-二曱基丙基）-4-(1-甲基乙基）-咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1,1·二曱基乙基）-5-(1，1-二曱 基丁基）咪唑

24 S 201130803 2-( 1,1-二曱基丙基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二曱 基乙基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1，1-二甲基乙基）-5-(1,1-二甲 基戊基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1,1·二甲基戊基）-5-(1,1-二曱 基乙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基乙基）-5-(1,1-二曱 基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二甲 基乙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-第三丁基-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-曱基乙基）-5-第三丁基-5- 口米0坐 2-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-甲基乙基）-5- (1,1-二甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4- (1,1·二甲基丙基）-5-(1-甲基乙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基乙基）-5- (1，1-二甲基丁 基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4- (1,1-二曱基丁基）-5-(1-曱基乙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1-曱基乙基）_5_ (1,1-二曱基戊 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1-曱基乙 25 201130803 基）咪唑 2·(1，1-二甲基丁基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二曱基己 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-(1-甲基乙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基乙基）-5-第三丁基 0 米。坐 2-(1,1-二甲基戍基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基乙基） π米嗤 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基乙基）-5-第三丁基 味唆 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱 基乙基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基乙基）-5-(1，1-二曱 基丙基）-5 - °米π 圭 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二曱 基乙基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基乙基）-5-(1,1-二甲 基丁基）-5-咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-( 1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二曱 基乙基）咪°坐 2.4- 二（1，1-二甲基戊基）-5-( 1,1-二甲基乙基）咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基乙基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基乙基）-5-(1,1-二曱

26 S 201130803 基己基）-5-咪唑 2-(l，l-二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二曱 基乙基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二甲基乙基） 咪。坐 2-(1，1-二曱基己基）-4-(1,1-二甲基乙基）-5-第三丁基 咪峻 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-( 1,1-二甲 基乙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1,1-二甲基乙基）-5-(1,1-二曱 基丙基）111 米坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-甲基乙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二甲基丁 基）-5咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-( 1,1-二甲基戊基）-5 -(1-甲基乙 基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二曱基戊 基）咪唑 2.4- 二（1，1-二甲基己基）-5-(1-曱基乙基）咪唑 2.5- 二（1，1-二曱基己基）-4-(1-甲基乙基）咪唑 2.4- (1-甲基乙基）-5-第三丁基咪唑 2.5- (1-甲基乙基）-4-第三丁基咪唑 2,4-(1-甲基乙基）-5-( 1,1-二曱基丙基）咪唑 27 201130803 2,5-(1-甲基乙基）-4-( 1,1-二甲基丙基）咪唑 2.4- (1-甲基乙基）-5-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.5- (1-曱基乙基）-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.4- (1-曱基乙基）-5-(1,1-二甲基戊基）咪唑 2.5- (1-曱·基乙基）-4·(1，1-二甲基戊基）咪唑 2.4- (1-曱基乙基）-5-( 1,1-二甲基己基）咪唑 2.5- (1-曱基乙基）-4-(1,1-二曱基己基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1,2-二曱基丙基）-4,5-二（1，1-二曱基丙基）咪唑 2-(1，2-二曱基丙基）-4,5-二（1，1-二曱基丁基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4,5-二（1，卜二曱基戊基）咪唑 2-(1，2-二曱基丙基）-4,5-二（1,卜二曱基己基）咪唑 2-(1,2-二曱基丙基）-4,5-二（1-甲基乙基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-第二丁基-5-(1,1-二曱基丙基） °米嗤 2-(1，2-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基 口米〇坐 2-(1,2-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二曱基丁基） 咪吐 2-(1,2-二曱基丙基）-4-( 1,1-二曱基丁基）-5-第三丁基 咪。坐 2-(1，2-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基戊基） β米。圭 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-第三丁基

28 S 201130803 咪唾 2-(1,2-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基己基） p米唾 2-(1，2-二曱基丙基）-4-( 1,1-二甲基己基）-5-第三丁基 咪唾 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基丁基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二甲 基丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-( 1，1-二甲基丙基）-5-( 1,1-二甲 基戊基）咪吐 2-(1，2-二曱基丙基）-4-( 1，1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 基丙基）咪唑 2-(1,2-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基己基）咪吐 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1，卜二甲 基丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 基丁基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-( 1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二曱 基戊基）咪唑 2-(1，2-二曱基丙基）-4-( 1,1-二甲基己基）-5-(1,1-二甲 基丁基）咪唑 2-(1,2-二曱基丙基）-4-( 1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二甲 29 201130803 基己基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基乙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-第三丁基咪唑 2-(1,2-二曱基丙基）-4-第三丁基-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-( 1,1-二曱基丙 基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-(1-甲基乙基） 味°坐 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1,1-二甲基丁 基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基丁基）-(1-甲基乙基） 口米。坐 2-(1,2-二曱基丙基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1,1-二甲基戊 基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1，1-二曱基戊基）-5-(1-曱基乙 基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二甲基己 基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-( 1，1-二曱基己基）-5-(1-曱基乙 基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-(1，2-二曱基丙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-( 1,2-二曱基丙基）咪唑 2-第三丁基-4-(1，1-二曱基丙基）-5-(1,2-二甲基丙基） 味。坐

30 S 201130803 2-第三丁基-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基） 口米0坐 2-第三丁基-4-( 1,1-二曱基丁基）-5-(1,2-二曱基丙基） 口米0坐 2-第三丁基-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-( 1,1-二甲基丁基） p 米。圭 2-第三丁基-4-(l，l-二曱基戊基）-5-(1，2-二曱基丙基） 咪嗅 2-第三丁基-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊基） 咪唾 2-第三丁基-4-(l，l-二甲基己基）-5-(1,2-二曱基丙基） °米唾 2-第三丁基-4-( 1,2-二曱基丙基）-5-( 1，1-二甲基己基） 咪唾 2-第三丁基-4-(1-曱基乙基）-5-( 1,2-二甲基丙基）咪唑 2-第三丁基-4-(1，2-二曱基丙基）-5-(1-甲基乙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,2-二曱基丙基） 味唾 二甲基丙基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-第三丁基 口米口坐 2.4- (1,1 -二曱基丙基）-5-( 1，2-二曱基丙基）咪唑 2.5- (1，1-二甲基丙基）-4-(1,2-二曱基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1,卜二甲 基丁基）咪唑 5 31 201130803 2-( 1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-( 1,2-二曱 基丙基）味β坐 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1，2-二甲基丙基）-5-(1,；1-二曱 基戊基）咪嗤 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,2-二曱 基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱 基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1,1-二甲基己基）-5-( 1,2-二曱 基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1,2-二曱基丙基）-5-(1-曱基乙 基）咪°坐 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,2-二甲基丙基） 口米口坐 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-第三丁基 11 米'»坐 2-(1，1-二曱基丁基）-4-第三丁基-5-(l，2-二甲基丙 基）-5-咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-( 1,2-二曱基丙基）-5-(1,1-二曱 基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-( 1,1-二曱基丙基）-5-(1,2-二曱 基丙基）咪唑

S 32 201130803 2.4- 二（1,1-二甲基丁基）-5-( 1,2-二甲基丙基）咪唑 2.5- 二（1,1-二曱基丁基）-4-(1,2-二甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基)-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1，2-二曱 基丙基）咪唑 2-(1，卜二曱基丁基）-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-( 1，1-二曱 基戊基）-5 -咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-( 1,1-二甲基己基）-5-( 1,2-二曱 基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-( 1，2-二曱基丙基）-5-( 1,1-二甲 基己基）-5-咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二曱基丁基）-4-(1，2-二甲基丙基）-5-(1-甲基乙 基）-5 -咪吐 2-(1,1-二甲基戊基）-4-第三丁基-5-(l，2-二甲基丙基） 咪嗤 2-(1,1-二甲基戊基）-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-第三丁基 咪α坐 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱 基丙基）味唾 2-(1,1-二曱基戊基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5(-1,2-二曱 基丙基）-5咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱 基丁基）咪唑

S 33 201130803 2.4- 二（1，1-二甲基戊基）-5-(1，2-二甲基丙基））咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基戊基）-4-(1,2-二甲基丙基））咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-(1,2-二甲 基丙基）σ米α坐 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1，1-二曱 基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪嗤 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1-甲基乙 基）咪°坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,2-二曱基丙基）·5-第三丁基 口米。坐 2-(1,1-二甲基己基）-4 -第二丁'基-5-(1，2-二甲基丙基） 11米嗤 2-(1,1-二甲基己基）-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基丙基）咪°坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,2-二甲 基丙基）咪°坐 2-(1,1-二 f 基己基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-( 1,1·二甲 基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-(1，2-二曱 基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-( 1，1-二甲 基戊基）咪。坐

S 34 201130803 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,2-二曱 基丙基）咪唑 2.4- 二（1，1-二曱基己基）-5-(1,2-二甲基丙基）咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基己基）-4-( 1,2-二曱基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-( 1,2-二曱基丙基）-5-(1-曱基乙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1,2-二曱基丙 基）咪°坐 2-(1-甲基乙基）-4-第三丁基-5-(1,2-二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-第三丁基-咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-第三丁基-5-(1,2-二甲基丙基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1,1-二甲基丙 基）咪°坐 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪峻 2-(1-甲基乙基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1,1-二甲基丁 基）咪嗤 2-(1-曱基乙基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-( 1,2-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊 基）咪峻 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪。坐 2-(1-甲基乙基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1，1-二甲基己 S. 35 201130803 基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1,2-二甲基丙 基）咪唑 2,4_二 二（1-曱基乙基）-5-(1,2-二 甲基丙基）咪唑 2,5-二 二（1-甲基乙基）-4-(1,2-二 甲基丙基）咪唑 2,4-- l(1，2-二甲基丙基）-5-第 三丁基咪唑 2,5-二 ι(1,2-二曱基丙基）-4-第 三丁基咪唑 2.4- 二（1,2-二甲基丙基）-5-(1，1-二曱基丙基）咪唑 2.5- 二（1,2-二甲基丙基）-4-(1，1-二甲基丙基）咪唑 2.4- 二（1，2-二甲基丙基）-5-( 1，1-二曱基丁基）咪唑 2.5- 二（1，2-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.4- 二（1,2-二甲基丙基）-5-(1，1-二甲基戊基）咪唑 2.5- 二（1，2-二甲基丙基）-4-(1，1-二甲基戊基）咪唑 2.4- 二（1，2-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基己基）咪唑 2.5- 二（1，2-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基己基）咪唑 2.4- 二（1，2-二甲基丙基）-5-(1-甲基乙基）咪唑 2.5- 二（1，2-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）咪唑 較佳地，該咪坐為 2.4.5- 三第三丁基咪唑 2-第三丁基-4,5-二（1，1-二甲基丙基）咪唑 2-第三丁基-4,5-二（1，1-二甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-4,5-二（1，1-二甲基戊基）咪唑 2-第三丁基-4,5-二（1,1-二甲基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）·4,5-二第三丁基咪唑

S 36 201130803 2.4.5- 三（1,1-二甲基丙基）咪唑 2·(1，1-二甲基丙基）-4,5-二（1,1-二甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4,5-二（1，1-二甲基戊基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4,5-二（1，1-二曱基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4,5_二（1,1-二曱基丙基） 2.4.5- 三（1,1-二甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4,5-二（1,1-二甲基戊基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4,5-二（1,1-二甲基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4,5-二（1,1-二甲基丙基）1咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4,5-二（1,1-二甲基丁基）1咪唑 2.4.5- 三（1,1-二曱基戊基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4,5-二（1，1-二甲基己基）1咪唑 2-(1，1_二甲基己基）-4,5-二第三丁基咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4,5-二（1,1-二甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基己基）-4,5-二（1,1-二甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4,5-二（1，1-二甲基戊基）咪唑 2.4.5- 三（1,1_二甲基己基）咪唑 2,4·二第三丁基-5-(1,1-二曱基丙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1,1-二曱基丙基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-( 1,1-二曱基丁基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2,4-二第三丁基-5-(1,1-二曱基戊基）咪唑 37 201130803 2,5-二第三丁基-4-(1，1-二曱基戊基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-(1，1-二甲基己基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1，1-二甲基己基）咪唑 2- 第： :丁 基 -4-(1,1-二 甲 咪 口坐 2- 第三丁 基 -4-(1，1 -二 甲 咪 σ坐 2- 第； L 丁 基 -4.-( 1，1 -二 甲 咪 σ坐 2- 第三丁 基 -4-(1,1-二 甲 咪 0坐 2- 第： :丁 基 -4-(1,1-二 甲 咪 口坐 2- 第： L 丁 基 -4-(1,1-二 甲 咪 。坐 2- 第三丁 基 -4-(1,1-二 甲 咪 〇坐 2- 第J L 丁 基 -4-(1,1-二 曱 咪 σ坐 2- 第三 L 丁 基 -4-(1,1-二 曱 咪 口坐 2- 第J :丁 基 -4-(l，l-二 甲 咪 〇坐_ 基丙基）-5-(1,1-二曱基丁基） 基丁基）-5-(1,1-二甲基丙基） 基丙基）-5-(1，1-二甲基戍基） 基戍基）-5-(1,1-二曱基丙基） .基丙基）-5-(1,1-二曱基己基） 基己基）-5-(1，1-二曱基丙基） 基戊基）-5-(1,1-二曱基丁基） 基丁基）-5-(1,1-二甲基戊基） 基戊基）-5-(1,1-二甲基己基） 基己基）-5-(1,1-二曱基戊基） 曱基丙基） 2-(1,1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1- 201130803 味*»坐 2-(1,1-- :甲基丙基)·4_(1山二甲基丙基)·5第三丁基_ 味〇坐 2-(1,1-- :甲基丙基)-4-第三丁基，山二甲基丁基) 〇 米。坐 2-(1，1 -二 .甲基丙基M-。，!·二，基丁基)_5第三丁基_ 咪11 坐 2-(1,1-- 甲基丙基）-4·第三丁基_5.(11二f基戍基） 咪°坐 2-(1，1-二 甲基丙基卜4·。，1-二甲基戊基)-5-第三丁基· 2-(1，1-二 甲基丙基）·4·第三丁基_5_(1，1-二甲基己基） 味唾 2-(1，Ι-二 f基丙基Xdj·: f基己基）_5·第三丁基· 咪》坐 2,4-二（l，i -二甲基丙基）·5-(1，1-二甲基丁基）咪唑 2,5-二（1，1 •一甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑

2.4- 二（I’i-二甲基丙基二▼基戊基）味唑 2.5- 二（1山二甲基丙基）4(11二甲基戊基）味唑 2,4_二〇，1_二甲基丙基）_5_(U-二甲基己基）珠唑 2,5_二（1，1_二甲基丙基）1(1山二P基己基>米唑 2·(1，1-二甲基丙基)_々·("二甲基 基丁基）咪唑 （M-— f 2-（1，1·二甲基丙基M (11二甲基丁基Μ"小二甲 39 S 201130803 基戊基）咪嗤 2-(l，l-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 基己基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1,卜二曱 基戊基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-第三丁基-5-(1,1-二曱基丁基） σ米口坐 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-第三丁基- 咪唾 2.4- 二（1,1-二甲基丁基）-5-第三丁基-咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基丁基）-4-第三丁基-咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基戊基） 〇米唾 2-(1，1-二甲基丁基二曱基戊基）-5-第三丁基 味。坐 2-(1,1-二甲基丁基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基己基） σ米。坐 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-第三丁基 味峻 2.4- 二（1，1-二甲基丁基）-5-(1,1-二甲基丙基咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基丁基）-4-(1，1-二甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1，1-二甲 基戊基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲 201130803 基丙基）α米。坐 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲 基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1,1-二甲 基丙基）咪唾 2.4- (1,卜二曱基丁基）-5-( 1,1-二甲基丁基）咪唑 2.5- (1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基丁基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4·(1，1-二曱基戊基）-5-( 1,1-二曱 基己基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-( 1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二曱 基戊基）咪唾 2-(1，1-二甲基戊基）-4-第三丁基-5-(l，l-二甲基丙基） 味嗤 2-(1,1-二甲基戊基）-4-( 1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基 味峻 2-(1，1-二甲基戊基）-4-第三丁基-5-(l，l-二甲基丁基） 咪σ坐 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-第三丁基 咪σ坐 2-(1,1-二甲基戊基）-4-第三丁基-5-(1,卜二曱基戊基） 咪峻 2-(1,1-二甲基戊基）-4-( 1，1-二曱基戊基）-5-第三丁基 咪峻 一' 2-(1,1-二甲基戊基）-4-第三丁基-5-(1，1-二甲基己基） 201130803 咪。坐 2-(l，l-二曱基戊基）-4-(1，卜二甲基己基）-5-第三丁基 味嗤 2-(1,1-二曱基戊基）-4-( 1,1·二曱基丙基）-5-(1,1-二曱 基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二曱 基丙基）咪唑 2.4- 二（1，1-二曱基戊基）-5-( 1,1-二曱基丙基）咪唑 2.5- 二（1，1-二曱基戊基）-4-(1,1-二甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1,1-二甲 基己基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二曱 基丙基）味唾 2.4- (1,1 -二甲基戊基）-5-(1，1-二甲基丁基）咪唑 2.5- (1，1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.4- (1，1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲基己基）咪唑 2.5- (1，1-二曱基戊基）-4-(1,1-二甲基己基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(1,1-二曱基丙基） 味唾 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1，1-二曱基丙基）-5-第三丁基 咪嗤 2-(1,1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基丁基） 咪唾 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1，1-二曱基丁基）-5-第三丁基

S 42 201130803 口米0坐 2-(l，l-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(l，l-二曱基戊基） °米° 坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-第三丁基 口米0坐 2-(1，1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(1,1-二曱基己基） 味峻 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基己基>-5-第三丁基 D米嗤 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1，1-二曱 基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-( 1,1-二曱 基丙基）咪α坐 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1，1-二甲 基戊基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1，1-二曱基戊基）-5-(1，卜二甲 基丙基）°米峻 2.4- 二（1,1-二曱基己基）-5-(1，1-二曱基丙基）咪唑 2.5- 二（1,1-二曱基己基）-4-(1,1-二曱基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基己基）-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-(1,1-二曱 基丁基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1，1-二曱基丁基）-5-(1,1-二甲 基戊基）咪唑 2,4-二（1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二甲基戊基）咪唑 43 201130803 2.5- 二（1，1-二甲基己基Μ·(ΐ，ΐ·二甲基戊基）咪吐 較佳地，該咪嗤為 2.4.5- 三第三丁基咪唑 2-第三丁基·4,5-二(1，“二曱基丙基)咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）_4 5_二第三丁基咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）_4,5·二（11_二甲基丙基）味唑 2-第三丁基-4,5-二（1_甲基_丨·乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）_4,5_二（1_甲基小乙基丙基）味唑 2-(1，1-二曱基丁基）-4,5·二（1·甲基小乙基丙基）味唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4,5-二（1_曱基小乙基丙基）喷唑 2-(1，1-二甲基己基）-4,5-二（1_甲基乙基丙基）味唑 2-(1，1-二甲基己基)-4,5-二(卜甲基+乙基丙基)咪唑 2-(1-甲基乙基）-4,5·二（1_曱基_丨_乙基丙基）咪唑 2,4,5 -二（1-曱基-1-乙基丙基）味。坐 2.4- 二第三丁基-5_(1_甲基_丨_乙基丙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1-曱基_丨_乙基丙基）咪唑 2_第三丁基-4-(1山二甲基丙基）_5_〇_甲基小乙基丙 基）咪唾 2-第二丁基-5-(l，l-二曱基丙基）_4_(1曱基乙基丙 基）咪唑 2-第三丁基二曱基丁基）_5_(1_曱基小乙基丙 基）咪唑 2-第三丁基-5-(1，1·二甲基丁基）_4_(1甲基小乙基丙 基）咪唑 44 201130803 2-苐二丁基-4-(1,1-二甲基戍基）-5-(1-曱基-1-乙基丙 基）咪唑 2-第二丁基-5-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪唑 2-第二丁基-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪唑 2-第三丁基-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-曱基-1-乙基丙 基）咪唑 2-第三丁基-4-(1-曱基丙基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪 嗤 2-第二丁基-5-(1 -曱基丙基）-4-(1-曱基-1 -乙基丙基）σ米 〇全 2-第三丁基-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1-曱基-1-乙基丙 基）咪唑 2-第三丁基-5-(1，2-二曱基丙基）-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪唑. 2-(1,1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪唑 2-( 1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基-4-(卜甲基-1-乙基丙 基）咪唑 2,4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-5-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-甲基-1- 45 201130803 乙基丙基）咪唑 2-(1，1_二曱基丙基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，1 -二甲基丙基）-5-(1，1-二甲基己基）-4-(1-曱基-1_ 乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1-曱基-1-乙基 丙基）味π坐 2-(1，1 -二甲基丙基）-5-(1-曱基乙基）-4-(1-曱基-1 -乙基 丙基）咪嗤 2-(1，1 -二甲基丙基）-4-(1,2 -二甲基丙基）-5-(1-甲基-1 -乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-5-(1，1-二曱基丙基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2 - (1，1 -二甲基丁基）-4 -第二丁基-5 ·( 1 ·甲基-1 ·乙基丙 基）咪唑 2-(1，1-二曱基丁基）-5-第三丁基-4-(1-曱基-1-乙基丙 基）咪唑 2-( 1,1-二甲基丁基）-4-(1，1-二甲基丙基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱.基丁基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-曱基-1_

S 46 201130803 乙基丙基）味唾

Mm-工曱基丁基）_5·(1甲基卜乙基丙基米唑 2,5_二（u-二甲基了基）4(1_甲基卜乙基丙基^米唑 2 (l’l-一甲基丁基）_4 (11二甲基戊基^ (卜甲基： 乙基丙基）咪tr坐

2_(U-二甲基丁基Μ"」-二甲基戊基）_4·(1甲基·^ 乙基丙基）咪哇 A 2-(1,1-二甲基丁基M (11二甲基己基）_5⑴ 乙基丙基）味BT坐 2·0，1-二甲基丁基）-5·(1，1-二甲基己基）_4_〇_甲 乙基丙基）咪〇坐 Α 2-(1小二甲基丁基甲基乙基）-5-(1-甲基-! 丙基）咪唾 基 乙基 2-(1，Ι-二甲基丁基）5^ 丙基）17米唾 丁基）-4-( 1，2-二甲基丙基）_5_(1

甲基-K 2-(1，1_二曱 乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）_5_(12·二甲基丙基m_( 乙基丙基）咪唑 暴-1· 2-(1小二甲基戊基）_4_第三丁基甲基· 基）咪唑 0 &丙 二甲基戊基）-5-第三丁基-4_(1_甲基·丨乙基丙 二甲基戊基）-4-(1,1_二甲基丙基）·5_(1甲基小 47 201130803 乙基丙基）〇米唾 一曱基戊基）二甲基丙基）·4_(1·甲義 乙基丙基）ρ米唾 2-(1，1-二甲基戊基二甲基丁基曱基 乙基丙基）Β米唾 2-(1，1-二曱基戊基）_5_(11 二甲基丁基甲基 乙基丙基）味。坐 2_4·二（1’1_二甲基戊基）-5-(1.甲基-1-乙基丙基）味唾 2-5-二（ij-二曱基戊基）_4_(1_甲基j •乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）_4_(11_二曱基己基〇甲基·卜 乙基丙基）味。坐 2 (1,1-一曱基戊基）-5-(11.二曱基己基）-4-(1-曱基_1· 乙基丙基）Π米唾 2·(1，1-二曱基戊基）_4_(1_甲基乙基）·5_〇曱基a•乙基 丙基）P米唾 (M-—甲基戊基）-5-(1-甲基乙基）·4·(1甲基_丨·乙基 丙基）σ米唾 2-U’l-二曱基戊基）·4_(12_二曱基丙基甲基-卜 乙基丙基）η米U坐 二甲基戊基）-5-(1，2-二曱基丙基）_4_(1_甲基 乙基丙基）η米唾 二曱基己基）-4-第三丁基_5·(1•甲基_丨_乙基丙 基）_。坐 2-(1,1

甲基己基）_5·第三丁基-4-(1-曱基-i-乙J

S 48 201130803 基）β米峻 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，1 -二甲基己基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基-1 * 乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-5-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2.4- (1，1-二曱基己基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2.5- (1,1-二甲基己基）-4_(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1-曱基-1-乙基 丙基）β米β坐 2-(1，1-二曱基己基）-5-(1-曱基乙基）-4-(1-甲基-1-乙基 丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-5-( 1，2-二甲基丙基）-4-(1-甲基-1-3乙基丙基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-第三丁基-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪 s 49 201130803 2-(1-甲基乙基）-5•第三丁基-4-(1•曱基-1·乙基丙基）。米 口坐 2-(1-甲基乙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1-曱基-1-乙基 丙基）咪吐 2-(1 -甲基乙基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-曱基-1 -乙基 丙基）11米α坐 2-(1-曱基乙基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-(1-曱基-1-乙基 丙基）17米嗤 2-(1 -曱基乙基）-5-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-曱基-1 -乙基 丙基）_唾 2-(1-甲基乙基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1-曱基-1-乙基 丙基）味°坐 2-(1-曱基乙基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-曱基-1-乙基 丙基）咪唑 2_(1-甲基乙基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1-甲基-1-乙基 丙基）咪唑 2-(1 -甲基乙基）-5-(1，1-二曱基己基）-4-(1-曱基-1 -乙基 丙基）咪唑 2,4 -二（1-甲基乙基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）°米α坐 2,5-二（1-甲基乙基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1-甲基-1-乙基 丙基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-5-(1,2-二曱基丙基）-4-(1-甲基-1-乙基

S 50 201130803 丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-第二丁基-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪。坐 2-(1,2-二甲基丙基）-5-第三丁基-4-(1-曱基-1-乙基丙 基）咪唑 2-( 1,2-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基-卜 乙基丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，2-二曱基丙基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，2-二曱基丙基）-5-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1，1-二曱基戊基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-5-(1，1-二曱基戊基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）-5-(1，1-二甲基己基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1-甲基-1-乙基 丙基）β米。坐 2-(1,2-二曱基丙基）-5-(1-曱基乙基）-4-(1-曱基-1-乙基

S 51 201130803 丙基）咪唑 2.4- (1,2-二甲基丙基）-5-(1-甲基-1·乙基丙基）咪唑 2.5- (1，2-二曱基丙基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基丙 基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-第三丁基-4-(l，l-二甲基丙 基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-( 1,1-二曱基丁 基）咪唑 2-(1 -甲基-1 -乙基丙基）-5-第二丁基-4-(1，1 -二曱基丁 基）咪峻 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1，1-二曱基戊 基）咪11 坐 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-第三丁基-4-(l，l-二曱基戊 基）咪D坐 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二曱基己 基）咪°坐 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-第三丁基-4-(1,1-二曱基己 基）咪唾 2-(1 -曱基-1 -乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5 -(二曱基 丁基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 丁基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基

S 52 201130803 戊基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(二曱基 戊基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 己基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1，1-二甲基丙基）-5-(二曱基 己基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(二甲基戊基）-5-(1,1-二甲基 丁基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-(二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基 丁基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(二曱基戊基）-5-(1，1-二甲基 己基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-(二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基 己基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1-曱基乙基）咪 口坐 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-第三丁基-4-(1-曱基乙基）咪 σ坐 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1-曱基 乙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基 乙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1，1-二曱基丁基）-5-(1-甲基 53 201130803 乙基）咪唆 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基 乙基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1-曱基 乙基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-曱基 乙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-曱基 乙基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-曱基 乙基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1,2-二曱基丙 基）咪峻 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5·第三丁基-4-(1，2-二甲基丙 基）咪°坐 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1，2-二曱基丙 基）咪°坐 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,2-二 曱基丙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1，1-二曱基丙基）-4-( 1，2-二 甲基丙基）咪唑 2-(1 -曱基-1 -乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1，2 -二 曱基丙基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-5-(1，1-二甲基丁基）-4-(1，2-二

54 S 201130803 甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1,2 -二 甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二曱基戍基）-4-(1,2-二 曱基丙基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1,2-二 甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-( 1,1-二甲基己基）-4-(1,2-二 曱基丙基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1，2-二甲基 丙基）11米β坐 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1,2-二曱基 丙基）味σ坐 2,4_二（1-甲基_1·乙基丙基）-5-第三丁基咪唑 2,5-二（1-甲基-1-乙基丙基）-4-第三丁基咪唑 2.4- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二曱基丙基）咪唑 2.5- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）咪唑 2.4- 二（1-曱基-1-乙基丙基）-5-( 1,卜二曱基丁基）咪唑 2.5- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.4- 二（1-曱基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二曱基戊基）咪唑 2.5- 二（1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）咪唑 2.4- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二曱基己基）咪唑 2.5- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基己基）咪唑 2，4-二（1 -曱基-1 -乙基丙基）-5-(1-曱基乙基）σ米。坐 s 55 201130803 2’5-_(1_曱基小乙基丙基)4 (1_甲基乙基)咪唑 2,4 -(1-甲基-1-乙基丙基）·5_(12_二甲基丙基）味唾 2’5 —（1·甲基-1-乙基丙基）_4_(12_二f基丙基）味唾 2-第三丁基_4,5•二（1•曱基丙基）咪唑 MU·二甲基丙基）-4,5-二（1_甲基丙基）咪唑 2·(1，1-二曱基丁基）_4,5_二（1甲基丙基）味唑 2-(1，1-二甲基戊基）_4 5_二（1甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基M，5_:(1甲基丙基^米唑 2-(1，1-二甲基己基"丄二⑴尹基丙基^米唑 2·(1-甲基乙基）-4,5_二（1_甲基丙基）味唑 2’4,5 -二（1-尹基丙基）啼唾 2.4- 二第三丁基甲基丙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1-甲基丙基）咪唑 2_第三丁基'Η1，1。甲基丙基）-5_(卜甲基丙基）咪唑 2-第三丁基二甲基丙基）_4 (1•甲基丙基）味唑 2·第三丁基邻小二甲基丁基)—5仆甲基丙基)咪嗤 2-第三丁基·5·(1山二甲基丁基)邻·甲基丙基)咪唑 2第二丁基-4-(1，1·二甲基戊基）_5 (1甲基丙基）味唑 2-苐三丁基-5_(U•二甲基戊基)4 (1甲基丙基)咪唑 2.第三丁基冰0’1-二甲基己基）-5-0-甲基丙基）咪唾 2-第三丁基-5-(^.二甲基己基）邻甲基丙基η唑 2第一丁基-4-(1-甲基丙基）·5(1_ρ基丙基）味唾 2-第二丁基·5-(ΐ-甲基丙基M (l f基丙基）味唾 第三丁基冰（1，2-二甲基丙基）-5·(1· f基丙基）咪峻

S 56 201130803 2-第三丁基-5-(1,2-二甲基丙基）-4-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-第二丁基-4-(1-甲基丙基）味°坐 2,4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1，卜二曱基丁基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-5-(1，1-二曱基丁基）-4-(1-曱基丙 基）咪峻 2-(1,1-二甲基丙基）-4-( 1,1-二曱基戊基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1,卜二曱基丙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1-甲基丙 基）味°坐 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1-曱基丙基）咪 口坐 2-(1,1-二曱基丙基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1-甲基丙基）咪 口坐 2-(1，1-二曱基丙基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1-甲基丙 基）味吐 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基丙 基）咪唑 57 201130803 2-( 1,1-二甲基丁基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-5-第三丁基-4-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-曱基丙 基）咪唑 2.4- 二（1,1-二甲基丁基）-5-(1-曱基丙基）咪唑 2.5- 二（1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑. 2-(1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1，1·二甲基丁基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1-曱基丙基）咪 σ坐 2-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-曱基乙基）-4-(1-曱基丙基）咪 〇坐 2-(1，1·二甲基丁基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-5-(1,2-二曱基丙基）-4-(1-甲基丙 基）咪唑

58 S 201130803 2-( 1，卜二曱基戊基）-4-第三丁基-5-(1-曱基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）·5-第三丁基-4-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4-(1，1-二曱基丙基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1·二曱基戊基）-5-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-曱基丙 基）咪°坐 2-4-二（1，1-二甲基戊基）-5-(1-甲基丙基）咪唑 2-5-二（1，1-二曱基戊基）-4-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）-4-(1，卜二甲基己基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-5-( 1,1-二甲基己基）-4-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1-甲基丙基）咪 唑 2_(1，1-二甲基戊基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1-甲基丙基）咪 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-5-( 1，2-二甲基丙基）-4-(1-甲基丙 基）咪。坐 59 201130803 2-(l，l-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-5-第三丁基-4-(1-曱基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-曱基丙 基）咪唾 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1，1-二甲基丁基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-5-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-曱基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-甲基丙 基）咪唑 2.4- (1,1-二甲基己基）-5-(1-甲基丙基）咪唑 2.5- (1,1-二曱基己基）-4-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1-甲基丙基）咪 〇坐 2-(1，卜二曱基己基）-5-(1-曱基乙基）-4-(1-曱基丙基）咪 σ坐 2-(1,卜二曱基己基）-4-( 1,2-二曱基丙基）-5-(1-甲基丙 基）咪唑 2-(1,1-二曱基己基）-5-(1,2-二甲基丙基）-4-(1-曱基丙 基）咪唑 201130803 2-(1-甲基乙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丙基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-5-第三丁基-4-(1-曱基丙基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基丙基）咪 〇坐 2-(1-甲基乙基）-5-( 1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基丙基）咪 〇坐 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1-曱基丙基）咪 2-(1-曱基乙基）-5-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-甲基丙基）咪 唾 2-(1·甲基乙基）-4-(1，1-二曱基戊基）-5-(1-曱基丙基）咪 σ全 2-(1-曱基乙基）-5-( 1，1-二曱基戊基）-4-(1-曱基丙基）咪 〇坐 2-(1-甲基乙基）·4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-曱基丙基）咪 〇坐 2-(1-甲基乙基）-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1-曱基丙基）咪 2.4- 二（1-甲基乙基）-5-(1-甲基丙基）咪唑 2.5- 二（1·曱基乙基）-4-(1-曱基丙基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1-曱基丙基）咪 2-(1-曱基乙基）-5-(1,2-二曱基丙基）-4-(1-曱基丙基）咪 61 201130803 2-(1,2-二甲基丙基）·4_第三丁基·5_(1甲基丙基）咪唑 2·(1，2-二甲基丙基）_5_第三丁基_4 (1•甲基丙基）咪唑 2-(1,2-二曱基丙基二甲基丙基）·5·(1曱基丙 基）咪唑 2-(1,2-二甲基丙基）_5_(11_二曱基丙基）4 (1甲基丙 基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）_4_(11_二甲基丁基）5 (1•甲基丙 基）咪唑 2-(1，2-二曱基丙基）— 5·(1小二甲基丁基）-4 (ι甲基丙 基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）_4·(11_二甲基戊基）5 (1甲基丙 基）咪唑 以1，2-二甲基丙基）-5-(1，1_二曱基戊基）_4·(1甲基丙 基）咪°坐 2-(1，2-二甲基丙基）_4·(11_二甲基己基）5 (1•甲基丙 基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）_5·(11•二甲基己基ρ ο甲基丙 基）咪唑 2 - (1,2 - 一甲基丙基）·4-(ΐ -甲其，其、< “# ’(丄τ基乙基）·5-(ι_甲基丙基）咪 〇坐 2·(1，2-— 甲基丙基）-5-(1-甲其 τ* j /1 m «· U甲丞乙基）-4-(1-甲基丙基）咪 口坐 :/屮’之-二甲基丙基“屮-甲基丙基卜米唑 2,5·(1，2-二甲基丙基）_4_〇_甲基丙基）味唑

S 62 201130803 2-(1-甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基丙基)-5-第三丁基-4-(1，1-二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-5-第三丁基-4-( 1，1-二曱基丁基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二曱基戊基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-5-第三丁基-4-(1，1-二曱基戊基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-4-第三丁基-5-( 1，1-二曱基己基）咪。坐 2-(1-甲基丙基）-5-第三丁基-4-(l，l-二曱基己基）咪唑 2-(1-曱基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(二甲基丁基） 味。坐 2-(1-曱基丙基）-4-(1，1-二甲基丙基）-5-(二甲基丁基） °米D 坐 2-(1-甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基戊基） 咪唾 2-(1-曱基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二f基戊基） 咪嗤 2-(1-甲基丙基）-4-( 1,1-二曱基丙基）-5-(二曱基己基） 咪峻 2-(1-曱基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(二曱基己基） 咪β坐 2-(1-曱基丙基）-4-(二曱基戊基）-5-(1,1-二甲基丁基） 咪唑 2-(1-曱基丙基）-5-(二曱基戊基）-4-(1,1-二甲基丁基） S, 63 201130803 2-(1-甲基丙基）-4-(二曱基戊基）-5-(1,1-二曱基己棊） °米。坐 2-(1-甲基丙基）-5-(二曱基戊基）-4-(1,1-二曱基己基） 咪β坐 2-(1-曱基丙基）-4-第三丁基-5-(1-曱基乙基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-5-第三丁基-4-(1-曱基乙基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-曱基乙基）咪 〇坐 2-(1-甲基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）咪 。坐 2-(1-曱基丙基）-4-( 1，1-二甲基丁基）-5-(1-曱基乙基）咪 σ坐 2-(1-甲基丙基）-5-(1，1-二曱基丁基）-4-(1-曱基乙基）咪 〇坐 2-(1-甲基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1-甲基乙基）咪 〇坐 2-(1-甲基丙基）-5-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-甲基乙基）咪 〇坐 2-(1-甲基丙基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-曱基乙基）咪 口坐 2-(1-曱基丙基）-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1-曱基乙基）咪 〇坐 2-(1-曱基丙基）-4-第三丁基-5-(1,2-二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基丙基）-5-第三丁基-4-(1，2-二甲基丙基）咪唑

S 64 201130803 2-(1-曱基丙基）-4-第三丁基-5-( 1，2-二甲基丙基）咪唑 2-(1-曱基丙基）-4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1，2-二曱基丙 基）咪唑 2-(1-曱基丙基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1,2-二甲基丙 基）咪°坐 2-(1-曱基丙基）-4-( 1,1-二甲基丁基）-5-(1，2-二甲基丙 基）咪。坐 2-(1-曱基丙基）-5-( 1,1-二甲基丁基）-4_(1，2-二甲基丙 基）味°坐 2-(1-曱基丙基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1,2-二曱基丙 基）咪唾 2-(1-甲基丙基）-5-(1，1-二甲基戊基）-4-(1,2-二曱基丙 基）咪唑 2-(1-曱基丙棊）-4-(1,1-二甲基己基）-5-( 1,2-二甲基丙 基）咪唑 2-(1-曱基丙基）-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1,2-二曱基丙 基）咪唑 2-(1-曱基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1,2-二甲基丙基）咪 0坐 2-(1-曱基丙基）-5-(1-曱基乙基）-4-(1,2-二曱基丙基）咪 tf坐 2.4- 二（1-甲基丙基）-5_第三丁基咪唑 2.5- 二（1-曱基丙基）-4-第三丁基咪唑 2,4-二（1-甲基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基）咪唑

S 65 201130803 2.5- 二（1-甲基·丙基二甲基丙基^米唑 2,4·二（1-甲基丙基）-5-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2.5- 二（1_甲基丙基）_4·(11•二f基丁基）咪唑 2’肛二（1-甲基丙基二甲基戊基）咪唑 2.5- 二（1-甲基丙基卜心⑴卜二甲基戊基）味唑 2.4- 二（1_甲基丙基）_5_(11_二甲基己基）味唑 2,5·二（1-甲基丙基二甲基己基）味唑 2.4- 二（1_甲基丙基）-5-(1-甲基乙基）咪唑 2,5_二（1_甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）咪唑 2.4- 二（1·甲基丙基）·5_(1，2_二甲基丙基）咪唑 2.5- 二（1-甲基丙基）-4-(1，2-二甲基丙基）咪唑 2-第三丁基_4,5_二（1_甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）_4,5_二（1甲基丁基）咪唑 2-(1’1-二甲基丁基）_4,5_二（1_甲基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）_4 5_二（1甲基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）_4 5_二（1•甲基丁基）咪唑 2-(1，1·二f基己基）_45_二（1_甲基丁基）咪唑 2-(1-甲基乙基）-4,5-二（1_甲基丁基）咪唑 2.4.5- 三（1-甲基丁基）咪唑 2.4- 二第三丁基_5_(1_ f基丁基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1-甲基丁基）咪唑 2·第三丁基冰…-工甲基丙基）_5(1•甲基丁基）味唑 2-第三丁基f基丙基）_4_(1_甲基丁基）咪唑 2-第三丁基冬㈠山工甲基丁基）_5_(1•甲基丁基）味唾 66 201130803 2-第三丁基-5-(1,1-二曱基丁基）-4-(1-甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-4-( 1,1-二甲基戊基）-5-(1-曱基丁基）咪唑 .2-第三丁基-5-( 1,1-二甲基戊基）-4-(1-甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-曱基丁基）咪唑 2-第三丁基-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1-甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-4-(1-曱基丁基）-5-(1-甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-5-(1-甲基丁基）-4-(1-甲基丁基）咪唑 2-第三丁基-4-(1，2-二甲基丙基）-5-(1-曱基丁基）咪唑 2-第三丁基-5-( 1，2-二曱基丙基）-4-(1-曱基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基-4·(1-甲基丁基）咪唑 2,4-(1,1-二曱基丙基）-5-(1-甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-甲基丁 基）咪。坐 2-(1,1-二甲基丙基）-5-( 1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基丁 基）咪嗤 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1,1-二甲基戊基）-5-(1-曱基丁 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-( 1,1-二甲基戊基）-4-(1-甲基丁 基）°米α 坐 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,卜二甲基己基）-5-(1-甲基丁 基）咪。坐 - 2-(1,1-二曱基丙基）-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-曱基丁 基）咪唑 s 67 201130803 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1-曱基丁基）咪 0坐 2-(1，1-二曱基丙基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1-甲基丁基）咪 2-(l，l-二甲基丙基）-4-(1,2-二甲基丙基）-5-(1-曱基丁 基）咪唑 2-(1，1-二曱基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基丁 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丁基）-4-第三丁基-5-(1-曱基丁基）咪唑 2-(1，1-二曱基丁基）-5-第三丁基-4-(1-曱基丁基）咪唑 2-(1，1-二曱基丁基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基丁 基）咪峻 2-(1,1-二甲基丁基）-5-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-曱基丁 基）咪唑 2.4- 二（1，1-二甲基丁基）-5-(1-曱基丁基）咪唑 2.5- 二（1，1-二甲基丁基）-4-(1-曱基丁基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1-曱基丁 基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-5-(1,1-二曱基戍基）-4-(1-甲基丁 基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,1-二曱基己基）-5-(1-甲基丁 基）咪唾 2-(1,1-二曱基丁基）-5-( 1,1-二甲基己基）-4-(1-甲基丁 基）β米唾

S 68 201130803 2.-(1，卜二曱基丁基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1-甲基丁基）咪 口坐 2-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1-甲基丁基）°米 〇圭 2-(1,1-二甲基丁基）-4-(1,2-二曱基丙基）-5-(1-甲基丁 基）咪唑 2-(1,1-二曱基丁基）-5-(1,2-二甲基丙基）-4-(1-甲基丁 基）咪峻 2-(1，1-二曱基戊基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-5-第三丁基-4-(1-甲基丁基）咪唑 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基丁 基）咪°坐 2-(1,1-二曱基戊基）-5-( 1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基丁 基）11米β坐 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-甲基丁 基）咪峻 2-(1，1-二曱基戊基）-5-(1，卜二甲基丁基）-4-(1-甲基丁 基）咪唑 2-4-二（1，1-二曱基戊基）-5-(1-曱基丁基）咪唑 2-5-二（1，1-二曱基戊基）-4-(1-曱基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1，1-二甲基己基）-5-(1-曱基丁 基）咪唑 2-(1，1-二甲基戊基）-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-甲基丁 基）咪°坐

S fy丨、 69 201130803 2-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-曱基乙基）-5-(1-甲基丁基）咪 0坐 2-(1,1-二甲基戊基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1-甲基丁基）咪 口圭 2-(1，1-二甲基戊基）-4-(1，2-二曱基丙基）-5-(1-甲基丁 基）咪唑 2-(1,1-二曱基戊基）-5-(1,2-二曱基丙基）-4-(1-曱基丁 基）咪°坐 2-(1，1-二甲基己基）-4-第三丁基-5-(1-甲基丁基）咪唑 2-(1，1-二甲基己基）-5-第三丁基-4-(1-曱基丁基）咪唑 2·(1，1-二甲基己基）-4-(1，1-二甲基丙基）-5-(1-甲基丁 基）咪坐 2-(1,1-二甲基己基）-5-(1,1-二甲基丙基.）-4-(1-甲基丁 基）咪。坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1-甲基丁 基）咪σ坐 2-(1,1-二曱基己基）-5-(1，1-二甲基丁基）-4-(1-甲基丁 基）咪°坐 2-(1,1-二甲基己基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1-曱基丁 基）咪。坐 2-(1,1-二甲基己基）-5-(1,1-二曱基戍基）-4-(1-甲基丁 基）咪β坐 2.4- (1,1-二曱基己基）-5-(1-甲基丁基）咪唑 2.5- (1，1-二甲基己基）-4-(1-甲基丁基）咪唑 201130803 唑2-(1小二甲基己基）-4-(1-甲基乙基）-5-0-甲基丁基）味 唑2-(1，1-二甲基己基）-5-(1-甲基乙基）_4_(1_甲基丁基）味 二甲基己基）-4·(1，2-二曱基丙基）_5 (1•甲基丁 基）味D坐 2·(1，1-二曱基己基）_5_(1，2•二甲基丙基）·4 (ι甲基丁 基）ρ米σ坐 2-U-曱基乙基）-4·第三丁基_5_(1•曱基丁基）咪唑 2-U-甲基乙基）-5-第三丁基-4-(1·甲基丁基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1,1-二甲基丙基）— 'ο•甲基丁基）咪 2-U-曱基乙基）-5-(1,1-二甲基丙基）_4_(1_曱基丁基）咪 唑 2·(1-甲基乙基）-4-(11-二曱基丁基）-5-(1-曱基丁基）咪 〇坐 2-(1·甲基乙基）-5-(1，1-二甲基丁基曱基丁基）咪 〇坐 2_(1-甲基乙基一甲基戊基）-5-(1-甲基丁基）呼 口圭 2-(1-曱基乙基）-5-(1,1-二曱基戊基）·4_(1-曱基丁基）。米 唑 2·(1-甲基6基二曱基己基）-5-(1-曱基丁基）_ 0坐 71 s 201130803 口全 2-(1-曱基乙基）·5-(1，1-二甲基己基）-4-(1-曱基丁基）味 2,4 -一（1-甲基乙基）-5-(1-甲基丁基）味嗤 2,5-二（1·甲基乙基）-4-(1-甲基丁基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4-(1，2-二曱基丙基）_5_(1_曱基丁基）咪 2-(1-甲基乙基）-5-(1,2-二甲基 口坐 丙基）-4-(1-甲基丁基）咪 基丙基M-第三丁基·5_(1•甲基丁基)味唾 2-(1，2-二甲基丙基）•第三 2-(1,2-二甲基丙基j_4_(11_ 基）咪咕 2-(1,2-二甲基丙基 基）咪唾 2-(1,2-二甲基丙基） 基）咪嗤 之兴1，2-二甲基丙基）-5-(1，1_ 基）σ米唾 2 (1,2-一 甲基丙基 基）咪唾 2-(1，2· 一 曱基丙基）_5-( 1，1 _ _ 基）咪唑 2-(1，2-二甲基丙基）_4_(11_· 基）咪唾 丁基-4-(1-甲基丁基）咪唑 二曱基丙基）_5_(1_甲 基 甲基丁基）-5-(1-甲基 甲基丁基）_4-(1_甲 甲基戊基）-5-(1-甲 甲基戊基）-4-( 1 _曱 甲基己基）_5-(1 _甲 基 基 基 基 72 201130803 2-(1,2-二甲基丙基）_5_ 基）味唾 唾 2_〇,2;二甲基丙基）_4_(1_甲基乙基）_5 (1•甲基丁㈣ 2-(1，2-二f基丙基)_5·("基乙基)，甲基丁基”米 2,4-U’2-二f基丙基）_5 (1·尹基丁基）味唑 2,5·Π，2-二甲基丙基）·4-(1-甲基丁基）咪唑 (甲基丁基）-4·第三丁基_5_(1K二甲基丙基卜米唑 (1甲基丁基）-5-第三丁&_4-(u•二甲基丙基㈣唑 2-(ι.甲基丁基）_4_第三丁基_5_(11二甲基丁基购 (甲基丁基）-5-第二丁基·4_(11二甲基丁基）味唑 2-(1-甲基丁基）_4_第三丁基_5_(11二甲基戊基心坐 2-0-甲基丁基）-5_第三丁基邻山二甲基戊基）味唑 2 (1甲基丁基）_4_第三丁基_5_(u二甲基己基）味唑 味唾 味唾 咪嗤 2-(1-甲基丁基）·4-(ι，ι__； 二甲基丙基）_5_(二 •甲基丁基） 2-(1-甲基丁基）_4-(1，1_ 二 二甲基丙基）·5·(二甲基丁基） 2-(1-甲基丁基）_4-(1，1_二 -甲基丙基）-5-(二 甲基戊基） 2-(1-甲基丁基）-4-(1，1_二 甲基丙基）_5-(二 甲基戊基）

73 S 201130803 2-(1-甲基丁基）-4-(1，1·二甲基丙基）-5-(二甲基己基） 味π坐 2-(1-曱基丁基）-4-(1，1-二曱基丙基）-5-(二曱基己基） 咪。坐 2-(1-曱基丁基）-4-(二甲基戊基）-5-(1,1-二甲基丁基） 咪唾 2-(1-甲基丁基）-5-(二甲基戊基）-4-(1，1-二甲基丁基） B米唾 2-(1-甲基丁基）-4_(二甲基戊基）-5-(1,1-二曱基己基） 咪。坐 2-(1-甲基丁基）-5-(二甲基戊基）-4-(1，1-二甲基己基） 咪峻 2-(1-甲基丁基）-4-第二丁基-5-(1-甲基乙基）p米0坐 2-(1-甲基丁基）-5-第三丁基-4-(1-甲基乙基）咪唑 2-(1-曱基丁基）-4-(1,1-二f基丙基）-5-(1-甲基乙基）咪 〇坐 2-(1-曱基丁基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基乙基）咪 0坐 2-(1-甲基丁基）-4-(1,1-二曱基丁基）-5-(1-甲基乙基）咪 〇坐 2-(1-甲基丁基）-5-(1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基乙基）咪 〇坐 2-(1-甲基丁基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1-曱基乙基）咪

S 74 201130803 2-(1-甲基丁基）-5-(1,1-二甲基戊基）-4-(1-曱基乙基）咪 2-(1-甲基丁基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1-甲基乙基）咪 σ圭 2-(1-甲基丁基）-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-曱基乙基）咪 2-(1-甲基丁基）-4-第三丁基-5-( 1,2-二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基丁基）-5·第三丁基-4-(1，2-二曱基丙基）咪唑 2-(1-曱基丁基）-4-第三丁基-5-(l，2-二甲基丙基）咪唑 2-(1-甲基丁基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,2-二曱基丙 基）咪β坐 2-(1-曱基丁基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,2-二曱基丙 基）°米°坐 2-(1-曱基丁基）-4-(1，1-二曱基丁基）-5-( 1，2-二曱基丙 基）咪唑 2-(1-甲基丁基）-5-(1，1-二甲基丁基）-4-(1,2-二甲基丙 基）咪唑 2-(1-甲基丁基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1,2-二曱基丙 基）°米° 坐 2-(1-曱基丁基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1,2-二曱基丙 基）咪唾 2-(1-曱基丁基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1，2-二甲基丙 基）咪峻 2-(1-甲基丁基）-5_(1,1_二甲基己基）-4-(1,2-二甲基丙 75 201130803 基）咪唑 2-(1-f基了基）_4♦甲基乙基）_5_(12_二甲基丙基）啼 2-U-f基丁基基乙基）邻，2•二甲基丙基）啼 2.4- 二（1-甲基丁基）·5_第三丁基咪唑 2.5- 二（1-甲基丁基卜4_第三丁基咪唑 2,4-二（1-甲基丁基）_5_(11•二甲基丙基）咪唑 2,5_二（1-甲基丁基）_4_(11_二甲基丙基）咪唑 2,4·二（1·甲基丁基）·5-(1，1-二甲基丁基）咪唑 2,5_二（1-甲基丁基）-4-(1,1-二甲基丁基）咪唑 2’4-二（1_甲基丁基）_5_(11•二曱基戊基）咪唑 2’5_二（1-甲基丁基）-4-(1，1·二甲基戊基）咪唑 2,4_二（1·甲基丁基二甲基己基）咪唑 2,5-—(1·甲基丁基）_4 (11二甲基己基）咪唑 2,4_二（1-甲基丁基）-5-(1-甲基乙基）咪唑 2’5-二（1•甲基丁基）_4·(1•甲基乙基）咪唑 2,4_二（1-甲基丁基）-5-(1，2·二甲基丙基）咪唑 2,5·二（1-曱基丁基）-4-(1，2-二甲基丙基）咪唑 更佳地’該咪唑下列化合物其中之一： 2_第三丁基-4,5-二（1-甲基_丨_乙基丙基）咪唑 2-(U-二甲基丙基）-4,5-二（1•甲基]•乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基丁基）_4 5_二（1•甲基“·乙基丙基）味唑 2 (1,1·一甲基戊基）_4 5_二（1甲基]•乙基丙基）味唑

S 76 201130803 2-(1,1-二甲基己基）-4,5-二（1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基己基）-4,5-二（1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1-曱基乙基）-4,5-二（1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2,4,5-三（1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2.4- 二第三丁基-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2.5- 二第三丁基-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-第三丁基-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪°坐 2-第三丁基-5二甲基丙基）-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪嗤 2-第三丁基-4-(l，l-二甲基丁基）-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪峻 2-第三丁基-5-( 1,1-二甲基丁基）-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪°坐 2-第三丁基-4-(l，l-二曱基戊基）-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）味β坐 2-第三丁基-5-(1，1-二甲基戊基）-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪。坐 2-第三丁基-4-(l，l-二甲基己基）-5-(1-曱基-1-乙基丙 基）咪唑 2-第三丁基-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-第三丁基-5-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪σ坐 5 77 201130803 2-( 1,1-二甲基丙基）-5-第三丁基-4-(1-甲基-1-乙基丙 基）咪唑 2,4-(1，1-二甲基丙基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基丁基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1 -二曱基丁基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）味。坐 2-(1，1-二甲基丙基）-4-(1,1-二曱基戊基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1，1-二曱基丙基）-5-(1，1-二曱基戊基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1,1-二甲基己基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基己基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二曱基丙基）-4-(1-甲基乙基）-5-(1-甲基-1·乙基 丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1-甲基乙基）-4-(1-甲基-1-乙基 丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-4-(1，2-二曱基丙基）-5-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基）-4-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2-(1,1-二甲基丁基）-4-第二丁基-5-(1-甲基-1-乙基丙

S 78 201130803 基）咪唑 二甲基丁基）_5第基）咪唑 三丁基甲基-1 •乙基丙 2-(1，1-二甲基丁基）_4 (1 J 一 T 基丙基）-5-(1_甲 A 1 乙基丙基）咪唑 τ 2-(1小二甲基丁基）_5_(11二f基丙基m_( 乙基丙基）咪唑 卷·1· 2’4 — (1，1-一甲基丁基）_5_(1_甲基小乙基丙基）味唑 甲基丁基）4 (1甲基小乙基丙基）味唾 2·0，1-二甲基丁基）-4-(1，1-二甲基戊基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）味唾 2_(1，1_二曱基丁基）-5-0,1-二曱基戊基）-4-(1-曱基 _1_ 乙基丙基）味唾 2-(1，1-二曱基丁基）_4_(11二曱基己基）5 (i-曱基小 乙基丙基）味嗤 2 (L1·二甲基丁基）-5-(1,1-二曱基己基）-4-(1•曱基_1_ 乙基丙基）η米。坐 2-(1，1-二甲基戊基）_4•第三丁基_5 (卜甲基卜乙基丙 基）咪唑 2-(1，1-二曱基戊基）_5•第三丁基_4 (1曱基^乙基丙 基）咪唑 2(1，1_二甲基戊基）-403-二曱基丙基）_5_〇•甲基_卜 乙基丙基）D米唾 2 (1，1-二甲基戍基）j二甲基丙基）4 0甲基-卜 79 201130803 乙基丙基）β米σ坐 2 (1,1_一甲基戊基）-4-(Ul-二曱基丁基）-5-(1-甲基-ΐ_ 乙基丙基）σ米唾 2 (1,1-一甲基戊基）-5-(1，1_ 二曱基丁基）-4-( 1-曱基 乙基丙基）Π米d坐 2-4-一（1，丨·二曱基戊基）5 (1甲基4乙基丙基）咪唑 2-5-二（M•二曱基戊基）_4 (卜甲基一乙基丙基）咪唑 二甲基戊基）-4-(1，1_二甲基己基）_5_(1•甲基 乙基丙基）ϋ米嗤 2·(1，1-二甲基戊基）_5_(11二甲基己基μ…甲基 乙基丙基）味U坐 2-(1,1 基）咪唑 二甲基己基）-4-第三丁基_5_(1_曱基 -1-乙基丙 2-(1，1-二甲基己基）_5_第 基）咪唑 二丁基-4-(1 -甲基 _ 1 _乙基丙 2-(1，1-二甲基己基）_4_(11_二甲基丙基•甲基 乙基丙基）咪唾 2_(1，1-二甲基己基）_5_(11_二甲基丙基卜々（I·甲基 乙基丙基）β米唾 2-(1，1-二曱基己基）_4_(11_二甲基丁基w ^甲基 乙基丙基）α米嗤 曱基丁基）-4-(1-甲基 甲基戊基）-5-(1-甲基 2-(1,1-二甲基己基）·5_(11_二 乙基丙基）°米唾 2-(1,1-二甲基己基•二 201130803 乙基丙基）咪唑 2·(1，1-二甲基己基）-5-(1,1-二曱基戊基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2.4- (1,1-二曱基己基）-5-(1-甲基-1-乙基丙基）咪唑 2.5- (1,1-二甲基己基）-4-(1-曱基-1-乙基丙基）咪唑 2-(卜甲基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基丙 基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-第三丁基-4-(l，l-二甲基丙 基）咪唾 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(l，l-二甲基丁 基）°米唾 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-第二丁基-4-(1,1-二甲基丁 基）,β坐 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-第二丁基-5-(1，1-二甲基戍 基）咪峻 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-第二丁基--4-(1，1-二甲基戍 基）咪嗤 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-第三丁基-5-(1,1-二甲基己 基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-5-第三丁基-4-(1,1-二甲基己 基）咪β坐 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 丁基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基

S 81 201130803 丁基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 戊基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 戊基）咪唑 2-(1 -甲基-1 ·乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 己基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(1,1-二甲基丙基）-5-(二甲基 己基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基）-4-(二甲基戍基）-5-(1,1-二甲基 丁基）咪唑 2-(1-甲基_1_乙基丙基）-5-(二甲基戊基）-4-(1,1-二甲基 丁基）咪唑 2-(1-曱基-1-乙基丙基）-4-(二曱基戍基）-5-(1,1-二曱基 己基）咪唑 2-(1-甲基-1-乙基丙基.）-5-(二曱基戊基）-4-(1,1-二甲基 己基）咪唑 2,4·二（1-曱基-1-乙基丙基）-5-第三丁基咪唑 2,5 -二（1-曱基-1-乙基丙基）-4-第三丁基β米0坐 2.4- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二甲基丙基）咪唑 2.5- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-4-( 1,1-二曱基丙基）咪唑 2.4- 二（1-甲基-1-乙基丙基）-5-( 1,1-二甲基丁基）咪唑 2.5- 二（1-曱基-1-乙基丙基）-4-(1，1-二甲基丁基）咪唑 2,4-二（1-甲基-1-乙基丙基）-5-(1,1-二甲基戊基）咪唑

S 82 201130803 2,5_二（1-甲基-1-乙基丙基二甲基戊基）咪唑 2.4- 二（1-甲基乙基丙基二甲基己基）咪唑 2.5- 二（1-甲基q-乙基丙基）_4_(11_二甲基己基）咪唑 這些咪唑可接著加以去質子化以產生其分別咪唑基陰 離子’該等陰離子可接著配位於鋇、锶、鈣或鐳離子，以 接著’產生其分別的錯合物。 較佳地，該咪唑基的R1及R3係個別選自由下列所組 成的群組：第三丁基、異丙基、第三戊基' 新戊基、金剛 烷基、己基、環己基、丙基、丁基、異丁基、戊基、環戊 基、異戊基、新戊基、降莰基、雙環[2.2.1]庚基、丙基、 丁基、異丁基、戊基、異戊基，二甲基丁基、二甲基戊基、 二曱基己基、第二丁基、乙基曱基丙基、異己基、異戊基。 較佳地’該咪唑基的R2為一巨型基團，該巨型基團係 選自由下列所組成的群組：第三丁基、異丙基、第三戊基、 新戊基、金剛烷基、己基、己基、環己基、丙基、丁基、 異丁基、戊基、環戊基、異戊基、新戊基' 降莰基、雙環 [2.2.1]庚基、丙基、丁基、異丁基、戊基、異戊基、二甲 基丁基、二曱基戊基、二甲基己基、第二丁基、乙基曱基 丙基、異己基、異戊基。 最佳地，該咪唑基為 2.4.5- 三第三丁基咪唑基 2-第三丁基-4,5-二（1,1-二甲基丙基）咪唑基 2-(1,1-二甲基丁基）-4,5•二第三丁基咪唑基 2-(1，1-二曱基丁基）-4,5-二（1，1-二曱基丙基）咪唑基； 83 201130803 及其鋇、銘、鎂及鈣鹽類。 在另一形態中，本發明教導包含一或更多配位於金屬 之經多取代的咪唑基陰離子的化合物，該金屬係選自由 鎖、然、錢、約或錯或其混合物所組成的群組。 或者’一咪唑基陰離子可以一第二非咪唑基陰離子加 以取代。此外，該咪唑基陰離子也可帶有一取代基，該取 代基也去質子化以產生二價陰離子物種，並且將此二價陰 離子配位於金屬’例如鋇、勰、鎂、鈣或鐳或其混合物。 本發明也考慮到該等新穎化合物的合成及其形成BST 膜的用途。 為了瞭解這些配位子的獨特特性，考慮如式A所示的 未經取代之咪唑的結構及取代編號系統將會有助益。注意 該環編號系統表示當全部該咪唑環的三個碳原子均以烷基 取代，於是所得的分子將會被叫m’4,5-三烧基味峻的情 形。

式A 4 3

當該咪〇坐的Xf u w 土團係於位置1去質子化時，由此所 產生的陰離子所得的 ^式負電荷會被移位而遍佈於該五員

S 84 201130803 環。然而，若這樣配位於金屬陽離子的陰離子經常透過該 二氮原子這麼做，將不涉及該環的三個碳原子。依此方式， 該咪唑陰離子最常表現的像介於金屬中心之間的線性‘架 橋陰離子’。 此關於咪唑基變成線性架橋金屬陽離子之非常強的趨 勢經常作為建造骨架錯合物的技術，其中該咪唑扮作分子 支架以將金屬陽離子如式B所例示般連接在一起。由於高 度聯結’所以此等結構為不揮發性。

SB

先前技藝 本發明的新穎咪唑配位子的獨特之處在於其利用充分 巨型基團？例如第三丁基，於該咪唑環上的至少2及5位 置，更佳該2、4及5位置作取代，當該咪唑係去質子化以 得到味唾基陰離子時，其並未配位於金屬以形成如式B的 向度聯結結構’而是使其他配位於該金屬的模式變得可 能。有一個可行的配位模式於是變成‘η_5,模式，其中該五 員環的平面係斜向一邊設置於該金屬離子。這接著使該金 屬能鍵結於如式C所示的咪唑基環所有五個原子，其中R 表示巨型烷基型基團。 85 S： 201130803 為了達成本發明之目的的巨型基團為具有充分三維度 空間形式的基團以創造所需的空間位阻以致於與本發明的 咪峻基鍵結的金屬能夠分別以式C及D的‘η-5,鍵結或‘對 端的（on end)，‘η_1，鍵結方式獲得較佳鍵結。此外，這兩種 極端之間的鍵結模式也可行，例如：η_2、η·3及η 4。

式C

、更佳地，為了達成本發明之目的的巨型基團為具有充 分三維度空間形式的基團以創造充分的空間位阻以致於與 ^發明的㈣基鍵結的金屬能夠以^的、$，鍵結方式鍵

式D

R

的結果’其中咪啥陰離子 η'5’或斜向一邊的方式接 式D所描繪的結構表示意外 、*"咪唑基）的廣大優勢並非以‘

S 86 201130803 合’而是僅透過如式B中的氮原子線性接合。 在Cambridge結晶學資料庫中只有一個η_5金屬-對_ 咪唑基離子配位的實例（M. Tadokoro, τ Shi〇mi，K is〇b，κ

Nakasuji，Inorganic Chem 4〇 5476 5478 (2〇〇1》，而且其發 生於不揮發性混合金屬聚合物配位化合物中，而不是在本 發明謹慎考慮且揮發性的金屬錯合物’其進一步強調本發 明的新穎咪唑配位子的獨特特性。 此外，本揭示内容的咪唑基陰離子也可依如式C所示 的新穎‘對端，方式鍵結，其中該等巨型取代基使該金屬能 僅鍵結於該味唾基氮其甲之一。圖8中舉例說明這樣的情 况其中見到四（2-第三丁基二曱基丙基）味唑基） 二锶的兩個末端咪唑基陰離子經由唯一一個氮鍵結於锶。 儘管不欲受理論束缚，但是預期還有其他新穎的鍵結模式 存在於該二極端.5及η-l之間，其t該咪唑基環原子之 二、三或四個參與鍵結於該金屬。 巨型基團可包含C3·12基團，較佳分支烷基、環狀或芳 香族，並且任意另外以其他官能基例如胺、烷氧基、羥基、 羧基、經取代的胺及類似衍生物予以衍生化。烷類、烯類、 炔類、其環狀形式、芳烴類及其衍生物均可考慮作為巨型 基團’/、要其符合具有呈三維度空間形式之形式的充分體 積的必備條件以引致該味唾與金屬的十心^^或^， 並且更佳為‘η_5’鍵結。其他適合的巨型烷基包括，但不限 ；-丙基第二戊基、新戊基、金剛烷基、己基、環己 基丙基、丁基、異丁基、第三丁基、戊基、異戊基、新

87 S 201130803 戊基、降莰基、雙環[2.2.1]庚基、q至C2G烷基苯基、 至c1G烷氧基；c!至c1G烷基胺；以經雜原子取代的環結 構官能化的Ci至c〗〇烷基，該環結構係選自由咪唑、吡咯、 吡啶、呋喃、嘧啶、吡唑；以醯胺基官能化的Ci至烷 基；以酯基官能化的（^至c10烷基及其混合物所組成的群 如圖4、6、10、13及15中可見到的，該等巨型基團 可引致‘η·5’鍵結，如存在於這些結❹的末端㈣基陰離 子例證的。，然而’該等中心咪嗤基扮作將該二金屬中心連 在一起的‘架橋，陰離子，其中該等金屬一氮鍵的軸不在該味 坐基壤平面中，而是二者均指向該平面的_侧。不欲為任 何理論所束缚，咸信該等巨型基團引致η_4、η_3、η 2或 η卜而且更佳η_5鍵結的優先，並且當滿足此鍵結時，也 能經由該等巨型基團達成其他線性非平面鍵結，這可能起 因於經二巨型基團取代的味唾鍵結於該金屬之後的空間位 阻效應1此’在本發明中’當該等巨型基團的特徵為盆 賦予-性質給該心基以依η·4、η小β或η]及更佳^ 方式與金屬鍵結時，這並不會排除除了‘η·5，等等以外的 。他線性方式的鍵結，q僅描述㈣或較㈣鍵社形 式。沒有料巨型_，這Μ録將不會顯現偏好η.4、 …小…、及更佳η_5，亦即，非平面架橋鍵結。 未經取代的苯基並未顯現㈣㈣大性而無法基 二平面的三維度形狀内含於巨型基團的定義中，然而環己 儿具有充分的鍵角而能構成巨型基團。

S 88 201130803 此外’這些烷基取代基也可以下列配位基予以官能 化，例如醚、冠醚、胺'醯胺、氰基、異腈、亞胺、乙脒 (amidinine)、酯、吡啶、咪唑、吡咯、吡唑、噁唑 '異噁 唾、呋喃、喊啶、四氫呋喃基、環氧乙烷、吖啶、氧雜環 戊烧、1，3-二氧雜環戊烷、ι，4-二氯環己烷（M-doxane)、 1，3,5-二°惡烧、°比洛咬、六氫吼咬、喹核驗（quinuciidine)。 這些烷基取代基也可利用能被去質子化的基團，以致於利 用也能被去質子化的咪唑予以官能化，彼等形成二價陰離 子，該等二價陰離子可接著配位於金屬中心。此等基團包 括’但不限於：環戊二烯、吡咯、β_二酮、β_酮亞胺、β_ 二亞胺、醇、胺、醯胺、吡咯、酚、羧酸酯、脒基 '胍基。 藉由實施例20所述的2,4,5-三苯基咪唑的鋇錯合物製 備舉例說明第三丁基及類似的三維巨型基團，亦即，其中 R1=R2=R3=苯基’對比於平面基團，例如苯基，在創造揮發 性驗土金屬化合物時的效益，其中無法從反應混合物單離 出揮發性鋇物種。這與分別於實施例8及16所述的2,4,5-三第三丁基咪唑及2-(1，1-二甲基丁基）_4,5_二第三丁基咪 °坐的鋇錯合物，其分別顯示如圖5及16所例示的異常揮發 性’形成強烈對比。 用於ALD及CVD應用最眾所周知的鎖化合物群+組之 一為‘二茂鋇（barocene)’化合物，其中該鋇離子係配位於 二經多烷基官能化的環戊二烯基陰離子，例如三第三丁基 環戊_晞基（t-BhCp)。用TGA來薛選這些化合物的揮發性 /熱安定性。在此技術中，將該鋇化合物樣品放在微量天平 89 201130803 的盤中，在乾燥惰性氣體，例如氮，的穩定流之下以穩定 提高的速率加熱該鋇化合物樣品。當該樣品的溫度升高 時，該頷化合物以一直提高的速率汽化，並且藉由該微量 天平來檢測此重量損失。最終，該汽化停止，並且，關於 鋇’經常有不揮發性材料殘餘物。 非常希望有小量的殘餘物，因為這可解釋為若鋇作為 ALD或CVD方法的來源前驅物化合物時，可控制鎖的汽 化。此外，關於CVD或ALD方法，將許多金屬前驅物， 例如鋇前驅物’溶於溶劑中，並且在直接液體注射（DU)系 統π化此冷液。基本上，這包含將精確控制的溶液流量遞 送至汽化器内，在其中迅速加熱該溶液及其溶解的溶質並 且在減壓之下汽化。接著將所得的蒸氣運送至肖⑽或 ⑽反應器内。經常地’有小型化嘴嘴及窄口徑管用於該 π化器内側使該溶液成霧狀或單引進該汽化溫度之處。若 該溶質沒有完全汽化並且形成非揮發性殘餘物，這些細口 輕管會受到妨礙’藉以阻止任何其他的溶液流動。 因為這些理由’為了最好的DU表現，非常希望該似 Π中觀察到的不揮發性殘餘物儘可能少以免妨礙的殘餘 :㈣•這在工業用製造環境中尤其重要，其中此設備故 障的化費非常昂貴。 要注意分別關於該等分子四（2,45_三第三丁㈣哇基） :圖T(2-(1，1-二甲基丁基K5-二第三丁基Μ基)二鋇 及16中的TGA結果分別顯示僅3.53及2.99重量❶/。 的不揮發性殘餘物，其係極低 J m 表不本揭示内容的金 90 201130803 屬咪唑鹽錯合物比起其二茂鋇同系物，例如： Ba(tBu3C5H2)2(四氫呋喃），的優良汽化特性及及優異揮發 性。據記載後者具有4.2重量％的TGA不揮發性殘餘物 (Timo Hatanpaa, Marko Vehkamaki, Ilp〇 Mutikainen, Jarno

Kansikas and Mikko Ritala “Synthesis and characterization of cyclopentadienyl complexes of barium: precursors for atomic layer deposition of BaTi03» Dalton Trans., 2004, p.1181-1188)。然而，因為此TGA結果為該二茂鋇的四氫 呋喃加成物的，而非純二茂鋇，其似乎仿造低了，因為該 重量損失有一些純源於四氫呋喃的損失。考慮此差異時將 產生675/603 X 4.2 = 4.7重量％的校正值，其中675及6〇3 分別代表該二茂鋇四氫呋喃加成物及純二茂鋇的分子量。 實施例22及圖22中舉例說明四（2·第三丁基_4,5_二 (1,1-一甲基丙基咪唑基）二鳃的優良熱安定性，其中，在 ALD條件之下，四（2_第三丁基_4 5二〇 , i二甲基丙基味唾 基）二錯脈衝在基材表面上直到>3，c之前都沒顯示 解。 …、呷 的金屬口米。坐鹽類包括：四（2,4,5-卷-第三丁基π米唑 基）二鎖；四（2_第三丁基Μ·二二甲基丙基）咪唾基） -鋇，叫U山二甲基丁基”，5_二第三丁基咪唾基)二 銷，及，四（2_πι -田甘 ^ ((Μ·-甲基丁基Κ5-二(U-二甲基丙基)味 厂貝_，四（2,4,5-卷-第三丁基味唾基）二錯；四（2_第三 丁基4,5-_(1小二子基丙基）味唑基）二鳃；四 基丁基）-4,5-二筮-丁甘， V 、一甲 一第二丁基咪唑基）二锶；及四 __

91 I 201130803 基丁基）-4,5-二（1，1-二甲基丙基）咪唑基）二锶。 本發明也關於新穎的經鋇、锶、鎂、鐳及每取代的味 唑基為基礎的化合物的合成和用途及其藉由直接液體注射 用於蒸氣遞送的溶液，其中該咪唑基配位子陰離子之經取 代的較佳院基為巨型烴類，例如：第三丁基、第二戊美、 金剛烷基、環己基、新戊基，等等；並且可為含氮或氧的 烷基，例如：三級胺基或醚基。此外，這些新穎的化合物 也可配位其他中性配位子，例如醚類或胺類或烷氧基胺 類。電子拉引基，例如硝基或醯基，也可依咪唑基環取代 基的形式存在。 儘管不欲受理論所束缚，但是基團（例如硝基）藉著將 該較不易供給電子的咪唑基陰離子提供給鋇或鰓或其他鹼 土金屬而增進外加中性配位子（例如：四氫呋喃（THF)、二 甘醇二甲越、18_冠-6冠醚）的有效結合，而且進而，提高 該金屬對外加配位子的路易士酸性（Lewis acididty)，而且 進而，提高其對於該金屬的親和力。達到此較高的配位使 整個鎖或链化合物’與配位的配位子，例如THF，形同一 完整的化合物原封不動地汽化，而非先釋出此配位的配位 子。 本發明也包括一種鋇、銀、鎂、録或辦化合物的合成 方法’其係藉著使用一金屬試劑（例如六甲基二石夕氮烧頷或 鎖或氫化鋇）將該等咪唑基配位子直接金屬化，藉以在利用 標準置換型反應時提供有效的替代物，其中先以金屬氫化 物（例如氫化鈉）處理該咪唑以形成咪唑鈉（sodium

S 92 201130803 imidazoiate卜米嗤納接著與鋇或銷齒化物（例如埃化鎖或峨 化鋰等等）反應。 其他用於合成這些新化合物的新穎技術包括，但不限 於.該等咪唑配位子與呈蒸氣或經微細分散粉末形式的 鎖、錄、錢、鐳或妈金屬直接反應，或藉著在氨存在之下 與鋇或鳃金屬等等反應，或藉著使該等咪唑配位子與鋇金 屬在胺（例如，六曱基二矽氮烷）與氨存在之下反應。該等 新穎的化合物也可藉由電化學合成製備而成。 此外，各式各樣的金屬及金屬化試劑均可用以在與 鋇、锶、鎂、鐳或鈣來源反應之前有效地將該等咪唑配位 子去質子化。此等試劑包括，但不限於：鋰金屬、正丁基 鋰、正己基鋰、第二丁基鋰、第三丁基鋰、二異丙基醯胺 經、氫化鉀、六甲基二矽氮烷鉀鹽、氫化鈉、鈉金屬、六 甲基二石夕氮烧鈉鹽、卸金屬、頷金屬、第三丁氧基納、第 三丁氧基鉀。鋇來源包括，但不限於：碘化鋇、溴化鋇、 三氟醋酸鋇、六氟乙醯基丙酮鋇、三氟乙醯基丙酮酸鋇、 乙酿基丙酮酸鋇、二亞胺鋇、酮基亞胺鋇、脒基鋇、胍基 鋇、胺化鋇（barium amide)、烷氧化鋇、胺化鋇、碳酸鋇、 醋酸鋇 '碳酸鋇、曱酸鋇、丙酸鋇、苯氧化鋇、氫氧化锅、 氟化鋇、脒基鋇、乙脒鋇及該等鋇來源的锶、鎂、鐳及約 類似物。 本發明之新穎的經多取代的咪唑基鋇、鎂、鈣、勰或 鐳化合物係選自下列式E、、F、G及Η的結構，其中r1、 ,R2及R3係各自獨立地醯基、曱醯基、硝基、醯胺基、Η、

S 93 201130803 双、二級或三級烧基、一級、二級或三級稀或快、 1 IG燒乳基、C9_C2〇烧基苯基、烧基胺、以雜原子取代 的環t構（例如··咪°坐、吡°各、°比咬、β夫喃、鳴咬、吼嗤）官 能化的Ci-Cl〇烷基、以醯胺基官能化的C丨-c1()烷基及以酯 基官能化的C1*-C1()烷基；而且各個η獨立地=〇至4，較 佳地各個η獨立地=〇、丨或2。注意不含中性配位子的分 子，其中（Ι〇η中的η == 〇表示沒有配位的（L)配位子，也有 描述到。 混合錯合物也會產生，其中在咪唑基陰離子當中r1_3 有差異性地變化，而且接著將此混合物錯合於鋇或其他鹼 土金屬，以致於所得的鋇或金屬錯合物意味混合物。舉例 來說’若二不同咪唑基陰離子^及"混在一起，而且接著 錯合於鋇，則可製成三種獨特的鋇錯合物；亦即，Ba(ll)2、 Bafl2)及Ba(I2)2。若三種不同吡咯基陰離子卜、”及工3 混合’而且接著錯合於鋇，則形成六種鋇錯合物；亦即， Bafh、Bafl2)、Bafl3)、Ba(I2)2、Ba(i2i3)及 Ba(i3)2。 這些混合物為DLI用旳液體非常易溶的配方。另外，一味 唾基陰離子的基團R 可接合在一起或或可接合於另一 米 唑基陰離子的R1·3基團以將該二陰離子連在一起。該中性 配位子（L)係選自脂族Ci-C2〇醚或聚趟、冠謎類（例如18· 冠- 6)、胺或聚胺、炫氧基胺或聚院氧基胺、醯胺或聚酿胺、 酯或聚酯、芳香族醚、芳香族酯、芳香族醯胺、芳香族胺、 吡啶、咪唑、吡啶、吡嗪、呋喃、碳酸烷酯或吡咯。此外， 基團R1、R2及R3可被連接在一起以形成環結構。這些環

S 94 201130803

(L)n

式G S' 95 201130803

式Η R1

值得注意的是式F、G及H的二聚化合物構成起始材 料，中性配位子，例如甘醇二曱醚，加至該等起始材料以

S 96 201130803 創造加成錯合物。 在式E、F、G及Η中’ Μ為一第2族金屬，其係選 自：鎂、鈣、鳃、鋇、鐳，較佳鋰及鋇，更佳鋇。 除了上述錯合物以外，儘管不欲為理論所束缚，也可 製成混合鋇錯合物，其中一多院基化咪嗤基陰離子及一其 他有機或無機陰離子配位於鋇以製成一完整的錯合物。此 等選擇性陰離子的實例包括，但不限於，β_二酮酸根類、 醋酸根類、酮亞胺基類、二亞胺類、烷氧化物、酿胺類、 氫化物、β-酮基酯類、脒基類、胍基類、環戊二烯基、氰 化物、異氰化物、曱酸根、草酸根、丙二酸根、笨氧化物、 硫羥酸根、硫化物、硝酸根、烷基、曱矽烷基烷基、氟烷 基、芳基、咪唑基。其他鹼土金屬錯合物，如上所述，也 列入考慮。 透過這些含金屬的多烧基化吡咯作為供化學氣相沉 積或原子層沉積用的前驅物可達到數個優點，而且這些優 點包括： 於達於及超過每個循環一單層的高生長速率生長 ALD及CVD金屬氧化物及昆合金屬氧化物，例如：§τ〇 或B S T的能力； 直接在ALD$ CVD方法條件之下生長、结晶性金屬氧 化物及混合金屬氧化物膜，例如：ST〇及BST，的能力· 形成不對稱烷基化咪唑基的金屬咪唑錯合物以得到低 熔點或液態前驅物的能力； 以良好的產率形成反應性錯合物的能力； 97 201130803 v成與種或混合種類的配位子配位的單體熱安定 吐錯。物（特別是錯及鋇錯合物）的能力，由此達成比習知 銘及鋇削驅物更局的蒸氣壓。習知的鎖及鎖前驅物為具有 較，蒸氣壓的聚合性錯合物或具有低熱安定性或含有相對 大置的不揮發性殘餘物的單體化合物； 形成適用於微電子裝置的高保形金屬氧化物薄膜的 能力； 由於該等錯合物的高化學反應性造成增進該含金的 烧基化米唾基陰離子與基材表面之間的表面反應的能力； 及， 由變更R1 3基團調整這些含金屬之經多取代的咪唑 基陰離子的物理性質的能力。 此外，金屬錯合物也可經由將二不同經多取代的咪唑 基陰離子配位於金屬中心、（例如铜）製成，使得該二配位子 彼此並在該金屬周圍經歷最理想的‘擬合，或‘互鎖，以便提 供最適合的配位球而建立穩定的單體錯合物。 儘管不欲為理論所束缚，但是此揭示内容的分子為 CVD或ALD方法中使用的優良前驅物，該cvd或方 法藉著使該等分子在應用電漿放電存在或不存在之下接連 或同時與氧化劑(例如：水、醇、氧、臭氧、—氧化氮、二 氧化氮、過氧化氫或其組合）—起反應而沉積含驗土金屬氧 化物的膜。此外’此揭示内容的鋇及链分子可以CVD、脈 衝CVD或ALD模式或混合脈衝cvd/ald方法與欽前驅物 (例如：统氧基鈦/二_根、烧氧基敍/㈣、燒氧化欽、

S 98 201130803 環戊二烯基鈦、胺化鈦、含咪峻基鈦的前驅物、含吼。各鈦 的前驅物或其組合）反應以沉積BST (鈦酸鋇鳃）膜，由於其 南介電係數所以極有價值。此外，本揭示内容的鋇錯合物 可以CVD、脈衝CVD或ALD或混合脈衝CVD/ALD模式 與酮亞胺錄及欽前驅物（例如：烧氧基/二_酸鈦、烧氧基鈦 /酮酯、烷氧化鈦、環戊二烯基鈦、胺化鈦、含咪唑基鈦的 前驅物、含吡咯鈦的前驅物或其組合）反應以沉積5§1膜。 這些新穎的前驅物分子能遞送異常高的沉積速率，原 因是其能以非常新穎的表面吸附及反應模式進行的能力。 因此，當使用該新穎的前驅物時，能達成於35〇〇c下每個 循線> 2.5埃的沉積速率，其代表約5倍的典型生長速率。 這樣的每個循環生長的增進非常Η，因為其能在工業製 &時有每單位時間較尚的晶圓處理量，因此代表實質的節 省。此外，咸信此揭示内容的新穎咪唑基配位子同樣允許 其他金屬及含金屬膜的提高生長速率。 本揭示内谷的别驅物非常適合作為、CVD、脈衝 電漿增進ALD (PEALD)或電漿增進CVD (pECVD) 用的揮發性刖驅物’該等揮發性前驅物係用於製造半導體 1 ^子裝f例如供g己憶體應用例如倾裝置用的微 電容器電池。該等前驅物也非常適用於製造高溫侦測器 (pyrodetector)裝置。 本案的前驅物也可輕易溶於廣大範圍的溶劑中，而且 式中使用所4的溶液以將這些前驅物的蒸氣流供 入ALD或CVD反應器。由於低熔點，.彼等具有異常可溶 § 99 201130803 性，包括在下列溶劑中的溶解度：烷基醚類、烷基胺類、 烷氧基胺類、芳香族醚類、芳香族胺類、醯胺、酯類及烴 溶劑類。後面二物種特別引人注目，原因其能乾燥至低= ppm水準的水分的能力。示範本發明中可用的溶劑之溶劑 為胺基醚類，例如BL-19，甘醇二甲醚類（例如二丙二醇二 甲醚，例如，DPGDME)、五甲基-二乙三胺、Ν，Ν_:曱基環 己基胺、Ν-曱基二環己基胺、二曱基_4嗎啉乙胺、笨甲趟 (甲氧基基）、笨乙醚（乙氧基笨）、甲苯、均三甲笨、枯烯（異 丙基苯）、對-傘花烴（4-異丙基甲笨）、丨，3_二異丙基笨、辛 烷、十二烷、1，2,4-三曱基環己烷、正丁基環己烷及十氫萘 (萘烷本案的前驅物也可儲存並且用於不銹鋼容器中。 本案的前驅物也可與其他適合的金屬前驅物混合，該 混合物用以遞送同時用於生長二元金屬氧化物或氮化物 膜的二金屬。舉例來說，本揭示内容的锶前驅物可與適合 的鈦前驅物混合，該鈦前驅物包括以咪唑基為基礎的鈦前 驅物’以供生長鈦酸锶（31>0)膜。同樣地，本揭示内容的 鎖前驅物可與適合的鰓前驅物及適合的鈦前驅物混合，該 銘前驅物包括咪唑基為基礎的锶前驅物，該鈦前驅物包括 味唾基前驅物，以供生長鈦酸鋇锶（BST)膜。同樣地，本 揭示内容的鋇前驅物可與適合的鈦前驅物混合，該鈦前驅 物包括以咪唑基為基礎的鈦前驅物，以供生長鈦酸鋇（ΒΤ〇) 臈。 本發明亦為藉由ALD或CVD沉積含金屬膜的方法， 胃方法包含使用上述本發明的金屬咪唑鹽結構。

S 100 201130803 較佳地，本發明包括藉著使本發明的金屬咪唑鹽結構 與氧化劑反應沉積含金屬膜的方法，該氧化劑係選自由 水、醇、氧、臭氧一氧化氮、三氧化氮、過氧化氣或其 組合所組成的群組以生長含金屬膜，該含金屬膜係選自由 氧化鋇、氧化1¾、氧化鎂、氧化㈣或氧化鐳及其混合物所 組成的群組’該方法使用介於約0.001至約1〇〇〇托耳的反 應器壓力及0至1〇〇〇。(：的溫度。 更佳地，本方法造成每個循環埃的氧化鋇沉積。又 更佳地，該氧化鋇的沉積為每個循環>15埃。又更佳地， 該氧化銷的沉積為每個循環>2埃。 或者，該方法造成每個循環>1埃的氧化锶沉積。較佳 地，該氧化鳃的沉積為每個循環〉^埃。更佳地，該氧化 锶的沉積為每個循環>2埃。 有一具體實施例中，本發明的方法包括使本發明的咪 唑基鋇鋇結構與鈦前驅物的交錯脈衝依ALD或脈衝 模式反應以生長BST膜，該鈦前驅物係選自由烷氧化鈦、 烷氧化鈦/二酮酸根、環戊二烯基鈦、胺化鈦、咪唑基鈦及 其混合物所組成的群組。 在另一具體實施例中，本發明為包括使本發明的咪唑 基勰結構與鈦前驅物的交錯脈衝依ALD或脈衝cvd模式 反應以生長STO膜的方法，該鈦前驅物係選自由烷氧化 鈦、烷氧化鈦/二酮酸根'環戊二烯基鈦、胺化鈦、咪唑基 欽及其混合物所組成的群組。 另一具體實施例為使本發明的咪唑基鋇結構與鈦前驅 ιοί s 201130803 物的交錯脈衝依ALD或脈衝CVD模式反應以生長BT〇膜 的方法，該鈦前驅物係選自由烷氧化鈦、烷氧化鈦/二酮酸 根、烷氧化鈦/酮酯、環戊二烯基鈦、胺化鈦、咪唑基鈦及 其混合物所組成的群組。 又另一具體實施例為使本發明的咪唑基鋇結構與锶化 合物及鈦化合物依ALD、CVD或脈衝CVD模式反應以生 長BST膜的方法’該锶化合物係選自由酮亞胺锶、二酮酸 锶及其混合物所組成的群組，而且該鈦化合物係選自由烷 氧化鈦、烧氧化鈦/二酮酸根、烧氧化鈦/酮酯、環戊二烯基 鈦、胺化鈦及其混合物所組成的群組。 又另一具體實施例為使申請專利範圍第.13項之咪唑 基結構與i化物氣體依ALD、CVD或脈衝CVD模式反應 以生長MX?的方法’其中χ=鹵化物而且μ係選自由Ba、 Sr、Mg、Ca、Ra及其混合物所組成的群組，該鹵化物氣體 係選自由HC1、HF、SiCU、HBr及其混合物所組成的群組。 一種合成本發明的咪唑基結構的方法，該方法係藉由 咪唑與金屬試劑的直接金屬化，該金屬試劑係選自由下列 所組成的群組：正丁基鋰、正己基鋰、第二丁基鋰、第三 丁基鋰 '二異丙基醯胺鋰、氫化鉀、氫化鈉' 鈉金屬、鉀 金屬、第三丁氧基鈉、第三丁氧基鉀、六甲基二矽氮烷鉀 鹽'/、甲基二石夕氮烧納鹽；並且接著使所得的產物與選自 由下列所組成的群組的反應物反應而進行：鹼土金屬璜化 物、驗土金屬醋酸鹽、驗土金屬敌酸鹽、驗土金屬碳酸鹽、 驗土金屬甲酸鹽、鹼土金屬溴化物、驗土金屬三氟醋酸鹽、

S 102 201130803 鹼土金屬六氟乙醯基丙酮酸鹽、鹼土金屬三氟丙酮酸鹽、 鹼土金屬乙醯基丙酮酸鹽、鹼土金屬二亞胺、鹼土金屬酮 亞胺、鹼土金屬脒鹽、鹼土金屬胍鹽及其混合物。 一種直接合成本發明的咪唑基結構的方法，其係利用 一試劑使多烷基化咪唑反應而進行，該試劑係選自由下列 所組成的群組：鹼土金屬醯胺化物、鹼土金屬苯氧化物、 驗土金屬氫氧化物、驗土金屬烧基物、驗土金屬芳基物及 其混合物。 在一選擇性具體實施例中，本發明為合成本發明的咪 唑基結構的方法，其係於氨存在之下使咪唑與鹼土金屬反 應。 另替代方案為合成本發明的味嗤基結構的方法，其 係於胺與氨存在之下使咪唑與鹼土金屬反應。 本發明亦為一種生長介電膜的方法，該介電膜係選自 由下列所組成的群組：ST0及BST，該方法使用本發明的 金屬咪唑鹽類混合物以形成選自由動態隨機存取記憶體 (dram)及高溫計裝置(pyrometric devices)所組成的群組之 微電子裝置。 或者，本發明為一種使用本發明的咪唑基結構製造微 電子裝置的方法，該微電子裝置係選自由下列所組成的群 組.非揮發性鐵電微電子記憶體裝置、用於電致發光顯示 器的顯示燐光體（display phosphor)、高Tc超導裝置。 在又另一具體實施例中，本發明為一種藉由ALD或 .)CVD生長金屬金屬氧化物或氮化物膜的方法，其包含：提 103 201130803 供本發明的咪唑基鋇或鰓結構聯合溶於溶劑中的鈦來源， 該溶劑係選自由下列所組成的群組：㈣、胺基越、酿胺、 酯、芳烴或烴溶劑；及經由DLI系統遞送所得溶液以提供 該所得溶液的蒸氣流以藉由ALD或CVD生長該金屬氧化 物或氮化物膜。 實施例 實施例1 2,5 -一第二丁基咪n坐的合成 使5.44g (0.04莫耳）的2,2-二曱基丙醯亞胺酿胺鹽酸 鹽與在16.0g的二乙基甲醯胺（DEF)中的7 2 g (〇 〇4莫耳） 的1-溴第三丁基乙酮（br〇m〇pinac〇i〇ne)&丨丨2g的三乙基 胺混合並且於室溫下攪拌7天。接著將反應混合物倒入水 中並且以50 ml單位的己烷萃取三次。合併數個己烷部分 並且以50 ml等分量的水清洗三次。該己烷層接著與5g的. 無水硫酸鎮一起攪拌整夜。該己烷接著經由真空移除至5 ml的體積以產生微細懸浮液。過濾此懸浮液並且以新穎己 烷清洗所得的固體以產生4 22g (理論值的59%)的無色微 細結晶性產物，經由氣相層析法測得99%純度。質譜儀於 180amii得到母離子。結構藉由χ_射線晶體學來確認（參見 圖1)。 GCMS. ln NMR ： (5〇〇 MHz, D8 THF): d = 1.23 (s, 9H), d = i>3 (Sj 9H)，d = 6.48 (s，lH)，d = 10 (bs，1H).

S 104 201130803 »H NMR : (500 MHz, D8 THF): d = 30.3 (s, 3C)S d = 30.8 (Sj 3C), d = 32.1 (s, 1C), d = 33.6 (s，1C)，d = 111 (bs，ic)，d =148 (bs, 1C), d = 155 (s, 1C). X-射線 實施例2 2,2,5,5-四甲基-3-己酮的合成 將2-氯-2-f基丙烷（75 g，0.8莫耳）緩慢地加至在 800mL的THF中的鎂粒（19.5§，〇.8莫耳）以製成格林納試 劑，t-BuMga。將此緩慢地加至氯化亞銅（49 5 g，〇 5〇莫 耳）及第三丁基乙酿氯（67.25 g，0.50莫耳）的混合物中，在 乾冰中冷卻至-50°C。添加之後，令該混合物暖化至室溫整 夜❶藉由減壓移除大部分的THF，接著添加500mL的己貌 及200mL的2M HC1。過濾、此混合物以除去固態副產物。 以1 OOmL的己烧清洗水層3次，以200mL的2M HC1清洗 該己烷層3次，200mL的NaHC03/水2次，200mL的水1 次’最後200mL的NaCl/水1次。該產物混合物接著在 MgSCU中乾燥1小時’後續藉由過濾移除。接著藉由大氣 蒸餾移除己烷。. v 產量=61g (理論值的78%)。 藉由質譜儀識別的產物的母離子為156 mu，NMR與下列文 獻一致：D.P Bauer，J. Org. Chem.，Vol. 40, No. 13，1975, 1990-1992。 105 201130803 實施例3 4-漠·2,2,5,5-四曱基-3-己酮的合成 將24§的Ν•溴丁二醯胺（〇 1344莫耳）加至在的 三曱基乙腈十的1〇g 2,2,5,5-四甲基-3-己嗣（0.064莫耳）。 對此混合物，在5分鐘内添加l〇g醋酸銨（0.1344莫耳）。 將此混合物迴流整夜接著加以過濾。對該濾液，添加24g 的N_ 丁二醯胺（〇.1344莫耳）及l〇g的醋酸銨（0.1344莫

耳），接著迴流5小時。接著冷卻該反應混合物，添加6〇〇mL 的水，並且接著過濾所得的混合物。以5〇 的己烷清洗 水層3次。合併數個己烷部分，以5〇 ml水清洗三次接 著以無水硫酸鎂乾燥。藉由於大氣壓力餾除該己垸以收集 產物》 產量=11.6g (理論值的77%)。 藉由質譜儀識別的產物的母離子為236 mu，NMR與下列文 獻一致：D.P Bauer，J. 〇rg. Chem.，Vol· 40, No. 13，1975, 1990-1992’ 程序參考資料：KTanemura, chern Commun. 2004, 470-471 。 實施例4 4-羥基-2,2,5,5-四曱基-3-己酮的合成 將5g (0.125莫耳）的風氧化納粉末加至在l〇g乾燥二 乙基甲醯胺中的11.6g(.05莫耳）4-溴_2,2,5,5·四甲基_3. 己酮。將此反應混合物加熱至11〇。(：歷經2小時，冷卻至 至'/jia並且添加6 0 0 m L的水及2 0 0 m L的己烧。收隼己院層並

S 106 201130803 且以50 ml的額外己烷清洗水層3次。接著合併數個己燒 部分，以50 ml的水清洗3次，接著以MgSCU。在藉由大 氣蒸德移除己烧•之後以結晶性固體形式收集該產物。 產量=5.2g (理論值的60%)。 藉由質譜儀識別的產物的母離子為172 mu。 實施例5 2,2,5,5-四甲基-3,4-己二酮的合成 將7.8g (0.045莫耳）的2,2,5,5_四甲基_4_羥基_3_己綱 溶於90ml的己烷並且利用含有1.8g (0.045莫耳）的氫氧化 鈉之157ml的1Μ過錳酸_水溶液劇烈攪拌。接著將此混 合物迴流整夜。該混合物接著冷卻至室溫並且分離該己烧 層。接著以50 ml的己烷萃取該水層3次。接著合併數個 已烷溶液並且在透過無水硫酸鎂乾燥之前以5〇 ml的純水 清洗3次。接著過濾該混合物並且於大氣壓力下館除己烧 以產生6.3 g的2,2,5,5-四甲基-3,4-己二酮（理論值的82〇/〇)。 藉由GCMS識別的產物的母離子為.170 mu，與下列文獻結 果一致· G. A. Olah and .A.Wu，J. Org. Chem.，56，904-906 (1991)。 實施例6 2,4,5-三第三丁基咪唑的合成 使1.6g (0.0094莫耳）的2,2,5,5-四甲基-3,4_己二酮與 2.9g (0.037莫耳）的醋酸銨、3 4g (〇 〇57莫耳）的醋酸及

S 107 201130803

Kg (0.G19莫耳）的新戊齡在密封容器中溫合並且加熱至 "0C歷經72小時。接著冷卻此混合物並且緩慢加至過量 的飽和碳酸氫鈉水③液β α 3X5Gml &己炫萃取所得的混 合物。合併數個己烷部分，以20ml等分量的純水清洗3次， 接著透過無水硫酸鈉乾燥。己烷的汽化產粗製2,4,5_三第三 丁基咪唑的水合物（每個水分子二分子的咪唑）^接著藉由 於50 ml的六甲基二矽氮烷中迴流此產物48小時以將此產 物乾燥。接著使該六甲基二矽氮烷及六曱基二矽氧烷（由該 乾燥製程形成）汽化，並使所得的固體於60C昇華以得到無 色晶體，產生1.3g (理論值的58%)。 *H NMR : (500 MHz, C6D6)： d = 1.24(s, 9H), d = 1.26(s, 9H), d = 1.65(s, 9H), d = 8.07(bs, 1H). 13C NMR : (500 MHz, C6D6): d = 30.0 (s, 3C), d = 31.7〇 (s, 1C), d= 32.26 (s, 3C), d= 32.87 (s, 1C), d= 33.18 (s, 3〇, d = 34.07 (s, 1C), d = 130.16(S) 1C), d = 143.84 (s, l〇, d = 149.21(s, 1C). 質譜儀：236 mu (母離子）. 同樣藉由X-射線晶體學確認該2,4,5-三第三丁基咪唑的結 構，參見圖2。 除了使用本揭示内容的合成途徑製備空間位阻味η坐以 外’預料也可使用多數其他途徑。這些包括藉由打斷特定 環鍵概念上拆解該五員咪唑環以產生帶有所需的巨型基團 的片斷。接著藉由將這些片斷接在一起以形成最終的咪唑

108 S 201130803 產物而導出這些片斷的合成。 實施例7 丁基咪唑基）（四氫呋喃）鋇的合成 雙 U，4,5 在氮的環境之下，配合授拌將〇.292 g(〇 〇〇i24莫耳) 的乾燥2,4,5-三第三丁基咪唾溶於51111的乾燥四氣吱味。 對此添加0.37g(0.00062莫耳)的雙(六甲基二石夕氣烧)雙(四 氫呋喃）鋇溶於5 ml的四氫呋喃中的溶液。於室溫下攪拌此 混合物3小.接著藉由應用真空使該四氫料及副產物 六甲基二石夕氮炫汽化’並且將所得的白色固體溶於imi的 乾燥己院。接著藉由煮沸至〇.5ml濃縮所得的溶液並且於 室溫下靜置。這產生0.3g (理論值的83%)呈無色棱柱狀的 雙（2,4,5·三第三丁基坐基）（四氫吱喃）鋼。藉由單晶_ 線繞射確認結構，參見圖3。 H NMR : (500 MHz, C6D6): d = 1.29 (m, 4H), d = 1>49 (s> 18H)，d = 1.59 (m，36H)，d = 3.82 (m，4H), ，3C NMR : (500 MHz, C6D6)： d = 25.72 (s, 2C), d = 3〇.i (s, 1C)，d = 31.5 (s，3C)，d = 33.7 (s，6C)，d = 34 % (s，2c“ : 69.95 (s, 2C), d = 147.75 (s, 1C), d = 159.77 (s, 1C) 實施例8 四（2,4,5-三第三丁基咪唑基）二鋇的合成 在氮的環境之下，將1.18g (0.005莫耳）的2 4 5三第 三丁基咪唑溶於10ml的乾燥己烷及〇.4g(〇 〇〇25莫耳）的雙 201130803 [2-(N，N-一甲基胺基）乙基]驗。對此混合物，逐滴添加丄^ (0.0025莫耳）的雙（六甲基二矽氮烷）雙（四氫呋喃)鋇溶於 10 ml的乾燥己烷中的溶液並且攪拌該混合物整夜。接著在 真空之下移除該等溶劑並且使所得的固體於l6〇c昇華2 次以產生〇.6g (理論值的47%)的雪白色固體，熔點（Mpt) 150°C，藉由χ_射線晶體學界定其特徵，參見圖4。 藉由TGA測定四（2,4,5-三第三丁基咪唑基）二鋇的汽 化特徵造成僅3.5重量％殘餘物，如圖5所示。 Ή NMR : (5〇〇 MHz, C6D6): d = 1.46 (6, 36H), d = l.5〇 (s, 18H) ’ 實施例9 四（2,4,5-三第三丁基咪唑基）二鳃的合成 _在氮的環境之下，將i.Ug (0.005莫耳）的2,4,5_三第 土咪唑，合於l〇ml的乾燥四氫呋喃。接著將 莫耳）的雙（六甲基二矽氮烷）雙（四氫呋喃）锶溶於 的乾燥四氫呋味，並且配合攪拌將此溶液逐滴加至 =4,5-二第三丁基咪唑溶液並且攪拌所得的混合物整夜。接 —真工之下移除該等溶劑並且使所得的固體於150C昇 ι 人以產生〇.5g (理論值的36%)的雪白色固體，MPt c藉由X-射線晶體學界定其特徵，參見圖6。 實施例10 ，3,6,6-四曱基-4,5-辛二酮的合成 201130803 在氮的包覆之下，藉由〇.5ml的12_二溴乙烷的添加 活化在780ml的四氫呋喃中的18 72g(〇 78莫耳）鎂屑。接 著緩慢添加2-氯-2·甲基丁烷（96mL·，0.78莫耳），造成格 林納試劑逐漸形成，伴隨反應放熱作用。接著將此格林納 試劑緩慢加至l12g(0.78莫耳）的溴化銅及67g(〇刀8莫耳） 的溴化鋰溶於340mL的四氫呋喃中的混合物，冷卻至 -65°C。等所有格林納試劑添加並且溫度穩定於65。匚之後， 緩慢添加在l00mL四氫呋喃中的26mL (〇 3〇莫耳）草醢 氣，將混合物溫度保持於。於_6^c下攪拌所得的混 。物1小時，接著暖化至室溫整夜。接著藉由真空移除90% 的四氫呋喃THF。接著將500ml的己烷及3〇〇mL的飽和氣 化銨水溶液加至所得的漿液，並且分離出己烷層。接著進 一步以3批200ml的己烷萃取水層。接著以2〇〇ιη[的水清 洗合併的己烷層，接著透過1〇g的無水硫酸鎂乾燥丨小時。 接者濾除硫酸鎂並且於大氣壓力下餾除己烷以產生呈橘紅 色液體的粗製產物二酮。產f =32.2g (理論值的54%)。 質譜儀：198rmi(母離子）。 實施例11 第一丁基-4,5-二（1，1_二甲基丙基）咪唑的合成 在密封的不銹鋼容器中將32.3g (0.163莫耳）的3,6,6_ 四甲基_4,5_辛二酮、5〇g(〇-652莫耳）的醋酸銨、36mL(〇 326 莫耳）的新戊醛及56mL (〇 978莫耳）的醋酸的混合物加熱至 2〇〇°C3天。以碳酸氫鈉溶液中和所得的產物混合物，接著

S 111 201130803 以4批加㈣的己烷加以萃取。以⑽社的水清洗合併的 己烷層3次，接著100ml的飽和氯化鈉溶液。添加i〇g的 無水硫酸鎂並且攪拌整夜。過濾接著藉由真空移除己烷產 生呈黃色油狀物的粗製產物。產量31 5g (理論值的73%)。 質错儀：264 mu (母離子）。 實施例12 四（2第—丁基-4,5· 一（1，ΐ·二曱基丙基）啼唾基）二链的合成 在氮的包覆之下，於室溫下歷經5分鐘逐滴將溶於2〇 ml的乾燥四氫呋喃中的113g ((〇〇〇2莫耳）的雙（六曱基 二曱矽烷基醯胺）雙（四氫呋喃）鋰逐滴加至溶於2〇 mi的乾 燥四氫呋喃中的l.08g (0.004莫耳）的2_第三丁基_45_二 (1，1-二甲基丙基）咪唑並且攪拌所得的混合物2小時。接著 在真空之下移除THF及副產物六甲基二矽氮烷。接著在真 空之下於200C下蒸餾所得的粗製產物以產生〇 5g的無色 玻璃狀固體。使此固體於己院中再結晶以產生無色棱柱 體’ MPt 103C » 產量=理論值的40%。 NMR ： (5〇〇 MHz, C6D6)： d = 〇.82(t, 12H), d = 1.41(s, 24H)’ d = 1.54(s，18H)，d = 1.74(q，8H)。藉由單晶 X·射線 分析確認結構，參見圖8。 實施例1 3 四（2-第三丁基二曱基丙基）咪唑基）二鋇的合成

S 112 201130803 在乾燥氮的環境之下，將6〇g (〇〇ι莫耳）的雙（六甲 基二石夕氮貌)雙(四氫咬喃)鋇溶於15 ml的乾燥四氫咬喃中 的溶液逐滴加至溶於30 ml的乾燥四氫。夫喃的5.28“〇〇2 f耳）的第三丁基^一二以二甲基丙奸米^授摔所 付的犯合物整夜’其後藉由真空作用移除溶劑及六甲基二 夕氮烷#著於195 C下真空蒸顧所得的壤質固體以得到 (第丁基4,5 一 G，1-二甲基丙基）咪唑基）二鋇的澄清 無色液體餾出物’靜置整夜之後使其固化。產量W (78%)。藉由χ_射線證實結構，圖i〇。Mpt6m !H NMR : (500 MHy Γ n \ j Λ Λ 1 Ηζ，C6D6): d = 0.85 (t，12Η)，d = 1.39 (s, 24H), d - 1.53 (s, 18H), d = 1.76-1.81(q, 8H). 實施例14 2-(l，l-二甲基丁基>4,5_二第三丁基咪唑 使I5g ( 0.09莫耳）的2,2,5,5-四甲基-3,4-己二酮與 42g (0.55莫耳）的醋酸銨、32g (〇53莫耳）的醋酸及 2〇.52g (0.18莫耳）的2,2_二甲基戊醛混合並且於密封容器 中加熱至200C歷經48小時。接著此混合物冷卻至9〇c>(：， 並且在減壓之下餾除大約90%的醋酸《接著以大約1〇〇 ml 的己烷稀釋殘餘的粗製產物並且配合強烈攪拌使用飽和碳 酸氫鈉水溶液中和至pH 7。以2〇〇 ml的己烷萃取所得的混 合物3次。合併數個己烷部分，以50ml等分量的純水清洗 3次，接著透過無水硫酸鈉乾燥。經過整夜攪拌之後，接 著留下該硫酸鎂輕輕倒出該溶液並且接著透過分子篩靜置 113 201130803 整夜。接著移除該等分子篩，於大氣壓力下餾除該己烷， 並且在100毫托耳的壓力之下於15〇〇c下蒸餾所得的產 物。產量=13.5g (理論值的57%)的2-(1，1-二甲基丁 基）-4,5 - 一第三丁基咪η坐。 H NMR : (500 MHz, C6D6): d = 0.79(t, 3H), d = 1.19-1.23(m, 2H), d = 1.24(s, 9H), d = 1.26(s, 9H), d = 1.53-1.57(m5 2H), d = 1.65(s, 6H). 實施例15 四（2 (1，1-一甲基丁基）_4,5二第三丁基咪唑基）二錯 在乾燥氮的環境之下，將5.54g(〇〇1莫耳）的雙（六甲 基二矽氮烷）雙（四氫呋喃）鳃溶於15 ml的乾燥四氫呋喃中 的/合液逐滴加至溶於3G ml乾燥四氫吱。南的$㈣（〇㈣ 莫耳）2第—了基_45二（1;1二甲基丁基）味。坐。於室溫下 12天，其後藉由真空移除該溶劑及六曱 攪拌所得的混合物 基二石夕氮烧。力100毫托耳下真空蒸傲所得的粗製產物， 從150至205 C收集呈澄清液體的主要部分的四（2-(1，1-土）4,5 —第二丁基咪唑基）二鎮，於室溫下將其 固化成玻璃，緩慢地結晶化整夜。產i 3.5g (理論值的 6〇%)°藉由單晶Χ·射線繞射使用由己燒溶液所生長的晶體 證實結構，參見圖 13° TGA/DSC 顯示 99.8。(：的熔點及 8.17 重量％的不揮發性殘餘物。 =°·91 (t, 6H), d = 1.27-1.32 54 (s，12H)，1.75-1.80 (m， H NMR . (500 MHz, C6D6)： d (m，4H)，d = 1.45 (s，36ii)，d = 201130803 4H). 實施例1 6 (2 (u-一 ψ基丁基）_4,5二第三丁基口米嗟基）二鋇 斤燥氮的％境之下，將6.03g (〇.〇1莫耳）的雙（六甲 一氮烷)雙(四氫咬痛)鋇溶於15 ml的乾燥四氫咬喃中 的'合液逐滴加至溶於3G ml乾燥四氫1Ή中的5.28g (0.019 莫耳）2 (l，l__f基了基）4 5二第三丁基㈣。於室溫下 擾拌料的混合物7天，其後藉由真空移除該溶劑及六甲 基一矽虱烷。於5〇毫托耳下真空蒸餾所得的粗製產物，從 170至18〇〇C收集呈澄清液體的主要部分的四（2-GJ-二甲 基丁基）-4,5-二第三丁基咪唑基）二锶，藉由冷卻至室溫將 其結晶化。產量4.8g (理論值的72%)。藉由單晶χ射線繞 射使用由己垸溶液所生長的晶體證實結構，參見圖15。 TGA/DSC顯示i28〇c的熔點及僅2 99重量％的不揮發性殘 餘物。 NMR ： (500 MHz, C6D6): d = 〇.92(t, 6H), d =1.28-1.4(m, 4H), d = 1.46(s, 36H), d =1.5(s, 12H), d =1.73-1.82(m, 4H). 實施例17 2-(1，1-二甲基丁基）_4,5_二（1，1_二甲基丙基）咪唑的合成 使20g ( 0.1莫耳）的3,3,6,6-四甲基_4,5_辛二酮與46g (0.6莫耳）的醋酸銨、30g (〇_6莫耳）的醋酸及u 4g (〇」莫 耳）的2,2-二甲基戊酸混合並且於密封容器中加熱至2〇〇c 115 201130803 歷經48小時。接著此混合物冷卻至9〇〇c，並且在減麼之 下餾除大約90%的醋酸。接著以大約1〇〇ml的己烷稀釋殘 餘的粗製產物並且配合強烈攪拌使用飽和碳酸氫鈉水溶液 中和至pH 7。以200 ml的己烷萃取所得的混合物3次。合 併數個己烷部分，以50ml等分量的純水清洗3次，接著透 過無水硫酸鈉乾燥。經過整夜攪拌之後，接著留下該硫酸 鎂輕輕倒出該溶液並且接著添加乾燥分子篩。經過整夜靜 置之後移除該等分子篩，於大氣壓力下餾除該己烷，並且 在1〇〇毫托耳的壓力之下於15〇〇c下蒸餾所得的產物。產 量=15g (理論值的51%)的2_(11_二甲基丁基）45_二 —甲基丙基）味吃。 *H NMR ： (500 MHz, C6D6)： d = 0.69(t, 3H), d = 〇.82(t, 3H), l.〇(t, 3H), d = 1.15-1.2(m, 2H). d = 1.19(s, 6H), d = 1.25(s, 6H), d = 1.52-1.60(m, 4H), d = l.59(s, 6H), d = 1.96-2.0(q, 2H), d = 8.0(bs, 1H). 實施例1 8 四（2 (1，1-一甲基丁基5二二甲基丙基）味唾基）二 錄的合成 在乾燥虱的環境之下，將7.46g(0.0135莫耳）的雙（六 曱基二矽氮烷)雙(四氫呋喃)锶溶於50 ml的乾燥四氫呋喃 中的"合液逐滴加至溶於5〇 W乾燥四氫呋喃中的7 (0.0269 莫耳）, ，-二曱基丁基）-4,5-二（1，1·二甲基丙基） 咪唑。於室溫下橹她 先#所付的混合物2天’其後藉由真空移

S 116 201130803 除該溶劑及六曱基二矽氮 烷於50耄托耳下真空蒸餾所得 的粗製產物，收隼主 收杲主要部分的四叫仏二甲基丁基）_4,5_ 二（ι，ι-二甲基丙基）咪唑基）二锶。 4 NMR : (500 ΜΗζ Γ η、』 MHz，C6D6):d = 〇.77(tl2H)d = 〇87(t6H)， <i = 1.1-1.23(m, 4H) d = i ^ ， .38 (s，24H)，d = 1.51 (s，12H)，d = 1.62-1.75 (m, 12H). 實施例19 四㈣，1·二甲基丁基WU-二甲基丙基）咪。坐基）二 鋇的合成 在乾燥氮的環境之下，將7.0g (0.0116莫耳）雙（六曱 基二矽氮烷)雙(四氫呋喃)鋇溶於50 ml乾燥四氫呋喃中的 溶液逐滴加至溶於5G ml乾燥四氫㈣中的8.llg (0,0277 莫耳）2-(1,1-一甲基丁基）4 5二（ι ι二甲基丙基）味唑 (過量1 9 /〇)於至/Jtt下攪拌所得的混合物2天，其後藉由 真空移除該㈣及六甲基m接著於靡⑽毫托 耳下從粗製反應產物真空蒸餾出產物及過量的-二曱 基丁基）-4,5-一（1，1_二曱基丙基）咪唑。接著藉著於 下真空蒸餾移除過量的咪唑配位子以產生呈黏稠的琥珀色 液體的四(2-(1,1-二曱基丁基)·4,5二二甲基丙基”米唑 基）二鋇，藉由靜置將其緩慢結晶化。Mpt36C>c，產量5 & (62 /〇)。從己烷的再結晶產生無色晶體，% 4〇c，TGA 殘餘物 6.77 重量 ％JHNMR : (5〇〇MHzC6D6):d = 〇84(t, 12H), d =0.93(1, 6H), d = 1.22-1.35(m, 4H), d = 1.39(s, 24H), s 117 201130803 d = 1.53(s, 12H), d = 1.7-1.8 (m, 12H) 實施例20 雙（2,4,5-三phenylyl咪唑基）鋇的合成 在乾燥氮的環境之下，將〇.6g (0.002莫耳）的2,4,5· 三笨基咪嗤溶⑨10 ml的乾燥四氫咬嗔。接著製備〇.6g (〇.〇〇1 #耳）的雙（六曱基二石夕氮燒）雙（四氫吱喃）鎖溶於 WnU的乾燥四氫μ中的溶液並且加至2 4 5三苯基口米。坐 溶液，並且將所得的混合物攪拌整夜。接著在真空之下移 除该溶劑及六甲基二矽氮烷，產生黏稠的焦油其最後固 化。應用真空及>2〇〇。(：的熱沒釋出任何揮發性產物。 實施例21 使用四（2-第三丁基-4,5_二（Μ_二曱基丙基）咪唑基）二勰進

行氧化锶的ALD 在氮的環境之下，將50g的四（2-第三丁基·4,5_二（1 1-二甲基丙基）咪唑基）二锶填入乾燥的不銹鋼容器。接著將 此容器加熱至170°C，並且使氬載體氣體於1〇〇sccm的速 率下斷續流經此容器以達成該前驅物變化於6至16秒的 ALD ‘脈衝，。將這些前驅物脈衝導入含有從3〇〇加熱炱 400°C的梦基材之ALD搶。各個前驅物脈衝之後接著氬氣 的洗淨脈衝，然後接著臭氧的脈衝。圖i 8顯示於35〇〇c暴 材溫度下使用8及10秒前驅物脈衝的srO沉積所達成的結 果，其顯示膜生長與總前驅物脈衝次數之間的線性ALD關

118 S 201130803 係付到呂⑴的：^入/循環的生長速率^^代的基材溫 度下使用此相同沉積程序產生圖2〇所示的㈣膜其上方 部分很清楚為結晶性而且其下方部分為非晶形。注意該㈣ 的頂端上有沉積一氧化鈦保護層。在該結晶區卜可見到 每66埃有24層的Sr0,以產生2乃埃的間隔與（刪）Sr〇 -致。圖所示@ XPS指出該膜為實質上純的氧化锶。 遍佈該膜的小量碳有部分歸因於與大氣的二氧化碳的後沉 積反應產生碳酸銷。 實施例22 四（2第—τ基_4,5·二tert-amyl咪唾基）二錄的ALD熱安定 性證明 用1⑼俯使用氫，如實施例15，但是沒用臭氧，的5 私剛驅物/10秒氬洗淨的循環將吸附的前驅物氧化。基材係 從250處理至4〇〇。〇如圖22顯示，直到>35〇〇c之前都沒 有顯著的熱沉積發生，指示對於ALD的優良安定性。 【圖式簡單說明】 圖1為2,5-二第三丁基咪唑的χ·射線結構的示意圖。 圖2為2,4,5-三第三丁基咪唑（除了在Ν⑴上以外’為 求清晰的目的未圖示氫原子）的χ_射線結構的示意圖。 、 圖3為雙（2,4,5-二第二丁基咪唑基）鋇（四氫呋喃）（為 求清晰的目的未圖示氫原子）的結構示意圖。 圖4為四（2,4,5_三第三丁基咪唑基）二鋇（為求清晰的

S 119 201130803 目的未圖示氫原子）的示意圖。 圖5為四（2，4,5-三第三丁基咪唑基）二鋇的熱重量分析 (TGA)/示差掃描熱分析儀（DSC)結果，其中該TGA為實線 而且該DSC為虛線。 圖6為四（2,4,5-三第三丁基咪唑基）二锶（為求清晰的 目的未圖示氫原子）的示意圖。 圖 7為四（2,4,5-三第三丁基咪唑基）二錄的 TGA/DSC，其中該TGA為實線而且該DSC為虛線。 圖8為為四（2-第三丁基·4,5-二（1，1-二甲基丙基）咪唾 基二锶（為求清晰的目的未圖示氫原子）的示意圖。 圖9為四（2-第三丁基-4,5-二（1,1-二曱基丙基）咪唾基） 一錄的TGA/DSC結果’其中該TGA為實線而且該DSC為 虛線。 圖10為四（2-第二丁基-4,5-二（1,1-二曱基丙基）咪〇坐基） 二鋇（為求清晰的目的未圖示氫原子）的示意圖。 圖11為四（2 -第二丁基-4,5 -二（1，1-二甲基丙基）咪〇坐基） 二鋇的DSC結果。 圖12為四（2 -第二丁基-4,5 -二（1，1-二甲基丙基）咪0坐基） 二鋇的TGA結果。 圖13為四（2-(1，1-二甲基丁基）_4,5-二第三丁基）味唑 基）二總（為求清晰的目的未圖示氫原子）的示意圖。

圖14為四（2-(1,1-二甲基丁基）_4,5-二第三丁基）咪唑 基）二銘的TGA/DSC結果’其中該TGA為實線而且該DSC 為虛線。

S 120 201130803 圖15為四（2·^,〗-二甲基丁基）·4,5_二第三丁基）咪唑 基）二鋇（為求清晰的目的未圖示氫原子）的示意圖： 圖16為四（2-(^-二甲基丁基）_4,5_二第三丁基）咪唑 基）二鋇的TGA/DSC結果，其中該TGA為實線而且該Dsc 為線。 圖17為四（2-(1，1-二甲基丁基f基丙基） 咪唑基）二鋇的TGA/DSC結果，其中該TGA為實線而且該 DSC為虛線。 圖18舉例說明將該ALD氧化鳃膜厚度視為該前驅物 四（2-第二丁基_4,5-二（ι，ΐ-二甲基丙基）咪唾基）二锶與臭氧 反應的ALD循環次數的函數。 圖19舉例說明四（2-第三丁基_45_:(u二甲基丙基） 咪唑基）二鳃/臭氧ALD方法於350。<：基材溫度的ALD飽和 曲線。 圖20舉例說明由四（2_第三丁基二甲基丙 基）°米嗤基）二總於375〇C生長的ALD SrO膜，覆蓋3.3nm 的一氧化欽’的透射式電子顯微照片（TEM)。 圖21舉例說明使用四（2-第三丁基-4,5-二（1，1-二曱基 丙基米。坐基）二錄/臭氧於35〇c生長的Sr〇膜的χ_射線光 電子光譜（xps)分析。 圖22舉例說明四（2-第三丁基-4,5-二（1，1-二曱基丙基） 咪°坐）一錄的熱安定性。 121

Claims (1)

1. 201130803 七、申請專利範圍： 1. 一種下式的多烷基化咪唑

   其中R1、R2及R3係各自獨立地選自下列群組的巨型基團： 一級、二級或三級C丨至C丨。烷基；〆級、二級或三級c丨 至c1G烷氧基；一級、二級或三級Ci至c1G烷基胺；以雜 原子取代的環結構官能化的C!至c! 〇 —級、二級或三級烷 基；經醯胺基官能化的q至C1()烷基；經酯基官能化的一 級、二級或三級C i至C ! 〇烧基及其混合物所組成的群組。 2. 如申請專利範圍第1項之咪唑，其中R1、R2及R3係個 別選自下列群組：異丙基、第三戊基、新戊基、金剛烷 基、己基、環己基、丙基、丁基、異丁基、第三丁基、 戊基、異戊基、新戊基、降莰基、雙環[2.2.1]庚基、二 甲基戊基、二甲基己基、乙基曱基丙基、異己基、及異 戊基所組成的群組。 3. 如申請專利範圍第1項之咪唑，其中ri、R2及R3係連 接在一起以形成環狀結構。 4. 如申請專利範圍第1項之咪唑，其中將Ri、R2及R3之 1 201130803 至少二者接合以致於二或更多〇米β坐配位子係接合在 起。 5.如申請專利範圍第1項之咪 環結構係選自由咪嗤、。比ρ各 及其混合物所組成的群組。 唑’其中該以雜原子取代的 、吼啶、吱喃、嘧啶、吡唑 6. 如申明專利範圍第1項之咪唑，其係選自下列群組：2,4,5_ 三第三丁基咪唑；2_第三丁基_45二(ιι二甲基丙基;咪 唑，2-(ΐ，ι·二甲基丁基）_4 5二第三丁基咪唑；及 一甲基丁基）-4,5-二（1，1_二曱基丙基）咪唑所組成的群 組。 如申請專利範圍第1項之咪唑，其係去質子化為下式的 咪唑基陰離子：

   其中R1及R3係個別巨型基團，其具有充分的三維度形式 以賦予一性質給該咪唑基以依η-5鍵方式與金屬鍵結； __ 2 R可為巨型基團或不是巨型基團的基團。 8.如申請專利範圍第7項之咪唑基，其中Ri及R3係個別 201130803 選自由第二丁基、異丙基、第三戊基、新戊基、金剛烷 基、己基、環己基、丙基、丁基、異丁基、戊基、異戊 基、新戊基、降莰基、雙環[2.2.1]庚基、二甲基戊基、 二甲基己基、乙基甲基丙基、異己基、異戊基及其混合 物所組成的群組。 9. 如申請專利範圍第7項之咪唑基，其中R2為一巨型基團。 10. 如申請專利範圍第7項之咪唑基，其係選自下列群組： 2,4,5-叁-第三丁基咪唑基；2-第三丁基_4,5-二（1，1-二甲 基丙基）咪唑基；2-(1，1-二甲基丁基）_4,5_二第三丁基咪唑 基；及2-(1，1-二曱基丁基）-4,5_二（U_二甲基丙基）咪唑 基所組成的群組。 11.如申請專利範圍第7項之咪唑基，其和第二陰離子各自 配位於至少一選自由鋇、锶、鎂、鐳、鈣或其混合物所 組成的群組的金屬。 12.如申請專利範圍第u項之咪唑基，其中該第二陰離子 係選自下列群組：經多取代的咪唑基陰離子、多烷基化 °比咯陰離子、β-二酮酸根類、羧酸根類、醋酸根類、_ 亞胺基類、二亞胺類、烷氧化物、醯胺類、氫化物類、 酮酯類、腓基類、胍基、環戊二烯基、氰化物、異氰化 物、甲酸根、草酸根、丙二酸根、苯氧化物、硫羥酸根、 201130803 硫化物、硝酸根、烷基、甲矽烷基烷基、氟烷基、芳基、 咪唑基、氫化物及其混合物所組成的群組。 13.如申請專利範圍第7項之咪唑基，其中至少二此等咪唑 基係鍵結於一金屬，Μ，以形成選自下列群組的結構： S

   4 201130803 式F (L)n

   (L)n 式G

   5 201130803 式Η R1

   所組成的群組，其中（L)為選自由下列所組成的群組的中性 配位子.脂族C3至C2〇醚或聚驗；冠酸；胺；聚胺；醢胺； 聚酿胺；酯；聚酯；芳香族醚；芳香族酯；芳香族醯胺； 芳香族胺；吡啶；咪唑；吡啶；吡嗪；呋喃；吡咯及其混 合物及η = 0至4 ;而且M = Ba、Sr、Ca、Ra或Mg。 14. 如申請專利範圍第13項之咪唑基結構，其中該等咪唑 基以選自下列群組的方式配位於該M : η·丨、η_2、η_3、 η-4及η-5模式所組成的群組。 15, 如申請專利範圍第13項之咪唑基結構，其選自下列群 組：四（2,4,5-叁-第三丁基咪唑基）二鋇；四（2•第三丁基 _4,5-二〇，1-二甲基丙基）咪唑基）二鋇；四（2(1，卜二甲基 201130803 丁基）-4’5_二第三丁基味唾基）二鋇；及四叫^一 基丁基）4’5-u.二甲基丙基）咪吐基）二類所組成甲 組。 的鮮 16.如申請專利範圍第13項之味唑基結構 —四(2’4’5-叁·第二丁基咪唑基)二鰓；四(2·第三丁 j ·4,5-二（U·二甲基丙基）味唾基）二錄；四（2-(1，^甲; 丁基)_4,5_二第三丁基咪唑基)二锶；及，四(2-(1山二; 基），5 一（ι，ι_一甲基丙基）咪唑基）二鋰所組成的君 組0 17·如申請專利範圍第13 ,.3 哨又木唑基，其中各個咪唑基的 R 係相互獨立地選擇。 18·:申請專利範圍第13項之㈣基，其中一，坐基的至 R係接合至連接另一咪唑基的至少一 R1·3以連結 該二咪唑基。 μ •種精由ALD或CVD沉積含金屬膜的方法，其包含使 用申請專利範圍帛U項之咪嗤基結構。 應-種使中請㈣範圍帛13項之❹基結構與氧化劑反 ^ :積含金屬膜的方法，該氧化劑係選自下列群組♦· 醇、氧、臭氧、-氡化I、二氡化兔、過氣化氮或 201130803 其組合所組成的群組，該方法使用介於g 〇gi i刚〇托 耳的反應器麗力及0i 1000〇c的溫度以生長選自由氧化 鋇氧化錄、氧化鎖、氧化舞或氧化錯及其混合物所版 成的群組的含金屬膜。 21.如申請專利範圍第2〇項之方法 每個循環> 1埃。 其中氧化鋇的沉積為 22.如申請專利範圍第21項之方法 每個循環>1.5埃。 其中氧化鎖的沉積為 23.如申請專利範圍第22項之方法 每個循環>2埃。 其中氧化顏的沉積為 24.如申請專利範圍第2〇項之方法 每個循環>1埃。 其中氧化錄的沉積為 25. 如申請專利範圍第24項之方法 每個循環> 1.5埃。 26. 如申請專利範圍第25項之方法 每個循環>2埃》 其中氧化錄的沉積為 其中氧化鎮的沉積為 27.—種使申請專利範圍第 13項之咪唑基鋇锶結構與鈦前 201130803 驅物的交錯脈衝以ALD或脈衝CVD模式反應以生長 BST膜的方法，該鈦前驅物係選自由烷氧化鈦、烷氧化 欽/一酮酸根、ί衣戊一烯基鈦、胺化鈦（titanium amde)、 咪唑基鈦及其混合物所組成的群組β 28‘一種使申請專利範圍第13項之咪唑基鳃結構與鈦前驅 物的交錯脈衝以ALD或脈衝CVD模式反應以生長ST〇 膜的方法，該鈦前驅物係選自由烷氧化鈦、烷氧化鈦/二 酮酸根、環戊二烯基鈦、胺化鈦、咪唑基鈦及其混合物 所缸成的群組。 29. —種使申請專利範圍第丨3項之咪唑基鋇結構與鈦前驅 物的交錯脈衝以ALD或脈衝CVD模式反應以生長BTO 膜的方法’該鈦前驅物係選自由烧氧化欽、院氧化鈥/二 鋼酸根、環戊二浠基欽、胺化鈦、咪唑基欽及其混合物 所組成的群組。 30. —種使申請專利範圍第13項之咪唑基鋇結構與锶化合 物及鈦化合物以ALD、CVD或脈衝CVD模式反應以生 長BST膜的方法’該銘化合物係選自由酮亞胺銘、二酮 酸認及其混合物所組成的群組，而且該鈦化合物係選自 由烷氧化鈦、烷氧化鈦/二酮酸根、環戊二烯基鈦、胺化 鈦及其混合物所組成的群組。 201130803 3 1 · —種使申請專利範圍第13項之咪唑基結構與鹵化物氣 體以ALD、CVD或脈衝CVD模式反應以生長MX2的方 法’其中X =鹵化物而且Μ係選自由Ba、Sr、Mg、Ca、 Ra及其混合物所組成的群組，該螽化物氣體係選自由 HC1、HF、SiCl4、HBr及其混合物所組成的群組。 32. —種合成申請專利範圍第13項之咪唑基結構的方法， 該方法係藉由咪唑與金屬試劑的直接金屬化，該金屬試 劑係選自由正丁基鐘、正己基链、第二丁基鐘、第三丁 基鋰、二異丙基醯胺鋰、氫化鉀、氫化鈉、鈉金屬、鉀 金屬、第三丁氧基鈉、第三丁氧基鉀所組成的群組：並 且接著使所得的產物與選自下列群組的反應物反應而進 行：鹼土金屬碘化物、鹼土金屬醋酸鹽、鹼土金屬羧酸 鹽、鹼土金屬碳酸鹽、鹼土金屬曱酸鹽、鹼土金屬溴化 物、驗土金屬二氟醋酸鹽、驗土金屬六氟乙酿基丙酮酸 鹽、鹼土金屬三氟丙酮酸鹽、鹼土金屬乙醯基丙酮酸鹽、 驗土金屬二亞胺、驗土金屬酮亞胺、驗土金屬脒鹽、驗 土金屬胍鹽及其混合物所組成的群组。 33. —種直接合成申請專利範圍第Η項之味β坐基結構的方 法’其係利用一試劑使多烷基化咪唑反應而進行，該試 劑係選自下列群組：鹼土金屬醯胺化物、鹼土金屬苯氧 化物、驗土金屬氫氧化物、鹼土金屬烷基物 '鹼土金屬 芳基物及其混合物所組成的群組。 S 10 201130803 34. —種合成申請專利範圍第13項之咪唑基結構的方法， 其係於氨存在之下使味η坐與驗土金屬反應。 35. —種合成申請專利範圍第π項之咪唑基結構的方法， 其係於胺與氨存在之下使咪唑與鹼土金屬反應。 36_如申請專利範圍第u項之咪唑基，其包含咪唑基鳃與 揮發性鈦來源的混合物。 37. 如申請專利範圍第36項之咪唑基，其中該揮發性鈦來 源為以咪β坐基為基礎的鈦前驅物。 38. —種生長介電膜的方法，該介電膜係選自由ST〇及 所組成的群組，該方法使用申請專利範圍第36項之混合 物以形成選自由動態隨機存取記憶體（DraM)及高溫計 裝置（pyrometric devices)所組成的群組之微電子裝置。 3 9. —種使用申請專利範圍第i 3項之咪唑基結構製造微電 子裝置的方法，該微電子裝置係選自下列群組：非揮發 性鐵電微電子記憶體裝置、用於電致發光顯示器的顯示 燐光體（display phosphor)、高Tc超導裝置所組成的群組。 40. —種藉由ALD或CVD生長金屬氧化物或氮化物膜的方 S 11 201130803 法，其包含：提供申請專利範圍第13項之味唾基類或錯 結構.聯合溶於溶劑中的欽來源，該溶劑係選自下列群 組：醚、.胺基醚、醯胺、酯、芳烴或烴溶劑所組成的群 組；及經由DLI系統遞送所得溶液以提供該所得溶液的 蒸氣流以藉由ALD或CVD生長該金屬氧化物或敗化物 膜。 41. 如申請專利範圍第13項之咪唑基結構，其係置於不錄 鋼容器中。 42. 如申請專利.範圍第1項之咪唾，其中R1、R2及尺3 > •^至 少二者具有三級結構。 12